JPH0971406A - 過酸化水素水の精製方法 - Google Patents
過酸化水素水の精製方法Info
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- JPH0971406A JPH0971406A JP7228042A JP22804295A JPH0971406A JP H0971406 A JPH0971406 A JP H0971406A JP 7228042 A JP7228042 A JP 7228042A JP 22804295 A JP22804295 A JP 22804295A JP H0971406 A JPH0971406 A JP H0971406A
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- peroxide solution
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 金属系不純物、特に無機不純物を含有する過
酸化水素水を、過酸化水素の分解を抑制し、安全に精製
し、高純度過酸化水素水を得る精製法を提供する。 【解決手段】 一般式Ｃm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニ
オン交換樹脂に過酸化水素水を接触させる。 【効果】 本発明の方法によると従来の精製方法では除
去が困難である無機不純物を、過酸化水素の分解を抑制
して効率よく除去することができる。
酸化水素水を、過酸化水素の分解を抑制し、安全に精製
し、高純度過酸化水素水を得る精製法を提供する。 【解決手段】 一般式Ｃm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニ
オン交換樹脂に過酸化水素水を接触させる。 【効果】 本発明の方法によると従来の精製方法では除
去が困難である無機不純物を、過酸化水素の分解を抑制
して効率よく除去することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は過酸化水素水の精製
法に関する。特に不純物、特に無機不純物を含有する過
酸化水素水を安全に精製し、極めて高純度な過酸化水素
水を得る方法に関する。本発明により精製された過酸化
水素水は特に半導体製造分野に使用するのに好適であ
る。
法に関する。特に不純物、特に無機不純物を含有する過
酸化水素水を安全に精製し、極めて高純度な過酸化水素
水を得る方法に関する。本発明により精製された過酸化
水素水は特に半導体製造分野に使用するのに好適であ
る。
【０００２】
【従来の技術】現在、過酸化水素は主に自動酸化法によ
り製造されているが、この方法によって製造された過酸
化水素水中には装置材質等に起因するＡｌをはじめとし
て各種無機不純物が含有しており、実用的な使用濃度の
１０〜７０重量％の過酸化水素水溶液中には数百μｇ／
リットルの無機不純物が含まれているのが普通である。
しかしながら、半導体製造分野で使用されている高純度
過酸化水素水として要求される無機不純物の含有量の標
準的な基準は数μｇ／リットルまたはそれ以下であり、
より高純度に精製する必要がある。
り製造されているが、この方法によって製造された過酸
化水素水中には装置材質等に起因するＡｌをはじめとし
て各種無機不純物が含有しており、実用的な使用濃度の
１０〜７０重量％の過酸化水素水溶液中には数百μｇ／
リットルの無機不純物が含まれているのが普通である。
しかしながら、半導体製造分野で使用されている高純度
過酸化水素水として要求される無機不純物の含有量の標
準的な基準は数μｇ／リットルまたはそれ以下であり、
より高純度に精製する必要がある。
【０００３】従来、過酸化水素水中に含まれるこれらの
無機不純物を除去、精製する方法として、強酸性カチオ
ン交換樹脂に過酸化水素水を接触させカチオン性の金属
系不純物を除去することが提案されているが、単に強酸
性カチオン交換樹脂に過酸化水素水を接触させるだけで
はＮａなどの易溶な強カチオン性金属系不純物は除去さ
れるものの、アニオン性金属系不純物は除去されず、さ
らに、Ｃｌ、ＰＯ4 などのアニオン性不純物、強酸性カ
チオン交換樹脂に過酸化水素水を接触させることにより
強酸性カチオン交換樹脂の劣化によって生じる多量のＳ
Ｏ4 イオンは除去されない。
無機不純物を除去、精製する方法として、強酸性カチオ
ン交換樹脂に過酸化水素水を接触させカチオン性の金属
系不純物を除去することが提案されているが、単に強酸
性カチオン交換樹脂に過酸化水素水を接触させるだけで
はＮａなどの易溶な強カチオン性金属系不純物は除去さ
れるものの、アニオン性金属系不純物は除去されず、さ
らに、Ｃｌ、ＰＯ4 などのアニオン性不純物、強酸性カ
チオン交換樹脂に過酸化水素水を接触させることにより
強酸性カチオン交換樹脂の劣化によって生じる多量のＳ
Ｏ4 イオンは除去されない。
【０００４】一方、四級アンモニウム基及びその対イオ
ンとして水酸化物イオンを構造内に持つ水酸化物（Ｏ
Ｈ）型強塩基性アニオン交換樹脂に過酸化水素水を接触
させることにより強酸性カチオン交換樹脂では除去でき
ない無機不純物を除去する方法も知られている。
ンとして水酸化物イオンを構造内に持つ水酸化物（Ｏ
Ｈ）型強塩基性アニオン交換樹脂に過酸化水素水を接触
させることにより強酸性カチオン交換樹脂では除去でき
ない無機不純物を除去する方法も知られている。
