JPH0973746A - ディスク装置のヘッド支持機構 - Google Patents
ディスク装置のヘッド支持機構Info
- Publication number
- JPH0973746A JPH0973746A JP22483895A JP22483895A JPH0973746A JP H0973746 A JPH0973746 A JP H0973746A JP 22483895 A JP22483895 A JP 22483895A JP 22483895 A JP22483895 A JP 22483895A JP H0973746 A JPH0973746 A JP H0973746A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- piezoelectric thin
- thin films
- load beam
- support mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of Heads (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明はディスク装置のヘッド支持機構に関
し、ヘッドについてのトラッキング補正等のための高精
度で且つ効率的な微小変位が可能なヘッド支持機構の提
供を目的とする。 【解決手段】 ディスクに対する記録／再生のためのヘ
ッド２２と、ヘッド２２が搭載されるロードビーム１８
と、ロードビーム１８の表裏にそれぞれ２つずつ設けら
れる圧電素子３６，３８，４０，４２とから構成する。
し、ヘッドについてのトラッキング補正等のための高精
度で且つ効率的な微小変位が可能なヘッド支持機構の提
供を目的とする。 【解決手段】 ディスクに対する記録／再生のためのヘ
ッド２２と、ヘッド２２が搭載されるロードビーム１８
と、ロードビーム１８の表裏にそれぞれ２つずつ設けら
れる圧電素子３６，３８，４０，４２とから構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的に、高密度
記録に適した磁気ディスク装置等のディスク装置に関
し、さらに詳しくは、ディスク装置においてディスクに
対するデータの記録及び／又は再生を行うヘッドの支持
機構に関する。
記録に適した磁気ディスク装置等のディスク装置に関
し、さらに詳しくは、ディスク装置においてディスクに
対するデータの記録及び／又は再生を行うヘッドの支持
機構に関する。
【０００２】近年、データの記録媒体として回転駆動さ
れる磁気ディスクを１つ又は複数備えた磁気ディスク装
置が、コンピュータの外部記憶装置等の用途で広く使用
されている。磁気ディスク装置の記録密度は、ＭＲヘッ
ド（再生専用ヘッドとして磁気抵抗効果型ヘッドを備え
た記録／再生用のヘッド）の採用等に伴って年々上昇し
ており、磁気ディスクの記録トラックに対するヘッドの
トラッキングを電磁アクチュエータのみで行うのは限界
に達している。そのため、ヘッドの微小変位機構を備え
たヘッド支持機構を採用し、トラッキング補正を行うよ
うにした磁気ディスク装置が多数提供されるようになっ
ている。
れる磁気ディスクを１つ又は複数備えた磁気ディスク装
置が、コンピュータの外部記憶装置等の用途で広く使用
されている。磁気ディスク装置の記録密度は、ＭＲヘッ
ド（再生専用ヘッドとして磁気抵抗効果型ヘッドを備え
た記録／再生用のヘッド）の採用等に伴って年々上昇し
ており、磁気ディスクの記録トラックに対するヘッドの
トラッキングを電磁アクチュエータのみで行うのは限界
に達している。そのため、ヘッドの微小変位機構を備え
たヘッド支持機構を採用し、トラッキング補正を行うよ
うにした磁気ディスク装置が多数提供されるようになっ
ている。
【０００３】
【従来の技術】図１は磁気ディスク装置の従来のヘッド
支持機構の一例を示す平面図である。回転駆動される図
示しない磁気ディスクに対するデータの記録／再生を行
うヘッド２は、サスペンションアーム４の一旦に支持さ
れており、サスペンションアーム４の他端はキャリッジ
６の突起８を中心に微小角範囲内で回動可能に支持され
ている。
支持機構の一例を示す平面図である。回転駆動される図
示しない磁気ディスクに対するデータの記録／再生を行
うヘッド２は、サスペンションアーム４の一旦に支持さ
れており、サスペンションアーム４の他端はキャリッジ
６の突起８を中心に微小角範囲内で回動可能に支持され
ている。
【０００４】キャリッジ６は磁気ディスク装置のハウジ
ングに対して固定される軸部材１０について回動可能で
あり、キャリッジ６に固定された図示しない永久磁石に
対して、ハウジング側に固定された磁気回路１２の一部
である駆動コイル１４に流す励磁電流を制御することに
よって、キャリッジ６が軸部材１０に対して回動し、こ
れによりヘッド２を磁気ディスクの実質径方向に移動さ
せることができるようになっている。
ングに対して固定される軸部材１０について回動可能で
あり、キャリッジ６に固定された図示しない永久磁石に
対して、ハウジング側に固定された磁気回路１２の一部
である駆動コイル１４に流す励磁電流を制御することに
よって、キャリッジ６が軸部材１０に対して回動し、こ
れによりヘッド２を磁気ディスクの実質径方向に移動さ
せることができるようになっている。
【０００５】キャリッジ６とサスペンションアーム４の
間には圧電素子１６が介在しており、圧電素子１６を図
中の矢印方向に伸縮させることによって、サスペンショ
ンアーム４がキャリッジ６に対して微小角範囲内で回動
し、これによりヘッド２の微小変位がなされる。
間には圧電素子１６が介在しており、圧電素子１６を図
中の矢印方向に伸縮させることによって、サスペンショ
ンアーム４がキャリッジ６に対して微小角範囲内で回動
