JPH0963529A - 電子顕微鏡観察システム - Google Patents
電子顕微鏡観察システムInfo
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- JPH0963529A JPH0963529A JP7210474A JP21047495A JPH0963529A JP H0963529 A JPH0963529 A JP H0963529A JP 7210474 A JP7210474 A JP 7210474A JP 21047495 A JP21047495 A JP 21047495A JP H0963529 A JPH0963529 A JP H0963529A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 遠隔地に設置されている電子顕微鏡が、あた
かも依頼者の真近にあるような環境を構築し、オペレー
ターに直接指示、さらには遠隔地から電子顕微鏡本体の
試料ステージの移動操作、倍率変更操作および焦点合わ
せ操作の機構を有する装置を提供する。 【解決手段】 電子顕微鏡本体と、電子顕微鏡の有する
様々な電子線走査速度を一定の画像走査速度に変換する
とともに伝送路との同期をとる変換装置と、アナログ画
像信号をディジタル画像信号に変換するアナログディジ
タル変換器と、ディジタル画像信号を伝送する伝送路
と、ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換する
ディジタルアナログ変換器と、電子顕微鏡画像信号を表
示する画像表示装置を具備する電子顕微鏡観察システム
である。
かも依頼者の真近にあるような環境を構築し、オペレー
ターに直接指示、さらには遠隔地から電子顕微鏡本体の
試料ステージの移動操作、倍率変更操作および焦点合わ
せ操作の機構を有する装置を提供する。 【解決手段】 電子顕微鏡本体と、電子顕微鏡の有する
様々な電子線走査速度を一定の画像走査速度に変換する
とともに伝送路との同期をとる変換装置と、アナログ画
像信号をディジタル画像信号に変換するアナログディジ
タル変換器と、ディジタル画像信号を伝送する伝送路
と、ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換する
ディジタルアナログ変換器と、電子顕微鏡画像信号を表
示する画像表示装置を具備する電子顕微鏡観察システム
である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡観察シ
ステムに関し、特に、物体の拡大像を得るために使用す
る電子顕微鏡の遠隔操作に適用して有効な技術に関する
ものである。
ステムに関し、特に、物体の拡大像を得るために使用す
る電子顕微鏡の遠隔操作に適用して有効な技術に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡には、透過型電子顕微鏡、走
査型電子顕微鏡などの種類がある。これらの装置は、い
ずれも、試料を観察する場合、電子顕微鏡の試料台に試
料を設置し、電子顕微鏡に付属する表示装置により試料
の拡大像を表示し、撮影すべき領域、倍率の選択などを
行い、必要とされる試料の拡大像である写真の撮影を行
っている。
査型電子顕微鏡などの種類がある。これらの装置は、い
ずれも、試料を観察する場合、電子顕微鏡の試料台に試
料を設置し、電子顕微鏡に付属する表示装置により試料
の拡大像を表示し、撮影すべき領域、倍率の選択などを
行い、必要とされる試料の拡大像である写真の撮影を行
っている。
【０００３】これらの表示装置は電子顕微鏡本体に付属
しているものであり、また、拡張端子を利用しても電子
顕微鏡本体の近傍で表示を行うに過ぎないものであっ
た。
しているものであり、また、拡張端子を利用しても電子
顕微鏡本体の近傍で表示を行うに過ぎないものであっ
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前記従来
技術を検討した結果、以下の問題点を見いだした。
技術を検討した結果、以下の問題点を見いだした。
【０００５】（１）遠隔地において、この試料の拡大像
を直接観察することは不可能であった。
を直接観察することは不可能であった。
【０００６】（２）類似の技術として遠隔医療の実現に
むけ、画像を遠隔地に伝送するシステムが開発されてい
るが、電子顕微鏡の有する様々な画面走査速度に対応す
ることは不可能であった。また、遠隔地から電子顕微鏡
の操作を行うこともできなかった。
むけ、画像を遠隔地に伝送するシステムが開発されてい
るが、電子顕微鏡の有する様々な画面走査速度に対応す
ることは不可能であった。また、遠隔地から電子顕微鏡
の操作を行うこともできなかった。
【０００７】（３）高倍率の得られる電子顕微鏡は高価
