JPH0974070A - ウェーハ熱処理用治具の製造装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来手作業で行なわれていた仮付け作業を機
械化することにより、カーボン治具（当てがい具）を
不要としその面倒な微調整作業を解消し、溝棒の径に
バラツキがあっても溝棒をチャック手段を用いて常に芯
出し状態でチャックすることができるので溝棒のセット
位置を簡単に決めることができ、複数本の溝棒の第一
溝（基準溝）までの高さの設定を容易に行なうことがで
き、結果として設計寸法通りの寸法精度を容易に達成
することができ、仮溶接のやり直し工程をほとんど不要
とすることができるようにしたウェーハ熱処理用治具の
製造装置及び方法を提供する。 【解決手段】 天板、底板および該天板及び底板間に配
置される複数本の溝棒からなるウェーハ支持具の製造装
置であり、天板を下向きに保持する上保持治具と、底板
を上向きに保持する下保持治具と、該天板と底板との間
に複数本の溝棒を所定位置に把持するチャック手段とを
有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェーハ
等の半導体ウェーハを支持する石英ガラス製のウェーハ
熱処理用治具の新規な製造装置及び方法に関する。

【０００２】

【関連技術】シリコンウェーハ（シリコン基板ともいわ
れる）の各種熱処理工程（例えば熱拡散、熱酸化工程
等）には、現在多くの場合、通常「タテ型ボート」と称
する高純度石英ガラス製のウェーハ熱処理用治具が用い
られている。

【０００３】図１２に示すごとく、このウェーハ熱処理
用治具２は、天板４と底板５の間に複数本（図示の例で
は４本）の溝棒６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄが設計された間
隔で組み込まれており、それらの溝棒６ａ〜６ｄには数
十枚にも及ぶウェーハＷを載置係止するための多数の溝
８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄが形成されている。

【０００４】ウェーハＷは４本の溝棒６ａ〜６ｄの同一
高さの溝８ａ〜８ｄによってほぼ水平に係止される構成
であるため、溝棒６ａ〜６ｄの各々に設けられる数十も
の溝８ａ〜８ｄは４本の溝棒６ａ〜６ｄに共通して寸法
精度の高いものでなければならない。さらに、これに加
えて、それら４本の溝棒６ａ〜６ｄが石英ガラス製の天
板４及び底板５に極めて正確な向きでかつ高精度で溶接
固定される必要がある。

【０００５】従来このようなウェーハ熱処理用治具の製
作は、図１３に示すごとく、定盤１０等の台座上で各種
のカーボン治具（当てがい具）１２等を用いて天板４と
底板５を所定の間隔で左右に平行に位置させ、４本の溝
棒６ａ〜６ｄを設計された向き間隔で該天板４及び底板
５に順に溶接（当初は仮溶接）し、仮付け組立品を作成
する（ここまでの作業を仮付け作業という）。この仮付
け組立品の寸法精度を計測器で計測し、修正を要する場
合は仮溶接をやり直し、最終的に寸法精度が確認された
上で、本格的に溶接固定する方法がとられている。

【０００６】上記した従来方法は、カーボン治具１２
の内面間の間隔ｊを所定間隔にするのが困難で、薄いシ
ートなどをカーボン治具１２面に配置して行なう等のカ
ーボン治具１２間の間隔の面倒な微調整作業が不可欠、
溝棒６ａ〜６ｄの相互間隔ｋは各溝棒の径の中心ｍを
基準として設定する（図１３）が、溝棒６ａ〜６ｄの径
のバラツキに起因してその径の中心を見い出すのが困難
で溝棒のセット位置を決めるのが非常に難かしい、底
板から４本の溝棒６ａ〜６ｄの第一溝（溝棒の最下に位
置する溝をいう）までの設定が困難、などの作業上の問
題点を有している。

【０００７】このため、設計寸法通りの寸法精度を第１
回の仮溶接で達成することは不可能で、少なくとも３〜
４回の仮溶接のやり直しの工程が入るという大きな不利
があり、設計通りの寸法精度を達成するには、時間が非
常にかかり、大変な労力を必要とするものであった。

【０００８】上記した各作業は作業者の手作業のみで行
なわれ、また製造される石英製のウェーハ熱処理用治具
は非常に高価であるため、その作業には所謂職人芸を必
要とし、長年の経験を蓄積した熟練作業者のみが行なえ
る領域であった。そのため、上記作業の機械化は非常に
困難とされており、機械化の提案はいまだなされていな
いのが現状である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来技術の問題点に鑑みなされたもので、従来手作業で行
なわれていた仮付け作業を機械化することにより、カ
ーボン治具（当てがい具）を不要としその面倒な微調整
作業を解消し、溝棒の径にバラツキがあっても溝棒を
チャック手段を用いて常に芯出し状態でチャックするこ
とができるので溝棒のセット位置を簡単に決めることが
でき、複数本の溝棒の第一溝（基準溝）までの高さの
設定を容易に行なうことができ、結果として設計寸法
通りの寸法精度を容易に達成することができ、仮溶接の
やり直し工程をほとんど不要とすることができるように
したウェーハ熱処理用治具の製造装置及び方法を提供す
ることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のウェーハ熱処理用治具の製造装置の第１の
態様は、天板、底板および該天板及び底板間に配置され
る複数本の溝棒からなるウェーハ熱処理用治具の製造装
置であり、天板を下向きに保持する上保持治具と、底板
を上向きに保持する下保持治具と、該天板と底板との間
に複数本の溝棒を所定位置に把持するチャック手段とを
有することを特徴とする。

【００１１】本発明のウェーハ熱処理用治具の製造装置
の第２の態様は、垂直方向に立設された基体と、該基体
の前面上部に上下動可能に設けられた上保持治具と、該
基体の前面下部に上下動可能に設けられた下保持治具
と、該上保持治具と下保持治具の設置位置間の上部に位
置し上下動及び側方移動可能な複数の上部チャック手段
と、該上部チャック手段に対応して該上保持治具と下保
持治具の設置位置間の下部に位置し側方移動可能な複数
の下部チャック手段とを有する天板、底板及び複数本の
溝棒からなるウェーハ熱処理用治具の製造装置であり、
上記上保持治具に天板を保持し、下保持治具に底板を保
持し、上部及び下部のチャック手段により溝棒を所定位
置に把持せしめ、天板と溝棒の上端部及び底板と溝棒の
下端部を仮溶接することができるようにしたことを特徴
とする。

【００１２】上記基体の前面上部に上下動可能に上取付
台を設け、該上取付台に上保持治具を着脱可能に取付
け、かつ上記基体の前面下部に上下動可能に下取付台を
設け、該下取付台に下保持治具を着脱可能に取付ける構
成とすれば、製造対象となるウェーハ熱処理用治具の品
種に応じて上下の保持治具を交換することができるので
好適である。