【０００５】しかしながら、水酸化物型強塩基性アニオ
ン交換樹脂を用いる場合は次のような問題点がある。そ
の一つとして、過酸化水素水が水酸化物型強塩基性アニ
オン交換樹脂と接触すると樹脂の高塩基性のため過酸化
水素水の分解が促進されることが挙げられる。このた
め、安全に過酸化水素水を精製することは困難である。
ン交換樹脂を用いる場合は次のような問題点がある。そ
の一つとして、過酸化水素水が水酸化物型強塩基性アニ
オン交換樹脂と接触すると樹脂の高塩基性のため過酸化
水素水の分解が促進されることが挙げられる。このた
め、安全に過酸化水素水を精製することは困難である。
【０００６】たとえば、特公昭３５−１６６７７号には
強塩基性アニオン交換樹脂中の塩の形を水酸化物型から
重炭酸塩型あるいは炭酸塩型に変え、塩基度を低下させ
ることによりアニオン交換樹脂の使用を可能にすること
が示されているが、この場合でも過酸化水素水の分解を
十分に抑えることは難しい。
強塩基性アニオン交換樹脂中の塩の形を水酸化物型から
重炭酸塩型あるいは炭酸塩型に変え、塩基度を低下させ
ることによりアニオン交換樹脂の使用を可能にすること
が示されているが、この場合でも過酸化水素水の分解を
十分に抑えることは難しい。
【０００７】さらに、重炭酸塩型あるいは炭酸塩型の場
合、重炭酸もしくは炭酸とアニオン交換樹脂母体、すな
わち四級アンモニウム基との結合力が比較的大きいた
め、過酸化水素水との接触によってもこれらの対イオン
とアニオン性不純物の交換が行なわれない場合があり、
その結果アニオン性不純物の除去が十分に行なわれな
い。
合、重炭酸もしくは炭酸とアニオン交換樹脂母体、すな
わち四級アンモニウム基との結合力が比較的大きいた
め、過酸化水素水との接触によってもこれらの対イオン
とアニオン性不純物の交換が行なわれない場合があり、
その結果アニオン性不純物の除去が十分に行なわれな
い。
【０００８】上記のような従来の方法では、特に最近の
半導体製造分野で要求される高純度の過酸化水素水を安
全に製造することは困難な状況に至っている。
半導体製造分野で要求される高純度の過酸化水素水を安
全に製造することは困難な状況に至っている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、過酸
化水素水の精製にアニオン交換樹脂を用いる方法におい
て、従来の水酸化物型、重炭酸塩型、炭酸塩型等の強塩
基性アニオン交換樹脂を用いる場合に比べ、過酸化水素
の分解を充分に抑制し、安全に、極めて高純度の過酸化
水素水を効率よく製造する方法を提供することにある。
化水素水の精製にアニオン交換樹脂を用いる方法におい
て、従来の水酸化物型、重炭酸塩型、炭酸塩型等の強塩
基性アニオン交換樹脂を用いる場合に比べ、過酸化水素
の分解を充分に抑制し、安全に、極めて高純度の過酸化
水素水を効率よく製造する方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記の課
題を解決すべく鋭意検討したところ、Ｃm Ｈn ＣＯＯ塩
型強塩基性アニオン交換樹脂を用いることにより、従来
の水酸化物型、重炭酸塩型、炭酸塩型強塩基性アニオン
交換樹脂に比べ、アニオン性不純物の除去が充分に高度
に行なわれ、かつ過酸化水素の分解が極めて低く抑えら
れ、より高純度な過酸化水素水を、より安全に製造でき
ることを見いだし、本発明を完成した。
題を解決すべく鋭意検討したところ、Ｃm Ｈn ＣＯＯ塩
型強塩基性アニオン交換樹脂を用いることにより、従来
の水酸化物型、重炭酸塩型、炭酸塩型強塩基性アニオン
交換樹脂に比べ、アニオン性不純物の除去が充分に高度
に行なわれ、かつ過酸化水素の分解が極めて低く抑えら
れ、より高純度な過酸化水素水を、より安全に製造でき
ることを見いだし、本発明を完成した。
【００１１】すなわち、本発明は、Ｃm Ｈn ＣＯＯを対
イオンとして含有するＣm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニ
オン交換樹脂に過酸化水素水を接触させることによる精
製方法に関する。
イオンとして含有するＣm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニ
オン交換樹脂に過酸化水素水を接触させることによる精
製方法に関する。
【００１２】
【発明の実施の態様】本発明で使用される強塩基性アニ
オン交換樹脂は一般式Ｃm Ｈn ＣＯＯで表される対イオ
ンを持つ塩型であり、交換基として四級アンモニウム基
を含有する。また、樹脂母体は網目状分子構造を持つも
のが好ましい。ここでm ＝０〜４、ｎ＝１〜９の整数で
ある。特にm ＝０〜２、n ＝１〜５が好ましく、さらに
はm ＝０〜２であるＨＣＯＯもしくはＣＨ3 ＣＯＯ、Ｃ
2 Ｈ5 ＣＯＯが特に好ましい。m が５以上の場合は、純
水、過酸化水素水への溶解度が極めて低くなることから
実用に耐えなく好ましくない。
オン交換樹脂は一般式Ｃm Ｈn ＣＯＯで表される対イオ
ンを持つ塩型であり、交換基として四級アンモニウム基
を含有する。また、樹脂母体は網目状分子構造を持つも
のが好ましい。ここでm ＝０〜４、ｎ＝１〜９の整数で
ある。特にm ＝０〜２、n ＝１〜５が好ましく、さらに
はm ＝０〜２であるＨＣＯＯもしくはＣＨ3 ＣＯＯ、Ｃ
2 Ｈ5 ＣＯＯが特に好ましい。m が５以上の場合は、純
水、過酸化水素水への溶解度が極めて低くなることから
実用に耐えなく好ましくない。
