JPH0967114A - 大粒径のシリカ粒子を含有するシリカゾルの製造方法 - Google Patents

大粒径のシリカ粒子を含有するシリカゾルの製造方法

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JPH0967114A
JPH0967114A JP22309895A JP22309895A JPH0967114A JP H0967114 A JPH0967114 A JP H0967114A JP 22309895 A JP22309895 A JP 22309895A JP 22309895 A JP22309895 A JP 22309895A JP H0967114 A JPH0967114 A JP H0967114A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】均一な粒子径を有し、且つ球状で大粒径のコロ
イダルシリカが液状媒体に分散しているシリカゾルを効
率よく製造する方法を提供する。 【解決手段】本願発明のシリカゾルの製造方法は、
(a)工程:20nm以上の粒子径を有する水性シリカ
ゾルと、ケイ酸アルカリ水溶液及び/又はアルカリ水溶
液を混合して、当該混合液中の全SiO2/M2O(但
し、Mはアルカリ金属を示す)のモル比を10〜100
に調整してヒール液とする工程、(b)工程:6〜10
nmの粒子径、8〜20重量%のSiO2濃度及び2〜
5のpHを有する水性シリカゾルを調整してフィード液
とする工程、及び(c)工程:容器内にヒール液を入
れ、ヒール液を90℃以上に保持しながら、ヒール液に
フィード液を添加してヒール液中のシリカ粒子の粒子径
を成長させるビルドアップ工程、からなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は、大粒径のシリカ
粒子を含有するシリカゾルの製造方法に関する。大粒径
のシリカ粒子を含有するシリカゾルは、一般に粒子径が
20nm以上のコロイダルシリカの分散液であり、紙の
表面処理剤、高分子材料の改質剤、フィルムの表面処理
剤、研磨剤等に用いられているが、半導体材料の研磨
剤、フィルムの表面処理剤には40〜1000nmの粒
子径を有する球状シリカからなるシリカゾルが望まれて
いる。
【0002】
【従来の技術】特公昭46−20137号公報には、珪
酸アルカリの水溶液に90℃以上の温度で水を蒸発除去
しながら活性珪酸の水性コロイド溶液を添加することに
より粒子径30〜60nmのシリカの高濃度水性ゾルを
得る方法が開示されている。特開昭60−251119
号公報には、珪酸アルカリの水溶液に活性珪酸の水性コ
ロイド溶液を添加して40〜120nmのシリカ粒子が
分散媒中に分散されてなるシリカゾルを調製した後、こ
れに酸を添加して熟成し、さらに微細多孔性膜で濃縮す
る方法が開示されている。
【0003】特開昭63−64911号公報には、比較
的小さな粒子径を有するシリカゾルと珪酸アルカリ水溶
液および/またはアルカリ水溶液とを混合して、70℃
以上に保持しながら、酸性珪酸液を添加して粒子径が約
40〜1000nmのシリカ粒子が分散媒中に分散され
てなるシリカゾルを得る方法が開示されている。米国特
許第3440174号明細書あるいは同第358301
5号明細書には、粒子径10nm以上のシリカ粒子を含
むアルカリ性シリカゾルに、平均分子量90000以下
の酸性シリカゾルを添加して45〜100nmあるいは
それ以上の粒子径を有するシリカ粒子を含むシリカゾル
の製造法が開示されている。上記米国特許第34401
74号及び第3583015号明細書に記載の平均分子
量Mが90000以下の酸性シリカゾル中のシリカ粒子
は、シリカの密度ρを2.2g/cm3、Nをアボガド
ロ数、πを円周率とすれば、シリカ粒子径D(nm)
は、D={(6M)/(Nπρ10-6)}1/3 の式に従
って計算され、その平均分子量を粒子径に換算すると5
nm以下となる。
【0004】米国特許第4356107号及び第430
4575号明細書では、少なくとも40nmの粒子径の
粒子が少なくとも50%含有する広い粒度分布を有する
水性シリカゾルを、pH8〜10.5で138〜240
℃の温度で加熱して出発ゾル中の大粒径シリカ粒子を更
に大きなシリカ粒子にするビルドアップ方法が開示され
ている。その具体例として、実施例には60〜80nm
と10〜20nmの分布を持ったシリカゾルを、138
℃、pH8.2で5時間加熱して、60〜110nm、
30nm及び10〜20nmの粒度分布を持ったシリカ
ゾルが得られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】特公昭46−2013
7号公報に記載の方法で得られるシリカゾル中のシリカ
粒子は、非球状であり粒子径も不揃いである為に好まし
くない。特公昭60−251119号公報、特開昭63
