JPH0985946A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0985946A JPH0985946A JP7245966A JP24596695A JPH0985946A JP H0985946 A JPH0985946 A JP H0985946A JP 7245966 A JP7245966 A JP 7245966A JP 24596695 A JP24596695 A JP 24596695A JP H0985946 A JPH0985946 A JP H0985946A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- voltage
- buckling structure
- buckling
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14346—Ejection by pressure produced by thermal deformation of ink chamber, e.g. buckling
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 寸法を小さく維持したまま、インクの吐出力
及び吐出速度を大きくすることができ、さらには吐出効
率の良い長寿命のインクジェットヘッドを提供する。 【解決手段】 壁部にインク吐出口を有する容器と、該
容器内の壁面に周縁のうち少なくとも一方向に関して両
端をなす部分が固定されて配設され、容器内を液密に区
切るとともに変形し得る構造体と、該構造体を変形させ
る電圧印加手段とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、前記構造体は圧電材料からなり、電圧の印加により
座屈変形することを特徴とする。
及び吐出速度を大きくすることができ、さらには吐出効
率の良い長寿命のインクジェットヘッドを提供する。 【解決手段】 壁部にインク吐出口を有する容器と、該
容器内の壁面に周縁のうち少なくとも一方向に関して両
端をなす部分が固定されて配設され、容器内を液密に区
切るとともに変形し得る構造体と、該構造体を変形させ
る電圧印加手段とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、前記構造体は圧電材料からなり、電圧の印加により
座屈変形することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、容器の内部に満た
されたインク液に圧力を加え、内部から外部へインク液
を吐出、飛翔させて記録を行うインクジェットヘッド及
びその製造方法に関する。
されたインク液に圧力を加え、内部から外部へインク液
を吐出、飛翔させて記録を行うインクジェットヘッド及
びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より記録液を吐出、飛翔させて記録
を行うインクジェット記録方法が知られているが、該方
法は低騒音で比較的高速印字が可能であること、装置の
小型化やカラー記録が容易であること等数々の利点を有
している。このようなインクジェット記録方法で用いら
れるインクジェットヘッドの形式としては、従来より幾
つかの方式が用いられており、例えば、圧電材料の面内
変形によって振動板を介し、間接的にインクに圧力を加
え、インクを吐出させる原理のものがある。
を行うインクジェット記録方法が知られているが、該方
法は低騒音で比較的高速印字が可能であること、装置の
小型化やカラー記録が容易であること等数々の利点を有
している。このようなインクジェット記録方法で用いら
れるインクジェットヘッドの形式としては、従来より幾
つかの方式が用いられており、例えば、圧電材料の面内
変形によって振動板を介し、間接的にインクに圧力を加
え、インクを吐出させる原理のものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来技術には以下のような問題点がある。
従来技術には以下のような問題点がある。
【０００４】ここではインク吐出の圧力を得るために圧
電材料の面内変形を利用しているが、その変形量は小さ
いため、圧電材料を積層したり、形状の大きいバイモル
フ型の圧電アクチュエータを形成し、変形量を大きくし
てインク液を吐出させている。そのため、ノズルピッチ
よりもはるかに大きな圧電材料及び圧力室が必要とな
り、ノズルを集積化したマルチノズルヘッドの形成が困
難であるという問題点を有する。さらに、圧電材料によ
り振動板を振動させ、間接的にインクに圧力を加えてい
るので、圧電材料の発生する機械的エネルギをインク滴
の吐出エネルギに変換する際の効率が悪くなるという問
題点を有する。
電材料の面内変形を利用しているが、その変形量は小さ
いため、圧電材料を積層したり、形状の大きいバイモル
フ型の圧電アクチュエータを形成し、変形量を大きくし
てインク液を吐出させている。そのため、ノズルピッチ
よりもはるかに大きな圧電材料及び圧力室が必要とな
り、ノズルを集積化したマルチノズルヘッドの形成が困
難であるという問題点を有する。さらに、圧電材料によ
り振動板を振動させ、間接的にインクに圧力を加えてい
るので、圧電材料の発生する機械的エネルギをインク滴
の吐出エネルギに変換する際の効率が悪くなるという問
題点を有する。
【０００５】本願はこれらの問題点に鑑み、寸法を小さ
く維持したまま、インクの吐出力や吐出速度を大きくで
きるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する
ことを目的とする。
く維持したまま、インクの吐出力や吐出速度を大きくで
きるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明では、壁部にインク吐出口を有する容器と、該容
器内の壁面に周縁のうち少なくとも一方向に関して両端
をなす部分が固定されて配設され、容器内を液密に区切
るとともに変形し得る構造体と、該構造体を変形させる
電圧印加手段とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、前記構造体は圧電材料からなり、電圧の印加により
座屈変形することを特徴とする。
本発明では、壁部にインク吐出口を有する容器と、該容
器内の壁面に周縁のうち少なくとも一方向に関して両端
をなす部分が固定されて配設され、容器内を液密に区切
るとともに変形し得る構造体と、該構造体を変形させる
電圧印加手段とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、前記構造体は圧電材料からなり、電圧の印加により
座屈変形することを特徴とする。
【０００７】また、壁部にインク吐出口を有する容器
と、該容器内の壁面に周縁のうち少なくとも一方向に関
して両端をなす部分が固定されて配設され、容器内を液
密に区切るとともに変形し得る構造体と、該構造体を変
形させる電圧印加手段とを備えたインクジェットヘッド
において、前記構造体は圧電材料からなり、電圧の無印
加時において変形状態にあり、電圧の印加により無変形
状態に変位することを特徴とする。
と、該容器内の壁面に周縁のうち少なくとも一方向に関
して両端をなす部分が固定されて配設され、容器内を液
密に区切るとともに変形し得る構造体と、該構造体を変
形させる電圧印加手段とを備えたインクジェットヘッド
において、前記構造体は圧電材料からなり、電圧の無印
加時において変形状態にあり、電圧の印加により無変形
状態に変位することを特徴とする。
【０００８】また、前記インクジェットヘッドにおい
て、前記構造体が積層構造を有し、各層に対応する電極
