JPH0989131A - ダイヤフラム弁 - Google Patents
ダイヤフラム弁Info
- Publication number
- JPH0989131A JPH0989131A JP26797895A JP26797895A JPH0989131A JP H0989131 A JPH0989131 A JP H0989131A JP 26797895 A JP26797895 A JP 26797895A JP 26797895 A JP26797895 A JP 26797895A JP H0989131 A JPH0989131 A JP H0989131A
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- diaphragm
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- annular thin
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ダイヤフラム弁に於けるダイヤフラムの環状
薄膜部の内外周の付根部に局部応力が集中しないよう
に、また弁体の上死点でも内周の付根部が引張られない
ように耐久性を向上する。 【解決手段】 弁箱の弁座面にＰＴＦＥ製のダイヤフラ
ムを押し当てて弁箱内部を流れる液体を遮断する樹脂製
のダイヤフラム弁に於いて、前記ダイヤフラム６′が、
中央の弁体６′ａと、その弁体６′ａの周囲に一体に形
成した環状薄膜部６′ｂと、その環状薄膜部６′ｂの周
囲に一体に形成した筒状保持部６′ｃとよりなり、前記
環状薄膜部６′ｂが円弧状に曲成され且つ内外周の付根
部６′ｄ、６′ｅの上下に段差が形成されていることを
特徴とするダイヤフラム弁。
薄膜部の内外周の付根部に局部応力が集中しないよう
に、また弁体の上死点でも内周の付根部が引張られない
ように耐久性を向上する。 【解決手段】 弁箱の弁座面にＰＴＦＥ製のダイヤフラ
ムを押し当てて弁箱内部を流れる液体を遮断する樹脂製
のダイヤフラム弁に於いて、前記ダイヤフラム６′が、
中央の弁体６′ａと、その弁体６′ａの周囲に一体に形
成した環状薄膜部６′ｂと、その環状薄膜部６′ｂの周
囲に一体に形成した筒状保持部６′ｃとよりなり、前記
環状薄膜部６′ｂが円弧状に曲成され且つ内外周の付根
部６′ｄ、６′ｅの上下に段差が形成されていることを
特徴とするダイヤフラム弁。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
於いて、純水、薬液等の供給系に使用される樹脂製のダ
イヤフラム弁に関する。
於いて、純水、薬液等の供給系に使用される樹脂製のダ
イヤフラム弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の上記用途の樹脂製のダイヤフラム
弁の一例を、図４によって説明すると、１は逆Ｔ字形の
弁箱で、一側に液体流入通路２、他側に液体流出通路３
が設けられている。液体流入通路２の出口側は弁箱１内
の中心に垂直に開口され、その開口周縁に突起４が形成
され、その突起４の先端が小さな断面円弧状の弁座５と
なっている。６はＰＴＦＥ製のダイヤフラムで、図５に
示すように中央に弁座５に圧着する弁体６ａを有し、そ
の弁体６ａの周囲に一体に形成した環状薄膜部６ｂを有
し、その環状薄膜部６ｂの周囲に一体に形成した筒状保
持部６ｃを有するものである。図４において、７は弁箱
１内の周囲の溝８内に嵌着したダイヤフラム６の筒状保
持部６ｃを押えるダイヤフラム押えで、このダイヤフラ
ム押え７は弁駆動部のシリンダー８のケース９にて押え
られている。ダイヤフラム６の中央の弁体６ａはピスト
ン９の下側ロッド１０に結合され、シリンダー８の下室
にはスプリング１１が装入されてピストン９が上方に付
製されるようになっている。ピストン９の上側ロッド１
２はシリンダー８のキャップ１３の内面中央に設けられ
た筒状ガイド１３ａに嵌入されている。１４はシリンダ
ー８の上室へのエアー導入口、１５はシリンダー８の下
室と外部とのエアー連通口である。
弁の一例を、図４によって説明すると、１は逆Ｔ字形の
弁箱で、一側に液体流入通路２、他側に液体流出通路３
が設けられている。液体流入通路２の出口側は弁箱１内
の中心に垂直に開口され、その開口周縁に突起４が形成
され、その突起４の先端が小さな断面円弧状の弁座５と
なっている。６はＰＴＦＥ製のダイヤフラムで、図５に
