JPH0964674A - 圧電セラミック振動子の製造方法 - Google Patents
圧電セラミック振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPH0964674A JPH0964674A JP23916395A JP23916395A JPH0964674A JP H0964674 A JPH0964674 A JP H0964674A JP 23916395 A JP23916395 A JP 23916395A JP 23916395 A JP23916395 A JP 23916395A JP H0964674 A JPH0964674 A JP H0964674A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric ceramic
- resonance frequency
- ceramic vibrator
- vibrator
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 希望する低周波の共振周波数を正確に持ち、
かつ小型で強度的にも満足できる圧電セラミック振動子
を、歩留り良く製造することのできる圧電セラミック振
動子の製造方法を提供すること。 【解決手段】 先ず支持点或いは固定点を有しない状態
で希望する共振周波数より低い共振周波数を持つ長尺な
矩形の圧電セラミック振動子を製造し、該長尺な矩形の
圧電セラミック振動子に、少なくとも１ヵ所が長手方向
に移動可能な２ヵ所以上の支持点或いは固定点を設け、
該２ヵ所以上の支持点或いは固定点の間隔を、移動可能
な上記支持点或いは固定点を移動させることにより変更
し、希望する共振周波数を持つ圧電セラミック振動子を
製造することとした。
かつ小型で強度的にも満足できる圧電セラミック振動子
を、歩留り良く製造することのできる圧電セラミック振
動子の製造方法を提供すること。 【解決手段】 先ず支持点或いは固定点を有しない状態
で希望する共振周波数より低い共振周波数を持つ長尺な
矩形の圧電セラミック振動子を製造し、該長尺な矩形の
圧電セラミック振動子に、少なくとも１ヵ所が長手方向
に移動可能な２ヵ所以上の支持点或いは固定点を設け、
該２ヵ所以上の支持点或いは固定点の間隔を、移動可能
な上記支持点或いは固定点を移動させることにより変更
し、希望する共振周波数を持つ圧電セラミック振動子を
製造することとした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電セラミック振
動子の製造方法に関し、特に希望する低周波の共振周波
数を正確に持つ圧電セラミック振動子を、容易に得るこ
とのできる圧電セラミック振動子の製造方法に関するも
のである。
動子の製造方法に関し、特に希望する低周波の共振周波
数を正確に持つ圧電セラミック振動子を、容易に得るこ
とのできる圧電セラミック振動子の製造方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】円板状の圧電セラミック振
動子の共振周波数は、一般的に下記の式により算出され
る。
動子の共振周波数は、一般的に下記の式により算出され
る。
【０００３】
【式１】 なお、上記式中、 α ： 境界条件定数 Ｔ ： 振動子の総厚 ｒ ： 支持又は固定径（半径） Ｙ ： シム材のヤング率 ρ ： シム材の密度 σ ： シム材のポアソン比 である。
【０００４】そのため、該円板状の圧電セラミック振動
子の共振周波数を低減するには、通常、上記式から明ら
かなようにその振動子の厚み（Ｔ）を薄くする、また該
振動子を支持又は固定する径（ｒ）を大きくする等の方
策が採られている。ここで、圧電セラミック振動子の厚
みを薄くすることは、該振動子の強度が低下することか
ら限界があり、また該振動子を支持又は固定する径を大
きくすることは、小型化の要求に反する結果となる。そ
こで、強度的に満足でき、しかも小型で低周波、例えば
７００Ｈｚ以下の共振周波数を持つ圧電セラミック振動