−64911号公報又は米国特許第3440174号明
細書、第3583015号明細書に記載の方法では、添
加に用いるシリカ源として活性ケイ酸の水性コロイド溶
液を使用しており、SiO2濃度が7重量%以下である
ため、ビルドアップされた大粒子径シリカゾルを高濃度
化するためには多大のエネルギーを必要とするので高濃
度に濃縮されたシリカゾルを得ようとする場合は好まし
くない。
【0006】米国特許第4356107号及び第430
4575号明細書に記載の方法では、大きな粒子上に付
着してその大きな粒子を更にビルドアップさせるために
混在させる小さな粒子が10〜20nmであるが、この
様に10nm以上の粒子を用いると二次核(新たな核)
が発生しやすくなるために得られるゾルの粒子径が不揃
いになり好ましくない。また、この方法では、大きな粒
子に小さな粒子を全量混合させるために、小さな粒子同
士の融着や混合液のゲル化が起こりやすい。
【0007】本願発明は、上記問題点を解決して粒子径
が40〜1000nmであって、均一な粒子径を有し、
且つ球状で大粒子径のコロイダルシリカが液状媒体に分
散しているシリカゾルを効率よく製造できる改良された
方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願発明は、下記(a)
工程、(b)工程及び(c)工程; (a):20nm以上の粒子径を有する水性シリカゾル
と、ケイ酸アルカリ水溶液及び/又はアルカリ水溶液を
混合して、当該混合液中の全SiO2/M2O(但し、M
はアルカリ金属を示す)のモル比を10〜100に調整
してヒール液とする工程、 (b):6〜10nmの粒子径、8〜20重量%のSi
O2濃度及び2〜5のpHを有する水性シリカゾルを調
整してフィード液とする工程、及び (c):容器内にヒール液を入れ、ヒール液を90℃以
上に保持しながら、ヒール液にフィード液を添加してヒ
ール液中のシリカ粒子の粒子径を成長させるビルドアッ
プ工程、からなるシリカゾルの製造方法である。
【0009】本願発明の(a)工程に用いられる20n
m(ナノメートル)以上の粒子径を有する水性シリカゾ
ルは、本願発明の方法の中ではヒール液として用いられ
る。この水性シリカゾルは、公知の方法で得られる水性
シリカゾルを用いることが出来る。例えば、ケイ酸アル
カリ水溶液を酸で中和したり、イオン交換樹脂で脱陽イ
オン処理して得られた活性ケイ酸を加熱熟成する方法
や、ケイ酸エステルを加水分解する方法で得られる。ま
た、特開昭58−110417号公報では、活性な酸性
シリカゾル水溶液を70℃以上のアルカリ水溶液に、添
加速度が1分間あたり酸性シリカゾル水溶液中のシリカ
ゾル(SiO2換算)とアルカリ水溶液中のアルカリ
(M2O換算:Mはアルカリ金属又はアンモニウム)の
モル比(SiO2/M2O)が10以下となるように加え
て安定なシリカゾル水溶液を得るに際して、酸性シリカ
ゾル水溶液の添加をアルカリ金属の可溶性塩40〜10
00ppmの存在下で行う方法が記載されているが、こ
の方法で得られたシリカゾルは本願発明の(a)工程で
使用する20nm以上の粒子径を有する水性シリカゾル
として好ましく用いることが出来る。
【0010】本願発明においては、ヒール液に用いる2
0nm以上の粒子径を有する水性シリカゾルは、本願発
明によって得られたシリカゾルをヒール液の原料として
用いることもできる。例えば、20nmの粒子径を有す
るシリカゾルを出発原料として100nmの粒子径を有
するシリカゾルを得た後、これを出発原料として数百n
mの更に大きな粒子径を有するシリカゾルを得るという
様に、順次繰り返して大粒子径のシリカ粒子を含有する
シリカゾルを得ることが出来る。
【0011】上記の(a)工程に用いられる20nm以
上の粒子径を有する水性シリカゾルに、ケイ酸アルカリ
水溶液及び/又はアルカリ水溶液を混合して、当該混合
液中の全SiO2/M2O(但し、Mはアルカリ金属を示
す)のモル比を10〜100に調整してヒール液を得る
ことが好ましい。上記の全SiO2/M2Oモル比が10
未満ではヒール液中の粒子同士が凝集したり、粒子成長
の途中で凝集したりするので、得られるシリカゾル中の
シリカ粒子の粒子径分布が広くなったり、非球状のシリ
カ粒子が生成するので好ましくない。また、上記の全S
iO2/M2Oモル比が100を越えるとフィードとして
添加した粒子径6〜10nmのコロイダルシリカ粒子の
溶解が充分に行われず、新たな核となるため、得られた
シリカゾル中のシリカ粒子の粒子径分布が広くなるので
好ましくない。
【0012】上記のモル比調整に使用するケイ酸アルカ
リは、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、ケイ酸リチ
ウムが挙げられるが、ケイ酸ナトリウムが好ましい。こ
のケイ酸ナトリウムは、SiO2/Na2Oモル比が1.
