JPH0980121A

JPH0980121A - 集積回路の故障診断装置及び方法

Info

Publication number: JPH0980121A
Application number: JP7256857A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Sakaguchi; 和宏坂口
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1995-09-08
Filing date: 1995-09-08
Publication date: 1997-03-28

Abstract

(57)【要約】【課題】故障集積回路に対し、その故障の物理的位置、
物理的原因を推定する診断装置の提供。【解決手段】レイアウト情報とプロセス情報と故障知識
データベースからの故障知識から回路抽出ユニットによ
り集積回路中の故障が存在する被疑故障領域に形成され
ている正常時の等価回路を得、故障リスト作成ユニット
により被疑故障領域に発生する可能性のある故障をリス
トアップし、リストアップされた故障を等価回路に想定
して故障が発生した時の集積回路の動作を回路シミュレ
ータにより求め、集積回路の被疑故障領域に形成されて
いる回路の実際の動作を信号測定ユニットにより観測
し、シミュレーション結果と観測結果を比較し両者が一
致すれば想定した故障が実際に発生していると推定す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は集積回路の故障診断
装置及び故障診断方法に関し、特にコンピュータを用い
たアナログ回路シミュレーションにより集積回路の故障
箇所及び故障原因を推定する集積回路の故障診断装置及
び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の集積回路の故障診断装置
は、故障した集積回路の故障原因を究明するために、故
障箇所を特定する目的で用いられてきた。

【０００３】従来の故障診断装置として、例えば特開平
5-45423号公報には、電子ビームテスタを用いる集積回
路の故障解析方法において、あるテストパターンを入力
した状態で一時的に保持し、他のテストパターン入力時
間よりも長くした状態で電位コントラストを取得するこ
とにより、集積回路の電位コントラスト像を高速に得、
電荷の蓄積による電位コントラストの劣化を回避するよ
うにした構成が提案されている。すなわち、この従来技
術は、ＬＳＩテスタを用いて集積回路を駆動しながら、
その駆動タイミングに同期して電位コントラスト像を得
るもので、その際、電位コントラスト像を得るテストパ
ターンの印加状態を一時保持しながら電位コントラスト
像を得ることを特徴としている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】また、従来のコンピュ
ータを利用したシミュレーションに基づく故障診断方法
としては、論理レベル回路の上に表現された故障を、そ
の位置と、縮退故障あるいは短絡故障等の故障内容を推
定するものもあるが、実デバイスにおける故障の物理的
位置、及び故障の物理的原因を推定するための具体的手
法は未だ提案されていない。

【０００５】一方、上記公報記載の従来の集積回路の故
障診断方法においては、集積回路の配線電位を電子ビー
ムを利用して測定するという物理的観測にのみ基づいて
故障診断を行っているため、近時の集積回路の微細化、
多層化、及び高密度化により、目的とする配線電位の測
定が困難となり、故障箇所の特定が不可能となるという
問題がある。

【０００６】従って、本発明は上記従来技術の問題点を
解消し、集積回路に対しその故障の物理的位置、及び物
理的原因を有効に推定することを可能とする故障診断装
置及び方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、故障集積回路の正常時のレイアウト情報
を記憶保持するレイアウト情報記憶手段と、前記故障集
積回路の正常時の電気的性質を決定するプロセス情報を
記憶保持するプロセス情報記憶手段と、集積回路で発生
する故障に関する知識情報を所定のデータベース形態に
て格納してなる故障知識データベース部と、前記レイア
ウト情報記憶手段からの前記レイアウト情報と、前記プ
ロセス情報記憶手段からの前記プロセス情報と、から、
前記故障集積回路の正常時の等価回路を抽出し、該等価
回路と、前記故障集積回路の正常時における所定の要素
と、の対応付けを行なう回路抽出手段と、前記レイアウ
ト情報と、前記プロセス情報と、前記故障知識データベ
ース部の前記故障に関する知識情報と、から、前記故障
集積回路の正常時の回路において発生する可能性のある
故障を探索して故障候補群（「故障リスト」ともいう）
を作成する故障リスト作成手段と、前記故障集積回路の
所定の測定箇所の電気信号を測定して回路動作情報を作
成する信号測定手段と、前記故障候補群の中からある故
障を選択して想定故障とし、該想定故障を前記等価回路
に反映すると共に、前記回路動作情報に基づいて、前記
想定故障が前記等価回路に存在したときの回路動作をシ
ミュレーションするシミュレーション手段と、前記シミ
ュレーション手段によるシミュレーション結果と、前記
回路動作情報と、を比較する比較手段と、を含むことを
特徴とする集積回路の故障診断装置を提供する。