し、これによりヘッド２の微小変位がなされる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図１に示される従来の
構成において、圧電素子１６はその長手方向の両端部が
それぞれサスペンションアーム４及びキャリッジ６に当
接しており、圧電素子１６のバルク変形によってヘッド
２を微小変位させるようにしているので、圧電素子１６
への印加電圧に対して効率的にヘッド２を微小変位させ
ることができないという問題がある。
構成において、圧電素子１６はその長手方向の両端部が
それぞれサスペンションアーム４及びキャリッジ６に当
接しており、圧電素子１６のバルク変形によってヘッド
２を微小変位させるようにしているので、圧電素子１６
への印加電圧に対して効率的にヘッド２を微小変位させ
ることができないという問題がある。
【０００７】よって、本発明の目的は、ヘッドについて
トラッキング補正等のための高精度で且つ効率的な微小
変位が可能なディスク装置のヘッド支持機構を提供する
ことにある。
トラッキング補正等のための高精度で且つ効率的な微小
変位が可能なディスク装置のヘッド支持機構を提供する
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によると、回転駆
動されるディスクに対して少なくともデータの再生を行
うヘッドと、第１端及び第２端を有する板状弾性体から
なり、上記第１端には上記ヘッドが搭載され、上記第２
端は上記ヘッドを上記ディスクの実質径方向に移動させ
るために回動可能に支持されるロードビームと、該ロー
ドビームの一方の面上にその長手方向に互いにほぼ平行
に設けられる第１及び第２の圧電薄膜並びに該ロードビ
ームの他方の面上にその長手方向に互いにほぼ平行で上
記第１及び第２の圧電薄膜にそれぞれ対向するように設
けられる第３及び第４の圧電薄膜と、該第１乃至第４の
圧電薄膜へその厚み方向にそれぞれ電圧を印加するため
の第１乃至第４の電極対とを備えたディスク装置のヘッ
ド支持機構が提供される。
動されるディスクに対して少なくともデータの再生を行
うヘッドと、第１端及び第２端を有する板状弾性体から
なり、上記第１端には上記ヘッドが搭載され、上記第２
端は上記ヘッドを上記ディスクの実質径方向に移動させ
るために回動可能に支持されるロードビームと、該ロー
ドビームの一方の面上にその長手方向に互いにほぼ平行
に設けられる第１及び第２の圧電薄膜並びに該ロードビ
ームの他方の面上にその長手方向に互いにほぼ平行で上
記第１及び第２の圧電薄膜にそれぞれ対向するように設
けられる第３及び第４の圧電薄膜と、該第１乃至第４の
圧電薄膜へその厚み方向にそれぞれ電圧を印加するため
の第１乃至第４の電極対とを備えたディスク装置のヘッ
ド支持機構が提供される。
【０００９】この構成によると、例えば、第１及び第３
の圧電薄膜と第２及び第４の圧電薄膜とがそれぞれ同相
で伸縮し且つ第１及び第２の圧電薄膜と第３及び第４の
圧電薄膜とがそれぞれ逆相で伸縮するように第１乃至第
４の電極対に電圧信号を与えることによって、トラッキ
ング補正のための高精度で且つ効率的な微小変位が可能
になる。
の圧電薄膜と第２及び第４の圧電薄膜とがそれぞれ同相
で伸縮し且つ第１及び第２の圧電薄膜と第３及び第４の
圧電薄膜とがそれぞれ逆相で伸縮するように第１乃至第
４の電極対に電圧信号を与えることによって、トラッキ
ング補正のための高精度で且つ効率的な微小変位が可能
になる。
【００１０】また、第１及び第２の圧電薄膜と第３及び
第４の圧電薄膜とがそれぞれ同相で伸縮し且つ第１及び
第３の圧電薄膜と第２及び第４の圧電薄膜とがそれぞれ
逆相で伸縮するように第１乃至第４の電極対に電圧信号
を与えることによって、ヘッドの磁気ディスク表面に向
かう方向について高精度で且つ効率的な微小変位が可能
になる。
第４の圧電薄膜とがそれぞれ同相で伸縮し且つ第１及び
第３の圧電薄膜と第２及び第４の圧電薄膜とがそれぞれ
逆相で伸縮するように第１乃至第４の電極対に電圧信号
を与えることによって、ヘッドの磁気ディスク表面に向
かう方向について高精度で且つ効率的な微小変位が可能
になる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳細
に説明する。図２は本発明のヘッド支持機構の実施形態
を示す磁気ディスク側から見た斜視図である。ステンレ
ス鋼板等の板状弾性体からなる概略長方形形状のロード
ビーム１８の一端側には、打ち抜き加工等によりジンバ
ル２０が形成されており、このジンバル２０上にはヘッ
ド２２が搭載されている。
に説明する。図２は本発明のヘッド支持機構の実施形態
を示す磁気ディスク側から見た斜視図である。ステンレ
ス鋼板等の板状弾性体からなる概略長方形形状のロード
ビーム１８の一端側には、打ち抜き加工等によりジンバ
ル２０が形成されており、このジンバル２０上にはヘッ
ド２２が搭載されている。
【００１２】ヘッド２２は、回転駆動される磁気ディス
クから所定間隔離間して浮上させるために、スライダ２
４を有している。スライダ２４の端面には、ＭＲ素子を
含むヘッド部２６と、ヘッド部２６を外部回路と接続す
るための複数の（この例では４つの）端子２７とが形成
されている。スライダ２４の底面には、回転磁気ディス
クとの間に適切な空気流を生じさせるために所定形状の
レール２８及び３０が形成されている。
クから所定間隔離間して浮上させるために、スライダ２
４を有している。スライダ２４の端面には、ＭＲ素子を
含むヘッド部２６と、ヘッド部２６を外部回路と接続す
るための複数の（この例では４つの）端子２７とが形成
されている。スライダ２４の底面には、回転磁気ディス
クとの間に適切な空気流を生じさせるために所定形状の
レール２８及び３０が形成されている。
【００１３】ヘッドビーム１８を板状弾性体から形成し
ているのは、その弾性力とスライダ２４の浮上力とをつ
