JPH0979803A - センサ取付位置調整装置 - Google Patents
センサ取付位置調整装置Info
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- JPH0979803A JPH0979803A JP23821495A JP23821495A JPH0979803A JP H0979803 A JPH0979803 A JP H0979803A JP 23821495 A JP23821495 A JP 23821495A JP 23821495 A JP23821495 A JP 23821495A JP H0979803 A JPH0979803 A JP H0979803A
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- sensor
- mounting position
- sensor mounting
- wafer
- quartz glass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサ取付位置調整装置において、センサの
取付位置を高精度に調整可能とする。 【解決手段】 三次元ＬＳＩ積層装置において、両ウェ
ーハＷ1 とＷ2 との距離を計測するギャップセンサ２４
センサホルダ５１を介して真空チャック２２のセンサ取
付孔２２ａに軸方向移動自在に装着し、端部にレンチ５
３の係合孔５４が形成された調整軸５２を真空チャック
２２に回転自在に装着し、この調整軸５２にねじ歯車５
７を固結してセンサホルダ５１にこのねじ歯車５７が噛
み合うねじ部５８を形成する。
取付位置を高精度に調整可能とする。 【解決手段】 三次元ＬＳＩ積層装置において、両ウェ
ーハＷ1 とＷ2 との距離を計測するギャップセンサ２４
センサホルダ５１を介して真空チャック２２のセンサ取
付孔２２ａに軸方向移動自在に装着し、端部にレンチ５
３の係合孔５４が形成された調整軸５２を真空チャック
２２に回転自在に装着し、この調整軸５２にねじ歯車５
７を固結してセンサホルダ５１にこのねじ歯車５７が噛
み合うねじ部５８を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製品である
ウェーハの積層を超高精度に行う三次元ＬＳＩ積層装置
において適用されているギャップセンサなどのセンサ取
付位置調整装置に関する。
ウェーハの積層を超高精度に行う三次元ＬＳＩ積層装置
において適用されているギャップセンサなどのセンサ取
付位置調整装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＬＳＩ（Large Scale Integrated
circuit：大規模集積回路）は、回路機能ブロックが平
面的、二次元的に集積された二次元ＬＳＩであり、回路
パターンの微細化により高集積化、大容量化が進められ
てきているが、その微細化技術が飽和し、限界がみえは
じめている。そこで、ＬＳＩをさらに高集積化、大容量
化するために、二次元ＬＳＩを積み重ねて三次元的に集
積化した三次元ＬＳＩが考えられている。
circuit：大規模集積回路）は、回路機能ブロックが平
面的、二次元的に集積された二次元ＬＳＩであり、回路
パターンの微細化により高集積化、大容量化が進められ
てきているが、その微細化技術が飽和し、限界がみえは
じめている。そこで、ＬＳＩをさらに高集積化、大容量
化するために、二次元ＬＳＩを積み重ねて三次元的に集
積化した三次元ＬＳＩが考えられている。
【０００３】図５に一般的な三次元光ＬＳＩの積層方法
を表す概略を示す。図５(ａ)に示すように、二次元ＬＳ
Ｉ101は第１層目になるウェーハ下地102上に回路素子10
3を構成してなるものである。まず、図５(ｂ)に示すよ
うに、この二次元ＬＳＩ101をその上面にワックス104を
塗布して平板状の石英ガラス105に接着する。この石英
ガラス105を用いるのは後述する可視光及び赤外光を透
過させるためである。
を表す概略を示す。図５(ａ)に示すように、二次元ＬＳ
Ｉ101は第１層目になるウェーハ下地102上に回路素子10
3を構成してなるものである。まず、図５(ｂ)に示すよ
うに、この二次元ＬＳＩ101をその上面にワックス104を
塗布して平板状の石英ガラス105に接着する。この石英
ガラス105を用いるのは後述する可視光及び赤外光を透
過させるためである。
【０００４】次に、図５(ｃ)に示すように、二次元ＬＳ