【０００８】また、本発明は、(a)半導体集積回路装置
上の被疑故障領域のレイアウトデータと、該半導体集積
回路装置のプロセス情報と、から、前記被疑故障領域の
等価回路を抽出し、(b)故障に関する知識を格納した故
障知識データベースを参照して、前記被疑故障領域にて
発生する可能性のある故障候補群を作成し、(c)前記故
障候補群から選択された故障候補を想定故障として前記
被疑故障領域の前記等価回路に挿入し、(d)前記半導体
集積回路装置における、前記被疑故障領域における所定
の測定箇所の信号を信号測定手段にて取得した実観測デ
ータに基づき、前記想定故障が存在するものと想定した
際の前記等価回路の回路動作を所定の回路シミュレータ
によりシミュレーションし、(e)前記シミュレーション
結果と、前記実観測データと、を照合し、前記シミュレ
ーション結果と前記実観測データとが一致した際に、前
記想定故障を前記被疑故障領域における故障として出力
し、(f)前記シミュレーション結果と前記実観測データ
とが不一致の場合、前記故障候補群の中から別の故障候
補を選択して想定故障として再び前記工程(c)乃至(e)を
行なう、上記各工程を含むことを特徴とする半導体集積
回路装置の故障診断方法を提供する。

【０００９】本発明の半導体集積回路装置の故障診断方
法においては、好ましくは、前記信号測定手段が、電子
線により前記半導体集積回路装置の配線電位を測定する
電子ビームプロービング装置を含むことを特徴とする。

【００１０】

【作用】本発明による集積回路の故障診断装置は、集積
回路上で、試験装置（電子ビームテスタ又はＬＳＩテス
タ等）により故障有りと判定された被疑故障領域のレイ
アウトデータと、集積回路の回路中の各素子、配線等の
素子値、寄生効果など回路の電気的性質を決定するプロ
セス情報と、から、この被疑故障領域の正常時のトラン
ジスタレベルの回路情報（トランジスタ、抵抗、及び容
量等から構成される電気回路としての情報）を回路抽出
ユニットにより抽出する。

【００１１】また、被疑故障領域のレイアウト情報と、
プロセス情報と、過去に如何なる故障が発生し、如何な
る条件下で発生し易いか等の故障に関する知識を格納し
てなる故障知識データベースと、から、この被疑故障領
域にて発生する可能性のある故障を、故障発生箇所、及
び故障原因を含めてリストアップして故障リスト（故障
一覧）を作成する。

【００１２】そして、故障リストから故障を選択し、こ
の故障が存在したと仮定したときのトランジスタレベル
の回路を想定する。

【００１３】一方、実故障デバイスにおける、被疑故障
領域の所定のノード（例えば配線部）の信号等を信号取
得機（信号測定器）により取得する。

【００１４】この取得データ（実観測データ）に基づ
き、故障を想定したトランジスタレベルの等価回路の回
路動作をアナログ回路シミュレータ（例えば古典的な回
路シミュレータとして「ＳＰＩＣＥ」等がある）により
シミュレーションする。

【００１５】このシミュレーション結果と、実故障デバ
イスでの被疑故障領域における回路動作の実観測データ
と、を照合する。

【００１６】その結果、シミュレーション結果と実観測
データとが互いに一致すれば想定した故障が実故障デバ
イスにおいて発生しているものと推定し、もし異なるな
らば、故障リストから別の故障を選択して新たに故障を
想定し、シミュレーション及び比較処理を繰り返す。

