JPH0969724A - 広周波数帯域高温超電導体ミキサーアンテナ - Google Patents
広周波数帯域高温超電導体ミキサーアンテナInfo
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- JPH0969724A JPH0969724A JP7225035A JP22503595A JPH0969724A JP H0969724 A JPH0969724 A JP H0969724A JP 7225035 A JP7225035 A JP 7225035A JP 22503595 A JP22503595 A JP 22503595A JP H0969724 A JPH0969724 A JP H0969724A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
- H01Q1/00—Details of, or arrangements associated with, antennas
- H01Q1/12—Supports; Mounting means
- H01Q1/22—Supports; Mounting means by structural association with other equipment or articles
- H01Q1/24—Supports; Mounting means by structural association with other equipment or articles with receiving set
- H01Q1/247—Supports; Mounting means by structural association with other equipment or articles with receiving set with frequency mixer, e.g. for direct satellite reception or Doppler radar
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- H01Q1/36—Structural form of radiating elements, e.g. cone, spiral, umbrella; Particular materials used therewith
- H01Q1/364—Structural form of radiating elements, e.g. cone, spiral, umbrella; Particular materials used therewith using a particular conducting material, e.g. superconductor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Remote Sensing (AREA)
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- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Variable-Direction Aerials And Aerial Arrays (AREA)
- Superheterodyne Receivers (AREA)
- Input Circuits Of Receivers And Coupling Of Receivers And Audio Equipment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高周波領域で抵抗損失が増大する超電導体フ
ィードラインを低周波数領域で使用できるようにし、実
質的に低損失で利用し、超電導体フィードラインの持つ
高集積性を生かした高集積アレイアンテナの特性を維持
したまま、ミリ波以上の周波数で２倍以上の帯域を持つ
ミキサーとを同一構造で提供し、高機能化を可能にす
る。 【解決手段】 基板主面の同一表面上に例えば一つ又は
複数の対数周期型又は対数スパイラル型の平面構造アン
テナパターンと複数の酸化物超電導体薄膜フィードライ
ン配線パターンが形成され、かつ、その平面構造アンテ
ナパターンの中央部が酸化物超電導体薄膜からなり、そ
こに、非線形素子部分を設けていることを特徴とする。
ィードラインを低周波数領域で使用できるようにし、実
質的に低損失で利用し、超電導体フィードラインの持つ
高集積性を生かした高集積アレイアンテナの特性を維持
したまま、ミリ波以上の周波数で２倍以上の帯域を持つ
ミキサーとを同一構造で提供し、高機能化を可能にす
る。 【解決手段】 基板主面の同一表面上に例えば一つ又は
複数の対数周期型又は対数スパイラル型の平面構造アン
テナパターンと複数の酸化物超電導体薄膜フィードライ
ン配線パターンが形成され、かつ、その平面構造アンテ
ナパターンの中央部が酸化物超電導体薄膜からなり、そ
こに、非線形素子部分を設けていることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、液体窒素温度以下
で動作する非線形素子をアンテナの要素単位に設け２倍
以上の広帯域周波数領域において周波数変換機能（ミキ
サー）を持ったミキサーアンテナに関するものである。
で動作する非線形素子をアンテナの要素単位に設け２倍
以上の広帯域周波数領域において周波数変換機能（ミキ
サー）を持ったミキサーアンテナに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】超電導体の電子デバイスへの応用を図る
上で超電導体の低抵抗性を利用する技術は重要である。
直流抵抗は零で常伝導体と比べ低抵抗な超電導体でも、
その高周波抵抗は常伝導体と比較し必ずしも有利ではな
い。なぜなら、超電導体の高周波抵抗は周波数の２乗で
増大し常伝導体の高周波抵抗は２分の１乗でしか増大し
ないからである。高周波、特に数十ＧＨｚ以上の周波数
領域では超電導体伝送線路の抵抗が大きくなり、回路上
の工夫が必要になる（ピールら（H.Piel, H.Chaloupka
and G.Muller）、超電導シンポジウム・プロシージング
（Proceeding ofthe 4th International Symposium on
Superconductivity(ISS'91), October 1991 Tokyo) p.9
25）。パッチアレイ・アンテナの例でいうと、アンテナ
要素であるパッチで受けた電磁波を信号検出部まで導く
のに、細くて長いフィードラインを用いるが、このフィ
ードライン部分の総延長は、パッチの数を多くすると、
それにつれて増大し、フィードライン部分の抵抗損失が
大きく、信号検出部での信号強度は、パッチの数を増大
しただけ増大せずアレイ状にした効果が現われない。そ
こで、アンテナで受けた信号を信号検出部まで良好な強
度で導くのに多くの提案がなされた。フィードラインの
途中に半導体増幅器を設けるか、又はフィードライン部
分を低損失な超電導体又は光ケーブルにする方法が提案
された。
上で超電導体の低抵抗性を利用する技術は重要である。
直流抵抗は零で常伝導体と比べ低抵抗な超電導体でも、
その高周波抵抗は常伝導体と比較し必ずしも有利ではな
い。なぜなら、超電導体の高周波抵抗は周波数の２乗で
増大し常伝導体の高周波抵抗は２分の１乗でしか増大し
ないからである。高周波、特に数十ＧＨｚ以上の周波数
領域では超電導体伝送線路の抵抗が大きくなり、回路上
の工夫が必要になる（ピールら（H.Piel, H.Chaloupka
and G.Muller）、超電導シンポジウム・プロシージング
（Proceeding ofthe 4th International Symposium on
Superconductivity(ISS'91), October 1991 Tokyo) p.9
25）。パッチアレイ・アンテナの例でいうと、アンテナ
要素であるパッチで受けた電磁波を信号検出部まで導く
のに、細くて長いフィードラインを用いるが、このフィ
ードライン部分の総延長は、パッチの数を多くすると、
それにつれて増大し、フィードライン部分の抵抗損失が
大きく、信号検出部での信号強度は、パッチの数を増大
しただけ増大せずアレイ状にした効果が現われない。そ
こで、アンテナで受けた信号を信号検出部まで良好な強
度で導くのに多くの提案がなされた。フィードラインの
途中に半導体増幅器を設けるか、又はフィードライン部
分を低損失な超電導体又は光ケーブルにする方法が提案
された。
【０００３】例えば、フィードラインの途中に８個の半
導体増幅器を設けるか（バラスブラマニアンら（A.Bala
subramaniyan, J.Heinbockel, A.Mortazawi）、マイク
ロ波シンポジュウム・ダイジェスト（1993 IEEE MTT-S
Digest）p.611）、又はフィードライン部分を超電導体
（ルイスら（L.L.Lewis et al.), アイトリプルイー・
トランザクション（IEEE Transaction on Applied Supe
rconductivity, Vol.3, No.1, March 1993）p.2844）又
は光ケーブル（バネルジーら（S.K.Banerjee et al.）
