JPH0970745A - ワイヤソー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フランジ部の変形するおそれのない巻き取り
リールを提供する。 【解決手段】 ワイヤ６を繰り出し、巻き取るための一
対のリール１３，１４のフランジ部４０は、テーパ状に
形成されている。前記リール１４にワイヤ６を均一に巻
き取るために、トラバーサ２９は、テーパ部の逓増率に
合わせて両反転端の位置がリール端面側へ漸次単調移動
されながらワイヤ６を案内する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体材
料、磁性材料、セラミック等の脆弱性材料をワイヤによ
り切断するワイヤソー装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のワイヤソー装置は、複数の加工
用ローラ間にワイヤが多数回螺旋状に巻掛けられる。そ
して、その加工用ローラの回転によりワイヤが走行さ
れ、その走行中のワイヤとワークとが接触されるととも
に、その接触部に砥粒を含むスラリーが供給されて、ワ
ークがワイヤによりウエハー状にスライスされる。

【０００３】この種の装置においては、ワイヤを加工用
ローラ側へ繰り出すリールと、切断を終えたワイヤを巻
き取るためのリールとを備えたリール機構がフレーム上
に装設されている。そして、前記繰り出し用リールから
繰り出されたワイヤは、トラバーサを介して巻き取り用
リールに巻き取られていく。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ワイヤには大きな張力
が働いているが、従来のワイヤソー装置の巻き取り用リ
ールでは、そのフランジ部の巻き付け側内面がリール軸
線に対して直角をなしていた。

【０００５】よって、以下のような問題点があった。 （１）リールのフランジ部とリールの巻胴との境界部分
は集中応力が働く部分であり、巻き取られたワイヤの圧
力によりフランジ部が変形するおそれがあった。 （２）ワイヤの巻き取りに際して、巻き取られるワイヤ
がすでに巻き取られたワイヤ間に食い込み、ワイヤを巻
き戻すときにワイヤ張力が大きく変動して加工に悪影響
を与えたり、ワイヤが断線したりするおそれがあった。

【０００６】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的
は、大きな圧力が働いても変形するおそれのないリール
を備えたワイヤソー装置を提供することにあり、また、
そのリールにワイヤを均一に巻き取っていくことができ
るようにしたワイヤソー装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、前記両リールのうち少な
くとも巻き取り側のリールのフランジ部の巻き付け側周
面がテーパ状に形成されたものである。

【０００８】請求項２に記載の発明は、前記リールにワ
イヤが均一に巻き取られるようにするために、トラバー
サの反転端の位置を補正する反転端補正手段が設けられ
たものである。

【０００９】請求項３に記載の発明は、前記反転端補正
手段は、リールのテーパ部の逓増率に合わせてトラバー
サの反転端の位置をリール端面側へ漸次移動させるもの
である。

【００１０】請求項４に記載の発明は、ワイヤの巻き形
状が悪化したときの巻き形状補正手段が設けられたもの
である。請求項５に記載の発明は、前記巻き形状補正手
段は、リールの所定ワイヤ巻き付け区間中央部付近での
巻径とリール端部での巻径とを比較して、端部での巻径
の方が大きい場合はその端部の反転端の位置を変化させ
ず、端部での巻径の方が小さい場合はその端部の反転端
の位置をリール端部側へ多めに移動させ、両径が等しい
場合は反転端の位置をリールのテーパ部の逓増率に合わ
せてリール端部側へ漸次移動させるものである。

【００１１】請求項６に記載の発明は、前記リールをそ
の中心軸線が鉛直方向を指向するように支持するととも
に、前記トラバーサをリールの軸線方向に往復移動可能
になるように配置し、少なくとも上部側のフランジ部が
テーパ状をなしているものである。

【００１２】従って、請求項１に記載の発明では、フラ
ンジ部に対するワイヤ巻き取り圧力を分散でき、フラン
ジ部にかかる圧力を弱めることができる。請求項２に記
載の発明では、反転端の補正が行われてフランジ部がテ
ーパ状に形成されていても前記巻き取り用リールにワイ
ヤが軸方向において均一な外径を有するように巻き取ら
れる。