【００１７】本発明によれば、想定する故障には、故障
箇所及び故障原因の情報が含まれているため、被疑故障
領域における故障の箇所及びその形態（従って故障原
因）が推定可能となる。

【００１８】さらに、回路シミュレータを複数備え、等
価回路を始め粗くシミュレーションして、被疑故障領域
の測定ポイントにおける実観測データと比較し、一致の
場合には更に精度のよい回路シミュレータでシミュレー
ションし、不一致の場合故障リストから別の故障候補を
選択するように構成したことにより、適切でない（非現
実的な）故障に対して長時間の回路シミュレーションを
行なうという無駄（ロス）が回避され、故障診断の高速
化及び効率化を達成している。

【００１９】

【発明の実施の形態】図面を参照して、本発明の実施の
形態を以下に説明する。図１は本発明の一実施形態に係
る故障診断装置の構成を示すブロック図である。

【００２０】図１を参照して、レイアウト情報ユニット
１は、故障デバイス９での被疑故障領域のレイアウトデ
ータを含む。また、プロセス情報ユニット２は故障デバ
イス９の電気的性質を決定するデバイスの構造上のデー
タ（素子パラメータ、配線情報、寄生効果等）を含む。

【００２１】故障知識データベースユニット３は、集積
回路の故障において、どのような故障が発生するか、ど
のような故障が発生しやすいか等の故障に関する知識情
報（経験則を含む）を格納してなる知識データベースで
ある。

【００２２】回路抽出ユニット４は、レイアウト情報ユ
ニット１及びプロセス情報ユニット２からデータを入力
して、故障デバイス９における被疑故障領域の正常時の
電気的動作を記述するトランジスタ、抵抗、及び容量等
から構成される、いわゆるトランジスタレベルの等価回
路を作成し、その接続情報（ネットリスト）、及び各素
子値情報（回路シミュレーション用のデバイスパラメー
タ等を含む）からなる等価回路情報５を出力する。

【００２３】故障リスト作成ユニット６は、レイアウト
情報ユニット１とプロセス情報ユニット２と故障知識デ
ータベースユニット３のデータを参照して、被疑故障領
域において予測される故障を、レイアウト上における故
障の物理的位置、及び故障の物理的原因、被疑故障領域
の等価回路における故障の位置、及び故障形態とを含め
てリストアップし故障リスト７を作成する。

【００２４】信号測定ユニット10は、故障デバイス９に
おける被疑故障領域の正常時の等価回路情報５に基づ
き、この等価回路に対する、入力信号と、出力信号と、
等価回路中の所定の節点（ノード）の信号を、故障デバ
イス９を実際に動作させることにより取得して回路動作
情報11を得る。

【００２５】ここで、故障リスト７から１つの故障を選
択して、これを想定故障とする（「処理ステップＡ」と
いう）。

【００２６】この想定故障と、等価回路情報５と、回路
動作情報11の等価回路に対する入力信号とから、想定故
障が存在したと仮定した時の故障デバイス９の挙動（be
haviour）を回路シミュレータ８により求め、シミュレ
ーションデータ12を得る（「処理ステップＢ」とい
う）。

【００２７】比較ユニット13は、回路動作情報11と、シ
ミュレーションデータ12と、を入力して比較し、両者が
一致すれば、想定故障を出力し、不一致であるならば情
報を特に出力しなくてもよい（「処理ステップＣ」とい
う）。

【００２８】そして、処理ステップＡ、Ｂ、Ｃを故障リ
スト７の全要素、または一部の要素（故障が検出された
場合、処理を停止する場合等）について繰り返す。

【００２９】図１を参照して、本実施形態の動作を以下
に詳説する。

【００３０】回路抽出ユニット４は、レイアウト情報ユ
ニット１と、プロセス情報ユニット２と、から、例えば
(a)被疑故障領域内の各配線の配置情報、(b)スルーホー
ルによる配線の接続情報、(c)配線の長さ、及び配線
幅、(d)トランジスタのサイズ、(e)トランジスタと配線
の接続状況、(f)配線同士の位置関係、(g)各素子の３次
元の配置情報、(h)配線の抵抗値、(i)トランジスタの諸
パラメータ、(j)配線間容量、(k)各素子の素子値等を計
算し、被疑故障領域内に形成されている正常時の電気回
路をトランジスタや抵抗、容量等の各素子からなる等価
回路にて表現し、等価回路情報５を作成する。