0〜4.0の範囲で使用することが出来る。上記のケイ
酸アルカリは水溶液として(a)工程の水性シリカゾル
中に添加することが好ましい。このケイ酸アルカリ水溶
液はSiO2濃度が1〜28重量%濃度で使用すること
が出来る。
【0013】また、上記のモル比調整に使用するアルカ
リ水溶液は、アルカリ金属水酸化物の水溶液を用いるこ
とが好ましい。このアルカリ金属水酸化物は、水酸化ナ
トリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウムが挙げられ
るが、水酸化ナトリウムが好ましい。このアルカリ金属
水酸化物の水溶液は、1〜20重量%濃度で使用するこ
とが好ましい。
【0014】また、全SiO2/M2Oモル比が10〜1
00の範囲に調整された後の全SiO2濃度は、3〜6
0重量%、好ましくは8〜40重量%の範囲に有ること
が好ましい。全SiO2濃度が3重量%未満では得られ
るシリカゾル中のSiO2濃度が低く、濃縮に多大のエ
ネルギーを必要とする。一方、60重量%を越えるとシ
リカ粒子の凝集が起こりやすくなり、非球状の粒子が生
成しやすくなるので好ましくない。
【0015】本願発明の(b)工程で調整する水性シリ
カゾルは、6〜10nmの粒子径、8〜20重量%、好
ましくは10〜20重量%のSiO2濃度及び2〜5の
pHを有する。この様に調整された水性シリカゾルは、
本願発明ではフィード液として用いる事が出来る。
(b)工程で調整される水性シリカゾルは、公知の方法
で製造された粒子径6〜10nmのアルカリ性水性シリ
カゾルを水素型陽イオン交換樹脂と接触させて得ること
が出来る。この粒子径6〜10nmのアルカリ性水性シ
リカゾルは、例えば、米国特許第3711419号明細
書には、SiO2濃度1〜7重量%のアルカリ金属ケイ
酸塩水溶液に、粒子径2nm以下でSiO2濃度2〜1
4重量%の酸性シリカゾルを25〜35℃、25〜50
℃及び70〜100℃で分割添加して、水を蒸発させる
ことにより、粒子径5〜10nm、SiO2濃度が19
〜36重量%のアルカリ性水性シリカゾルを得る方法が
開示されている。また、特開昭58−110416号公
報には、活性な酸性シリカゾル水溶液から安定なシリカ
ゾル水溶液を製造するに際し、該酸性シリカゾル水溶液
を水酸基型陰イオン交換樹脂に通し、活性な中性シリカ
ゾル水溶液を作り、この中性シリカゾル水溶液をあらか
じめ70℃以上の温度に調整されているアルカリ水溶液
中に1分間当たり、該中性シリカゾル水溶液中のSiO
2とアルカリ水溶液中のR2O(Rはアルカリ金属又はア
ンモニウム)とのモル比SiO2/R2Oが10以下とな
る添加速度で連続的に添加し、限外濾過により濃縮して
シリカゾル水溶液を製造する方法が開示されている。こ
れらの方法により製造された粒子径6〜10nmのアル
カリ性水性シリカゾルは、8〜20重量%のSiO2濃
度に調整した後、水素型陽イオン交換樹脂と接触させて
pH2〜5に調整して、(b)工程のフィード液とする
ことが出来る。
【0016】本願発明では、ヒール液を得る(a)工程
とフィード液を得る(b)工程は如何なる順序で行うこ
とも可能である。即ち、(a)工程、(b)工程、及び
(c)工程の順で行う場合と、(b)工程、(a)工
程、及び(c)工程の順で行う場合の2つの方法が挙げ
られる。本願発明の(c)工程は、容器内に入れたヒー
ル液を90℃以上に保持しながら、ヒール液にフィード
液を添加してヒール液中のシリカ粒子の粒子径を成長さ
せるビルドアップ工程である。(c)工程でのヒール液
の温度は90℃以上、好ましくは100℃〜250℃と
することが出来る。添加するフィード液は、加熱して添
加することも可能であるが、常温で添加する事が好まし
い。このフィード液を添加する時間は、1〜24時間で
行うことが好ましい。
【0017】(c)工程では、ヒール液とフィード液を
混合した液体から発生する水蒸気を蒸発させないように
完全に密封された容器内で還流下に反応させる方法を行
うことが出来る。しかし、ヒール液中の粒子の成長と得
られるシリカゾルの濃縮を同時に行って効率的に製造す
るために、容器から水蒸気を除去する操作を加える事が
好ましい。この濃縮操作では、容器内の液体の容積が一
定となる様にフィード液の添加と水蒸気の除去を行うこ
とが好ましい。
【0018】容器内の液体から水蒸気を除去する操作を
行う場合は、添加するフィード液と同じ体積の水を除去
するように、容器には容器内の液体の温度を保持しつ
つ、水蒸気の蒸発が可能なリーク弁が取り付けられた加
圧容器を用いることが好ましい。この時、添加するフィ
ード液と同じ体積の水を容器から水蒸気として除去する
ことが好ましい。
【0019】(c)工程ではフィード液の添加が終了し
た後、90℃以上、好ましくは100℃〜250℃の温