【００１３】本発明においてアニオン交換樹脂における
交換基である四級アンモニウム基に結合し、接触させた
過酸化水素水中のアニオン性不純物と置換し、脱離し得
る分子を便宜上対イオンと称する。これが交換基と必ず
しもイオン結合しているか、また脱離した後イオンで存
在するかどうかは問題とはならない。また、この対イオ
ンが四級アンモニウム基に結合しているアニオン交換樹
脂を、それに対応する塩型アニオン交換樹脂と呼ぶ。但
し、水酸化物イオンが結合しているものは水酸化物型ア
ニオン交換樹脂と称する。
交換基である四級アンモニウム基に結合し、接触させた
過酸化水素水中のアニオン性不純物と置換し、脱離し得
る分子を便宜上対イオンと称する。これが交換基と必ず
しもイオン結合しているか、また脱離した後イオンで存
在するかどうかは問題とはならない。また、この対イオ
ンが四級アンモニウム基に結合しているアニオン交換樹
脂を、それに対応する塩型アニオン交換樹脂と呼ぶ。但
し、水酸化物イオンが結合しているものは水酸化物型ア
ニオン交換樹脂と称する。
【００１４】本発明におけるＣm Ｈn ＣＯＯを対イオン
として持つＣm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオン交換樹
脂の製造法は、たとえば、一例として、水酸化物型強塩
基性アニオン交換樹脂にＣm Ｈn ＣＯＯＨで表されるカ
ルボン酸水溶液を接触させる方法が挙げられるが、本発
明はこれらの例により何ら限定されるものではない。な
お、本発明における強塩基性アニオン交換樹脂は、すべ
てがＣm Ｈn ＣＯＯ塩型でも良く、一部水酸化物型、重
炭酸塩型、炭酸塩型が混在しても良い。また、異なった
種類のＣm Ｈn ＣＯＯ塩型が混在しても良い。この場合
の混在とはそれぞれの塩型、水酸化物型の強塩基性アニ
オン交換樹脂を混合したもの、もしくは樹脂中にそれぞ
れの対イオン、すなわち、ＯＨ、ＨＣＯ3 、ＣＯ3 、Ｃ
m Ｈn ＣＯＯが複数導入されていることを意味する。こ
の場合、Ｃm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオン交換樹脂
の混在割合は交換容量で２０％以上が好ましい。
として持つＣm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオン交換樹
脂の製造法は、たとえば、一例として、水酸化物型強塩
基性アニオン交換樹脂にＣm Ｈn ＣＯＯＨで表されるカ
ルボン酸水溶液を接触させる方法が挙げられるが、本発
明はこれらの例により何ら限定されるものではない。な
お、本発明における強塩基性アニオン交換樹脂は、すべ
てがＣm Ｈn ＣＯＯ塩型でも良く、一部水酸化物型、重
炭酸塩型、炭酸塩型が混在しても良い。また、異なった
種類のＣm Ｈn ＣＯＯ塩型が混在しても良い。この場合
の混在とはそれぞれの塩型、水酸化物型の強塩基性アニ
オン交換樹脂を混合したもの、もしくは樹脂中にそれぞ
れの対イオン、すなわち、ＯＨ、ＨＣＯ3 、ＣＯ3 、Ｃ
m Ｈn ＣＯＯが複数導入されていることを意味する。こ
の場合、Ｃm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオン交換樹脂
の混在割合は交換容量で２０％以上が好ましい。
【００１５】本発明で用いられる過酸化水素水の濃度に
制限はないが、通常５〜６０重量％が好ましい。 ま
た、本発明による過酸化水素水は特願平７−１５０３０
７号に記載されている方法で精製した過酸化水素水を用
いることもできる。一例を挙げると硝酸等の酸を０．０
０５〜５ミリ当量／リットル−過酸化水素水を添加し、
室温で２４時間熟成させた後、Ｈ型強酸性カチオン交換
樹脂に接触させて得られた精製された過酸化水素水であ
る。
制限はないが、通常５〜６０重量％が好ましい。 ま
た、本発明による過酸化水素水は特願平７−１５０３０
７号に記載されている方法で精製した過酸化水素水を用
いることもできる。一例を挙げると硝酸等の酸を０．０
０５〜５ミリ当量／リットル−過酸化水素水を添加し、
室温で２４時間熟成させた後、Ｈ型強酸性カチオン交換
樹脂に接触させて得られた精製された過酸化水素水であ
る。
【００１６】本発明における過酸化水素水の強塩基性ア
ニオン交換樹脂への接触温度は制限はないが、好ましく
は過酸化水素水の凝固点温度〜５０℃、より好ましくは
−５〜３０℃の範囲である。
ニオン交換樹脂への接触温度は制限はないが、好ましく
は過酸化水素水の凝固点温度〜５０℃、より好ましくは
−５〜３０℃の範囲である。
【００１７】本発明におけるＣm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基
性アニオン交換樹脂への過酸化水素水の接触方法はＣm
Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオン交換樹脂単独に接触さ
せて良く、またスルホン酸基を有するＨ型の強酸性カチ
オン交換樹脂との樹脂混合物に接触させても良い。
性アニオン交換樹脂への過酸化水素水の接触方法はＣm
Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオン交換樹脂単独に接触さ
せて良く、またスルホン酸基を有するＨ型の強酸性カチ
オン交換樹脂との樹脂混合物に接触させても良い。
【００１８】また、従来から知られている方法により予
め精製した過酸化水素水を本発明におけるＣm Ｈn ＣＯ
