JPH0973992A - 除電方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 １つのイオン発生器によって静電気が帯電し
た物品を連続的に除電することが可能な除電方法及びそ
の装置を提供することにある。 【解決手段】 水平方向に移動するコンベヤの流れに沿
ってクリーンエアを送り、クリーンエアの給気側でコロ
ナ放電により発生されたイオンをクリーンエアで搬送し
ながらコンベヤ上の被処理物に帯電している静電気を除
去する。入出部を有するダクト状の処理室と、この処理
室内に配置されるコンベヤと、処理室の上流側に設けら
れたクリーンエア給気手段と、処理室の下流側に設けら
れたクリーンエア排気手段と、クリーンエア給気手段に
設けられたイオン発生器とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンベヤで搬送中
に物品に帯電している静電気を除去する方法及びその装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば液晶用ガラス基板等の物品
に帯電している静電気を除去する方法としては、イオナ
イザを用いて中和する方法が採用されている。イオナイ
ザは、針状電極（エミッタ）のコロナ放電により発生し
たイオンを室内の一様流によって搬送し、帯電体上の電
荷を逆極性のイオンで中和するものである。

【０００３】イオナイザは、例えば、特開平２−２５４
４１７号公報、特開平３ー３４４２４号公報、特開平５
−２４３２００号公報等に開示されている。又、特開平
７−７３９９１号公報の図５には、コンベヤ上の除電対
象物にイオンを含んだ気流をスリットノズルから高速で
吹き付けるスリットノズル式イオナイザが開示されてい
る。

【０００４】処で、このスリットノズル式イオナイザで
は、次のような不具合がある。コンベヤの速度によって
は、十分な除電ができない。高速気流により塵埃の巻上
等の気流乱れが生じる。上から吹き付けるため、物品の
形状が限定される。図２２は、従来の除電装置の概要を
示す説明図である。図において、１はクリーンルームを
表す。クリーンルーム１は、天井側にＨＥＰＡフィルタ
等の高性能フィルタ２を設け、床側にグレーチング板等
の床板３を設け、天井空間４と床下空間５とをセントラ
ル空調機６によって連絡することにより、クリーンエア
を垂直ダウンフローによって循環供給できるようになっ
ている。

【０００５】クリーンルーム１内には、２種類の生産装
置７、８がローラコンベヤ９を挟んで配置されている。
そして、ローラコンベヤ９の上方には、約１ｍ程度の長
さの吊り下げ型イオナイザ１０が配置されている。従っ
て、２種類の生産装置７、８間に配置されたローラコン
ベヤ９及びを吊り下げ型イオナイザ１０によって除電処
理領域１２が形成されている。

【０００６】尚、ローラコンベヤ９での搬送時に、作業
者等からのゴミが除電処理領域１２内に侵入しないよう
に、上部には開放フード１３が設けてある。この従来例
では、図２２に示すように、生産装置７で加工された液
晶用ガラス基板１１が、ローラコンベヤ９にて次の生産
装置８へ搬入される過程で吊り下げ型イオナイザ１０か
らコロナ放電により発生されるイオンによって静電気を
除去するものである。

【０００７】処が、図２２では、垂直ダウンフローのク
リーンルーム１内で、１台の吊り下げ型イオナイザ１０
によってスポット的に除電するので、吊り下げ型イオナ
イザ１０から放電されるイオンは、垂直ダウンフローに
よって床下空間５へ搬送され、図２３に示すように吊り
下げ型イオナイザ１０直下のみが除電される。

【０００８】而も、吊り下げ型イオナイザの長さが約１
ｍ程度であるため、ローラコンベヤ９の速度が０．５ｍ
／ｓｅｃ程度で処理される上記従来の除電方法では、液
晶用ガラス基板１１が吊り下げ型イオナイザの下を２秒
で通過してしまい、除電能力が不十分である。又、液晶
用ガラス基板１１が、複数枚を積み込むカセット式とな
った場合には、下側の液晶用ガラス基板１１は除電でき
にくかった。

【０００９】そこで、図２４及び２５に示すように、複
数個の吊り下げ型イオナイザ１０をローラコンベヤ９の
流れ方向に配置することが考えられる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】処が、図２４に示すよ
うに、複数個の吊り下げ型イオナイザ１０をローラコン
ベヤ９の流れ方向に配置しても、クリーンルーム１が垂
直ダウンフローであるから、液晶用ガラス基板１１が、
複数枚を積み込むカセット式となった場合には、下側の
液晶用ガラス基板１１は除電できにくかった。