度で1〜24時間保持させることが出来る。この保持す
る間は、容器内の液体から発生する水蒸気を蒸発させな
いように還流下に行うことも、容器内の液体から水蒸気
を除去して行うこともできる。(c)工程で得られたシ
リカゾルは、限外濾過法や蒸発法により更に濃縮させる
こともできる。
【0020】上記の(c)工程では、フィード液中のシ
リカ粒子はヒール液に添加されるとアルカリ成分によっ
て溶解し、ヒール液中のシリカ粒子の表面に均一に沈積
してヒール液中のシリカ粒子の粒子径を増大させる。本
願発明では、ヒール液の全SiO2/M2Oモル比が10
〜100の範囲では、添加するフィード液のpHは2〜
5が好ましい。このフィード液のpHが5を越え中性付
近のpHに近づくとフィード液自体の安定性が低下し、
更にフィード液がアルカリ性になるとこのフィード液の
添加によりヒール液の全SiO2/M2Oモル比が低下し
て、粒子同士の融着が起こり得られる粒子の形状が非球
状になるので好ましくない。また、フィード液のpHは
2未満とすることも可能であるが、やはりフィード液と
しての安定性が低下するので好ましくない。
【0021】本願発明では、フィード液中のシリカ粒子
の粒子径が10nmを越えると、ヒール液中で二次核
(新たな核)となり、この10nmを越えた粒子上で粒
子成長が起こるので得られるシリカゾルの粒子径分布が
広くなり好ましくない。また、フィード液のpHが2〜
5の時は、フィード液中のシリカ粒子の粒子径は6nm
未満ではSiO2濃度を7重量%以上に高くすることが
出来ないので、濃縮に多くのエネルギーを要する為に好
ましくない。
【0022】本願発明によって得られるシリカゾルは、
pHが9〜12であり、粒子径は40〜1000nm、
SiO2濃度は3〜60である。本願発明では粒子径
は、透過型電子顕微鏡写真の画像解析法や、遠心沈降法
粒子径測定装置により測定することが出来る。
【0023】
【発明の実施の形態】本願発明の方法では、SiO2/
M2Oモル比を10〜100に調整した20nm以上の
粒子径を有する水性シリカゾルをヒール液として90℃
以上に加熱して、このヒール液にpH2〜5で粒子径6
〜10nmのフィード液を添加して、ヒール液中のシリ
カ粒子を粒子成長させるものである。この時にヒール液
中のシリカ粒子の粒子成長と同時に水蒸気を蒸発させて
濃縮させることにより、高濃度に濃縮された大粒径のシ
リカ粒子を含有する水性シリカゾルを得ることが出来
る。
【0024】本願発明では、粒子成長と濃縮を同時に行
ってその得られる大粒子径のシリカ粒子は球状であり、
二次核の発生がないので得られるシリカゾルは均一な粒
子径を有する。更に、原料となるヒール液とフィード液
は共に濃度の高いシリカゾルを使用するために大がかり
なタンクを必要とせず、コンパクトな装置によって大粒
径のシリカ粒子を含有するシリカゾルを効率的に製造す
ることが可能であり、商業的な規模での生産に適する。
【0025】以下の実施例に具体例を詳述する。しか
し、本願発明は以下の実施例に限定されるものではな
い。
【0026】
【実施例】
実施例1 平均粒子径45nm、SiO2濃度40.0重量%、N
a2O濃度0.37重量%のシリカゾル187gに水2
273g、JIS3号ケイ酸ナトリウム水溶液(SiO
2 濃度28.8重量%、Na2O濃度9.47重量%)
40gを加えて2500gとし、SiO2 濃度3.5重
量%、Na2O濃度0.18重量%、全SiO2 /Na2
Oモル比20のヒール液を調製した。
【0027】別途、平均粒子径6nmのアルカリ性水性
シリカゾル(日産化学工業株式会社製、商品名スノーテ
ックスXS、SiO2 濃度20.6重量%、Na2O濃
度0.4重量%、pH9.1)3622gに水3838
gを混合してSiO2 濃度を10.0重量%とした後、
水素型陽イオン交換樹脂アンバーライトIR−120B
で陽イオン交換処理することにより、平均粒子径6n
m、SiO2 濃度10.0重量%、Na2O濃度0.0
1重量%、pH2.5の酸性水性シリカゾル7460g
を得た。
【0028】撹拌機、導管及びリーク弁を備えた内容積
3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液
2500gを仕込み、100℃に加熱し、充分な撹拌下
に、上記酸性水性シリカゾル7460gを12時間かけ
て添加すると同時にヒール液の液面が常に一定になるよ
うにリーク弁から水蒸気を外部へ留出させた。上記酸性
水性シリカゾルの添加終了後、リーク弁を閉じて水蒸気
の留出を停止した後、100℃でさらに2時間加熱を続
けた。得られたシリカゾルは、SiO2 濃度32.1重
量%、Na2O濃度0.20重量%、全SiO2 /Na2
Oモル比164、pH9.9、粘度2.5mPa・sで
