JPH0987032A - 窒化アルミニウムグリーンシート及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】窒化アルミニウム粉末とアクリル樹脂バインダ
ーを主成分とするグリーンシートの製造において、残材
の再利用に好適な窒化アルミニウムグリーンシートを提
供する。 【解決手段】窒化アルミニウム１００重量部と酸価が
０．０１ＫＯＨ ｍｇ／ｇ以上、１ＫＯＨ ｍｇ／ｇ未
満であるアクリル樹脂バインダー５〜３０重量部とより
なり、必要に応じて、焼結助剤、界面活性剤、可塑剤等
の添加物を含有し、且つシート密度が２〜２．８ｇ／ｃ
ｍ³であることを特徴とする窒化アルミニウムグリーン
シートである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、窒化アルミニウム
粉末とアクリル樹脂バインダーを主成分とするグリーン
シートの製造において、残材の再利用に好適な窒化アル
ミニウムグリーンシートに関する。

【０００２】

【従来の技術】最近のＬＳＩの集積度の飛躍的な向上に
伴うＩＣチップの発熱量増大により、従来より使用され
ているアルミナでは熱特性が不十分で、放熱が限界に達
しつつある。

【０００３】これに対し、窒化アルミニウム粉末は、高
熱伝導率、高絶縁性を有し、パッケージ材料等のエレク
トロニクス材料として極めて有用な窒化アルミニウム焼
結体の原料として脚光を浴びている。窒化アルミニウム
焼結体を得る方法として、窒化アルミニウム粉末を顆粒
に造粒した後、乾式プレスにより成形してプレス成形体
を得、焼成する方法や窒化アルミニウム粉末を湿式成形
してグリーンシートを得、これを焼成する方法等があ
る。後者におけるグリーンシートの製造は、窒化アルミ
ニウム粉末にバインダー、必要に応じて表面活性剤及び
有機溶媒等を混合して泥しょうを調製し、これをドクタ
ーブレード法等によりシートに成形する方法が一般に採
用されている。

【０００４】上記バインダーとしては、一般に、成形性
が良好なポリビニルブチラール樹脂が使用されている
が、成形性が良好で、しかも、熱分解性に優れた特性を
有するアクリル樹脂が最近注目されている。

【０００５】また、グリーンシートの製造では、シート
の寸法の調整、打ち抜き用の金型を使用しての所定の寸
法及び形状への加工が実施される。

【０００６】上記一連のグリーンシートの製造方法にお
いて、製品コスト低減のため、シートの厚みが所定の厚
さを満足していないグリーンシートの端部（シート
耳）、打ち抜き加工の際に発生するシート屑等の残材
を、泥しょう原料として再利用する方法が検討されてい
る。この様な残材グリーンシートの再利用により製造さ
れたシートは、リサイクルグリーンシートと呼ばれる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、こうし
て製造された窒化アルミニウムグリーンシートは、成形
ロット毎のシート密度のバラツキが大きいために、これ
から得られる窒化アルミニウム焼結体の収縮率のバラツ
キが大きく、寸法精度の高い焼結体を歩留り良く製造す
ることが困難であるという問題があった。

【０００８】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは、
残材グリーンシートの再利用により得られるリサイクル
グリーンシートのシート密度のバラツキが小さく、品質
の安定した窒化アルミニウムグリーンシートを製造する
ことを目的として、鋭意研究を重ねてきた。

【０００９】その結果、特定の酸価を有するバインダー
を窒化アルミニウム粉末に対して特定量含有し、且つ、
特定のシート密度を有する窒化アルミニウムグリーンシ
ートが上記の目的を達成することを見い出し、本発明を
提案するに至った。

【００１０】即ち、本発明は、窒化アルミニウム１００
重量部及び酸価が０．０１ＫＯＨｍｇ／ｇ以上、１ＫＯ
Ｈ ｍｇ／ｇ未満であるアクリル樹脂バインダー５〜３
０重量部とよりなり、シート密度が２〜２．８ｇ／ｃｍ
³であることを特徴とする窒化アルミニウムグリーンシ
ートである。

