JPH0974238A - 光電流増倍素子 - Google Patents
光電流増倍素子Info
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Abstract
して用いる安価で高感度の受光素子、すなわち光電流倍
増素子を提供する。 【解決手段】 導電性基板と電極との間に、光伝導性膜
として、閉殻構造を有するクラスター状炭素を混入させ
た正孔輸送能を持つ導電性高分子からなる薄膜を挟持し
た光電流増倍素子。
Description
関し、さらに詳しくは有機光伝導体を用いた光電流増倍
素子に関する。光電流増倍素子とは、光を照射すること
によって電気的応答を示す光伝導素子のうち、光電流量
子効率が1を越える素子を意味する。
て、受光素子は重要なデバイスの1つであり、高感度の
受光素子の開発が望まれている。高感度の受光素子は、
一般に、光キャリア生成量子効率が1を越える現象、す
なわち光電流増倍現象を利用している。無機材料を用い
た素子の分野では、高電界下におけるなだれ現象を利用
した結晶Si半導体を用いたアバランシェフォトダイオ
ード、イウォ(S. -C.Jwo)らがアイ・イー・イー・
イー・トランス・エレクトロン・デヴァイシーズ(IE
EE Trans Electron Devices),35,1279
(1988)に報告したa-Si:Hのpin接合ダイオー
ドのi層を多層構造とした素子、ヨシミ(M.Yoshim
i)らがマテリアル・リサーチ・ソサエティ,シンポジ
ウム・プロシーディグス(Mat. Res. Soc., Symp.
Proc.),192,453(1990)に報告したi層
中にa-SiN層をはさんだ素子等において、この光電流
増倍現象を見出している。
は、最近まで光電流増倍の報告例は全くなかった。19
93年に平本らは、ペリレン系の有機顔料薄膜におい
て、有機材料としては世界で初めて、1万倍に達する高
い量子効率で光電流増倍現象が起こることを見出し、ア
プライド・フィジックス・レターズ(Appl. Phys. L
ett.), 64,187(1994)に報告した。この光
電流増倍現象は、ペリレン系有機顔料薄膜中のトラップ
サイトにホールが蓄積されることによって、電極と顔料
薄膜との界面に高電界がかかり、電子がトンネリング注
入される現象であると説明されている。
料を用いる場合、一般的には真空蒸着法により薄膜を設
ける必要があるため、製造コストが高くなるという問題
がある。一方、有機溶媒に可溶な高分子材料は、キャス
ト法などにより容易に成膜が可能であるため大面積化が
可能であるのみならず、加工性に優れると言ったメリッ
トがあるため、高分子材料を用いた安価で高感度の受光
素子の開発が強く望まれている。
ールにフラーレン(C60、C70)をドーピングした材料
に、暗時にコロナ帯電した後光照射を行い、表面電位減
衰の変化量を求めた。その結果、この材料が良い光伝導
体であることを見出した。また、この実験結果をオンサ
ガー(Onsager)の理論式により解析した結果、光キャ
リア生成効率が0.9となることを見出し、ネイチャ
(Nature),356,585(1992)に報告し
た。そして、その材料を電子写真感光体として用いる発
明がWO93/08509(PCT/US92/086
93)に開示されている。しかし、それらはポリビニル
カルバゾール/フラーレン系を電子写真感光体に応用す
ることを目的としており、光センサーに応用することは
目的としていない。
光伝導性膜として用いる安価で高感度の受光素子、すな
わち光電流倍増素子を提供しようとするものである。
基板と電極との間に光伝導性膜を挟持してなる光電流増
倍素子であって、光伝導性膜として、閉殻構造を有する
クラスター状炭素を添加した正孔輸送能を持つ導電性高
分子からなる膜を用いたことを特徴とする光電流増倍素
子が提供される。
分子の1種であるポリビニルカルバゾールに閉殻構造を
有するクラスター状炭素をドーピングした光伝導薄膜を
金電極とインジウム・スズ酸化物(ITO)透明電極で
挟持した光伝導素子を作製し、その素子の特性を評価し
た結果、有機材料を用いた素子としては極めて珍しく、
高分子材料を用いた素子としては初めて光電流量子効率