あり、このシリカゾルの平均粒子径を遠心沈降法粒子径
測定装置((株)堀場製作所製、商品名CAPA−70
0)を用いて測定したところ、100nmであった。ま
た透過型電子顕微鏡写真の画像解析を行ったところ、平
均粒子径は100nmであった。さらに安定性について
試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室
温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定
なシリカゾルであった。
【0029】実施例2 実施例1で得られた平均粒子径100nm、SiO2 濃
度32.1重量%、Na2O濃度0.20重量%のシリ
カゾル273gに水2179g、JIS3号珪酸ナトリ
ウム水溶液48gを加えて2500gとし、SiO2 濃
度4.1重量%、Na2O濃度0.20重量%、全Si
O2 /Na2Oモル比21のヒール液を調製した。
【0030】撹拌機、導管及びリーク弁を備えた内容積
3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液
2500g仕込み、140℃に加熱し、充分な撹拌下に
実施例1で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル(平
均粒子径6nm、SiO2 濃度10.0重量%、Na2
O濃度0.01重量%、pH2.5)8454gを16
時間かけて添加すると同時にヒール液の液面が常に一定
になるようにリーク弁から水蒸気を外部へ留出させた。
上記酸性水性シリカゾルの添加終了後、リーク弁を閉じ
て水蒸気の留出を停止した後、140℃でさらに2時間
加熱を続けた。得られたシリカゾルはSiO2 濃度3
7.4重量%、Na2O濃度0.23重量%、全SiO2
/Na2Oモル比165、pH10.2、粘度2.7m
Pa・s、遠心沈降法による粒子径221nmであっ
た。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ
月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化
がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0031】実施例3 実施例2で得られた平均粒子径221nm、SiO2 濃
度37.4重量%、Na2O濃度0.23重量%のシリ
カゾル614gに水1849g、JIS3号ケイ酸ナト
リウム水溶液37gを加えて2500gとし、SiO2
濃度9.6重量%、Na2O濃度0.20重量%、全S
iO2 /Na2Oモル比52のヒール液を調製した。
【0032】別途、平均粒子径9nmのアルカリ性水性
シリカゾル(日産化学工業株式会社製、商品名スノーテ
ックスS、SiO2 濃度30.4重量%、Na2O濃度
0.4重量%、pH9.7)2033gに水2086g
を混合してSiO2 濃度を15.0重量%とした後、水
素型陽イオン交換樹脂アンバーライトIR−120Bで
陽イオン交換処理することにより、平均粒子径9nm、
SiO2 濃度15.1重量%、Na2O濃度0.01重
量%、pH2.4の酸性水性シリカゾル4119gを得
た。
【0033】撹拌機、導管及びリーク弁を備えた内容積
3リットルのステンレス製容器内に上記ヒール液250
0gを仕込み、110℃に加熱して、充分な撹拌下に上
記酸性水性シリカゾル4119gを5時間かけて添加す
ると同時にヒール液の液面が常に一定になるようにリー
ク弁から水蒸気を外部へ留出させた。上記酸性水性シリ
カゾルの添加終了後、リーク弁を閉じて水蒸気の留出を
停止した後、110℃でさらに2時間加熱を続けた。得
られたシリカゾルは、SiO2 濃度33.7重量%、N
a2O濃度0.21重量%、全SiO2 /Na2Oモル比
166、pH10.4、粘度2.3mPa・s、遠心沈
降法による粒子径343nmであった。さらに安定性に
ついて試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、ま
た、室温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められ
ず安定なシリカゾルであった。
【0034】実施例4 実施例3で得られた平均粒子径343nm、SiO2濃
度33.7重量%、Na2O濃度0.21重量%のシリ
カゾル1484gに水988g、JIS3号ケイ酸ナト
リウム水溶液28gを加えて2500gとし、SiO2
濃度23.2重量%、Na2O濃度0.23重量%、全
SiO2 /Na2Oモル比91のヒール液を調製した。
【0035】撹拌機、導管及びリーク弁を備えた内容積
3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液