マイクロ波シンポジュウム・ダイジェスト（1993 IEEE
MTT-S Digest）p.505）にする方法が提案された。とこ
ろで、超電導体を除き半導体増幅器を数十数百とアレイ
・アンテナ中に、たくさん作り込むことは、技術的に極
めて困難とされている。また、上述したように、１００
ＧＨｚ近傍又はそれ以上と極めて高い周波数になると、
その抵抗は超電導体でも常電導体と同じか、又は悪くな
ることが知られており、フィードライン部分を超電導体
にする方法の利点が失われる。そこで、本発明者達は特
願平５−２６４９４５のアレイアンテナとその製造方法
において、パッチアンテナの近傍に超電導ミキサーを設
けフィードラインの大部分には中間周波数（ＩＦ）、即
ち、低周波成分のみにしフィードライン部分を超電導体
にする方法の利点が失われないようにする提案がなされ
た。通常、半導体ミキサーでは、プラス１０ｄＢｍ以上
の局部基準周波数（ＬＯ）電力を必要とするが、特願平
５−２６４９４５の構造で酸化物高温超電導ミキサーを
使用した場合、マイナス１０ｄＢｍ以下の局部基準周波
数（ＬＯ）電力しか必要とせず、必要とするＬＯ電力を
信号高周波（ＲＦ）と同様アンテナから導入できること
を示した。特願平５−２６４９４５の実施例構造ではア
ンテナがパッチ型であるため、ＬＯとＲＦの両電波をそ
のパッチアンテナで受ける場合、ＬＯとＲＦの両電波周
波数は近接していなけれならなかった。その原因は、パ
ッチアンテナがその形状で決まる共振周波数近傍のみで
有効に働くアンテナだからである。ＬＯ周波数を大幅に
ＲＦ周波数からずらしたい場合、例えば、ハーモニック
ミキサー動作をさせたい場合は、ミキサーを構成する非
線形素子部分へＬＯ周波数電力を導くために、ミキサー
を構成する主基板面上にＬＯ用高周波線路を設ける必要
があった。アンテナとミキサーが同一主基板面上に混在
する場合、ＬＯとＲＦ及びＩＦそれぞれの高周波線路を
独立に作り込むことは極めて困難である。そこで、アン
テナがミキサーと同一主基板面上に混在しない通常の場
合でも、ＬＯ用高周波線路はＲＦ用又はＩＦ用のいずれ
かの一部と兼用する例が多い。このＬＯ用高周波線路を
ＲＦ用又はＩＦ用のいずれかの一部と兼用する場合、Ｌ
Ｏ周波数がＲＦ周波数又はＩＦ周波数のいずれかに近け
れば、その高周波線路を兼用する両周波数に対してパタ
ーン設計することは容易である。ところが、以下のよう
な場合には兼用することは極めて困難である。 （困難１）ＲＦとＬＯがほぼ同じ周波数である基本波ミ
キサー動作で、ＲＦがミリ波以上の高周波数の場合には
ＬＯもミリ波以上になり線路の兼用はＲＦ線路になる。
アンテナから非線形素子部分への線路は、表面波リーク
等により信号が減衰しないように極力短くしたい。その
結果、ＲＦ線路とＬＯ線路とを結合するスペースをとる
ことは性能を劣化させることとなる。 （困難２）ＲＦ周波数の数分の１に相当するＬＯ周波数
を用いるハーモニックミキサーの場合は設計のむずかし
いＲＦ線路より、設計が比較的容易なＩＦ線路をＬＯ線
路と共用する。非線形素子部が単独の場合はＩＦ周波数
とＬＯ周波数を両方通過する線路を設ければ良いだけで
あり、比較的容易である。しかし、非線形素子部が複数
の場合は、位相条件をＩＦとＬＯの両方に考慮する必要
が生じ、非線形素子部の数が増大するとともに、限られ
たスペースで設計することがますます困難になった。
導体増幅器を設けるか（バラスブラマニアンら（A.Bala
subramaniyan, J.Heinbockel, A.Mortazawi）、マイク
ロ波シンポジュウム・ダイジェスト（1993 IEEE MTT-S
Digest）p.611）、又はフィードライン部分を超電導体
（ルイスら（L.L.Lewis et al.), アイトリプルイー・
トランザクション（IEEE Transaction on Applied Supe
rconductivity, Vol.3, No.1, March 1993）p.2844）又
は光ケーブル（バネルジーら（S.K.Banerjee et al.）
マイクロ波シンポジュウム・ダイジェスト（1993 IEEE
MTT-S Digest）p.505）にする方法が提案された。とこ
ろで、超電導体を除き半導体増幅器を数十数百とアレイ
・アンテナ中に、たくさん作り込むことは、技術的に極
めて困難とされている。また、上述したように、１００
ＧＨｚ近傍又はそれ以上と極めて高い周波数になると、
その抵抗は超電導体でも常電導体と同じか、又は悪くな
ることが知られており、フィードライン部分を超電導体
にする方法の利点が失われる。そこで、本発明者達は特
願平５−２６４９４５のアレイアンテナとその製造方法
において、パッチアンテナの近傍に超電導ミキサーを設
けフィードラインの大部分には中間周波数（ＩＦ）、即
ち、低周波成分のみにしフィードライン部分を超電導体
にする方法の利点が失われないようにする提案がなされ
た。通常、半導体ミキサーでは、プラス１０ｄＢｍ以上
の局部基準周波数（ＬＯ）電力を必要とするが、特願平
５−２６４９４５の構造で酸化物高温超電導ミキサーを
使用した場合、マイナス１０ｄＢｍ以下の局部基準周波
数（ＬＯ）電力しか必要とせず、必要とするＬＯ電力を
信号高周波（ＲＦ）と同様アンテナから導入できること
を示した。特願平５−２６４９４５の実施例構造ではア
ンテナがパッチ型であるため、ＬＯとＲＦの両電波をそ
のパッチアンテナで受ける場合、ＬＯとＲＦの両電波周
波数は近接していなけれならなかった。その原因は、パ
ッチアンテナがその形状で決まる共振周波数近傍のみで
有効に働くアンテナだからである。ＬＯ周波数を大幅に
ＲＦ周波数からずらしたい場合、例えば、ハーモニック
ミキサー動作をさせたい場合は、ミキサーを構成する非
線形素子部分へＬＯ周波数電力を導くために、ミキサー
を構成する主基板面上にＬＯ用高周波線路を設ける必要
があった。アンテナとミキサーが同一主基板面上に混在
する場合、ＬＯとＲＦ及びＩＦそれぞれの高周波線路を
独立に作り込むことは極めて困難である。そこで、アン
テナがミキサーと同一主基板面上に混在しない通常の場
合でも、ＬＯ用高周波線路はＲＦ用又はＩＦ用のいずれ
かの一部と兼用する例が多い。このＬＯ用高周波線路を
ＲＦ用又はＩＦ用のいずれかの一部と兼用する場合、Ｌ
Ｏ周波数がＲＦ周波数又はＩＦ周波数のいずれかに近け
れば、その高周波線路を兼用する両周波数に対してパタ
ーン設計することは容易である。ところが、以下のよう
な場合には兼用することは極めて困難である。 （困難１）ＲＦとＬＯがほぼ同じ周波数である基本波ミ
キサー動作で、ＲＦがミリ波以上の高周波数の場合には
ＬＯもミリ波以上になり線路の兼用はＲＦ線路になる。
アンテナから非線形素子部分への線路は、表面波リーク
等により信号が減衰しないように極力短くしたい。その
結果、ＲＦ線路とＬＯ線路とを結合するスペースをとる
ことは性能を劣化させることとなる。 （困難２）ＲＦ周波数の数分の１に相当するＬＯ周波数
を用いるハーモニックミキサーの場合は設計のむずかし
いＲＦ線路より、設計が比較的容易なＩＦ線路をＬＯ線
路と共用する。非線形素子部が単独の場合はＩＦ周波数
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あり、比較的容易である。しかし、非線形素子部が複数
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が生じ、非線形素子部の数が増大するとともに、限られ
たスペースで設計することがますます困難になった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで、新たな解決策
を提案し、従来困難とされていた前記困難１と困難２を
同時に満足する広周波数帯域高温超電導体ミキサーアン
テナを提供する。
を提案し、従来困難とされていた前記困難１と困難２を
同時に満足する広周波数帯域高温超電導体ミキサーアン
テナを提供する。
【０００５】従来技術の実施例として、フィードライン
部分を超電導体とした例（ルイスら（L.L.Lewis et a
l.), アイトリプルイー・トランザクション（IEEE Tran
saction on Applied Superconductivity, Vol.3, No.1,
March 1993）p.2844）を述べる。２インチＬａＡｌＯ3
基板の上に、ＴｌＣａＢａＣｕＯからなる酸化物高温超
電導体薄膜を設け、パッチ部分とフィードライン部分を
パターニングする。基板裏面側には金（Ａｕ）をグラン
ド面として設ける。８×８の６４個からなるパッチを真
空中での波長の２分の１の距離をおいて配置し、２つの
パッチから等距離のフィードライン長の所で電力合成
し、各電力合成したフィードラインを再び前記電力合成
点から等距離のフィードライン長の所で電力合成する。
これを合計６回繰り返すとすべてのパッチで受けた電力
を一つのフィードラインに集めることができる。パッチ
の寸法を１．３５ｍｍ×０．９ｍｍにすると、３１ＧＨ
ｚでこのパッチアレイアンテナの性能は最大になった。
即ちある特定の周波数近傍で性能が最大になり、その周
波数から離れると感度がほとんど無くなる。さらに、こ
の周波数領域で性能を向上させるため、又は、さらに高
周波領域のパッチアレイアンテナを得るためには超電導
体フィードラインの持つ損失を低減しなければならな