り合わせてヘッド２２の所要の浮上高さを得るためであ
り、弾性力を調整するために、ロードビーム１８の両サ
イドには折り曲げ部１８Ａが形成されている。
ているのは、その弾性力とスライダ２４の浮上力とをつ
り合わせてヘッド２２の所要の浮上高さを得るためであ
り、弾性力を調整するために、ロードビーム１８の両サ
イドには折り曲げ部１８Ａが形成されている。
【００１４】ヘッド２２の４つの端子２７は、ロードビ
ーム１８上に配線される信号パターン３２Ａ，３２Ｂ，
３２Ｃ及び３２Ｄにそれぞれボールボンディングにより
接続されている。信号パターン３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ
及び３２Ｄは、それぞれ、ロードビーム１８のヘッド２
２と反対の側に形成される４つのボンディングパッド３
４に接続されている。
ーム１８上に配線される信号パターン３２Ａ，３２Ｂ，
３２Ｃ及び３２Ｄにそれぞれボールボンディングにより
接続されている。信号パターン３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ
及び３２Ｄは、それぞれ、ロードビーム１８のヘッド２
２と反対の側に形成される４つのボンディングパッド３
４に接続されている。
【００１５】ロードビーム１８のヘッド２２が搭載され
る面（第１面）上には、その長手方向に互いにほぼ平行
に圧電素子３６及び３８が設けられており、ロードビー
ム１８の第２面上には、圧電素子３６及び３８にそれぞ
れ対向して圧電素子４０及び４２が設けられている。圧
電素子４０及び４２も互いにほぼ平行である。
る面（第１面）上には、その長手方向に互いにほぼ平行
に圧電素子３６及び３８が設けられており、ロードビー
ム１８の第２面上には、圧電素子３６及び３８にそれぞ
れ対向して圧電素子４０及び４２が設けられている。圧
電素子４０及び４２も互いにほぼ平行である。
【００１６】ロードビーム１８のボンディングパッド３
４側の端部の第２面上には剛性を高めるためにプレート
４４が貼着されており、プレート４４及びロードビーム
１８には、ロードビーム１８を回動させるための軸部材
（図１の軸部材１０に対応）のための穴４６が形成され
ている。尚、ロードビーム１８の概略中央部の穴４８及
びヘッド２２側の穴５０は磁気ディスク装置を組み立て
るに際してのロードビーム１８の位置決め用のものであ
る。
４側の端部の第２面上には剛性を高めるためにプレート
４４が貼着されており、プレート４４及びロードビーム
１８には、ロードビーム１８を回動させるための軸部材
（図１の軸部材１０に対応）のための穴４６が形成され
ている。尚、ロードビーム１８の概略中央部の穴４８及
びヘッド２２側の穴５０は磁気ディスク装置を組み立て
るに際してのロードビーム１８の位置決め用のものであ
る。
【００１７】圧電素子３６及び３８は、それぞれ、信号
パターン３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ及び３２Ｄの両側に形
成される信号パターン５１及び５３によってボンディン
グパッド５２及び５４に接続されており、圧電素子４０
及び４２は、それぞれ、ロードビーム１８の第２面上に
形成される信号パターン５６及び６０によってボンディ
ングパッド５８及び６２に接続されている。
パターン３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ及び３２Ｄの両側に形
成される信号パターン５１及び５３によってボンディン
グパッド５２及び５４に接続されており、圧電素子４０
及び４２は、それぞれ、ロードビーム１８の第２面上に
形成される信号パターン５６及び６０によってボンディ
ングパッド５８及び６２に接続されている。
【００１８】図３は図２におけるＡ−Ａ断面図である。
ロードビーム１８の第１面上には絶縁層６４が形成され
ており、圧電素子３６及び３８と、ヘッド２２用の信号
パターン３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ及び３２Ｄと、圧電素
子３６及び３８用の信号パターン５１及び５３とが絶縁
層６４上に設けられている。
ロードビーム１８の第１面上には絶縁層６４が形成され
ており、圧電素子３６及び３８と、ヘッド２２用の信号
パターン３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ及び３２Ｄと、圧電素
子３６及び３８用の信号パターン５１及び５３とが絶縁
層６４上に設けられている。
【００１９】ロードビーム１８の第２面上には絶縁層６
６が形成されており、圧電素子４０及び４２と、圧電素
子４０及び４２用の信号パターン５６及び６０とが絶縁
層６６上に設けられている。尚、図２においては絶縁層
６４及び６６の図示は省略されている。
６が形成されており、圧電素子４０及び４２と、圧電素
子４０及び４２用の信号パターン５６及び６０とが絶縁
層６６上に設けられている。尚、図２においては絶縁層
６４及び６６の図示は省略されている。
【００２０】各圧電素子３６，３８，４０及び４２は、
それぞれ、電極層６８、緩衝層７０、圧電薄膜７２及び
電極層７４を絶縁層６４の側からこの順に積層して構成
されている。
それぞれ、電極層６８、緩衝層７０、圧電薄膜７２及び
電極層７４を絶縁層６４の側からこの順に積層して構成
されている。
【００２１】電極層６８及び７４は例えばＡｕ等の金属
からなり、緩衝層７０は例えばＳｉＯ2 からなる。圧電
薄膜７２の材料としては、スパッタリング等により配向
させたＺｎＯを用いることができる。圧電薄膜７２とし
ては、ＺｎＯ薄膜の他に、ＰＺＴ，ＰＬＺＴ，チタン酸
バリウム等のペロブスカイト構造を有する薄膜を用いる
ことができる。
からなり、緩衝層７０は例えばＳｉＯ2 からなる。圧電
薄膜７２の材料としては、スパッタリング等により配向
