JPH0973650A - 光学装置 - Google Patents

光学装置

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JPH0973650A
JPH0973650A JP7248628A JP24862895A JPH0973650A JP H0973650 A JPH0973650 A JP H0973650A JP 7248628 A JP7248628 A JP 7248628A JP 24862895 A JP24862895 A JP 24862895A JP H0973650 A JPH0973650 A JP H0973650A
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JP
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light
light beam
conversion filter
optical
shape conversion
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JP7248628A
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English (en)
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Tomoyoshi Iketani
友良 池谷
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Pioneer Video Corp
Pioneer Corp
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Pioneer Video Corp
Pioneer Electronic Corp
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Publication date
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    • G11B7/135Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
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    • G11B7/12Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 構造が簡単で小型な光学系により、スポット
形状を変換することが可能な光学装置を提供することを
目的とする。 【構成】 半導体レーザを用いたフォーカス用レーザ光
源1から射出された光ビームは、コリメータレンズ2で
平行光束に変換された後、光束形状変換フィルター12
に照射される。この光束形状変換フィルター12は、コ
リメータレンズ2から放射される楕円ビームの長軸方向
と光束形状変換フィルターのx軸方向を一致するように
配置されているので、正円形の光ビームに変換され、且
つ光路が屈折することがない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【0001】
【0002】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクに記録再生
する半導体レーザ等を光源に用いた光学装置に関する。
【0003】
【0002】
【0004】
【従来の技術】従来の光ディスク原盤記録装置は、大型
のガスレーザ記録用光源を用いていたため固定用光学系
と移動光学系を分離した構成にしていたが、近年、半導
体レーザの出現と、非線形光学素子との組み合わせによ
って記録用光源が小型化され固定用光学系を含めて移動
光学系に収納することが可能となった。図3(a)は、
光ディスク原盤記録装置を構成する移動光学系30の一
部分であるフォーカス制御部のブロック図を示した。
【0005】図3(a)において、半導体レーザを用い
たフォーカス用レーザ光源1から射出された光ビーム
は、コリメータレンズ2で平行光束に変換される。この
レーザ光源1の射出ビームは、接合面に平行な方向と垂
直の方向とで異なる広がり角をもった発散ビームが出力
されており、ビーム形状が楕円形となっている。
【0006】
【0003】このため、一端光ビームを非等方ビーム補
正光学系(整形)のプリズム3に通す必要がある。この
整形プリズム3は、図3(b)に示すようにコリメータ