であり、必要とする場所すべてに設置することは不可能
である。このため、電子顕微鏡による試料の像を撮影す
る場合には、遠隔地の装置の操作をオペレーターに依頼
する場合には、撮影すべき領域の決定、倍率の決定に依
頼者は関与できず、必ずしも必要な像を得ることができ
ないという問題があった。このため、オペレーターによ
り撮影された写真は郵送等の手段により依頼者に送られ
るが、依頼者の要求するものとは異なる場合、再度その
写真を元にオペレーターに指示を与え必要とされる写真
を再度撮影しなければならない。
であり、必要とする場所すべてに設置することは不可能
である。このため、電子顕微鏡による試料の像を撮影す
る場合には、遠隔地の装置の操作をオペレーターに依頼
する場合には、撮影すべき領域の決定、倍率の決定に依
頼者は関与できず、必ずしも必要な像を得ることができ
ないという問題があった。このため、オペレーターによ
り撮影された写真は郵送等の手段により依頼者に送られ
るが、依頼者の要求するものとは異なる場合、再度その
写真を元にオペレーターに指示を与え必要とされる写真
を再度撮影しなければならない。
【０００８】（４）依頼者が満足できる像を撮影するた
めには、遠隔地である電子顕微鏡のある場所に出張し、
オペレーターに直接指示を与える必要があり、この場合
は出張のための経費、時間を必要とするという大きな問
題があった。
めには、遠隔地である電子顕微鏡のある場所に出張し、
オペレーターに直接指示を与える必要があり、この場合
は出張のための経費、時間を必要とするという大きな問
題があった。
【０００９】この解決には、電子顕微鏡本体で得られる
ものと同等の拡大像を遠隔地においても表示可能な装置
の開発が求められる。
ものと同等の拡大像を遠隔地においても表示可能な装置
の開発が求められる。
【００１０】本発明の目的は、遠隔地に設置されている
電子顕微鏡が、あたかも依頼者の真近にあるような環境
を構築し、オペレーターに直接指示、さらには遠隔地か
ら電子顕微鏡本体の試料ステージの移動操作、倍率変更
操作および焦点合わせ操作の機構を有する装置を提供す
ることである。
電子顕微鏡が、あたかも依頼者の真近にあるような環境
を構築し、オペレーターに直接指示、さらには遠隔地か
ら電子顕微鏡本体の試料ステージの移動操作、倍率変更
操作および焦点合わせ操作の機構を有する装置を提供す
ることである。
【００１１】本発明の前記ならびにその他の目的および
新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面によって
明らかにする。
新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面によって
明らかにする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以
下のとおりである。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以
下のとおりである。
【００１３】（１）電子顕微鏡本体と、電子顕微鏡の有
する様々な電子線走査速度を一定の画像走査速度に変換
するとともに伝送路との同期をとる変換装置と、アナロ
グ画像信号をディジタル画像信号に変換するアナログ・
ディジタル変換器と、ディジタル画像信号を伝送する伝
送路と、ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換
するディジタル・アナログ変換器と、電子顕微鏡画像信
号を表示する画像表示装置を具備する電子顕微鏡観察シ
ステムである。
する様々な電子線走査速度を一定の画像走査速度に変換
するとともに伝送路との同期をとる変換装置と、アナロ
グ画像信号をディジタル画像信号に変換するアナログ・
ディジタル変換器と、ディジタル画像信号を伝送する伝
送路と、ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換
するディジタル・アナログ変換器と、電子顕微鏡画像信
号を表示する画像表示装置を具備する電子顕微鏡観察シ
ステムである。
【００１４】（２）前記（１）の電子顕微鏡観察システ
ムにおいて、電子顕微鏡本体の試料ステージの移動操
作、倍率変更操作および焦点合わせ操作を行う電子顕微
鏡操作装置と、該電子顕微鏡操作装置にその操作制御信
号を入力する操作信号入力装置を具備するものである。
ムにおいて、電子顕微鏡本体の試料ステージの移動操
作、倍率変更操作および焦点合わせ操作を行う電子顕微
鏡操作装置と、該電子顕微鏡操作装置にその操作制御信
号を入力する操作信号入力装置を具備するものである。
【００１５】本発明は、電子顕微鏡からの画像出力を伝
送に適した形に変換し、画像を伝送し、その伝送画像信
号を受信し、その受信画像を表示装置に表示することに