【００１３】請求項３に記載の発明では、巻き取り用リ
ールのテーパ部の逓増率に合わせてトラバーサの反転端
の位置がリール端面側へ漸次移動されながらワイヤが巻
き取られる。

【００１４】請求項４に記載の発明では、ワイヤの巻き
形状が悪化しても巻き形状補正手段によってその形状が
補正される。請求項５に記載の発明では、リールの所定
ワイヤ巻き付け区間中央部付近での巻径とリール端部で
の巻径とが比較されて、リール端部での巻き崩れ等の巻
き形状の悪化が補正されながらワイヤが巻き取られる。

【００１５】請求項６に記載の発明では、中心軸線が鉛
直方向を指向するように支持され、少なくとも上端部の
フランジ部がテーパ状をなしているリールにワイヤが均
一に巻き取られる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、この発明を具体化したワイ
ヤソー装置の一実施形態を、図面に基づいて説明する。

【００１７】図１及び図２に示すように、基台１は床面
上に設置され、その上面にはフレーム２，３，４が立設
されている。切断機構５はフレーム２上に装設されてい
る。この切断機構５は平行に延びる加工用ローラとして
の駆動溝ローラ７及び従動溝ローラ８を備え、それらの
外周には環状をなす多数の溝７ａ，８ａが所定ピッチで
形成されている。なお、図面においては理解を容易にす
るために、溝７ａ，８ａの数を実際よりも少なく描いて
いる。一本の切断用ワイヤ６は前記溝ローラ７，８の各
溝７ａ，８ａに連続的に巻回されている。ワイヤ走行用
モータ９は基台１上に配設され、このモータ９により駆
動溝ローラ７が直接回転される。そして、溝ローラ７、
８の正逆回転によって、ワイヤ６が一方向又は双方向に
走行される。例えば、溝ローラ７，８の正逆回転によ
り、ワイヤ６が１０メートル往動した後、９メートル復
動するということを繰り返す。ワーク支持機構１０はフ
レーム３の左側面に前記切断機構５の上方において上下
動可能に支持され、その下部にはワーク１１がセットさ
れる。そして、ワイヤ６が溝ローラ７ａ，８ａ間で走行
されながら、ワーク支持機構１０が図示しない駆動装置
により下降される。このとき、ワイヤ６上へ砥粒を含む
スラリーが図示しないスラリー供給装置から供給される
とともに、そのワイヤ６に対し、ワーク１１が押し付け
られ、スラリ−中の砥粒のラッピング作用によってワー
ク１１がスライス加工される。

【００１８】リール機構１２はフレーム４上に装設され
ている。このリール機構１２は、ワイヤ６を繰り出し、
巻き取るための一対のリール１３，１４を備えている。
両リール１３，１４の両端のフランジ部４０はテーパ状
に形成されている。なお、両リール１３，１４は巻き取
り、繰り出しの両機能を有するが、以降の説明において
は、説明を簡略化するために一例として一方のリール１
３を繰り出しリール、他方のリール１４を巻き取りリー
ルとした場合を述べる。後述する一対のリール回転用モ
ータ３１，３２は基台１に配設され、これらのモータ３
１，３２により繰り出しリール１３及び巻き取りリール
１４が個別に回転される。

【００１９】トラバース機構１５はリール機構１２に隣
接してフレーム４上に装設され、繰り出しリール１３か
らのワイヤ６の繰り出し及び巻き取りリール１４へのワ
イヤ６の巻き取りを上下にトラバースしながら案内す
る。そして、両リール１３，１４の回転及び溝ローラの
回転により繰り出しリール１３から切断機構５へワイヤ
６が繰り出されるとともに、加工ローラ７，８間を経て
巻き取りリール１４に巻き取られる。

【００２０】一対のダンサアーム１７はフレーム３の前
面に回転軸を介して回動可能に支持され、それらの先端
にはガイドローラ１８及びウェイト１９がそれぞれ取付
けられている。そして、両ダンサアーム１７に付設され
たウェイト１９の重力により、溝ローラ７，８間のワイ
ヤ６に所定の張力が付与される。ダンサアーム１７の回
転軸にはエンコーダ１６が連結されている。そして、ワ
イヤ６の張力変動によりダンサアーム１７が上方または
下方へ回動されたときには、エンコーダ１６がそれを検
出して、ワイヤ６の張力が所定値になるようにリール１
３，１４の回転速度が制御される。なお、２１，２３，
２４，２５はワイヤ６の走行を案内するためのガイドロ
ーラを示す。