【００１３】また、上下の保持治具としてユニバーサル
チャックやスクロールチャック等の機械的チャック手段
を用いれば、保持機構を共通とすることができるので、
上下の保持治具をウェーハ熱処理用治具の品番に応じて
変更する必要がなく、一つの保持治具で多くの品番に対
応できる利点がある。

【００１４】上記下取付台の下方に固定定盤を設け、該
固定定盤の上面を基準面として各溝棒の第一溝（基準
溝）の位置を測定する構成とすれば、測定作業が正確か
つ簡便に行なえる利点がある。

【００１５】上記上部チャック手段を上下動可能な上部
チャックシャフトに側方移動可能に取りつけ、上記下部
チャック手段を下部チャックシャフトに側方移動可能に
取りつける構成とすれば、各チャックの作動が正確かつ
迅速に行なえる。

【００１６】上記上保持治具及び下保持治具がそれぞれ
天板及び底板を保持する手段として真空吸着手段を用い
れば、保持吸着及び脱着が確実に行われ好適である。

【００１７】上記上保持治具の下方に上下動自在及び前
進後退自在に仮置台を設け、該仮置台を用いて天板を該
上保持治具に保持せしめる構成とすれば、上保持治具に
よる天板の保持が容易で落下のおそれがない。

【００１８】上記チャック手段が、開状態、半閉（ハー
フチャック）状態及び閉（本チャック）状態の３つの態
様で作動するように構成すれば、半閉（ハーフチャッ
ク）状態において溝棒の上下方向の位置調整及び溝方向
合わせを行う際に、後述するごとく、極めて好都合であ
る。

【００１９】上記チャック手段が、グラファイト製の一
対の爪部を有し、該一対の爪部をバネによって互いに近
接する方向に常時付勢せしめるとともに駆動機構によっ
て該一対の爪部の開閉動作を行なわせるように構成さ
れ、該駆動機構をオンとすることによって該一対の爪部
を開状態又は閉（本チャック）状態に作動せしめ、該駆
動機構をオフとし該バネの力のみを用いることによって
該一対の爪部を半閉（ハーフチャック）状態の作動を行
なわせるようにすれば、開状態、半閉（ハーフチャッ
ク）状態及び閉（本チャック）状態の３つの態様を容易
に形成し切り換えることができる。

【００２０】上記駆動機構としては、空気圧機構が好適
であるが、油圧機構や電動機構を採用することもでき
る。

【００２１】本発明のウェーハ熱処理用治具の製造方法
の第一の態様は、上記装置を用いて、（ａ）上保持治具
が所定の仮付け位置に移動する工程、（ｂ）上保持治具
に天板を保持せしめる工程、（ｃ）複数のチャック手段
を用いて複数本の溝棒を所定位置に把持する工程、
（ｄ）下保持治具に底板を保持せしめ、該下保持治具を
基準位置まで上昇させる工程、（ｅ）天板、底板及び複
数本の溝棒の所定位置への配置完了後、天板と複数本の
溝棒の上端部及び底板と複数本の溝棒の下端部をそれぞ
れ互いに溶接する工程を有することを特徴とする。

【００２２】本発明のウェーハ熱処理用治具の製造方法
の第２の態様は、上記装置を用いて、（１）上記装置の
各部材を原点復帰させる工程、（２）上保持治具が所定
の仮付け位置に移動する工程、（３）該上保持治具に天
板を保持せしめる工程、（４）上部及び下部のチャック
手段が所定の把持位置に移動する工程、（５）複数本の
溝棒を、その上端が該天板下面と所定の間隔を有し、そ
の下端が該下保持治具の上面に接する状態で上部及び下
部のチャック手段に半閉（ハーフチャック）状態で把持
せしめる工程、（６）各溝棒の溝の方向合わせを行なう
工程、（７）上記溝の方向合わせの完了後、全てのチャ
ック手段を閉（本チャック）状態とする工程、（８）下
保持治具を最下位ポジションに下降し、該下保持治具に
底板を保持せしめる工程、（９）該下保持治具を上昇せ
しめ、該底板の上面と上記溝棒の下端との間隔が所定間
隔となる位置に停止せしめる工程、（１０）全ての溝棒
の第１溝の位置を固定定盤の上面を基準面としてダイヤ
ル付ハイトゲージで測定し、必要に応じて、溝棒を上下
動して微調整し位置合わせを行なう工程、（１１）天
板、底板及び複数の溝棒を所定位置に配置完了後、天板
と各溝棒の上端部及び底板と各溝棒の下端部をそれぞれ
仮溶接し、仮付け状態のウェーハ熱処理用治具を組み立
てる工程、（１２）溝棒を把持する上部及び下部のチャ
ック手段の全ての把持状態を解消し、かつ上保持治具及
び下保持治具による天板及び底板の保持状態を解消し、
仮付けしたウェーハ熱処理用治具を取り外す工程を有す
ることを特徴とする。

【００２３】上記天板を上保持治具に保持させる際に上
下動自在及び前進後退自在な仮置台を用い、前進及び上
昇させた仮置台上に天板を載置した状態で該上保持治具
に、例えば、真空チャックで保持せしめるようにすれ
ば、天板が容易に保持され落下のおそれがなくなる。ま
た、天板、底板及び複数の溝棒を所定位置に配置完了
後、該仮置台を降下後退せしめておけば、仮溶接作業の
邪魔になることはない。

【００２４】従来の溝棒の溝方向合わせ作業において
は、カーボン製のダミーウェーハが用いられていたが、
作業に手間がかかる上、正確な溝方向合わせが困難とい
う不都合があった。本発明者は新規な溝方向合わせ治具
を開発し、本発明方法の溝方向合わせ工程に適用するこ
とによって、その溝方向合わせ作業を確実かつ迅速に行
なえるようにした。

【００２５】本発明方法に好適に用いられる新規な溝方
向合わせ治具は、本発明のウェーハ熱処理用治具の製造
方法における溝棒の溝方向合わせ工程に用いられるカー
ボン製治具であって、多辺形状の主板と長尺状のスライ
ド板とからなり、該主板は、中央部に設けられた肉厚平
坦部と、該肉厚平坦部の周囲に形成され、所定角度の複
数の肉薄辺部を有する肉薄周縁部と、該肉厚平坦部に穿
設された１以上のガイド溝とを有し、該スライド板は、
長手方向両端を所定角度とした長尺薄板状のスライド板
本体と、下面長手方向に設けられた突条と、上面に設け
られた摘みとを有し、該突条を該ガイド溝に摺動自在に
嵌合することにより、該スライド板が該主板の肉厚平坦
部の上面を摺動可能とされる構成であり、上記肉薄辺部
又はスライド板本体の長手方向の端部を溝棒の溝に挿入
し、該肉薄辺部の角度又はスライド板本体の長手方向端
部の角度に合わせて半閉（ハーフチャック）状態のチャ
ック手段で把持されている溝棒を回転させることによっ
て、溝方向合わせを行なうようにしたものである。