より、遠隔地において電子顕微鏡からの出力画像を観察
することができる。
送に適した形に変換し、画像を伝送し、その伝送画像信
号を受信し、その受信画像を表示装置に表示することに
より、遠隔地において電子顕微鏡からの出力画像を観察
することができる。
【００１６】また、電子顕微鏡本体の試料ステージの移
動操作、倍率変更操作および焦点合わせ操作を行う電子
顕微鏡操作装置と、該電子顕微鏡操作装置にその操作制
御信号を入力する操作信号入力装置を設けることによ
り、遠隔地から電子顕微鏡本体の試料ステージの移動操
作、倍率変更操作および焦点合わせ操作を行うことがで
きる。
動操作、倍率変更操作および焦点合わせ操作を行う電子
顕微鏡操作装置と、該電子顕微鏡操作装置にその操作制
御信号を入力する操作信号入力装置を設けることによ
り、遠隔地から電子顕微鏡本体の試料ステージの移動操
作、倍率変更操作および焦点合わせ操作を行うことがで
きる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明について実施形態と
ともに図面を参照して詳細に説明する。
ともに図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】（実施形態１）図１は本発明を電子顕微鏡
観察システムに適用した一実施例（実施形態１）の概略
構成を示すブロック構成図であり、１は電子顕微鏡本
体、２は変換装置、３はアナログ・ディジタル変換器、
４は伝送路、５はディジタル・アナログ変換器、６はＴ
Ｖ受像機等の画像表示装置、７は電子顕微鏡操作装置に
操作制御信号を入力する操作信号入力装置、８は電子顕
微鏡操作装置である。
観察システムに適用した一実施例（実施形態１）の概略
構成を示すブロック構成図であり、１は電子顕微鏡本
体、２は変換装置、３はアナログ・ディジタル変換器、
４は伝送路、５はディジタル・アナログ変換器、６はＴ
Ｖ受像機等の画像表示装置、７は電子顕微鏡操作装置に
操作制御信号を入力する操作信号入力装置、８は電子顕
微鏡操作装置である。
【００１９】実施形態１の電子顕微鏡観察システムは、
前記電子顕微鏡本体１から試料の拡大像を出力し、この
画像を変換装置２で伝送に適した信号に変換した後、ア
ナログ・ディジタル変換器３でディジタル信号に変換し
て伝送路４に送出する。ディジタル・アナログ変換器５
は伝送路４からのディジタル信号を受信し、このディジ
タル信号をアナログ信号の表示用信号に変換し、画像表
示装置６に表示する。
前記電子顕微鏡本体１から試料の拡大像を出力し、この
画像を変換装置２で伝送に適した信号に変換した後、ア
ナログ・ディジタル変換器３でディジタル信号に変換し
て伝送路４に送出する。ディジタル・アナログ変換器５
は伝送路４からのディジタル信号を受信し、このディジ
タル信号をアナログ信号の表示用信号に変換し、画像表
示装置６に表示する。
【００２０】電子顕微鏡本体１として走査型電子顕微鏡
を用いた場合には、様々な走査速度により走査される電
気信号による画像である。また、透過型電子顕微鏡を用
いた場合には、通常写真フィルムに像を記録するように
なっている。
を用いた場合には、様々な走査速度により走査される電
気信号による画像である。また、透過型電子顕微鏡を用
いた場合には、通常写真フィルムに像を記録するように
なっている。
【００２１】前記走査型電子顕微鏡の場合には、変換装
置２により画像に走査速度を伝送に適した標準ビデオ信
号に変換する。この変換装置２は、１画面３０分の１秒
から１画面９０秒程度にも変化する走査型電子顕微鏡の
様々な走査速度に対応するため、その走査周期を検出
し、その周期で画像をメモリに記録し、記録されたメモ
リから標準ビデオ信号に対応した周期で読み出すことに
より標準ビデオ信号に変換する。
置２により画像に走査速度を伝送に適した標準ビデオ信
号に変換する。この変換装置２は、１画面３０分の１秒
から１画面９０秒程度にも変化する走査型電子顕微鏡の
様々な走査速度に対応するため、その走査周期を検出
し、その周期で画像をメモリに記録し、記録されたメモ
リから標準ビデオ信号に対応した周期で読み出すことに
より標準ビデオ信号に変換する。
【００２２】また、透過型電子顕微鏡の場合には、通常
写真フィルムに像を記録するようになっているため、変
換装置２として、画像を電気信号に変換するＴＶカメラ
を用いる。例えばＴＶ電話端末等のアナログ・ディジタ
ル変換器３により、変換装置２により標準ビデオ信号に
変換された信号をディジタルデータに変換し伝送路４に
送出する。ディジタル化された画像データは伝送路４に
より伝送される。
写真フィルムに像を記録するようになっているため、変
換装置２として、画像を電気信号に変換するＴＶカメラ
を用いる。例えばＴＶ電話端末等のアナログ・ディジタ
ル変換器３により、変換装置２により標準ビデオ信号に