【００１１】

【発明の実施の態様】本発明で使用される窒化アルミニ
ウム粉末としては、公知のものが何ら制限なく使用され
る。一般に、熱伝導性に優れた窒化アルミニウム焼結体
を得るためには、酸素含有量や陽イオン不純物の少ない
ことが好ましい。即ち、ＡｌＮを窒化アルミニウム組成
とするとき、不純物となる酸素含有量が１．５重量％以
下、陽イオン不純物が０．３重量％以下である窒化アル
ミニウム粉末が好適である。さらに、酸素含有量が０．
４〜１．３重量％、陽イオン不純物が０．２重量％以下
である窒化アルミニウム粉末がより好適である。

【００１２】尚、本発明における窒化アルミニウムはア
ルミニウムと窒素の１：１の化合物であり、これ以外の
ものを不純物として扱う。但し、窒化アルミニウム粉末
の表面は空気中で不可避的に酸化され、Ａｌ−Ｎ結合が
Ａｌ−Ｏ結合に置き換っているが、この結合Ａｌは陽イ
オン不純物とみなさない。従って、Ａｌ−Ｎ、Ａｌ−Ｏ
の結合をしていない金属アルミニウムは陽イオン不純物
である。

【００１３】また、本発明で用いられる窒化アルミニウ
ム粉末の粒子は、粒子径の小さいものが揃っているもの
が好ましい。例えば、平均粒子径（遠心式粒度分布測定
装置により測定した凝集粒子の平均粒径を言う。）が５
μｍ以下、さらには３μｍ以下であることが好ましい。

【００１４】本発明の窒化アルミニウムグリーンシート
を構成する他の成分は、酸価が０．０１ＫＯＨ ｍｇ／
ｇ以上、１ＫＯＨ ｍｇ／ｇ未満のアクリル樹脂バイン
ダーである。ここで、酸価が１ＫＯＨ ｍｇ／ｇ以上の
場合、該グリーンシートの残材を循環して使用する際、
得られるグリーンシートのシート密度が安定せず、成形
ロット毎のシート密度のバラツキが大きくなるために好
ましくない。また、酸価０．０１ＫＯＨ ｍｇ／ｇ未満
の場合、窒化アルミニウムの分散不良により、グリーン
シートの成形ロット間及びロット内のシート密度のバラ
ツキが大きく、且つ、シート成形時にクラックが入り易
いために好ましくない。

【００１５】特に、シート密度バラツキの小さい、品質
の安定した窒化アルミニウムグリーンシートを製造する
ためには、バインダーの酸価が０．０５〜０．９ ＫＯ
Ｈｍｇ／ｇであることが好ましい。ここで、酸価とは、
アクリル樹脂の遊離脂肪酸の量の定量値である。

【００１６】本発明において好適に使用されるアクリル
樹脂バインダーを具体的に例示すると、ポリメチルメタ
クリレート、ポリ２−エチルヘキシルメタクリレート、
ポリエチルメタクリレート、ポリブチルメタクリレー
ト、ポリオクチルメタクリレート等のポリメタクリル酸
エステルおよびポリメタクリル酸、ポリメチルアクリレ
ート、ポリ２−エチルヘキシルアクリレート、ポリエチ
ルアクリレート、ポリブチルアクリレート、ポリオクチ
ルアクリレート等のポリアクリル酸エステルおよびポリ
アクリル酸の他、ヒドロキシル基やアミノ基を有するポ
リ２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ポリジメチル
アミノエチルメタクリレート等のメタクリル酸エステル
誘導体ポリマー等が挙げられ、一種または二種以上を混
合して使用される。