させたＺｎＯを用いることができる。圧電薄膜７２とし
ては、ＺｎＯ薄膜の他に、ＰＺＴ，ＰＬＺＴ，チタン酸
バリウム等のペロブスカイト構造を有する薄膜を用いる
ことができる。
【００２２】図３において、符号７６は、圧電素子３
６，３８，４０及び４２の電極層７４をそれぞれ信号パ
ターン５１，５３，５６及び６０と接続するためのボン
ディングワイヤを示している。圧電素子３６，３８，４
０及び４２の電極層６８はそれぞれ図示しないグランド
パターンによって接地されている。
６，３８，４０及び４２の電極層７４をそれぞれ信号パ
ターン５１，５３，５６及び６０と接続するためのボン
ディングワイヤを示している。圧電素子３６，３８，４
０及び４２の電極層６８はそれぞれ図示しないグランド
パターンによって接地されている。
【００２３】各圧電素子において、圧電薄膜７２の厚み
は例えば約１〜３μｍであり、緩衝層７０の厚みは例え
ば約０．２μｍである。緩衝層７０は圧電薄膜７２の静
電破壊を防止するために設けられている。電極層６８と
絶縁層６４，６６との間にさらに緩衝層を形成してもよ
い。
は例えば約１〜３μｍであり、緩衝層７０の厚みは例え
ば約０．２μｍである。緩衝層７０は圧電薄膜７２の静
電破壊を防止するために設けられている。電極層６８と
絶縁層６４，６６との間にさらに緩衝層を形成してもよ
い。
【００２４】図３においては、各圧電素子の厚みが折り
曲げ部１８Ａの長さよりも大きいように図示されている
が、これは各圧電素子の断面構成を詳細に説明するため
である。
曲げ部１８Ａの長さよりも大きいように図示されている
が、これは各圧電素子の断面構成を詳細に説明するため
である。
【００２５】圧電薄膜７２へ電圧を印加すると、圧電薄
膜７２は電極層６８から電極層７４へ向かう方向に伸縮
する（Ｄ33モード）一方で、これと直交する方向、特に
ロードビーム１８の長手方向にも伸縮する（ｄ31モー
ド）。本実施形態では、このｄ 31モードについての圧電
薄膜の伸縮を用いてヘッド２２のトラッキング補正等を
行っている。
膜７２は電極層６８から電極層７４へ向かう方向に伸縮
する（Ｄ33モード）一方で、これと直交する方向、特に
ロードビーム１８の長手方向にも伸縮する（ｄ31モー
ド）。本実施形態では、このｄ 31モードについての圧電
薄膜の伸縮を用いてヘッド２２のトラッキング補正等を
行っている。
【００２６】図４は本実施形態における動作説明図であ
る。トラッキング補正に際し、ヘッド２２を磁気ディス
クの実質径方向（単に「径方向」ということがある）に
微小変位させる場合には、図４の（Ａ）に示されるよう
に、圧電素子３６及び４０が同相で伸縮し、圧電素子３
８及び４２が同相で伸縮し、圧電素子３６及び３８が逆
相で伸縮するように、各圧電素子へ電圧信号が与えられ
る。
る。トラッキング補正に際し、ヘッド２２を磁気ディス
クの実質径方向（単に「径方向」ということがある）に
微小変位させる場合には、図４の（Ａ）に示されるよう
に、圧電素子３６及び４０が同相で伸縮し、圧電素子３
８及び４２が同相で伸縮し、圧電素子３６及び３８が逆
相で伸縮するように、各圧電素子へ電圧信号が与えられ
る。
【００２７】例えば、このような電圧信号によって圧電
素子３６及び４０が伸び、圧電素子３８及び４２が縮む
場合、ロードビーム１８は紙面内において撓み、ヘッド
２２は実線矢印７８で示されるように径方向に微小変位
する。
素子３６及び４０が伸び、圧電素子３８及び４２が縮む
場合、ロードビーム１８は紙面内において撓み、ヘッド
２２は実線矢印７８で示されるように径方向に微小変位
する。
【００２８】一方、圧電素子３６及び４０が縮み、圧電
素子３８及び４２が伸びるように電圧信号が与えられる
と、ヘッド２２は破線矢印８０で示されるように径方向
において上述とは反対の向きに微小変位する。
素子３８及び４２が伸びるように電圧信号が与えられる
と、ヘッド２２は破線矢印８０で示されるように径方向
において上述とは反対の向きに微小変位する。
【００２９】この場合における電圧信号波形の例を図５
に示す。図５において符号１３６，１３８，１４０及び
１４８はそれぞれ圧電素子３６，３８，４０及び４２に
与えられる電圧信号の波形を示している。
に示す。図５において符号１３６，１３８，１４０及び
１４８はそれぞれ圧電素子３６，３８，４０及び４２に
与えられる電圧信号の波形を示している。
【００３０】時間（ｔ1 〜ｔ2 ）の期間においては、ヘ
ッド２２は図４の（Ａ）において矢印７８で示される方
向に微小変位しており、この期間各圧電素子にはトラッ
キング補正のための制御された電圧信号が与えられてい
る。前述の原理に従って、電圧信号波形１３６及び１３
８は互いに逆相であり、電圧信号波形１３６及び１４０
は同相であり、電圧信号波形１３８及び１４２は同相で
ある。
ッド２２は図４の（Ａ）において矢印７８で示される方
向に微小変位しており、この期間各圧電素子にはトラッ
キング補正のための制御された電圧信号が与えられてい
る。前述の原理に従って、電圧信号波形１３６及び１３
８は互いに逆相であり、電圧信号波形１３６及び１４０
は同相であり、電圧信号波形１３８及び１４２は同相で
ある。
【００３１】時間（ｔ2 〜ｔ3 ）の期間は、トラッキン
グ補正はなされておらず、この期間には例えば電磁アク
チュエータによる粗いトラッキングが行われている。時
間（ｔ3 〜ｔ4 ）の期間には、ヘッド２２は図４の
（Ａ）において破線矢印８０で示される方向に微小変位
しており、この期間トラッキング補正のための制御され
た電圧信号が各圧電素子に与えられている。
グ補正はなされておらず、この期間には例えば電磁アク
チュエータによる粗いトラッキングが行われている。時
間（ｔ3 〜ｔ4 ）の期間には、ヘッド２２は図４の
（Ａ）において破線矢印８０で示される方向に微小変位