【００２６】上記多辺形形状の主板が６辺形形状の主板
であり、６つの肉薄辺部を有するようにすれば、４本の
溝棒を用いたウェーハ熱処理用治具における各溝棒の溝
方向合わせ作業の際に好適に用いられる。

【００２７】本発明方法における溝棒の上下方向位置の
調整は、チャック手段を半閉（ハーフチャック）として
作業者が手で溝棒を動かして行う方法や、各チャック手
段を単独で移動可能とする機構を設けて行う方法などが
あるが、前者は時間を要する上に正確性に欠けるという
問題があり、後者は正確性は向上するにしてもコストが
アップするという難点がある。

【００２８】そこで、本発明者は溝棒の上下方向位置調
整を確実かつ簡便に行う新規な方法を創案した。本発明
の新規な溝棒上下方向位置調整方法は、本発明のウェー
ハ熱処理用治具の製造方法における溝棒の上下方向の位
置合わせを行なうに際し用いられるものであって、本発
明のウェーハ熱処理用治具の製造装置を用い、上下動可
能な上部チャック及び上下方向不動の下部チャックにそ
れぞれ溝棒を把持せしめ、位置調整対象の溝棒を把持す
る上部チャックを閉（本チャック）状態及び下部チャッ
クを半閉（ハーフチャック）状態とし、残りの溝棒を把
持する上部チャックを半閉（ハーフチャック）状態及び
下部チャックを閉（本チャック）状態として、上部チャ
ックシャフトを所定量だけ上下動することによって位置
調整対象溝棒を所定量だけ上下動することを可能とした
構成を有している。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の１つの実施の形態
を添付図面中、図１〜図１１に基づいて説明する。な
お、図１〜図１１において、図１２〜図１３における部
材と同一又は類似部材は同一符号を用いて示す。

【００３０】図１において、符号２０は本発明に係るウ
ェーハ熱処理用治具の製造装置で、基台２２を有してい
る。該基台２２の中央部には基体２４が垂直方向に立設
され、該基体２２の背面側には制御盤２６が設置されて
いる。該制御盤２６にはＣＰＵ及び記憶部等からなる演
算処理装置が内蔵されかつ所定のスイッチ群からなる入
力部及び各機器又は部材の動作状態などを表示する表示
部などが操作面に配置されている。

【００３１】該制御盤２６にはウェーハ熱処理用治具２
の所定の品番情報（天板と底板との距離、溝棒相互の間
隔等）及び所定の作業情報が予めインプットされてい
る。作業者が所定のスイッチを順次押すことにより、後
述する各機器又は部材が所定の動作をし、本発明による
ウェーハ熱処理用治具２の仮付け作業が行われる。

【００３２】該基台２２の前部の上面にはボックス部材
２７を介して固定定盤２８が配設されている。該固定定
盤２８の上面は、後述するごとく、公知のダイヤルゲー
ジ付ハイトゲージを用いて溝棒６ａ〜６ｄの第１溝の位
置を測定する場合の基準面として用いられる。

【００３３】３０は該基体２４の前面上端部に設けられ
た取付板で、該取付板３０の中央部から第一ネジ棒３２
が回転可能に垂下されている。該取付板３０の上面中央
部にはサーボモータ３４が取付けられており、該サーボ
モータ３４は該第一ネジ棒３２を回転駆動せしめる。

【００３４】３６は上取付台で、該上取付台３６の背面
両側部にはガイドブロック３８，３８が取り付けられて
いる。該ガイドブロック３８，３８は、上記基体２４の
両側部の垂直方向に形成されたガイドレール４０，４０
に摺動自在に取り付けられている。一方、該上取付台３
６の背面中央部には、該第一ネジ棒３２と螺合するネジ
孔を開穿した螺動部材４２が固着されている（図５）。

【００３５】該螺動部材４２には、該第一ネジ棒３２が
螺動可能に螺合せしめられている。従って、該サーボモ
ータ３４によって該第一ネジ棒３２を回転せしめると、
その回転に応じて該螺動部材４２が該第一ネジ棒３２に
沿って上下動しそれとともに該上取付台３６が該ガイド
レール４０に沿って上下動するように構成されている。

【００３６】該上取付台３６の下面には上保持治具４４
がネジ等により着脱可能に固着される。該上保持治具４
４の下面には真空吸引装置（図示せず）に接続具（図示
せず）を介して接続する吸着溝（図示せず）が形成さ
れ、下面に当接する天板４を真空チャックにより保持す
ることができる。

【００３７】５０は下取付台で、上下動可能な昇降装置
５２の上部に取り付けられている。該昇降装置５２は前
記ボックス部材２７及び基台２２の内部に内蔵され、そ
の上部が該ボックス部材２７及び固定定盤２８に開穿さ
れた貫通穴５４から上下動可能に突出している。なお、
５６は該昇降装置５２を作動せしめるサーボモータであ
る。

【００３８】該下取付台５０の上面には下保持治具５８
がネジ等により着脱可能に固着される。該下保持治具５
８の上面には真空吸引装置（図示せず）に接続具（図示
せず）を介して接続する吸着溝（図示せず）が形成さ
れ、上面に載置される底板５を真空チャックにより保持
することができる。

【００３９】そして、前記取付板３０の一端部から第二
ネジ棒６４が回転可能に垂下されている。該取付板３０
の上面一端部にはサーボモータ６６が取付けられてお
り、該サーボモータ６６は該第二ネジ棒６４を回転駆動
せしめる。

【００４０】６８は上部チャックシャフトで、該上部チ
ャックシャフト６８には複数個（図示の例では４個）の
上部チャック手段７０ａ〜７０ｄが取付けられている。
該上部チャック手段７０ａ〜７０ｄは、互いに衝突する
ことなく近接する４本の溝棒６ａ〜６ｄを把持できるよ
うに上下二段に配設されている。

【００４１】図４に示すように、長尺部材を介して取り
つけられた上部チャック手段７０ａ，７０ｄは、上部チ
ャックシャフト６８の下段に、短尺部材を介して取りつ
けられた上部チャック手段７０ｂ，７０ｃはその上段に
配置されている。該上部チャック手段７０ａ〜７０ｄ
は、サーボモータ７２ａ〜７２ｄによって該上部チャッ
クシャフト６８に沿って側方に移動可能とされ、かつ一
軸サーボユニット７４ａ〜７４ｄによって前方へ延出可
能とされている。