子を製造することは、非常に困難なものとされていた。
子の共振周波数を低減するには、通常、上記式から明ら
かなようにその振動子の厚み（Ｔ）を薄くする、また該
振動子を支持又は固定する径（ｒ）を大きくする等の方
策が採られている。ここで、圧電セラミック振動子の厚
みを薄くすることは、該振動子の強度が低下することか
ら限界があり、また該振動子を支持又は固定する径を大
きくすることは、小型化の要求に反する結果となる。そ
こで、強度的に満足でき、しかも小型で低周波、例えば
７００Ｈｚ以下の共振周波数を持つ圧電セラミック振動
子を製造することは、非常に困難なものとされていた。
【０００５】また、圧電セラミック振動子は、その製造
工程中の種々の要因、例えば使用する圧電セラミックス
或いはシム材自体の物性、或いは厚み等の微妙なバラツ
キ、圧電セラミックスとシム材とを接着する、例えば嫌
気性型紫外線硬化型変性アクリレート樹脂の物性、或い
は塗布厚み等による接着状況の微妙なバラツキ、更には
該圧電セラミック振動子を支持又は固定する部分の状態
等により、得られる圧電セラミック振動子の共振周波数
が個々に相違し、特に低周波の共振周波数を持つ圧電セ
ラミック振動子を製造する場合には、上記要因による共
振周波数のバラツキが大きく影響し、希望する低周波の
共振周波数を正確に持つ圧電セラミック振動子を歩留り
良く量産することは困難なものとされていた。
工程中の種々の要因、例えば使用する圧電セラミックス
或いはシム材自体の物性、或いは厚み等の微妙なバラツ
キ、圧電セラミックスとシム材とを接着する、例えば嫌
気性型紫外線硬化型変性アクリレート樹脂の物性、或い
は塗布厚み等による接着状況の微妙なバラツキ、更には
該圧電セラミック振動子を支持又は固定する部分の状態
等により、得られる圧電セラミック振動子の共振周波数
が個々に相違し、特に低周波の共振周波数を持つ圧電セ
ラミック振動子を製造する場合には、上記要因による共
振周波数のバラツキが大きく影響し、希望する低周波の
共振周波数を正確に持つ圧電セラミック振動子を歩留り
良く量産することは困難なものとされていた。
【０００６】本発明は、上述した従来の低周波の共振周
波数を持つ圧電セラミック振動子を製造する場合に存在
する課題に鑑み成されたものであって、その目的は、希
望する低周波の共振周波数を正確に持ち、かつ小型で強
度的にも満足できる圧電セラミック振動子を、容易に得
ることのできる圧電セラミック振動子の製造方法を提供
することにある。
波数を持つ圧電セラミック振動子を製造する場合に存在
する課題に鑑み成されたものであって、その目的は、希
望する低周波の共振周波数を正確に持ち、かつ小型で強
度的にも満足できる圧電セラミック振動子を、容易に得
ることのできる圧電セラミック振動子の製造方法を提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記した目的
を達成するため、先ず支持点或いは固定点を有しない状
態で希望する共振周波数より低い共振周波数を持つ長尺
な矩形の圧電セラミック振動子を製造し、該長尺な矩形
の圧電セラミック振動子に、少なくとも１ヵ所が長手方
向に移動可能な２ヵ所以上の支持点或いは固定点を設
け、該２ヵ所以上の支持点或いは固定点の間隔を、移動
可能な上記支持点或いは固定点を移動させることにより
変更し、希望する共振周波数を持つ圧電セラミック振動
子を製造することとした。
を達成するため、先ず支持点或いは固定点を有しない状
態で希望する共振周波数より低い共振周波数を持つ長尺
な矩形の圧電セラミック振動子を製造し、該長尺な矩形
の圧電セラミック振動子に、少なくとも１ヵ所が長手方
向に移動可能な２ヵ所以上の支持点或いは固定点を設
け、該２ヵ所以上の支持点或いは固定点の間隔を、移動
可能な上記支持点或いは固定点を移動させることにより
変更し、希望する共振周波数を持つ圧電セラミック振動
子を製造することとした。
【０００８】上記した本発明にかかる圧電セラミック振
動子の製造方法によれば、共振周波数の微調整が可能と