Ｏ塩型強塩基性アニオン交換樹脂に接触させ、高度に精
製することも本発明の態様の一つである。
め精製した過酸化水素水を本発明におけるＣm Ｈn ＣＯ
Ｏ塩型強塩基性アニオン交換樹脂に接触させ、高度に精
製することも本発明の態様の一つである。
【００１９】従来から知られている方法とは数多くある
が例を挙げると蒸留、吸着樹脂、キレート樹脂、Ｈ型強
酸性カチオン交換樹脂、強塩基性アニオン交換樹脂等で
精製する方法である。特にＨ型強酸性カチオン交換樹脂
への接触についで、本発明における強塩基性アニオン交
換樹脂単独もしくはＨ型強酸性カチオン交換樹脂との混
合物への接触による方法は好ましい態様である。
が例を挙げると蒸留、吸着樹脂、キレート樹脂、Ｈ型強
酸性カチオン交換樹脂、強塩基性アニオン交換樹脂等で
精製する方法である。特にＨ型強酸性カチオン交換樹脂
への接触についで、本発明における強塩基性アニオン交
換樹脂単独もしくはＨ型強酸性カチオン交換樹脂との混
合物への接触による方法は好ましい態様である。
【００２０】本発明に使用される樹脂混合物における強
酸性カチオン交換樹脂とＣm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性ア
ニオン交換樹脂との混合比率に制限はないが、好ましく
は水中における容積比で０：１００〜９０：１０、さら
に好ましくは０：１００〜８０：２０である。
酸性カチオン交換樹脂とＣm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性ア
ニオン交換樹脂との混合比率に制限はないが、好ましく
は水中における容積比で０：１００〜９０：１０、さら
に好ましくは０：１００〜８０：２０である。
【００２１】さらに本発明における精製法は連続方式の
他、バッチ方式でも実施できる。連続方法の一例として
は、本発明によるＣm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオン
交換樹脂を含む樹脂を充填した塔に連続的に過酸化水素
水を送液し接触させる方法が挙げられる。以上の一連の
操作により、極めて安全にかつアニオン性不純物を徹底
的に除去することができる。
他、バッチ方式でも実施できる。連続方法の一例として
は、本発明によるＣm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオン
交換樹脂を含む樹脂を充填した塔に連続的に過酸化水素
水を送液し接触させる方法が挙げられる。以上の一連の
操作により、極めて安全にかつアニオン性不純物を徹底
的に除去することができる。
【００２２】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を詳細に説明す
るが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるも
のでない。なお、金属不純物の測定はＩＣＰ−ＭＳ（In
ductive coupling - Mass spectrometry）法により、ま
たアニオン性不純物の測定はイオンクロマト法によっ
た。
るが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるも
のでない。なお、金属不純物の測定はＩＣＰ−ＭＳ（In
ductive coupling - Mass spectrometry）法により、ま
たアニオン性不純物の測定はイオンクロマト法によっ
た。
【００２３】実施例１ ＨＣＯＯを対イオンとして持つ強塩基性アニオン交換樹
脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ ＨＣＯＯ
塩型）を１００ml 、直径２．６ｃｍのフッ素樹脂製カ
ラムに充填した。３１％過酸化水素水を空間速度５００
（ｈｒ-1）で同カラムに通液しアニオン交換樹脂に接触
させ、精製過酸化水素水を得た。精製前の不純物含有量
および精製後の不純物含有量を表１に示す。
脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ ＨＣＯＯ
塩型）を１００ml 、直径２．６ｃｍのフッ素樹脂製カ
ラムに充填した。３１％過酸化水素水を空間速度５００
（ｈｒ-1）で同カラムに通液しアニオン交換樹脂に接触
させ、精製過酸化水素水を得た。精製前の不純物含有量
および精製後の不純物含有量を表１に示す。
【００２４】実施例２ ＣＨ3 ＣＯＯを対イオンとして持つ強塩基性アニオン交
換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ ＣＨ
3 ＣＯＯ塩型）を用いた以外は実施例１と同様に行な
い、精製過酸化水素水を得た。 精製前の不純物含有量
および精製後の不純物含有量を表１に示す。
換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ ＣＨ
3 ＣＯＯ塩型）を用いた以外は実施例１と同様に行な
い、精製過酸化水素水を得た。 精製前の不純物含有量
および精製後の不純物含有量を表１に示す。
【００２５】実施例３ Ｃ2 Ｈ5 ＣＯＯを対イオンとして持つ強塩基性アニオン
交換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ Ｃ
2 Ｈ5 ＣＯＯ塩型）を用いた以外は実施例１と同様に行
ない、精製過酸化水素水を得た。 精製前の不純物含有