しており、この期間トラッキング補正のための制御され
た電圧信号が各圧電素子に与えられている。
【００３２】本実施形態においては、ロードビーム１８
の一方のサイドが伸びる方向に剪断応力を受けていると
きに、他方のサイドは縮む方向に剪断応力を受けるの
で、単位印加電圧あたりのヘッド２２の変位量を大きく
することができ、効果的な微小変位が可能になる。
の一方のサイドが伸びる方向に剪断応力を受けていると
きに、他方のサイドは縮む方向に剪断応力を受けるの
で、単位印加電圧あたりのヘッド２２の変位量を大きく
することができ、効果的な微小変位が可能になる。
【００３３】また、各圧電素子の単位印加電圧あたりの
伸縮量の再現性は良好であるので、ヘッドについて高精
度な微小変位が可能になる。ヘッド２２を磁気ディスク
面と垂直な方向（単に「上下方向」ということがある）
に微小変位させる場合には、図４の（Ｂ）に示されるよ
うに、圧電素子３６及び３８が同相で伸縮し、圧電素子
４０及び４２が同相で伸縮し、圧電素子３６及び４０が
逆相で伸縮するように各圧電素子に電圧信号を与える。
伸縮量の再現性は良好であるので、ヘッドについて高精
度な微小変位が可能になる。ヘッド２２を磁気ディスク
面と垂直な方向（単に「上下方向」ということがある）
に微小変位させる場合には、図４の（Ｂ）に示されるよ
うに、圧電素子３６及び３８が同相で伸縮し、圧電素子
４０及び４２が同相で伸縮し、圧電素子３６及び４０が
逆相で伸縮するように各圧電素子に電圧信号を与える。
【００３４】例えば、図示されるように圧電素子３６及
び３８が伸び圧電素子４０及び４２が縮む方向に電圧信
号が与えられると、ヘッド２２は実線矢印８２で示され
るように上下方向において磁気ディスク面に近付く方向
に微小変位する。また、ヘッド２２を上下方向において
磁気ディスク面から遠ざかる方向に微小変位させる場合
には、前述と逆の電圧信号を用いる。
び３８が伸び圧電素子４０及び４２が縮む方向に電圧信
号が与えられると、ヘッド２２は実線矢印８２で示され
るように上下方向において磁気ディスク面に近付く方向
に微小変位する。また、ヘッド２２を上下方向において
磁気ディスク面から遠ざかる方向に微小変位させる場合
には、前述と逆の電圧信号を用いる。
【００３５】このように必要に応じて磁気ヘッド２２を
上下方向に変位させることによって、ヘッドのロード／
アンロード機能の達成やヘッドクラッシュ等の事故の防
止が可能になる。
上下方向に変位させることによって、ヘッドのロード／
アンロード機能の達成やヘッドクラッシュ等の事故の防
止が可能になる。
【００３６】この場合における電圧信号波形の例を図６
に示す。図６において、符号２３６，２３８，２４０及
び２４２は、それぞれ、ヘッド２２を上下方向に微小変
位させるに際しての各圧電素子３６，３８，４０及び４
２への印加電圧波形を示している。電圧波形２３６及び
２３８は同相であり、電圧信号波形２３６及び２４０は
互いに逆相であり、電圧信号波形２４０及び２４２は同
相である。
に示す。図６において、符号２３６，２３８，２４０及
び２４２は、それぞれ、ヘッド２２を上下方向に微小変
位させるに際しての各圧電素子３６，３８，４０及び４
２への印加電圧波形を示している。電圧波形２３６及び
２３８は同相であり、電圧信号波形２３６及び２４０は
互いに逆相であり、電圧信号波形２４０及び２４２は同
相である。
【００３７】時間（ｔ5 〜ｔ6 ）の期間には、各圧電素
子に電圧が印加され、その電圧波形の振幅に応じて、ヘ
ッド２２は図４の（Ｂ）において実線矢印８２で示され
る方向に微小変位し、これによりヘッド２２と磁気ディ
スク面との間の所望の距離が得られる。
子に電圧が印加され、その電圧波形の振幅に応じて、ヘ
ッド２２は図４の（Ｂ）において実線矢印８２で示され
る方向に微小変位し、これによりヘッド２２と磁気ディ
スク面との間の所望の距離が得られる。
【００３８】図７は本発明の他の実施形態を示すヘッド
支持機構の断面図である。本実施形態は、各圧電素子３
６，３８，４０及び４２の電極層６８及び７８間にそれ
ぞれ直列に抵抗体Ｒを接続している点で特徴付けられ
る。
支持機構の断面図である。本実施形態は、各圧電素子３
６，３８，４０及び４２の電極層６８及び７８間にそれ
ぞれ直列に抵抗体Ｒを接続している点で特徴付けられ
る。
【００３９】今、ロードビーム１８に衝撃等が加わって
ロードビーム１８が励振されたとする。ロードビーム１
８に蓄えられた弾性エネルギーは、ロードビーム１８が
弾性変形した次の瞬間ロードビーム１８を逆の方向に変
形させようとする運動エネルギーに変換されるわけであ
るが、抵抗体Ｒを設けておくことによって、抵抗体Ｒに
おいてジュール熱として系外に発散された分だけ上述の
運動エネルギーは減少する。これによりロードビーム１
８についての制振作用が生じるのである。
ロードビーム１８が励振されたとする。ロードビーム１
８に蓄えられた弾性エネルギーは、ロードビーム１８が
弾性変形した次の瞬間ロードビーム１８を逆の方向に変
形させようとする運動エネルギーに変換されるわけであ
るが、抵抗体Ｒを設けておくことによって、抵抗体Ｒに
おいてジュール熱として系外に発散された分だけ上述の
運動エネルギーは減少する。これによりロードビーム１
８についての制振作用が生じるのである。
【００４０】尚、抵抗体Ｒの抵抗値は、各圧電素子への
電圧の印加が影響を受けない程度に大きいことが望まし
い。本実施形態では４つの圧電素子全てに抵抗体Ｒを接
続しているが、少なくともいずれか１つの圧電素子に抵
抗体を接続することによっても、上述の制振作用を得る
ことができる。
電圧の印加が影響を受けない程度に大きいことが望まし
い。本実施形態では４つの圧電素子全てに抵抗体Ｒを接
続しているが、少なくともいずれか１つの圧電素子に抵
抗体を接続することによっても、上述の制振作用を得る
ことができる。