なるため、正確な共振周波数を有する振動子を歩留り良
く製造することが可能となる。
動子の製造方法によれば、共振周波数の微調整が可能と
なるため、正確な共振周波数を有する振動子を歩留り良
く製造することが可能となる。
【０００９】また、長尺な矩形の圧電セラミック振動子
は、一般的に下式によってその共振周波数が算出でき
る。
は、一般的に下式によってその共振周波数が算出でき
る。
【００１０】
【式２】 ここで、上記式中、α ： 境界条件定数 Ｔ ： 振動子の総厚 Ｌ ： 振動子の自由長 Ｙ ： シム材のヤング率 ρ ： シム材の密度 である。
【００１１】そのため、上記本発明にかかる方法により
低周波の共振周波数を持つ圧電セラミック振動子を製造
する場合には、該振動子の厚み（Ｔ）を極端に薄くする
ことなく、その振動子の長さ（Ｌ）を長くすることによ
り対処できるため、該振動子の強度を低下させることが
なく、しかも、該振動子の共振周波数に影響しない巾
（Ｗ）を狭くすることにより、円板状の圧電セラミック
振動子とは異なり、巾方向の小型化を図ることが可能と
なる。
低周波の共振周波数を持つ圧電セラミック振動子を製造
する場合には、該振動子の厚み（Ｔ）を極端に薄くする
ことなく、その振動子の長さ（Ｌ）を長くすることによ
り対処できるため、該振動子の強度を低下させることが
なく、しかも、該振動子の共振周波数に影響しない巾
（Ｗ）を狭くすることにより、円板状の圧電セラミック
振動子とは異なり、巾方向の小型化を図ることが可能と
なる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、上記した本発明にかかる圧
電セラミック振動子の製造方法の実施の形態につき説明
する。
電セラミック振動子の製造方法の実施の形態につき説明
する。
【００１３】圧電セラミックス材料としては、公知のチ
タン酸バリウム系セラミックス、チタン酸鉛系セラミッ
クス、ＰＺＴ系セラミックス或いは三成分系セラミック
ス等が使用でき、これらのセラミックスを常法によって
成形、焼成、分極して長尺な矩形の圧電セラミックスを
製造する。
タン酸バリウム系セラミックス、チタン酸鉛系セラミッ
クス、ＰＺＴ系セラミックス或いは三成分系セラミック
ス等が使用でき、これらのセラミックスを常法によって
成形、焼成、分極して長尺な矩形の圧電セラミックスを
製造する。
【００１４】得られた上記圧電セラミックスを、該圧電
セラミックスと同程度の長さ及び巾に切断された薄肉の
金属板（シム材）に接着剤を用いて貼り合わせる。この
場合、使用目的に応じて圧電セラミックスをシム材の両
面に貼り合わせるバイモルフ型、或いは圧電セラミック
スをシム材の片面に貼り合わせるユニモルフ型のいずれ
としても良く、また、バイモルフ型の圧電セラミック振
動子とする場合には、貼り合わせる２枚の圧電セラミッ
クスの分極方向をシム材を中心にして対称に貼り合わせ
るシリーズタイプ、或いは圧電セラミックスの分極方向
を同一方向に貼り合わせるパラレルタイプのいずれとし
ても良い。また、使用するシム材料としては、ＳＵＳ31
6 、リン青銅、42アロイ、インバ、スパーインバ或いは
コバール等の通常使用されているシム材料を本発明にお
いても使用でき、また圧電セラミックスとシム材との接
着も、一般の有機系接着剤、例えば嫌気性型紫外線硬化
型変性アクリレート樹脂等を用いて常法によって行えば
良い。
セラミックスと同程度の長さ及び巾に切断された薄肉の
金属板（シム材）に接着剤を用いて貼り合わせる。この
場合、使用目的に応じて圧電セラミックスをシム材の両
面に貼り合わせるバイモルフ型、或いは圧電セラミック
スをシム材の片面に貼り合わせるユニモルフ型のいずれ
としても良く、また、バイモルフ型の圧電セラミック振
動子とする場合には、貼り合わせる２枚の圧電セラミッ
クスの分極方向をシム材を中心にして対称に貼り合わせ
るシリーズタイプ、或いは圧電セラミックスの分極方向
を同一方向に貼り合わせるパラレルタイプのいずれとし
ても良い。また、使用するシム材料としては、ＳＵＳ31