Ｉ101のウェーハ下地102をラッピングやポリシング等に
より削って薄層化し、薄層化ウェーハ106とする。この
ように薄層化ウェーハ106をワックス104を介して固定し
た石英ガラス105を積層装置に固定する。そして、図５
(ｄ)に示すように、ウェーハ下地107上に回路素子108を
構成した別の二次元ＬＳＩ109の上面に紫外線硬化型接
着剤（又は嫌気硬化型接着剤）110を塗布し、これを三
次元方向に移動位置決め可能なステージに固定し、前述
の薄層化ウェーハ106と二次元ＬＳＩ109のＸＹ方向に対
する位置合わせを行うと共に、Ｚ方向に対する二枚のウ
ェーハの平行度の調整を行う。
Ｉ101のウェーハ下地102をラッピングやポリシング等に
より削って薄層化し、薄層化ウェーハ106とする。この
ように薄層化ウェーハ106をワックス104を介して固定し
た石英ガラス105を積層装置に固定する。そして、図５
(ｄ)に示すように、ウェーハ下地107上に回路素子108を
構成した別の二次元ＬＳＩ109の上面に紫外線硬化型接
着剤（又は嫌気硬化型接着剤）110を塗布し、これを三
次元方向に移動位置決め可能なステージに固定し、前述
の薄層化ウェーハ106と二次元ＬＳＩ109のＸＹ方向に対
する位置合わせを行うと共に、Ｚ方向に対する二枚のウ
ェーハの平行度の調整を行う。
【０００５】そして、両者の位置合わせが終わると、図
５(ｅ)に示すように、ステージと共に二次元ＬＳＩ109
を上昇して薄層化ウェーハ106に押し当て、所定の押し
当て荷重になるように調整し、この状態で、上方から石
英ガラス105を通して紫外線111を当てることで、接着剤
110を硬化させる。接着剤110の硬化後、図５(ｆ)に示す
ように、石英ガラス105からワックス104を溶剤で溶か
し、積層した三次元ＬＳＩ112を得る。この処理行程を
繰り返すことにより、二次元ＬＳＩ多層に積層すること
ができる。
５(ｅ)に示すように、ステージと共に二次元ＬＳＩ109
を上昇して薄層化ウェーハ106に押し当て、所定の押し
当て荷重になるように調整し、この状態で、上方から石
英ガラス105を通して紫外線111を当てることで、接着剤
110を硬化させる。接着剤110の硬化後、図５(ｆ)に示す
ように、石英ガラス105からワックス104を溶剤で溶か
し、積層した三次元ＬＳＩ112を得る。この処理行程を
繰り返すことにより、二次元ＬＳＩ多層に積層すること
ができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、二枚のウェ
ーハを接着する場合、両者の平行度を適切に調整しなけ
ればならず、二次元ＬＳＩ109を保持するステージの外
周部には、薄層化ウェーハ106を保持する石英ガラス105
との対向する面の距離を計測するギャップセンサが複数
設けられている。この各ギャップセンサはステージの外
周部に形成された孔にそれぞれ挿嵌され、ねじで固定さ
れている。そして、各ギャップセンサはその取付位置に
ばらつきが発生することがあり、位置調整を行う場合が
ある。しかし、従来は、ギャップセンサが孔に挿嵌され
てねじで固定されており、取付面からの突出し量を調整
する場合には、作業者がねじを弛め、ギャップセンサを
手で出し入れして調整しており、作業が面倒であると共
に、その調整精度が良くなく、微調整を行うことはでき
なかった。
ーハを接着する場合、両者の平行度を適切に調整しなけ
ればならず、二次元ＬＳＩ109を保持するステージの外
周部には、薄層化ウェーハ106を保持する石英ガラス105
との対向する面の距離を計測するギャップセンサが複数
設けられている。この各ギャップセンサはステージの外
周部に形成された孔にそれぞれ挿嵌され、ねじで固定さ
れている。そして、各ギャップセンサはその取付位置に
ばらつきが発生することがあり、位置調整を行う場合が
ある。しかし、従来は、ギャップセンサが孔に挿嵌され
てねじで固定されており、取付面からの突出し量を調整
する場合には、作業者がねじを弛め、ギャップセンサを
手で出し入れして調整しており、作業が面倒であると共
に、その調整精度が良くなく、微調整を行うことはでき
なかった。
【０００７】本発明は、このような問題を解決するもの
であって、センサの取付位置を高精度に調整可能とした
センサ取付位置調整装置を提供することを目的とする。
であって、センサの取付位置を高精度に調整可能とした
センサ取付位置調整装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明のセンサ取付位置調整装置は、検出センサが