示すように中央に弁座５に圧着する弁体６ａを有し、そ
の弁体６ａの周囲に一体に形成した環状薄膜部６ｂを有
し、その環状薄膜部６ｂの周囲に一体に形成した筒状保
持部６ｃを有するものである。図４において、７は弁箱
１内の周囲の溝８内に嵌着したダイヤフラム６の筒状保
持部６ｃを押えるダイヤフラム押えで、このダイヤフラ
ム押え７は弁駆動部のシリンダー８のケース９にて押え
られている。ダイヤフラム６の中央の弁体６ａはピスト
ン９の下側ロッド１０に結合され、シリンダー８の下室
にはスプリング１１が装入されてピストン９が上方に付
製されるようになっている。ピストン９の上側ロッド１
２はシリンダー８のキャップ１３の内面中央に設けられ
た筒状ガイド１３ａに嵌入されている。１４はシリンダ
ー８の上室へのエアー導入口、１５はシリンダー８の下
室と外部とのエアー連通口である。
【０００３】このように構成されたダイヤフラム弁は、
シリンダー８の上室へエアーを導入すると、スプリング
１１に抗してピストン９が下降し、下側ロッド１０に結
合されたダイヤフラム６の中央の弁体６ａが弁座５に圧
着されて閉弁され、シリンダー８の上室からエアーを抜
くと、スプリング１１の復元力によりピストン９が付製
されて上昇し、下側ロッド１０に結合されたダイヤフラ
ム６の中央の弁体６ａが弁座５から離隔して閉弁され
る。
シリンダー８の上室へエアーを導入すると、スプリング
１１に抗してピストン９が下降し、下側ロッド１０に結
合されたダイヤフラム６の中央の弁体６ａが弁座５に圧
着されて閉弁され、シリンダー８の上室からエアーを抜
くと、スプリング１１の復元力によりピストン９が付製
されて上昇し、下側ロッド１０に結合されたダイヤフラ
ム６の中央の弁体６ａが弁座５から離隔して閉弁され
る。
【０００４】ところで、上記従来のダイヤフラム弁は、
ダイヤフラム６に耐薬品性を考慮してＰＴＦＥ製のもの
が使用されているが、弁開閉が数１０回行われると、弁
体６ａの上下動により環状薄膜部６ｂの内周の付根部が
折り曲げ試験されているようなことになり、この部分に
曲げ応力が集中し、特に、弁体６ａの上死点では環状薄
膜部６ｂの内周の付根部が引張られるようになり、初期
状態から白化し易く、耐久性が低下するという問題があ
った。
ダイヤフラム６に耐薬品性を考慮してＰＴＦＥ製のもの
が使用されているが、弁開閉が数１０回行われると、弁
体６ａの上下動により環状薄膜部６ｂの内周の付根部が
折り曲げ試験されているようなことになり、この部分に
曲げ応力が集中し、特に、弁体６ａの上死点では環状薄
膜部６ｂの内周の付根部が引張られるようになり、初期
状態から白化し易く、耐久性が低下するという問題があ
った。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上記
ダイヤフラムの環状薄膜部の内周の付根部は勿論のこ
と、外周の付根部にも曲げ応力が集中しないように、ま
た弁体の上死点でも内周の付根部が引張られないように
して、耐久性を向上させたダイヤフラムを備えたダイヤ
フラム弁を提供しようとするものである。
ダイヤフラムの環状薄膜部の内周の付根部は勿論のこ
と、外周の付根部にも曲げ応力が集中しないように、ま
た弁体の上死点でも内周の付根部が引張られないように
して、耐久性を向上させたダイヤフラムを備えたダイヤ
フラム弁を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のダイヤフラム弁は、弁箱の弁座面にＰＴＦＥ
製のダイヤフラムを押し当てて弁箱内部を流れる液体を
遮断する樹脂製のダイヤフラム弁に於いて、前記ダイヤ
フラムが、中央の弁体と、その弁体の周囲に一体に形成
した環状薄膜部と、その環状薄膜部の周囲に一体に形成
した筒状保持部とよりなり、前記環状薄膜部が円弧状に
曲成され且つ内外周の付根部の上下に段差が形成されて
いることを特徴するものである。
の本発明のダイヤフラム弁は、弁箱の弁座面にＰＴＦＥ
製のダイヤフラムを押し当てて弁箱内部を流れる液体を
遮断する樹脂製のダイヤフラム弁に於いて、前記ダイヤ
フラムが、中央の弁体と、その弁体の周囲に一体に形成
した環状薄膜部と、その環状薄膜部の周囲に一体に形成
した筒状保持部とよりなり、前記環状薄膜部が円弧状に
曲成され且つ内外周の付根部の上下に段差が形成されて
いることを特徴するものである。
【０００７】上記のように構成されたダイヤフラム弁