【００３１】また、被疑故障領域内に形成されている各
配線、及び各素子と、被疑故障領域の正常時の等価回路
における各配線（節点）、及び各素子と、のそれぞれの
対応表を作成し、合わせて等価回路情報５に出力する。

【００３２】故障リスト作成ユニット６は、レイアウト
情報ユニット１と、プロセス情報ユニット２と、故障知
識データベースユニット３と、から、被疑故障領域にお
いて発生が予想される故障をリストアップする。これ
は、故障知識データベースユニット３中の故障知識、例
えば、近接配線間で短絡故障が発生し易いという知識に
基づき、予め定められた閾値から短絡故障が発生する可
能性のある箇所をリストアップする。

【００３３】また、一般に、スルーホール部で断線が発
生し易いという知識に基づき、被疑故障領域のレイアウ
トデータからスルーホール部を抽出し、断線の発生によ
りどのような故障となるかを故障候補としてリストアッ
プする。

【００３４】故障知識データベースユニット３には、配
線系、トランジスタ系、及び両者にまたがる故障等、故
障に関する知識情報から得られた故障知識がデータベー
ス化されて格納されている。

【００３５】故障知識データベースユニット３に格納さ
れた故障知識に基づき、故障リスト作成ユニット６がリ
ストアップ出力した故障リストは、発生が予想される故
障を要素として構成され、故障リストの各要素は、レイ
アウト上での故障位置、及び故障原因と、等価回路にお
ける故障位置、及び故障形態の各情報を含んでいる。

【００３６】故障デバイス９における被疑故障領域での
各部の信号は、信号測定ユニット10により観測される。
このとき、観測すべき信号は、後に説明されるように予
め指示される。実測した回路の各部の信号は、回路動作
情報11として所定の記憶領域に記録格納される。

【００３７】故障リスト７の要素から想定する故障（想
定故障）を一つ選び（処理ステップＡ）、等価回路情報
５から被疑故障領域に想定故障が発生したときの回路情
報を作成し、この回路に回路動作情報11から得られる被
疑故障領域に対する入力信号を与えたときの回路動作を
回路シミュレータ８によりシミュレーションし、シミュ
レーションデータ12として出力する（処理ステップ
Ｂ）。

【００３８】比較ユニット13は、故障デバイス９の実観
測データである回路動作情報11とシミュレーションデー
タ12とを比較し、両者が一致した場合に想定故障が故障
デバイス９で実際に発生しているものと推定し、想定故
障を出力する。逆に両者が一致しない場合、想定故障は
故障デバイス９には発生していないものと判定する（処
理ステップＣ）。

【００３９】前記の如く、処理ステップＡ、Ｂ、及びＣ
を故障リスト７の、全要素あるいは一部の要素について
行なう。

【００４０】図２は、本発明の一実施形態における故障
リスト作成ユニット６の構成の一例を説明するためのブ
ロック図である。

【００４１】図２を参照して、物理故障作成ユニット20
は、故障知識データベースユニット３（図１参照）等か
らの知識情報に基づき、故障デバイス９の被疑故障領域
において、どこに（位置）、どのような（形態）故障が
発生し易いかを判定し、その故障位置、及び故障原因を
物理故障リストの要素として物理故障リスト21を作成す
る。

【００４２】次に、故障翻訳ユニット22では、物理故障
作成ユニット20により出力された物理故障が、被疑故障
領域に対する正常時の等価回路の中（例えばネットリス
ト中）において、どこに（位置）、どのように表現され
るか（故障モデル）を探索調査し、調査結果から、故障
位置、故障形態、及び物理故障の情報と合わせたものを
故障要素として故障リスト７に出力する。