【００４２】該上部チャックシャフト６８の背面には、
該第二ネジ棒６４と螺合するネジ孔を開穿した螺動部材
７６が固着されている（図３）。該螺動部材７６には、
該第二ネジ棒６４が螺動可能に螺合せしめられている。
従って、該サーボモータ６６によって該第二ネジ棒６４
を回転せしめると、その回転に応じて該螺動部材７６が
該第二ネジ棒６４上を上下動しそれとともに該上部チャ
ックシャフト６８も上下動するように構成されている。

【００４３】７８は下部チャックシャフトで、該下部チ
ャックシャフト７８には複数個（図示の例では４個）の
下部チャック手段８０ａ〜８０ｄが取付けられている。
該下部チャック手段８０ａ〜８０ｄは、互いに近接する
４本の溝棒６ａ〜６ｄを衝突することなく把持できるよ
うに上下二段に配設されている。

【００４４】上記した上部チャック手段７０ａ〜７０ｄ
の場合と同様に、長尺部材を介して取りつけられた下部
チャック手段８０ａ，８０ｄは下段に、短尺部材を介し
て取りつけられた下部チャック手段８０ｂ，８０ｃは上
段に配置されている。該下部チャック手段８０ａ〜８０
ｄは、サーボモータ８２ａ〜８２ｄによって側方に移動
可能とされ、かつ一軸サーボユニット８４ａ〜８４ｄに
よって前方へ延出可能とされている。該下部チャックシ
ャフト７８は上下方向には移動せず、従って、該下部チ
ャック手段８０ａ〜８０ｄも上下方向には不動とされて
いる。

【００４５】上記した各チャック手段７０ａ〜７０ｄ及
び８０ａ〜８０ｄは、図４及び図６に示すように、一対
のグラファイト製の爪部８６，８６がバネ８８によって
常時互いに近接するように付勢されている。各チャック
手段７０ａ〜７０ｄ及び８０ａ〜８０ｄは、開状態、半
閉（ハーフチャック）状態、閉（本チャック）状態の３
つの作動態様を有する。該チャック手段の爪部８６，８
６を開状態とする場合及び閉（本チャック）状態とする
場合には、駆動機構をオンとし、例えば空気圧機構（図
示せず）によってエアを供給して作動せしめる。また半
閉（ハーフチャック）状態の場合には、駆動機構をオフ
とし、例えば空気圧機構のエアを供給せず、バネ８８の
力のみで軽く溝棒６ａ〜６ｄを把持しており、小さな力
（例えば作業者の力）によって把持状態のまま上下に滑
動可能及び回転滑動可能となっている。従って、半閉
（ハーフチャック）状態では、各溝棒６ａ〜６ｄを把持
したままでその向き及び上下方向の微調整を、例えば作
業者等の小さな力で行うことができる。上記駆動機構と
しては、空気圧機構の他に、油圧機構、電動機構などが
利用できる。

【００４６】上記チャック手段７０ａ〜７０ｄ及び８０
ａ〜８０ｄの作動機構について、図６に示したチャック
手段７０ａによってさらに具体的に説明する。図６にお
いて、８５はガイド板で、該ガイド板８５にはスライダ
ー８５ａ，８５ｂが摺動自在に取りつけられている。該
スライダー８５ａ，８５ｂはバネ８８によって互いに近
接するように付勢されている。該スライダー８５ａ，８
５ｂには、それぞれ爪ホルダー８７ａ，８７ｂが接続さ
れており、該爪ホルダー８７ａ，８７ｂには爪部８６，
８６が相対向して設けられている。

【００４７】上記スライダー８５ａ，８５ｂは、カムフ
ォロー９３ａ，９３ｂを介してチャックアーム８９ａ，
８９ｂに枢動可能に連結されている。一軸サーボユニッ
ト７４ａに接続するベース体９１には電磁弁（開）及び
電磁弁（閉）が内蔵されている。

【００４８】電磁弁（開）をオンとすると、空気圧機構
（図示せず）によってエアが供給され、該チャックアー
ム８９ａ，８９ｂが開となり、これとともにスライダー
８５ａ，８５ｂ、爪ホルダー８７ａ，８７ｂ及び爪部８
６，８６が開状態となる。

【００４９】また、電磁弁（閉）をオンとすると、空気
圧機構（図示せず）によってエアが供給され、該チャッ
クアーム８９ａ，８９ｂが閉となり、これとともにスラ
イダー８５ａ，８５ｂ、爪ホルダー８７ａ，８７ｂ及び
爪部８６，８６が閉状態となる。このとき、爪部８６，
８６の把持凹部９０，９０によって芯出し状態で溝棒６
ａが強固に把持される。この閉状態でのチャック手段７
０ａのチャック力は、エアチャック圧＋バネ力であり、
作業者が溝棒６ａを手で回そうとしても回すことはでき
ない。

【００５０】電磁弁（開）及び（閉）をともにオフとす
ると、空気圧機構からのエアの供給は遮断され、チャッ
クアーム８９ａ，８９ｂ、スライダー８５ａ，８５ｂ、
爪ホルダー８７ａ，８７ｂ及び爪部８６，８６はバネ８
８の力のみの影響を受ける。このとき、爪部８６，８６
の把持凹部９０，９０によって芯出し状態で溝棒６ａは
バネ８８の力によってのみ軽く把持される（ハーフチャ
ック又は半閉）。この半閉（ハーフチャック）状態での
チャック手段７０ａのチャック力は、バネ力のみであ
り、作業者が溝棒６ａを手で回そうとすれば簡単に回す
ことができる。

【００５１】該爪部８６，８６の形状は、図７に示すよ
うに、その把持面には把持凹部９０が形成されている。
相対向する把持凹部９０，９０によって形成される把持
空間９２に溝棒６ａ〜６ｄ（図７の例では６ａのみを示
した）が位置して把持される。この爪部８６，８６の把
持状態では、溝棒６ａ〜６ｄの径にバラツキがあったと
しても、溝棒６ａ〜６ｄの径の中心ｍを見出すのが簡単
で、溝棒６ａ〜６ｄ相互の間隔ｋを設定するのが容易と
なり、従来方法では非常に困難な作業とされていた溝棒
６ａ〜６ｄのセット位置を決める作業が極めて簡易とな
る利点がある。

【００５２】図４及び図５において、９４は仮置台で、
前記基体２４の前面でかつ前記上取付台３６の下方に上
下動自在かつ前進後退自在に設けられている。該上取付
台３６の直下方に位置するように仮置台９４が前進し、
その位置で該仮置台９４の上面に天板４を載置する。天
板４を載置した仮置台９４を上昇させて上保持治具４４
の下面に該天板４を当接せしめ、該上保持治具４４の真
空吸着手段によって該天板４は真空チャックされる。天
板４、底板５及び複数の溝棒６ａ〜６ｄが所定位置に配
置されると、該仮置台９４は下降後退せしめられる。こ
のように仮置台９４を下降後退せしめておけば仮溶接作
業の邪魔になることはない。仮置台９４の移動機構は従
来公知の機構を用いればよくその説明は省略した。

