JPH0983087A - Polarization controllable and wavelength controllable semiconductor optical device and optical network using the same - Google Patents

Polarization controllable and wavelength controllable semiconductor optical device and optical network using the same

Info

Publication number
JPH0983087A
JPH0983087A JP7258103A JP25810395A JPH0983087A JP H0983087 A JPH0983087 A JP H0983087A JP 7258103 A JP7258103 A JP 7258103A JP 25810395 A JP25810395 A JP 25810395A JP H0983087 A JPH0983087 A JP H0983087A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
loss
gain
polarization
wavelength
semiconductor optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7258103A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3420407B2 (en
Inventor
Mamoru Uchida
護 内田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP25810395A priority Critical patent/JP3420407B2/en
Priority to US08/637,453 priority patent/US5757832A/en
Priority to EP96106666A priority patent/EP0742623B1/en
Priority to DE69614602T priority patent/DE69614602T2/en
Publication of JPH0983087A publication Critical patent/JPH0983087A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3420407B2 publication Critical patent/JP3420407B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】高速変調時のチャーピングを抑えることができ
且つ波長制御可能な半導体レーザおよび透過特性が偏波
無依存であり且つ波長制御可能な半導体光フィルタ等の
半導体光デバイスである。 【解決手段】互いに独立な偏波モードを許容する光導波
路103、104とブラッグ反射型或は分布帰還型共振
器を有する半導体光デバイスである。半導体光デバイス
は、偏波モードの偏波状態に応じて異なる利得を与える
利得領域と、偏波モードの偏波状態に応じて異なる損失
を利得領域とは独立に与える損失領域と、独立な偏波モ
ードの1つを任意に選択する手段と、利得及び損失領域
と独立に波長を制御する手段とを有する。
(57) Abstract: A semiconductor optical device such as a semiconductor laser capable of suppressing chirping at the time of high-speed modulation and capable of wavelength control, and a semiconductor optical filter having transmission characteristics independent of polarization and capable of wavelength control. Is. A semiconductor optical device having optical waveguides (103, 104) that allow polarization modes independent of each other and a Bragg reflection type or distributed feedback type resonator. A semiconductor optical device has a gain region that gives different gains depending on the polarization state of the polarization mode, a loss region that gives different loss depending on the polarization state of the polarization mode independently of the gain region, and an independent polarization region. It has means for arbitrarily selecting one of the wave modes and means for controlling the wavelength independently of the gain and loss regions.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信および光情
報処理等に用いられる光源および光フィルタ等の半導体
光デバイスに関するものであり、より詳細には偏波制御
及び波長制御可能な半導体レーザないし半導体フィルタ
等の半導体光デバイス及びこれを用いた光ネットワーク
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor optical device such as a light source and an optical filter used for optical communication and optical information processing, and more particularly to a semiconductor laser or a semiconductor laser capable of controlling polarization and wavelength. The present invention relates to a semiconductor optical device such as a semiconductor filter and an optical network using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、光通信の課題の一つに大容量化が
ある。その1つのアプローチが、時間軸の大容量化(高
速化およぴ時間多重)と空間軸の大容量化(波長多重
化)を同時に行う波長多重光LANである。ここで用い
られる光デバイス、たとえば、半導体レーザには、低チ
ャープ化と波長制御(波長可変およぴ波長安定)に厳し
い要求がある。低チャープと波長制御に関してはそれぞ
れ有効な提案がされている。例えば、低チャープ化に関
しては、半導体レーザをCW(連続動作)で駆動し、誘
電体や半導体による変調器により強度変調を行うもの
や、発振光の偏波面を信号に応じてスイッチングさせる
方法、いわゆる偏波変調法がある。たとえば、特開昭2
‐42593号公報ないしは特開昭62‐144426
号公報に開示されている。また、波長制御に関しては、
特開平2−246393号公報に開示がある。しかしな
がら、低チャーブど波長制御を同時に解決した例は報告
されていない。
2. Description of the Related Art At present, one of the problems in optical communication is increasing the capacity. One approach is a wavelength-multiplexed optical LAN that simultaneously increases the capacity of the time axis (speedup and time multiplexing) and the capacity of the space axis (wavelength multiplexing). The optical device used here, for example, a semiconductor laser, has severe requirements for lowering the chirp and controlling the wavelength (tuning wavelength and stabilizing wavelength). Effective proposals have been made for low chirp and wavelength control. For example, in order to reduce the chirp, a semiconductor laser is driven by CW (continuous operation), intensity modulation is performed by a modulator made of a dielectric or a semiconductor, or a method of switching a polarization plane of oscillated light according to a signal, so-called There is a polarization modulation method. For example, Japanese Patent Laid-Open No. Sho 2
-42593 or JP-A-62-144426
No. 6,086,045. Regarding wavelength control,
It is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2-246393. However, no example has been reported in which low chirp and wavelength control are simultaneously solved.

【0003】また、波長多重光源と組み合わせる波長可
変光フィルタとしては、偏波依存性の大きい半導体光フ
ィルタか、パスバンドの広い非半導体型のものが提案さ
れているのみであり、大容量化に対応できるものは未だ
提案されていない。
Further, as a wavelength tunable optical filter to be combined with a wavelength division multiplex light source, only a semiconductor optical filter having a large polarization dependency or a non-semiconductor type filter having a wide pass band has been proposed, so that the capacity can be increased. What can be dealt with has not been proposed yet.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】以上の事を要約すれ
ば、次の様なことが言える。 (1)低チャープと波長制御を同時に実現した光源はな
かった。 (2)上記光源と組み合わせて使用できる波長可変光フ
ィルタはなかった。 (3)簡単な構成で実現できる波長多重LANはなかっ
た。
SUMMARY OF THE INVENTION To summarize the above, the following can be said. (1) There was no light source that simultaneously realized low chirp and wavelength control. (2) There is no variable wavelength optical filter that can be used in combination with the above light source. (3) There is no wavelength multiplexing LAN that can be realized with a simple configuration.

【0005】よって、本発明の第1の目的(請求項1乃
至6、請求項15及び16)は、高速変調時のチャーピ
ングを抑えることができ且つ波長制御可能な半導体レー
ザおよび透過特性が偏波無依存であり且つ波長制御可能
な半導体光フィルタ等の半導体光デバイスをほぼ同構造
で提供することにある。
Therefore, a first object of the present invention (claims 1 to 6, claim 15 and 16) is to suppress the chirping at the time of high-speed modulation and to control the wavelength of the semiconductor laser and the transmission characteristics to be biased. An object of the present invention is to provide a semiconductor optical device such as a semiconductor optical filter that is wave-independent and capable of wavelength control with substantially the same structure.

【0006】本発明の第2の目的(請求項7乃至11及
び13)は、偏波変調特性に優れた波長制御可能な半導
体レーザ等の半導体光デバイスを提供することにある。
A second object of the present invention (claims 7 to 11 and 13) is to provide a semiconductor optical device such as a semiconductor laser having wavelength controllability which is excellent in polarization modulation characteristics.

【0007】本発明の第3の目的(請求項12及び1
4)は、波長可変特性に優れた偏波変調可能な半導体レ
ーザおよび波長可変特性に優れた半導体光フィルタ等の
半導体光デバイスを提供することにある。
A third object of the present invention (claims 12 and 1)
4) is to provide a semiconductor optical device such as a semiconductor laser capable of polarization modulation having excellent wavelength tunability and a semiconductor optical filter having excellent wavelength tunability.

【0008】本発明の第4の目的(請求項17)は、単
純な構成で実現できる高密度波長多重光ネットワークを
提供することにある。
A fourth object of the present invention (claim 17) is to provide a high-density wavelength division multiplexing optical network which can be realized with a simple structure.