を有することを特徴とする。また、前記構造体の形状が
楕円形であることを特徴とする。
て、前記構造体が積層構造を有し、各層に対応する電極
を有することを特徴とする。また、前記構造体の形状が
楕円形であることを特徴とする。
【０００９】さらに、電圧の無印加時において構造体が
変形状態にあるインクジェットヘッドの製造方法におい
て、基板上に構造体を成膜する工程と、該構造体の引張
応力が弾性限度を越えるまで温度変化を与える工程と、
温度変化を停止し、前記構造体に内部圧縮応力が存在す
る状態で基板をエッチングする工程と、を有することを
特徴とする。
変形状態にあるインクジェットヘッドの製造方法におい
て、基板上に構造体を成膜する工程と、該構造体の引張
応力が弾性限度を越えるまで温度変化を与える工程と、
温度変化を停止し、前記構造体に内部圧縮応力が存在す
る状態で基板をエッチングする工程と、を有することを
特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明のインクジェットヘ
ッドを実施例により詳細に説明する。
ッドを実施例により詳細に説明する。
【００１１】図１（ａ）〜（ｃ）は、本願のインクジェ
ットヘッドに係る第１の実施例を示す平面図及び断面図
である。本実施例のインクジェットヘッド１０は、イン
ク供給口５ａを有する筺体５と、この筺体の上面を覆
い、かつインク吐出口７ａを有するノズルプレート７
と、筺体５及びノズルプレート７からなる容器４と、こ
の容器４内のノズルプレート７に対向する底面に周縁の
うち少なくとも一方向に関して両端をなす部分が固定さ
れ、圧縮手段により座屈変形し、かつ容器内を下部空間
６ｂと圧力室６ａとに液密に区切る板状で矩形の座屈構
造体１と、座屈構造体１に電圧を与えるための電極９
ａ、９ｂと、座屈構造体を取り付け固定するための取り
付け部材３と、外部の電源９と、スイッチ８とからな
る。
ットヘッドに係る第１の実施例を示す平面図及び断面図
である。本実施例のインクジェットヘッド１０は、イン
ク供給口５ａを有する筺体５と、この筺体の上面を覆
い、かつインク吐出口７ａを有するノズルプレート７
と、筺体５及びノズルプレート７からなる容器４と、こ
の容器４内のノズルプレート７に対向する底面に周縁の
うち少なくとも一方向に関して両端をなす部分が固定さ
れ、圧縮手段により座屈変形し、かつ容器内を下部空間
６ｂと圧力室６ａとに液密に区切る板状で矩形の座屈構
造体１と、座屈構造体１に電圧を与えるための電極９
ａ、９ｂと、座屈構造体を取り付け固定するための取り
付け部材３と、外部の電源９と、スイッチ８とからな
る。
【００１２】上記座屈構造体１は圧電材料からなり、座
屈構造体１を挟み込むように設けられた電極９ａ、９ｂ
からの電圧の負荷、除荷により面内変形を行う。電圧の
負荷、除荷はスイッチ８のオン・オフで行われ、電圧の
供給は電源９から行われる。また、座屈構造体１は、本
実施例では取り付け部材３に周縁が固定されている。イ
ンク吐出口７ａは、外方へ向かって先細のテーパ状をな
す。
屈構造体１を挟み込むように設けられた電極９ａ、９ｂ
からの電圧の負荷、除荷により面内変形を行う。電圧の
負荷、除荷はスイッチ８のオン・オフで行われ、電圧の
供給は電源９から行われる。また、座屈構造体１は、本
実施例では取り付け部材３に周縁が固定されている。イ
ンク吐出口７ａは、外方へ向かって先細のテーパ状をな
す。
【００１３】図１を用いて本発明のインクジェットヘッ
ドの動作について説明する。まず、圧力室６ａ内にイン
ク供給口５ａを経てインク１００が注入、充填される。
次に、スイッチ８がオンにされ、電源９から座屈構造体
１の両端の電極９ａ、９ｂに、図１（ｂ）に示す座屈構
造体の分極方向（上側┼、下側─）に対し逆バイアスの
電圧を印加すると、圧電効果により座屈構造体が面内方
向に膨張しようとする。しかし座屈構造体１の周縁のう
ち、少なくとも一方向に関しては取り付け部材３に固定
されているため、座屈構造体１の内部に圧縮力が蓄積さ
れる。この圧縮力が座屈構造体１の材質、形状、寸法で
決まる座屈荷重を超えると、座屈構造体１は図１（ｃ）
に示すように面に垂直に上方に向かって大きく座屈変形
を起こす。この座屈変形により液密に区切られた圧力室
６ａ内のインク１００が圧縮されて、ノズルプレート７
のインク吐出口７ａからインク滴１００ａとなって外部
へ吐出される。
ドの動作について説明する。まず、圧力室６ａ内にイン
ク供給口５ａを経てインク１００が注入、充填される。
次に、スイッチ８がオンにされ、電源９から座屈構造体
１の両端の電極９ａ、９ｂに、図１（ｂ）に示す座屈構
造体の分極方向（上側┼、下側─）に対し逆バイアスの
電圧を印加すると、圧電効果により座屈構造体が面内方
向に膨張しようとする。しかし座屈構造体１の周縁のう
ち、少なくとも一方向に関しては取り付け部材３に固定
されているため、座屈構造体１の内部に圧縮力が蓄積さ
れる。この圧縮力が座屈構造体１の材質、形状、寸法で
決まる座屈荷重を超えると、座屈構造体１は図１（ｃ）
に示すように面に垂直に上方に向かって大きく座屈変形
を起こす。この座屈変形により液密に区切られた圧力室
６ａ内のインク１００が圧縮されて、ノズルプレート７
のインク吐出口７ａからインク滴１００ａとなって外部
へ吐出される。
【００１４】次にスイッチ８がオフにされて電圧の印加
が止まると、座屈構造体１は収縮して図１（ｂ）の元の
状態に復帰する。こうしてスイッチ８のオン・オフの繰
り返しで外部へインク滴１００ａが吐出され、記録紙に
印字が行われる。
が止まると、座屈構造体１は収縮して図１（ｂ）の元の
状態に復帰する。こうしてスイッチ８のオン・オフの繰
り返しで外部へインク滴１００ａが吐出され、記録紙に
印字が行われる。
【００１５】周囲を固定された座屈構造体１は、面内方
向の変形量が少なくても、面外方向に大きな変形量を生
じるので寸法を容易に小さくでき、さらに圧力室６ａを
液密に区切る役割も果たしているので、インク１００は
下部空間６ｂに漏れ込むことがなく、小型化を図りつつ
大きな吐出速度を得ることができる。さらに、座屈構造
体１が直接インクに圧力を加えるため、座屈構造体１の
発生する機械的エネルギをインク滴１００ａの吐出エネ
ルギに変換する際の効率が良くなる。
向の変形量が少なくても、面外方向に大きな変形量を生
じるので寸法を容易に小さくでき、さらに圧力室６ａを
液密に区切る役割も果たしているので、インク１００は
下部空間６ｂに漏れ込むことがなく、小型化を図りつつ
大きな吐出速度を得ることができる。さらに、座屈構造
体１が直接インクに圧力を加えるため、座屈構造体１の
発生する機械的エネルギをインク滴１００ａの吐出エネ
ルギに変換する際の効率が良くなる。
【００１６】尚ここでは、板状、矩形の座屈構造体を有
するインクジェットヘッドについて述べたが、座屈構造
体の形状はこの実施例に限定されるものではない。
するインクジェットヘッドについて述べたが、座屈構造
体の形状はこの実施例に限定されるものではない。
【００１７】次に図２は、第１の実施例のインクジェッ
トヘッドを集積化した構成を示す分解斜視図であり、図
３は筺体１５の構造を詳細に示す分解斜視図である。ま
た図４は、図２におけるインクジェットヘッドの平面図
であり、図５は図４のＸ−Ｘ線における断面図である。
トヘッドを集積化した構成を示す分解斜視図であり、図
３は筺体１５の構造を詳細に示す分解斜視図である。ま
た図４は、図２におけるインクジェットヘッドの平面図
であり、図５は図４のＸ−Ｘ線における断面図である。
【００１８】図２を参照して、このインクジェットヘッ
ド２０は、容器の下部空間を形成する筺体１５と、この
筺体１５の上部に圧力室を形成するスペーサ１６と、イ
ンク吐出口１７ａを有し、容器の上部を形成するノズル
プレート１７とで構成される。筺体１５は図３のごと