6 、リン青銅、42アロイ、インバ、スパーインバ或いは
コバール等の通常使用されているシム材料を本発明にお
いても使用でき、また圧電セラミックスとシム材との接
着も、一般の有機系接着剤、例えば嫌気性型紫外線硬化
型変性アクリレート樹脂等を用いて常法によって行えば
良い。
【００１５】次に、圧電セラミック振動子に２ヵ所以上
の支持点或いは固定点を設ける。この場合、少なくとも
１ヵ所の支持点或いは固定点は、該圧電セラミック振動
子の長手方向に沿って移動可能なように取り付ける。圧
電セラミック振動子に支持点或いは固定点を設けること
により、該圧電セラミック振動子の自由長は変化し、共
振周波数は高い方向に移行する。移動可能な支持点或い
は固定点の構造としては、例えば塩化ビニール樹脂等の
合成樹脂により成形された部材に、圧電セラミック振動
子を嵌入し得る長孔を穿設し、該長孔に圧電セラミック
振動子を嵌入し、圧電セラミック振動子の長手方向に沿
って該部材がスライドし得る構造とすれば良い。
の支持点或いは固定点を設ける。この場合、少なくとも
１ヵ所の支持点或いは固定点は、該圧電セラミック振動
子の長手方向に沿って移動可能なように取り付ける。圧
電セラミック振動子に支持点或いは固定点を設けること
により、該圧電セラミック振動子の自由長は変化し、共
振周波数は高い方向に移行する。移動可能な支持点或い
は固定点の構造としては、例えば塩化ビニール樹脂等の
合成樹脂により成形された部材に、圧電セラミック振動
子を嵌入し得る長孔を穿設し、該長孔に圧電セラミック
振動子を嵌入し、圧電セラミック振動子の長手方向に沿
って該部材がスライドし得る構造とすれば良い。
【００１６】その後、圧電セラミック振動子に設けた上
記２ヵ所以上の支持点或いは固定点の間隔を、移動可能
な上記支持点或いは固定点を移動させることにより変更
し、圧電セラミック振動子の共振周波数を希望する共振
周波数のものに正確に合わせた後、上記移動可能な支持
点或いは固定点を圧電セラミック振動子に固定する。こ
の場合、インピーダンス フェイズゲイン アナライザ
ー等により圧電セラミック振動子の共振周波数を測定し
ながら、移動可能な上記支持点或いは固定点の固定位置
を個々の圧電セラミック振動子毎に決定することが好ま
しいが、ロット毎、或いは数個毎の抜き取りによって移
動可能な上記支持点或いは固定点の固定位置を決定して
も良い。
記２ヵ所以上の支持点或いは固定点の間隔を、移動可能
な上記支持点或いは固定点を移動させることにより変更
し、圧電セラミック振動子の共振周波数を希望する共振
周波数のものに正確に合わせた後、上記移動可能な支持
点或いは固定点を圧電セラミック振動子に固定する。こ
の場合、インピーダンス フェイズゲイン アナライザ
ー等により圧電セラミック振動子の共振周波数を測定し
ながら、移動可能な上記支持点或いは固定点の固定位置
を個々の圧電セラミック振動子毎に決定することが好ま
しいが、ロット毎、或いは数個毎の抜き取りによって移
動可能な上記支持点或いは固定点の固定位置を決定して
も良い。
【００１７】
【実施例】先ず、ＰＺＴ系セラミックス〔圧電定数（ｄ
31）：−３６０×１０-12 ｍ／ｖ、圧電出力定数
（ｇ31）：−８．７５×１０-3ｖ／Ｎ〕を常法によって
成形、焼成、分極して厚み１８０μｍ、長さ６０ｍｍ、
巾５ｍｍの長尺な矩形の圧電セラミックスを製造した。
得られた上記圧電セラミックスを、スパーインバ（３１
％Ｎｉ＋５％Ｃｏ、残部Ｆｅ）により作製した厚み１０
０μｍ、長さ６５ｍｍ、巾５ｍｍのシム材に接着剤（嫌
気性型紫外線硬化型変性アクリレート樹脂）を用いて貼
り合わせ、総厚５００μｍ、長さ６５ｍｍ、巾５ｍｍ程
度のバイモルフ型でシリーズタイプの圧電セラミック振
動子を作製した。この圧電セラミック振動子の共振周波
数を、無拘束の状態（リード線を利用して宙づり状態）
でインピーダンス フェイズゲイン アナライザー（横
河・ヒューレート・パッカード株式会社製：４１９４
Ａ）によって測定したところ、１２０Ｈｚ程度であっ
た。その後、上記圧電セラミック振動子に、塩化ビニー
ル樹脂により成形された図２に示した形状寸法のノード