【００１７】また、アクリル樹脂バインダーのガラス転
移温度（Ｔg）は、特に限定されないが、−１０〜５０
℃、好ましくは、５〜３０℃のものを用いることが、打
ち抜き加工性と脱脂性の点から好適である。

【００１８】更に、前記アクリル樹脂バインダーの分子
量は、特に制限されないが、一般には３，０００〜１，
０００，０００、好ましくは、５，０００〜５００，０
００のものを用いることが、高強度で柔軟性のあるグリ
ーンシートを得るために好適である。

【００１９】前記の窒化アルミニウム粉末とアクリル樹
脂バインダーとの混合割合は、窒化アルミニウム１００
重量部に対してアクリル樹脂バインダーが５〜３０重量
部でなければならず、５．５〜２０重量部の範囲である
ことが更に好ましい。

【００２０】即ち、アクリル樹脂バインダーの量が５重
量部より少ない場合は、シート強度が低下するためシー
ト成形時にクラックが発生し、また、３０重量部より多
い場合は、窒化アルミニウムグリーンシートを焼成して
得られる窒化アルミニウム焼結体の物性が低下するため
に好ましくない。

【００２１】本発明の窒化アルミニウムグリーンシート
のシート密度は、２〜２．８ｇ／ｃｍ³であることが重
要である。即ち、シート密度が２ｇ／ｃｍ³より低い場
合は、該グリーンシートの残材を循環して使用する際、
得られるグリーンシートのシート密度が安定せず、成形
ロット毎のシート密度のバラツキが大きくなるという問
題が生じ、本発明の目的を達成することができない。ま
た、該シート密度が２．８ｇ／ｃｍ³より高い場合は、
残材を循環使用する場合の溶解性が悪くなり、得られる
グリーンシートの成形ロット毎のシート密度のバラツキ
が大きくなる。上記シート密度は、特に、２．３ｇ／ｃ
ｍ³を越えて、２．７ｇ／ｃｍ³以下であることが更に好
ましい。

【００２２】本発明の窒化アルミニウムグリーンシート
には、本発明の効果を著しく阻害しない範囲において、
通常使用される公知の添加剤、例えば、表面活性剤、可
塑剤等添加することが可能である。

【００２３】上記表面活性剤は、公知のものが何ら制限
無く採用できる。特に、親水性親油性バランス（以下Ｈ
ＬＢと略す。）が４．５〜１８のものが、窒化アルミニ
ウムグリーンシートのシート密度が上がるため、本発明
の目的を達成する上で好適に使用される。尚、本発明に
おけるＨＬＢは、デービスの式により算出された値であ
る。

【００２４】好適に使用しうる表面活性剤を具体的に例
示すると、カルボキシル化トリオキシエチレントリデシ
ルエーテル、ジグリセリンものオレート、ジグリセリン
モノステアレート、カルボキシル化ヘプタオキシエチレ
ントリデシルエーテル、テトラグリセリンものオレー
ト、ヘキサグリセリンモノオレート、ポリオキシエチレ
ンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソル
ビタンモノオレート等が挙げられる。本発明における表
面活性剤は、２種以上を混合して使用しても良く、その
時のＨＬＢは、それぞれの表面活性剤のＨＬＢの相加平
均で算出出来る。これら表面活性剤は、良好な窒化アル
ミニウムグリーンシートを製造するためには、通常窒化
アルミニウム１００重量部に対して０．０１〜１０重量
部、好ましくは０．０２〜３．０重量部である。表面活
性剤が０．０１重量部より少ない場合には泥しょうの分
散が不十分となり、１０重量部より多い場合は、グリー
ンシートの強度が低下するため好ましくない。