【００２１】ワイヤ６は繰り出しリール１３から繰り出
されてローラ２３、ダンサアーム１７のローラ１８、ガ
イドローラ２５及び一組のガイドローラ２１を経て切断
機構５に至る。そして、その切断機構５からもう一組の
ガイドローラ２１、ガイドローラ２５、ダンサアーム１
７のローラ１８及びローラ２４を経て巻き取りリール１
４に巻き取られる。

【００２２】制御手段を構成する制御装置２６は前記基
台１の後方に近接して配置され、その前面には各種の操
作キーや表示ランプ等を備えた制御パネル２７が取り付
けられている。

【００２３】次に、この実施形態の主要部の構成を詳細
に説明する。図３に示すように、前記制御装置２６は反
転端補正手段及び巻き形状補正手段を構成し、ＣＰＵ５
０、ＲＯＭ５１、ＲＡＭ５２を有している。ＣＰＵ５０
は装置全体の動作を制御し、ＲＯＭ５１には後述のプロ
グラムが格納され、ＲＡＭ５２は各種のデータを一時的
に記憶する。ＣＰＵ５０には後述の磁気感知スイッチ４
１、センサとしてのエンコーダ１６，６６，６７及びモ
ータ３１，３２が接続されている。

【００２４】図４、図５及び図６に示すように、回転方
向及び回転速度を変更可能な前記一対のモータ３１，３
２はフレーム４に装着され、その上面にはモータ軸３１
ａ，３２ａが突設されている。回転軸３３は各モータ３
１，３２に対応するように、複数の軸受３４を介してフ
レーム４内に回転可能に支持され、それらの上端には大
径部３３ａが一体形成されている。カップリング３５は
モータ軸３１ａ，３２ａを各回転軸３３に連結するよう
に、それらの間に取り付けられている。

【００２５】前記繰り出しリール１３及び巻き取りリー
ル１４は、ドライブピン３６により各回転軸３３の大径
部３３ａ上に位置決めされた状態でネジ３７により大径
部３３ａに保持されて、その軸線が鉛直線に沿ってい
る。両リール１３，１４のフランジ部４０は、テーパ状
（本実施形態では図７に示す同テーパ部の作る角度θ
は、リール軸線に対してθ＝４５゜）に形成されてい
る。

【００２６】また、演算プログラムにより両リール３
１，３２のワイヤ繰り出し量が算出され、ワイヤ６が同
一速度で両リール１３，１４間を走行されるように、両
リール１３，１４の巻径の変化にともないモータ３１，
３２の回転速度がそれぞれ制御される。

【００２７】図５及び図６に示すように、一対の取付板
４６はフレーム４上に所定間隔をおいて立設され、この
両取付板４６間には上下一対の回転軸４７，４８が回転
可能に支持されている。回転方向及び回転速度の変更可
能な一対のモータ４９は後部取付板４６の外面に装着さ
れ、それらのモータ軸がカップリングを介して回転軸４
７，４８にそれぞれ連結されている。

【００２８】一対の下部駆動スプロケット５６は前記下
部回転軸４８に所定間隔をおいて固定されている。一対
の上部従動スプロケット５７は上部回転軸４７上に軸受
を介して回転可能に支持され、各従動スプロケット５７
と駆動スプロケット５６との間にはチェーン５９がそれ
ぞれ掛装されている。

【００２９】移動体６１は前記各対のチェーン５９の途
中に支持され、それらのチェーン５９により、巻き取り
リール１４の長手方向へ往復移動される。横ガイドロー
ラ６２は移動体６１の下面に垂直軸線の周りで回転可能
に支持され、巻き取りリール１４に巻き取られるワイヤ
６がほぼ水平方向に走行するように規制する。縦ガイド
ローラ６３は移動体６１の側面に水平軸線の周りで回転
可能に支持され、前記ワイヤ６が上下方向に走行するよ
うに規制する。