【００１１】一方、イオナイザは、その電極にゴミが付
着しやすく、そのゴミが落下し、被処理物に付着する虞
があるので、このゴミ落下防止のためのメンテナンスが
必要とされている。そこで、図２４のように、複数個の
吊り下げ型イオナイザ１０を用いる場合には、各吊り下
げ型イオナイザ１０の電極に付着したゴミの落下を防止
するためのメンテナンスを、１つの吊り下げ型イオナイ
ザを用いた図２２の除電装置に比し頻繁に行わなければ
ならないという問題があった。

【００１２】本発明は斯かる従来の問題点を解決するた
めに為されたもので、その目的は、１つのイオン発生器
によって静電気が帯電した物品を連続的に除電すること
が可能な除電方法及びその装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、水平
方向に移動するコンベヤの流れに沿ってクリーンエアを
送り、クリーンエアの給気側でコロナ放電により発生さ
れたイオンをクリーンエアで搬送しながらコンベヤ上の
被処理物に帯電している静電気を除去することを特徴と
するものである。

【００１４】請求項２の発明は、入出部を有するダクト
状の処理室内にコンベヤを配置し、処理室の上流側で供
給するクリーンエアを処理室の下流側で吸引することに
よって、コンベヤの流れに沿ってクリーンエアを流し、
処理室のクリーンエア供給部でコロナ放電によりイオン
を発生し、発生されたイオンをクリーンエアで搬送しな
がらコンベヤ上の被処理物に帯電している静電気を除去
することを特徴とするものである。

【００１５】請求項３の発明は、入出部を有するダクト
状の処理室内にコンベヤを配置し、処理室の上流側の上
部側から供給するクリーンエアを処理室の下流側の下部
側で吸引することによって、コンベヤの流れに沿ってク
リーンエアを流し、処理室のクリーンエア供給部でコロ
ナ放電によりイオンを発生し、発生されたイオンをクリ
ーンエアで搬送しながらコンベヤ上の被処理物に帯電し
ている静電気を除去することを特徴とするものである。

【００１６】請求項４の発明は、請求項１乃至３の何れ
か１項において、クリーンルーム内の清浄空気を導入
し、浄化したクリーンエアを用いるものであることを特
徴とするものである。請求項５の発明は、入出部を有す
るダクト状の処理室と、この処理室内に配置されるコン
ベヤと、処理室の上流側に設けられたクリーンエア給気
手段と、処理室の下流側に設けられたクリーンエア排気
手段と、クリーンエア給気手段に設けられたイオン発生
器とを備えたことを特徴とするものである。

【００１７】請求項６の発明は、請求項５において、ク
リーンエア給気手段が処理室の天井部に設けられ、クリ
ーンエア排気手段が処理室の床部に設けられていること
を特徴とするものである。請求項７の発明は、請求項５
において、クリーンエア給気手段とクリーンエア排気手
段が、処理室の天井部に設けられていることを特徴とす
るものである。

【００１８】請求項８の発明は、請求項５乃至請求項７
の何れか１項において、クリーンエア給気手段及びクリ
ーンエア排気手段が、高性能フィルタとファンとで構成
されていることを特徴とするものである。請求項９の発
明は、請求項５乃至請求項７の何れか１項において、ク
リーンエア給気手段及びクリーンエア排気手段が、循環
ファンに連絡する吹出口と吸込口とで構成されているこ
とを特徴とするものである。

【００１９】請求項１０の発明は、請求項５において、
処理室の入出部には、天井側にクリーンエア流れ制御機
構が設けられていることを特徴とするものである。請求
項１１の発明は、請求項５において、イオン発生器は、
クリーンエア給気手段の吹出部に設けられていることを
特徴とするものである。請求項１２の発明は、請求項９
において、イオン発生器は、吹出口に設けられているこ
とを特徴とするものである。

【００２０】

【作用】請求項１の発明においては、水平方向に移動す
るコンベヤの流れに沿ってクリーンエアを送り、クリー
ンエアの給気側でコロナ放電により発生されたイオンを
クリーンエアで搬送しながらコンベヤ上の被処理物に帯
電している静電気を除去することができる。