く、筺体の主要部をなす基板１８と、基板１８の上面に
取り付け部材１３を介して配置される座屈構造体１１か
らなり、電極１９ａ、１９ｂは座屈構造体１１を挟み込
むように設けられている。
ド２０は、容器の下部空間を形成する筺体１５と、この
筺体１５の上部に圧力室を形成するスペーサ１６と、イ
ンク吐出口１７ａを有し、容器の上部を形成するノズル
プレート１７とで構成される。筺体１５は図３のごと
く、筺体の主要部をなす基板１８と、基板１８の上面に
取り付け部材１３を介して配置される座屈構造体１１か
らなり、電極１９ａ、１９ｂは座屈構造体１１を挟み込
むように設けられている。
【００１９】基板１８は、例えば面方位（１００）の単
結晶シリコン基板により形成されており、基板１８を貫
通する凹部１８ａが設けられている。座屈構造体１１
は、例えば圧電材料であるＰＺＴからなり、電極１９
ａ、１９ｂは導電性のあるＰｔからなる。図４に示すよ
うに、電極１９ａはスイッチを介して各電源１９の＋端
子に、電極１９ｂは各電源１９の−端子に接続され、ス
イッチ１８のオン・オフ操作により電圧の印加、停止が
行われる。
結晶シリコン基板により形成されており、基板１８を貫
通する凹部１８ａが設けられている。座屈構造体１１
は、例えば圧電材料であるＰＺＴからなり、電極１９
ａ、１９ｂは導電性のあるＰｔからなる。図４に示すよ
うに、電極１９ａはスイッチを介して各電源１９の＋端
子に、電極１９ｂは各電源１９の−端子に接続され、ス
イッチ１８のオン・オフ操作により電圧の印加、停止が
行われる。
【００２０】スペーサ１６は、例えば１０〜５０μｍの
厚みを有するステンレス銅版からなり、打ち抜き加工に
より圧力室及びインク供給口を構成する４つの開口１６
ａと、開口１６ａを区切る隔壁１６ｂとを形成してい
る。この隔壁１６ｂと取り付け部材１３とにより、座屈
構造体１１は周縁を固定される。
厚みを有するステンレス銅版からなり、打ち抜き加工に
より圧力室及びインク供給口を構成する４つの開口１６
ａと、開口１６ａを区切る隔壁１６ｂとを形成してい
る。この隔壁１６ｂと取り付け部材１３とにより、座屈
構造体１１は周縁を固定される。
【００２１】ノズルプレート１７は、例えば厚さが０．
２ｍｍ程度のガラス材からなり、図５に示すごとく、フ
ッ酸によるエッチングによって形成される外方に向かっ
て先細の円錐形またはロート状をなす４つのインク吐出
口１７ａを有している。ノズルプレート１７は、非導電
性接着剤によってスペーサ１６を介して筺体１５に接合
されている。
２ｍｍ程度のガラス材からなり、図５に示すごとく、フ
ッ酸によるエッチングによって形成される外方に向かっ
て先細の円錐形またはロート状をなす４つのインク吐出
口１７ａを有している。ノズルプレート１７は、非導電
性接着剤によってスペーサ１６を介して筺体１５に接合
されている。
【００２２】次に図６に筺体１５の製造工程を示す。ま
ず、図６（ａ）に示すように、面方位（１００）の単結
晶シリコン基板１８の表裏両面に、６〜８％のリン
（Ｐ）を含む厚さ２μｍの酸化シリコン（ＳｉＯ2）層
（以下ＰＳＧ（Phospho-SilicateGlass）とする）をＬ
ＰＣＶＤ装置により成膜する。
ず、図６（ａ）に示すように、面方位（１００）の単結
晶シリコン基板１８の表裏両面に、６〜８％のリン
（Ｐ）を含む厚さ２μｍの酸化シリコン（ＳｉＯ2）層
（以下ＰＳＧ（Phospho-SilicateGlass）とする）をＬ
ＰＣＶＤ装置により成膜する。
【００２３】次に図６（ｂ）に示すように、基板１８の
表面上に、Ｐｔからなる電極１９ａを０．２μｍの厚さ
で成膜、パターニングする。続いて図６（ｃ）に示すよ
うに、ＰＺＴからなる座屈構造体１１を３μｍの厚さで
成膜する。
表面上に、Ｐｔからなる電極１９ａを０．２μｍの厚さ
で成膜、パターニングする。続いて図６（ｃ）に示すよ
うに、ＰＺＴからなる座屈構造体１１を３μｍの厚さで
成膜する。
【００２４】次に図６（ｄ）に示すように、座屈構造体
１１の表面上に、座屈構造体１１の表面上に、Ｐｔから
なる電極１９ｂを０．２μｍの厚みで成膜、パターニン
グする。続いて図６（ｅ）に示すように、基板１８の裏
面のＰＳＧ層をパターニングする。そして、図６（ｆ）
に示すように、パターニングされたＰＳＧ層をマスクと
して、シリコン基板１８を異方性エッチングし、基板１
８を貫通するテーパ形状の凹部１８ａを形成する。
１１の表面上に、座屈構造体１１の表面上に、Ｐｔから
なる電極１９ｂを０．２μｍの厚みで成膜、パターニン
グする。続いて図６（ｅ）に示すように、基板１８の裏
面のＰＳＧ層をパターニングする。そして、図６（ｆ）
に示すように、パターニングされたＰＳＧ層をマスクと
して、シリコン基板１８を異方性エッチングし、基板１
８を貫通するテーパ形状の凹部１８ａを形成する。
【００２５】最後に図６（ｇ）に示すように、エッチン
グされた基板１８のテーパ形状の凹部１８ａをマスクと
してＰＳＧ層をエッチングする。これにより、ＰＳＧ層
からなる取り付け部材１３が形成され、所望の構成を有
する筺体１５が得られる。
グされた基板１８のテーパ形状の凹部１８ａをマスクと
してＰＳＧ層をエッチングする。これにより、ＰＳＧ層
からなる取り付け部材１３が形成され、所望の構成を有
する筺体１５が得られる。
【００２６】本実施例のインクジェットヘッドでは、筺
体１５、スペーサ１６、ノズルプレート１７は一体化し
ているが、独立に制御される複数のヘッドを同時に作製
しているので、コンパクトかつ安価に製造することがで
き、機能性を向上させることができる。尚、ここでは説
明の簡略化のため４つのマルチヘッドの場合について述
べたが、本発明のインクジェットヘッドにおいて、ヘッ
ドの個数はこれに限定されるものではなく、任意に設計
できるものである。
体１５、スペーサ１６、ノズルプレート１７は一体化し
ているが、独立に制御される複数のヘッドを同時に作製
しているので、コンパクトかつ安価に製造することがで
き、機能性を向上させることができる。尚、ここでは説
明の簡略化のため４つのマルチヘッドの場合について述
べたが、本発明のインクジェットヘッドにおいて、ヘッ
ドの個数はこれに限定されるものではなく、任意に設計
できるものである。
【００２７】ところで第１の実施例では、座屈構造体の
分極方向に対し逆バイアスの電圧を印加している。この
構造の場合、あまり大きな電圧をかけすぎると分極方向
が反転してしまい、座屈構造体が面内方向へ膨張しなく
なるのでインクの吐出が行えなくなる。そこで次に、順
バイアスの電圧の印加でインクの吐出を行うことのでき
るインクジェットヘッドの構造及び製造方法を示す。
分極方向に対し逆バイアスの電圧を印加している。この
構造の場合、あまり大きな電圧をかけすぎると分極方向
が反転してしまい、座屈構造体が面内方向へ膨張しなく
なるのでインクの吐出が行えなくなる。そこで次に、順
バイアスの電圧の印加でインクの吐出を行うことのでき
るインクジェットヘッドの構造及び製造方法を示す。
【００２８】図７（ａ）〜（ｃ）は、本願のインクジェ
ットヘッドに係る第２の実施例の平面図及び断面図を示
すものである。このインクジェットヘッド３０は、座屈
構造体１に順バイアスの電圧を印加する点、及び電圧を
印加していないときに座屈構造体１が圧力室６ａ側に座
屈変形をしている点が図１の実施例と異なるものであ
る。そして、座屈構造体１を挟み込むように設けられた
電極９ａ、９ｂからの電圧の負荷、除荷により面内変形
を行う。その他の構成は第１の実施例と同様である。
ットヘッドに係る第２の実施例の平面図及び断面図を示
すものである。このインクジェットヘッド３０は、座屈
構造体１に順バイアスの電圧を印加する点、及び電圧を
印加していないときに座屈構造体１が圧力室６ａ側に座
屈変形をしている点が図１の実施例と異なるものであ