は、ダイヤフラムの中央の弁体と最外周側の筒状保持部
との間の環状薄膜部が、円弧状に曲成されてたるみを持
っているため、弁開閉時、弁体の上下動により環状薄膜
部の内外周の付根部にかかる局部応力を環状薄膜部全体
に分散でき、また径が小さい割に弁体のストロークを大
きくとれる。しかも環状薄膜部の内外周の付根部の上下
に段差が形成されているので、その付根部にかかる局部
応力が低減される。
は、ダイヤフラムの中央の弁体と最外周側の筒状保持部
との間の環状薄膜部が、円弧状に曲成されてたるみを持
っているため、弁開閉時、弁体の上下動により環状薄膜
部の内外周の付根部にかかる局部応力を環状薄膜部全体
に分散でき、また径が小さい割に弁体のストロークを大
きくとれる。しかも環状薄膜部の内外周の付根部の上下
に段差が形成されているので、その付根部にかかる局部
応力が低減される。
【０００８】
【実施例】本発明のダイヤフラム弁の一実施例を図１に
よって説明する。図中、図４と同一部品には同一符号を
付してある。本発明のダイヤフラム弁が従来のダイヤフ
ラム弁と異なる点は、弁の開閉に直接携わるダイヤフラ
ム６′で、このダイヤフラム６′は、ＰＴＦＥ製で、中
央の弁体６′ａと、その弁体６′ａの周囲に一体に形成
した環状薄膜部６′ｂと、その環状薄膜部６′ｂの周囲
に一体に形成した筒状保持部６′ｃとよりなり、前記環
状薄膜部６′ｂは図２に示すように上向きに円弧状に曲
成され、且つ内外周の付根部６′ｄ、６′ｅの上下に段
差が形成されて、付根部６′ｄの上縁が結合されている
弁体６′ａの上部外径よりも付根部６′ｄの下縁が結合
されている弁体６′ａの下部外径の方が大径となされ、
付根部６′ｅの上縁が結合されている筒状保持部６′ｃ
の上部内径よりも付根部６′ｅの下縁が結合されている
筒状保持部６′ｃの下部内径の方が小径となされてい
る。
よって説明する。図中、図４と同一部品には同一符号を
付してある。本発明のダイヤフラム弁が従来のダイヤフ
ラム弁と異なる点は、弁の開閉に直接携わるダイヤフラ
ム６′で、このダイヤフラム６′は、ＰＴＦＥ製で、中
央の弁体６′ａと、その弁体６′ａの周囲に一体に形成
した環状薄膜部６′ｂと、その環状薄膜部６′ｂの周囲
に一体に形成した筒状保持部６′ｃとよりなり、前記環
状薄膜部６′ｂは図２に示すように上向きに円弧状に曲
成され、且つ内外周の付根部６′ｄ、６′ｅの上下に段
差が形成されて、付根部６′ｄの上縁が結合されている
弁体６′ａの上部外径よりも付根部６′ｄの下縁が結合
されている弁体６′ａの下部外径の方が大径となされ、
付根部６′ｅの上縁が結合されている筒状保持部６′ｃ
の上部内径よりも付根部６′ｅの下縁が結合されている
筒状保持部６′ｃの下部内径の方が小径となされてい
る。
【０００９】かかる構造のダイヤフラム６′を備えた実
施例のダイヤフラム弁は、従来例のダイヤフラム弁と同
様、シリンダー８の上室へエアーを導入すると、スプリ
ング１１に抗してピストン９が下降し、下側ロッド１０
に結合されたダイヤフラム６の中央の弁体６′ａが弁座
５に圧着されて閉弁され、シリンダー８の上室からエア
ーを抜くと、スプリング１１の復元力によりピストン９
が付勢されて上昇し、下側ロッド１０に結合されたダイ
ヤフラム６′の中央の弁体６′ａが弁座５から離隔して
開閉される。このような弁の開閉動作を行う実施例のダ
イヤフラム弁は、ダイヤフラム６′の中央の弁体６′ａ
と最外周側の筒状保持部６′ｃとの間の環状薄膜部６′
ｂが、上向き円弧状に曲成されてたるみを持っているの
で、弁開閉時、弁体６′ａの上下動により環状薄膜部
６′ｂの内外周の付根部６′ｄ、６′ｅが引張られるこ
とがなく、付根部６′ｄ、６′ｅにかかる局部応力が環
状薄膜部６′ｂ全体に分散され、また弁体６′ａは径が
小さい割にストロークを大きくとれた。しかも環状薄膜
部６′ｂの内外周の付根部６′ｄ、６′ｅの上下に段差
が形成されているので、その付根部６′ｄ、６′ｅにか
かる局部応力が低減され、付根部６′ｄ、６′ｅには全
く白化現象が生ぜず、２００万サイクル、圧力をかけて
作動させても初期の状態を保っており、何ら疲労の痕跡
も発生しなかった。
施例のダイヤフラム弁は、従来例のダイヤフラム弁と同
様、シリンダー８の上室へエアーを導入すると、スプリ
ング１１に抗してピストン９が下降し、下側ロッド１０
に結合されたダイヤフラム６の中央の弁体６′ａが弁座
５に圧着されて閉弁され、シリンダー８の上室からエア