量および精製後の不純物含有量を表１に示す。
交換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ Ｃ
2 Ｈ5 ＣＯＯ塩型）を用いた以外は実施例１と同様に行
ない、精製過酸化水素水を得た。 精製前の不純物含有
量および精製後の不純物含有量を表１に示す。
【００２６】実施例４ Ｃ4 Ｈ9 ＣＯＯを対イオンとして持つ強塩基性アニオン
交換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ Ｃ
4 Ｈ9 ＣＯＯ塩型）を用いた以外は実施例１と同様に行
ない、精製過酸化水素水を得た。 精製前の不純物含有
量および精製後の不純物含有量を表１に示す。
交換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ Ｃ
4 Ｈ9 ＣＯＯ塩型）を用いた以外は実施例１と同様に行
ない、精製過酸化水素水を得た。 精製前の不純物含有
量および精製後の不純物含有量を表１に示す。
【００２７】実施例５ Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂（オルガノ製アンバーライ
ト２０１Ｂ）を１００ｍｌ、ＣＨ3 ＣＯＯを対イオンと
して持つ強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ製アンバ
ーライトＩＲＡ９００ ＣＨ3 ＣＯＯ塩型）を１００ml
それぞれ別の直径２．６ｃｍのフッ素樹脂製カラムに充
填し、３１％過酸化水素水をカチオン交換樹脂充填カラ
ム、アニオン交換樹脂充填カラムの順にそれぞれ空間速
度５００（ｈｒ-1）でカラムに通液し樹脂に接触させ、
精製過酸化水素水を得た。精製前の不純物含有量および
精製後の不純物含有量を表１に示す。
ト２０１Ｂ）を１００ｍｌ、ＣＨ3 ＣＯＯを対イオンと
して持つ強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ製アンバ
ーライトＩＲＡ９００ ＣＨ3 ＣＯＯ塩型）を１００ml
それぞれ別の直径２．６ｃｍのフッ素樹脂製カラムに充
填し、３１％過酸化水素水をカチオン交換樹脂充填カラ
ム、アニオン交換樹脂充填カラムの順にそれぞれ空間速
度５００（ｈｒ-1）でカラムに通液し樹脂に接触させ、
精製過酸化水素水を得た。精製前の不純物含有量および
精製後の不純物含有量を表１に示す。
【００２８】実施例６ Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂（オルガノ製アンバーライ
ト２０１Ｂ）を１００ｍｌ、同Ｈ型強酸性カチオン交換
樹脂とＣＨ3 ＣＯＯを対イオンとして持つ強塩基性アニ
オン交換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００
ＣＨ3 ＣＯＯ塩型）が水中における容積比で５０：５
０で混合された樹脂混合物２００mlをそれぞれ直径２．
６ｃｍのフッ素樹脂製カラムに充填し、カチオン交換樹
脂、樹脂混合物の順に３１％過酸化水素水をそれぞれ空
間速度５００，２５０（ｈｒ-1）で同カラムに通液し樹
脂に接触させ精製過酸化水素水を得た。精製前の不純物
含有量および精製後の不純物含有量を表１に示す。
ト２０１Ｂ）を１００ｍｌ、同Ｈ型強酸性カチオン交換
樹脂とＣＨ3 ＣＯＯを対イオンとして持つ強塩基性アニ
オン交換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００
ＣＨ3 ＣＯＯ塩型）が水中における容積比で５０：５
０で混合された樹脂混合物２００mlをそれぞれ直径２．
６ｃｍのフッ素樹脂製カラムに充填し、カチオン交換樹
脂、樹脂混合物の順に３１％過酸化水素水をそれぞれ空
間速度５００，２５０（ｈｒ-1）で同カラムに通液し樹
脂に接触させ精製過酸化水素水を得た。精製前の不純物
含有量および精製後の不純物含有量を表１に示す。
【００２９】実施例７ Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂（オルガノ製アンバーライ
ト２０１Ｂ）とＣＨ3ＣＯＯを対イオンとして持つ強塩
基性アニオン交換樹脂（オルガノ製ＩＲＡ９００ ＣＨ
3 ＣＯＯ塩型）が水中における容積比で５０：５０で混
合された樹脂混合物２００mlを直径２．６ｃｍのフッ素
樹脂製カラムに充填し、３１％過酸化水素水を空間速度
２５０（ｈｒ-1）で同カラムに通液し、樹脂混合物に接
触させ、精製過酸化水素水を得た。精製前の不純物含有
量および精製後の不純物含有量を表１に示す。
ト２０１Ｂ）とＣＨ3ＣＯＯを対イオンとして持つ強塩
基性アニオン交換樹脂（オルガノ製ＩＲＡ９００ ＣＨ
3 ＣＯＯ塩型）が水中における容積比で５０：５０で混
合された樹脂混合物２００mlを直径２．６ｃｍのフッ素
樹脂製カラムに充填し、３１％過酸化水素水を空間速度
２５０（ｈｒ-1）で同カラムに通液し、樹脂混合物に接
触させ、精製過酸化水素水を得た。精製前の不純物含有
量および精製後の不純物含有量を表１に示す。
【００３０】実施例８ 重炭酸を対イオンとして持つ強塩基性アニオン交換樹脂
（オルガノ製ＩＲＡ９００ 重炭酸塩型）とＣＨ3 ＣＯ
Ｏを対イオンとして持つ強塩基性アニオン交換樹脂（オ
ルガノ製ＩＲＡ９００ ＣＨ3 ＣＯＯ塩型）を水中での
容積比で７５：２５の割合で混合した。この樹脂混合物
を直径２．６ｃｍのフッ素樹脂製カラムに１００ml充填