る。そして、座屈構造体１を挟み込むように設けられた
電極９ａ、９ｂからの電圧の負荷、除荷により面内変形
を行う。その他の構成は第１の実施例と同様である。
【００２９】本実施例のインクジェットヘッド３０は次
のように駆動する。まず、図７（ｂ）に示すように、あ
らかじめ座屈構造体の分極方向（上側─、下側┼）に対
し順バイアスの電圧を印加しておく。すると圧電効果に
より座屈構造体１が面内方向に収縮しようとするため、
座屈変形をしていた座屈構造体１は、図７（ｂ）のよう
に座屈変形していない状態になる。次にスイッチ８をオ
フにすると、座屈構造体１の面内方向への収縮が解除さ
れ、座屈構造体１は元の状態に復帰する。すなわち、図
７（ｃ）に示すように、圧力室６ａ側に向かって大きく
座屈変形を起こす。この座屈変形により、液密に区切ら
れた圧力室６ａ内のインク１００が圧縮され、ノズルプ
レート７のインク吐出口７ａからインク液１００ａとな
って外部へ吐出される。
のように駆動する。まず、図７（ｂ）に示すように、あ
らかじめ座屈構造体の分極方向（上側─、下側┼）に対
し順バイアスの電圧を印加しておく。すると圧電効果に
より座屈構造体１が面内方向に収縮しようとするため、
座屈変形をしていた座屈構造体１は、図７（ｂ）のよう
に座屈変形していない状態になる。次にスイッチ８をオ
フにすると、座屈構造体１の面内方向への収縮が解除さ
れ、座屈構造体１は元の状態に復帰する。すなわち、図
７（ｃ）に示すように、圧力室６ａ側に向かって大きく
座屈変形を起こす。この座屈変形により、液密に区切ら
れた圧力室６ａ内のインク１００が圧縮され、ノズルプ
レート７のインク吐出口７ａからインク液１００ａとな
って外部へ吐出される。
【００３０】図８（ａ）〜（ｃ）は、本願のインクジェ
ットヘッドに係る第３の実施例の平面図及び断面図を示
すものである。インクジェットヘッド４０は、座屈構造
体１に順バイアスの電圧を印加する点、及び電圧を印加
していないときに、座屈構造体１が圧力室６ａの逆側に
座屈変形をしている点が第１の実施例と異なる点であ
る。そして、座屈構造体１を挟み込むように設けられた
電極９ａ、９ｂからの電圧の負荷、除荷により面内変形
を行う。他の構造は第１の実施例と同じである。
ットヘッドに係る第３の実施例の平面図及び断面図を示
すものである。インクジェットヘッド４０は、座屈構造
体１に順バイアスの電圧を印加する点、及び電圧を印加
していないときに、座屈構造体１が圧力室６ａの逆側に
座屈変形をしている点が第１の実施例と異なる点であ
る。そして、座屈構造体１を挟み込むように設けられた
電極９ａ、９ｂからの電圧の負荷、除荷により面内変形
を行う。他の構造は第１の実施例と同じである。
【００３１】本実施例のインクジェットヘッド４０は次
のように駆動する。まず図８（ｂ）に示すように、座屈
構造体１が既に圧力室６ａの逆側に座屈変形している状
態で待機させておく。次にスイッチ８をオンにすると、
座屈構造体１の面内方向への収縮により、座屈構造体１
は図８（ｃ）のように座屈変形していない状態になる。
この初期座屈状態から無座屈状態への変形により、液密
に区切られた圧力室６ａ内のインク１００が圧縮され
て、ノズルプレート７のインク吐出口７ａからインク滴
１００ａとなって外部へ吐出される。
のように駆動する。まず図８（ｂ）に示すように、座屈
構造体１が既に圧力室６ａの逆側に座屈変形している状
態で待機させておく。次にスイッチ８をオンにすると、
座屈構造体１の面内方向への収縮により、座屈構造体１
は図８（ｃ）のように座屈変形していない状態になる。
この初期座屈状態から無座屈状態への変形により、液密
に区切られた圧力室６ａ内のインク１００が圧縮され
て、ノズルプレート７のインク吐出口７ａからインク滴
１００ａとなって外部へ吐出される。
【００３２】第２、第３の実施例では、座屈構造体の分
極方向に対し順バイアスの電圧の印加が可能であるの
で、大きな電圧を印加することができる。
極方向に対し順バイアスの電圧の印加が可能であるの
で、大きな電圧を印加することができる。
【００３３】図９〜図１１は、第２、第３の実施例にお
ける電圧の無印加時に座屈変形している座屈構造体の製
造方法を説明するためのものである。まず図９に示すよ
うに、基板に座屈構造体を成膜する。このとき、座屈構
造体と基板の線膨張係数は異なり、座屈構造体は基板に
比べて十分薄いものとする。この基板が熱履歴を受ける
と、座屈構造体は図１０に示すように応力−歪みヒステ
リシス曲線を描き、内部圧縮応力が生じた状態となる。
熱処理の方法は、座屈構造体と基板の線膨張係数の大小
関係により２通りにわけられる。以下、熱処理の方法別
に、座屈構造体の製造方法および原理を説明する。
ける電圧の無印加時に座屈変形している座屈構造体の製
造方法を説明するためのものである。まず図９に示すよ
うに、基板に座屈構造体を成膜する。このとき、座屈構
造体と基板の線膨張係数は異なり、座屈構造体は基板に
比べて十分薄いものとする。この基板が熱履歴を受ける
と、座屈構造体は図１０に示すように応力−歪みヒステ
リシス曲線を描き、内部圧縮応力が生じた状態となる。
熱処理の方法は、座屈構造体と基板の線膨張係数の大小
関係により２通りにわけられる。以下、熱処理の方法別
に、座屈構造体の製造方法および原理を説明する。
【００３４】座屈構造体の線膨張係数が基板の線膨張
係数より小さいとき 上記条件のときは、座屈構造体に生じる引張応力が弾性
限度を超えるまで温度を上昇させ、常温に戻すようにす
る。図１０を用いて詳細に説明する。温度変化を与える
前の状態では、座屈構造体は点Ｏの状態、すなわち無歪
み、無応力の状態にある。そして温度上昇とともに基
板、座屈構造体とも膨張する。しかし基板の方が座屈構
造体より線膨張係数が大きいため、座屈構造体は基板か
ら引張荷重を受け、引張歪み、引張応力が生じた状態と
なる。引張歪み、引張応力は直線関係を保ちながら点Ａ
に至る。さらに温度を上昇させると、引張応力は弾性限
度を超え、図１０に示すようなカーブを描きながら点Ｂ
に至る。次に加熱を解除すると基板の膨張は止まり、歪
みのない状態に復帰しようとする。このとき座屈構造体
は、点Ｂの状態から直線ＯＡと平行な直線を描いて無歪
み状態に至るので、図１０に示すように内部圧縮応力σ
Ｒが生じた状態となる。
係数より小さいとき 上記条件のときは、座屈構造体に生じる引張応力が弾性
限度を超えるまで温度を上昇させ、常温に戻すようにす
る。図１０を用いて詳細に説明する。温度変化を与える
前の状態では、座屈構造体は点Ｏの状態、すなわち無歪
み、無応力の状態にある。そして温度上昇とともに基
板、座屈構造体とも膨張する。しかし基板の方が座屈構
造体より線膨張係数が大きいため、座屈構造体は基板か
ら引張荷重を受け、引張歪み、引張応力が生じた状態と
なる。引張歪み、引張応力は直線関係を保ちながら点Ａ
に至る。さらに温度を上昇させると、引張応力は弾性限
度を超え、図１０に示すようなカーブを描きながら点Ｂ
に至る。次に加熱を解除すると基板の膨張は止まり、歪
みのない状態に復帰しようとする。このとき座屈構造体
は、点Ｂの状態から直線ＯＡと平行な直線を描いて無歪
み状態に至るので、図１０に示すように内部圧縮応力σ
Ｒが生じた状態となる。
【００３５】座屈構造体の線膨張係数が基板の線膨張
係数より大きいとき 上記条件のときは、座屈構造体に生じる引張応力が弾性
限度を超えるまで温度を下降させ、常温に戻すようにす
る。図１０に示す応力、歪みについては、温度の上昇、
下降が入れ替わる以外は上記説明と同じである。
係数より大きいとき 上記条件のときは、座屈構造体に生じる引張応力が弾性
限度を超えるまで温度を下降させ、常温に戻すようにす
る。図１０に示す応力、歪みについては、温度の上昇、
下降が入れ替わる以外は上記説明と同じである。
【００３６】上記のいずれかの方法で熱処理をし、座屈