【００２１】請求項２の発明においては、入出部を有す
るダクト状の処理室内にコンベヤを配置し、処理室の上
流側で供給するクリーンエアを処理室の下流側で吸引す
ることによって、コンベヤの流れに沿ってクリーンエア
を流し、処理室のクリーンエア供給部でコロナ放電によ
りイオンを発生し、発生されたイオンをクリーンエアで
搬送しながらコンベヤ上の被処理物に帯電している静電
気を除去することができる。

【００２２】請求項３の発明においては、入出部を有す
るダクト状の処理室内にコンベヤを配置し、処理室の上
流側の上部側から供給するクリーンエアを処理室の下流
側の下部側で吸引することによって、コンベヤの流れに
沿ってクリーンエアを流し、処理室のクリーンエア供給
部でコロナ放電によりイオンを発生し、発生されたイオ
ンをクリーンエアで搬送しながらコンベヤ上の被処理物
に帯電している静電気を除去することができる。

【００２３】請求項４の発明においては、クリーンルー
ム内の清浄空気が、給気側のファン等によって吸引され
た後、高性能フィルタによって所定のクリーン度に浄化
されて処理室の上流側へ吹き出される。請求項５の発明
においては、入出部を有するダクト状の処理室内にコン
ベヤを配置し、処理室の上流側に設けられたクリーンエ
ア供給手段から供給されるクリーンエアを処理室の下流
側に設けられたクリーンエア排気手段で吸引することに
よって、コンベヤの流れに沿ってクリーンエアを流し、
処理室のクリーンエア給気手段に設けられたイオン発生
器でコロナ放電によりイオンを発生し、発生されたイオ
ンをクリーンエアで搬送しながらコンベヤ上の被処理物
に帯電している静電気を除去することができる。

【００２４】請求項６の発明においては、処理室の上流
側に設けられたクリーンエア給気手段から供給されるク
リーンエアを、処理室の床部に設けられたクリーンエア
排気手段によって吸引することができる。請求項７の発
明においては、処理室の上流側に設けられたクリーンエ
ア給気手段から供給されるクリーンエアを、処理室の天
井部に設けられたクリーンエア排気手段によって吸引す
ることができる。

【００２５】請求項８の発明においては、ファンで吸引
された空気が、高性能フィルタによって浄化されて吹き
出される。請求項９の発明においては、循環ファンによ
ってクリーンエアが吹出口から吹き出され、循環ファン
によってクリーンエアが吸込口から吸い込まれる。請求
項１０の発明においては、処理室の入口側では、処理室
の上流側に設けられたクリーンエア給気手段から供給さ
れるクリーンエアが、入口側へ漏洩しないように制御す
ると共に下流側へ流れやすくし、処理室の出口側では、
処理室の下流側に設けられたクリーンエア排気手段によ
って処理室内を流れてくるクリーンエアを吸引しやすく
する。

【００２６】請求項１１に発明においては、クリーンエ
ア給気手段から吹き出されるクリーンエアにイオンを放
出することができる。請求項１２の発明においては、吹
出口から吹き出されるクリーンエアにイオンを放出する
ことができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。

【００２８】図１は、本発明の第１実施例に係る除電装
置をクリーンルーム内に設置した例を示す。図におい
て、２１はクリーンルームを表す。クリーンルーム２１
は、天井２３側にＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ
２４を敷設し、床側にグレーチング板等の床板２５を設
け、天井２３側の空間２２と床下空間２６とをセントラ
ル空調機２７によって連絡することにより、クリーンエ
アを垂直ダウンフローによって循環供給できるようにな
っている。

【００２９】クリーンルーム２１内には、２種類の生産
装置２８、２９を挟んで、除電装置３０が配置されてい
る。この除電装置３０は、前後に入出口３２、３３を備
えたダクト状の処理室３１と、この処理室３１内に水平
方向に配置されるローラコンベヤ３４と、処理室３１の
上流側の天井３１ａに設けられたファン３６とＨＥＰＡ
フィルタ等の高性能フィルタ３７を組み合わせたファン
フィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５と、処
理室３１の下流側の床板３１ｂに設けられたファン３９
とＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ４０を組み合わ
せたファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）
３８と、ファンフィルタユニット（クリーンエア給気手
段）３５の下面に設けられたイオン発生器（イオナイ
ザ）４１とを備えている。