ーを抜くと、スプリング１１の復元力によりピストン９
が付勢されて上昇し、下側ロッド１０に結合されたダイ
ヤフラム６′の中央の弁体６′ａが弁座５から離隔して
開閉される。このような弁の開閉動作を行う実施例のダ
イヤフラム弁は、ダイヤフラム６′の中央の弁体６′ａ
と最外周側の筒状保持部６′ｃとの間の環状薄膜部６′
ｂが、上向き円弧状に曲成されてたるみを持っているの
で、弁開閉時、弁体６′ａの上下動により環状薄膜部
６′ｂの内外周の付根部６′ｄ、６′ｅが引張られるこ
とがなく、付根部６′ｄ、６′ｅにかかる局部応力が環
状薄膜部６′ｂ全体に分散され、また弁体６′ａは径が
小さい割にストロークを大きくとれた。しかも環状薄膜
部６′ｂの内外周の付根部６′ｄ、６′ｅの上下に段差
が形成されているので、その付根部６′ｄ、６′ｅにか
かる局部応力が低減され、付根部６′ｄ、６′ｅには全
く白化現象が生ぜず、２００万サイクル、圧力をかけて
作動させても初期の状態を保っており、何ら疲労の痕跡
も発生しなかった。
【００１０】上記実施例のダイヤフラム弁に於けるダイ
ヤフラム６′は、環状薄膜部６′ｂが上向き円弧状に曲
成されているが、図３に示すように下向き円弧状に曲成
されていてもよいもので、この場合、付根部６′ｄの上
縁が結合されている弁体６′ａの上部外径よりも付根部
６′ｄの下縁が結合されている弁体６′ａの下部外径の
方が小径となされ、付根部６′ｅの上縁が結合されてい
る筒状保持部６′ｃの上部内径よりも付根部６′ｅの下
縁が結合されている筒状保持部６′ｃの下部内径の方が
大径となされている。
ヤフラム６′は、環状薄膜部６′ｂが上向き円弧状に曲
成されているが、図３に示すように下向き円弧状に曲成
されていてもよいもので、この場合、付根部６′ｄの上
縁が結合されている弁体６′ａの上部外径よりも付根部
６′ｄの下縁が結合されている弁体６′ａの下部外径の
方が小径となされ、付根部６′ｅの上縁が結合されてい
る筒状保持部６′ｃの上部内径よりも付根部６′ｅの下
縁が結合されている筒状保持部６′ｃの下部内径の方が
大径となされている。
【００１１】また、上記実施例のダイヤフラム弁は、ノ
ーマル・オープン（Ｎ・Ｏ）タイプのダイヤフラム弁で
あるが、ノーマル・クローズ（Ｎ・Ｃ）タイプのダイヤ
フラム弁の場合は、スプリング１１がシリンダー８の上
室に装入され、シリンダー８の上室と外部とを連通する
エアー連通口１５がシリンダー８のケース９の上部に設
けられ、シリンダー８の下室のエアー導入口１４がシリ
ンダー８のケース９の下部に設けられる。
ーマル・オープン（Ｎ・Ｏ）タイプのダイヤフラム弁で
あるが、ノーマル・クローズ（Ｎ・Ｃ）タイプのダイヤ
フラム弁の場合は、スプリング１１がシリンダー８の上
室に装入され、シリンダー８の上室と外部とを連通する
エアー連通口１５がシリンダー８のケース９の上部に設
けられ、シリンダー８の下室のエアー導入口１４がシリ
ンダー８のケース９の下部に設けられる。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明のダイヤ
フラム弁は、弁開閉時、ダイヤフラムの中央の弁体の上
下動により環状薄膜部の内外周の付根部が引張られるこ
とがなく、付根部にかかる局部応力を環状薄膜部全体に
分散できる。また、弁体の径が小さい割にストロークを
大きくとれて、弁の小型化に寄与できる。しかも環状薄
膜部の内外周の付根部にかかる局部応力を低減でき、白
化現象は全く生ぜず、２００万サイクル、圧力をかけて
作動させても初期の状態を保っていて、疲労の痕跡は全
く発生せず、耐久性が極めて高いものとなる。
フラム弁は、弁開閉時、ダイヤフラムの中央の弁体の上
下動により環状薄膜部の内外周の付根部が引張られるこ
とがなく、付根部にかかる局部応力を環状薄膜部全体に
分散できる。また、弁体の径が小さい割にストロークを
大きくとれて、弁の小型化に寄与できる。しかも環状薄
膜部の内外周の付根部にかかる局部応力を低減でき、白
化現象は全く生ぜず、２００万サイクル、圧力をかけて
作動させても初期の状態を保っていて、疲労の痕跡は全
く発生せず、耐久性が極めて高いものとなる。
【図１】本発明のダイヤフラム弁の一実施例を示す縦断
面図である。
面図である。
【図２】図１のダイヤフラム弁に於けるダイヤフラムを
示す拡大縦断面図である。
示す拡大縦断面図である。
【図３】図２のダイヤフラムの変更例を示す拡大縦断面
図である。
図である。
【図４】従来のダイヤフラム弁を示す縦断面図である。