センサホルダを介してハウジングに形成されたセンサ取
付孔内に該センサ取付孔の軸方向移動自在に装着される
と共に、該軸方向一方に付勢支持され、一端部に外部の
回転駆動手段と着脱可能な係合部を有する調整軸が前記
ハウジングに前記検出センサに隣接した位置に該調整軸
の周方向回転自在で、且つ、軸方向移動不能に装着さ
れ、前記調整軸にねじ歯車が形成される一方、前記セン
サホルダに該ねじ歯車が噛み合うねじ部が形成されたこ
とを特徴とするものである。
めの本発明のセンサ取付位置調整装置は、検出センサが
センサホルダを介してハウジングに形成されたセンサ取
付孔内に該センサ取付孔の軸方向移動自在に装着される
と共に、該軸方向一方に付勢支持され、一端部に外部の
回転駆動手段と着脱可能な係合部を有する調整軸が前記
ハウジングに前記検出センサに隣接した位置に該調整軸
の周方向回転自在で、且つ、軸方向移動不能に装着さ
れ、前記調整軸にねじ歯車が形成される一方、前記セン
サホルダに該ねじ歯車が噛み合うねじ部が形成されたこ
とを特徴とするものである。
【０００９】従って、係合部に回転駆動手段を装着して
調整軸を回転させると、この調整軸に形成されたねじ歯
車が回転し、このねじ歯車と噛み合うねじ部が形成され
たセンサホルダがセンサ取付孔内をその軸方向に移動す
ることで、検出センサの取付位置が調整される。
調整軸を回転させると、この調整軸に形成されたねじ歯
車が回転し、このねじ歯車と噛み合うねじ部が形成され
たセンサホルダがセンサ取付孔内をその軸方向に移動す
ることで、検出センサの取付位置が調整される。
【００１０】また、本発明のセンサ取付位置調整装置
は、前記検出センサは、該検出センサと対向する部材の
対向面との距離を計測するギャップセンサであることを
特徴とするものである。
は、前記検出センサは、該検出センサと対向する部材の
対向面との距離を計測するギャップセンサであることを
特徴とするものである。
【００１１】従って、このギャップセンサ取付位置が容
易に調整される。
易に調整される。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面に基づき、実施例を挙げて詳細に説明する。
て、図面に基づき、実施例を挙げて詳細に説明する。
【００１３】図１に本発明の一実施例に係るセンサ取付
位置調整装置を表すギャップセンサ取付部の断面、図２
に本実施例の三次元ＬＳＩ積層装置の概略、図３に三次
元ＬＳＩ積層装置のウェーハ保持部を表す正面視、図４
にこのウェーハ保持部を表す平面視を示す。
位置調整装置を表すギャップセンサ取付部の断面、図２
に本実施例の三次元ＬＳＩ積層装置の概略、図３に三次
元ＬＳＩ積層装置のウェーハ保持部を表す正面視、図４
にこのウェーハ保持部を表す平面視を示す。
【００１４】本実施例の三次元ＬＳＩ積層装置におい
て、図２乃至図４に示すように、基盤１１上には４本の
支柱１２が立設され、その上部に架台１３が固定されて
いる。また、この基盤１１上には４本の支柱１２に囲ま
れた位置にＺ（図３にて上下方向）軸粗動位置決めステ
ージ１４が配設され、このＺ軸粗動位置決めステージ１
４の上部にはＸ（図３にて左右方向）軸粗動位置決めス
テージ１５、及びＹ（図３にて紙面垂直方向）軸粗動位
置決めステージ１６が配設されている。更に、このＹ軸
粗動位置決めステージ１６の上部には微動位置決めステ
ージ１７が配設されている。そして、この微動位置決め
ステージ１７上には基部ステージ１８が装着されてい
る。従って、各ステージ１４，１５，１６，１７の調整
機構を操作することで、基部ステージ１８をＸ，Ｙ，Ｚ
方向に粗動あるいは微動してその位置を調整することが
できる。
て、図２乃至図４に示すように、基盤１１上には４本の
支柱１２が立設され、その上部に架台１３が固定されて
いる。また、この基盤１１上には４本の支柱１２に囲ま
れた位置にＺ（図３にて上下方向）軸粗動位置決めステ
ージ１４が配設され、このＺ軸粗動位置決めステージ１
４の上部にはＸ（図３にて左右方向）軸粗動位置決めス
テージ１５、及びＹ（図３にて紙面垂直方向）軸粗動位
置決めステージ１６が配設されている。更に、このＹ軸
粗動位置決めステージ１６の上部には微動位置決めステ
ージ１７が配設されている。そして、この微動位置決め
ステージ１７上には基部ステージ１８が装着されてい
る。従って、各ステージ１４，１５，１６，１７の調整
機構を操作することで、基部ステージ１８をＸ，Ｙ，Ｚ
方向に粗動あるいは微動してその位置を調整することが
できる。