い。即ち、ミリ波以上の基本波ミキサー動作をさせるに
は、この構造ではアンテナから非線形素子又は増幅器ま
での距離が大きすぎることに構造上の限界があった。
部分を超電導体とした例（ルイスら（L.L.Lewis et a
l.), アイトリプルイー・トランザクション（IEEE Tran
saction on Applied Superconductivity, Vol.3, No.1,
March 1993）p.2844）を述べる。２インチＬａＡｌＯ3
基板の上に、ＴｌＣａＢａＣｕＯからなる酸化物高温超
電導体薄膜を設け、パッチ部分とフィードライン部分を
パターニングする。基板裏面側には金（Ａｕ）をグラン
ド面として設ける。８×８の６４個からなるパッチを真
空中での波長の２分の１の距離をおいて配置し、２つの
パッチから等距離のフィードライン長の所で電力合成
し、各電力合成したフィードラインを再び前記電力合成
点から等距離のフィードライン長の所で電力合成する。
これを合計６回繰り返すとすべてのパッチで受けた電力
を一つのフィードラインに集めることができる。パッチ
の寸法を１．３５ｍｍ×０．９ｍｍにすると、３１ＧＨ
ｚでこのパッチアレイアンテナの性能は最大になった。
即ちある特定の周波数近傍で性能が最大になり、その周
波数から離れると感度がほとんど無くなる。さらに、こ
の周波数領域で性能を向上させるため、又は、さらに高
周波領域のパッチアレイアンテナを得るためには超電導
体フィードラインの持つ損失を低減しなければならな
い。即ち、ミリ波以上の基本波ミキサー動作をさせるに
は、この構造ではアンテナから非線形素子又は増幅器ま
での距離が大きすぎることに構造上の限界があった。
【０００６】さらに先行技術の実施例として、特願平５
−２６４９４５のアレイアンテナとその製造方法があ
る。パッチアンテナの近傍に超電導ミキサーを設けフィ
ードラインの大部分を中間周波数（ＩＦ）即ち低周波成
分のみにし、フィードライン部分を超電導体にする方法
の利点が失われないようにする提案がなされた。通常、
半導体ミキサーではプラス１０ｄＢｍ以上の局部基準周
波数（ＬＯ）電力を必要とするが、特願平５−２６４９
４５の構造で酸化物高温超電導ミキサーを使用した場
合、マイナス１０ｄＢｍ以下の局部基準周波数（ＬＯ）
電力しか必要とせず、必要とするＬＯ電力を信号高周波
（ＲＦ）と同様アンテナから導入できることを示した。
特願平５−２６４９４５の実施例構造ではアンテナがパ
ッチ型であるため、ＬＯとＲＦの両電波をそのパッチア
ンテナで受ける場合、ＬＯとＲＦの両電波周波数は近接
していなけれならなかった。その原因は、パッチアンテ
ナがその形状で決まる共振周波数近傍のみで有効に働く
アンテナだからである。ＬＯ周波数を大幅にＲＦ周波数
からずらしたい場合、例えば、ハーモニックミキサー動
作をさせたい場合は、ミキサーを構成する非線形素子部
分へＬＯ周波数電力を導くために、ミキサーを構成する
主基板面上にＬＯ用高周波線路を設ける必要があった。
−２６４９４５のアレイアンテナとその製造方法があ
る。パッチアンテナの近傍に超電導ミキサーを設けフィ
ードラインの大部分を中間周波数（ＩＦ）即ち低周波成
分のみにし、フィードライン部分を超電導体にする方法
の利点が失われないようにする提案がなされた。通常、
半導体ミキサーではプラス１０ｄＢｍ以上の局部基準周
波数（ＬＯ）電力を必要とするが、特願平５−２６４９
４５の構造で酸化物高温超電導ミキサーを使用した場
合、マイナス１０ｄＢｍ以下の局部基準周波数（ＬＯ）
電力しか必要とせず、必要とするＬＯ電力を信号高周波
（ＲＦ）と同様アンテナから導入できることを示した。
特願平５−２６４９４５の実施例構造ではアンテナがパ
ッチ型であるため、ＬＯとＲＦの両電波をそのパッチア
ンテナで受ける場合、ＬＯとＲＦの両電波周波数は近接
していなけれならなかった。その原因は、パッチアンテ
ナがその形状で決まる共振周波数近傍のみで有効に働く
アンテナだからである。ＬＯ周波数を大幅にＲＦ周波数
からずらしたい場合、例えば、ハーモニックミキサー動
作をさせたい場合は、ミキサーを構成する非線形素子部
分へＬＯ周波数電力を導くために、ミキサーを構成する
主基板面上にＬＯ用高周波線路を設ける必要があった。
【０００７】本発明の目的は、高周波領域で抵抗損失が
増大する超電導体フィードラインを低周波数領域で使用
できるようにし、実質的に低損失で利用し、超電導体フ
ィードラインの持つ高集積性を生かした高集積アレイア
ンテナの特性を維持したまま、ミリ波以上の周波数で２
倍以上の帯域を持つミキサーとを同一構造で提供し、高
機能化を可能にする。
増大する超電導体フィードラインを低周波数領域で使用
できるようにし、実質的に低損失で利用し、超電導体フ
ィードラインの持つ高集積性を生かした高集積アレイア
ンテナの特性を維持したまま、ミリ波以上の周波数で２
倍以上の帯域を持つミキサーとを同一構造で提供し、高
機能化を可能にする。
【０００８】本発明の他の目的は、周波数に依存しない
デバイス構造であり、従来周波数毎に設計を変えていた
場合と比べ最終コストの低減を可能にする。
デバイス構造であり、従来周波数毎に設計を変えていた
場合と比べ最終コストの低減を可能にする。
【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的及び新
規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明か
にする。
規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明か
にする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以
下のとおりになる。 （１）基板主面の同一表面上に、例えば一つ又は複数の
対数周期型又は対数スパイラル型の平面構造アンテナパ
ターンと複数の酸化物超電導体薄膜フィードライン配線
パターンが形成され、かつ、その平面構造アンテナパタ
ーンの中央部が酸化物超電導体薄膜からなり、そこに、
非線形素子部分を設けている広周波数帯域高温超電導体
ミキサーアンテナである。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以
下のとおりになる。 （１）基板主面の同一表面上に、例えば一つ又は複数の
対数周期型又は対数スパイラル型の平面構造アンテナパ
ターンと複数の酸化物超電導体薄膜フィードライン配線
パターンが形成され、かつ、その平面構造アンテナパタ
ーンの中央部が酸化物超電導体薄膜からなり、そこに、
非線形素子部分を設けている広周波数帯域高温超電導体
ミキサーアンテナである。
【００１１】（２）前記平面構造アンテナパターンにて
受けられたＲＦ電波とＬＯ電波は非線形応答部分にて低
い周波数に変換され、その低い周波数の信号電磁波は酸
化物超電導薄膜フィードライン配線パターンにより伝送
される。その周波数は、基本波ミキサーの時はＲＦ周波
数とＬＯ周波数の差であり、Ｎ次のハモニックミキサー
の時はＲＦ周波数とＬＯ周波数のＮ倍との差である。即
ち非線形素子部分が周波数変換手段となっている
受けられたＲＦ電波とＬＯ電波は非線形応答部分にて低
い周波数に変換され、その低い周波数の信号電磁波は酸
化物超電導薄膜フィードライン配線パターンにより伝送
される。その周波数は、基本波ミキサーの時はＲＦ周波
数とＬＯ周波数の差であり、Ｎ次のハモニックミキサー
の時はＲＦ周波数とＬＯ周波数のＮ倍との差である。即
ち非線形素子部分が周波数変換手段となっている
【００１２】（３）前記１個又は複数個の非線形応答部
分は極めて短い常電導領域を持つ構造にし、１個又は複
数個の超電導・常電導・超電導（ＳＮＳ）接合からなる
非線形応答部分とされている。
分は極めて短い常電導領域を持つ構造にし、１個又は複
数個の超電導・常電導・超電導（ＳＮＳ）接合からなる
非線形応答部分とされている。
【００１３】（４）前記非線形応答部分の大きさとし
て、基板主面における信号高周波電波（ＲＦ）と局部基
準周波数電波（ＬＯ）の実効波長の４分の１より小さ
い。
て、基板主面における信号高周波電波（ＲＦ）と局部基
準周波数電波（ＬＯ）の実効波長の４分の１より小さ
い。
【００１４】（５）前記基板主面の同一平面上に電流導
入端子を設け非線形素子又は非線形素子部分を電流バイ
アス制御ミキサーとして機能させる。
入端子を設け非線形素子又は非線形素子部分を電流バイ
アス制御ミキサーとして機能させる。
【００１５】（６）前記超電導体薄膜配線は、酸化物超
電導体のＹＢａＣｕＯ化合物又はＮｄＢａＣｕＯ化合物
からなる酸化物超電導体である。
電導体のＹＢａＣｕＯ化合物又はＮｄＢａＣｕＯ化合物
からなる酸化物超電導体である。
【００１６】（７）前記非線形素子又は非線形素子群を
設ける部分を除く超電導体薄膜パターンにおいて、その
一部又は全部が基板主面に接している所から順に超電導
体薄膜ついで金などの常電気伝導金属薄膜からなる多層
膜構造である。
設ける部分を除く超電導体薄膜パターンにおいて、その
一部又は全部が基板主面に接している所から順に超電導
体薄膜ついで金などの常電気伝導金属薄膜からなる多層
膜構造である。
【００１７】前述の手段によれば、基板主面の同一平面
上に超電導体薄膜配線パターンからなる単位配線パター
ンが設けられ、その単位配線パターン内部に非線形素子