構造体に内部圧縮応力が存在する状態で図１１に示すよ
うに基板をエッチングすると、座屈構造体は内部圧縮応
力を解放しようとし、図１１に示すように座屈変形した
状態となる。すなわち、あらかじめ座屈変形している座
屈構造体を得ることができる。
構造体に内部圧縮応力が存在する状態で図１１に示すよ
うに基板をエッチングすると、座屈構造体は内部圧縮応
力を解放しようとし、図１１に示すように座屈変形した
状態となる。すなわち、あらかじめ座屈変形している座
屈構造体を得ることができる。
【００３７】図１２（ａ）〜（ｃ）は、本願のインクジ
ェットヘッドに係る第４の実施例の平面図及び断面図を
示すものである。インクジェットヘッド５０は、座屈構
造体１を積層し、各電極間の距離を短縮している。そし
て、座屈構造体１をそれぞれ挟み込むように設けられた
電極９ａ、９ｂからの電圧の負荷、除荷により面内変形
を行う。他の構造は図１の実施例と同様である。また、
駆動原理も図１の実施例と同様である。
ェットヘッドに係る第４の実施例の平面図及び断面図を
示すものである。インクジェットヘッド５０は、座屈構
造体１を積層し、各電極間の距離を短縮している。そし
て、座屈構造体１をそれぞれ挟み込むように設けられた
電極９ａ、９ｂからの電圧の負荷、除荷により面内変形
を行う。他の構造は図１の実施例と同様である。また、
駆動原理も図１の実施例と同様である。
【００３８】圧電材料の面内方向変形量δは、次式で表
される。
される。
【００３９】δ＝ｄ31・Ｖ・ｌ／ｈ ただし、ｄ31：圧電定数、Ｖ＝電圧、ｌ＝圧電材料の長
さ、ｈ＝圧電材料の長さとする。上式より、圧電材料の
厚さ、すなわち電極間の距離が小さい方が少ない電圧で
圧電材料を変形できるのがわかる。したがって、座屈構
造体１を積層し、各電極間の距離を短縮することによっ
て消費電力の低減化を図ることができる。
さ、ｈ＝圧電材料の長さとする。上式より、圧電材料の
厚さ、すなわち電極間の距離が小さい方が少ない電圧で
圧電材料を変形できるのがわかる。したがって、座屈構
造体１を積層し、各電極間の距離を短縮することによっ
て消費電力の低減化を図ることができる。
【００４０】図１３は、本願のインクジェットヘッドに
係る第５の実施例の平面図及び断面図を示すものであ
る。インクジェットヘッド６０は、座屈構造体１が円形
状となっている。そして、座屈構造体１を挟み込むよう
に設けられた電極９ａ、９ｂからの電圧の負荷、除荷に
より面内変形を行う。他の構造及び駆動原理は図１の実
施例と同様である。
係る第５の実施例の平面図及び断面図を示すものであ
る。インクジェットヘッド６０は、座屈構造体１が円形
状となっている。そして、座屈構造体１を挟み込むよう
に設けられた電極９ａ、９ｂからの電圧の負荷、除荷に
より面内変形を行う。他の構造及び駆動原理は図１の実
施例と同様である。
【００４１】同じ消費電力でインクの吐出力及び吐出速
度を大きくするためには、楕円形状が最も適している。
また楕円形状の座屈構造体の場合、矩形と違って座屈変
形時にコーナー近傍での応力集中がないため、座屈構造
体の疲労が低減できる。このことからインクジェットヘ
ッド６０は、座屈構造体の発生するエネルギをインク滴
の吐出エネルギに効率良く変換でき、また座屈構造体の
疲労が低減できるので、ヘッドの寿命が長くなる。
度を大きくするためには、楕円形状が最も適している。
また楕円形状の座屈構造体の場合、矩形と違って座屈変
形時にコーナー近傍での応力集中がないため、座屈構造
体の疲労が低減できる。このことからインクジェットヘ
ッド６０は、座屈構造体の発生するエネルギをインク滴
の吐出エネルギに効率良く変換でき、また座屈構造体の
疲労が低減できるので、ヘッドの寿命が長くなる。
【００４２】
【発明の効果】本願発明のインクジェットヘッドによれ
ば、圧電材料により形成される構造体は、座屈変形によ
り小さな面内方向の変形量を大きな面外方向の変形量に
変換することができ、さらに圧力室を液密に区切る役割
も果たしているので、インクが他の空間に漏れ込むこと
がなく、寸法を小さく維持したまま、大きな吐出力や吐
出速度を得ることができる。さらに座屈構造体で直接圧
力室のインクを加圧しているので、座屈構造体の発生す
る機械的エネルギをインク滴の吐出エネルギに変換する
際の効率が良くなる。
ば、圧電材料により形成される構造体は、座屈変形によ
り小さな面内方向の変形量を大きな面外方向の変形量に
変換することができ、さらに圧力室を液密に区切る役割
も果たしているので、インクが他の空間に漏れ込むこと
がなく、寸法を小さく維持したまま、大きな吐出力や吐
出速度を得ることができる。さらに座屈構造体で直接圧
力室のインクを加圧しているので、座屈構造体の発生す
る機械的エネルギをインク滴の吐出エネルギに変換する
際の効率が良くなる。
【００４３】また、圧電材料を用いて、電圧の印加をし
ていない時点で変形状態にある構造体を形成することに
より、構造体の分極方向に対し、順バイアスの電圧の印
加が可能であるので、大きな電圧を印加することができ
る。
ていない時点で変形状態にある構造体を形成することに
より、構造体の分極方向に対し、順バイアスの電圧の印
加が可能であるので、大きな電圧を印加することができ
る。
【００４４】また、圧電材料により形成される構造体を
積層し、各電極間の距離を短縮することにより、消費電
力の低減化を図ることができる。
積層し、各電極間の距離を短縮することにより、消費電
力の低減化を図ることができる。
【００４５】さらに、圧電材料により形成される構造体
を楕円形状とすることにより、構造体の発生する機械的
エネルギをインク滴の吐出エネルギに変換する際の効率
が良く、また、座屈変形時にコーナー近傍での応力集中
がないので構造体の疲労が低減でき、ヘッドの寿命が長
くなる。
を楕円形状とすることにより、構造体の発生する機械的
エネルギをインク滴の吐出エネルギに変換する際の効率
が良く、また、座屈変形時にコーナー近傍での応力集中
がないので構造体の疲労が低減でき、ヘッドの寿命が長
くなる。
【図１】本発明のインクジェットヘッドの第１の実施例
を表す平面図及び断面図である。
を表す平面図及び断面図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドを集積化した構成
を表す図である。
を表す図である。
【図３】図２における筺体の構造を詳細に示す分解斜視
図である。
図である。
【図４】図２のインクジェットヘッドの平面図である。
【図５】図４のＸ−Ｘ線における断面図である。
【図６】図３に示す筺体の製造工程を表す図である。
【図７】本発明のインクジェットヘッドの第２の実施例
を表す平面図及び断面図である。
を表す平面図及び断面図である。
【図８】本発明のインクジェットヘッドの第３の実施例
を表す平面図及び断面図である。
を表す平面図及び断面図である。
【図９】図７の実施例における構造体の製造工程を説明
する図である。
する図である。
【図１０】熱履歴を受けた構造体の応力−歪みヒステリ
シス曲線を表す図である。
シス曲線を表す図である。
【図１１】図７の実施例における構造体の製造工程を説
明する図である。
明する図である。
【図１２】本発明のインクジェットヘッドの第４の実施
例を表す平面図及び断面図である。
例を表す平面図及び断面図である。
【図１３】本発明のインクジェットヘッドの第５の実施
例を表す平面図及び断面図である。
例を表す平面図及び断面図である。