【００１５】この基部ステージ１８の上には４本の支持
脚１９によって支持板２０が固定されると共に、基部ス
テージ１８と支持脚１９との間には上下のウェーハ
Ｗ1 ，Ｗ 2 の密着力を測定するロードセル２１が介装さ
れている。そして、この支持板２０上には石英ガラス製
の真空チャック２２が配置されており、この真空チャッ
ク２２によって積層する下ウェーハＷ2 を吸着保持する
ことができる。なお、真空チャック２２の下方の基部ス
テージ１８上にはウェーハの位置ずれを検出するための
ハロゲン照射ランプ２３がＸ，Ｙ方向移動自在に装着さ
れている。また、支持脚１９の上部には円周方向に均等
間隔で少なくとも３つのギャップセンサ２４が取付けら
れている。このギャップセンサ２４としては、静電容量
型変位センサ、あるいはレーザ変位計等が用いられ、こ
の静電容量型変位センサを用いる場合は、ギャップセン
サ２４と対向する後述する石英ガラス２９の面に導電性
のある金属等の材料を蒸着する必要がある。
脚１９によって支持板２０が固定されると共に、基部ス
テージ１８と支持脚１９との間には上下のウェーハ
Ｗ1 ，Ｗ 2 の密着力を測定するロードセル２１が介装さ
れている。そして、この支持板２０上には石英ガラス製
の真空チャック２２が配置されており、この真空チャッ
ク２２によって積層する下ウェーハＷ2 を吸着保持する
ことができる。なお、真空チャック２２の下方の基部ス
テージ１８上にはウェーハの位置ずれを検出するための
ハロゲン照射ランプ２３がＸ，Ｙ方向移動自在に装着さ
れている。また、支持脚１９の上部には円周方向に均等
間隔で少なくとも３つのギャップセンサ２４が取付けら
れている。このギャップセンサ２４としては、静電容量
型変位センサ、あるいはレーザ変位計等が用いられ、こ
の静電容量型変位センサを用いる場合は、ギャップセン
サ２４と対向する後述する石英ガラス２９の面に導電性
のある金属等の材料を蒸着する必要がある。
【００１６】一方、架台１３には支持円筒２５が固定さ
れ、この支持円筒２５内には回転円筒２６が回動自在に
取付けられており、調整ハンドル２７によって回転位置
調整自在であると共に、係止ロッド２８によって位置決
め可能となっている。この回転円筒２６の上部には石英
ガラス２９及び透過性耐変形部材としてのバックアップ
ガラス３０が載置されると共に、このバックアップガラ
ス３０がハウジング３１によって保持されている。そし
て、この石英ガラス２９の下面にワックスによって積層
する上ウェーハＷ1 を保持することができる。また、支
持円筒２５には外周部に３つのクランプレバー３２が上
下に揺動自在に取付けられており、このクランプレバー
３２の基端部には支持円筒２５に取付けられたクランプ
シリンダ３３の駆動ロッドが連結され、クランプレバー
３２の先端部はハウジング３１の外周部を係止可能とな
っている。
れ、この支持円筒２５内には回転円筒２６が回動自在に
取付けられており、調整ハンドル２７によって回転位置
調整自在であると共に、係止ロッド２８によって位置決
め可能となっている。この回転円筒２６の上部には石英
ガラス２９及び透過性耐変形部材としてのバックアップ
ガラス３０が載置されると共に、このバックアップガラ
ス３０がハウジング３１によって保持されている。そし
て、この石英ガラス２９の下面にワックスによって積層
する上ウェーハＷ1 を保持することができる。また、支
持円筒２５には外周部に３つのクランプレバー３２が上
下に揺動自在に取付けられており、このクランプレバー
３２の基端部には支持円筒２５に取付けられたクランプ
シリンダ３３の駆動ロッドが連結され、クランプレバー
３２の先端部はハウジング３１の外周部を係止可能とな
っている。
【００１７】また、架台１３に隣接して走行架台３４が
立設され、その走行架台３４の上部にはＹ軸方向に沿っ
てガイドレール３５が取付けられており、このガイドレ
ール３５には台車３６が走行自在に装着されいる。そし
て、この台車３６上には第１基板３７がＸ軸方向に沿っ
て移動自在に取付けられ、この第１基板３７上には複数
の顕微鏡対物レンズ３８やＣＣＤテレビカメラ３９等を
有する赤外線顕微鏡ユニット４０が配置されている。ま
た、この台車３６上には第１基板３７と並んで第２基板
４１がＸ軸方向に沿って移動自在に取付けられ、この第
２基板４１上には紫外線照射装置４２が配置されてい
る。なお、紫外線照射装置４２は上下移動機構４３によ
って移動調整自在となっている。
立設され、その走行架台３４の上部にはＹ軸方向に沿っ
てガイドレール３５が取付けられており、このガイドレ