【0009】[0009]

【課題を解決する為の手段】第1の目的を達成する本発
明の半導体光デバイスは、互いに独立な偏波モードを許
容する光導波路とブラッグ反射型共振器を有する半導体
光デバイスであって、それぞれの偏波モードの偏波状態
に応じて異なる利得を与える利得制御手段、それぞれの
偏波モードの偏波状態に応じて異なる損失を該利得制御
手段とは独立に与える損失制御手段と、該独立な偏波モ
ードの1つを任意に選択する手段と、前記利得及び損失
制御手段と独立に波長を制御する手段とを有することを
特徴とする。この構成において、次の様な態様にもでき
る。前記光導波路に沿って直列的に、活性層を有する利
得領域と損失層を有する損失領域と波長チューニング層
を有する波長制御領域が形成されている。更に位相制御
領域が形成されている。
A semiconductor optical device of the present invention which achieves the first object is a semiconductor optical device having an optical waveguide and a Bragg reflection type resonator which allow polarization modes independent of each other. Gain control means for giving a different gain depending on the polarization state of each polarization mode; loss control means for giving a different loss depending on the polarization state of each polarization mode independently of the gain control means; It is characterized by comprising means for arbitrarily selecting one of the independent polarization modes and means for controlling the wavelength independently of the gain and loss control means. In this configuration, the following modes are possible. A gain region having an active layer, a loss region having a loss layer, and a wavelength control region having a wavelength tuning layer are formed in series along the optical waveguide. Further, a phase control region is formed.

【0010】また、第1の目的は以下の半導体光デバイ
スでも達成される。即ち、互いに独立な偏波モードを許
容する光導波路と分布帰還型共振器を有する半導体光デ
バイスであって、それぞれの偏波モードの偏波状態に応
じて異なる利得を与える利得制御手段、それぞれの偏波
モードの偏波状態に応じて異なる損失を該利得制御手段
とは独立に与える損失制御手段と、該独立な偏波モード
の1つを任意に選択する手段と、前記利得及び損失制御
手段と独立に波長を制御する手段とを有することを特徴
とする。この構成において、次の様な態様にもできる。
前記光導波路に沿って直列的に、夫々活性層を有する複
数の利得領域と損失層を有する損失領域とが形成されて
いる。前記複数の利得領域と損失領域とに並行して波長
チューニング層が形成されている。
The first object is also achieved by the following semiconductor optical device. That is, it is a semiconductor optical device having an optical waveguide and a distributed feedback resonator that allow polarization modes independent of each other, and gain control means for giving different gains depending on the polarization state of each polarization mode. A loss control means for giving a different loss depending on a polarization state of a polarization mode independently of the gain control means, a means for arbitrarily selecting one of the independent polarization modes, and the gain and loss control means. And a means for controlling the wavelength independently. In this configuration, the following modes are possible.
A plurality of gain regions each having an active layer and a loss region each having a loss layer are formed in series along the optical waveguide. A wavelength tuning layer is formed in parallel with the plurality of gain regions and loss regions.

【0011】第2の目的を達成する本発明の半導体光デ
バイスにおいては、上記の構成で、前記利得制御手段
が、前記光導波路に沿って設けられた利得領域に形成さ
れた活性層の構造が多重量子井戸構造を有することであ
る。また、前記利得制御手段が、利得領域の活性層の構
造が多重量子井戸構造を有し、それを構成する量子井戸
のウェル層とバリア層の層厚や組成、歪み応力の少なく
とも1つが他の量子井戸と異なっていることである(非
対称歪み量子井戸)。また、前記損失制御手段が、 前
記光導波路に沿って設けられた損失領域の光導波路の一
部に量子閉じこめシュタルク効果を有する量子井戸構造
に代表される超構造を用いることである。また、前記偏
波モードを任意に選択する手段が、前記光導波路に沿っ
て設けられた損失領域に形成された損失層に印加する電
圧を制御すること及び前記光導波路に沿って設けられた
利得領域に形成された活性層に注入するキャリア密度を
制御することの少なくとも一方を行なうことである。ま
た、前記波長を制御する手段が、前記ブラッグ反射型共
振器が形成されている領域の光導波路の実効的な屈折率
を、キャリア注入あるいは電圧印加によって変化させる
ことであることを特徴とする。また、前記波長を制御す
る手段が、前記光導波路に沿って設けられた利得領域と
損失領域に夫々形成された活性層及び損失層に並行して
設置された波長チューニング層に、前記利得制御手段及
び損失制御手段とは独立に、キャリア注入あるいは電圧
印加することであることを特徴とする。
In the semiconductor optical device of the present invention which achieves the second object, in the above structure, the gain control means has a structure of an active layer formed in a gain region provided along the optical waveguide. It has a multiple quantum well structure. Further, in the gain control means, the structure of the active layer in the gain region has a multiple quantum well structure, and at least one of the layer thickness and composition of the well layer and the barrier layer of the quantum well and the strain stress which compose the quantum well structure is different from the other. It is different from the quantum well (asymmetric strain quantum well). The loss control means uses a superstructure represented by a quantum well structure having a quantum confined Stark effect in a part of an optical waveguide in a loss region provided along the optical waveguide. Further, the means for arbitrarily selecting the polarization mode controls the voltage applied to the loss layer formed in the loss region provided along the optical waveguide, and the gain provided along the optical waveguide. At least one of controlling the density of carriers injected into the active layer formed in the region is performed. Also, the means for controlling the wavelength is characterized in that the effective refractive index of the optical waveguide in the region where the Bragg reflection type resonator is formed is changed by carrier injection or voltage application. Further, the means for controlling the wavelength includes the gain control means in the wavelength tuning layer provided in parallel with the active layer and the loss layer formed respectively in the gain region and the loss region provided along the optical waveguide. And carrier injection or voltage application independently of the loss control means.

【0012】第3の目的を達成する本発明の半導体光デ
バイスにおいては、上記の構成で、前記ブラッグ反射型
共振器が形成されている領域の光導波路を成すチューニ
ング層に多重量子井戸を用いることを特徴とする。ま
た、活性層及び損失層に並行して設置された前記波長チ
ューニング層に多重量子井戸を用いることを特徴とす
る。
In the semiconductor optical device of the present invention which achieves the third object, in the above structure, a multiple quantum well is used for the tuning layer forming the optical waveguide in the region where the Bragg reflection type resonator is formed. Is characterized by. The wavelength tuning layer is provided in parallel with the active layer and the loss layer, and multiple quantum wells are used.

【0013】上記の構成では、例えば、 1)利得領域と損失領域の両方の偏波依存性を制御する
ことで、下記(1)〜(3)式を無理なく満足させるこ
とができる。 2)偏波制御とは独立に設けた波長制御領域により屈折
率を変化させ、下記(2)式で決まる波長に制御でき
る。
In the above configuration, for example, 1) by controlling the polarization dependence of both the gain region and the loss region, it is possible to satisfy the following expressions (1) to (3) without difficulty. 2) It is possible to control the wavelength to be determined by the following formula (2) by changing the refractive index by the wavelength control region provided independently of the polarization control.

【0014】第4の目的を達成する本発明の光ネットワ
ークにおいては、光伝送路上に複数の端局を有して成る
波長多重光ネットワーク(例えば、バス型ないしはリン
グ型の形態を有する)で、端局を構成する送信部に上記
構成の半導体レーザを用い、その出射面に偏光子を配置
して特定の偏波の光のみを送出し、かつ該端局を構成す
る受信部に上記構成の半導体光フィルタを用い、任意の
偏波の光に対して波長選択して受光することを特徴とす
る。
The optical network of the present invention which achieves the fourth object is a wavelength division multiplexing optical network (for example, having a bus type or ring type) having a plurality of terminal stations on an optical transmission line, The semiconductor laser having the above-mentioned configuration is used for the transmitting section which constitutes the terminal station, and a polarizer is arranged on the emission surface thereof to send out only light of a specific polarization, and the receiving section which constitutes the terminal station has the above-mentioned constitution. A semiconductor optical filter is used to select the wavelength of light of arbitrary polarization and receive the light.

【0015】ここで、波長可変偏波変調レーザに求めら
れる条件について簡単に説明する。半導体レーザの発振
波長は以下の発振条件式で決定される。
Here, the conditions required for the wavelength tunable polarization modulation laser will be briefly described. The oscillation wavelength of the semiconductor laser is determined by the following oscillation conditional expression.