【００３０】図５に示すように、各一対のタッチローラ
６４，６５は上下方向へ所定の微小間隙をおいて隣接配
置されるように、前記各移動体６１に回転可能に支持さ
れ、このタッチローラ６４，６５間の間隙中にワイヤ６
が挿通されている。回転センサとしてのエンコーダ６
６，６７は各タッチローラ６４，６５の回転軸に連結さ
れ、タッチローラ６４，６５がワイヤ６との接触によっ
て回転されるときに検出信号を出力する。

【００３１】取付板４６には、巻き取り及び繰り出しリ
ール１３，１４の軸方向中心部に対応する高さの位置に
おいて、位置センサとしての磁気感知スイッチ４１が配
設されている。また、前記両移動体６１には、前記スイ
ッチ４１の近傍を通過するマグネット４２が止着されて
いる。

【００３２】次に、前記のように構成されたワイヤソー
装置の動作、特にワイヤ巻き取りの動作について詳述す
る。前記のように構成されたトラバース機構１５におい
ては、装置の運転時に前記各モータ４９が、繰り出しリ
ール１３及び巻き取りリール１４上のワイヤ６の巻径、
ワイヤ６の走行速度およびダンサアーム１７の傾動によ
り検出されるワイヤ６の張力に応じて適宜の速度で回転
される。

【００３３】そして、モータ４９により回転軸４７，４
８が回転され、前記両移動体６１がそれぞれ垂直方向に
往復移動される。これにより、ワイヤ６が繰り出しリー
ル１３上から長手方向にトラバースされながら繰り出さ
れ、また、ワイヤ６が巻き取りリール１４上に長手方向
へトラバースされながら巻き取られる。

【００３４】このようにワイヤ６がトラバースされなが
ら繰り出され、または巻き取られる。ここで、トラバー
ス速度が適正値より速かったり遅かったりすると、ワイ
ヤ６がタッチローラ６４あるいは６５に接触して、それ
らのタッチローラ６４，６５の一方が回転される。すな
わち、トラバース機構１５によるトラバース速度が速い
場合には、移動体６１の移動方向の後方側に位置するタ
ッチローラ６４，６５のいずれかが回転され、トラバー
ス速度が遅い場合には、移動方向の前方側に位置するも
う一方のタッチローラ６４あるいは６５が回転される。

【００３５】このようにタッチローラ６４，６５が回転
されると、エンコーダ６６，６７から制御装置２６に検
出信号が出力される。そして、この検出信号に基づいて
制御装置２６の制御により、モータ４９の回転速度が調
節され、移動体６１の移動速度が変更されて、ワイヤ６
のトラバース速度が修正される。すなわち、移動体６１
の移動方向の前方側のタッチローラに取付けられたエン
コーダ６６あるいは６７から検出信号が出力されたとき
には、トラバース速度が遅くされる。一方、移動体６１
の移動方向の後方側のタッチローラに取付けられたエン
コーダ６６あるいは６７から検出信号が出力されたとき
には、トラバース速度が速くされる。

【００３６】このようにトラバーサ２９は、トラバース
速度が適宜調整されながら鉛直方向に往復移動してワイ
ヤ６を案内する。ここで、トラバーサ２９の速度制御を
タッチローラに配設されたエンコーダからの検出信号に
よって行うことは、ワイヤ６の繰り出しリール１３側の
みで行うのが望ましい。

【００３７】本実施形態における巻き取りリール１４は
フランジ部４０がテーパ状に形成されており、同リール
にワイヤ６を均一に巻き取っていくためには通常のトラ
バース運動に加えてトラバーサ２９の新たな制御が必要
となる。

【００３８】以下、テーパ状のフランジ部４０にワイヤ
６を均一に巻き取っていく手段を詳述する。ここで本実
施形態では、トラバーサ２９の往復運動はリールの所定
ワイヤ巻き付け区間の中心に対して対称となるよう調整
されているものとする。

【００３９】図７に示すように、本実施形態におけるワ
イヤソー装置の巻き取りリール１４は、フランジ部４０
がテーパ状に形成されており、同リールの最大巻き幅を
ａ、最小巻き幅をｂとし、また最大軸径をｄ、最小軸径
をｃとする。