１ 座屈構造体 ３ 取付部材 ５ 筺体 ５ａ インク供給口 ６ａ 圧力室 ７ ノズルプレート ７ａ インク吐出口 ８ スイッチ ９ 電源 ９ａ、９ｂ 電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平田 進 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 木村 正治 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 石井 頼成 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 堀中 大 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 恩田 裕 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 壁部にインク吐出口を有する容器と、該
容器内の壁面に周縁のうち少なくとも一方向に関して両
端をなす部分が固定されて配設され、容器内を液密に区
切るとともに変形し得る構造体と、該構造体を変形させ
る電圧印加手段とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、 前記構造体は圧電材料からなり、電圧の印加により座屈
変形することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 壁部にインク吐出口を有する容器と、該
容器内の壁面に周縁のうち少なくとも一方向に関して両
端をなす部分が固定されて配設され、容器内を液密に区
切るとともに変形し得る構造体と、該構造体を変形させ
る電圧印加手段とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、 前記構造体は圧電材料からなり、電圧の無印加時におい
て変形状態にあり、電圧の印加により無変形状態に変位
することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 請求項１、請求項２に記載のインクジェ
ットヘッドにおいて、前記構造体が積層構造を有し、各
層に対応する電極を有することを特徴とするインクジェ
ットヘッド。 - 【請求項４】 請求項１、請求項２に記載のインクジェ
ットヘッドにおいて、前記構造体の形状が楕円形である
ことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項５】 請求項２に記載のインクジェットヘッド
の製造方法において、基板上に構造体を成膜する工程
と、該構造体の引張応力が弾性限度を越えるまで温度変
化を与える工程と、温度変化を停止し、前記構造体に内
部圧縮応力が存在する状態で基板をエッチングする工程
と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの
製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7245966A JPH0985946A (ja) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
| US08/711,295 US5988799A (en) | 1995-09-25 | 1996-09-06 | Ink-jet head having ink chamber and non-ink chamber divided by structural element subjected to freckling deformation |
| DE19639436A DE19639436C2 (de) | 1995-09-25 | 1996-09-25 | Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahlkopf |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7245966A JPH0985946A (ja) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0985946A true JPH0985946A (ja) | 1997-03-31 |
Family
ID=17141491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7245966A Pending JPH0985946A (ja) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5988799A (ja) |
| JP (1) | JPH0985946A (ja) |
| DE (1) | DE19639436C2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6626525B1 (en) | 1998-09-08 | 2003-09-30 | Fuji Xerox Co. Ltd | Actuator for an ink jet recording head |
| WO2014141925A1 (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッドおよびその製造方法と、インクジェットプリンタ |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10202874A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-04 | Seiko Epson Corp | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
| US6270202B1 (en) * | 1997-04-24 | 2001-08-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Liquid jetting apparatus having a piezoelectric drive element directly bonded to a casing |
| GB9713872D0 (en) * | 1997-07-02 | 1997-09-03 | Xaar Ltd | Droplet deposition apparatus |
| US20080316264A1 (en) * | 1997-07-15 | 2008-12-25 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead integrated circuit with nozzles in thin surface layer |
| US6290861B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-09-18 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a conductive PTFE bend actuator vented ink jet printer |
| WO1999019978A1 (en) * | 1997-10-14 | 1999-04-22 | Seiko Epson Corporation | Electrostatic actuator and an apparatus mounted with the same |
| KR100362363B1 (ko) * | 1998-06-12 | 2003-05-16 | 삼성전자 주식회사 | 램파를이용한잉크분사장치및그제조방법 |
| JP3122646B2 (ja) * | 1998-12-18 | 2001-01-09 | 三菱電機株式会社 | 液噴出駆動装置及び液噴出駆動方法 |
| US6340223B1 (en) * | 1999-06-28 | 2002-01-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and fabrication method of the same |