【００３０】ここで、処理室３１は、入出口３２、３３
以外は、閉鎖されている。即ち、天井３１ａ、床板３１
ｂ、側板３１ｃで囲われている。又、この除電装置３０
の入出口３２、３３の天井側には、垂れ壁４２、４３が
設けてある。更に、除電装置３０には、キャスター３０
ａが設けてあり、必要に応じて移動できるようになって
いる。

【００３１】このように構成された本実施例によれば、
クリーンルーム２１では天井側の空間２２から供給され
るクリーンエアは、床下空間２６に向かって垂直ダウン
フローとして流下していく。これによって、クリーン度
をクラス１０にすることができる。一方、除電装置３０
では、ローラコンベヤ３４が図示しないモータ等の駆動
装置によって例えば０．０５〜１ｍ／ｓｅｃ程度の速度
で駆動されている。

【００３２】又、処理室３１の上流側の天井３１ａに設
けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）
３５では、クリーンルーム２１内のクリーンエアをファ
ン３６で吸引した後、高性能フィルタ３７で浄化して処
理室３１内に吹き出し、同時に、処理室３１の下流側の
床板３１ｂに設けたファンフィルタユニット（クリーン
エア排気手段）３８において、処理室３１内のクリーン
エアをファン３９で吸引した後、高性能フィルタ４０で
浄化してクリーンルーム２１内に吹き出している。

【００３３】これによって、処理室３１の上流側の天井
３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア
給気手段）３５から処理室３１内に吹き出されたクリー
ンエアは、処理室３１の下流側の床板３１ｂに設けたフ
ァンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８に
よって吸引されるため、処理室３１内に水平方向に配置
されたローラコンベヤ３４に沿って流れる。

【００３４】この際、処理室３１の上流側の天井３１ａ
に設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手
段）３５から処理室３１内に吹き出されたクリーンエア
は、図３に示すように、生産装置２８方向へ、垂れ壁４
２が設けてあるため、生産装置２８側への流れが低減さ
れ、処理室３１の下流側へ流れるようになる。又、処理
室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユ
ニット（クリーンエア給気手段）３５の下面に設けたイ
オン発生器（イオナイザ）４１からコロナ放電により発
生されたイオンは、上述のように処理室３１内をローラ
コンベヤ３４に沿って流れるクリーンエアによって搬送
される。

【００３５】一方、処理室３１における下流側において
も、処理室３１内のクリーンエアの生産装置２９への流
量が低減されるために、図５に示すように、垂れ壁４３
を設ける。この垂れ壁４２、４３によって、処理室３１
の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット
（クリーンエア給気手段）３５から処理室３１内に吹き
出されたクリーンエアを搬送物に沿った効果的な水平方
向の流れとすることができる。この状態において、生産
装置２８で加工された液晶用ガラス基板４４は、ローラ
コンベヤ３４に乗せられ、次の生産装置２９へ向かって
搬送される。この過程において、液晶用ガラス基板４４
に帯電された静電気は、ローラコンベヤ３４に沿って流
れるクリーンエアによって搬送されるイオンと接触し、
除去される。

【００３６】以上のように、本実施例によれば、水平方
向に移動するローラコンベヤ３４の流れに沿ってクリー
ンエアを送り、クリーンエアの給気側でコロナ放電によ
り発生されたイオンをクリーンエアで搬送しながらロー
ラコンベヤ３４上の液晶用ガラス基板（被処理物）４４
に帯電している静電気を除去することができる。特に、
イオン発生器（イオナイザ）４１からコロナ放電により
発生されたイオンは、従来のように垂直ダウンフローで
はなく、処理室３１の上流側から下流側へほぼ水平方向
に流れるクリーンエアによって搬送されるため、ローラ
コンベヤ３４上の液晶用ガラス基板（被処理物）４４と
の接触時間が格段に長くなり、液晶用ガラス基板４４に
帯電された静電気は、確実に除去される。