【００２５】また、本発明の窒化アルミニウムグリーン
シートを特定の形状に加工する際、グリーンシートに、
より柔軟性を付与する目的で可塑剤を使用することが好
ましい。前記目的で一般のセラミック粉末の成形に使用
される公知のものを特に限定することなく使用すること
ができる。特に可塑剤として好適に使用されるものを具
体的に例示すれば、ポリエチレングリコール及びその誘
導体；ジメチルフタレート、ジブチルフタレート、ベン
ジルブチルフタレート及びジオクチルフタレート等のフ
タル酸エステル類；ブチルステアレート等のステアリン
酸エステル類；トリクレゾールフォスフェート；トリ−
Ｎ−ブチルフォスフェート；グリセリン等である。これ
らの可塑剤の添加量は窒化アルミニウムの性状、バイン
ダーの種類、溶媒の種類及び使用量等によって異なり一
概に限定できないが、一般には窒化アルミニウム１００
重量部に対して１５重量部以下、好ましくは０．４〜１
５重量部の範囲から適宜選択して使用すればよい。

【００２６】さらに、上記組成に加えて、窒化アルミニ
ウム粉末の焼結に使用することが公知の焼結助剤、例え
ば、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム等のアルカリ
土類金属酸化物；酸化イットリウム、酸化ランタン等の
希土類酸化物；アルミン酸カルシウム等の複合酸化物等
を窒化アルミニウム粉末との合計量中に占める割合で
０．１〜１０重量％の範囲で用いても良い。

【００２７】本発明の窒化アルミニウムグリーンシート
は、その残材を循環使用して再度グリーンシートを製造
した場合においても、得られるグリーンシートの特性に
バラツキが極めて少ないという特徴を有する。

【００２８】従って、本発明の窒化アルミニウムグリー
ンシートより得られる上記残材を、グリーンシートの成
形に使用する泥しょうの調製に循環使用するグリーンシ
ートの製造方法が提供される。

【００２９】即ち、本発明は、窒化アルミニウム粉末と
アクリル樹脂バインダーを混合し、泥しょうを調製する
泥しょう調製工程、該泥しょう調製工程より得られる泥
しょうからグリーンシート又はその加工品を得る成形工
程、及び該成形工程におけるグリーンシートの残材を前
記泥しょう調製工程に循環する残材循環工程よりなるこ
とを特徴とする前記窒化アルミニウムグリーンシートの
製造方法を提供する。

【００３０】上記の方法において、泥しょう調製工程で
は、窒化アルミニウム粉末とアクリル樹脂バインダーと
が混合される。かかる混合方法は特に制限されないが、
前記した焼結助剤、界面活性剤、可塑剤、溶媒等の任意
成分を使用する際、後記するグリーンシートの残材との
混合及び分散を十分、且つ均一に行うためには、混合を
二段階で行うことが好ましい。即ち、一段目では、窒化
アルミニウムと焼結助剤及び表面活性剤に溶媒を加えて
混合し、二段目では、一段目の混合物にバインダー、可
塑剤、及び後記の残材循環工程より循環されるグリーン
シートの残材、及び残りの溶媒を加えて混合する方法で
ある。

【００３１】本発明の窒化アルミニウムグリーンシート
の製造に好ましく使用される有機溶媒としては、例え
ば、アセトン、メチルエチルケトン及びメチルイソブチ
ルケトン等のケトン類；エタノール、プロパノール及び
ブタノール等のアルコール類；ベンゼン、トルエン及び
キシレン等の芳香族炭化水素類；酢酸エチル、酢酸ブチ
ル等のエステル類；あるいはトリクロロエチレン、テト
ラクロロエチレン及びブロムクロロメタン等のハロゲン
化炭化水素類の１種または２種以上の混合物が挙げられ
る。有機溶媒の量は、２０〜２００重量部の範囲から選
択され、使用される。

【００３２】以上の製造方法により、実用上問題のない
良好な窒化アルミニウムグリーンシートを得ることがで
きるが、前記の２段目の混合時間を短縮し、クラック等
の発生の無い良好な窒化アルミニウムグリーンシートを
得るためには、１段目の混合後、２段目の混合としてバ
インダーと可塑剤、必要に応じて溶媒を加えて混合した
後、３段目で残材グリーンシートと残りの溶媒を加えて
混合する方法、即ち、３段混合による方法が好適に採用
される。