| NZ510723A (en) * | 2001-03-23 | 2003-10-31 | Cool 123 Ltd | Lottery system |
| US6903491B2 (en) * | 2001-04-26 | 2005-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric element, actuator, and inkjet head |
| JP4304881B2 (ja) * | 2001-05-18 | 2009-07-29 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | インクジェットプリントヘッド |
| KR100433528B1 (ko) * | 2001-11-29 | 2004-06-02 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 |
| DE10250917B3 (de) * | 2002-10-31 | 2004-06-03 | Siemens Ag | Verfahren zum Betrieb eines Einspritzventils mit einem piezoelektrischen Aktor sowie Steuergerät |
| JP4077344B2 (ja) * | 2003-03-11 | 2008-04-16 | シャープ株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドモジュール及びその製造方法 |
| JP4466331B2 (ja) * | 2004-11-05 | 2010-05-26 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
| US20070051827A1 (en) * | 2005-09-08 | 2007-03-08 | Sheng-Chih Shen | Spraying device |
| JP2010143048A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 |
| JP2013163290A (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置およびその制御方法 |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2166927C3 (de) * | 1970-09-09 | 1983-05-26 | Clevite Corp., Cleveland, Ohio | Vorrichtung zur Erzeugung eines Tröpfchenstrahles, insbesondere für Tintentröpfchenschreiber |
| DE2527647C3 (de) * | 1975-06-20 | 1981-06-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Mit Flüssigkeitströpfchen arbeitendes Schreibgerät |
| US4383264A (en) * | 1980-06-18 | 1983-05-10 | Exxon Research And Engineering Co. | Demand drop forming device with interacting transducer and orifice combination |
| AU553251B2 (en) * | 1981-10-15 | 1986-07-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Arrangement for ejecting liquid |
| EP0095911B1 (en) * | 1982-05-28 | 1989-01-18 | Xerox Corporation | Pressure pulse droplet ejector and array |
| DE3320441A1 (de) * | 1983-06-06 | 1984-12-06 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Mit fluessigkeitstroepfchen arbeitendes schreibgeraet mit an beiden enden starr mit einer duesenplatte verbundenen stabfoermigen piezoelektrischen wandlern |
| JPS6038163A (ja) * | 1983-08-11 | 1985-02-27 | Ricoh Co Ltd | インクジエツトヘツド |
| JPS6068963A (ja) * | 1984-05-07 | 1985-04-19 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | インク噴射記録装置 |
| US4641153A (en) * | 1985-09-03 | 1987-02-03 | Pitney Bowes Inc. | Notched piezo-electric transducer for an ink jet device |
| JP2687352B2 (ja) * | 1987-05-29 | 1997-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録装置 |
| JPS649745A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-13 | Ricoh Kk | Method for driving on-demand type ink jet head |
| US4825227A (en) * | 1988-02-29 | 1989-04-25 | Spectra, Inc. | Shear mode transducer for ink jet systems |
| US4998120A (en) * | 1988-04-06 | 1991-03-05 | Seiko Epson Corporation | Hot melt ink jet printing apparatus |
| JPH0230543A (ja) * | 1988-07-21 | 1990-01-31 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド |
| US5255016A (en) * | 1989-09-05 | 1993-10-19 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printer recording head |
| JPH03108551A (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-08 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド |
| JPH03243357A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-30 | Sharp Corp | インクジェット記録ヘッド |