2500gを仕込み、140℃に加熱し、充分な撹拌下
に実施例3で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル
(平均粒子径9nm、SiO2濃度15.1重量%、N
a2O濃度0.01重量%、pH2.4)2277gを
4時間かけて添加すると同時にヒール液の液面が常に一
定になるようにリーク弁から水蒸気を外部へ留出させ
た。上記酸性水性シリカゾルの添加終了後、リーク弁を
閉じて水蒸気の留出を停止した後、140℃で2時間加
熱を続けた。得られたシリカゾルは、SiO2 濃度3
3.7重量%、Na2O濃度0.24重量%、全SiO2
/Na2Oモル比146、pH10.9、粘度3.0m
Pa・s、遠心沈降法による粒子径409nmであっ
た。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ
月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化
がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0036】実施例5 実施例4で得られた平均粒子径409nm、SiO2 濃
度33.7重量%、Na2O濃度0.24重量%のシリ
カゾル297gに水2183g、JIS3号ケイ酸ナト
リウム水溶液20gを加えて2500gとし、SiO2
濃度4.2重量%、Na2O濃度0.10重量%、全S
iO2 /Na2Oモル比42のヒール液を調製した。
【0037】撹拌機、導管及びリーク弁を備えた内容積
3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液
2500gを仕込み、170℃に加熱し、充分な撹拌下
に、実施例3で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル
(平均粒子径9nm、SiO 2 濃度15.1重量%、N
a2O濃度0.01重量%、pH2.4)3444gを
6時間かけて添加すると同時にヒール液の液面が常に一
定になるようにリーク弁から水蒸気を外部へ留出させ
た。続いてリーク弁を閉じて水蒸気の留出を停止した
後、170℃で1時間加熱を続けた。得られたシリカゾ
ルは、SiO2 濃度24.5重量%、Na2O濃度0.
12重量%、全SiO2 /Na2Oモル比211、pH
10.2、粘度1.9mPa・s、遠心沈降法による粒
子径752nmであった。さらに安定性について試験し
たところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1
年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリ
カゾルであった。
【0038】実施例6 実施例5において得られた平均粒子径752nm、Si
O2 濃度24.5重量%、Na2O濃度0.12重量%
のシリカゾル2000gに10重量%のNaOH水溶液
36gを添加して2036gとし、SiO2 濃度24.
1重量%、Na 2O濃度0.25重量%、全SiO2 /
Na2Oモル比98のヒール液を調製した。
【0039】撹拌機、導管、及びリーク弁を備えた内容
積3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール
液2036gを仕込み、140℃に加熱し、充分な撹拌
下に、実施例1で用いたものと同様の酸性水性シリカゾ
ル(平均粒子径6nm、SiO2 濃度10.0重量%、
Na2O濃度0.01重量%、pH2.5)5950g
を11時間かけて添加すると同時にヒール液の液面が常
に一定になるようにリーク弁から水蒸気を外部へ留出さ
せた。続いてリーク弁を閉じて水蒸気の留出を停止した
後、170℃で1時間加熱を続けた。得られたシリカゾ
ルは、SiO2濃度43.4重量%、Na2O濃度0.2
3重量%、全SiO2 /Na2Oモル比194、pH1
0.9、粘度2.2mPa・s、遠心沈降法による粒子
径980nmであった。さらに安定性について試験した
ところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年
間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカ
ゾルであった。
【0040】実施例7 実施例1で用いたものと同様の、平均粒子径45nm、
SiO2濃度40.0重量%、Na2O濃度0.37重量
%のシリカゾル61gに水246g、JIS3号ケイ酸
ナトリウム水溶液13gを加えて320gとし、SiO
2 濃度8.8重量%、Na2O濃度0.46重量%、全
SiO2 /Na2Oモル比が20のヒール液を調製し
た。