変換された信号をディジタルデータに変換し伝送路４に
送出する。ディジタル化された画像データは伝送路４に
より伝送される。
【００２３】この伝送路４はディジタルデータが伝送可
能な伝送路ならば利用可能であるが、本実施形態１で
は、ＩＳＤＮ回線を用い、音声、画像あわせて１２８ｋ
ｂｐｓの伝送速度である。ディジタル・アナログ変換器
５としてはＴＶ電話端末を用い、伝送路４からのディジ
タル信号を受信し、信号を標準ビデオ信号に変換する。
標準ビデオ信号をＴＶ受像機等の画像表示装置６に表示
する。電子顕微鏡１からの直接出力画像はそのまま画像
表示装置６に表示される。
能な伝送路ならば利用可能であるが、本実施形態１で
は、ＩＳＤＮ回線を用い、音声、画像あわせて１２８ｋ
ｂｐｓの伝送速度である。ディジタル・アナログ変換器
５としてはＴＶ電話端末を用い、伝送路４からのディジ
タル信号を受信し、信号を標準ビデオ信号に変換する。
標準ビデオ信号をＴＶ受像機等の画像表示装置６に表示
する。電子顕微鏡１からの直接出力画像はそのまま画像
表示装置６に表示される。
【００２４】電子顕微鏡本体１の操作者が試料を観察
し、観察位置、倍率等を変更すると遠隔地に設置された
画像表示装置６にはその像が表示され、分析依頼者がそ
の状況を画像表示装置６上で観察することができる。分
析依頼者は、分析すべき位置、倍率など、必要とされる
像の撮影を操作者に指示し、思い通りの像を得ることが
できる。また、操作信号入力装置７により分析依頼者が
直接操作の指示をあたえることが可能となる。この指示
情報はディジタル信号に変換され伝送され、電子顕微鏡
操作装置８により遠隔地から電子顕微鏡本体１の試料ス
テージの移動操作、倍率変更操作および焦点合わせ操作
が可能となる。分析依頼者は、分析すべき位置、倍率な
ど、必要とされる像の観察を自ら実施して、ねらい通り
の像を得るものである。
し、観察位置、倍率等を変更すると遠隔地に設置された
画像表示装置６にはその像が表示され、分析依頼者がそ
の状況を画像表示装置６上で観察することができる。分
析依頼者は、分析すべき位置、倍率など、必要とされる
像の撮影を操作者に指示し、思い通りの像を得ることが
できる。また、操作信号入力装置７により分析依頼者が
直接操作の指示をあたえることが可能となる。この指示
情報はディジタル信号に変換され伝送され、電子顕微鏡
操作装置８により遠隔地から電子顕微鏡本体１の試料ス
テージの移動操作、倍率変更操作および焦点合わせ操作
が可能となる。分析依頼者は、分析すべき位置、倍率な
ど、必要とされる像の観察を自ら実施して、ねらい通り
の像を得るものである。
【００２５】（実施形態２）図２は本発明を電子顕微鏡
観察システムに適用した他の実施例（実施形態２）の概
略構成を示すブロック構成図であり、その一実施例の電
子顕微鏡のブロック図であり、１は電子顕微鏡本体、２
は変換装置、３０は画像入力機能およびディジタルデー
タ送信機能を有するコンピュータである。４は伝送路、
５０はディジタルデータ受信機能および画像出力機能を
有するコンピュータである。６０は印刷装置、７は操作
信号入力装置、８は電子顕微鏡操作装置である。
観察システムに適用した他の実施例（実施形態２）の概
略構成を示すブロック構成図であり、その一実施例の電
子顕微鏡のブロック図であり、１は電子顕微鏡本体、２
は変換装置、３０は画像入力機能およびディジタルデー
タ送信機能を有するコンピュータである。４は伝送路、
５０はディジタルデータ受信機能および画像出力機能を
有するコンピュータである。６０は印刷装置、７は操作
信号入力装置、８は電子顕微鏡操作装置である。
【００２６】本実施形態２の電子顕微鏡観察システムで
は、前記実施形態１の場合と同様に電子顕微鏡本体１よ
り出力される画像は、変換装置２により標準ビデオ信号
に変換される。前記変換装置２は、１画面３０分の１秒
から１画面９０秒程度にも変化する走査型電子顕微鏡の
様々な走査速度に対応するため、その走査周期を検出
し、その周期で画像をメモリに記録し、記録されたメモ
リから標準ビデオ信号に対応した周期で読み出すことに
より標準ビデオ信号に変換する。
は、前記実施形態１の場合と同様に電子顕微鏡本体１よ
り出力される画像は、変換装置２により標準ビデオ信号
に変換される。前記変換装置２は、１画面３０分の１秒
から１画面９０秒程度にも変化する走査型電子顕微鏡の
様々な走査速度に対応するため、その走査周期を検出
し、その周期で画像をメモリに記録し、記録されたメモ
リから標準ビデオ信号に対応した周期で読み出すことに
より標準ビデオ信号に変換する。
【００２７】コンピュータ３０により、変換装置２で標
準ビデオ信号に変換された信号を取り込みディジタルデ
ータに変換し伝送路４に送出する。ディジタル化された
画像データは伝送路４により伝送される。