部分が形成されていて、その非線形素子の端子には高周
波電磁界を放出又は吸収するためのアンテナパターン部
と信号伝送路（フィードライン）パターン部が接続され
ている構造を一単位パターンとし、その一単位が一つ又
は複数個信号伝送路パターンで接続され信号検出へと導
かれている構造を有し、そのアンテナパターン部分が対
数周期型又は対数スパイラル型の平面型構造を有し、そ
のアンテナパターンにより信号高周波電波（ＲＦ）と局
部基準周波数電波（ＬＯ）をともに吸収できるため、局
部基準周波数電波（ＬＯ）用の伝送路（フィードライ
ン）パターンが基板主面の同一平面上に設けられていな
い。そのため、前記基板主面をアンテナパターン部分と
線形素子部分を除けば、信号高周波（ＲＦ）と局部基準
周波数（ＬＯ）に対する高周波線路パターンを設けなく
てよく、スペースの有効利用ばかりでなく中間周波数
（ＩＦ）用の線路と電流導入端子の設計、即ち数ＧＨｚ
以下乃至直流回路の設計で良いことになる。
上に超電導体薄膜配線パターンからなる単位配線パター
ンが設けられ、その単位配線パターン内部に非線形素子
部分が形成されていて、その非線形素子の端子には高周
波電磁界を放出又は吸収するためのアンテナパターン部
と信号伝送路（フィードライン）パターン部が接続され
ている構造を一単位パターンとし、その一単位が一つ又
は複数個信号伝送路パターンで接続され信号検出へと導
かれている構造を有し、そのアンテナパターン部分が対
数周期型又は対数スパイラル型の平面型構造を有し、そ
のアンテナパターンにより信号高周波電波（ＲＦ）と局
部基準周波数電波（ＬＯ）をともに吸収できるため、局
部基準周波数電波（ＬＯ）用の伝送路（フィードライ
ン）パターンが基板主面の同一平面上に設けられていな
い。そのため、前記基板主面をアンテナパターン部分と
線形素子部分を除けば、信号高周波（ＲＦ）と局部基準
周波数（ＬＯ）に対する高周波線路パターンを設けなく
てよく、スペースの有効利用ばかりでなく中間周波数
（ＩＦ）用の線路と電流導入端子の設計、即ち数ＧＨｚ
以下乃至直流回路の設計で良いことになる。
【００１８】また、超電導非線形素子を用いているの
で、ＲＦ周波数の上限は数百ＧＨｚになる。また、対数
周期型又は対数スパイラル型のアンテナを用いているの
で、その上限周波数から下限周波数への全領域で極めて
広帯域に動作可能である。この型のアンテナの下限周波
数は基板主面に占める一単位アンテナパターンの許容で
きる最大寸法に依存している。上限周波数はアンテナパ
ターン部の最小パターンの寸法よりもむしろ表面波リー
クで決まる。対数周期型又は対数スパイラル型の寸法の
小さな部分に近接して非線形素子部分を設けている本発
明の構造は、その表面波リークを最小限に押さえること
ができ、数百ＧＨｚの上限動作周波数を可能にする。
で、ＲＦ周波数の上限は数百ＧＨｚになる。また、対数
周期型又は対数スパイラル型のアンテナを用いているの
で、その上限周波数から下限周波数への全領域で極めて
広帯域に動作可能である。この型のアンテナの下限周波
数は基板主面に占める一単位アンテナパターンの許容で
きる最大寸法に依存している。上限周波数はアンテナパ
ターン部の最小パターンの寸法よりもむしろ表面波リー
クで決まる。対数周期型又は対数スパイラル型の寸法の
小さな部分に近接して非線形素子部分を設けている本発
明の構造は、その表面波リークを最小限に押さえること
ができ、数百ＧＨｚの上限動作周波数を可能にする。
【００１９】また、本発明の広周波数帯域高温超電導体
ミキサーアンテナは、ＬＯを電波として空気中乃至は真
空中を通し基板主面に垂直に近い角度で照射できるの
で、複数個の非線形素子部分が基板主面上に点在してい
る場合でも、前記基板主面の同一平面上にＬＯ線路を設
ける場合と比較し、各非線形素子部分へより均一な位相
にてＬＯを送ることが可能になる。また、基板の誘電率
は１より大きく、前記基板主面の同一平面上に設けたＬ
Ｏ線路での信号波長が空気中乃至は真空中と比較し短く
なることも本発明を設計上有利にしている。
ミキサーアンテナは、ＬＯを電波として空気中乃至は真
空中を通し基板主面に垂直に近い角度で照射できるの
で、複数個の非線形素子部分が基板主面上に点在してい
る場合でも、前記基板主面の同一平面上にＬＯ線路を設
ける場合と比較し、各非線形素子部分へより均一な位相
にてＬＯを送ることが可能になる。また、基板の誘電率
は１より大きく、前記基板主面の同一平面上に設けたＬ
Ｏ線路での信号波長が空気中乃至は真空中と比較し短く
なることも本発明を設計上有利にしている。
【００２０】また、マイクロ波からサブミリ波まで連続
に電波を前記非線形素子部分に導くことができ、かつ、
空間的に独立に設計できるＬＯ照射部を持つので、前記
主基板上に設けた複数のアンテナや非線形素子部分など
の位置や大きさを変えずに、ＬＯ周波数を変更するだけ
で、マイクロ波からサブミリ波までのどの領域のＲＦ周
波数に対しても、基本波ミキサー及びハーモニックミキ
サー動作が可能になる。
に電波を前記非線形素子部分に導くことができ、かつ、
空間的に独立に設計できるＬＯ照射部を持つので、前記
主基板上に設けた複数のアンテナや非線形素子部分など
の位置や大きさを変えずに、ＬＯ周波数を変更するだけ
で、マイクロ波からサブミリ波までのどの領域のＲＦ周
波数に対しても、基本波ミキサー及びハーモニックミキ
サー動作が可能になる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明についてその実施の
形態（実施例）とともに図面を参照して詳細に説明す
る。
形態（実施例）とともに図面を参照して詳細に説明す
る。
【００２２】図１乃至図３は、本発明による広周波数帯
域高温超電導体ミキサーアンテナの一実施の形態（一実
施例）の平面図を示し、ミキサーアンテナの一単位パタ
ーンのみを構成部分とした例の基板主平面部分である。
図１は基板主面１の上に設けられた回路概念全体配置図
である。基板主面１は誘電率が約９.７のＭｇＯ基板で
あり、厚み０.５ｍｍ、２０ｍｍ平方の大きさである。
基板主面１の上にアンテナパターン部２とＩＦ出力パタ
ーン部３ａ，３ｂ及び電流バイアスパターン部４ａ，４
ｂ，４ｃ，４ｄから構成されている。これらはすべて酸
化物超電導体のＹＢａＣｕＯ薄膜からできている。この
超電導薄膜の厚さはほぼ２０００オングストロームであ
る。アンテナパターン部２の周辺部とＩＦ出力パターン
部３ａ，３ｂのすべて、及び電流バイアスパターン部４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄのすべては、厚さがほぼ１ミクロ
ンの金によりそれぞれのパターン表面は覆われている。
域高温超電導体ミキサーアンテナの一実施の形態（一実
施例）の平面図を示し、ミキサーアンテナの一単位パタ
ーンのみを構成部分とした例の基板主平面部分である。
図１は基板主面１の上に設けられた回路概念全体配置図
である。基板主面１は誘電率が約９.７のＭｇＯ基板で
あり、厚み０.５ｍｍ、２０ｍｍ平方の大きさである。
基板主面１の上にアンテナパターン部２とＩＦ出力パタ
ーン部３ａ，３ｂ及び電流バイアスパターン部４ａ，４
ｂ，４ｃ，４ｄから構成されている。これらはすべて酸
化物超電導体のＹＢａＣｕＯ薄膜からできている。この
超電導薄膜の厚さはほぼ２０００オングストロームであ
る。アンテナパターン部２の周辺部とＩＦ出力パターン
部３ａ，３ｂのすべて、及び電流バイアスパターン部４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄのすべては、厚さがほぼ１ミクロ
ンの金によりそれぞれのパターン表面は覆われている。
【００２３】アンテナパターン部２の拡大を図２に示
す。この実施形態（実施例）は対数周期型構造である。
対数周期型構造などの広周波数帯域アンテナの理論的解
説は、チャン（Kai Chang）により編集された単行本（H
ANDBOOK OF MICROWAVE AND OPTICAL COMPONENTS, A Wil
ey-Interscience Publication, New York）に詳しく記
載されている。低周波側の感度限界はアンテナパターン
部２の大きさに依存する。この実施形態（実施例）で
は、周期アンテナの最大外径半径は３.６ｍｍであり、
１３ＧＨｚ近傍に低周波側の感度限界がある。
す。この実施形態（実施例）は対数周期型構造である。
対数周期型構造などの広周波数帯域アンテナの理論的解
説は、チャン（Kai Chang）により編集された単行本（H
ANDBOOK OF MICROWAVE AND OPTICAL COMPONENTS, A Wil
ey-Interscience Publication, New York）に詳しく記
載されている。低周波側の感度限界はアンテナパターン
部２の大きさに依存する。この実施形態（実施例）で
は、周期アンテナの最大外径半径は３.６ｍｍであり、
１３ＧＨｚ近傍に低周波側の感度限界がある。
【００２４】図２の中心部に非線形素子部５を設けた。
非線形素子部５の周辺の拡大を図３に示す。誘電率が約
９.７のＭｇＯを基板主面１とする本実施形態（実施
例）の場合、１００ＧＨｚミリ波に対する非線形素子部
５周辺における実効波長はほぼ１ｍｍであり、周期アン
テナの最少内径半径は、２０ミクロンとしたので１００