【００４１】以上の実施形態において、ヘッド２２を径
方向に変位させる場合、ロードビーム１８の厚みが２０
μｍ、圧電薄膜７４の厚みが２μｍ、電極層６０及び７
４間に印加する電圧が５０Ｖである場合、ヘッド２２の
変位量としては例えば０．３μｍを得ることができる。
また、同一条件によってヘッド２２を上下方向に変位さ
せる場合、μｍオーダの変位が可能になる。
方向に変位させる場合、ロードビーム１８の厚みが２０
μｍ、圧電薄膜７４の厚みが２μｍ、電極層６０及び７
４間に印加する電圧が５０Ｖである場合、ヘッド２２の
変位量としては例えば０．３μｍを得ることができる。
また、同一条件によってヘッド２２を上下方向に変位さ
せる場合、μｍオーダの変位が可能になる。
【００４２】圧電薄膜７２の抵抗率は高いので、圧電薄
膜７２へ電圧を印加するためのボンディングワイヤや信
号パターンの断面積は小さくてすむ。従って、圧電体に
電圧を印加するための信号パターンの増設によるロード
ビーム１８の表面積の増大はほとんどない。
膜７２へ電圧を印加するためのボンディングワイヤや信
号パターンの断面積は小さくてすむ。従って、圧電体に
電圧を印加するための信号パターンの増設によるロード
ビーム１８の表面積の増大はほとんどない。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
ヘッドについてトラッキング補正等のための高精度で且
つ効率的な微小変位が可能なディスク装置のヘッド支持
機構の提供が可能になるという効果が生じる。
ヘッドについてトラッキング補正等のための高精度で且
つ効率的な微小変位が可能なディスク装置のヘッド支持
機構の提供が可能になるという効果が生じる。
【図面の簡単な説明】
【図１】磁気ディスク装置の従来のヘッド支持機構の一
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図２】本発明の実施形態を示すヘッド支持機構の斜視
図である。
図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ断面図である。
【図４】図２及び図３のヘッド支持機構の動作説明図で
ある。
ある。
【図５】電圧信号波形の一例を示す図である。
【図６】電圧信号波形の他の例を示す図である。
【図７】本発明の他の実施形態を示すヘッド支持機構の
断面図である。
断面図である。
１８ ロードビーム ２２ ヘッド ３６，３８，４０，４２ 圧電素子 ７２ 圧電薄膜
Claims (4)
- 【請求項１】 回転駆動されるディスクに対して少なく
ともデータの再生を行うヘッドと、 第１端及び第２端を有する板状弾性体からなり、上記第
１端には上記ヘッドが搭載され、上記第２端は上記ヘッ
ドを上記ディスクの実質径方向に移動させるために回動
可能に支持されるロードビームと、 該ロードビームの一方の面上にその長手方向に互いにほ
ぼ平行に設けられる第１及び第２の圧電薄膜並びに該ロ
ードビームの他方の面上にその長手方向に互いにほぼ平
行で上記第１及び第２の圧電薄膜にそれぞれ対向するよ
うに設けられる第３及び第４の圧電薄膜と、 該第１乃至第４の圧電薄膜へその厚み方向にそれぞれ電
圧を印加するための第１乃至第４の電極対とを備えたデ
ィスク装置のヘッド支持機構。 - 【請求項２】 上記第１及び第３の圧電薄膜と上記第２
及び第４の圧電薄膜とがそれぞれ同相で伸縮し且つ上記
第１及び第２の圧電薄膜と上記第３及び第４の圧電薄膜
とがそれぞれ逆相で伸縮するように上記第１乃至第４の
電極対に電圧信号を与える手段をさらに備えた請求項１
記載のディスク装置のヘッド支持機構。 - 【請求項３】 上記第１及び第２の圧電薄膜と上記第３
及び第４の圧電薄膜とがそれぞれ同相で伸縮し且つ上記
第１及び第３の圧電薄膜と上記第２及び第４の圧電薄膜
とがそれぞれ逆相で伸縮するように上記第１乃至第４の
電極対に電圧信号を与える手段をさらに備えた請求項１
記載のディスク装置のヘッド支持機構。 - 【請求項４】 上記第１乃至第４の電極対のうちの少な
くとも１つの電極対に直列に接続される抵抗体をさらに
備えた請求項１記載のディスク装置のヘッド支持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22483895A JPH0973746A (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | ディスク装置のヘッド支持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22483895A JPH0973746A (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | ディスク装置のヘッド支持機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0973746A true JPH0973746A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=16819976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22483895A Withdrawn JPH0973746A (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | ディスク装置のヘッド支持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0973746A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2749696A1 (fr) * | 1996-10-15 | 1997-12-12 | Silmag Sa | Assemblage rotatif de precision pour memoire a disque |