【0041】撹拌機、導管を備えた内容積3リットルの
ステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液320gを仕
込み、100℃に加熱し、水蒸気を反応容器外に留出さ
せることなく、充分な撹拌下に、実施例1で用いたもの
と同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径6nm、Si
O2 濃度10.0重量%、Na2O濃度0.01重量
%、pH2.5)2431gを4時間かけて添加したの
ち、100℃で2時間加熱を続けた。得られたシリカゾ
ルは、SiO2 濃度9.9重量%、Na2O濃度0.0
6重量%、全SiO2 /Na2Oモル比165、pH1
9.7、粘度1.7mPa・s、遠心沈降法による粒子
径100nmであった。このシリカゾルを限外濾過装置
にて室温でSiO2 濃度40重量%になるまで濃縮し
た。得られた高濃度のシリカゾルは測定の結果、SiO
2 濃度40.3重量%、Na2O濃度0.21重量%、
全SiO2 /Na2Oモル比198、pH9.6、粘度
2.4mPa・s、遠心沈降法による粒子径100nm
であった。さらに安定性について試験したところ、60
℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度
の変化がまったく認められず安定なシリカゾルであっ
た。
【0042】実施例8 実施例3で得られた平均粒子径343nm、SiO2濃
度33.7重量%、Na2O濃度0.21重量%のシリ
カゾル979gに、JIS3号ケイ酸ナトリウム水溶液
18gを加えて997gとし、SiO2 濃度33.6重
量%、Na2O濃度0.37重量%、全SiO2 /Na2
Oモル比93のヒール液を調製した。
【0043】撹拌機、導管を備えた内容積3リットルの
ステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液997gを仕
込み、140℃に加熱し、水蒸気を反応容器外に留出さ
せることなく、充分な撹拌下に、実施例3で用いたもの
と同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径9nm、Si
O2 濃度15.1重量%、Na2O濃度0.01重量
%、pH2.4)1502gを3時間かけて添加したの
ち、140℃で1時間加熱を続けた。得られたシリカゾ
ルは、SiO2 濃度22.4重量%、Na2O濃度0.
16重量%、全SiO2 /Na2Oモル比147、pH
10.7、粘度1.5mPa・s、遠心沈降法による粒
子径409nmであった。このシリカゾルを限外濾過装
置にて室温でSiO2 濃度45重量%になるまで濃縮し
た。得られた高濃度のシリカゾルは測定の結果、 Si
O2 濃度45.5重量%、Na2O濃度0.28重量
%、全SiO2 /Na2Oモル比168、pH10.
6、粘度2.6mPa・s、遠心沈降法による粒子径4
09nmであった。さらに安定性について試験したとこ
ろ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後
にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾル
であった。
【0044】実施例9 実施例5において得られた平均粒子径752nm、Si
O2 濃度24.5重量%、Na2O濃度0.12重量%
のシリカゾル626gに10重量%のNaOH水溶液1
1gを添加して637gとし、SiO2 濃度24.1重
量%、Na2O濃度0.25重量%、全SiO2 /Na2
Oモル比99のヒール液を調製した。
【0045】撹拌機、導管を備えた内容積3リットルの
ステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液2036gを
仕込み、140℃に加熱し、水蒸気を反応容器外に留出
させることなく、充分な撹拌下に、実施例1で用いたも
のと同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径6nm、S
iO2 濃度10.0重量%、Na2O濃度0.01重量
%、pH2.5)1863gを3時間かけて添加したの
ち、140℃で1時間加熱を続けた。得られたシリカゾ
ルは、SiO2 濃度13.6重量%、Na2O濃度0.
07重量%、全SiO2 /Na2Oモル比196、pH
10.8、粘度1.6mPa・s、遠心沈降法による粒
子径980nmであった。このシリカゾルを限外濾過装
置にて室温でSiO2 濃度55重量%になるまで濃縮し
た。得られた高濃度のシリカゾルは測定の結果、 Si
O2 濃度55.6重量%、Na2O濃度0.24重量
%、全SiO2 /Na2Oモル比239、pH10.