ＧＨｚ以上で感度がある設計になっている。非線形素子
部５の大きさは幅がほぼ３ミクロン、長さがほぼ１０ミ
クロンと極めて小さい。このことは、１００ＧＨｚの４
分の１の実効波長である２５０ミクロンより非線形素子
部５が十分に小さいことを意味している。１００ＧＨｚ
というミリ波に対して、この小さな領域に複数個の酸化
物高温超電導ジョセフソン接合素子が含まれていても、
すべての接合が均一な電波の位相で動作できる。また、
非線形素子部５は対数周期パターンの中心部にある。即
ち、より高周波に高感度対応するアンテナ部分ほど非線
形素子部５に近いことになる。その結果、高周波電波は
アンテナで受けられた後、非線形素子部５へ至るまでの
間で生じる、いわゆる表面波リークをすべての周波数に
対して極力小さくできる。
非線形素子部５の周辺の拡大を図３に示す。誘電率が約
９.７のＭｇＯを基板主面１とする本実施形態（実施
例）の場合、１００ＧＨｚミリ波に対する非線形素子部
５周辺における実効波長はほぼ１ｍｍであり、周期アン
テナの最少内径半径は、２０ミクロンとしたので１００
ＧＨｚ以上で感度がある設計になっている。非線形素子
部５の大きさは幅がほぼ３ミクロン、長さがほぼ１０ミ
クロンと極めて小さい。このことは、１００ＧＨｚの４
分の１の実効波長である２５０ミクロンより非線形素子
部５が十分に小さいことを意味している。１００ＧＨｚ
というミリ波に対して、この小さな領域に複数個の酸化
物高温超電導ジョセフソン接合素子が含まれていても、
すべての接合が均一な電波の位相で動作できる。また、
非線形素子部５は対数周期パターンの中心部にある。即
ち、より高周波に高感度対応するアンテナ部分ほど非線
形素子部５に近いことになる。その結果、高周波電波は
アンテナで受けられた後、非線形素子部５へ至るまでの
間で生じる、いわゆる表面波リークをすべての周波数に
対して極力小さくできる。
【００２５】前記図１乃至図３で示した一単位パターン
の実施例のものを複数個並べたアレイアンテナ構造の一
実施例を図４に示す。図４においては、説明を簡潔にし
本発明の要旨を理解しやすくするために、同一の一単位
パターンを３個直線的に配列した場合にした。アンテナ
パターン部２は２ａから２ｃの３個、ＩＦ出力パターン
部は３倍に増大し３ａから３ｆまである。電流バイアス
パターンは説明を簡潔にするため３個のアンテナパター
ン部とも共通化し４ａから４ｄまでの４個である。
の実施例のものを複数個並べたアレイアンテナ構造の一
実施例を図４に示す。図４においては、説明を簡潔にし
本発明の要旨を理解しやすくするために、同一の一単位
パターンを３個直線的に配列した場合にした。アンテナ
パターン部２は２ａから２ｃの３個、ＩＦ出力パターン
部は３倍に増大し３ａから３ｆまである。電流バイアス
パターンは説明を簡潔にするため３個のアンテナパター
ン部とも共通化し４ａから４ｄまでの４個である。
【００２６】図４に示すようなアレイアンテナ構造の設
計で最初に注意すべきことは、一単位の繰り返しアンテ
ナパターンの配列ピッチである。アンテナの指向性をア
レイ化により向上させるという観点から、真空中におけ
る電波の波長よりも小さな配列ピッチである必要があ
る。今回対象とする上限周波数を１００ＧＨｚとする
と、ほぼ３ｍｍが最大ピッチ長となる。この場合は、一
単位アンテナ間の外周と外周の距離を一単位アンテナ外
周寸法と同程度であるように考慮すると、図２で前述し
た最大外径半径は同一材料のＭｇＯ基板を使う場合、
３.６ｍｍより小さくしなければならない。一単位アン
テナの最大外径半径は７５０ミクロン程度かそれ以下が
有効である。この場合、低周波側の限界感度周波数は６
２ＧＨｚほどになり、下限周波数は大幅に大きくなる。
計で最初に注意すべきことは、一単位の繰り返しアンテ
ナパターンの配列ピッチである。アンテナの指向性をア
レイ化により向上させるという観点から、真空中におけ
る電波の波長よりも小さな配列ピッチである必要があ
る。今回対象とする上限周波数を１００ＧＨｚとする
と、ほぼ３ｍｍが最大ピッチ長となる。この場合は、一
単位アンテナ間の外周と外周の距離を一単位アンテナ外
周寸法と同程度であるように考慮すると、図２で前述し
た最大外径半径は同一材料のＭｇＯ基板を使う場合、
３.６ｍｍより小さくしなければならない。一単位アン
テナの最大外径半径は７５０ミクロン程度かそれ以下が
有効である。この場合、低周波側の限界感度周波数は６
２ＧＨｚほどになり、下限周波数は大幅に大きくなる。
【００２７】そこで、上限周波数を１００ＧＨｚにし
て、下限周波数を小さくする方法は無いだろうか。基板
の誘電率を大きくし、基板表面での電波の実効波長を真
空中と比べさらに短くすることである。例えば、酸化物
高温超電導体薄膜形成にＭｇＯ基板とともによく使われ
るＬａＡｌＯ3基板は誘電率がほぼ２５である。ＬａＡ
ｌＯ3基板を使用すると、一単位アンテナの最大外径半
径を７５０ミクロン程度とした場合でも低周波側の限界
感度周波数は４０ＧＨｚほどに減少させることができ
る。
て、下限周波数を小さくする方法は無いだろうか。基板
の誘電率を大きくし、基板表面での電波の実効波長を真
空中と比べさらに短くすることである。例えば、酸化物
高温超電導体薄膜形成にＭｇＯ基板とともによく使われ
るＬａＡｌＯ3基板は誘電率がほぼ２５である。ＬａＡ
ｌＯ3基板を使用すると、一単位アンテナの最大外径半
径を７５０ミクロン程度とした場合でも低周波側の限界
感度周波数は４０ＧＨｚほどに減少させることができ
る。
【００２８】誘電率の大きな基板を用いる場合は、基板
厚みをより薄く設定する必要がある。また、表面波損失
の増大が懸念される。しかしながら、図３の説明で前述
したように非線形素子部５は対数周期パターンの中心部
にあり、より高周波に高感度対応するアンテナ部分ほど
非線形素子部５に近く、その結果、高周波電波はアンテ
ナで受けられた後、非線形素子部５へ至るまでの間で生
じる、いわゆる表面波リークをすべての周波数に対して
極力小さくできる構造になっている。即ち、基板の誘電
率が大きくなると、高周波に高感度対応するアンテナ部
分はどんどん非線形素子部５へ近づくことになり、結果
として高周波電波はアンテナで受けられた後、非線形素
子部５へ至るまでの間で生じる表面波リークはそれほど
増大しない。この結果、本発明の広周波数帯域高温超電
導体ミキサーアンテナの場合では、基板誘電率は大きい
ほど広帯域性が向上する。誘電体損失は当然小さな材料
を用いなければならないこと、また、最少内径半径が同
じ場合は基板の誘電率が大きくなるに従い上限周波は下
がることは当然である。図３で述べたような最少内径半
径が２０ミクロンであれば基板の誘電率が９.７でテラ
ヘルツ近傍まで可能であり、その幾何学的構造で１００
ＧＨｚを上限にするには１００や２００の誘電率ではま
だ余裕がある。
厚みをより薄く設定する必要がある。また、表面波損失
の増大が懸念される。しかしながら、図３の説明で前述
したように非線形素子部５は対数周期パターンの中心部
にあり、より高周波に高感度対応するアンテナ部分ほど
非線形素子部５に近く、その結果、高周波電波はアンテ
ナで受けられた後、非線形素子部５へ至るまでの間で生
じる、いわゆる表面波リークをすべての周波数に対して
極力小さくできる構造になっている。即ち、基板の誘電
率が大きくなると、高周波に高感度対応するアンテナ部
分はどんどん非線形素子部５へ近づくことになり、結果
として高周波電波はアンテナで受けられた後、非線形素
子部５へ至るまでの間で生じる表面波リークはそれほど
増大しない。この結果、本発明の広周波数帯域高温超電
導体ミキサーアンテナの場合では、基板誘電率は大きい
ほど広帯域性が向上する。誘電体損失は当然小さな材料
を用いなければならないこと、また、最少内径半径が同
じ場合は基板の誘電率が大きくなるに従い上限周波は下
がることは当然である。図３で述べたような最少内径半
径が２０ミクロンであれば基板の誘電率が９.７でテラ
ヘルツ近傍まで可能であり、その幾何学的構造で１００
ＧＨｚを上限にするには１００や２００の誘電率ではま
だ余裕がある。
【００２９】もしも、本発明の広周波数帯域高温超電導
体ミキサーアンテナを通常の狭周波数帯域の基本波ミキ
サー動作に限定したアンテナミキサーとしてのみ使用す
るならば、前述した下限周波数に関する考慮は必要なく
なる。しかしながら、１００ＧＨｚ近傍のミリ波に対し
ては、上限周波数をあまり気にせずに設計できる本発明
で採用した対数周期型及び対数スパイラル型の平面アン
テナは、製造課程で生じる中心周波数のばらつきを許容
できるので有効である。
体ミキサーアンテナを通常の狭周波数帯域の基本波ミキ
サー動作に限定したアンテナミキサーとしてのみ使用す
るならば、前述した下限周波数に関する考慮は必要なく
なる。しかしながら、１００ＧＨｚ近傍のミリ波に対し
ては、上限周波数をあまり気にせずに設計できる本発明
で採用した対数周期型及び対数スパイラル型の平面アン
テナは、製造課程で生じる中心周波数のばらつきを許容
できるので有効である。
【００３０】図５に示す様な本発明の実施例の概念図で
は図４の説明で前述した単位アンテナパターンのピッチ
寸法に関する制限が緩和される。図４で示したようなレ
イアンテナ構造が基板主面１の上に設けられている。図
５は基板主面を横から外観した図である。単位アンテナ
パターンのピッチ寸法に関する制限が緩和される主要な