ール３５には台車３６が走行自在に装着されいる。そし
て、この台車３６上には第１基板３７がＸ軸方向に沿っ
て移動自在に取付けられ、この第１基板３７上には複数
の顕微鏡対物レンズ３８やＣＣＤテレビカメラ３９等を
有する赤外線顕微鏡ユニット４０が配置されている。ま
た、この台車３６上には第１基板３７と並んで第２基板
４１がＸ軸方向に沿って移動自在に取付けられ、この第
２基板４１上には紫外線照射装置４２が配置されてい
る。なお、紫外線照射装置４２は上下移動機構４３によ
って移動調整自在となっている。
【００１８】前述した真空チャック２１に吸着保持され
る下ウェーハＷ2 の上面には紫外線硬化型接着剤が塗布
されており、紫外線照射装置４２によって紫外線が照射
されることで硬化し、上ウェーハＷ1 と下ウェーハＷ2
を接着することができる。なお、この紫外線硬化型接着
剤に代えて嫌気硬化型接着剤を使用しても良く、即ち、
熱エネルギ線を照射することで硬化する接着剤であれば
よい。
る下ウェーハＷ2 の上面には紫外線硬化型接着剤が塗布
されており、紫外線照射装置４２によって紫外線が照射
されることで硬化し、上ウェーハＷ1 と下ウェーハＷ2
を接着することができる。なお、この紫外線硬化型接着
剤に代えて嫌気硬化型接着剤を使用しても良く、即ち、
熱エネルギ線を照射することで硬化する接着剤であれば
よい。
【００１９】ところで、本実施例の三次元ＬＳＩ積層装
置にあっては、真空チャック２２に隣接して設けられた
ギャップセンサ２４はその取付位置が調整自在となって
いる。即ち、図１に示すように、このギャップセンサ２
４はセンサホルダ５１に固定されており、このセンサホ
ルダ５１は真空チャック２２の所定の位置に形成された
センサ取付孔２２ａに挿嵌され、軸方向移動自在となっ
ている。また、このセンサホルダ５１に隣接して調整軸
５２が周方向回転自在で、且つ、軸方向移動不能に装着
されている。この調整軸５２は一端部に六角レンチ５３
の係合孔５４が形成され、他端部がボルト５５によって
真空チャック２２に固定されたブッシュ５６に支持され
ている。そして、調整軸５２にはねじ歯車５７が固結さ
れる一方、センサホルダ５１の外周面にこのねじ歯車５
７が噛み合うねじ部５８が形成されている。また、セン
サホルダ５１とブッシュ５６との間にはバックラッシュ
を防止する圧縮ばね５９が介装され、ギャップセンサ２
４のセンサケーブル２４ａは孔５７を通って外部に挿通
されている。
置にあっては、真空チャック２２に隣接して設けられた
ギャップセンサ２４はその取付位置が調整自在となって
いる。即ち、図１に示すように、このギャップセンサ２
４はセンサホルダ５１に固定されており、このセンサホ
ルダ５１は真空チャック２２の所定の位置に形成された
センサ取付孔２２ａに挿嵌され、軸方向移動自在となっ
ている。また、このセンサホルダ５１に隣接して調整軸
５２が周方向回転自在で、且つ、軸方向移動不能に装着
されている。この調整軸５２は一端部に六角レンチ５３
の係合孔５４が形成され、他端部がボルト５５によって
真空チャック２２に固定されたブッシュ５６に支持され
ている。そして、調整軸５２にはねじ歯車５７が固結さ
れる一方、センサホルダ５１の外周面にこのねじ歯車５
７が噛み合うねじ部５８が形成されている。また、セン
サホルダ５１とブッシュ５６との間にはバックラッシュ
を防止する圧縮ばね５９が介装され、ギャップセンサ２
４のセンサケーブル２４ａは孔５７を通って外部に挿通
されている。
【００２０】従って、作業者がレンチ５３を調整軸５２
の係合孔５４に係合した状態で、このレンチ５３によっ
て調整軸５２を回転させると、この調整軸５２と一体の
ねじ歯車５７が回転し、このねじ歯車５７と噛み合うね
じ部５８が形成されたセンサホルダ５１がセンサ取付孔
２２ａ内を軸方向に移動することで、ギャップセンサ２
４の取付位置、即ち、真空チャック２２の上面からの突
出位置を調整することができる。
の係合孔５４に係合した状態で、このレンチ５３によっ
て調整軸５２を回転させると、この調整軸５２と一体の
ねじ歯車５７が回転し、このねじ歯車５７と噛み合うね
じ部５８が形成されたセンサホルダ５１がセンサ取付孔
２２ａ内を軸方向に移動することで、ギャップセンサ２
４の取付位置、即ち、真空チャック２２の上面からの突
出位置を調整することができる。
【００２１】ここで、本実施例の三次元ＬＳＩ積層装置
による三次元ＬＳＩの製造方法について説明する。ま
ず、図１に示すように、図示しない回路素子が組み込ま
れた上ウェーハＷ1 を形成してその上面にワックスを塗