が100倍を越える高い光電流増倍現象を観測した。こ
れは、光照射時に光伝導体薄膜中の閉殻構造を有するク
ラスター状炭素に電子がトラップされることにより、電
極と光伝導体薄膜との界面に高電界がかかり、電極から
光伝導体膜にホールが大量に注入される現象であること
が分かっている。
成形加工性良好な導電性高分子が望ましく、通常1,0
00〜10,000,000、好ましくは1,000〜1,
000,000の重量平均分子量を有するものが望まし
い。導電性高分子の例として、ポリビニルカルバゾー
ル、ポリアルキルチオフェン、ポリメチルフェニルシラ
ンなどが挙げられる。
導電性高分子を用いる場合、閉殻構造を有するクラスタ
ー状炭素を導電性高分子に混入することにより、優れた
光伝導特性が現れる。この優れた光伝導体薄膜と電極と
を組み合わせた光伝導素子においては、一定電界下にお
いて光照射時に光キャリアが生成した場合、閉殻構造を
有するクラスター状炭素に電子がトラップされることに
よって、光伝導薄膜と電極と界面に高電界がかかり、ホ
ールが電極から注入されることによって光電流量子効率
が1を越えることが可能となる。したがって、光電流増
倍現象を発現させるためには、光伝導薄膜と電極との界
面付近にクラスター状炭素が存在する必要がある。
ては、従来の光伝導素子に使用されている電極、例えば
金属、金属酸化物、無機半導体、有機半導体などの電極
が用いられる。光入射面側の電極の光透過率は、80%
以上であることが特に好ましい。そのような高い光透過
率を有する電極としては、インジウム錫酸化物(IT
O)が例示できる。
称フラーレンと呼ばれ、C60、C70、C84などを含み、
一般にCxで表される。フラーレンは大きなイオン化ポ
テンシャルを持ち、かつ安定であるだけでなく有機溶媒
にも可溶であり、性能、取り扱いに優れた電子吸引性物
質であり、電子吸引能力に優れている。
る方法は、特に限定されないが、例えば導電性高分子と
クラスター状炭素を有機溶媒中に溶解し、その後、有機
溶媒を除去する方法;導電性高分子を溶解させた有機溶
媒とクラスター状炭素を溶解させた有機溶媒とを混合
し、その後、有機溶媒を除去する方法;導電性高分子と
クラスター状炭素を共蒸着させる方法などがある。
て、芳香族炭化水素(例えば、ベンゼン、トルエンな
ど)、テトラヒドロフラン、ハロゲン化炭化水素(例え
ば、クロロホルム、ジクロロメタン、ジクロロエタンな
ど)が好ましく用いられる。
導電性物質100重量部当たり、通常0.001〜10
0重量部、好ましくは0.01〜50重量部である。
性膜の厚みは、通常0.01〜100μm、好ましくは
0.05μm〜30μmであり、電極の厚みは、通常0.
01μm〜100μm、好ましくは0.05μm〜10
μmである。
長に吸収のある導電性高分子材料を用いたり、特定の領
域(赤外域、可視域、紫外域)に吸収のある有機材料と
導電性高分子とを組み合わせて用いることにより、赤外
域の波長の光を検出するIRセンサー、紫外域の波長の
光を検出するUVセンサー、赤、青または緑といった特
定の可視域の光を検出するカラーセンサーを製造するこ
とが可能である。また、導電性高分子の場合、膜面方向
の導電性が低いため高感度のイメージセンサーを製造す
ることも可能である。
説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるもので
はない。実施例1 ポリ(9−ビニルカルバゾール)(和光純薬工業株式会社
製)98.5mgとC601.5mgをトルエン10gに溶かし
た溶液を、ITOを蒸着した石英基板上にスピンコート
によって塗布し、乾燥して厚み1.5μmのフィルムを形
成した。その後、金を約20nmの厚みで蒸着した。これ
によって有効面積0.02cm2の膜面に垂直な方向が、図
1に模式的に示した構造の素子を作製した。図1の素子
は、導電性基板1、クラスター状炭素21を含む導電性
高分子22からなる光伝導性膜2および電極からなる。
N−3:テクノロ工業株式会社製)に取り付け、0.1
Paの減圧下で性能の測定を行った。すなわち、ITO
電極を正バイアスあるいは負バイアスとして所定の直流
電圧を印加しておき、300W−キセノンランプ光をモ