レンズ2で平行光束に変換された楕円形の光ビームを円
形ビームに変換すると共に、光路を屈折させる働きがあ
る。また、整形プリズム3で円形光束に変換され、光路
変更した光ビームは、ビームスプリッタ4を透過し、反
射ミラー5で反射され、対物レンズ6によって規定の微
小スポットに集光され、モータ8によって規定の回転数
で回転する光ディスク原盤7の記録面上に照射される。
この微小スポットは、光ディスク原盤7の記録面で反射
され、対物レンズ6及び反射ミラー5を経てビームスプ
リッタ4で反射され、集光レンズ9によって集光され光
検出回路10に照射される。
【0007】
【0004】この光検出回路10には、図示せぬシリン
ドリカルレンズと4分割の受光素子及び演算回路が設け
られているので、照射された光ビームからフォーカス誤
差信号に応じた制御信号をアクチュエータ11に対して
出力することで、正確なフォーカス制御を行うことがで
きる。
【0008】
【0005】
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、半導
体レーザと非線形光学素子を組合せることにより記録用
光源が小型化され、装置全体を小型化することが可能に
なった。しかし、フォーカス用光源に半導体レーザを用
いているためビームの形状を補正する必要が生じ、整形
プリズム3を用いてこれを補正していた。しかし、整形
プリズム3によって光路が折れ曲るため、装置の構造が
複雑になる。また、円柱レンズを用いる方法では構成が
複雑であり、いずれも小型化を疎外する要因になってい
た。
【0010】本発明は、上記の課題に着目してなされた
もので、構造が簡単で小型な光学系により、スポット形
状を変換することが可能な光学装置を提供することを目
的とする。
【0011】
【0006】
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の光学装置は、所
定形状の光束の光路中に透過率が1の軸方向に離れるに
従って減少する特性を有する光束形状変換フィルターを
配置したことを特徴とするものである。
【0013】
【0007】また、所定形状の光束は、半導体レーザか
ら出射された楕円ビームであり、楕円ビームの長軸方向
と光束形状変換フィルターの1の軸方向を一致させたこ
とを特徴とする。
【0014】
【0008】また、光束形状変換フィルターは、透明基
板上の非透過膜が1の方向に離れるに従って厚み又は濃
度を増したことを特徴とする。
【0015】
【0009】
【0016】
【作用】本発明の光学装置は、所定形状の光束の光路中
に透過率が1の軸方向に離れるに従って減少する特性を
有する光束形状変換フィルターを配置したので、発光源
からの光路を直線的に配置することが可能となり、構造
が簡単で小型な光学系を構成することができる。
【0017】
【0010】
【0018】
【実施例】本発明の実施例を図1及び図2を用いて説明
する。尚、従来例と同一の部分には同一の符号を付し、
重複する説明を省略する。
【0019】図1は、光束形状変換フィルターの構造図
で、(a)は光束形状変換フィルターの斜視図を、また
(b)は光束形状変換フィルターの透過率特性を示し
た。図1(a)において、光束形状変換フィルター12
は、ガラス基板14の平面上に非透過膜としてのアルミ
ニューム(Al)又はクロム(Cr)等の物質をガラス
基板14の中央から1の軸方向(x軸方向)に離れるに
従って徐々に厚み(z軸方向)が増すように蒸着又は塗
布形成された非透過膜13によって構成されている。こ
の非透過膜13は、中央部で例えば0〜数10オングス
トロームの膜厚を持たせ、最外周部で例えば数百オング
ストロームの膜厚にしている。
【0020】
【0011】上述した構造の光束形状変換フィルター1
2は、図1(b)に示すように光の透過率が中央部で最
も高く、中央から左右に離れるに従って徐々に透過率が
低下する透過率特性を有している。この非透過層の厚み
は、光束形状変換フィルター12のガラス基板後方(図
1(b)の左側矢印方向)から楕円形(x軸方向に長軸
楕円とする)のビーム光束を照射したとき、光束形状変
換フィルター12を透過したビーム光束が正円形になる
ように生成されている。即ち、半導体レーザが平行光束
に変換された後、光束形状変換フィルター12を透過す
ると円形のビーム光束に変換される。
【0021】尚、本発明の実施例では非透過膜の厚みを
変化させる例で説明したが、非透過膜に含まれるアルミ
ニューム(Al)又はクロム(Cr)等の物質の濃度を
徐々に変化させる方法で光束形状変換フィルターを構成
しても同一の効果が得られることは言うまでもない。
【0022】