| EP1152401A4 (en) * | 1998-09-16 | 2003-01-15 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | MAGNETIC HEAD SUSPENSION, INFORMATION RECORDING AND PLAYBACK DEVICE, AND A METHOD FOR PRODUCING A MAGNETIC HEAD SUSPENSION |
| US6532138B1 (en) | 1999-07-30 | 2003-03-11 | Fujitsu Limited | Mechanism for producing minute movement of a head of a disk device |
| US6552878B2 (en) | 1998-08-05 | 2003-04-22 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk apparatus |
| JP2005039176A (ja) * | 2002-12-03 | 2005-02-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜圧電体素子およびその製造方法並びにこれを用いたアクチュエータ |
| US6927947B2 (en) | 2000-02-14 | 2005-08-09 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk apparatus |
| US7312955B2 (en) | 2002-10-16 | 2007-12-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Disk drive piezoelectric actuator with coupling portion extending across a slit between flexible substrates |
| US7630175B2 (en) | 2003-09-02 | 2009-12-08 | Tdk Corporation | Flexible, suspension, and head gimbal assembly with piezoelectric layer units addressable by a voltage |
-
1995
- 1995-09-01 JP JP22483895A patent/JPH0973746A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2749696A1 (fr) * | 1996-10-15 | 1997-12-12 | Silmag Sa | Assemblage rotatif de precision pour memoire a disque |
| US6552878B2 (en) | 1998-08-05 | 2003-04-22 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk apparatus |
| EP1152401A4 (en) * | 1998-09-16 | 2003-01-15 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | MAGNETIC HEAD SUSPENSION, INFORMATION RECORDING AND PLAYBACK DEVICE, AND A METHOD FOR PRODUCING A MAGNETIC HEAD SUSPENSION |
| US6943990B1 (en) | 1998-09-16 | 2005-09-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Head support mechanism, information recording/reproducing apparatus, and method of manufacturing head support mechanism |
| US6532138B1 (en) | 1999-07-30 | 2003-03-11 | Fujitsu Limited | Mechanism for producing minute movement of a head of a disk device |
| US6927947B2 (en) | 2000-02-14 | 2005-08-09 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk apparatus |
| US7130159B2 (en) | 2000-02-14 | 2006-10-31 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic disk apparatus |
| US7312955B2 (en) | 2002-10-16 | 2007-12-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Disk drive piezoelectric actuator with coupling portion extending across a slit between flexible substrates |
| JP2005039176A (ja) * | 2002-12-03 | 2005-02-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜圧電体素子およびその製造方法並びにこれを用いたアクチュエータ |