6、粘度3.1mPa・s、遠心沈降法による粒子径9
80nmであった。さらに安定性について試験したとこ
ろ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後
にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾル
であった。
【0046】比較例1 平均粒子径45nm、SiO2濃度40.0重量%、N
a2O濃度0.37重量%のシリカゾル61gに水24
6g、JIS3号ケイ酸ナトリウム水溶液13gを加え
て320gとし、SiO2 濃度8.8重量%、Na2O
濃度0.46重量%、全SiO2 /Na2Oモル比が2
0のヒール液を調製した。
【0047】撹拌機、導管を備えた内容積3リットルの
ステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液320gを仕
込み、80℃に加熱し、水蒸気を反応容器外に留出させ
ることなく、充分な撹拌下に、実施例1で用いたものと
同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径6nm、SiO
2 濃度10.0重量%、Na2O濃度0.01重量%、
pH2.5)2431gを4時間かけて添加したのち、
100℃で2時間加熱を続けた。得られたシリカゾル
は、含有するシリカ粒子の粒子径が不均一であり、平均
粒子径、粒子径分布の測定が不可能であった。
【0048】比較例2 ヒール液の全SiO2 /Na2Oモル比を8とした以外
は実施例2と同一条件で反応を行った。得られたシリカ
ゾルは、粒子同士が融着していびつな形状の粒子が多く
生成したため、粒子径が不均一であり、平均粒子径、粒
子径分布の測定が不可能であった。
【0049】比較例3 ヒール液の全SiO2 /Na2Oモル比を168とした
以外は実施例4と同一条件で反応を行った。得られたシ
リカゾルは、含有するシリカ粒子の粒径が不均一であ
り、平均粒径、粒子径分布の測定が不可能であった。 比較例4 ヒール液に添加する酸性水性シリカゾルの平均粒子径が
12nmである以外は実施例6と同一条件で反応を行っ
た。得られたシリカゾルは、含有するシリカ粒子の粒径
が不均一であり、平均粒径、粒子径分布の測定が不可能
であった。
【0050】
【発明の効果】本願発明は、SiO2/M2Oモル比を1
0〜100に調整した20nm以上の粒子径を有する水
性シリカゾルをヒール液として90℃以上に加熱して、
このヒール液にpH2〜5で粒子径6〜10nmの水性
シリカゾルをフィード液として添加して、ヒール液中の
シリカ粒子を粒子成長させるものである。この時にヒー
ル液中のシリカ粒子の粒子成長と同時に水蒸気を蒸発さ
せて濃縮させることにより、高濃度に濃縮された大粒径
のシリカ粒子を含有する水性シリカゾルを得ることが出
来る。
【0051】本願発明では、粒子成長と濃縮を同時に行
って得られる大粒子径のシリカ粒子は球状であり、二次
核の発生がないので得られるシリカゾルは均一な粒子径
を有する。更に、原料となるヒール液とフィード液は共
に安定な濃度の高いシリカゾルを使用するために大がか
りなタンクを必要とせず、コンパクトな装置によって簡
単に大粒径のシリカ粒子を含有するシリカゾルを製造す
ることが可能であり、商業的な規模での生産に適する。
また、本願発明は、ヒール液にフィード液を予め全量添
加しておく方法ではなく、ヒール液中にフィード液を徐
々に添加する方法である為に、添加されたフィード液中
の粒子同士の凝集や融着がないので得られるシリカゾル
は均一な粒子径を有する。
【0052】本願発明の方法で得られたシリカゾルは、
球状で粒子径分布が狭いのでこれらの特性により、紙の
表面処理、フイルムへの添加や半導体ウエハーの研磨、
触媒等の分野で使用することが出来る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横山 卓史 千葉県船橋市坪井町722番地1 日産化学 工業株式会社中央研究所内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下記(a)工程、(b)工程及び(c)
    工程; (a):20nm以上の粒子径を有する水性シリカゾル
    と、ケイ酸アルカリ水溶液及び/又はアルカリ水溶液を
    混合して、当該混合液中の全SiO2/M2O(但し、M
    はアルカリ金属を示す)のモル比を10〜100に調整
    してヒール液とする工程、 (b):6〜10nmの粒子径、8〜20重量%のSi
    O2濃度及び2〜5のpHを有する水性シリカゾルを調
    整してフィード液とする工程、及び (c):容器内にヒール液を入れ、ヒール液を90℃以
    上に保持しながら、ヒール液にフィード液を添加してヒ
    ール液中のシリカ粒子の粒子径を成長させるビルドアッ
    プ工程、からなるシリカゾルの製造方法。
  2. 【請求項2】 (c)工程で容器から水蒸気を除去する
    操作を加える事を特徴とする請求項1に記載のシリカゾ
    ルの製造方法。
  3. 【請求項3】 (c)工程で容器から水蒸気を除去し、
    且つ容器内の液体の容積が一定となる事を特徴とする請
    求項1又は請求項2に記載のシリカゾルの製造方法。
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JP2023139490A (ja) * 2022-03-22 2023-10-04 日揮触媒化成株式会社 シリカ系粒子分散液、それを含む磁気ディスク基板研磨用研磨スラリー、それを含む磁気ディスク基板研磨用組成物およびシリカ系粒子群の製造方法

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JP2023139490A (ja) * 2022-03-22 2023-10-04 日揮触媒化成株式会社 シリカ系粒子分散液、それを含む磁気ディスク基板研磨用研磨スラリー、それを含む磁気ディスク基板研磨用組成物およびシリカ系粒子群の製造方法

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