【００４３】図３は、本発明の一実施形態における信号
測定ユニット10の構成を一例を説明するためのブロック
図である。

【００４４】図３を参照して、等価回路情報５とレイア
ウト情報ユニット１から、故障デバイス９（図１参照）
の被疑故障領域の等価回路に対する入力部および出力部
を測定ポイント指示ユニット30により選択し、故障デバ
イス９の被疑故障領域に対する入力部および出力部の配
線の物理的位置を決定し、測定ポイントリスト31に出力
する。

【００４５】この測定ポイントリスト31の情報から、信
号測定器32により故障デバイス９における実際の各信号
を観測する。

【００４６】図４は、本発明の一実施形態における信号
測定ユニット10の別の形態を説明するためのブロック図
である。

【００４７】図４を参照して、電子ビームプローバ40
は、測定ポイントリスト31から、信号を測定する配線の
位置情報を取得し、指示された配線の信号電位を測定す
る。

【００４８】図５は、本発明の一実施形態における信号
測定ユニット10のさらに別の形態を説明するためのブロ
ック図である。

【００４９】図５を参照して、プローバ50は、測定ポイ
ントリスト31から、信号を測定する配線の位置情報を取
得し、指示された配線に対して探針（プローブ）を立
て、該配線の信号電位を測定する。

【００５０】図６は、本発明の別の実施形態を説明する
ためのブロック図である。図６には、図１に示した前記
実施形態における回路シミュレータ８の構成の一例が示
されている。なお、図６では、図１に示した、レイアウ
ト情報ユニット１、プロセス情報ユニット２、故障知識
データベースユニット３、回路抽出ユニット４、故障リ
スト作成ユニット６、故障デバイス９、信号測定ユニッ
ト10等は省略されている。

【００５１】図６を参照して、回路シミュレータ８は、
第１の回路シミュレータＡ60、第２の回路シミュレータ
Ｂ61とを備えている。

【００５２】第１の回路シミュレータＡ60は、高速に動
作するが精度は高くないシミュレータである。このシミ
ュレータＡ60を用いて、等価回路情報５と故障リスト７
から想定故障を含めた回路をシミュレーションし、その
結果をシミュレーションデータＡ61として出力する
（「シミュレーションＡ」という）。

【００５３】シミュレーションデータＡ61と、回路動作
情報11と、を比較ユニット13により比較し（「比較Ａ」
という）、両者が一致すれば、次に、シミュレーション
精度の高い第２の回路シミュレータＢ62により、シミュ
レーションＡと同様にして、等価回路の回路動作のシミ
ュレーションを行ない（「シミュレーションＢ」とい
う）、比較Ａと同様にして、回路動作情報11とシミュレ
ーションデータＢ63とを比較する（「比較Ｂ」とい
う）。

【００５４】上記比較Ａ、Ｂにおいて、回路動作情報11
とシミュレーションデータとが一致しない場合には、想
定故障は、故障デバイス９には発生していないものと推
定し、故障リスト７から別の故障を選択して想定故障と
する。

【００５５】上記したシミュレーション及び比較の処理
ステップを複数回実行し、最終的に故障デバイス９で発
生している故障を推定する。

【００５６】このように、予めシミュレーション精度の
粗い回路シミュレータで故障を想定した等価回路の回路
動作を高速にシミュレーションし、該シミュレーション
結果と実観測データとを比較し、不一致の場合には、故
障リストから別の故障を選択し、一致した場合には、等
価回路を更に精度の高い回路シミュレータでシミュレー
ションして故障の推定を行なうようにしたことにより故
障の推定を効率化する（非現実的な故障候補は高速版の
回路シミュレータの結果により直ちに棄却される）。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明による集積
回路の故障診断装置は、レイアウト情報とプロセス情報
と故障知識とから、実際に発生する可能性のある故障を
リストアップし、リストアップされた故障を想定した回
路シミュレーションを行ない、実観測データと照合する
ことにより、故障デバイスで発生している故障を推定し
たことにより、集積回路において実際に故障が発生して
いる箇所を指摘することが可能となり、しかも故障の原
因を推定できる。