【００３７】又、液晶用ガラス基板（被処理物）４４
は、ローラコンベヤ３４で搬送されるため、その上面４
４ａは勿論のこと下面４４ｂ側も除電される。図６乃至
図１３は、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたフ
ァンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５か
ら処理室３１内に吹き出されたクリーンエアが、生産装
置２８方向へ流量を低減し、且つ処理室３１内の水平方
向の流れを速やかに形成するために、ファンフィルタユ
ニット（クリーンエア給気手段）３５の下面側にクリー
ンエア流れ制御機構を設けた例を示す。

【００３８】図６では、下面側の開口率を側面側の開口
率より小さくして、下流側へ向かう流れを作れるように
したパンチング板４５を配した例を示す。この例では、
垂れ壁４２が設けてあった位置は、閉鎖されてある。
又、パンチング板４５には、開口率の大きい側面側にイ
オン発生器（イオナイザ）４１が設けてある。

【００３９】図７は、図６におけるパンチング板４５の
側面が楕円形状にした例、図８は、図６におけるパンチ
ング板４５の側面が半円形状にした例を示す。図９は、
図６におけるパンチング板４５に代えてほぼＬ字状に折
れ曲がる抵抗板４６とした例を示す。この抵抗板４６に
よって、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファ
ンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５から
処理室３１内に吹き出されたクリーンエアは、下流側へ
向かう流れに変えられる。

【００４０】図１０は、図９における抵抗板４６に水平
方向に延びる板体４６ａを追加した例を示す。図１１
は、図９における抵抗板４６の傾斜部４６ｂをパンチン
グにした例を示す。図１２は、図１０における抵抗板４
６に傾斜部４６ｂと水平方向に延びる板体４６ａをパン
チングにした例を示す。

【００４１】図１３は、図９におけるほぼＬ字状に折れ
曲がる抵抗板４６を円弧状にした例を示す。図１４は、
図３に示す垂れ壁４２と同様の効果を奏するように、フ
ァンフィルタユニット３５の高性能フィルタ３７の形状
を水平部３７ａとこれに連設する円弧状部３７ｂとする
と共に、通気抵抗を水平部３７ａが大きく、円弧状部３
７ｂが小さくなるようにした例を示す。

【００４２】この例によれば、ファン３６から送られる
空気は、水平部３７ａでは低速、円弧状部３７ｂでは高
速となって給気される。図１５は、処理室３１における
下流側の垂れ壁４３に代えて円弧状の気流案内板４７を
設けた例を示す。この例によれば、処理室３１内のクリ
ーンエアの流れを垂れ壁４３と同様に変更させることが
できると共に、垂れ壁４３に比してその変更をスムーズ
に行うことができる。

【００４３】図１６は、本発明の第２実施例に係る除電
装置を示す。本実施例と図１に示す実施例との相違は、
ファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８
が処理室３１の下流側の天井３１ａに設けてある点にあ
る。本実施例においても、図１に示す実施例と同様の作
用効果を奏することができる。

【００４４】尚、ファンフィルタユニット３５から吹き
出されたクリーンエアは、処理室１の下側に設けたファ
ンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８によ
って吸引されるため、処理室３１内に水平方向に配置さ
れたローラコンベヤ３４に沿って流れる。図１７は、本
発明の第３実施例に係る除電装置を示す。

【００４５】本実施例と図１に示す実施例との相違は、
処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィル
タユニット（クリーンエア給気手段）３５と処理室３１
の下流側の床板３１ｂに設けたファンフィルタユニット
（クリーンエア排気手段）３８とが、吹出口５１と吸込
口５２に置き換わると共に、吹出口５１と吸込口５２を
ダクト５３を介して循環ファン５０により連結し、循環
ファン５０と高性能フィルタ５１ａでクリーンエアを循
環させるようにしたものである。

【００４６】図１８は、本発明の第４実施例に係る除電
装置を示す。図１７に示す実施例における吸込口５２を
処理室３１の下流側の天井３１ａに設けたものである。
本実施例においても、図１７に示す実施例と同様の作用
効果を奏することができる。

【００４７】図１９乃至図２１は、本発明の除電方法に
用いられる液晶用ガラス基板４４を複数枚収容し、搬送
するキャリアケース６０を示す。このキャリアケース６
０は公知であり、高さが約３００ｍｍで、枠６１に液晶
用ガラス基板４４を１枚ずつ収容する段部６１が１６個
形成されており、上下左右からクリーンエアが流通でき
る隙間があり、一側部側から液晶用ガラス基板４４を段
部６１に沿って移動させながら収容するようになってい
る。