【0012】次に、光束形状変換フィルター12を用い
た本発明による実施例を図2で説明する。尚、図2に示
すように本発明による実施例は、記録用光学系を含む光
ディスク原盤記録装置としている。
【0023】半導体レーザを用いたフォーカス用レーザ
光源1から射出された光ビームは、コリメータレンズ2
で平行光束に変換された後、光束形状変換フィルター1
2に照射される。この光束形状変換フィルター12は、
コリメータレンズ2から放射される楕円ビームの長軸方
向と光束形状変換フィルターのx軸方向を一致するよう
に配置されているので、正円形の光ビームに変換され、
且つ光路が屈折することがない。そして、ビームスプリ
ッタ4を透過し、次のダイクロイックミラー15で反射
し、対物レンズ6によって集光され、光ディスク原盤7
の面上に規定されたビーム径の微小スポットを照射す
る。
【0024】
【0013】また、光ディスク原盤7の面上で反射され
た光ビームは、対物レンズ6を通りダイクロイックミラ
ー15で反射し、ビームスプリッタ4で反射した後、集
光レンズ9で光検出回路10に照射される。この光検出
回路10には、図示せぬシリンドリカルレンズと4分割
の受光素子及び演算回路が設けられているので、照射さ
れた光ビームからフォーカス誤差信号に応じた制御信号
をアクチュエータ11に対して出力することで、正確な
フォーカス制御を行うことができる。
【0025】一方、符号16は、記録用光源19として
の半導体レーザであり、次段のSHG素子(第2高調波
発生素子:Second Harmonic Generation)17に光ビー
ムを照射する。このSHG素子17は、光ビームが照射
されると光ビームの第2高調波を発生する素子であるた
め、半導体レーザの波長(λ=840nm)の半分の波
長(λ=420nm)のレーザ光が得られる。
【0026】
【0014】そして、フィルター18で第2高調波だけ
を抽出することによって波長がλ=420nmの記録用
光源19としている。このSHG素子17は非線形光学
素子であり、フィルター18も含めて記録用光源19か
ら得られる光ビームは円形光束が得られる。そして、記
録用光源19から射出された光ビームは、集光レンズ2
0で集光された後、コリメータレンズ22で平行光束に
変換される。集光レンズ20とコリメータレンズ22の
間の集光レンズ20の焦点にA/O変調器21が設けら
れている。このA/O変調器21は、圧電材料に超音波
駆動電圧を加えると、媒体中に音速に対する微小波長の
疎密波が発生し、これを回折格子として、記録用光源か
ら得られるビーム光と作用させると音響光学反射を起こ
す。この反射光(回折光)は、超音波駆動電圧に応じて
変化するので、この電圧を振幅変調することによって変
調された光を得ることができる。
【0027】
【0015】即ち、A/O駆動回路23からA/O変調
器21に対して光ディスク原盤7に記録すべき信号に応
じた変調信号を供給する事によって、光ビームが記録信
号に応じて光変調される。そして、A/O変調器21で
光変調されたビーム光は、コリメータレンズ22によっ
て平行光束に変換され、反射ミラー5を経てダイクロイ
ックミラー15を透過し、対物レンズ6によって、光デ
ィスク原盤7の面上にビーム光を集束させ照射される。
この光ディスク原盤7は、鏡面研磨されたガラス面上に
フォトレジスト24が塗布されている。このフォトレジ
スト24が塗布された光ディスク原盤7の面上に規定の
ビーム径に集光された光ビームが照射される。この光ビ
ームはA/O変調器21によって、記録すべき音楽や映
像などの情報に対応した照射時間の長短に応じて光変調
されている。そして、光変調された光ビームはモータ8
で規定の回転速度で回転する光ディスク原盤7のフォト
レジスト24面上に照射される。
【0028】
【0016】そして、移動光学系30が光ディスク原盤
7の半径方向に規定量ずつ移動することによって、光変
調された光ビームが回転する光ディスク原盤7の内周か
ら外周に向かって照射され、フォトレジスト層を露光す
る。その後、光ディスク原盤7は現像され、表面に金属
を蒸着すると光ディスク原盤が完成する。光ディスク原
盤の表面には、音楽や映像などの情報に対応した長さを
有する凹凸状のピットがピット列となって形成されてい
る。
【0029】この光ディスク原盤の表面にニッケルメッ
キ層を生成し、光ディスク原盤の表面から、このニッケ
ルメッキ層を剥離したものが、ニッケルスタンパであ
る。光ディスク基板は、このスタンパで成形される。
【0030】
【0017】尚、本発明の光束形状変換フィルターは、
光ディスク原盤記録装置に対する実施例で説明したが、
光ディスク再生装置及び光ディスク記録再生装置に適用