【００３３】また、成形ロット毎のシート密度のバラツ
キが小さい窒化アルミニウムグリーンシートを得る方法
として、下記の混合方法が好適に採用される。

【００３４】即ち、前記の混合に使用する溶媒の一成分
として、炭素数１〜５のアルキル基を有する酢酸エステ
ル類又はケトン類を加える方法である。アクリル樹脂の
溶解性及び乾燥性の点から、酢酸エステル類としては酢
酸ブチルが、ケトン類としてはメチルイソブチルケトン
が好適に使用される。上記酢酸エステル類又はケトン類
との混合割合は、窒化アルミニウム１００重量部に対し
て１〜２０重量部、さらに好ましくは２〜１０重量部が
適当である。

【００３５】こうして、得られた泥しょうは、シート成
形工程において、ドクターブレード法等の方法に使用さ
れるシート成形機を用いてシート状に成形される。次い
で、該シート状の成形物は室温〜溶媒の沸点の温度で乾
燥され、該溶媒の大部分を除去することにより窒化アル
ミニウムグリーンシートに成形される。また、シート成
形工程では、必要に応じて、打ち抜き加工等を行って加
工品を得る作業を実施することもある。

【００３６】本発明の方法の最大の特徴は、上記のシー
ト成形工程において、シートの厚みが所定の厚さを満足
していないグリーンシートの端部（シート耳）、打ち抜
き加工の際に発生するシート屑等の残材を前記泥しょう
調製工程に循環する残材循環工程を設けたことにある。
即ち、本発明の窒化アルミニウムグリーンシートは、循
環使用による特性の変化が極めて少ないため、かかる工
程が実現可能出ある。上記残材循環工程において、グリ
ーンシート残材の循環量は、特に制限されるものではな
いが、一般には、溶媒を除くグリーンシート原料中の１
０〜６０重量％となる範囲内で循環することが好まし
い。

【００３７】また、循環に際して、グリーンシートの残
材は可及的に小さく粉砕することが好ましい。更に、泥
しょう調製工程における循環は連続的に実施することが
好ましい。

【００３８】本発明の窒化アルミニウムグリーンシート
の構成要件であるシート密度は、前記泥しょう調製工程
において、主に、一回目の混合に使用する溶媒量により
調整することができる。ここで、該溶媒量は、窒化アル
ミニム粉末１００重量部に対して、２５〜６０重量部と
なる範囲から選択することが好ましく、２８〜５５重量
部の範囲から選択することが更に好ましい。

【００３９】こうして得られた窒化アルミニウムグリー
ンシートは、公知の方法によって脱脂、焼成される。脱
脂は、一般に、空気や窒素雰囲気中で行われ、脱脂温度
は、バインダーや雰囲気の違いによって、３００〜１０
００℃の範囲から任意に選択される。脱脂後の窒化アル
ミニウム打ち抜き体は、非酸化雰囲気中、１７００〜１
９５０℃の範囲の任意の温度で焼成され、窒化アルミニ
ウム焼結体となる。

【００４０】

【発明の効果】本発明の窒化アルミニウムグリーンシー
トは、シート密度のバラツキが成形ロット内及びロット
間共に小さく安定しているため、高い寸法精度を有する
窒化アルミニウム焼結体の原料として好適である。ま
た、グリーンシートの再利用により、グリーンシート原
料の原単位を下げることができるため、窒化アルミニウ
ムグリーンシートの低コスト化により、高寸法精度の窒
化アルミニウム焼結体を安価に製造することが可能とな
る。更に、本発明の窒化アルミニウムグリーンシート
は、バインダーとして熱分解性の優れたアクリル樹脂を
使用しているため、非酸化雰囲気中で脱脂を行うタング
ステン等の高融点金属との同時焼成基板、金属接合基
板、ファインパターン等のメタライズ面を有する基板及
びそれらの積層基板等の原料として好適に使用される。