布して石英ガラス２９に接着する。そして、上ウェーハ
Ｗ1 をラッピングやポリシングにより削って薄層化す
る。この状態で、上ウェーハＷ1 が固定された石英ガラ
ス２９を回転円筒２６上にセットする。一方、図示しな
い回路素子が組み込まれた下ウェーハＷ2 は真空チャッ
ク２２によって吸着されることで位置決めがなされる。
による三次元ＬＳＩの製造方法について説明する。ま
ず、図１に示すように、図示しない回路素子が組み込ま
れた上ウェーハＷ1 を形成してその上面にワックスを塗
布して石英ガラス２９に接着する。そして、上ウェーハ
Ｗ1 をラッピングやポリシングにより削って薄層化す
る。この状態で、上ウェーハＷ1 が固定された石英ガラ
ス２９を回転円筒２６上にセットする。一方、図示しな
い回路素子が組み込まれた下ウェーハＷ2 は真空チャッ
ク２２によって吸着されることで位置決めがなされる。
【００２２】次に、この石英ガラス２９の上方に赤外線
顕微鏡ユニット４０を移動し、上ウェーハＷ1 と下ウェ
ーハＷ2 の位置合せを行う。即ち、ハロゲン照射ランプ
２３を点灯し、各ウェーハＷ1 ，Ｗ2 の位置を双眼の顕
微鏡対物レンズ３８により捉え、ＣＣＤテレビカメラ３
９によって画像をモニタに出力し、目視確認を行うと共
に、画像処理装置によって画像処理を行い、偏差量を検
出して制御装置へ伝送する。この場合、各ウェーハ
Ｗ1 ，Ｗ2 には、例えば、十字状の位置合わせ用のマー
クが設けてあり、これを顕微鏡により確認しながら位置
合わせを行う。制御装置では、偏差量に基づいてクロー
ズドループ制御することにより、各軸の移動量を演算処
理し、各ステージ１４，１５，１６，１７，１８を移動
して２枚のウェーハＷ1 ，Ｗ2 の位置合わせを行う。
顕微鏡ユニット４０を移動し、上ウェーハＷ1 と下ウェ
ーハＷ2 の位置合せを行う。即ち、ハロゲン照射ランプ
２３を点灯し、各ウェーハＷ1 ，Ｗ2 の位置を双眼の顕
微鏡対物レンズ３８により捉え、ＣＣＤテレビカメラ３
９によって画像をモニタに出力し、目視確認を行うと共
に、画像処理装置によって画像処理を行い、偏差量を検
出して制御装置へ伝送する。この場合、各ウェーハ
Ｗ1 ，Ｗ2 には、例えば、十字状の位置合わせ用のマー
クが設けてあり、これを顕微鏡により確認しながら位置
合わせを行う。制御装置では、偏差量に基づいてクロー
ズドループ制御することにより、各軸の移動量を演算処
理し、各ステージ１４，１５，１６，１７，１８を移動
して２枚のウェーハＷ1 ，Ｗ2 の位置合わせを行う。
【００２３】なお、２枚のウェーハＷ1 ，Ｗ2 の位置合
わせの前には偏差量の検出誤差を少なくするために平行
調整を行う必要がある。即ち、真空チャック２２の外周
部に設けられた各ギャップセンサ２４によって石英ガラ
ス２９とのギャップを検出し、その検出結果が同じにな
るように各ステージを移動して平行度を調整する。な
お、各ギャップセンサ２４の取付位置は、図１に示すよ
うに、予め、作業者がレンチ５３によって調整軸５２を
回転させることで、ねじ歯車５７及びねじ部５８を介し
てセンサホルダ５１を移動し、真空チャック２２の上面
からの突出位置を調整しておく。
わせの前には偏差量の検出誤差を少なくするために平行
調整を行う必要がある。即ち、真空チャック２２の外周
部に設けられた各ギャップセンサ２４によって石英ガラ
ス２９とのギャップを検出し、その検出結果が同じにな
るように各ステージを移動して平行度を調整する。な
お、各ギャップセンサ２４の取付位置は、図１に示すよ
うに、予め、作業者がレンチ５３によって調整軸５２を
回転させることで、ねじ歯車５７及びねじ部５８を介し
てセンサホルダ５１を移動し、真空チャック２２の上面
からの突出位置を調整しておく。
【００２４】このように上ウェーハＷ1 と下ウェーハＷ
2 との位置合わせが終わると、石英ガラス２９の上方か
ら赤外線顕微鏡ユニット４０を移動して対比させる。そ
して、上ウェーハＷ1 を保持した石英ガラス２９上にバ
ックアップガラス３０を載せてハウジング３１によって
保持し、各クランプシリンダ３３を駆動してクランプレ
バー３２を回動し、このハウジング３１の外周部を係止
することで、このハウジング３１と共にバックアップガ
ラス３０、石英ガラス２９、上ウェーハＷ1 を位置決め
保持する。そして、基部ステージ１８と共に真空チャッ
ク２２に吸着保持された下ウェーハＷ2 を、石英ガラス
２９に接着固定されている上ウェーハＷ 1 に押し当て
る。このとき、下ウェーハＷ2 の押し当て荷重をロード
セル２１によって検出し、所定の押し当て荷重となるよ