準ビデオ信号に変換された信号を取り込みディジタルデ
ータに変換し伝送路４に送出する。ディジタル化された
画像データは伝送路４により伝送される。
【００２８】この伝送路４は、この場合にはコンピュー
タネットワークであり、イーサネットなどによるローカ
ルエリアネットワーク、あるいはローカルエリアネット
ワークを接続したワイドエリアネットワークである。
タネットワークであり、イーサネットなどによるローカ
ルエリアネットワーク、あるいはローカルエリアネット
ワークを接続したワイドエリアネットワークである。
【００２９】このワイドエリアネットワークには、専用
回線の他ＩＳＤＮ回線、電話回線を用いることができ
る。伝送されたデータをコンピュータ５０のディスプレ
イに表示する。すなわち、電子顕微鏡本体１からの出力
画像は、そのままコンピュータ５０に表示されることに
なる。
回線の他ＩＳＤＮ回線、電話回線を用いることができ
る。伝送されたデータをコンピュータ５０のディスプレ
イに表示する。すなわち、電子顕微鏡本体１からの出力
画像は、そのままコンピュータ５０に表示されることに
なる。
【００３０】また、変換装置２に静止画を入力する機能
を付加し、転送、印刷するソフトウェアを付加すること
により、必要とされる最終結果を印刷装置６に印刷す
る。
を付加し、転送、印刷するソフトウェアを付加すること
により、必要とされる最終結果を印刷装置６に印刷す
る。
【００３１】本実施形態２の電子顕微鏡観察システムに
おいても、前記実施形態１と同様に分析依頼者は、分析
すべき位置、倍率など、必要とされる像の観察を自ら実
施して、ねらい通りの像を得るものである。
おいても、前記実施形態１と同様に分析依頼者は、分析
すべき位置、倍率など、必要とされる像の観察を自ら実
施して、ねらい通りの像を得るものである。
【００３２】また、操作信号入力装置７により分析依頼
者が直接操作の指示をあたえることが可能となる。この
場合、操作信号入力装置７はコンピュータ５０に接続さ
れたマウスなどの指示装置とコンピュータの表示画面に
作成されたボタンなどにより構成される。この指示情報
はディジタル信号に変換され伝送され、電子顕微鏡操作
装置８により電子顕微鏡本体１が操作される。分析依頼
者は、分析すべき位置、倍率など、必要とされる像の観
察を自ら実施して、ねらい通りの像を得ることができ
る。
者が直接操作の指示をあたえることが可能となる。この
場合、操作信号入力装置７はコンピュータ５０に接続さ
れたマウスなどの指示装置とコンピュータの表示画面に
作成されたボタンなどにより構成される。この指示情報
はディジタル信号に変換され伝送され、電子顕微鏡操作
装置８により電子顕微鏡本体１が操作される。分析依頼
者は、分析すべき位置、倍率など、必要とされる像の観
察を自ら実施して、ねらい通りの像を得ることができ
る。
【００３３】以上、本発明を実施形態により具体的に説
明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるもので
はなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更し
得ることはいうまでもない。
明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるもので
はなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更し
得ることはいうまでもない。
【００３４】例えば、前記実施形態では電子顕微鏡につ
いての例を示したが、電子顕微鏡の機能を有しているオ
ージェ電子分光装置や電子線マイクロアナリシス装置な
どの分析装置においても同様な効果を得ることができ
る。
いての例を示したが、電子顕微鏡の機能を有しているオ
ージェ電子分光装置や電子線マイクロアナリシス装置な
どの分析装置においても同様な効果を得ることができ
る。
【００３５】
【発明の効果】本願によって開示される発明のうち代表
的なものによって得られ効果を簡単に説明すれば、以下
のとおりである。
的なものによって得られ効果を簡単に説明すれば、以下
のとおりである。
【００３６】遠隔地において電子顕微鏡の出力像を観察
することが可能となり、分析依頼者は装置設置場所に移
動することなく操作者に分析位置、倍率などを指示する
ことが可能となり、真に必要とする分析結果を得ること
ができる。
することが可能となり、分析依頼者は装置設置場所に移
動することなく操作者に分析位置、倍率などを指示する
ことが可能となり、真に必要とする分析結果を得ること
ができる。
【図１】本発明を電子顕微鏡観察システムに適用した一
実施例（実施形態１）の概略構成を示すブロック構成図
である。
実施例（実施形態１）の概略構成を示すブロック構成図
である。
【図２】本発明を電子顕微鏡観察システムに適用した他