し、３１％の過酸化水素水を空間速度５００（ｈｒ-1）
で通液し樹脂に接触させ精製過酸化水素水を得た。精製
前の不純物含有量および精製後の不純物含有量を表１に
示す。
（オルガノ製ＩＲＡ９００ 重炭酸塩型）とＣＨ3 ＣＯ
Ｏを対イオンとして持つ強塩基性アニオン交換樹脂（オ
ルガノ製ＩＲＡ９００ ＣＨ3 ＣＯＯ塩型）を水中での
容積比で７５：２５の割合で混合した。この樹脂混合物
を直径２．６ｃｍのフッ素樹脂製カラムに１００ml充填
し、３１％の過酸化水素水を空間速度５００（ｈｒ-1）
で通液し樹脂に接触させ精製過酸化水素水を得た。精製
前の不純物含有量および精製後の不純物含有量を表１に
示す。
【００３１】実施例９ 硝酸を０．４ミリ当量／リットル−過酸化水素水添加
し、２４時間放置した３１％過酸化水素水を用いた以外
は実施例１と同様に行ない精製過酸化水素水を得た。精
製前の不純物含有量および精製後の不純物含有量を表１
に示す。
し、２４時間放置した３１％過酸化水素水を用いた以外
は実施例１と同様に行ない精製過酸化水素水を得た。精
製前の不純物含有量および精製後の不純物含有量を表１
に示す。
【００３２】実施例１０ ＣＨ3 ＣＯＯを対イオンとして持つ強塩基性アニオン交
換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ ＣＨ
3 ＣＯＯ塩型）を１０ml採取し、３１％過酸化水素水と
ともに発生ガス量定量装置が付設された密閉容器に入れ
た。樹脂及び過酸化水素水を２５℃に保ち、１時間放置
し、過酸化水素の分解によるガス発生量を測定した。
ガス発生量を表２に示す。
換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ ＣＨ
3 ＣＯＯ塩型）を１０ml採取し、３１％過酸化水素水と
ともに発生ガス量定量装置が付設された密閉容器に入れ
た。樹脂及び過酸化水素水を２５℃に保ち、１時間放置
し、過酸化水素の分解によるガス発生量を測定した。
ガス発生量を表２に示す。
【００３３】実施例１１ Ｃ4 Ｈ9 ＣＯＯを対イオンとして持つ強塩基性アニオン
交換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ Ｃ
4 Ｈ9 ＣＯＯ塩型）を用いた以外は実施例１０と同様に
行ない、１時間放置によるガス発生量を測定した。ガス
発生量を表２に示す。
交換樹脂（オルガノ製アンバーライトＩＲＡ９００ Ｃ
4 Ｈ9 ＣＯＯ塩型）を用いた以外は実施例１０と同様に
行ない、１時間放置によるガス発生量を測定した。ガス
発生量を表２に示す。
【００３４】実施例１２ 重炭酸を対イオンとして持つ強塩基性アニオン交換樹脂
（オルガノ製ＩＲＡ９００ 重炭酸塩型）とＣＨ3 ＣＯ
Ｏを対イオンとして持つ強塩基性アニオン交換樹脂（オ
ルガノ製ＩＲＡ９００ ＣＨ3 ＣＯＯ塩型）を水中での
容積比で７５：２５の割合で混合した。 この樹脂混合
物を１０ml 採取し使用した他は実施例１０と同様に行
ない、１時間放置によるガス発生量を測定した。ガス発
生量を表２に示す。
（オルガノ製ＩＲＡ９００ 重炭酸塩型）とＣＨ3 ＣＯ
Ｏを対イオンとして持つ強塩基性アニオン交換樹脂（オ
ルガノ製ＩＲＡ９００ ＣＨ3 ＣＯＯ塩型）を水中での
容積比で７５：２５の割合で混合した。 この樹脂混合
物を１０ml 採取し使用した他は実施例１０と同様に行
ない、１時間放置によるガス発生量を測定した。ガス発
生量を表２に示す。
【００３５】比較例１ 重炭酸を対イオンとして持つ強塩基性アニオン交換樹脂
（オルガノ製ＩＲＡ９００ 重炭酸塩型）を用いた以外
は実施例１と同様に行ない、精製過酸化水素水を得た。
精製前の不純物含有量および精製後の不純物含有量を表
１に示す。
（オルガノ製ＩＲＡ９００ 重炭酸塩型）を用いた以外
は実施例１と同様に行ない、精製過酸化水素水を得た。
精製前の不純物含有量および精製後の不純物含有量を表
１に示す。
【００３６】比較例２ 水酸化物イオンを対イオンとして持つ強塩基性アニオン
交換樹脂（オルガノ製ＩＲＡ９００ 水酸化物型）を用
いた以外は実施例１と同様に行ない、精製過酸化水素水
を得た。精製前の不純物含有量および精製後の不純物含
有量を表１に示す。
交換樹脂（オルガノ製ＩＲＡ９００ 水酸化物型）を用
いた以外は実施例１と同様に行ない、精製過酸化水素水
を得た。精製前の不純物含有量および精製後の不純物含
有量を表１に示す。
【００３７】比較例３ 重炭酸を対イオンとして持つ強塩基性アニオン交換樹脂
（オルガノ製ＩＲＡ９００ 重炭酸塩型）を用いた以外
は実施例５と同様に行ない、精製過酸化水素水を得た。
精製前の不純物含有量および精製後の不純物含有量を表
１に示す。
（オルガノ製ＩＲＡ９００ 重炭酸塩型）を用いた以外
は実施例５と同様に行ない、精製過酸化水素水を得た。
精製前の不純物含有量および精製後の不純物含有量を表
１に示す。
【００３８】比較例４ 重炭酸塩型とＣＨ3 ＣＯＯ塩型の樹脂混合比を８５：１
５にした以外は実施例８と同様に行ない、精製過酸化水
素水を得た。精製後の不純物含有量を表１に示す。
５にした以外は実施例８と同様に行ない、精製過酸化水
素水を得た。精製後の不純物含有量を表１に示す。
【００３９】比較例５ 水酸化物イオンを対イオンとして持つ強塩基性アニオン
交換樹脂（オルガノ製ＩＲＡ９００ 水酸化物型）を用
いた以外は実施例１０と同様に行ない、１時間放置によ
るガス発生量を測定した。 ガス発生量を表２に示す。