うに調整する。
2 との位置合わせが終わると、石英ガラス２９の上方か
ら赤外線顕微鏡ユニット４０を移動して対比させる。そ
して、上ウェーハＷ1 を保持した石英ガラス２９上にバ
ックアップガラス３０を載せてハウジング３１によって
保持し、各クランプシリンダ３３を駆動してクランプレ
バー３２を回動し、このハウジング３１の外周部を係止
することで、このハウジング３１と共にバックアップガ
ラス３０、石英ガラス２９、上ウェーハＷ1 を位置決め
保持する。そして、基部ステージ１８と共に真空チャッ
ク２２に吸着保持された下ウェーハＷ2 を、石英ガラス
２９に接着固定されている上ウェーハＷ 1 に押し当て
る。このとき、下ウェーハＷ2 の押し当て荷重をロード
セル２１によって検出し、所定の押し当て荷重となるよ
うに調整する。
【００２５】なお、ロードセル２１による押し当て荷重
の調整を行う他に、真空チャック２２に隣接して設けた
ギャップセンサ２４によるギャップ量での調整も可能で
ある。所定の押し当て荷重あるいはギャップ量が得られ
ると、紫外線照射装置４２を密着状態に保持された各ウ
ェーハＷ1 ，Ｗ2 の上方に移動する。そして、この紫外
線照射装置４２から紫外線を下方に一定時間照射するこ
とで、上ウェーハＷ1と下ウェーハＷ2 との間の紫外線
硬化型接着剤が硬化して接着され、三次元的に積層した
ＬＳＩが得られる。
の調整を行う他に、真空チャック２２に隣接して設けた
ギャップセンサ２４によるギャップ量での調整も可能で
ある。所定の押し当て荷重あるいはギャップ量が得られ
ると、紫外線照射装置４２を密着状態に保持された各ウ
ェーハＷ1 ，Ｗ2 の上方に移動する。そして、この紫外
線照射装置４２から紫外線を下方に一定時間照射するこ
とで、上ウェーハＷ1と下ウェーハＷ2 との間の紫外線
硬化型接着剤が硬化して接着され、三次元的に積層した
ＬＳＩが得られる。
【００２６】その後、真空チャック２２による下ウェー
ハＷ2 の吸引を停止し、基部ステージ１８を下降するこ
とにより、積層された下ウェーハＷ2 は上ウェーハＷ1
に接着して石英ガラス２９側に残る。そして、各クラン
プシリンダ３３によってクランプレバー３２によるハウ
ジング３１の係止を解除することで、バックアップガラ
ス３０や石英ガラス２９の保持が解除され、互いに接着
した各ウェーハＷ1 ，Ｗ2 が石英ガラス２９に保持され
た状態で取り出され、次工程へ送られる。次工程では、
上ウェーハＷ1 と石英ガラス２９との間のワックスを溶
剤によって取り除き、石英ガラス２９より剥離する。更
に、ウェーハを積層する場合には、得られた積層ＬＳＩ
を薄層化し、前述と同様の処理を繰り返す。
ハＷ2 の吸引を停止し、基部ステージ１８を下降するこ
とにより、積層された下ウェーハＷ2 は上ウェーハＷ1
に接着して石英ガラス２９側に残る。そして、各クラン
プシリンダ３３によってクランプレバー３２によるハウ
ジング３１の係止を解除することで、バックアップガラ
ス３０や石英ガラス２９の保持が解除され、互いに接着
した各ウェーハＷ1 ，Ｗ2 が石英ガラス２９に保持され
た状態で取り出され、次工程へ送られる。次工程では、
上ウェーハＷ1 と石英ガラス２９との間のワックスを溶
剤によって取り除き、石英ガラス２９より剥離する。更
に、ウェーハを積層する場合には、得られた積層ＬＳＩ
を薄層化し、前述と同様の処理を繰り返す。
【００２７】
【発明の効果】以上、実施例を挙げて詳細に説明したよ
うに、本発明のセンサ取付位置調整装置によれば、検出
センサをセンサホルダを介してハウジングのセンサ取付
孔内に軸方向移動自在に装着し、端部に外部の回転駆動
手段と着脱可能な係合部を有する調整軸をハウジングに
周方向回転自在に装着し、この調整軸にねじ歯車を形成
してセンサホルダにこのねじ歯車が噛み合うねじ部を形
成したので、調整軸を回転するだけで、センサホルダに
取付けられた検出センサを軸方向に移動してその取付位
置を容易に、且つ、微少に調整することができ、センサ
取付精度の向上を図ることができる。
うに、本発明のセンサ取付位置調整装置によれば、検出
センサをセンサホルダを介してハウジングのセンサ取付
孔内に軸方向移動自在に装着し、端部に外部の回転駆動
手段と着脱可能な係合部を有する調整軸をハウジングに
周方向回転自在に装着し、この調整軸にねじ歯車を形成
してセンサホルダにこのねじ歯車が噛み合うねじ部を形
成したので、調整軸を回転するだけで、センサホルダに
取付けられた検出センサを軸方向に移動してその取付位
置を容易に、且つ、微少に調整することができ、センサ