しても同様の効果を得ることができる。
【0031】また、光束形状変換フィルターを平行光束
中で用いるように説明したが、発散ビームや集束ビーム
中で使用することが出来る。
【0032】また、光束形状変換フィルターを円形ビー
ムから楕円ビームに変換するときに用いても良く、使用
方法や使用場所が限定されるものではない。
【0033】また、光束形状変換フィルターを構成する
非透過膜は、アルミニューム(Al)又はクロム(C
r)等の物質を用いて説明したが、光吸収剤を用いて構
成しても同様の効果が得られることは言うまでもない。
【0034】
【0018】
【0035】
【発明の効果】上述したように本発明の実施例によれ
ば、フォーカス用光源に半導体レーザを用い、光ビーム
をコリメータレンズ2で平行光束に変換された後、楕円
ビームの長軸方向と光束形状変換フィルターのx軸方向
を一致するように配置したので、正円形の光ビームに変
換され、且つ光路が屈折することがない。このため、構
造が簡単で小型な光学系により、スポット形状を変換す
ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】光束形状変換フィルターの構造図及び透過率特
性図。
【図2】本発明による光ディスク原盤記録装置のブロッ
ク図。
【図3】従来例における光ディスク原盤記録装置のフォ
ーカス制御部のブロック図。
【符号の説明】
1・・・レーザ光源 2、22・・・コリメータレンズ 4・・・ビームスプリッタ 5・・・反射ミラー 6・・・対物レンズ 7・・・光ディスク原盤 8・・・モータ 9、20・・・集光レンズ 10・・光検出回路 11・・アクチュエータ 12・・光束形状変換フィルター 15・・ダイクロイックミラー 16・・半導体レーザ 17・・SHG素子 18・・フィルター 21・・A/O変調器 23・・A/O駆動回路
【手続補正書】
【提出日】平成8年10月31日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクに記録再生
する半導体レーザ等を光源に用いた光学装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の光ディスク原盤記録装置は、大型
のガスレーザ記録用光源を用いていたため固定用光学系
と移動光学系を分離した構成にしていたが、近年、半導
体レーザの出現と、非線形光学素子との組み合わせによ
って記録用光源が小型化され固定用光学系を含めて移動
光学系に収納することが可能となった。図3(a)は、
光ディスク原盤記録装置を構成する移動光学系30の一
部分であるフォーカス制御部のブロック図を示した。図
3(a)において、半導体レーザを用いたフォーカス用
レーザ光源1から射出された光ビームは、コリメータレ
ンズ2で平行光束に変換される。このレーザ光源1の射
出ビームは、接合面に平行な方向と垂直の方向とで異な
る広がり角をもった発散ビームが出力されており、ビー
ム形状が楕円形となっている。
【0003】このため、一端光ビームを非等方ビーム補
正光学系(整形)のプリズム3に通す必要がある。この
整形プリズム3は、図3(b)に示すようにコリメータ
レンズ2で平行光束に変換された楕円形の光ビームを円
形ビームに変換すると共に、光路を屈折させる働きがあ
る。また、整形プリズム3で円形光束に変換され、光路
変更した光ビームは、ビームスプリッタ4を透過し、反
射ミラー5で反射され、対物レンズ6によって規定の微
小スポットに集光され、モータ8によって規定の回転数
で回転する光ディスク原盤7の記録面上に照射される。
この微小スポットは、光ディスク原盤7の記録面で反射
され、対物レンズ6及び反射ミラー5を経てビームスプ
リッタ4で反射され、集光レンズ9によって集光され光
検出回路10に照射される。
【0004】この光検出回路10には、図示せぬシリン
ドリカルレンズと4分割の受光素子及び演算回路が設け
られているので、照射された光ビームからフォーカス誤
差信号に応じた制御信号をアクチュエータ11に対して
出力することで、正確なフォーカス制御を行うことがで
きる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、半導
体レーザと非線形光学素子を組合せることにより記録用
光源が小型化され、装置全体を小型化することが可能に
なった。しかし、フォーカス用光源に半導体レーザを用
いているためビームの形状を補正する必要が生じ、整形
プリズム3を用いてこれを補正していた。しかし、整形
プリズム3によって光路が折れ曲るため、装置の構造が
複雑になる。また、円柱レンズを用いる方法では構成が
複雑であり、いずれも小型化を疎外する要因になってい