交換樹脂（オルガノ製ＩＲＡ９００ 水酸化物型）を用
いた以外は実施例１０と同様に行ない、１時間放置によ
るガス発生量を測定した。 ガス発生量を表２に示す。
【００４０】比較例６ 重炭酸を対イオンとして持つ強塩基性アニオン交換樹脂
（オルガノ製ＩＲＡ９００ 重炭酸塩型）を用いた以外
は実施例１０と同様に行ない、１時間放置によるガス発
生量を測定した。 ガス発生量を表２に示す。
（オルガノ製ＩＲＡ９００ 重炭酸塩型）を用いた以外
は実施例１０と同様に行ない、１時間放置によるガス発
生量を測定した。 ガス発生量を表２に示す。
【００４１】比較例７ 重炭酸塩型とＣＨ3 ＣＯＯ塩型の樹脂混合比を８５：１
５にした以外は実施例１２と同様に行ない、１時間放置
によるガス発生量を測定した。ガス発生量を表２に示
す。 （以下 余白）
５にした以外は実施例１２と同様に行ない、１時間放置
によるガス発生量を測定した。ガス発生量を表２に示
す。 （以下 余白）
【００４２】
【表１】
【００４３】
【表２】
【００４４】
【発明の効果】本発明によれば、従来の水酸化物型、重
炭酸塩型、炭酸塩型等の強塩基性アニオン交換樹脂を用
いる場合に比べ、過酸化水素の分解を充分に抑制し、安
全に、極めて高純度の過酸化水素水溶液を効率よく製造
することができる。
炭酸塩型、炭酸塩型等の強塩基性アニオン交換樹脂を用
いる場合に比べ、過酸化水素の分解を充分に抑制し、安
全に、極めて高純度の過酸化水素水溶液を効率よく製造
することができる。
Claims (5)
- 【請求項１】 一般式 Ｃm Ｈn ＣＯＯ （但し、m ＝
０〜４、n ＝１〜９の整数）で表される基が導入された
Ｃm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオン交換樹脂に過酸化
水素水を接触させることを特徴とする過酸化水素水の精
製方法 - 【請求項２】 過酸化水素水をスルホン酸基を有するＨ
型の強酸性カチオン交換樹脂と接触させ、ついで、一般
式 Ｃm Ｈn ＣＯＯ （但し、m ＝０〜４、n＝１〜９
の整数）で表される基が導入されたＣm Ｈn ＣＯＯ塩型
強塩基性アニオン交換樹脂に接触させることを特徴とす
る過酸化水素水の精製方法 - 【請求項３】 一般式 Ｃm Ｈn ＣＯＯ （但し、m ＝
０〜４、n ＝１〜９の整数）で表される基が導入された
Ｃm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオン交換樹脂とスルホ
ン酸基を有するＨ型の強酸性カチオン交換樹脂からなる
混合物に過酸化水素水を接触させることを特徴とする過
酸化水素水の精製方法 - 【請求項４】 スルホン酸基を有するＨ型の強酸性カチ
オン交換樹脂と接触させ、ついで、一般式 Ｃm Ｈn Ｃ
ＯＯ （但し、m ＝０〜４、n ＝１〜９の整数）で表さ
れる基が導入されたＣm Ｈn ＣＯＯ塩型強塩基性アニオ
ン交換樹脂とスルホン酸基を有するＨ型の強酸性カチオ
ン交換樹脂からなる混合物に過酸化水素水を接触させる
過酸化水素水の精製方法 - 【請求項５】 前記一般式Ｃm Ｈn ＣＯＯがＨＣＯＯ、
ＣＨ3 ＣＯＯまたはＣ 2 Ｈ5 ＣＯＯである請求項１〜５
記載の過酸化水素水の精製方法
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7228042A JPH0971406A (ja) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | 過酸化水素水の精製方法 |
| TW084111870A TW288088B (en) | 1995-09-05 | 1995-11-09 | The secondary-starter passage structure of carburetor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7228042A JPH0971406A (ja) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | 過酸化水素水の精製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0971406A true JPH0971406A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=16870294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7228042A Pending JPH0971406A (ja) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | 過酸化水素水の精製方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0971406A (ja) |
| TW (1) | TW288088B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998054086A1 (fr) * | 1997-05-27 | 1998-12-03 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde par echange ionique dans des lits a rapports h/d definis |