【００４８】このキャリアケース６０の最上位（枠６１
の上面から約５０ｍｍ下の位置）と中間（最上位から約
１００ｍｍ下の位置）と最下位（中間から約１００ｍｍ
した後で、枠６１の下面から約５０ｍｍの位置）に液晶
用ガラス基板４４を１枚ずつ収容した後、処理室３１内
の流速を０．５ｍ／ｓｅｃ、温度２３℃、湿度５５％の
条件で、最上位、中間及び最下位の液晶用ガラス基板４
４の除電特性を帯電プレートモニタにより測定した。試
験した液晶用ガラス基板４４の静電気の帯電量は−１８
００Ｖであった。

【００４９】その結果は、次の通りである。最上位の液
晶用ガラス基板４４は、２５秒後に静電気の帯電量が−
１００Ｖとなった。中間の液晶用ガラス基板４４は、５
２秒後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。

【００５０】最下位の液晶用ガラス基板４４は、６０秒
後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。比較のため
に、垂直ダウンフローのクリーンルーム内で、上記と同
様に最上位、中間及び最下位の液晶用ガラス基板４４の
除電特性を帯電プレートモニタにより測定した。試験し
た液晶用ガラス基板４４の静電気の帯電量は−１８００
Ｖあった。尚、垂直ダウンフローの流速は０．５ｍ／
ｓ、温度２３℃、湿度５５％であった。

【００５１】最上位の液晶用ガラス基板４４は、５０秒
後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。中間の液晶
用ガラス基板４４は、２６０秒後に静電気の帯電量が−
１００Ｖとなった。最下位の液晶用ガラス基板４４は、
１６０秒後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。

【００５２】本実施例では、液晶用ガラス基板４４の上
下面から除電するので、従来例のように液晶用ガラス基
板４４の上面からの除電に比して短時間に除電できたも
のと思われる。

【００５３】尚、上記実施例では、被処理物として液晶
用ガラス基板について説明したが、本発明はこれに限ら
ず、例えば、半導体であっても良い。又、天井全面に高
性能フィルタを用いたクリーンルームに適用した場合に
ついて説明したが、コンベンショナルタイプのクリーン
ルームとしても良い。

【００５４】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、水平方
向に移動するコンベヤの流れに沿ってクリーンエアを送
り、クリーンエアの給気側でコロナ放電により発生され
たイオンをクリーンエアで搬送しながらコンベヤ上の被
処理物に帯電している静電気を除去するので、被処理物
に対し長時間に亘ってイオンを接触させることが可能と
なり、静電気を確実に除去することができる。

【００５５】又、水平方向に移動するコンベヤの流れに
沿ってクリーンエアを送ることができるので、上流側に
１つのイオン発生器を設置するだけで、連続的に被処理
物に帯電する静電気を確実に除去することができるの
で、複数のイオナイザを必要とせず、メンテナンスが容
易である。更に、水平方向に移動するコンベヤの流れに
沿って流れるクリーンエアでイオンを搬送するので、被
処理物に対し上下面にイオンを接触させることが可能と
なり、ガラス基板等を複数枚積み込むカセット式であっ
ても、被処理物の上下面に帯電する静電気を確実に除去
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る除電装置をクリーン
ルーム内に設置した例を示す説明図である。

【図２】図１の除電装置の正面図である。

【図３】図１の除電装置のクリーンエアの供給部におけ
るクリーンエアの流れを示す説明図である。

【図４】図１の除電装置のクリーンエアの供給部におけ
るクリーンエアの流れを示す説明図である。

【図５】図１の除電装置のクリーンエアの排気部におけ
るクリーンエアの流れを示す説明図である。

【図６】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設け
たリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図７】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設け
たリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図８】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設け
たリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図９】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設け
たリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１０】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１１】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１２】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１３】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１４】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設
けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。