【００４１】従って、本発明の窒化アルミニウムグリー
ンシートを用いて得られた窒化アルミニウム焼結体は、
高い寸法精度が要求される上記電子材料窒化アルミニウ
ム基板や汎用窒化アルミニウム基板に対して、低コスト
で製造でき工業的に極めて有用な材料となる。

【００４２】

【実施例】本発明をさらに具体的に説明するために、以
下に実施例及び比較例を挙げるが、本発明はこれらの実
施例に限定されるものではない。

【００４３】尚、以下の実施例及び比較例における各種
の物性の測定は次の方法により行った。

【００４４】１） 比表面積 島津製作所製「フローソーブ２３００」を用いて、Ｎ₂
吸着によるＢＥＴ法 で求めた。

【００４５】２） 平均凝集粒径 堀場製作所製「ＣＡＰＡ ５００」を用いて、遠心沈降
法により求めた。

【００４６】３） 不純物量 陽イオン不純物は、窒化アルミニウム粉末をアルカリ溶
融後、酸で中和し、 島津製作所製「ＩＣＰＳ−１０
００」を使用して溶液のＩＣＰ発光分光分析 により
定量した。

【００４７】不純物カーボン量は、窒化アルミニウム粉
末を酸素気流中で燃焼させ、堀場製作所製「ＥＭＩＡ−
１１０」を使用して、発生したＣＯ、ＣＯ₂ガス量か
ら定量した。

【００４８】不純物酸素量は、窒化アルミニウム粉末を
堀場製作所製「ＥＭＧＡ−２８００」を使用して、グラ
ファイトるつぼ中での高温の熱分解法により発生したＣ
Ｏガス量から求めた。

【００４９】４） 酸価 ＪＩＳ Ｋ−５４００ ８−５−１に準じて、有機溶媒
中に一定量のアクリル樹脂を溶解させ、水酸化カリウム
のエタノール溶液を用いて、アルカリ滴定により測定し
た。

【００５０】５） シート密度（ｄ） 所定の形状に打ち抜いたシート成形体の寸法と重量を測
定して求めた。各実験において、シートリサイクルを５
回繰り返し行い、その５本のシート密度の平均値を表に
記した。

【００５１】６） シート密度バラツキ（△ｄ） ５）の５本のシート密度の最大値と最小値の差より求め
た。

【００５２】７） 焼結体密度 東洋精機製「高精度比重計Ｄ−Ｈ」を使用して、アルキ
メデス法により求めた。

【００５３】８） 熱伝導率 理学電機（株）製「熱定数測定装置ＰＳ−７」を使用し
て、レーザーフラッシュ法により測定した。厚さ補正は
検量線により行った。

【００５４】実施例１ 内容積１０Ｌのナイロン製ポットに鉄心入りナイロンボ
ールを入れ、次いで、表１に示す窒化アルミニウム粉末
１００重量部、酸化イットリウム５．０重量部、表面活
性剤としてテトラグリセリンモノオレート１．０重量
部、溶媒としてトルエン４０重量部を添加して一段目の
ボールミル混合を十分に行った後、この混合物にバイン
ダーとして、酸価が０．７ＫＯＨ ｍｇ／ｇのポリｎ−
ブチルメタクリレート１３重量部、可塑剤としてジブチ
ルフタレート４．２重量部、トルエン１０重量部、酢酸
ブチルを５重量部を加えて、更に、二段目のボールミル
混合を行い、白色の泥しょうを得た。

【００５５】

【表１】

【００５６】こうして得られた泥しょうを脱溶媒し、粘
度を１００００〜２００００ｃｐｓに調整した後、ドク
ターブレード法によりシート成形を行い、室温で１時
間、６０℃で２時間、１００℃で１時間乾燥して、幅２
０ｃｍ、厚さ０．６〜０．７ｍｍのグリーンシートを作
製した。