| WO1998054085A1 (fr) * | 1997-05-27 | 1998-12-03 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique en presence d'ions acetate |
| US6214225B1 (en) | 1997-05-27 | 2001-04-10 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process for the preparation of an ultra pure hydrogen peroxide solution by the ion exchange by sequence: anionic-cationic-anionic-cationic |
| JP2007254168A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 過酸化水素水の精製方法 |
-
1995
- 1995-09-05 JP JP7228042A patent/JPH0971406A/ja active Pending
- 1995-11-09 TW TW084111870A patent/TW288088B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998054086A1 (fr) * | 1997-05-27 | 1998-12-03 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde par echange ionique dans des lits a rapports h/d definis |
| WO1998054085A1 (fr) * | 1997-05-27 | 1998-12-03 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique en presence d'ions acetate |
| FR2763929A1 (fr) * | 1997-05-27 | 1998-12-04 | Chemoxal Sa | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde d'hydrogene par echange ionique en presence d'ions acetate |
| FR2763932A1 (fr) * | 1997-05-27 | 1998-12-04 | Chemoxal Sa | Procede de preparation d'une solution ultra-pure de peroxyde par echange ionique dans des lits a rapports h/d definis |
| US5932187A (en) * | 1997-05-27 | 1999-08-03 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process for the preparation of an ultra pure hydrogen peroxide solution by ionic exchange in beds having defined H/D ratios |
| US6001324A (en) * | 1997-05-27 | 1999-12-14 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process for the preparation of an ultra pure hydrogen peroxide solution by ion exchange in the presence of acetate ions |
| US6183638B1 (en) | 1997-05-27 | 2001-02-06 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Plant for the preparation of an ultra pure hydrogen peroxide solution by ionic exchange in beds having defined H/D ratios |
| US6214225B1 (en) | 1997-05-27 | 2001-04-10 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process for the preparation of an ultra pure hydrogen peroxide solution by the ion exchange by sequence: anionic-cationic-anionic-cationic |
| JP2007254168A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 過酸化水素水の精製方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW288088B (en) | 1996-10-11 |
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