【0016】 Γ・gth=Γ・αin+αM十αsc (1) ここで、αM=l/2Leff・ln(1/R1・1/R2) exp(i・(2neff・Leff/λ十φ))=0 (2) ここで Г:活性層への光閉じ込め係数 gth:しきい利得 αin:内部損失 αM:反射損失 αsc:その他の損失(散乱損失、結合損失等) Ri:共振器内の1点からみた2方向の実効的な反射率 neff:導波路の実効的な屈折率 Leff:実効的な共振器長 λ:発振波長 φ:位相 である これに加え、直接偏波変調用半導体レーザには、別の条
件として、互いに独立な偏波モード、例えばTEモード
とTMモードを有し、かつそのしきい利得がほぼ等しい
こと、即ち、 ΓTE・gthTE=ΓTM・gthTM (3) が要求される。
Γ · g th = Γ · α in + α M + α sc (1) where α M = l / 2L eff · ln (1 / R 1 · 1 / R 2 ) exp (i · (2n eff・ L eff / λ ten φ)) = 0 (2) where Γ: optical confinement coefficient in active layer g th : threshold gain α in : internal loss α M : reflection loss α sc : other loss (scattering loss) , Coupling loss, etc.) R i : Effective reflectance in two directions viewed from one point in the resonator n eff : Effective refractive index of waveguide L eff : Effective resonator length λ: Oscillation wavelength φ: In addition to this, the semiconductor laser for direct polarization modulation has, as another condition, polarization modes independent of each other, for example, a TE mode and a TM mode, and their threshold gains are substantially equal, that is, , Γ TE · g thTE = Γ TM · g thTM (3) is required.

【0017】(1)でしきい利得が、(2)で波長が、
(3)で偏波スイッチング条件が決定される。しきい利
得と偏波モードの選択については実施例の説明から明ら
かであるので、ここでは波長可変機能について説明す
る。DFBレーザの場合、neffはキャリア注入や電圧
印加によって制御することができる。そのため、従来の
DFBレーザでは、共振器方向を多分割し、キャリア分
布(=利得分布)を制御することで、利得と波長制御を
行っていた。この方法では、利得と波長制御が独立でな
いため、波長制御の点だけからも望ましい方法ではな
い。本発明の骨子は、偏波変調を安定に動作させるため
に導入した独立制御の利得制御手段(利得領域)と損失
制御手段(損失領域)とは別に、波長制御手段(波長制
御用のチューニング層)を前者とは別に設け独立に波長
制御を行うというものである。
The threshold gain is obtained in (1), and the wavelength is obtained in (2).
The polarization switching condition is determined in (3). Since the selection of the threshold gain and the polarization mode is apparent from the description of the embodiment, the wavelength variable function will be described here. In the case of a DFB laser, n eff can be controlled by carrier injection or voltage application. Therefore, in the conventional DFB laser, the cavity direction is multi-divided and the carrier distribution (= gain distribution) is controlled to control the gain and the wavelength. In this method, since gain and wavelength control are not independent, it is not desirable from the standpoint of wavelength control alone. The essence of the present invention is that the wavelength control means (tuning layer for wavelength control) is provided separately from the independent control gain control means (gain region) and loss control means (loss region) introduced to stably operate polarization modulation. ) Is provided separately from the former to independently control the wavelength.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】実施例1 図1は本発明の第1の実施例の共振器方向の断面図であ
る。共振器方向に4分割され、それぞれ利得領域、損失
領域、位相制御領域および波長制御領域となっている。
図2は共振器方向に垂直な方向の断面図である。各領域
は電気的には独立であるが、光学的には共通の光ガイド
層103等を介して結合している。具体的な層構成は以
下の通りである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. 1 is a sectional view in the resonator direction of a first embodiment of the present invention. It is divided into four in the resonator direction, and each of them is a gain region, a loss region, a phase control region, and a wavelength control region.
FIG. 2 is a sectional view in a direction perpendicular to the resonator direction. Each region is electrically independent, but is optically coupled via the common light guide layer 103 and the like. The specific layer configuration is as follows.

【0019】図1において、101はn型InP基板、
l02はn型InPクラッド層、103はn型InGa
AsP光ガイド層、104aはアンドープGaInAs
P活性層、104bはアンドープGaInAsP損失
層、104cはInGaAsPチューニング層、105
はp型InPクラッド層、106はp型InGaAsP
キャップ層である。また、図2において、110は高抵
抗InP埋め込み層である。
In FIG. 1, 101 is an n-type InP substrate,
102 is an n-type InP clad layer, 103 is an n-type InGa
AsP light guide layer, 104a is undoped GaInAs
P active layer 104b undoped GaInAsP loss layer 104c InGaAsP tuning layer 105
Is a p-type InP cladding layer, 106 is a p-type InGaAsP
It is a cap layer. Further, in FIG. 2, 110 is a high resistance InP buried layer.

【0020】また、l07はn型クラッド層102とn
型光ガイド層103の境界に形成されたグレーティング
であり、108a〜108d、およぴ109は電極であ
る。111はλ/2コート、112は無反射(AR)コ
ートである。グレーティング107のピッチは、ブラッ
グ波長のTMモードが利得ピークになるように設定して
ある。活性層104a及ぴ損失層104bの構造は本実
施例では同じとした。
Reference numeral 107 denotes the n-type cladding layer 102 and n.
The gratings are formed on the boundary of the mold light guide layer 103, and 108a to 108d and 109 are electrodes. Reference numeral 111 is a λ / 2 coat, and 112 is an antireflection (AR) coat. The pitch of the grating 107 is set so that the TM mode of the Bragg wavelength has a gain peak. The structures of the active layer 104a and the loss layer 104b are the same in this embodiment.

【0021】図3は活性層104a及ぴ損失層(吸収層
とも言う)104bのバンド構造の模式図である。図3
において、ウェル層121はInGaAs(引っ張り歪
み1.0%)から成り10nmの厚さであり、バリア層
122はInGaAsP(波長1.1μm組成)から成
り10nmの厚さであり、そしてSCH層123はIn
GaAsP(波長1.2μm組成)から成り100nm
の厚さである。井戸数は5周期とした。
FIG. 3 is a schematic diagram of a band structure of the active layer 104a and the loss layer (also referred to as an absorption layer) 104b. FIG.
, The well layer 121 is made of InGaAs (tensile strain 1.0%) and has a thickness of 10 nm, the barrier layer 122 is made of InGaAsP (wavelength of 1.1 μm composition) and has a thickness of 10 nm, and the SCH layer 123 is In
100 nm consisting of GaAsP (wavelength 1.2 μm composition)
Is the thickness of. The number of wells was 5 cycles.

【0022】次に第1実施例の動作原理について説明す
る。図4は、電極108aから電極109に電流を流し
て、利得領域にキャリア(〜1018cm-3)を注入した
ときの、TEモードおよTMモードに対する利得(正確
にはΓ・g)と共振器損失(Γ・αin+αM+αsc)と
の関係を示している(構軸は波長)。TEとTMとで利
得スペクトルが異なるのは、活性層104aの歪み量子
井戸のバンド構造の変化によるものである。共振器損失
スペクトルが、2つの極小値を示すのは、一つのブラッ
グ波長に対して、偏波の違いにより実効的な屈折率が異
なるからである。図4のように、TEモードとTMモー
ドの利得プロファイルだけを変えるだけでは、DFBレ
ーザの発振でTMモードとTEモードを選択することは
困難である。
Next, the operating principle of the first embodiment will be described. FIG. 4 shows gains (correctly Γ · g) for TE mode and TM mode when a carrier (-10 18 cm −3 ) is injected into the gain region by passing a current from the electrode 108a to the electrode 109. The relationship with the resonator loss (Γ · α in + α M + α sc ) is shown (axis is wavelength). The difference in the gain spectrum between TE and TM is due to the change in the band structure of the strained quantum well of the active layer 104a. The reason why the resonator loss spectrum has two minimum values is that the effective refractive index differs for one Bragg wavelength due to the difference in polarization. As shown in FIG. 4, it is difficult to select the TM mode and the TE mode in the oscillation of the DFB laser only by changing the gain profiles of the TE mode and the TM mode.

【0023】図5は、利得領域にキャリアを注入するだ
けでなく、かつ、損失領域の電極108bと電極109
間に逆バイアス(たとえば、〜−5V)を印加し、共振
器スペクトルを最適化したときの同関係を示している。
共振器損失スベクトルのピーク値がTMの方が小さくな
るのは、量子閉じこめ効果(QCSE)の損失の偏波依
存性によるものである。このように、利得スペクトルだ
けでなく共振器損失スペクトルも制御することで、
(3)式を容易に満たすことができる。
FIG. 5 shows not only the injection of carriers into the gain region but also the electrodes 108b and 109 in the loss region.
The same relationship is shown when a reverse bias (for example, -5V) is applied in between to optimize the resonator spectrum.
The reason why the peak value of the resonator loss vector is smaller in TM is due to the polarization dependence of the loss of the quantum confinement effect (QCSE). In this way, by controlling not only the gain spectrum but also the resonator loss spectrum,
Expression (3) can be easily satisfied.