た。本発明は、上記の課題に着目してなされたもので、
構造が簡単で小型な光学系により、スポット形状を変換
することが可能な光学装置を提供することを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の光学装置は、所
定形状の光束の光路中に透過率が1の軸方向に離れるに
従って減少する特性を有する光束形状変換フィルターを
配置したことを特徴とするものである。
【0007】また、所定形状の光束は、半導体レーザか
ら出射された楕円ビームであり、楕円ビームの長軸方向
と光束形状変換フィルターの1の軸方向を一致させたこ
とを特徴とする。
【0008】また、光束形状変換フィルターは、透明基
板上の非透過膜が1の方向に離れるに従って厚み又は濃
度を増したことを特徴とする。
【0009】
【作用】本発明の光学装置は、所定形状の光束の光路中
に透過率が1の軸方向に離れるに従って減少する特性を
有する光束形状変換フィルターを配置したので、発光源
からの光路を直線的に配置することが可能となり、構造
が簡単で小型な光学系を構成することができる。
【0010】
【実施例】本発明の実施例を図1及び図2を用いて説明
する。尚、従来例と同一の部分には同一の符号を付し、
重複する説明を省略する。図1は、光束形状変換フィル
ターの構造図で、(a)は光束形状変換フィルターの斜
視図を、また(b)は光束形状変換フィルターの透過率
特性を示した。図1(a)において、光束形状変換フィ
ルター12は、ガラス基板14の平面上に非透過膜とし
てのアルミニューム(Al)又はクロム(Cr)等の物
質をガラス基板14の中央から1の軸方向(x軸方向)
に離れるに従って徐々に厚み(z軸方向)が増すように
蒸着又は塗布形成された非透過膜13によって構成され
ている。この非透過膜13は、中央部で例えば0〜数1
0オングストロームの膜厚を持たせ、最外周部で例えば
数百オングストロームの膜厚にしている。
【0011】上述した構造の光束形状変換フィルター1
2は、図1(b)に示すように光の透過率が中央部で最
も高く、中央から左右に離れるに従って徐々に透過率が
低下する透過率特性を有している。この非透過層の厚み
は、光束形状変換フィルター12のガラス基板後方(図
1(b)の左側矢印方向)から楕円形(x軸方向に長軸
楕円とする)のビーム光束を照射したとき、光束形状変
換フィルター12を透過したビーム光束が正円形になる
ように生成されている。即ち、半導体レーザが平行光束
に変換された後、光束形状変換フィルター12を透過す
ると円形のビーム光束に変換される。尚、本発明の実施
例では非透過膜の厚みを変化させる例で説明したが、非
透過膜に含まれるアルミニューム(Al)又はクロム
(Cr)等の物質の濃度を徐々に変化させる方法で光束
形状変換フィルターを構成しても同一の効果が得られる
ことは言うまでもない。
【0012】次に、光束形状変換フィルター12を用い
た本発明による実施例を図2で説明する。尚、図2に示
すように本発明による実施例は、記録用光学系を含む光
ディスク原盤記録装置としている。半導体レーザを用い
たフォーカス用レーザ光源1から射出された光ビーム
は、コリメータレンズ2で平行光束に変換された後、光
束形状変換フィルター12に照射される。この光束形状
変換フィルター12は、コリメータレンズ2から放射さ
れる楕円ビームの長軸方向と光束形状変換フィルターの
x軸方向を一致するように配置されているので、正円形
の光ビームに変換され、且つ光賂が屈折することがな
い。そして、ビームスプリッタ4を透過し、次のダイク
ロイックミラー15で反射し、対物レンズ6によって集
光され、光ディスク原盤7の面上に規定されたビーム径
の微小スポットを照射する。
【0013】また、光ディスク原盤7の面上で反射され
た光ビームは、対物レンズ6を通りダイクロイックミラ
ー15で反射し、ビームスプリッタ4で反射した後、集
光レンズ9で光検出回路10に照射される。この光検出
回路10には、図示せぬシリンドリカルレンズと4分割
の受光素子及び演算回路が設けられているので、照射さ
れた光ビームからフォーカス誤差信号に応じた制御信号
をアクチュエータ11に対して出力することで、正確な
フォーカス制御を行うことができる。一方、符号16
は、記録用光源19としての半導体レーザであり、次段
のSHG素子(第2高調波発生素子:Second H
armonic Generation)17に光ビー
ムを照射する。このSHG素子17は、光ビームが照射
されると光ビームの第2高調波を発生する素子であるた
め、半導体レーザの波長(λ=840nm)の半分の波
長(λ=420nm)のレーザ光が得られる。