ノクロメーターで単色化した光(300nm〜800nm)
をITO電極側から素子に照射し、この時の電流の変化
を光電流として測定した。
既知のSiフォトダイオード(S1337−66BQ:
浜松ホトニクス株式会社製)との光電流値との比較によ
って求めた。300nm〜800nmの波長の幅広い波長域
で、100V以上の印加電圧下で量子効率が1を越える
多くの光キャリアが素子に流れた。波長340nmの光
(光強度:0.33mWcm-2)を照射した場合の光電流量
子効率と印加電圧の関係を図2に示す。
合のいずれも、印加電圧を増加させるにつれ光電流量子
効率が増大し、130Vで効率が100倍を越える光電
流が得られた。
ン(東京化成工業株式会社製)を用いた以外は、実施例
1と全く同じ構造の素子を作製し、評価した。ITOを
正バイアス、負バイアスとした場合のいずれも、印加電
圧を増加させるにつれ光電流量子効率が増大したが、1
30Vの印加電圧下でも10%程度の量子効率しか得ら
れず、光電流増倍現象は観測できなかった。
製)98.5mgとC601.5mgをトルエン10gに溶かし
た溶液(A溶液)とポリ(9−ビニルカルバゾール)
(和光純薬工業株式会社製)100mgのみをトルエン1
0gに溶かした溶液(B溶液)を調製した。ITOを蒸
着した石英基板上に、B溶液をスピンコートによって塗
布し、乾燥して厚み3μmのフィルムを形成した後、そ
のフィルム上にA溶液を用いて同様の方法で厚み1.5
μmのフィルムを形成し、またそのフィルム上にB溶液
を用いて同様の方法で厚み3μmのフィルムを形成し、
その上に金を約20nmの厚みで蒸着した。これによって
有効面積0.02cm2の膜面に垂直な方向が図3に模式的
に示した構造の素子を作製した。
N−3:テクノロ工業株式会社製)に取り付け、0.1
Paの減圧下で性能の測定を行った。すなわち、ITO
電極を正バイアスあるいは負バイアスとして所定の直流
電圧を印加しておき、300W−キセノンランプ光をモ
ノクロメーターで単色化した光(300nm〜800n
m)をITO電極側から試料に照射し、この時の電流の
変化を光電流として測定した。
のSiフォトダイオード(S1337−66BQ:浜松
ホトニクス株式会社製)との光電流値との比較によって
求めた。300nm〜800nmの波長の幅広い波長域
で、600Vまで印加電圧を上げても、量子効率は1を
越えなかった。したがって、素子の光電流量子効率が1
を越えるためには、正孔輸送能性高分子中に分散してい
るクラスター状炭素が電極との界面付近に存在する必要
があることが明らかである。
分子材料を用いることにより容易に大面積の光伝導薄膜
の形成が可能であり、安価に光電流増倍素子が製造でき
る。本発明の光電流増倍素子は、オプトエレクトロニク
スの分野において重要な、高感度の受光素子やUVセン
サー、IRセンサー、カラーセンサー、イメージセンサ
ーとして利用できる。
図。
と量子効果の関係を示すグラフ。
ラスター状炭素、22…導電性高分子。
Claims (4)
- 【請求項1】 導電性基板と電極との間に光伝導性膜を
挟持してなる光電流増倍素子であって、光伝導性膜とし
て、閉殻構造を有するクラスター状炭素を添加した正孔
輸送能を持つ導電性高分子からなる膜を用いたことを特
徴とする光電流増倍素子。 - 【請求項2】 正孔輸送能を持つ導電性高分子が、ポリ
ビニルカルバゾールである請求項1記載の光電流増倍素
子。 - 【請求項3】 クラスター状炭素の添加量が、導電性高
分子100重量部当たり、0.001〜100重量部で
ある請求項1記載の光電流倍増素子。 - 【請求項4】 光伝導性膜の厚さが、0.01〜100
μmである請求項1記載の光電流倍増素子。
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|---|---|---|---|
| JP23000295A JP3627311B2 (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 光電流増倍素子 |
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