| US7630175B2 (en) | 2003-09-02 | 2009-12-08 | Tdk Corporation | Flexible, suspension, and head gimbal assembly with piezoelectric layer units addressable by a voltage |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6617763B2 (en) | Piezoelectric actuator set for head assembly | |
| US7068473B2 (en) | Piezoelectric microactuator for improved tracking control of disk drive read/write heads | |
| JP3501758B2 (ja) | 記録／再生ヘッド支持機構および記録／再生装置 | |
| US7298593B2 (en) | Micro-actuator including a leading beam pivot part, head gimbal assembly and disk drive unit with the same | |
| JP4677762B2 (ja) | マイクロアクチュエータ、マイクロアクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ、及びヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置 | |
| US7551405B2 (en) | Rotational PZT micro-actuator with fine head position adjustment capacity, head gimbal assembly, and disk drive unit with same | |
| US6704157B2 (en) | Passive damping method and circuit for data storage device actuator | |
| US20030147177A1 (en) | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element, disk drive apparatus with the head gimbal assembly, and manufacturing method of the head gimbal assembly | |
| US20030147181A1 (en) | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element and disk drive apparatus with the head gimbal assembly | |
| US20060098347A1 (en) | Micro-actuator, head gimbal assembly and disk drive unit with the same | |
| JP2003515865A (ja) | パターン化した媒体の上方のフライ高さ制御 | |
| JPWO2000030080A1 (ja) | 記録／再生ヘッド支持機構および記録／再生装置 | |
| CN111653295A (zh) | 微驱动器、头悬挂组件以及盘装置 | |
| JP5890856B2 (ja) | ハード・ディスク・ドライブ用の単板差動ポーリング圧電マイクロアクチュエータ | |
| US7417831B2 (en) | Micro-actuator and head gimbal assembly for a disk drive device | |
| US6754047B2 (en) | Slide microactuator using S-shaped piezoelectric element | |
| JP3597822B2 (ja) | ヘッド支持装置およびこれを備えた記録再生装置 | |
| US8018686B2 (en) | Head gimbal assembly for use in disk drive devices and method of making the same | |
| CN101202052B (zh) | 改进的磁头折片组合、磁盘驱动器及其制造方法 | |
| JP3405452B2 (ja) | ディスク装置のヘッド支持機構 | |
| WO2003102950A1 (en) | Method for encapsulation of a u shape micro-actuator | |
| US7518833B2 (en) | Micro-actuator with electric spark preventing structure, HGA, and disk drive unit with the same, and manufacturing method thereof | |
| CN101192414B (zh) | 减小挠性件变形及凸点分离的磁头折片组合及制造方法 | |
| JP2001052456A (ja) | サスペンションとそれを用いた情報記録再生装置および情報記録再生装置の駆動方法 | |
| US7501740B2 (en) | Microscale driving unit and recording disk drive |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021105 |