固定部品を２個取り付け、該圧電セラミック振動子の長
手方向にスライドし得る２ヵ所の固定点を有する圧電セ
ラミック振動子とした。この圧電セラミック振動子の斜
視図を、図１に示す。
31）：−３６０×１０-12 ｍ／ｖ、圧電出力定数
（ｇ31）：−８．７５×１０-3ｖ／Ｎ〕を常法によって
成形、焼成、分極して厚み１８０μｍ、長さ６０ｍｍ、
巾５ｍｍの長尺な矩形の圧電セラミックスを製造した。
得られた上記圧電セラミックスを、スパーインバ（３１
％Ｎｉ＋５％Ｃｏ、残部Ｆｅ）により作製した厚み１０
０μｍ、長さ６５ｍｍ、巾５ｍｍのシム材に接着剤（嫌
気性型紫外線硬化型変性アクリレート樹脂）を用いて貼
り合わせ、総厚５００μｍ、長さ６５ｍｍ、巾５ｍｍ程
度のバイモルフ型でシリーズタイプの圧電セラミック振
動子を作製した。この圧電セラミック振動子の共振周波
数を、無拘束の状態（リード線を利用して宙づり状態）
でインピーダンス フェイズゲイン アナライザー（横
河・ヒューレート・パッカード株式会社製：４１９４
Ａ）によって測定したところ、１２０Ｈｚ程度であっ
た。その後、上記圧電セラミック振動子に、塩化ビニー
ル樹脂により成形された図２に示した形状寸法のノード
固定部品を２個取り付け、該圧電セラミック振動子の長
手方向にスライドし得る２ヵ所の固定点を有する圧電セ
ラミック振動子とした。この圧電セラミック振動子の斜
視図を、図１に示す。
【００１８】次に、上記圧電セラミック振動子の固定点
の位置、及び間隔を、表１に示すように種々に変更し、
該圧電セラミック振動子の共振周波数の変化を各々測定
した。その測定結果を、表１に併記すると共に、図４〜
図６に図示した。なお表中、固定点Ａとは図３に示した
ように圧電セラミック振動子の左側に設けた移動可能な
固定点を差し、固定点Ｂとは圧電セラミック振動子の右
側に設けた移動可能な固定点を差す。また表中に記載さ
れた各固定点の位置は、圧電セラミック振動子の左端を
基点として計った距離である。さらに共振周波数の測定
は、固定点の位置、及び間隔を種々に変更した圧電セラ
ミック振動子をフェルト（厚み約２ｍｍ）の上に載置
し、インピーダンス フェイズゲイン アナライザー
（横河・ヒューレート・パッカード株式会社製：４１９
４Ａ）によって各々測定した。
の位置、及び間隔を、表１に示すように種々に変更し、
該圧電セラミック振動子の共振周波数の変化を各々測定
した。その測定結果を、表１に併記すると共に、図４〜
図６に図示した。なお表中、固定点Ａとは図３に示した
ように圧電セラミック振動子の左側に設けた移動可能な
固定点を差し、固定点Ｂとは圧電セラミック振動子の右
側に設けた移動可能な固定点を差す。また表中に記載さ
れた各固定点の位置は、圧電セラミック振動子の左端を
基点として計った距離である。さらに共振周波数の測定
は、固定点の位置、及び間隔を種々に変更した圧電セラ
ミック振動子をフェルト（厚み約２ｍｍ）の上に載置
し、インピーダンス フェイズゲイン アナライザー
（横河・ヒューレート・パッカード株式会社製：４１９
４Ａ）によって各々測定した。
【００１９】
【表１】
【００２０】表１より、圧電セラミック振動子の固定点
の位置、及び間隔を変更すると、該圧電セラミック振動
子の共振周波数が変化することが判明する。これによ
り、固定点の位置、及び間隔を変更することにより、希
望する共振周波数を正確に持つ圧電セラミック振動子を
得ることが出来ることが分かる。また表１及び図４〜図
６より、固定点の位置、及び間隔を変更することにより
１２０Ｈｚ程度の共振周波数を持つ圧電セラミック振動
子を、４５０Ｈｚ程度の共振周波数を持つ圧電セラミッ
ク振動子に変更すためには、該圧電セラミック振動子の
長さが４０ｍｍ以上あることが好ましいことが分かる。
の位置、及び間隔を変更すると、該圧電セラミック振動
子の共振周波数が変化することが判明する。これによ
り、固定点の位置、及び間隔を変更することにより、希
望する共振周波数を正確に持つ圧電セラミック振動子を
得ることが出来ることが分かる。また表１及び図４〜図