【0024】(3)式を保ったまま、電極l08dから
電極109に電流を流すことにより、波長制御(チュー
ニング)領域に注入するキャリアを変化させることでn
effを変化させ、(2)式より発振波長を掃引すること
ができる(図6)。このとき、位相((2)式のφ)が
ずれることがあるので、位相調整領域の電極108cか
ら電極l09へ電流を流し、チューニング層104cに
キャリアを注入することで位相を制御することができ
る。
While maintaining the expression (3), a current is made to flow from the electrode 108d to the electrode 109 to change the carriers injected into the wavelength control (tuning) region.
By changing eff , the oscillation wavelength can be swept by the equation (2) (FIG. 6). At this time, the phase (φ in the equation (2)) may shift, so that the phase can be controlled by causing a current to flow from the electrode 108c in the phase adjustment region to the electrode l09 and injecting carriers into the tuning layer 104c. .

【0025】定常状態で(3)式が成り立つよう、利得
領域の電流と損失領域の印加電圧を調整したあとは、変
調方法には幾つか方法がある。 (1)信号を損失領域に電圧として印加する。この方法
の長所は、QCSEによる高速変調が可能であること、
共振器内のキャリア分布が一定に保たれるため線幅が極
めて狭くできる点にある。 (2)信号を利得領域に電流として重畳する。この方法
の長所は変調回路が簡単であることである。
After adjusting the current in the gain region and the applied voltage in the loss region so that the equation (3) holds in a steady state, there are several modulation methods. (1) A signal is applied as a voltage to the loss region. The advantage of this method is that high-speed modulation by QCSE is possible,
The line width can be extremely narrowed because the carrier distribution in the resonator is kept constant. (2) The signal is superimposed on the gain region as a current. The advantage of this method is that the modulation circuit is simple.

【0026】次に、本発明を波長可変フィルタ(以下T
WFと略記する)として動作させる場合について説明す
る。図4〜図6を再度用いて説明する。この場合、λl
およびλ2はTWFに入射した光のTM成分およびTE
成分と考えることにする。TWFとしての基本動作は以
下の通りである。
Next, the present invention is applied to a wavelength tunable filter (hereinafter referred to as T
The case of operating as WF) will be described. It demonstrates using FIG. 4 thru | or 6 again. In this case, λl
And λ2 are the TM component and TE of the light incident on the TWF.
I will consider it as an ingredient. The basic operation of the TWF is as follows.

【0027】(1)利得ピーク付近にブラッグ波長が来
るように前述の波長可変機構を用ぃてコントロールする
(スタンバイ状態)。 (2)所望の波長の光を含む複数の波長の光(偏光方向
はランダム)をTWF端面に入射させる。 (3)複数の光の中から所望の光(あるいはそう思われ
る光)を前述の波長可変機構あるいは他の波長選択手段
を用いて特定する。TWFに入射した光は一般的には緩
やかな時間変化を持つ円偏光なので、TWF内ではTE
成分とTM成分を持つ。図4〜図6は1つの波長を選択
したときのTE成分(λ2)およTM成分(λ1)を表
している。 (4)ー方の偏波方向の強度が強くなるように、利得領
域および損失領域のキャリアあるいは電圧を制御する。 (5)時間経過により偏波方向が変動するので、フィル
タの後に配置した受光器等でTWF出力をモニタしなが
ら利得領域および損失領域を制御する。
(1) The Bragg wavelength is controlled near the gain peak by using the wavelength tunable mechanism described above (standby state). (2) Light of a plurality of wavelengths including light of a desired wavelength (polarization direction is random) is made incident on the TWF end face. (3) A desired light (or a light that seems to be so) is specified from a plurality of lights by using the above-mentioned wavelength tunable mechanism or other wavelength selection means. Since the light incident on the TWF is generally circularly polarized light with a gradual change in time, the TE
It has a component and a TM component. 4 to 6 show the TE component (λ2) and the TM component (λ1) when one wavelength is selected. (4) The carriers or voltages in the gain region and the loss region are controlled so that the intensity in the one polarization direction becomes stronger. (5) Since the polarization direction changes with the lapse of time, the gain region and the loss region are controlled while monitoring the TWF output with a light receiver or the like arranged after the filter.

【0028】以上のように、偏波が緩やかに変動してい
ても、本実施例では常に最大感度でTEモードあるいは
TMモードの光を選択することができる。これは、通常
1個の半導体レーザ型光フィルタを用いて波長選択をす
る場合に、偏波を安定にするために偏波アナライザ等が
不可欠なことを考えると、大幅な改善である。
As described above, in this embodiment, it is possible to always select the TE mode light or the TM mode light with the maximum sensitivity even if the polarization changes gently. This is a great improvement in consideration of the fact that a polarization analyzer or the like is indispensable for stabilizing the polarization when wavelength selection is usually performed using one semiconductor laser type optical filter.

【0029】波長可変光フィルタの構造は、第1の実施
例とほぼ同様でよい(λ/2コート111はARコート
に置き換える)。この場合、送信部と受信部で構造が変
わらないため、集積化に適しているという大きな利点が
ある。また、コスト的にも有利である。ただ、光フィル
タの場合、線幅を狭くすることより、偏波依存性を小さ
くすることのほうが重要である。そのための変更を行つ
ても良い。たとえば、通常の光フィルタの場合、グレー
ティングの結合パラーメータ(いわゆるκ・L、κは結
合係数、Lは結合長)は大きい方がよいので、共振器長
を変える、利得領域と損失領域の比を変える、グレーテ
ィングの深さを変える、電界分布を変える等が考えられ
る。
The structure of the variable wavelength optical filter may be almost the same as that of the first embodiment (the λ / 2 coat 111 is replaced with an AR coat). In this case, there is a great advantage that it is suitable for integration because the structures of the transmitting unit and the receiving unit do not change. It is also advantageous in terms of cost. However, in the case of an optical filter, it is more important to reduce the polarization dependence than to reduce the line width. You may make changes for that purpose. For example, in the case of an ordinary optical filter, it is better that the coupling parameter of the grating (so-called κ · L, κ is the coupling coefficient, L is the coupling length) is larger, so that the ratio of the gain region to the loss region that changes the resonator length is It is possible to change the depth of the grating, change the electric field distribution, and so on.

【0030】さらに、この光フィルタを2つ平行に配置
し、信号光を分岐してそれぞれに入射させ、一方をTE
モード、他方をTMモードで受光するようにすれば容易
に偏波ダイバーシティが実現できる。
Further, two of these optical filters are arranged in parallel, the signal light is branched and made incident on each of them, and one of them is TE.
Polarization diversity can be easily realized by receiving light in the TM mode and the other in the TM mode.

【0031】実施例2 次に第2の実施例について説明する。第1の実施例の構
造において、利得領域と損失領域の構造を独立に最適化
することでさらに高性能化を図ることができる。構造は
活性層および損失層以外は第1の実施例と同じである。
図7は活性層104aの構造を、図8は損失層104b
の構造を表している。活性層104aは、InGaAs
およびInGaAsPをウェル層171、172とする
非対称歪み量子井戸構造(バリア層173はGaInA
sP)になっている。
[0031] Example 2 Next, a second embodiment will be described. In the structure of the first embodiment, the performance of the gain region and the loss region can be further optimized by independently optimizing the structure. The structure is the same as that of the first embodiment except the active layer and the loss layer.
FIG. 7 shows the structure of the active layer 104a, and FIG. 8 shows the loss layer 104b.
Represents the structure of. The active layer 104a is InGaAs
And an asymmetric strained quantum well structure using InGaAsP as well layers 171 and 172 (the barrier layer 173 is GaInA
sP).