の実施例（実施形態２）の概略構成を示すブロック構成
図である。
の実施例（実施形態２）の概略構成を示すブロック構成
図である。
１…電子顕微鏡本体、２…変換装置、３…アナログ・デ
ィジタル変換器、４…伝送路、５…ディジタル・アナロ
グ変換器、、６…画像表示装置、７…操作信号入力装
置、８…電子顕微鏡操作装置、３０…画像入力機能およ
びディジタルデータ送信機能を有するコンピュータ、５
０…ディジタルデータ受信機能および画像出力機能を有
するコンピュータ、６０…印刷装置。
ィジタル変換器、４…伝送路、５…ディジタル・アナロ
グ変換器、、６…画像表示装置、７…操作信号入力装
置、８…電子顕微鏡操作装置、３０…画像入力機能およ
びディジタルデータ送信機能を有するコンピュータ、５
０…ディジタルデータ受信機能および画像出力機能を有
するコンピュータ、６０…印刷装置。
Claims (2)
- 【請求項１】 電子顕微鏡本体と、電子顕微鏡の有する
様々な電子線走査速度を一定の画像走査速度に変換する
とともに伝送路との同期をとる変換装置と、アナログ画
像信号をディジタル画像信号に変換するアナログ・ディ
ジタル変換器と、ディジタル画像信号を伝送する伝送路
と、ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換する
ディジタル・アナログ変換器と、電子顕微鏡画像信号を
表示する画像表示装置を具備することを特徴とする電子
顕微鏡観察システム。 - 【請求項２】 請求項１に記載される電子顕微鏡観察シ
ステムにおいて、電子顕微鏡本体の試料ステージの移動
操作、倍率変更操作および焦点合わせ操作を行う電子顕
微鏡操作装置と、該電子顕微鏡操作装置にその操作制御
信号を入力する操作信号入力装置を具備することを特徴
とする電子顕微鏡観察システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7210474A JPH0963529A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 電子顕微鏡観察システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7210474A JPH0963529A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 電子顕微鏡観察システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0963529A true JPH0963529A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16589947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7210474A Pending JPH0963529A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 電子顕微鏡観察システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0963529A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002009142A1 (fr) * | 2000-07-26 | 2002-01-31 | Hitachi, Ltd. | Systeme d'observation au microscope electronique et technique d'observation |
| US6956212B2 (en) | 2003-01-24 | 2005-10-18 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope observation system and observation method |
| JP2007188887A (ja) * | 2006-01-12 | 2007-07-26 | Carl Zeiss Smt Ltd | 荷電粒子ビーム装置を制御するために、装置のユーザによって入力されたコマンドに応答して動作可能なコンピュータを含む荷電粒子ビーム装置 |
| JP2021131412A (ja) * | 2020-02-18 | 2021-09-09 | 株式会社島津製作所 | 表示システム、分析装置、制御方法、および制御プログラム |
-
1995
- 1995-08-18 JP JP7210474A patent/JPH0963529A/ja active Pending
Cited By (5)
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