【００５３】図４において、９５は底板５の側面の位置
合わせを行なうための位置合せ手段である。なお、天板
４に対する位置合せ手段も設けられるが図示は省略し
た。

【００５４】図８及び図９において、９６はカーボン製
の溝方向合わせ治具で、溝棒６ａ〜６ｄの溝８ａ〜８ｄ
の方向合わせを行う。該方向合わせ治具９６は、主板９
８とスライド板１００とから構成されている。該主板９
８は中央部に設けられた肉厚平坦部１０２及び該肉厚平
坦部１０２の周囲に形成された肉薄周縁部１０４を有し
ている。該肉薄周縁部１０４は所定角度を有する複数
（図示例では６つ）の肉薄辺部１０４ａ〜１０４ｆを有
する多辺形（図示例では６辺形）の形状を有している。
１０５はガイド溝で、肉薄辺部１０４ｂと１０４ｆとを
連通し、該肉薄辺部１０４ａに平行に穿設されている。
ガイド溝１０５は、図示の例では、１本設けた例を示し
たが、複数本形成することもできる。

【００５５】該スライド板１００は長手方向両端を所定
角度としかつ主板９８の幅よりもその長さを小とした長
尺状スライド板本体１０６と、該スライド板本体１０６
の下面の長手方向に設けられた突条１０８と、上面に設
けられた摘み１１０とを有している。該突条１０８を該
ガイド溝１０５に摺動自在に嵌合することにより、該ス
ライド板１００が該ガイド溝１０５を介して該肉厚平坦
部１０２の上面を摺動する。該スライド板１００の端部
は、該主板９８の肉薄辺部１０４ｂ及び１０４ｆの端縁
部からさらに外方まで摺動可能とされている。

【００５６】溝棒６ａ〜６ｄの溝方向合わせを行う場合
には、上記溝方向合わせ治具９６は該溝棒６ａ〜６ｄの
溝８ａ〜８ｄ内に主板９８の肉薄周縁部１０４が挿通自
在に位置して載置される必要がある。

【００５７】そのため、該主板９８の肉薄周縁部１０４
ｂの端縁部と１０４ｆの端縁部との距離は、該溝棒６
ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄの溝底同士の間隔よりも小さい
とともに該溝棒６ａ、６ｄの対向面同士の間隔よりも大
とすることが必要である。

【００５８】上記溝方向合わせ治具９６によって、内側
の２本の溝棒６ｂ，６ｃの溝方向合わせは次のように行
う。該主板９８の肉薄辺部１０４ａ〜１０４ｆの内、先
端部分の肉薄辺部１０４ｃ及び１０４ｅを、それぞれ内
側の２本の溝棒６ｂ，６ｃの溝８ｂ，８ｃの溝底に当接
するように挿入し、また、これと同時に側端部分の肉薄
辺部１０４ｂ及び１０４ｆをそれぞれ外側の２本の溝棒
６ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄに挿入する。この状態におい
て、該肉薄辺部１０４ｃ，１０４ｅの設定角度と該溝８
ｂ，８ｃの溝底の角度が一致するように該溝棒６ｂ，６
ｃを回転させることによってその溝方向合わせが行われ
る。

【００５９】一方、該肉薄辺部１０４ｂ及び１０４ｆは
該溝８ａ、８ｄ内に位置しているが、該肉薄辺部１０４
ｂ及び１０４ｆの先端は溝８ａ、８ｄの溝底に当接して
いない。そのため、この状態では外側の２本の溝棒６
ａ、６ｄの溝方向合わせはできない。

【００６０】そこで、スライド板１００を該肉薄辺部１
０４ａに平行に摺動自在かつ該肉薄辺部１０４ｂ，１０
４ｆの端縁部から外方に延出可能に設け、該スライド板
１００の一端部を該溝棒６ａの溝８ａの溝底に当接する
ように挿入し、該スライド板１００の一端部の直線部と
該溝８ａの溝底が一致するように該溝棒６ａを回転させ
ることによってその溝方向合わせが行われる。溝棒６ｄ
に対しては、スライド板１００を摺動してその他端部を
溝８ｄに挿入し、同様の操作で溝方向合わせを行うこと
ができる。

【００６１】この場合、溝棒６ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄ
の溝方向合わせに用いられる溝８ａ、８ｄの位置は、上
記した溝棒６ｂ、６ｃの溝８ｂ、８ｃの溝方向合わせの
ために肉薄辺部１０４ｃ、１０４ｅが挿入された溝位置
よりも上方となるが、肉薄辺部１０４ａ〜１０４ｆとス
ライド板本体１０６との設定距離に応じて、１列又は２
〜３列上方に位置する溝が利用される。

【００６２】上記の説明から明らかなように、所定の形
状の溝方向合わせ治具９６は、所定の位置にセットされ
た溝棒６ａ〜６ｄに対してのみ使用できるが、他の位置
にセットされた溝棒の溝方向合わせには利用できない。
従って、所定の品番のウェーハ熱処理用治具、即ち所定
の溝棒のセット位置毎に、溝方向合わせ治具９６を作成
しておくことが必要である。上記したごとく、ガイド溝
１０５を複数個穿設しておけば、１個の溝方向合わせ治
具９６で、溝棒セット位置の異なる複数の品番に対処で
きる場合がある。

【００６３】上記溝方向合わせ治具９６の材質として
は、カーボンの他に、炭化珪素、シリコン、その他のセ
ラミック類を挙げることができる。なお、従来と同様に
カーボン製等のダミーウェーハを用いて溝棒の溝方向合
わせを行ってもよいことは勿論である。

【００６４】前述した説明において、溝棒６ａ〜６ｄの
上下方向の微調整は、チャック手段７０ａ〜７０ｄ及び
８０ａ〜８０ｄを半閉（ハーフチャック）状態としてお
いて、作業者が手で溝棒６ａ〜６ｄを移動する例を述べ
たが、簡単な機械的操作で溝棒を確実に上下動させるこ
とができるので、以下にその機構を概略機構図面ととも
に説明する。

【００６５】図１０及び図１１に示すごとく、上下動自
在な上部チャックシャフト６８には、４個の上部チャッ
ク手段７０ａ〜７０ｄが取付けられている。また、上下
方向不動の下部チャックシャフト７８には、４個の下部
チャック手段８０ａ〜８０ｄが取付けられている。各チ
ャック手段７０ａ〜７０ｄ及び８０ａ〜８０ｄは、前述
したごとく、開状態、半閉（ハーフチャック）状態及び
閉（本チャック）状態の３つの動作態様を有している。