【図１５】図１の除電装置における下流側の垂れ壁に代
えて円弧状の気流案内板を設けた例を示す説明図であ
る。

【図１６】本発明の第２実施例に係る除電装置を示す説
明図である。

【図１７】本発明の第３実施例に係る除電装置を示す説
明図である。

【図１８】本発明の第４実施例に係る除電装置を示す説
明図である。

【図１９】本発明の除電方法に用いられる液晶用ガラス
基板を複数枚収容し、搬送するキャリアケースの正面図
である。

【図２０】図１９に示すキャリアケースの側面図であ
る。

【図２１】図１９に示すキャリアケースの背面図であ
る。

【図２２】従来の除電装置の概要を示す説明図である。

【図２３】図２２における従来の除電装置のイオナイザ
とローラコンベヤ上の被処理物との関係を示す説明図で
ある。

【図２４】従来の除電装置の概要を示す説明図である。

【図２５】図２４における従来の除電装置のイオナイザ
とローラコンベヤ上の被処理物との関係を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

２１ クリーンルーム ２２ ファンフィルタユニット ２８、２９ 生産装置 ３０ 除電装置 ３１ 処理室 ３２、３３ 入出口 ３４ ローラコンベヤ ３５ ファンフィルタユニット（クリーンエア給気手
段） ３８ ファンフィルタユニット（クリーンエア排気手
段） ４１ イオン発生器（イオナイザ） ４２、４３ 垂れ壁 ４４ 液晶用ガラス基板。

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平方向に移動するコンベヤの流れに沿
   ってクリーンエアを送り、クリーンエアの給気側でコロ
   ナ放電により発生されたイオンをクリーンエアで搬送し
   ながらコンベヤ上の被処理物に帯電している静電気を除
   去することを特徴とする除電方法。
2. 【請求項２】 入出部を有するダクト状の処理室内にコ
   ンベヤを配置し、処理室の上流側で供給するクリーンエ
   アを処理室の下流側で吸引することによって、コンベヤ
   の流れに沿ってクリーンエアを流し、処理室のクリーン
   エア供給部でコロナ放電によりイオンを発生し、発生さ
   れたイオンをクリーンエアで搬送しながらコンベヤ上の
   被処理物に帯電している静電気を除去することを特徴と
   する除電方法。
3. 【請求項３】 入出部を有するダクト状の処理室内にコ
   ンベヤを配置し、処理室の上流側の上部側から供給する
   クリーンエアを処理室の下流側の下部側で吸引すること
   によって、コンベヤの流れに沿ってクリーンエアを流
   し、処理室のクリーンエア供給部でコロナ放電によりイ
   オンを発生し、発生されたイオンをクリーンエアで搬送
   しながらコンベヤ上の被処理物に帯電している静電気を
   除去することを特徴とする除電方法。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３の何れか１項において、
   クリーンルーム内の清浄空気を導入し、浄化したクリー
   ンエアを用いるものであることを特徴とする除電方法。
5. 【請求項５】 入出部を有するダクト状の処理室と、こ
   の処理室内に配置されるコンベヤと、処理室の上流側に
   設けられたクリーンエア給気手段と、処理室の下流側に
   設けられたクリーンエア排気手段と、クリーンエア給気
   手段に設けられたイオン発生器とを備えたことを特徴と
   する除電装置。
6. 【請求項６】 請求項５において、クリーンエア給気手
   段が処理室の天井部に設けられ、クリーンエア排気手段
   が処理室の床部に設けられていることを特徴とする除電
   装置。
7. 【請求項７】 請求項５において、クリーンエア給気手
   段とクリーンエア排気手段が、処理室の天井部に設けら
   れていることを特徴とする除電装置。
8. 【請求項８】 請求項５乃至請求項７の何れか１項にお
   いて、クリーンエア給気手段及びクリーンエア排気手段
   が、高性能フィルタとファンとで構成されていることを
   特徴とする除電装置。
9. 【請求項９】 請求項５乃至請求項７の何れか１項にお
   いて、クリーンエア給気手段及びクリーンエア排気手段
   が、循環ファンに連絡する吹出口と吸込口とで構成され
   ていることを特徴とする除電装置。
10. 【請求項１０】 請求項５において、処理室の入出部に
    は、天井側にクリーンエア流れ制御機構が設けられてい
    ることを特徴とする除電装置。
11. 【請求項１１】 請求項５において、イオン発生器は、
    クリーンエア給気手段の吹出部に設けられていることを
    特徴とする除電装置。
12. 【請求項１２】 請求項９において、イオン発生器は、
    吹出口に設けられていることを特徴とする除電装置。