【００４０】まず図８に示すように、ワイヤ６の巻き取
りを開始してステップＳ１でスイッチ４１がＯＮの状態
にあるかどうか判別される。そしてＹＥＳのとき、すな
わちトラバーサ２９が所定ワイヤ巻き付け区間のほぼ中
央部の巻き取りの平坦部に位置したときは、ステップＳ
２でそのときにおける巻径ｘに基づいて補正すべき反転
端補正量△Ｌが演算される。この補正されるトラバース
の補正量を図７に基づいて数式で表すと、 △Ｌ ＝ （ｘ−ｃ）／２・ｔａｎθ となる。ここで、θはテーパ面３９の作る角度である。

【００４１】本実施形態ではθ＝４５°であるため、△
Ｌ＝（ｘ−ｃ）／２となる。つまり、巻き始めは巻径ｘ
は最小軸径ｃに等しいため△Ｌはゼロであり、反転端補
正は行われず、初期の設定値であるリールの最小巻き幅
ｂの間を往復する。そして、巻径がｘとなったときは、
トラバーサ２９の反転端の位置をリールの両端へそれぞ
れ△Ｌ＝（ｘ−ｃ）／２、すなわち巻径の増加分の半分
の量を延長させて反転端補正を行えばよいのである。な
お巻径ｘは、例えばリール１３，１４の回転速度等のデ
ータから演算される。

【００４２】このようにして、リールの端部での巻径
と、トラバース運動の中心部での巻径とが一致している
ときは、トラバーサ２９の反転端の位置が巻付胴４３の
端よりリールの両端側に向かってそれぞれ△Ｌだけ延長
されて、フランジ部４０のテーパ面３９に沿ってワイヤ
６が巻き取られる。

【００４３】そして、ステップＳ３において、ワイヤ送
り速度の変化、すなわちワイヤ６の巻付端付近と巻付胴
４３中央部付近とのワイヤの巻径の比較が行われる。テ
ーパ面３９付近でのワイヤ６の巻き端では、巻き形状の
悪化が顕著に現れて、図９及び図１０に示すように両端
のワイヤが盛り上がったり、テーパ面３９に沿って落ち
こんだりすることがある。これらは、巻き取りリール１
４のワイヤ送り速度の変化として現れる。

【００４４】通常は図１１に示すように、ワイヤ６の巻
き取りが均一に行われていると、ステップＳ４で漸次ト
ラバーサ２９の反転端位置が補正されながら繰り出し
や、巻き取りが行われる。

【００４５】しかしながら、ステップＳ５でダンサアー
ム１７の下降によってリールからのワイヤ送りが速くな
ったとき、すなわち図９に示すようにテーパ面３９付近
のワイヤがもりあがって、巻き端での巻径が中心部での
巻径より大きくなった場合には、前述した通常の反転端
補正、つまり反転端の延長を行わないようにする。そし
て、前回と同じ反転端位置で往復トラバースを行ってワ
イヤ６を巻き取って行く。そうすると、図１１に示すよ
うに巻き形状が均一なものに戻る。このように巻き形状
が回復して前記両径が等しくなったときから、再びトラ
バーサ２９の動作を通常のものに戻して、通常の反転端
補正を行いながらワイヤ６を巻き取っていく。

【００４６】また、逆にダンサア−ム１７が上昇してリ
ールからのワイヤ送りが遅くなったとき（ステップＳ
６）、すなわち図１０に示すようにテーパ面３９付近の
ワイヤ６がテーパ面３９に沿って落ちこんで、巻き端で
の巻径が中心部での巻径よりも小さくなった場合には、
前述した通常の反転端補正を行っているときの延長量△
Ｌをさらに増加させ、例えばＫ倍の量を延長量として加
える。そして、その状態で往復トラバースを行ってワイ
ヤ６の巻き取りを行っていくと、図１１に示すように巻
き形状が回復して均一なものに戻る。このように巻き形
状が回復して前記両径が等しくなったときから、再びト
ラバーサ２９の動作を通常のものに戻して、通常の反転
端補正を行いながらワイヤ６を巻き取っていく。

【００４７】この一連の動作を繰り返しながら巻き取り
リール１４にワイヤ６が巻き取られるため、ワイヤ６の
巻き形状が悪化しても、巻き形状が随時補正されて、テ
ーパ面３９にもワイヤ６が均一に巻き取られる。