【0032】本実施例では、InGaAsウェル層17
1(厚さ10nm)のみに1.0%の引っ張り歪みを導
入し、InGaAsPウェル層172(λ=1.65μ
m、厚さ10nm))およびInGaAsPバリア層1
73(λ=1.3μm、厚さ10nm)は歪みのない2
重量子井戸構造を用いた。また、図8に示す様に、損失
領域の構造は、ウェル層121はInGaAs(引っ張
り歪み1.7%)の組成で10nmの厚さであり、バリ
ア層122はInGaAsP(波長1.2μm組成)の
組成で10nmの厚さであり、そしてSCH層123は
InGaAsP(波長1.2μm組成)の組成で100
nmの厚さである。井戸数は2周期とした。
In this embodiment, the InGaAs well layer 17 is used.
1% (thickness 10 nm), a tensile strain of 1.0% was introduced, and the InGaAsP well layer 172 (λ = 1.65 μ
m, thickness 10 nm)) and InGaAsP barrier layer 1
73 (λ = 1.3 μm, thickness 10 nm) has no distortion 2
A gravitational well structure was used. Further, as shown in FIG. 8, in the structure of the loss region, the well layer 121 has a composition of InGaAs (tensile strain 1.7%) and a thickness of 10 nm, and the barrier layer 122 has a structure of InGaAsP (composition of wavelength 1.2 μm). Is 10 nm thick, and the SCH layer 123 is 100 nm thick with InGaAsP (wavelength 1.2 μm composition).
The thickness is nm. The number of wells was 2 cycles.

【0033】図9は、利得領域にキャリアを注入し且つ
損失領域に電圧印加して制御した時の利得およぴ損失ス
ベクトルの関係を示している。第1の実施例との違い
は、 1)動作電流がさらに低くなること、 2)変調効率がさらに高くなること(より小さな電流或
は電圧変化等で偏波変調できること)、 3)線幅がさらに狭くなること、 4)偏波変調可能範囲(偏波変調の前段階として利得領
域の電流と損失領域の印加電圧等を調整しておく必要が
あるが、その調整範囲が広くなること)がさらに広くな
ること、である。
FIG. 9 shows the relationship between gain and loss vector when carriers are injected into the gain region and voltage is applied to the loss region for control. The difference from the first embodiment is that 1) the operating current becomes lower, 2) the modulation efficiency becomes higher (polarization modulation can be performed with a smaller current or voltage change), and 3) the line width is 4) The polarization modulation possible range (the current in the gain region and the applied voltage in the loss region must be adjusted before the polarization modulation, but the adjustment range becomes wider) It will be even wider.

【0034】波長可変特性に関しては、第1の実施例と
変わりない。波長可変光フィルタの動作も第1実施例と
同じである。
The wavelength variable characteristic is the same as that of the first embodiment. The operation of the wavelength tunable optical filter is also the same as in the first embodiment.

【0035】実施例3 次に、波長可変範囲を広した例を示す。第1の実施例お
よび第2の実施例との違いは、チューニング層104c
をMQW構造にしたことである。図10は、チューニン
グ層のバンド構造図である。
Embodiment 3 Next, an example in which the wavelength variable range is widened will be described. The difference from the first and second embodiments is that the tuning layer 104c
Is an MQW structure. FIG. 10 is a band structure diagram of the tuning layer.

【0036】ウェル層141はInGaAs(引っ張り
歪み1.0%)の組成で10nmの厚さであり、バリア
層142はInGaAsP(波長1.2μm組成)の組
成で10nmの厚さであり、そしてSCH層143はI
nGaAsP(波長1.2μm組成)の組成で100n
mの厚さである。井戸数は5周期とした。引っ張り歪み
を導入したために、伝導帯の電子密度が大きくなること
で、チューニング層104cの実効的な屈折率変化が大
きくなるようになっている。結果的に、第1実施例にく
らべ2倍の波長可変範囲を得ることができる。波長可変
光フィルタの動作も、第1実施例にくらべ約2倍の波長
可変範囲を得ることができる。
The well layer 141 is 10 nm thick with a composition of InGaAs (tensile strain 1.0%), the barrier layer 142 is 10 nm thick with a composition of InGaAsP (wavelength 1.2 μm composition), and SCH. Layer 143 is I
nGaAsP (wavelength 1.2 μm composition) 100 n
The thickness is m. The number of wells was 5 cycles. Since the tensile strain is introduced, the electron density in the conduction band increases, so that the effective change in the refractive index of the tuning layer 104c increases. As a result, it is possible to obtain a wavelength variable range that is twice as large as that of the first embodiment. As for the operation of the wavelength tunable optical filter, it is possible to obtain a wavelength tunable range that is about twice that of the first embodiment.

【0037】実施例4 図11は本発明の第4の実施例の共振器方向の断面図で
ある。図12は共振器方向に垂直な方向の断面図であ
る。共振器方向に3分割され、それぞれ利得領域1、利
得領域2および損失領域となっている。各領域は電気的
には独立であるが、光学的には共通の光ガイド層203
やチューニング層206等を介して結合している。具体
的な層構成は以下の通りである。
Embodiment 4 FIG. 11 is a sectional view in the resonator direction of the fourth embodiment of the present invention. FIG. 12 is a sectional view in a direction perpendicular to the resonator direction. It is divided into three parts in the direction of the resonator, which are a gain region 1, a gain region 2 and a loss region, respectively. Each region is electrically independent, but is optically common to the light guide layer 203.
And the tuning layer 206 and the like. The specific layer configuration is as follows.

【0038】201はp型InP基板、202はn型I
nPクラッド層、203はn型InGaAsP光ガイド
層、204aはアンドープGaInAsP活性層、20
4bはアンドープGaInAsP損失層、205はn型
InPスベーサ層、206はInGaAsPチューニン
グ層、207はp型InPクラッド層、208はp型埋
め込み層、209はp型InGaAsPコンタクト層で
ある。また、216はn型InP横方向コンタクト層で
ある。更に、210はn型クラッド層202とn型光ガ
イド層203の境界に形成されたλ/4位相シフトを有
するグレーティングであり、212a〜212c、21
3および214は電極である。両端面には無反射(A
R)コート215を施してある。グレーティング210
のピッチは、ブラッグ波長のTMモードが利得ビークに
なるように設定してある。活性層204a及ぴ損失層2
04bの構造は本実施例では同じとし、そしてそれらの
バンド構造は図3と同じものである。
Reference numeral 201 is a p-type InP substrate, and reference numeral 202 is an n-type I substrate.
nP cladding layer, 203 n-type InGaAsP optical guide layer, 204a undoped GaInAsP active layer, 20
4b is an undoped GaInAsP loss layer, 205 is an n-type InP spacer layer, 206 is an InGaAsP tuning layer, 207 is a p-type InP cladding layer, 208 is a p-type buried layer, and 209 is a p-type InGaAsP contact layer. 216 is an n-type InP lateral contact layer. Further, 210 is a grating having a λ / 4 phase shift formed at the boundary between the n-type cladding layer 202 and the n-type light guide layer 203, and 212a to 212c, 21.
3 and 214 are electrodes. No reflection on both ends (A
R) Coat 215 is applied. Grating 210
The pitch is set so that the TM mode of the Bragg wavelength becomes a gain beak. Active layer 204a and loss layer 2
The structure of 04b is the same in this example, and their band structure is the same as in FIG.

【0039】次に動作原理について説明する。これにつ
いても本質的に第1実施例と同じであるので、図4〜図
6を用いて説明する。図4は、第4実施例の電極213
から電極214に電流を流して、利得領域1および2に
均等にキャリア(〜1018cm-3)を注入したときの、
TEモードおよTMモードに対する利得(正確にはΓ・
g)と共振器損失(Γ・αin+αM+αsc)との関係を
も示す(構軸は波長)。TEとTMとで利得スペクトル
が異なるのは、活性層204aの歪み量子井戸のバンド
構造の変化によるものである。共振器損失スペクトル
が、2つの極小値を示すのは、一つのブラッグ波長に対
して、偏波の違いにより実効的な屈折率が異なるからで
ある。図4のように、TEモードとTMモードの利得プ
ロファイルだけを変えるだけでは、DFBレーザの発振
でTMモードとTEモードを選択することは困難であ
る。これらは第1実施例と実質的に同じである。
Next, the operation principle will be described. Since this is also essentially the same as the first embodiment, it will be described with reference to FIGS. FIG. 4 shows the electrode 213 of the fourth embodiment.
When a current is flown from the electrode to the electrode 214 to uniformly inject carriers (-10 18 cm -3 ) into the gain regions 1 and 2,
Gain for TE mode and TM mode (exactly Γ ·
g) and the resonator loss (Γ · α in + α M + α sc ) are also shown (the axis is the wavelength). The difference in gain spectrum between TE and TM is due to the change in the band structure of the strained quantum well of the active layer 204a. The reason why the resonator loss spectrum has two minimum values is that the effective refractive index differs for one Bragg wavelength due to the difference in polarization. As shown in FIG. 4, it is difficult to select the TM mode and the TE mode in the oscillation of the DFB laser only by changing the gain profiles of the TE mode and the TM mode. These are substantially the same as in the first embodiment.