【００５７】更に、上記と同様にして、表１に示す窒化
アルミニウム粉末１００重量部、酸化イットリウム５．
０重量部、表面活性剤としてテトラグリセリンモノオレ
ート１．０重量部、溶媒としてトルエン４０重量部を添
加して一段目ボールミル混合を十分に行った後、この混
合物にバインダーとして、酸価が０．７ＫＯＨ ｍｇ／
ｇのポリｎ−ブチルメタクリレート１３重量部、可塑剤
としてジブチルフタレート４．２重量部を加えて、予め
３０分間混合した後、残材のグリーンシートを窒化アル
ミニウムに換算して３０重量部、トルエン１０重量部、
酢酸ブチル５重量部を加えて、更に、ボールミル混合１
２時間行い、白色の泥しょうを得た。この泥しょうによ
り、上記と同様にしてグリーンシートを作製し、そのシ
ート密度を測定した。更に続けて、ここで得られたグリ
ーンシートを再び原料に混合し、グリーンシートを作製
する上記の操作を合計５回繰り返し、それぞれの５本の
グリーンシートのシート密度とそれらのシート密度のバ
ラツキを測定し、結果を表２に示した。

【００５８】その後、グリーンシートを３４ｍｍ角の金
型で所定の形状に打ち抜いた後、空気中、６００℃で５
時間焼成し、次いで、内面に窒化ホウ素を塗布したカー
ボン製るつぼに入れ、窒素雰囲気中、１８００℃で５時
間焼成した。得られた焼結体の密度と熱伝導率を測定
し、結果を表２に示した。

【００５９】実施例２ 窒化アルミニウムに換算して３０重量部の残材のグリー
ンシートとトルエン１０重量部、酢酸ブチル５重量部を
ポリｎ−ブチルメタクリレート１３重量部、ジブチルフ
タレート４．２重量部と同時に投入し、２４時間混合し
たこと以外は、実施例１と同様にして、窒化アルミニウ
ムグリーンシートを得、打ち抜き体を得、焼結体を得
た。結果を表２に示した。

【００６０】

【表２】

【００６１】実施例３ 表３に示した各種酸価のポリｎ−ブチルメタクリレート
を使用した以外は、実施例１と同様にして、窒化アルミ
ニウムグリーンシートを得、打ち抜き体を得、焼結体を
得た。結果を表３に示した。

【００６２】

【表３】

【００６３】実施例４ バインダーとして、酸価が０．７ＫＯＨ ｍｇ／ｇのポ
リｎ−ブチルメタクリレートと一段目の混合に使用する
トルエンの添加量を表３に示した量だけ添加したこと以
外は実施例１と同様にして、窒化アルミニウムグリーン
シートを得、打ち抜き体を得、焼結体を得た。結果を表
４に示した。

【００６４】

【表４】

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 窒化アルミニウム１００重量部及び酸価
   が０．０１ＫＯＨ ｍｇ／ｇ以上、１ＫＯＨ ｍｇ／ｇ
   未満であるアクリル樹脂バインダー５〜３０重量部より
   なり、且つシート密度が２〜２．８ｇ／ｃｍ³であるこ
   とを特徴とする窒化アルミニウムグリーンシート。
2. 【請求項２】 窒化アルミニウム粉末とアクリル樹脂バ
   インダーを混合し、泥しょうを調製する泥しょう調製工
   程、該泥しょう調製工程より得られる泥しょうからグリ
   ーンシート又はその加工品を得る成形工程、及び該成形
   工程におけるグリーンシートの残材を前記泥しょう調製
   工程に循環する残材循環工程よりなることを特徴とする
   請求項１記載の窒化アルミニウムグリーンシートの製造
   方法。