【００６６】そこで、溝棒６ｃを上方に０．１ｍｍ移動
する場合、各チャック手段の動作状態を、図１３に示す
ごとく、上部チャック手段７０ａ，７０ｂ，７０ｄ及び
下部チャック手段８０ｃをハーフチャックとし、上部チ
ャック手段７０ｃ及び下部チャック手段８０ａ，８０
ｂ，８０ｄを閉（本チャック）とする。

【００６７】この状態で、上部チャックシャフト６８を
０．１ｍｍ上昇させる。すると、図１１に示すごとく、
溝棒６ｃは上部チャック手段７０ｃが本チャックのた
め、０．１ｍｍ上昇する。この時、下部チャック手段８
０ｃはハーフチャックのため、該溝棒６ｃは滑る。他の
溝棒６ａ，６ｂ，６ｄは下部チャック手段８０ａ，８０
ｂ，８０ｄが本チャックのため移動することはなく、固
定されている。上部チャックシャフト６８が０．１ｍｍ
上昇しても、該溝棒６ａ，６ｂ，６ｄの上部チャック手
段７０ａ，７０ｂ，７０ｄはハーフチャックのため、滑
るだけで溝棒６ｃは動くことはない。また、上記のチャ
ック状態のまま上部チャックシャフト６８を０．１ｍｍ
下降させれば、同様に溝棒６ｃのみを０．１ｍｍ下降さ
せることができる。

【００６８】このように、溝棒の上下方向位置の調整を
行えば、溝棒をそれぞれ単独に上昇下降せしめることが
でき、作業者が手で上下動させるよりも正確かつ簡便に
行うことができる。また、１個１個のチャック手段が単
独に移動する機構とすれば、溝棒の上下動も勿論簡単に
行うことができるが、この場合チャック手段をそれぞれ
移動させる駆動機構及び制御機構が必要で、その分コス
トがアップする不利がある。

【００６９】これに対して、上記のような溝棒の上下動
機構を適用すれば、低廉なコストで溝棒の上下方向位置
調整を行うことができる利点がある。

【００７０】上記した装置２０を用いてウェーハ熱処理
用治具２を製造（仮付け）する方法について以下に説明
する。

【００７１】まず、仮付け工程の対象となるウェーハ熱
処理用治具２の所定品種用の天板４、底板５及び溝棒６
ａ〜６ｄ（通常は４本）を準備する。

【００７２】次に、所定品種用の上保持治具４２を上取
付台３６にネジ止め固定し、下取付台５０に所定品種用
の下保持治具５８をネジ止め固定する。

【００７３】そこで、上記装置２０の各部材を原点復帰
させる。即ち、上保持治具４２を最上位ポジションに位
置せしめ、上部チャック手段７０ａ〜７０ｄを最上位及
び外側ポジション（非把持位置）に位置せしめ、かつそ
の爪部８６，８６は開の状態とする。一方、下保持治具
５８を最上位ポジションに位置せしめ、下部チャック手
段８０ａ〜８０ｄ（上下方向は不動）を外側ポジション
（非把持位置）に位置せしめ、かつその爪部８６，８６
は開の状態とする。

【００７４】原点復帰状態の装置２０において、仮付け
対象となるウェーハ熱処理用治具の品種選択を行なう。
具体的には制御盤における品番選択スイッチの所定の番
号を押す。この品種選択により、制御盤に内蔵される演
算処理装置に予めインプットされた複数の品番情報（天
板と底板との距離、溝棒相互の間隔等）のうちから所定
の品番情報が選択される。

【００７５】上記選択された品番情報に基づいて、内蔵
された演算処理装置からの指令により、上保持治具４２
を所定の仮付け位置に移動せしめる。ついで、上記選択
された品番情報に基づいて、上部チャック手段７０ａ〜
７０ｄ及び下部チャック手段８０ａ〜８０ｄを所定の把
持位置に移動せしめる。

【００７６】この仮付け位置において、上保持治具４２
に天板４をセットする。具体的には、仮置台９４に天板
４を載置し、仮置台９４を上昇させ、必要に応じて、位
置合せ手段（図示せず）によって天板４の位置合わせを
行ない、ついで上保持治具４２に真空吸着手段によって
吸着保持せしめる。この時点では、仮置台９４はそのま
まの位置に配置した状態としておく。

【００７７】この把持位置において、複数本（通常は４
本）の溝棒６ａ〜６ｄを、その下端が該下保持治具５８
の上面に接する状態で、上部チャック手段７０ａ〜７０
ｄ及び下部チャック手段８０ａ〜８０ｄにセットする。
具体的には、作業者がマニュアルで上下４対のチャック
手段にハーフチャック（半閉）状態で把持せしめる。こ
のときの溝棒６ａ〜６ｄの上端と天板４の下面との間隔
は、予め設定されており、例えば２ｍｍの間隔をおいて
溝棒６ａ〜６ｄの上端と天板４の下面とが対峙するよう
に設定する。

【００７８】各チャック手段にセットされた状態で、溝
棒６ａ〜６ｄの溝８ａ〜８ｄの方向合わせを溝方向合わ
せ治具９６を用いて行う。このとき、チャック手段はハ
ーフチャック状態であるから、作業者が手で簡単に溝棒
６ａ〜６ｄを回転させて溝の向きの調整を行うことがで
きる。

【００７９】上記した溝棒６ａ〜６ｄの溝８ａ〜８ｄの
方向合わせが完了したら、上部チャック手段７０ａ〜７
０ｄ及び下部チャック手段８０ａ〜８０ｄの全てを本チ
ャック（閉）状態とする。本チャックの状態では、全て
の溝棒６ａ〜６ｄは確実に把持固定され妄動するおそれ
はない。

【００８０】この本チャック状態において、下保持治具
５８を最下位ポジションに下降し、該下保持治具５８の
上面に底板５を載置し、必要に応じて位置合せ手段９５
によって底板５の位置合せを行ない、ついで真空吸着手
段によって吸着保持せしめる。次いで、下保持治具５８
を上昇せしめ、該底板の上面と上記溝棒下端との間隔
が、予め設定された間隔、例えば２ｍｍとなる位置に停
止する。これにより、天板４、底板５及び溝棒６ａ〜６
ｄは品番情報によって設定された位置にセットされた状
態となる。

【００８１】この状態で、固定定盤２８の上面を基準面
として公知のダイヤルゲージ付ハイトゲージで全ての溝
棒６ａ〜６ｄの基準溝、即ち第１溝（下端から１番目の
溝）の位置を測定する。所定の位置からズレている場合
は、該当溝棒を上下動せしめることにより微調整し、位
置合わせをする。この溝棒６ａ〜６ｄの微調整は、前述
したごとく溝棒の上下方向位置調整機構を用いることに
よって該当溝棒を上下動せしめるか、該当する一対のチ
ャック手段を機械的に移動するか、又は作業者が該当す
る一対のチャック手段をハーフチャック状態として該当
溝棒を手で上下動せしめること等により行うことができ
る。この溝棒の上下位置の微調整により、天板４、底板
５及び溝棒６ａ〜６ｄの全てが所定位置に正確にセット
されたこととなる。