【0014】そして、フィルター18で第2高調波だけ
を抽出することによって波長がλ=420nmの記録用
光源19としている。このSHG素子17は非線形光学
素子であり、フィルター18も含めて記録用光源19か
ら得られる光ビームは円形光束が得られる。そして、記
録用光源19から射出された光ビームは、集光レンズ2
0で集光された後、コリメータレンズ22で平行光束に
変換される。集光レンズ20とコリメータレンズ22の
間の集光レンズ20の焦点にA/O変調器21が設けら
れている。このA/O変調器21は、圧電材料に超音波
駆動電圧を加えると、媒体中に音速に対する微小波長の
疎密波が発生し、これを回折格子として、記録用光源か
ら得られるビーム光と作用させると音響光学反射を起こ
す。この反射光(回折光)は、超音波駆動電圧に応じて
変化するので、この電圧を振幅変調することによって変
調された光を得ることができる。
【0015】即ち、A/O駆動回路23からA/O変調
器21に対して光ディスク原盤7に記録すべき信号に応
じた変調信号を供給する事によって、光ビームが記録信
号に応じて光変調される。そして、A/O変調器21で
光変調されたビーム光は、コリメータレンズ22によっ
て平行光束に変換され、反射ミラー5を経てダイクロイ
ックミラー15を透過し、対物レンズ6によって、光デ
ィスク原盤7の面上にビーム光を集束させ照射される。
この光ディスク原盤7は、鏡面研磨されたガラス面上に
フォトレジスト24が塗布されている。このフォトレジ
スト24が塗布された光ディスク原盤7の面上に規定の
ビーム径に集光された光ビームが照射される。この光ビ
ームはA/O変調器21によって、記録すべき音楽や映
像などの情報に対応した照射時間の長短に応じて光変調
されている。そして、光変調された光ビームはモータ8
で規定の回転速度で回転する光ディスク原盤7のフォト
レジスト24面上に照射される。
【0016】そして、移動光学系30が光ディスク原盤
7の半径方向に規定量ずつ移動することによって、光変
調された光ビームが回転する光ディスク原盤7の内周か
ら外周に向かって照射され、フォトレジスト層を露光す
る。その後、光ディスク原盤7は現像され、表面に金属
を蒸着すると光ディスク原盤が完成する。光ディスク原
盤の表面には、音楽や映像などの情報に対応した長さを
有する凹凸状のピットがピット列となって形成されてい
る。この光ディスク原盤の表面にニッケルメッキ層を生
成し、光ディスク原盤の表面から、このニッケルメッキ
層を剥離したものが、ニッケルスタンパである。光ディ
スク基板は、このスタンパで成形される。
【0017】尚、本発明の光束形状変換フィルターは、
光ディスク原盤記録装置に対する実施例で説明したが、
光ディスク再生装置及び光ディスク記録再生装置に適用
しても同様の効果を得ることができる。また、光束形状
変換フィルターを平行光束中で用いるように説明した
が、発散ビームや集束ビーム中で使用することが出来
る。また、光束形状変換フィルターを円形ビームから楕
円ビームに変換するときに用いても良く、使用方法や使
用場所が限定されるものではない。また、光束形状変換
フィルターを構成する非透過膜は、アルミニューム(A
l)又はクロム(Cr)等の物質を用いて説明したが、
光吸収剤を用いて構成しても同様の効果が得られること
は言うまでもない。
【0018】
【発明の効果】上述したように本発明の実施例によれ
ば、フォーカス用光源に半導体レーザを用い、光ビーム
をコリメータレンズ2で平行光束に変換された後、楕円
ビームの長軸方向と光束形状変換フィルターのx軸方向
を一致するように配置したので、正円形の光ビームに変
換され、且つ光路が屈折することがない。このため、構
造が簡単で小型な光学系により、スポット形状を変換す
ることが可能となる。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定形状の光束の光路中に透過率が1の
    軸方向に離れるに従って減少する特性を有する光束形状
    変換フィルターを配置したことを特徴とする光学装置。
  2. 【請求項2】 前記所定形状の光束は、半導体レーザか
    ら出射された楕円ビームであり、前記楕円ビームの長軸
    方向と前記光束形状変換フィルターの1の軸方向を一致
    させたことを特徴とする請求項1記載の光学装置。
  3. 【請求項3】 前記光束形状変換フィルターは、透明基
    板上の非透過膜が1の方向に離れるに従って厚み又は濃
    度を増したことを特徴とする請求項1記載の光学装置。
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