取付精度の向上を図ることができる。
【００２８】また、本発明のセンサ取付位置調整装置に
よれば、検出センサをこの検出センサと対向する部材の
対向面との距離を計測するギャップセンサとしたので、
このギャップセンサ取付位置を容易に調整することがで
きる。ことができる。
よれば、検出センサをこの検出センサと対向する部材の
対向面との距離を計測するギャップセンサとしたので、
このギャップセンサ取付位置を容易に調整することがで
きる。ことができる。
【図１】本発明の一実施例に係るセンサ取付位置調整装
置を表すギャップセンサ取付部の断面図である。
置を表すギャップセンサ取付部の断面図である。
【図２】本実施例の三次元ＬＳＩ積層装置の概略図であ
る。
る。
【図３】三次元ＬＳＩ積層装置のウェーハ保持部を表す
正面図である。
正面図である。
【図４】ウェーハ保持部を表す平面図である。
【図５】一般的な三次元光ＬＳＩの積層方法を表す概略
図である。
図である。
Ｗ1 上ウェーハ Ｗ2 下ウェーハ １２ 石英ガラス １８ 基部ステージ ２１ ロードセル ２２ 真空チャック ２３ ハロゲン照射ランプ ２４ ギャップセンサ（検出センサ） ２９ 石英ガラス ３０ バックアップガラス（透過性耐変形部材） ３１ ハウジング ３２ クランプレバー ４０ 赤外線顕微鏡ユニット ４２ 紫外線照射装置 ５１ センサホルダ ５２ 調整軸 ５３ レンチ（回転駆動手段） ５４ 係合部 ５７ ねじ歯車 ５８ ねじ部 ５９ 圧縮ばね
Claims (2)
- 【請求項１】 検出センサがセンサホルダを介してハウ
ジングに形成されたセンサ取付孔内に該センサ取付孔の
軸方向移動自在に装着されると共に、該軸方向一方に付
勢支持され、一端部に外部の回転駆動手段と着脱可能な
係合部を有する調整軸が前記ハウジングに前記検出セン
サに隣接した位置に該調整軸の周方向回転自在で、且
つ、軸方向移動不能に装着され、前記調整軸にねじ歯車
が形成される一方、前記センサホルダに該ねじ歯車が噛
み合うねじ部が形成されたことを特徴とするセンサ取付
位置調整装置。 - 【請求項２】 前記検出センサは、該検出センサと対向
する部材の対向面との距離を計測するギャップセンサで
あることを特徴とする請求項１記載のセンサ取付位置調
整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23821495A JPH0979803A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | センサ取付位置調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23821495A JPH0979803A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | センサ取付位置調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0979803A true JPH0979803A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=17026849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23821495A Withdrawn JPH0979803A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | センサ取付位置調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0979803A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116312665A (zh) * | 2023-03-15 | 2023-06-23 | 深圳长城开发精密技术有限公司 | 一种硬盘基片防两片装置 |
-
1995
- 1995-09-18 JP JP23821495A patent/JPH0979803A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116312665A (zh) * | 2023-03-15 | 2023-06-23 | 深圳长城开发精密技术有限公司 | 一种硬盘基片防两片装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021203 |