【００８２】上記仮置台９４は次の仮溶接作業の邪魔と
なるので、下降後退せしめる。

【００８３】上記所定位置にセットされた天板４と溝棒
６ａ〜６ｄの上端部及び底板と溝棒６ａ〜６ｄの下端部
とをそれぞれ仮溶接し、仮付け状態のウェーハ熱処理用
治具２を組み立てる。

【００８４】そして、溝棒６ａ〜６ｄを把持していた上
部チャック手段７０ａ〜７０ｄ及び下部チャック手段８
０ａ〜８０ｄの全てを開状態とし、次いで上部チャック
手段７０ａ〜７０ｄ及び下部チャック手段８０ａ〜８０
ｄの全てを所定の位置に後退せしめる。

【００８５】ついで、上保持治具４２の真空吸着手段を
オフとし、該上保持治具４２を所定位置に上昇せしめ
る。

【００８６】最後に、下保持治具５８の真空吸着手段を
オフとし、該下保持治具５８から仮溶接（仮付け）した
ウェーハ熱処理用治具２を取り外す。この仮付けしたウ
ェーハ熱処理用治具は、従来の手法による仮付けでは各
部材が所定位置に正確にセットされていることは少ない
ので、仮溶接のやり直しを３〜４回は行なう必要があっ
たが、本発明によれば、仮溶接前に各部材は所定位置に
正確にセットされているので一度仮溶接を行なえば仮溶
接のやり直しを行なう必要はほとんど皆無となる。

【００８７】この仮溶接したウェーハ熱処理用治具２に
本溶接を施し最終ウェーハ熱処理用治具２の完成品を得
る。

【００８８】上記実施の形態においては、ウェーハ熱処
理用治具として通常「タテ型ボート」と称されるウェー
ハ支持具について説明したが、本発明はウェーハ支持具
以外にもウェーハ支持具の下部に断熱を目的として設置
される石英ガラス製の治具等の組立てにも適用可能であ
る。

【００８９】

【発明の効果】以上述べた如く、本発明は、従来手作業
で行なわれていた仮付け作業を機械化することにより、
カーボン治具（当てがい具）を不要とし、その面倒な微
調整作業を解消し、溝棒の径にバラツキがあっても溝棒
をチャック手段を用いて常に芯出し状態でチャックする
ことができるので溝棒のセット位置を簡単に決めること
ができ、複数本の溝棒の第一溝（基準溝）までの高さの
設定を容易に行なうことができ、結果として設計寸法通
りの寸法精度を容易に達成することができ、仮溶接のや
り直し工程をほとんど不要とすることができるようにし
たという大きな効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明装置の一つの実施の形態を示す斜視図で
ある。

【図２】図１の断面的側面図である。

【図３】図１の正面図である。

【図４】図１の上取付台を外した状態を示す上面図であ
る。

【図５】図２の要部の拡大断面図である。

【図６】チャック手段のチャック機構を示す上面説明図
である。

【図７】溝棒をチャック手段によって把持した状態を示
す概略説明図である。

【図８】溝方向合わせ治具の上面図である。

【図９】溝方向合わせ治具の各部材を分離して示す図面
で、（ａ）は主板の上面図、（ｂ）は主板の側面図、
（ｃ）はスライド板の長手方向側面図及び（ｄ）はスラ
イド板の幅方向側面図である。

【図１０】溝棒の上下方向位置調整方法の１例を示すも
ので、各チャック手段の把持状態を示す説明図である。

【図１１】図１０と同様の図面で、各溝棒の上下方向の
移動状態を示す説明図である。

【図１２】ウェーハ熱処理用治具の１例を示す斜視図で
ある。

【図１３】ウェーハ熱処理用治具の従来方法による仮付
け作業の１例を示す断面的説明図である。

【符号の説明】

２ ウェーハ熱処理用治具 ４ 天板 ５ 底板 ６ａ〜６ｄ 溝棒 ８ａ〜８ｄ 溝 １０ 定盤 １２ カーボン治具 ２０ ウェーハ熱処理用治具の製造装置 ２２ 基台 ２４ 基体 ２６ 制御盤 ２７ ボックス部材 ２８ 固定定盤 ３０ 取付台 ３２ 第一ネジ棒 ３６ 上取付台 ３８ ガイドブロック ４０ ガイドレール ４２，７６ 螺動部材 ４４ 上保持治具 ５０ 下取付台 ５２ 昇降装置 ５４ 貫通穴 ３４，５６，６６，７２ａ〜７２ｄ，８２ａ〜８２ｄ
サーボモータ ５８ 下保持治具 ６４ 第二ネジ棒 ６８ 上部チャックシャフト ７０ａ〜７０ｄ 上部チャック手段 ７４ａ〜７４ｄ，８４ａ〜８４ｄ サーボユニット ７８ 下部チャックシャフト ８０ａ〜８０ｄ 下部チャック手段 ８５ ガイド板 ８５ａ，８５ｂ スライダー ８６ 爪部 ８７ａ，８７ｂ 爪ホルダー ８８ バネ ８９ａ，８９ｂ チャックアーム ９０ 把持凹部 ９１ ベス体 ９２ 把持空間 ９３ａ，９３ｂ カムフォロー ９４ 仮置台 ９５ 位置合せ手段 ９６ 溝方向合わせ治具 ９８ 主板 １００ スライド板 １０２ 肉厚平坦部 １０４ 肉薄周縁部 １０４ａ〜１０４ｆ 肉薄辺部 １０５ ガイド溝 １０６ スライド板本体 １０８ 突条 １１０ 摘み Ｗ ウェーハ ｋ 間隔 ｍ 中心

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武田 政利 山形県天童市大字清池字藤段1357番３ 株 式会社山形信越石英内