【0040】図5は、第4実施例の利得領域1および2
に不均一にキャリアを注入することで、利得プロファイ
ルを最適化し、損失領域に逆バイアス(たとえば、〜−
5V)を印加したときの同関係をも示している。共振器
損失スベクトルのピーク値がTMの方が小さくなるの
は、量子閉じこめ効果(QCSE)の損失の偏波依存性
によるものである。このように、第4実施例のでも、利
得スペクトルだけでなく共振器損失スペクトルも制御す
ることで、(3)式を容易に満たすことができる。尚、
このとき、利得領域1および2への不均一キャリア注入
により位相の調整も行われる。
FIG. 5 shows the gain regions 1 and 2 of the fourth embodiment.
The gain profile is optimized by nonuniformly injecting carriers into the loss region, and a reverse bias (for example, ~-
The same relationship when 5 V) is applied is also shown. The reason why the peak value of the resonator loss vector is smaller in TM is due to the polarization dependence of the loss of the quantum confinement effect (QCSE). As described above, also in the fourth embodiment, the expression (3) can be easily satisfied by controlling not only the gain spectrum but also the resonator loss spectrum. still,
At this time, the phase is also adjusted by non-uniform carrier injection into the gain regions 1 and 2.

【0041】(3)式を保ったまま、電極212(21
2aおよび/または212b)から電極214に電流を
流すことにより、利得領域1および/または2に注入す
るキャリアを変化させることでneffを変化させ、
(2)式より発振波長を掃引することができる(図
6)。このとき、位相((2)式のφ)の制御も行な
う。
While maintaining the expression (3), the electrode 212 (21
2a and / or 212b) causes a current to flow to the electrode 214 to change carriers injected into the gain regions 1 and / or 2 to change n eff ,
The oscillation wavelength can be swept by the equation (2) (FIG. 6). At this time, the phase (φ in equation (2)) is also controlled.

【0042】定常状態で(3)式が成り立つよう、利得
領域1および2の電流と損失領域の印加電圧を調整した
あとは、変調方法には、第1実施例と同様に、幾つか方
法がある。 (1)信号を損失領域に電圧として印加する。この方法
の長所は、第1実施例で述べた通りである。 (2)信号を利得領域1および2の片方或は両方に電流
として重畳する。この方法の長所も第1実施例で述べた
通りである。
After adjusting the currents in the gain regions 1 and 2 and the applied voltage in the loss region so that the equation (3) is established in the steady state, there are several methods for the modulation method as in the first embodiment. is there. (1) A signal is applied as a voltage to the loss region. The advantage of this method is as described in the first embodiment. (2) The signal is superposed on one or both of the gain regions 1 and 2 as a current. The advantage of this method is also as described in the first embodiment.

【0043】次に、本実施例を波長可変フィルタとして
動作させる場合についても、第1実施例の所で述べた通
りである。
The case of operating this embodiment as a wavelength tunable filter is also as described in the first embodiment.

【0044】実施例5 第4実施例に対しても、第2実施例および第3実施例の
所で述べた様な構造にする変更ができる。その変更例の
動作、長所についてもそこで述べた通りである。
Embodiment 5 The fourth embodiment can also be modified to have the structure as described in the second and third embodiments. The operation and advantages of the modified example are as described above.

【0045】実施例6 次に本発明のデバイスを光ネットワークヘ適用した例に
ついて述べる。図13および図14はバス型光ネットワ
ークおよびリング型光ネットワークヘの適用例であり、
光ノード401〜406に上記デバイスが搭載されてい
る。第1実施例〜第5実施例で述べた半導体レーザの出
射面に偏光子を配置し、特定偏波光(例えばTE光)の
みを取り出し、伝送路へ送出できる。400は光バスラ
インであり、411〜416は端末装置である。
Embodiment 6 Next, an example in which the device of the present invention is applied to an optical network will be described. 13 and 14 are application examples to a bus type optical network and a ring type optical network,
The above devices are mounted on the optical nodes 401 to 406. By disposing a polarizer on the emission surface of the semiconductor laser described in the first to fifth embodiments, only specific polarized light (for example, TE light) can be taken out and sent to the transmission line. Reference numeral 400 is an optical bus line, and 411 to 416 are terminal devices.

【0046】一方、上記実施例で述べた半導体光フィル
タに、第1実施例で説明した波長可変機構を用いて、伝
送路からの任意の偏光状態にある入射光を受光する。時
間経過によって、この偏光状態は変動するが、利得領域
および損失領域を制御することで常に最大効率で受光す
ることができる。
On the other hand, the wavelength tunable mechanism described in the first embodiment is used in the semiconductor optical filter described in the above embodiment to receive incident light in an arbitrary polarization state from the transmission line. Although this polarization state changes with the passage of time, it is possible to always receive light with maximum efficiency by controlling the gain region and the loss region.

【0047】さらに、この光フィルタを2つ平行に配置
し、信号光を分岐してそれぞれに入射させ、一方をTE
モード、他方をTMモードで受光するようにすれば容易
に偏波ダイバーシテイが実現できる。
Further, two of these optical filters are arranged in parallel, the signal light is branched and made incident on each of them, and one of them is TE.
Polarization diversity can be easily realized by receiving light in the TM mode and the other mode.

【0048】本発明の半導体レーザは、高速変調時にも
線幅が狭くかつ安定している。本発明の光フィルタは、
パスバンドが狭く波長可変範囲が広い。本発明の半導体
レーザと半導体光フィルタはほは同構造をしているの
で、ノードの集積化が容易であるとともに、低価格化が
実現できる。
The semiconductor laser of the present invention has a narrow line width and is stable even at high speed modulation. The optical filter of the present invention is
The pass band is narrow and the tunable range is wide. Since the semiconductor laser and the semiconductor optical filter of the present invention have almost the same structure, it is easy to integrate the nodes and the cost can be reduced.

【0049】また、偏光子を使用しなければ異なる偏波
の光を同時に送出できることから、上記デバイスを用い
てネットワークの多機能化をはかることができる。例え
ば、波長可変レーザと波長可変フィルタを用いた波長多
重システムおいて、波長可変フィルタに偏波依存性をも
たせることで偏波ダイバーシティ用の光源として非常に
単純な構成で使用できる。
Further, since light of different polarizations can be transmitted at the same time without using a polarizer, it is possible to make the network multifunctional by using the above device. For example, in a wavelength multiplexing system using a wavelength tunable laser and a wavelength tunable filter, the wavelength tunable filter can be used as a light source for polarization diversity with a very simple structure by providing polarization dependency.

【0050】以上はL5μm帯で説明してきたが、他の
波長帯や材料系でも同様に成り立つ。
Although the above description has been made for the L5 μm band, the same holds true for other wavelength bands and material systems.

【0051】[0051]

【発明の効果】本発明の効果は、高密度波長多重光LA
N用等の光源および光フィルタを単純な構成で提供した
ことにある。具体的には以下の通りである。
The effects of the present invention are as follows:
The light source and the optical filter for N or the like are provided with a simple configuration. Specifically, it is as follows.

【0052】(1)低チャープと波長制御を同時に実現
した半導体レーザを実現できる。 (2)透過特性が偏波無依存かつ波長可変可能な、上記
光源と組み合わせて使用できる波長可変光フィルタを実
現できる。 (3)簡単な構成で高密度波長多重光LAN等を実現で
きる。 (4)半導体レーザと半導体光フィルタがほは同構造で
実現できるため、集積化に代表される高機能化や低価格
化に有利である。
(1) It is possible to realize a semiconductor laser that simultaneously realizes low chirp and wavelength control. (2) It is possible to realize a wavelength tunable optical filter which can be used in combination with the above light source and whose transmission characteristic is polarization independent and wavelength tunable. (3) A high-density wavelength division multiplexing optical LAN or the like can be realized with a simple configuration. (4) Since the semiconductor laser and the semiconductor optical filter can be realized with almost the same structure, it is advantageous for high functionality represented by integration and cost reduction.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1実施例の縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a first embodiment.