【００５８】また、本発明によれば、レイアウト情報、
プロセス情報、及び故障知識に基づき、故障診断を行な
うように構成したことにより、非現実的な故障を想定す
ることが回避され、故障診断時間を短縮化するという効
果を有する。

【００５９】さらに、半導体装置の高集積化により、従
来の物理的観測による故障診断手法による故障推定が困
難になりつつあるなかで、本発明によれば、レイアウト
情報、プロセス情報からシミュレーションにより診断を
行なっているため、集積回路の高集積化には直接的に影
響されずに故障診断を行なうことを可能とするというの
効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る、集積回路の故障診
断装置の構成を説明するためのブロック図である。

【図２】本発明の一実施形態における、故障リスト作成
ユニットの構成例を説明するためのブロック図である。

【図３】本発明の一実施形態における、信号測定ユニッ
トの構成の一例を説明するためのブロック図である。

【図４】本発明の一実施形態における、信号測定ユニッ
トの別の構成例を説明するためのブロック図である。

【図５】本発明の一実施形態における、信号測定ユニッ
トのさらに別の構成例を説明するためのブロック図であ
る。

【図６】本発明の一実施形態における、回路シミュレー
タの別の構成例を説明するためのブロック図である。

【符号の説明】

１レイアウト情報ユニット２プロセス情報ユニット３故障知識データベースユニット４回路抽出ユニット５等価回路情報６故障リスト作成ユニット７故障リスト８回路シミュレータ９故障デバイス 10 信号測定ユニット 11 回路動作情報 12 シミュレーションデータ 13 比較ユニット 20 物理故障作成ユニット 21 物理故障リスト 22 故障翻訳ユニット 30 測定ポイント指示ユニット 31 測定ポイントリスト 32 信号測定器 40 電子ビームプローバ 50 プローバ 60 回路シミュレータＡ 61 シミュレーションデータＡ 62 回路シミュレータＢ 63 シミュレーションデータＢ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】故障集積回路の正常時のレイアウト情報を
記憶保持するレイアウト情報記憶手段と、前記故障集積回路の正常時の電気的性質を決定するプロ
セス情報を記憶保持するプロセス情報記憶手段と、集積回路で発生する故障に関する知識情報を所定のデー
タベース形態にて格納してなる故障知識データベース部
と、前記レイアウト情報記憶手段からの前記レイアウト情報
と、前記プロセス情報記憶手段からの前記プロセス情報
と、から、前記故障集積回路の正常時の等価回路を抽出
し、該等価回路と、前記故障集積回路の正常時における
所定の要素と、の対応付けを行なう回路抽出手段と、前記レイアウト情報と、前記プロセス情報と、前記故障
知識データベース部の前記故障に関する知識情報と、か
ら、前記故障集積回路の正常時の回路において発生する
可能性のある故障を探索して故障候補群（「故障リス
ト」ともいう）を作成する故障リスト作成手段と、前記故障集積回路の所定の測定箇所の電気信号を測定し
て回路動作情報を作成する信号測定手段と、前記故障候補群の中からある故障を選択して想定故障と
し、該想定故障を前記等価回路に反映すると共に、前記
回路動作情報に基づいて、前記想定故障が前記等価回路
に存在したときの回路動作をシミュレーションするシミ
ュレーション手段と、前記シミュレーション手段によるシミュレーション結果
と、前記回路動作情報と、を比較する比較手段と、を含むことを特徴とする集積回路の故障診断装置。
【請求項２】前記比較手段による比較の結果、前記シミ
ュレーション結果と前記回路動作情報に含まれる実観測
データとが互いに一致した際に、前記想定故障を推定さ
れた故障として出力し、不一致の場合には、前記故障候
補群の中から別の故障を新たに選択して想定故障とし、
前記シミュレーション手段において該想定故障に基づき
回路動作のシミュレーションが行なわれ、シミュレーシ
ョン結果が前記実観測データと前記比較手段で比較され