原因は、基板主面に対し法線方向１２に集中したアンテ
ナ感度パターンにしたいことにあった。しかし、電波遮
蔽板１１ａと１１ｂにより、単位アンテナパターンのピ
ッチ寸法を入射電波の真空中の波長より図４で示したよ
うな設計上では現れる大きなアンテナ感度方向からのＲ
Ｆ入射を遮断できるためである。例えば、単位アンテナ
パターンのピッチ寸法が真空中の電波波長と同じである
と、基板主面に平行な方向に基板主面に対し法線方向１
２と同じ強度の不要なアンテナ感度パターンがあらわれ
る。しかし、図５に示したように、電波遮蔽板１１ａと
１１ｂによりその不要なアンテナ感度パターンをカット
できる。
は図４の説明で前述した単位アンテナパターンのピッチ
寸法に関する制限が緩和される。図４で示したようなレ
イアンテナ構造が基板主面１の上に設けられている。図
５は基板主面を横から外観した図である。単位アンテナ
パターンのピッチ寸法に関する制限が緩和される主要な
原因は、基板主面に対し法線方向１２に集中したアンテ
ナ感度パターンにしたいことにあった。しかし、電波遮
蔽板１１ａと１１ｂにより、単位アンテナパターンのピ
ッチ寸法を入射電波の真空中の波長より図４で示したよ
うな設計上では現れる大きなアンテナ感度方向からのＲ
Ｆ入射を遮断できるためである。例えば、単位アンテナ
パターンのピッチ寸法が真空中の電波波長と同じである
と、基板主面に平行な方向に基板主面に対し法線方向１
２と同じ強度の不要なアンテナ感度パターンがあらわれ
る。しかし、図５に示したように、電波遮蔽板１１ａと
１１ｂによりその不要なアンテナ感度パターンをカット
できる。
【００３１】酸化物高温超電導体材料を用いたデバイス
は、７７Ｋほどの動作温度まで下げることのできる真空
容器を用いた冷凍機の中に搭載される。その場合、図６
に示すような電波に対し透明な窓１４を用いることにな
る。図５の電波遮蔽板１１ａと１１ｂの役割は図６の真
空容器１５に付属の窓支持板１６ａと１６ｂが自然な形
で担うことになる。
は、７７Ｋほどの動作温度まで下げることのできる真空
容器を用いた冷凍機の中に搭載される。その場合、図６
に示すような電波に対し透明な窓１４を用いることにな
る。図５の電波遮蔽板１１ａと１１ｂの役割は図６の真
空容器１５に付属の窓支持板１６ａと１６ｂが自然な形
で担うことになる。
【００３２】次に、局部基準周波数電波（ＬＯ）を非線
形素子部へ導く本発明の手段について説明する。
形素子部へ導く本発明の手段について説明する。
【００３３】まず、アレイ状に非線形素子部５が並んで
いる場合に従来からよく知られている場合を図４のアナ
ロジーで述べその問題点を明かにする。即ち、図４のア
ンテナパターン部２ａ，２ｂ，２ｃの中心部に非線形素
子部５が配列している場合である。図７の上部がそれで
あり、図７の下部がこれから述べる従来の方法を用いた
ＬＯ入力パターンである。図７ではＬＯ入力パターン部
７が基板主面１とあたかも分離しているようであるが、
基板主面１の中にＬＯ入力パターン部７が含まれても本
質は変わらない。この従来例は、ＬＯ入力パターン部が
ＩＦ出力パターン部３と一部兼用している場合である。
ＬＯ入力端子６から入ったＬＯは、ＬＯ入力パターン部
７ａ、７ｂ、７ｄ及びＩＦ出力パターン部３ｄを通過し
てアンテナパターン部２ａの中心部にある非線形素子部
５へ導かれる。同様に、アンテナパターン部２ｂの中心
部にある非線形素子部５へは、７ａ、７ｅ、３ｅ通過
し、アンテナパターン部２ｃの中心部にある非線形素子
部５へは、７ａ、７ｃ、７ｆ及び３ｆを通過する。それ
ぞれ順に通過路ａ、ｂ、ｃと呼ぶことにする。通過路
ａ、ｂ、ｃの長さは、相対的に７ｂ、又は７ｃだけ異な
る。７ｂ又は７ｃの長さをＬＯの実効波長の整数倍にす
るとアンテナパターン部２の中心部にある３個の非線形
素子部５へすべて同位相のＬＯを導くことができる。
いる場合に従来からよく知られている場合を図４のアナ
ロジーで述べその問題点を明かにする。即ち、図４のア
ンテナパターン部２ａ，２ｂ，２ｃの中心部に非線形素
子部５が配列している場合である。図７の上部がそれで
あり、図７の下部がこれから述べる従来の方法を用いた
ＬＯ入力パターンである。図７ではＬＯ入力パターン部
７が基板主面１とあたかも分離しているようであるが、
基板主面１の中にＬＯ入力パターン部７が含まれても本
質は変わらない。この従来例は、ＬＯ入力パターン部が
ＩＦ出力パターン部３と一部兼用している場合である。
ＬＯ入力端子６から入ったＬＯは、ＬＯ入力パターン部
７ａ、７ｂ、７ｄ及びＩＦ出力パターン部３ｄを通過し
てアンテナパターン部２ａの中心部にある非線形素子部
５へ導かれる。同様に、アンテナパターン部２ｂの中心
部にある非線形素子部５へは、７ａ、７ｅ、３ｅ通過
し、アンテナパターン部２ｃの中心部にある非線形素子
部５へは、７ａ、７ｃ、７ｆ及び３ｆを通過する。それ
ぞれ順に通過路ａ、ｂ、ｃと呼ぶことにする。通過路
ａ、ｂ、ｃの長さは、相対的に７ｂ、又は７ｃだけ異な
る。７ｂ又は７ｃの長さをＬＯの実効波長の整数倍にす
るとアンテナパターン部２の中心部にある３個の非線形
素子部５へすべて同位相のＬＯを導くことができる。
【００３４】もし、この従来例のままでＬＯ周波数を変
えようとすれば、アンテナパターン部２の中心部にある
３個の非線形素子部５へすべて同位相のＬＯを導くこと
を要求する限り、最初に設計したＬＯ周波数の整数倍又
は適切な整数分の１でなければならない。例えば、ＲＦ
周波数が１０１ＧＨｚでＬＯ周波数が２５ＧＨｚ、ＩＦ
周波数が１ＧＨｚの場合、即ち、４次のハーモニックミ
キサー動作の場合を想定する。使用可能な他のＬＯ周波
数は、例えば１００ＧＨｚ、５０ＧＨｚ、又は１２.５
ＧＨｚとなり、通常の平面回路では１２.５ＧＨｚのみ
が設計上可能である。１００ＧＨｚと５０ＧＨｚという
高い周波数を長い距離の平面回路で伝達するのは設計時
間及び価格の点で１２.５ＧＨｚや２５ＧＨｚと比べ不
利である。多数のアンテナパターン部２を並べる場合、
その困難は飛躍的に増大する。
えようとすれば、アンテナパターン部２の中心部にある
３個の非線形素子部５へすべて同位相のＬＯを導くこと
を要求する限り、最初に設計したＬＯ周波数の整数倍又
は適切な整数分の１でなければならない。例えば、ＲＦ
周波数が１０１ＧＨｚでＬＯ周波数が２５ＧＨｚ、ＩＦ
周波数が１ＧＨｚの場合、即ち、４次のハーモニックミ
キサー動作の場合を想定する。使用可能な他のＬＯ周波
数は、例えば１００ＧＨｚ、５０ＧＨｚ、又は１２.５
ＧＨｚとなり、通常の平面回路では１２.５ＧＨｚのみ
が設計上可能である。１００ＧＨｚと５０ＧＨｚという
高い周波数を長い距離の平面回路で伝達するのは設計時
間及び価格の点で１２.５ＧＨｚや２５ＧＨｚと比べ不
利である。多数のアンテナパターン部２を並べる場合、
その困難は飛躍的に増大する。
【００３５】図７の従来例の困難を解決する本発明の実
施例を、図６を利用して実施した図８を用いて説明す
る。ＬＯ電波放射アンテナ２１から放射されたＬＯ電波
２３は、二つのＬＯ電波反射板２２ａ，２２ｂにより基
板主面１上に照射される。基板主面１上に設けられた複
数個の単位アンテナパターン部にそれぞれ同位相にてＬ
Ｏ電波が照射され、各単位アンテナパターンの中心に非
線形素子部がある本発明では、複数の非線形素子部へそ
れぞれ同位相のＬＯが供給される。ＬＯ電波反射板２２
はＬＯ周波数とＲＦ周波数が異なることを利用してＬＯ
電波をよく反射しＲＦ電波をよく透過するもの、例えば
金属メッシュや誘電体膜を使用する。ＬＯ電波放射アン
テナ２１を基板主面１から離れた位置にセット可能な場
合は、ＬＯ電波反射板２２無しで直接ＬＯ電波放射アン
テナ２１から基板主面１へＬＯ電波を照射できる。空気
中や真空中では、誘電体基板表面を伝わる電波と比べそ
の波長が数倍長く、基板主面１上に設けられた複数個の
単位アンテナパターン部にそれぞれほぼ同位相にてＬＯ
電波が照射される。
施例を、図６を利用して実施した図８を用いて説明す
る。ＬＯ電波放射アンテナ２１から放射されたＬＯ電波
２３は、二つのＬＯ電波反射板２２ａ，２２ｂにより基
板主面１上に照射される。基板主面１上に設けられた複
数個の単位アンテナパターン部にそれぞれ同位相にてＬ
Ｏ電波が照射され、各単位アンテナパターンの中心に非
線形素子部がある本発明では、複数の非線形素子部へそ
れぞれ同位相のＬＯが供給される。ＬＯ電波反射板２２
はＬＯ周波数とＲＦ周波数が異なることを利用してＬＯ
電波をよく反射しＲＦ電波をよく透過するもの、例えば
金属メッシュや誘電体膜を使用する。ＬＯ電波放射アン
テナ２１を基板主面１から離れた位置にセット可能な場
合は、ＬＯ電波反射板２２無しで直接ＬＯ電波放射アン
テナ２１から基板主面１へＬＯ電波を照射できる。空気
中や真空中では、誘電体基板表面を伝わる電波と比べそ
の波長が数倍長く、基板主面１上に設けられた複数個の
単位アンテナパターン部にそれぞれほぼ同位相にてＬＯ
電波が照射される。
【００３６】この方法では、図７で困難とされたＬＯ周
波数を連続に変化可能である。ＬＯ電波放射アンテナ２
１とＬＯ電波反射板２２のみを考慮すれば良いからであ
る。以下、基板主面１上に一つの単位アンテナを設けた
図１の実施例デバイスを図８の概念構成で実験した例を
述べる。
波数を連続に変化可能である。ＬＯ電波放射アンテナ２
１とＬＯ電波反射板２２のみを考慮すれば良いからであ