【００４８】本実施形態では以上のようにワイヤソー装
置を構成したため、以下の効果を有する。 （１）両リール１３，１４のフランジ部４０がテーパ状
に形成されているために、従来のフランジの場合に比べ
てフランジ部４０自体の強度が向上するとともに、巻付
圧力がテーパ面３９と直角をなす方向に分散されて、ワ
イヤ６の張力によって同部分が変形するおそれが小さ
い。 （２）トラバーサ２９を漸次反転端補正しながらワイヤ
６を巻き取っていくようにしたため、テーパ面３９にも
ワイヤ６が均一に巻き取られる。 （３）巻き形状の補正手段を設けたため、ワイヤの巻き
形状が悪化しても補正することができ、常に均一な巻き
形状になる。

【００４９】尚、この発明は前記実施形態に限定される
ものではなく、各部の構成を例えば以下のように変更し
て具体化することも可能である。 （１）テーパ面３９の作る角度θを、前記実施形態のも
のとは異なる角度にすること。

【００５０】この角度θは、装置の運転条件によって、
特にワイヤ６に付与される張力と巻き量との関係から定
めるのが望ましい。例えば、角度θが大きいとワイヤ６
の巻き量は多くなるが、フランジ部４０が直立したもの
に近づくため、同部分が変形する可能性は高くなる。よ
って、張力は弱くてもいいが、巻き量を多く確保したい
場合は、角度θを大きくすればよい。逆に、角度θが小
さいとワイヤ６の巻き量は少なくなるが、フランジ部４
０が変形する可能性は低くなる。よって、巻き量は少な
くてもいいが大きな張力に耐えられるようにしたい場合
は、角度θを小さくすればよい。一般に、角度θは３０
°〜６０°位の間で選択するのが望ましい。 （２）繰り出しリール１３および巻き取りリール１４
を、その中心軸線が水平になるように支持すること。 （３）繰り出しリール１３および巻き取りリール１４の
上下両フランジ部４０のうち、上部のみテーパ状のフラ
ンジ部とすること。

【００５１】普通、リールの中心軸線が鉛直方向を指向
するように支持されたリールでは、リールの下端は固定
されており、また自重によってフランジ部が破損するお
それがなく、上端のみについてテーパ状のフランジ部と
すればよい。よって、トラバーサ２９の反転端補正を上
端部においてのみ行えばよく、その制御が簡単になる。

【００５２】上記実施形態から把握できる請求項以外の
技術的思想について、以下にその効果とともに記載す
る。 （１）一方のリールから繰り出された一本のワイヤを、
複数の加工用ローラ間に螺旋状に巻き付けるとともに、
該ワイヤを他方のリールにトラバーサを介して巻き取
り、両リール間のワイヤによりワークに対して切断加工
を施すようにしたワイヤソー装置におけるワイヤの巻き
取り方法において、前記両リールのうち少なくとも巻き
取り側のリールのフランジ部の巻き付け側周面がテーパ
状に形成されており、同テーパ部の逓増率に合わせてト
ラバーサの両反転端の位置をリール端面側へ漸次移動さ
せながらワイヤを巻き取っていくワイヤの巻き取り方
法。

【００５３】このようにすれば、リールのテーパ部にも
ワイヤが均一に巻き取られる。 （２）上記（１）において、ワイヤの巻き形状が悪化し
たとき、リールの所定ワイヤ巻き付け区間中央部付近で
の巻径とリール端部での巻径とを比較して、端部の巻径
の方が大きい場合はその端部の反転端の位置を変化させ
ず、端部での巻径の方が小さい場合はその端部の反転端
の位置をリール端部側へ多めに移動させ、両径が等しい
場合は反転端の位置をリールのテーパ部の逓増率に合わ
せてリール端部側へ漸次移動させてワイヤを巻き取って
いくワイヤの巻き取り方法。

【００５４】このようにすれば、ワイヤの巻き形状の悪
化を補正することができ、常に均一な巻き形状となる。

【００５５】

【発明の効果】請求項１に記載の発明では、ワイヤがテ
ーパ部にも巻き取られてフランジ部にかかる圧力を分散
し、巻き付き圧力を弱めることができるため、リールが
変形するおそれがない。