るように制御されることを特徴とする請求項１記載の集
積回路の故障診断装置。
【請求項３】前記回路抽出手段が、前記故障集積回路に
ついてトランジスタレベルの等価回路を生成することを
特徴とする請求項１記載の集積回路の故障診断装置。
【請求項４】前記故障リスト作成手段が、前記故障集積
回路の正常時の集積回路において、実際の故障（物理故
障）の発生位置及び該物理故障の形態を決定して物理故
障リストを作成する物理故障リスト作成手段と、前記物理故障を前記等価回路中における故障として変換
する故障翻訳手段と、を含むことを特徴とする請求項１記載の集積回路の故障
診断装置。
【請求項５】前記信号測定手段が、前記等価回路と前記
レイアウト情報とから、前記故障集積回路のレイアウト
における測定箇所を確定指示する手段（「測定箇所指示
手段」という）と、前記測定箇所指示手段からの情報に基づき前記故障集積
回路の所定の測定箇所の信号を観測測定する信号取得手
段と、を含むことを特徴とする請求項１記載の集積回路の故障
診断装置。
【請求項６】前記信号取得手段が、電子線による集積回
路の配線電位を測定する電子ビームプロービング装置を
含むことを特徴とする請求項５記載の集積回路の故障診
断装置。
【請求項７】前記信号取得手段が、探針を集積回路に接
触させ、前記集積回路の所定の測定箇所の信号を測定す
るプローバ装置を含むことを特徴とする請求項５記載の
集積回路の故障診断装置。
【請求項８】前記シミュレーション手段が、アナログ回
路の回路動作のシミュレーションを行なう回路シミュレ
ータを含むことを特徴とする請求項１記載の集積回路の
故障診断装置。
【請求項９】前記シミュレーション手段が、互いにシミ
ュレーション精度の異なる複数の回路シミュレータを含
むことを特徴とする請求項８記載の集積回路の故障診断
装置。
【請求項１０】前記シミュレーション手段が、前記等価
回路をまずシミュレーション精度の粗い第１の回路シミ
ュレータにて回路動作のシミュレーションを行ない、前
記第１の回路シミュレータによるシミュレーション結果
と前記回路動作情報における実観測データとが互いに一
致した場合には、前記第１の回路シミュレータよりもシ
ミュレーション精度の高い別の回路シミュレータにて前
記等価回路をシミュレーションし、シミュレーション結
果に基づき前記実観測データとの一致を照合することを
特徴とする請求項９記載の集積回路の故障診断装置。
【請求項１１】(a)半導体集積回路装置上の被疑故障領
域のレイアウトデータと、該半導体集積回路装置のプロ
セス情報と、から、前記被疑故障領域の等価回路を抽出
し、 (b)故障に関する知識を格納した故障知識データベース
を参照して、前記被疑故障領域にて発生する可能性のあ
る故障候補群を作成し、 (c)前記故障候補群から選択された故障候補を想定故障
として前記被疑故障領域の前記等価回路に挿入し、 (d)前記半導体集積回路装置における、前記被疑故障領
域における所定の測定箇所の信号を信号測定手段にて取
得した実観測データに基づき、前記想定故障が存在する
ものと想定した際の前記等価回路の回路動作を所定の回
路シミュレータによりシミュレーションし、 (e)前記シミュレーション結果と、前記実観測データ
と、を照合し、前記シミュレーション結果と前記実観測
データとが一致した際に、前記想定故障を前記被疑故障
領域における故障として出力し、 (f)前記シミュレーション結果と前記実観測データとが
不一致の場合、前記故障候補群の中から別の故障候補を
選択して想定故障として再び前記工程(c)乃至(e)を行な
う、上記各工程を含むことを特徴とする半導体集積回路装置
の故障診断方法。
【請求項１２】前記信号測定手段が、電子線により前記
半導体集積回路装置の配線電位を測定する電子ビームプ
ロービング装置を含むことを特徴とする請求項１１記載
の半導体集積回路装置の故障診断方法。
【請求項１３】前記工程(b)において生成される故障候
補群の各要素が、前記被疑故障領域のレイアウト上にお
ける故障の物理的位置及び故障の物理的原因と、前記被
疑故障領域の前記等価回路における故障の位置及び故障
形態と、を含むことを特徴とする請求項１１記載の半導
体集積回路装置の故障診断方法。