る。以下、基板主面１上に一つの単位アンテナを設けた
図１の実施例デバイスを図８の概念構成で実験した例を
述べる。
【００３７】ＲＦ周波数を１００ＧＨｚ、ＬＯ周波数を
９９ＧＨｚ、９９分の４ＧＨｚ（２４.７５ＧＨｚ）、
９９分の５ＧＨｚ（１９.８ＧＨｚ）、９９分の６ＧＨ
ｚ（１６.５ＧＨｚ）、９９分の７ＧＨｚ（１４.１４Ｇ
Ｈｚ）と変化させた。ＩＦ周波数は、ほぼすべてのＬＯ
周波数で１ＧＨｚ近傍に固定した。実験データをＬＯ周
波数（ＧＨｚ）とその時のＩＦ出力Ｓ／Ｎ（ｄＢ）で示
すと以下の表１の様になった。
９９ＧＨｚ、９９分の４ＧＨｚ（２４.７５ＧＨｚ）、
９９分の５ＧＨｚ（１９.８ＧＨｚ）、９９分の６ＧＨ
ｚ（１６.５ＧＨｚ）、９９分の７ＧＨｚ（１４.１４Ｇ
Ｈｚ）と変化させた。ＩＦ周波数は、ほぼすべてのＬＯ
周波数で１ＧＨｚ近傍に固定した。実験データをＬＯ周
波数（ＧＨｚ）とその時のＩＦ出力Ｓ／Ｎ（ｄＢ）で示
すと以下の表１の様になった。
【表１】 このＩＦ出力Ｓ／ＮはＩＦ増幅器の雑音レベルを小さく
するとにより、さらに大きくすることは可能である。Ｌ
Ｏ電波の照射強度はＬＯ電波放射アンテナの入力部です
べての周波数でほぼ同じ強度にした。ＬＯ周波数が９９
ＧＨｚの場合だけ異なるアンテナを用いた。ＲＦ出力は
すべてのＬＯ周波数に対し、ほぼ同じにした。同一の１
ＧＨｚのＩＦ増幅器を用いたので、この実験結果は９９
ＧＨｚから１４.１４ＧＨｚまでのＬＯ周波数で動作可
能であることを示しほぼ同じ程度のＩＦ出力Ｓ／Ｎを得
たことを意味する。また、原理的に９９ＧＨｚから１
４.１４ＧＨｚまで連続したＬＯ周波数でほぼ同じＩＦ
出力Ｓ／Ｎを１００ＧＨｚのＲＦで得られることを示し
た。これは、本発明の広周波数帯域高温超電導体ミキサ
ーアンテナが１００ＧＨｚから１４.１４ＧＨｚまで動
作可能であることを意味している。例えば、同様な実験
条件でＲＦ周波数が２２ＧＨｚ、ＬＯ周波数が２１ＧＨ
ｚの場合でも、ＩＦ出力Ｓ／Ｎをほぼ同様の４５ｄＢで
得られた。以上、本発明を実施形態（実施例）を用いて
具体的に説明したが、本発明は前記実施形態（実施例）
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
において種々変更し得ることはいうまでもない。例え
ば、前述の実施例では晶基板としてＭｇＯを用いたが、
これに限らず、ＳｒＴｉ３、ＮｄＧａＯ３、ＬａＡｌＯ
３、ＬａＧａＯ３等及びそれらの混晶でも良い。また、
前述の実施例では、基板上にＹＢａＣｕＯ膜を持ちＮｄ
ＢａＣｕＯ膜でも同様である。
するとにより、さらに大きくすることは可能である。Ｌ
Ｏ電波の照射強度はＬＯ電波放射アンテナの入力部です
べての周波数でほぼ同じ強度にした。ＬＯ周波数が９９
ＧＨｚの場合だけ異なるアンテナを用いた。ＲＦ出力は
すべてのＬＯ周波数に対し、ほぼ同じにした。同一の１
ＧＨｚのＩＦ増幅器を用いたので、この実験結果は９９
ＧＨｚから１４.１４ＧＨｚまでのＬＯ周波数で動作可
能であることを示しほぼ同じ程度のＩＦ出力Ｓ／Ｎを得
たことを意味する。また、原理的に９９ＧＨｚから１
４.１４ＧＨｚまで連続したＬＯ周波数でほぼ同じＩＦ
出力Ｓ／Ｎを１００ＧＨｚのＲＦで得られることを示し
た。これは、本発明の広周波数帯域高温超電導体ミキサ
ーアンテナが１００ＧＨｚから１４.１４ＧＨｚまで動
作可能であることを意味している。例えば、同様な実験
条件でＲＦ周波数が２２ＧＨｚ、ＬＯ周波数が２１ＧＨ
ｚの場合でも、ＩＦ出力Ｓ／Ｎをほぼ同様の４５ｄＢで
得られた。以上、本発明を実施形態（実施例）を用いて
具体的に説明したが、本発明は前記実施形態（実施例）
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
において種々変更し得ることはいうまでもない。例え
ば、前述の実施例では晶基板としてＭｇＯを用いたが、
これに限らず、ＳｒＴｉ３、ＮｄＧａＯ３、ＬａＡｌＯ
３、ＬａＧａＯ３等及びそれらの混晶でも良い。また、
前述の実施例では、基板上にＹＢａＣｕＯ膜を持ちＮｄ
ＢａＣｕＯ膜でも同様である。
【００３８】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以
下のとおりである。 （１）基板主面の同一平面上に超電導体薄膜配線パター
ンからなる単位配線パターンが設けられ、その単位配線
パターン内部に非線形素子部分が形成されていて、その
非線形素子の端子には高周波電磁界を放出又は吸収する
ためのアンテナパターンと信号伝送路（フィードライ
ン）パターンが接続されている構造を一単位パターンと
し、その一単位が一つ又は複数個信号伝送路パターンで
接続され信号検出へと導かれている構造を有し、そのア
ンテナパターン部分が対数周期型又は対数スパイラル型
の平面型構造を有し、そのアンテナパターンにより信号
高周波電波（ＲＦ）と局部基準周波数電波（ＬＯ）をと
もに吸収できるため、局部基準周波数電波（ＬＯ）用の
伝送路（フィードライン）パターンが基板主面の同一平
面上に設けられていないので、前記基板主面をアンテナ
パターン部分と線形素子部分を除けば、信号高周波（Ｒ
Ｆ）と局部基準周波数（ＬＯ）に対する高周波線路パタ
ーンを設けなくてよく、スペースの有効利用ばかりでな
く中間周波数（ＩＦ）用の線路と電流導入端子の設計、
即ち、数ＧＨｚ以下乃至直流回路の設計で良いことにな
る。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以
下のとおりである。 （１）基板主面の同一平面上に超電導体薄膜配線パター
ンからなる単位配線パターンが設けられ、その単位配線
パターン内部に非線形素子部分が形成されていて、その
非線形素子の端子には高周波電磁界を放出又は吸収する
ためのアンテナパターンと信号伝送路（フィードライ
ン）パターンが接続されている構造を一単位パターンと
し、その一単位が一つ又は複数個信号伝送路パターンで
接続され信号検出へと導かれている構造を有し、そのア
ンテナパターン部分が対数周期型又は対数スパイラル型
の平面型構造を有し、そのアンテナパターンにより信号
高周波電波（ＲＦ）と局部基準周波数電波（ＬＯ）をと
もに吸収できるため、局部基準周波数電波（ＬＯ）用の
伝送路（フィードライン）パターンが基板主面の同一平
面上に設けられていないので、前記基板主面をアンテナ
パターン部分と線形素子部分を除けば、信号高周波（Ｒ
Ｆ）と局部基準周波数（ＬＯ）に対する高周波線路パタ
ーンを設けなくてよく、スペースの有効利用ばかりでな
く中間周波数（ＩＦ）用の線路と電流導入端子の設計、
即ち、数ＧＨｚ以下乃至直流回路の設計で良いことにな
る。
【００３９】（２）超電導非線形素子を用いているの
で、ＲＦ周波数の上限は数百ＧＨｚになる。 （３）対数周期型又は対数スパイラル型のアンテナを用
いているので、その上限周波数から下限周波数への全領
域で極めて広帯域に動作可能である。つまり、この型の
アンテナの下限周波数は、基板主面に占める一単位アン
テナパターンの許容できる最大寸法に依存している。上
限周波数はアンテナパターン部の最小パターンの寸法よ
りむしろ表面波リークで決まる。対数周期型又は対数ス
パイラル型の寸法の小さな部分に近接して非線形素子部
分を設けている本発明の構造は、その表面波リークを最
小限に押さえることができ、数百ＧＨｚの上限動作周波
数を可能にする。
で、ＲＦ周波数の上限は数百ＧＨｚになる。 （３）対数周期型又は対数スパイラル型のアンテナを用
いているので、その上限周波数から下限周波数への全領
域で極めて広帯域に動作可能である。つまり、この型の
アンテナの下限周波数は、基板主面に占める一単位アン
テナパターンの許容できる最大寸法に依存している。上
限周波数はアンテナパターン部の最小パターンの寸法よ
りむしろ表面波リークで決まる。対数周期型又は対数ス
パイラル型の寸法の小さな部分に近接して非線形素子部
分を設けている本発明の構造は、その表面波リークを最
小限に押さえることができ、数百ＧＨｚの上限動作周波
数を可能にする。
【００４０】（４）ＬＯを電波として空気中乃至は真空
中を通して基板主面に垂直に近い角度で照射できるの
で、複数個の非線形素子部分が基板主面上に点在してい
る場合でも、前記基板主面の同一平面上にＬＯ線路を設
ける場合と比較し、各非線形素子部分へより均一な位相
にてＬＯを送ることが可能になる。 （５）基板の誘電率は１より大きいため、前記基板主面
の同一平面上に設けたＬＯ線路での信号波長と比べ空気
中乃至は真空中の波長は長くないので、ＬＯ各非線形素
子部へ送ることはより有利になる。
中を通して基板主面に垂直に近い角度で照射できるの
で、複数個の非線形素子部分が基板主面上に点在してい
る場合でも、前記基板主面の同一平面上にＬＯ線路を設
ける場合と比較し、各非線形素子部分へより均一な位相
にてＬＯを送ることが可能になる。 （５）基板の誘電率は１より大きいため、前記基板主面
の同一平面上に設けたＬＯ線路での信号波長と比べ空気
中乃至は真空中の波長は長くないので、ＬＯ各非線形素
子部へ送ることはより有利になる。
【００４１】（６）マイクロ波からサブミリ波まで連続
に電波を前記非線形素子部分に導くことができ、かつ、
空間的に独立に設計できるＬＯ照射部を持つので、前記
主基板上に設けた複数のアンテナや非線形素子部分など
の位置や大きさを変えずに、ＬＯ周波数を変更するだけ