【００５６】請求項２に記載の発明では、フランジ部が
テーパ状に形成されていても巻き取り用リールにワイヤ
が軸方向において均一な外径を有するように巻き取られ
る。請求項３に記載の発明では、巻き取り用リールのテ
ーパ部の逓増率に合わせてトラバーサの両反転端の位置
がリール端面側へ単調移動されながらワイヤが巻き取ら
れる。よって、テーパ部に効率よくワイヤが巻き取られ
て、巻き量の増加を図ることができる。

【００５７】請求項４に記載の発明では、ワイヤの巻き
形状が悪化しても補正手段によってその形状が補正され
る。よって巻き崩れ等のおそれがない。請求項５に記載
の発明では、リールの所定ワイヤ巻き付け区間中央部付
近での巻径とリール両端での巻径とが比較されて、リー
ル両端での巻き崩れ等の巻き形状の悪化が補正されなが
らワイヤが巻き取られる。よって、巻き形状補正手段を
単純にすることができ、その構造が複雑化しない。

【００５８】請求項６に記載の発明では、リールの少な
くとも上部側のフランジ部のみについて反転端補正を行
えばよく、トラバーサの制御が簡単になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワイヤソー装置の全体構成を示す正面図。

【図２】ワイヤソー装置の平面図。

【図３】制御装置を示すブロック図。

【図４】ワイヤの繰り出し及び巻き取り機構を拡大して
示す部分破断側面図。

【図５】ワイヤのトラバース機構を拡大して示す部分切
欠き正面図。

【図６】トラバース機構の部分平面図。

【図７】巻き取りリールの寸法を示す正面図。

【図８】トラバーサの動作を示すフローチャート。

【図９】巻き端でワイヤの巻き崩れ（盛り上がり）を示
す正面図。

【図１０】巻き端でワイヤの巻き崩れ（落ちこみ）を示
す正面図。

【図１１】ワイヤの巻き取りが正常に進行している様子
を示す正面図。

【符号の説明】

５…切断機構、６…ワイヤ、７…駆動溝ローラ、８…従
動溝ローラ、１１…ワーク、１２…リール機構、１３…
繰り出しリール、１４…巻き取りリール、１５…トラバ
ース機構、２９…トラバーサ、６４，６５…タッチロー
ラ、６６，６７…エンコーダ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方のリールから繰り出された一本のワ
   イヤを、複数の加工用ローラ間に螺旋状に巻き付けると
   ともに、該ワイヤを他方のリールにトラバーサを介して
   巻き取り、両リール間のワイヤによりワークに対して切
   断加工を施すようにしたワイヤソー装置において、 前記両リールのうち少なくとも巻き取り側のリールのフ
   ランジ部の巻き付け側周面がテーパ状に形成されている
   ワイヤソー装置。
2. 【請求項２】 前記リールにワイヤが均一に巻き取られ
   るようにするために、トラバーサの反転端の位置を補正
   する反転端補正手段が設けられた請求項１に記載された
   ワイヤソー装置。
3. 【請求項３】 前記反転端補正手段は、リールのテーパ
   部の逓増率に合わせてトラバーサの反転端の位置をリー
   ル端面側へ漸次移動させる請求項１または２に記載され
   たワイヤソー装置。
4. 【請求項４】 ワイヤの巻き形状が悪化したときの巻き
   形状補正手段が設けられた請求項１〜３のいずれかに記
   載されたワイヤソー装置。
5. 【請求項５】 前記巻き形状補正手段は、リールの所定
   ワイヤ巻き付け区間中央部付近での巻径とリール端部で
   の巻径とを比較して、端部での巻径の方が大きい場合は
   その端部の反転端の位置を変化させず、端部での巻径の
   方が小さい場合はその端部の反転端の位置をリール端部
   側へ多めに移動させ、両径が等しい場合は反転端の位置
   をリールのテーパ部の逓増率に合わせてリール端部側へ
   漸次移動させる請求項４に記載されたワイヤソー装置。
6. 【請求項６】 前記両リールをその中心軸線が鉛直方向
   を指向するように支持するとともに、前記トラバーサを
   リールの軸線方向に往復移動可能になるように配置し、
   少なくとも上部側のフランジ部がテーパ状をなしている
   請求項１〜５のいずれかに記載されたワイヤソー装置。