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 天板、底板および該天板及び底板間に配
   置される複数本の溝棒からなるウェーハ熱処理用治具の
   製造装置であり、天板を下向きに保持する上保持治具
   と、底板を上向きに保持する下保持治具と、該天板と底
   板との間に複数本の溝棒を所定位置に把持するチャック
   手段とを有することを特徴とするウェーハ熱処理用治具
   の製造装置。
2. 【請求項２】 垂直方向に立設された基体と、該基体の
   前面上部に上下動可能に設けられた上保持治具と、該基
   体の前面下部に上下動可能に設けられた下保持治具と、
   該上保持治具と下保持治具の設置位置間の上部に位置し
   上下動及び側方移動可能な複数の上部チャック手段と、
   該上部チャック手段に対応して該上保持治具と下保持治
   具の設置位置間の下部に位置し側方移動可能な複数の下
   部チャック手段とを有する天板、底板及び複数本の溝棒
   からなるウェーハ熱処理用治具の製造装置であり、上記
   上保持治具に天板を保持し、下保持治具に底板を保持
   し、上部及び下部のチャック手段により溝棒を所定位置
   に把持せしめ、天板と溝棒の上端部及び底板と溝棒の下
   端部を仮溶接することができるようにしたことを特徴と
   するウェーハ熱処理用治具の製造装置。
3. 【請求項３】 上記基体の前面上部に上下動可能に上取
   付台を設け、該上取付台に上保持治具を着脱可能に取付
   け、かつ上記基体の前面下部に上下動可能に下取付台を
   設け、該下取付台に下保持治具を着脱可能に取付けるこ
   とを特徴とする請求項２記載のウェーハ熱処理用治具の
   製造装置。
4. 【請求項４】 該下取付台の下方に固定定盤を設け、該
   固定定盤の上面を基準面として各溝棒の第一溝の位置を
   測定するようにしたことを特徴とする請求項３記載のウ
   ェーハ熱処理用治具の製造装置。
5. 【請求項５】 上記上部チャック手段を上下動可能な上
   部チャックシャフトに側方移動可能に取りつけ、上記下
   部チャック手段を下部チャックシャフトに側方移動可能
   に取りつけたことを特徴とする請求項２〜４のいずれか
   １項記載のウェーハ熱処理用治具の製造装置。
6. 【請求項６】 上記上保持治具及び下保持治具がそれぞ
   れ天板及び底板を保持する手段が真空吸着手段であるこ
   とを特徴とする請求項１〜５記載のウェーハ熱処理用治
   具の製造装置。
7. 【請求項７】 上記上保持治具の下方に上下動自在及び
   前進後退自在に仮置台を設け、該仮置台を用いて天板を
   該上保持治具に保持せしめるようにしたことを特徴とす
   る請求項１〜６記載のウェーハ熱処理用治具の製造装
   置。
8. 【請求項８】 上記チャック手段が、開状態、半閉（ハ
   ーフチャック）状態及び閉（本チャック）状態の３つの
   態様で作動することを特徴とする請求項１〜７記載のウ
   ェーハ熱処理用治具の製造装置。
9. 【請求項９】 上記チャック手段が、グラファイト製の
   一対の爪部を有し、該一対の爪部をバネによって互いに
   近接する方向に常時付勢せしめるとともに駆動機構によ
   って該一対の爪部の開閉動作を行なわせるように構成さ
   れ、該駆動機構をオンとすることによって該一対の爪部
   を開状態又は閉（本チャック）状態に作動せしめ、該駆
   動機構をオフとし該バネの力のみを用いることによって
   該一対の爪部を半閉（ハーフチャック）状態の作動を行
   なわせるようにしたことを特徴とする請求項８記載のウ
   ェーハ熱処理用治具の製造装置。
10. 【請求項１０】 上記駆動機構が空気圧機構であること
    を特徴とする請求項９記載のウェーハ熱処理用治具の製
    造装置。
11. 【請求項１１】 下記（ａ）〜（ｅ）の工程を有するこ
    とを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項記載の装
    置を用いるウェーハ熱処理用治具の製造方法。 （ａ）上保持治具が所定の仮付け位置に移動する工程、
    （ｂ）上保持治具に天板を保持せしめる工程、（ｃ）複
    数のチャック手段を用いて複数本の溝棒を所定位置に把
    持する工程、（ｄ）下保持治具に底板を保持せしめ、該
    下保持治具を基準位置まで上昇させる工程、（ｅ）天
    板、底板及び複数本の溝棒の所定位置への配置完了後、
    天板と複数本の溝棒の上端部及び底板と複数本の溝棒の
    下端部をそれぞれ互いに溶接する工程。
12. 【請求項１２】 下記（１）〜（１２）の工程を有する
    ことを特徴とする請求項８〜１０のいずれか１項記載の
    装置を用いるウェーハ熱処理用治具の製造方法。 （１）上記装置の各部材を原点復帰させる工程、（２）
    上保持治具が所定の仮付け位置に移動する工程、（３）
    該上保持治具に天板を保持せしめる工程、（４）上部及
    び下部のチャック手段が所定の把持位置に移動する工
    程、（５）複数本の溝棒を、その上端が該天板下面と所
    定の間隔を有し、その下端が該下保持治具の上面に接す
    る状態で上部及び下部のチャック手段に半閉（ハーフチ
    ャック）状態で把持せしめる工程、（６）各溝棒の溝の
    方向合わせを行なう工程、（７）上記溝の方向合わせの
    完了後、全てのチャック手段を閉（本チャック）状態と
    する工程、（８）下保持治具を最下位ポジションに下降
    し、該下保持治具に底板を保持せしめる工程、（９）該
    下保持治具を上昇せしめ、該底板の上面と上記溝棒の下
    端との間隔が所定間隔となる位置に停止せしめる工程、
    （１０）全ての溝棒の第１溝の位置を固定定盤の上面を
    基準面としてダイヤル付ハイトゲージで測定し、必要に
    応じて、溝棒を上下動して微調整し位置合わせを行なう
    工程、（１１）天板、底板及び複数の溝棒を所定位置に
    配置完了後、天板と各溝棒の上端部及び底板と各溝棒の
    下端部をそれぞれ仮溶接し、仮付け状態のウェーハ熱処
    理用治具を組み立てる工程、（１２）溝棒を把持する上
    部及び下部のチャック手段の全ての把持状態を解消し、
    かつ上保持治具及び下保持治具による天板及び底板の保
    持状態を解消し、仮付けしたウェーハ熱処理用治具を取
    り外す工程。
13. 【請求項１３】 上記天板を上保持治具に保持させる際
    に上下動自在及び前進後退自在な仮置台を用い、前進及
    び上昇させた仮置台上に天板を載置した状態で該上保持
    治具に保持せしめ、天板、底板及び複数の溝棒が所定位
    置に配置完了後、該仮置台を降下後退せしめるようにし
    たことを特徴とする請求項１２記載のウェーハ熱処理用
    治具の製造方法。
14. 【請求項１４】 請求項１２又は１３記載の方法におい
    て溝棒の上下方向の位置合わせを行なうに際し用いられ
    る溝棒上下方向位置調整方法であって、請求項７〜１０
    のいずれか１項記載の装置を用い、上部及び下部チャッ
    クにそれぞれ溝棒を把持せしめ、位置調整対象の溝棒を
    把持する上部チャックを閉（本チャック）状態及び下部
    チャックを半閉（ハーフチャック）状態とし、残りの溝
    棒を把持する上部チャックを半閉（ハーフチャック）状
    態及び下部チャックを閉（本チャック）状態として、上
    部チャックシャフトを所定量だけ上下動することによっ
    て位置調整対象溝棒を所定量だけ上下動することを可能
    とした溝棒上下方向位置調整方法。