| JPH0428557A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-01-31 | Fujitsu Ltd | マルチノズルインクジェットヘッド |
| US5534900A (en) * | 1990-09-21 | 1996-07-09 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus |
| JPH04353458A (ja) * | 1991-05-31 | 1992-12-08 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
| US5666141A (en) * | 1993-07-13 | 1997-09-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ink jet head and a method of manufacturing thereof |
| IT1268870B1 (it) * | 1993-08-23 | 1997-03-13 | Seiko Epson Corp | Testa di registrazione a getto d'inchiostro e procedimento per la sua fabbricazione. |
| JPH08336965A (ja) * | 1995-06-14 | 1996-12-24 | Sharp Corp | インクジェットヘッド |
| US5812163A (en) * | 1996-02-13 | 1998-09-22 | Hewlett-Packard Company | Ink jet printer firing assembly with flexible film expeller |
-
1995
- 1995-09-25 JP JP7245966A patent/JPH0985946A/ja active Pending
-
1996
- 1996-09-06 US US08/711,295 patent/US5988799A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-09-25 DE DE19639436A patent/DE19639436C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6626525B1 (en) | 1998-09-08 | 2003-09-30 | Fuji Xerox Co. Ltd | Actuator for an ink jet recording head |
| WO2014141925A1 (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッドおよびその製造方法と、インクジェットプリンタ |
| CN105142914A (zh) * | 2013-03-15 | 2015-12-09 | 柯尼卡美能达株式会社 | 喷墨头及其制造方法和喷墨打印机 |
| US9427966B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-08-30 | Konica Minolta, Inc. | Inkjet head, method for manufacturing same, and inkjet printer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19639436A1 (de) | 1997-04-17 |
| US5988799A (en) | 1999-11-23 |
| DE19639436C2 (de) | 1998-12-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5988799A (en) | Ink-jet head having ink chamber and non-ink chamber divided by structural element subjected to freckling deformation | |
| JPH09104109A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0661936B2 (ja) | パルス滴付着装置およびパルス滴付着装置の製造方法 | |
| US6695439B2 (en) | Piezoelectric transducer and liquid droplet ejection device | |
| JP5118485B2 (ja) | 液体吐出装置の駆動方法およびその方法を用いる液体吐出装置 | |
| JP2003008091A (ja) | ダイアフラム型圧電アクチュエータ及びインクジェットヘッド | |
| JP2000025225A (ja) | アクチュエータ装置及びインクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置 | |
| US7204586B2 (en) | Ink jet printing module | |
| JP2004209874A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
| JPH0999557A (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
| JP4494880B2 (ja) | 圧電インクジェットヘッドの駆動方法 | |
| JP3384186B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| US8100520B2 (en) | Inkjet printhead and method of removing bubbles in the same | |
| US20240042762A1 (en) | Liquid discharge head, liquid discharge apparatus, and method for manufacturing liquid discharge head | |
| JP2009029012A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
| JP2004209740A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
| JP2003008095A (ja) | 圧電アクチュエータおよび液滴噴射装置 | |
| JP3758255B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3419410B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH09156099A (ja) | インクジェットプリントヘッド及びその製造方法 | |
| JPH08252914A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS6038163A (ja) | インクジエツトヘツド | |
| JPH11309858A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びその駆動方法並びにインクジェット式記録装置 | |
| CN101208203A (zh) | 液体喷出装置的驱动方法 | |
| US7654651B2 (en) | Liquid discharge head and manufacturing method of the same |