６より、固定点の位置、及び間隔を変更することにより
１２０Ｈｚ程度の共振周波数を持つ圧電セラミック振動
子を、４５０Ｈｚ程度の共振周波数を持つ圧電セラミッ
ク振動子に変更すためには、該圧電セラミック振動子の
長さが４０ｍｍ以上あることが好ましいことが分かる。
【００２１】上記の方法により、希望する共振周波数
（４５０Ｈｚ）を持つ圧電セラミック振動子を得られた
位置（例えば固定点Ａの位置が基点から２０ｍｍ、固定
点Ｂの位置が基点から５０ｍｍ）で、移動可能な上記固
定点を圧電セラミック振動子に固定し、希望する低周波
の共振周波数を正確に持つ圧電セラミック振動子とし
た。
（４５０Ｈｚ）を持つ圧電セラミック振動子を得られた
位置（例えば固定点Ａの位置が基点から２０ｍｍ、固定
点Ｂの位置が基点から５０ｍｍ）で、移動可能な上記固
定点を圧電セラミック振動子に固定し、希望する低周波
の共振周波数を正確に持つ圧電セラミック振動子とし
た。
【００２２】上記圧電セラミック振動子を、図７に示す
ようにＴ−Ｍ（Tooth Mobility）テスター用プローブの
振動子として使用したところ、４５０Ｈｚ程度の単一周
波数で共振し、繰り返し使用にも十分に耐えられる強度
を有する圧電セラミック振動子であることが判明した。
なお、図７に示したＴ−Ｍ（Tooth Mobility）テスター
は、歯根センシングプローブの歯に対する加重負荷を検
知するために、圧電セラミック振動子の下方にロードセ
ル用プローブ、及びロードセルを配置した構造とした
が、この構造に変えて、歯根センシングプローブを設置
した圧電セラミック振動子の先端付近の上下面に、フィ
ルム状のストレインゲージを接着剤にて貼り付け、該ス
トレインゲージにより加重負荷を検知する構造としても
良い。
ようにＴ−Ｍ（Tooth Mobility）テスター用プローブの
振動子として使用したところ、４５０Ｈｚ程度の単一周
波数で共振し、繰り返し使用にも十分に耐えられる強度
を有する圧電セラミック振動子であることが判明した。
なお、図７に示したＴ−Ｍ（Tooth Mobility）テスター
は、歯根センシングプローブの歯に対する加重負荷を検
知するために、圧電セラミック振動子の下方にロードセ
ル用プローブ、及びロードセルを配置した構造とした
が、この構造に変えて、歯根センシングプローブを設置
した圧電セラミック振動子の先端付近の上下面に、フィ
ルム状のストレインゲージを接着剤にて貼り付け、該ス
トレインゲージにより加重負荷を検知する構造としても
良い。
【００２３】
【発明の効果】以上、説明した本発明にかかる圧電セラ
ミック振動子の製造方法によれば、希望する低周波の共
振周波数を正確に持ち、かつ小型で強度的にも満足でき
る圧電セラミック振動子を、歩留り良く製造することが
可能となる。
ミック振動子の製造方法によれば、希望する低周波の共
振周波数を正確に持ち、かつ小型で強度的にも満足でき
る圧電セラミック振動子を、歩留り良く製造することが
可能となる。
【図１】本発明にかかる圧電セラミック振動子の製造方
法により作製した圧電セラミック振動子の一例を示した
斜視図である。
法により作製した圧電セラミック振動子の一例を示した
斜視図である。
【図２】本発明において使用するノード固定部品の一例
を示した斜視図である。
を示した斜視図である。
【図３】本発明にかかる圧電セラミック振動子の製造方
法により作製した圧電セラミック振動子の一例を概念的
に示した側面図である。
法により作製した圧電セラミック振動子の一例を概念的
に示した側面図である。
【図４】圧電セラミック振動子に設けた固定点の間隔
と、共振周波数との関係を示した図である。
と、共振周波数との関係を示した図である。
【図５】圧電セラミック振動子に設けた固定点の間隔
と、共振周波数との関係を示した図である。
と、共振周波数との関係を示した図である。
【図６】圧電セラミック振動子に設けた固定点の間隔
と、共振周波数との関係を示した図である。
と、共振周波数との関係を示した図である。
【図７】本発明にかかる圧電セラミック振動子の製造方