【図2】第1実施例の横断面図である。FIG. 2 is a transverse sectional view of the first embodiment.

【図3】第1実施例の活性層と損失層のバンド構造の模
式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram of band structures of an active layer and a loss layer of the first example.

【図4】第1実施例の動作原理の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of an operation principle of the first embodiment.

【図5】第1実施例の動作原理の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of an operation principle of the first embodiment.

【図6】第1実施例の動作原理の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of an operation principle of the first embodiment.

【図7】第2実施例の活性層のバンド構造の模式図であ
る。
FIG. 7 is a schematic diagram of a band structure of an active layer of a second embodiment.

【図8】第2実施例の損失層のバンド構造の模式図であ
る。
FIG. 8 is a schematic diagram of a band structure of a loss layer of a second example.

【図9】第2実施例の動作原理の説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of an operation principle of the second embodiment.

【図10】第3実施例のチューニング層のバンド構造の
模式図である。
FIG. 10 is a schematic diagram of a band structure of a tuning layer of a third embodiment.

【図11】第4実施例の縦断面図である。FIG. 11 is a vertical sectional view of a fourth embodiment.

【図12】第4実施例の横断面図である。FIG. 12 is a transverse sectional view of the fourth embodiment.

【図13】本発明のバス型光ネットワークを説明するブ
ロック図である。
FIG. 13 is a block diagram illustrating a bus type optical network of the present invention.

【図14】本発明のリング型光ネットワークを説明する
ブロック図である。
FIG. 14 is a block diagram illustrating a ring type optical network of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101、201 基板 102、105、202、207 クラッド層 103、203 光ガイド層 104a、204a 活性層 104b、204b 損失層 104c、206 チューニング層 106、209 キャップ層 107、210 グレーティング 108、109、212、213、214 電極 110、208 埋め込み層 111 λ/2コート 112、215 ARコート 121、141 ウェル層 122、142 バリア層 123、143 SCH層 171 InGaAs歪み井戸層 172 InGaAs井戸層 173 InGaAsPバリア層 216 横方向コンタクト層 400 光バスライン 401〜406 光ノード 411〜416 端末装置 101, 201 Substrate 102, 105, 202, 207 Clad layer 103, 203 Optical guide layer 104a, 204a Active layer 104b, 204b Loss layer 104c, 206 Tuning layer 106, 209 Cap layer 107, 210 Grating 108, 109, 212, 213 , 214 electrode 110, 208 buried layer 111 λ / 2 coat 112, 215 AR coat 121, 141 well layer 122, 142 barrier layer 123, 143 SCH layer 171 InGaAs strain well layer 172 InGaAs well layer 173 InGaAsP barrier layer 216 lateral contact Layer 400 Optical bus line 401-406 Optical node 411-416 Terminal device

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 互いに独立な偏波モードを許容する光導
波路とブラッグ反射型共振器を有する半導体光デバイス
であって、それぞれの偏波モードの偏波状態に応じて異
なる利得を与える利得制御手段、それぞれの偏波モード
の偏波状態に応じて異なる損失を該利得制御手段とは独
立に与える損失制御手段と、独立な偏波モードの1つを
任意に選択する手段と、前記利得及び損失制御手段と独
立に波長を制御する手段とを有することを特徴とする半
導体光デバイス。
1. A semiconductor optical device having an optical waveguide that allows polarization modes independent of each other and a Bragg reflection type resonator, wherein the gain control means gives different gains depending on the polarization states of the respective polarization modes. A loss control means for giving a different loss depending on the polarization state of each polarization mode independently of the gain control means, a means for arbitrarily selecting one of the independent polarization modes, and the gain and loss. A semiconductor optical device having a control means and a means for controlling a wavelength independently.
【請求項2】 前記光導波路に沿って直列的に、活性層
を有する利得領域と損失層を有する損失領域と波長チュ
ーニング層を有する波長制御領域が形成されていること
を特徴とする請求項1記載の半導体光デバイス。
2. A wavelength control region having a gain tuning region having an active layer, a loss region having a loss layer, and a wavelength tuning layer are formed in series along the optical waveguide. The semiconductor optical device described.
【請求項3】 更に位相制御領域が形成されていること
を特徴とする請求項2記載の半導体光デバイス。
3. The semiconductor optical device according to claim 2, further comprising a phase control region.
【請求項4】 互いに独立な偏波モードを許容する光導
波路と分布帰還型共振器を有する半導体光デバイスであ
って、それぞれの偏波モードの偏波状態に応じて異なる
利得を与える利得制御手段、それぞれの偏波モードの偏
波状態に応じて異なる損失を該利得制御手段とは独立に
与える損失制御手段と、独立な偏波モードの1つを任意
に選択する手段と、前記利得及び損失制御手段と独立に
波長を制御する手段とを有することを特徴とする半導体
光デバイス。
4. A semiconductor optical device having an optical waveguide that allows polarization modes independent of each other and a distributed feedback resonator, wherein the gain control means gives a different gain depending on the polarization state of each polarization mode. A loss control means for giving a different loss depending on the polarization state of each polarization mode independently of the gain control means, a means for arbitrarily selecting one of the independent polarization modes, and the gain and loss. A semiconductor optical device having a control means and a means for controlling a wavelength independently.
【請求項5】 前記光導波路に沿って直列的に、夫々活
性層を有する複数の利得領域と損失層を有する損失領域
とが形成されていることを特徴とする請求項4記載の半
導体光デバイス。
5. The semiconductor optical device according to claim 4, wherein a plurality of gain regions each having an active layer and a loss region each having a loss layer are formed in series along the optical waveguide. .
【請求項6】 前記複数の利得領域と損失領域とに並行
して波長チューニング層が形成されていることを特徴と
する請求項5記載の半導体光デバイス。
6. The semiconductor optical device according to claim 5, wherein a wavelength tuning layer is formed in parallel with the plurality of gain regions and loss regions.
【請求項7】 前記利得制御手段は、 前記光導波路に
沿って設けられた利得領域に形成された活性層の構造が
多重量子井戸構造を有することであることを特徴とする
請求項1乃至6の何れかに記載の半導体光デバイス。
7. The gain control means according to claim 1, wherein the structure of the active layer formed in the gain region provided along the optical waveguide has a multiple quantum well structure. The semiconductor optical device according to any one of 1.
【請求項8】 前記利得制御手段は、利得領域の活性層
の構造が多重量子井戸構造を有し、それを構成する量子
井戸のウェル層とバリア層の層厚や組成、歪み応力の少
なくとも1つが他の量子井戸と異なっていることである
ことを特徴とする請求項7記載の半導体光デバイス。
8. In the gain control means, the structure of the active layer in the gain region has a multiple quantum well structure, and at least one of the layer thickness and composition of the well layer and barrier layer of the quantum well and strain stress constituting the quantum well structure is formed. 8. The semiconductor optical device according to claim 7, wherein one of them is different from the other quantum well.
【請求項9】 前記損失制御手段は、 前記光導波路に
沿って設けられた損失領域の光導波路の一部に量子閉じ
こめシュタルク効果を有する量子井戸構造に代表される
超構造を用いることであることを特徴とする請求項1乃
至6の何れかに記載の半導体光デバイス。
9. The loss control means uses a superstructure represented by a quantum well structure having a quantum confined Stark effect in a part of an optical waveguide in a loss region provided along the optical waveguide. 7. The semiconductor optical device according to claim 1, wherein
【請求項10】 前記偏波モードの1つを任意に選択す
る手段は、前記光導波路に沿って設けられた損失領域に
形成された損失層に印加する電圧を制御すること及び前
記光導波路に沿って設けられた利得領域に形成された活
性層に注入するキャリア密度を制御することの少なくと
も一方を行なうことであることを特徴とする請求項1乃
至6の何れかに記載の半導体光デバイス。
10. The means for arbitrarily selecting one of the polarization modes is to control a voltage applied to a loss layer formed in a loss region provided along the optical waveguide, and to the optical waveguide. 7. The semiconductor optical device according to claim 1, wherein at least one of controlling the density of carriers injected into an active layer formed in a gain region provided along the semiconductor optical device is performed.
【請求項11】 前記波長を制御する手段は、前記ブラ
ッグ反射型共振器が形成されている領域の光導波路の実
効的な屈折率を、キャリア注入あるいは電圧印加によっ
て変化させることであることを特徴とする請求項1乃至
3の何れかに記載の半導体光デバイス。
11. The means for controlling the wavelength is to change the effective refractive index of the optical waveguide in the region where the Bragg reflection resonator is formed by carrier injection or voltage application. The semiconductor optical device according to any one of claims 1 to 3.
【請求項12】 前記ブラッグ反射型共振器が形成され
ている領域の光導波路を成すチューニング層に多重量子
井戸を用いることを特徴とする請求項1乃至3の何れか
に記載の半導体光デバイス。
12. The semiconductor optical device according to claim 1, wherein a multiple quantum well is used in a tuning layer forming an optical waveguide in a region where the Bragg reflection type resonator is formed.
【請求項13】 前記波長を制御する手段は、前記光導
波路に沿って設けられた利得領域と損失領域に夫々形成
された活性層及び損失層に並行して設置された波長チュ
ーニング層に、前記利得制御手段及び損失制御手段とは
独立に、キャリア注入あるいは電圧印加することである
ことを特徴とする請求項4乃至6の何れかに記載の半導
体光デバイス。
13. The means for controlling the wavelength comprises: an active layer formed in the gain region and a loss region provided along the optical waveguide, and a wavelength tuning layer provided in parallel with the loss layer, 7. The semiconductor optical device according to claim 4, wherein carrier injection or voltage application is performed independently of the gain control means and the loss control means.
【請求項14】 前記波長チューニング層に多重量子井
戸を用いることを特徴とする請求項13記載の半導体光
デバイス。
14. The semiconductor optical device according to claim 13, wherein multiple quantum wells are used for the wavelength tuning layer.
【請求項15】 前記デバイスが半導体レーザとして構
成されていることを特徴とする請求項1乃至14の何れ
かに記載の半導体光デバイス。
15. The semiconductor optical device according to claim 1, wherein the device is configured as a semiconductor laser.
【請求項16】 前記デバイスが半導体光フィルタとし
て構成されていることを特徴とする請求項1乃至14の
何れかに記載の半導体光デバイス。
16. The semiconductor optical device according to claim 1, wherein the device is configured as a semiconductor optical filter.
【請求項17】光伝送路上に複数の端局を有して成る波
長多重光ネットワークにおいて、端局を構成する送信部
に請求項15記載の半導体レーザを用い、その出射面に
偏光子を配置して特定の偏波の光のみを送出し、かつ該
端局を構成する受信部に請求項16記載の半導体光フィ
ルタを用い、任意の偏波の光に対して波長選択して受光
することを特徴とする光ネットワーク。
17. In a wavelength division multiplexing optical network having a plurality of terminal stations on an optical transmission line, the semiconductor laser according to claim 15 is used for a transmitting section constituting the terminal station, and a polarizer is arranged on an emission surface thereof. And transmitting only the light of a specific polarization, and using the semiconductor optical filter according to claim 16 in the receiving section which constitutes the terminal station to select and receive the light of the arbitrary polarization. Optical network characterized by.
JP25810395A 1995-04-27 1995-09-11 Semiconductor optical device capable of polarization control and wavelength control and optical network using the same Expired - Fee Related JP3420407B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25810395A JP3420407B2 (en) 1995-09-11 1995-09-11 Semiconductor optical device capable of polarization control and wavelength control and optical network using the same
US08/637,453 US5757832A (en) 1995-04-27 1996-04-25 Optical semiconductor device, driving method therefor and light source and opitcal communication system using the same
EP96106666A EP0742623B1 (en) 1995-04-27 1996-04-26 Optical semiconductor device, driving method therefore, its use as a light source and optical communication system using the same
DE69614602T DE69614602T2 (en) 1995-04-27 1996-04-26 Optical semiconductor device, method for driving it, use of the device as a light source and optical communication system with such a light source