【図５】図４のダイヤフラム弁に於けるダイヤフラムを
示す拡大縦断面図である。
示す拡大縦断面図である。
１ 弁箱 ５ 弁座 ６′ ダイヤフラム ６′ａ 弁体 ６′ｂ 環状薄膜部 ６′ｃ 環状保持部 ６′ｄ、６′ｅ 付根部
Claims (1)
- 【請求項１】 弁箱の弁座面にＰＴＦＥ製のダイヤフラ
ムを押し当てて弁箱内部を流れる液体を遮断する樹脂製
のダイヤフラム弁に於いて、前記ダイヤフラムが、中央
の弁体と、その弁体の周囲に一体に形成した環状薄膜部
と、その環状薄膜部の周囲に一体に形成した筒状保持部
とよりなり、前記環状薄膜部が円弧状に曲成され且つ内
外周の付根部の上下に段差が形成されていることを特徴
するダイヤフラム弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26797895A JP2952186B2 (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | ダイヤフラム弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26797895A JP2952186B2 (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | ダイヤフラム弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989131A true JPH0989131A (ja) | 1997-03-31 |
| JP2952186B2 JP2952186B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=17452222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26797895A Expired - Lifetime JP2952186B2 (ja) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | ダイヤフラム弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2952186B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1151218A (ja) * | 1997-06-04 | 1999-02-26 | Furon Co | 弁、ポペット、流体の流れを制御する弁装置および方法 |
| JP2002276845A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 調節弁 |
| KR20030063975A (ko) * | 2002-01-25 | 2003-07-31 | 민흥기 | 공압용 밸브의 다이아프램 |
| JP2007239896A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Koganei Corp | ダイヤフラム弁 |
-
1995
- 1995-09-22 JP JP26797895A patent/JP2952186B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1151218A (ja) * | 1997-06-04 | 1999-02-26 | Furon Co | 弁、ポペット、流体の流れを制御する弁装置および方法 |
| JP2002276845A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 調節弁 |
| KR20030063975A (ko) * | 2002-01-25 | 2003-07-31 | 민흥기 | 공압용 밸브의 다이아프램 |
| JP2007239896A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Koganei Corp | ダイヤフラム弁 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2952186B2 (ja) | 1999-09-20 |
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