法により作製した圧電セラミック振動子を、Ｔ−Ｍ（To
oth Mobility）テスター用プローブの振動子として使用
した状態を概念的に示した断面図である。
法により作製した圧電セラミック振動子を、Ｔ−Ｍ（To
oth Mobility）テスター用プローブの振動子として使用
した状態を概念的に示した断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊原 健裕 埼玉県所沢市岩岡町716−７
Claims (3)
- 【請求項１】 先ず支持点或いは固定点を有しない状態
で希望する共振周波数より低い共振周波数を持つ長尺な
矩形の圧電セラミック振動子を製造し、該長尺な矩形の
圧電セラミック振動子に、少なくとも１ヵ所が長手方向
に移動可能な２ヵ所以上の支持点或いは固定点を設け、
該２ヵ所以上の支持点或いは固定点の間隔を、移動可能
な上記支持点或いは固定点を移動させることにより変更
し、希望する共振周波数を持つ圧電セラミック振動子を
製造することを特徴とする、圧電セラミック振動子の製
造方法。 - 【請求項２】 上記長尺な矩形の圧電セラミック振動子
の長さが、４０ｍｍ以上の長さを有する長尺な矩形の圧
電セラミック振動子であることを特徴とする、請求項１
記載の圧電セラミック振動子の製造方法。 - 【請求項３】 上記希望する共振周波数が、７００Ｈｚ
以下の低周波の共振周波数であることを特徴とする、請
求項１又は２記載の圧電セラミック振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23916395A JPH0964674A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 圧電セラミック振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23916395A JPH0964674A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 圧電セラミック振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0964674A true JPH0964674A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=17040674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23916395A Pending JPH0964674A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 圧電セラミック振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0964674A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100472093B1 (ko) * | 2002-08-30 | 2005-03-10 | 주식회사 헬스피아 | 저주파 세라믹 진동자 |
| CN105653042A (zh) * | 2016-02-29 | 2016-06-08 | 东南大学 | 面向多媒体移动终端交互应用的笔式力-触觉再现装置 |
-
1995
- 1995-08-24 JP JP23916395A patent/JPH0964674A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100472093B1 (ko) * | 2002-08-30 | 2005-03-10 | 주식회사 헬스피아 | 저주파 세라믹 진동자 |
| CN105653042A (zh) * | 2016-02-29 | 2016-06-08 | 东南大学 | 面向多媒体移动终端交互应用的笔式力-触觉再现装置 |
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