で、マイクロ波からサブミリ波までのどの領域のＲＦ周
波数に対しても、基本波ミキサー及びハーモニックミキ
サー動作が可能になる。
に電波を前記非線形素子部分に導くことができ、かつ、
空間的に独立に設計できるＬＯ照射部を持つので、前記
主基板上に設けた複数のアンテナや非線形素子部分など
の位置や大きさを変えずに、ＬＯ周波数を変更するだけ
で、マイクロ波からサブミリ波までのどの領域のＲＦ周
波数に対しても、基本波ミキサー及びハーモニックミキ
サー動作が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態（実施例）の基板主面上の上
に設けられた回路の一例を示す全体平面配置図である。
に設けられた回路の一例を示す全体平面配置図である。
【図２】本発明の実施形態（実施例）の基板主面上の上
に設けられたアンテナパターン部の一例を示す拡大平面
図である。
に設けられたアンテナパターン部の一例を示す拡大平面
図である。
【図３】本発明の実施形態（実施例）の基板主面上に設
けられた非線形素子部の周辺拡大平面図である。
けられた非線形素子部の周辺拡大平面図である。
【図４】本発明のアレイアンテナ構造にした場合の一例
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図５】本発明の実施形態（実施例）において、ＲＦ入
射角度が制限されている一例を示す側面図である。
射角度が制限されている一例を示す側面図である。
【図６】本発明の実施形態（実施例）の冷凍機に搭載し
た場合の一例を示す概念図である。
た場合の一例を示す概念図である。
【図７】ＬＯをアンテナパターンの中心にある非線形素
子部へ導入する場合、従来の一例を示す図である。
子部へ導入する場合、従来の一例を示す図である。
【図８】本発明の実施形態（実施例）において、ＬＯを
電波としてアンテナへ供給する場合の一例を示す概観構
造図である。
電波としてアンテナへ供給する場合の一例を示す概観構
造図である。
１…基板主面 ２…アンテナパターン部 ３…ＩＦ出力パターン部 ４…電流バイアスパターン部 ５…非線形素子部 ６…ＬＯ入力端子 ７…ＬＯ入力パターン部 １１…電波遮蔽板 １２…基板主面に対し法線方向 １３…ＲＦ入射角度 １４…電波に対し透明な窓 １５…真空容器 １６…窓支持板 ２１…ＬＯ電波放射アンテナ ２２…ＬＯ電波反射板 ２３…ＬＯ電波 ２４…ＲＦ入射方向例
フロントページの続き (72)発明者 榎本 陽一 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法人 国際超電導産業技術研究センター 超電 導工学研究所内 (72)発明者 田中 昭二 東京都江東区東雲１丁目14番３ 財団法人 国際超電導産業技術研究センター 超電 導工学研究所内
Claims (7)
- 【請求項１】 基板主面の同一平面上に超電導体薄膜配
線パターンからなる単位配線パターンが設けられ、その
単位配線パターン内部に非線形素子部分が形成されてい
て、その非線形素子部分の端子には高周波電磁界を放出
又は吸収するアンテナパターン部と信号伝送路（フィー
ドライン）パターン部が接続されている構造を一単位パ
ターンとし、その単位が一つ又は複数個信号伝送路パタ
ーンで接続され信号検出へと導かれている構造を有し、
そのアンテナパターン部分が対数周期型又は対数スパイ
ラル型の平面型構造で、そのアンテナパターン部の中心
部に前記非線形素子部分を有し、そのアンテナパターン
部により信号高周波電波（ＲＦ）と局部基準周波数電波
（ＬＯ）をともに吸収し、局部基準周波数電波（ＬＯ）
用の伝送路（フィードライン）パターンが基板主面の同
一平面上に設けられていないことを特徴とする広周波数
帯域高温超電導体ミキサーアンテナ。 - 【請求項２】 前記アンテナパターン部により信号高周
波電波（ＲＦ）と局部基準周波数電波（ＬＯ）をともに
吸収し非線形素子部分にて両波をミキシングし、中間周
波数（ＩＦ）信号を信号伝送路（フィードライン）パタ
ーン部へ導くことを特徴とする請求項１に記載の広周波
数帯域高温超電導体ミキサーアンテナ。 - 【請求項３】 前記非線形素子部分が複数個の非線形素
子を直列に接続した非線形素子部分からなり、その非線
形素子部分のインピーダンスを単一の非線形素子より大
きくした構造を備えることを特徴とする請求項１又は２
に記載の広周波数帯域高温超電導体ミキサーアンテナ。 - 【請求項４】 前記非線形素子部分の寸法が基板主面に
おける信号高周波電波（ＲＦ）と局部基準周波数電波
（ＬＯ）の実効波長の４分の１より小さいことを特徴と
する請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の広周波
数帯域高温超電導体ミキサーアンテナ。 - 【請求項５】 前記基板主面の同一平面上に電流導入端
子を設け、非線形素子又は非線形素子部分を電流バイア
ス制御ミキサーとして機能させることを特徴とする請求
項１乃至４のうちいずれか１項に記載の広周波数帯域高
温超電導体ミキサーアンテナ。 - 【請求項６】 前記超電導体薄膜配線は、酸化物超電導
体のＹＢａＣｕＯ化合物又はＮｄＢａＣｕＯ化合物から
なる酸化物超電導体であることを特徴とする請求項１乃
至５のうちいずれか１項に記載のミキサーアンテナ。 - 【請求項７】 前記非線形素子又は非線形素子群を設け
る部分を除く超電導体薄膜パターンにおいて、その一部
又は全部が基板主面に接している所から順に超電導体薄
膜ついで金などの常電気伝導金属薄膜からなる多層膜構
造であることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれ
か１項に記載のミキサーアンテナ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7225035A JPH0969724A (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | 広周波数帯域高温超電導体ミキサーアンテナ |
| EP96113782A EP0762530A1 (en) | 1995-09-01 | 1996-08-28 | High frequency band high temperature superconductor mixer antenna |
| US08/706,800 US5812943A (en) | 1995-09-01 | 1996-09-03 | High frequency band high temperature superconductor mixer antenna which allows a superconductor feed line to be used in a low frequency region |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7225035A JPH0969724A (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | 広周波数帯域高温超電導体ミキサーアンテナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0969724A true JPH0969724A (ja) | 1997-03-11 |
Family
ID=16823042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7225035A Pending JPH0969724A (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | 広周波数帯域高温超電導体ミキサーアンテナ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5812943A (ja) |
| EP (1) | EP0762530A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0969724A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006064691A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-03-09 | Canon Inc | センシング装置 |
| JP2018512729A (ja) * | 2015-02-27 | 2018-05-17 | イェール ユニバーシティーＹａｌｅ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ | 平面キュービットを非平面共振器に連結するための技術ならびに関連する系および方法 |
| US11223355B2 (en) | 2018-12-12 | 2022-01-11 | Yale University | Inductively-shunted transmon qubit for superconducting circuits |
Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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