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25810395A JP3420407B2 (en) 1995-09-11 1995-09-11 Semiconductor optical device capable of polarization control and wavelength control and optical network using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0983087A true JPH0983087A (en) 1997-03-28
JP3420407B2 JP3420407B2 (en) 2003-06-23

Family

ID=17315547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25810395A Expired - Fee Related JP3420407B2 (en) 1995-04-27 1995-09-11 Semiconductor optical device capable of polarization control and wavelength control and optical network using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3420407B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9042008B2 (en) 2012-02-15 2015-05-26 Mitsubishi Electric Corporation Optical semiconductor device
KR20210116768A (en) * 2020-03-13 2021-09-28 한국전자통신연구원 laser device
KR20210125124A (en) * 2020-04-07 2021-10-18 한국전자통신연구원 wavelength-selectable laser diode and optical communication apparatus including the same

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5007063A (en) 1990-02-12 1991-04-09 Eastman Kodak Company Laser diode

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9042008B2 (en) 2012-02-15 2015-05-26 Mitsubishi Electric Corporation Optical semiconductor device
US9147997B2 (en) 2012-02-15 2015-09-29 Mitsubishi Electric Corporation Optical semiconductor device
KR20210116768A (en) * 2020-03-13 2021-09-28 한국전자통신연구원 laser device
US12062884B2 (en) 2020-03-13 2024-08-13 Electronics And Telecommunications Research Institute Laser device
KR20210125124A (en) * 2020-04-07 2021-10-18 한국전자통신연구원 wavelength-selectable laser diode and optical communication apparatus including the same
US11710938B2 (en) 2020-04-07 2023-07-25 Electronics And Telecommunications Research Institute Wavelength-selectable laser diode and optical communication apparatus including same

Also Published As

Publication number Publication date
JP3420407B2 (en) 2003-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3323725B2 (en) Polarization modulation laser, driving method thereof, and optical communication system using the same
US6031860A (en) Optical device capable of switching output intensity of light of predetermined polarized wave, optical transmitter using the device, network using the transmitter, and method of driving optical device
US6008675A (en) Polarization-mode selective semiconductor laser with a bending channel stripe, apparatus including the same and optical communication system using the same
US5764670A (en) Semiconductor laser apparatus requiring no external modulator, method of driving semiconductor laser device, and optical communication system using the semiconductor laser apparatus
US5757832A (en) Optical semiconductor device, driving method therefor and light source and opitcal communication system using the same
EP0735635B1 (en) Optical semiconductor apparatus, driving method therefor, light source apparatus and optical communication system using the same
US6252895B1 (en) Distributed feedback semiconductor laser in which light intensity distributions differ in different polarization modes, and driving method therefor
US7221500B2 (en) Optical amplifier
JPH0632332B2 (en) Semiconductor laser device
Lee et al. Wavelength-tunable and single-frequency semiconductor lasers for photonic communications networks
JPH07307530A (en) Semiconductor laser capable of polarization modulation
US5187717A (en) Tunable semiconductor laser
EP0668642B1 (en) Oscillation polarization mode selective semiconductor laser, light transmitter and optical communication system using the laser
US5926497A (en) Diffraction grating with alternately-arranged different regions, optical semiconductor device with the diffraction grating, and apparatus and optical communication system using the same
US6337868B1 (en) Distributed feedback semiconductor laser and a driving method therefor
EP0591863B1 (en) Optical receiver, optical semiconductor apparatus, and optical communication system utilizing the same
US6195188B1 (en) Optical wavelength conversion apparatus and method
US6108362A (en) Broadband tunable semiconductor laser source
US4976513A (en) Tunable wavelength filter
US6091745A (en) Semiconductor laser capable of changing polarization mode of its output light, semiconductor laser apparatus and driving method therefor
JP3420407B2 (en) Semiconductor optical device capable of polarization control and wavelength control and optical network using the same
Matsuo et al. Digitally tunable ring laser using ladder filter and ring resonator
JP3246703B2 (en) Semiconductor laser capable of polarization modulation and optical communication system using the same
US20240047941A1 (en) Wavelength Tunable Optical Transmitter
JP3397511B2 (en) Semiconductor laser capable of polarization modulation

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees