JPH0992957A - Surface treatment jig for thin metal foil-clad substrates - Google Patents
Surface treatment jig for thin metal foil-clad substratesInfo
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- JPH0992957A JPH0992957A JP24426595A JP24426595A JPH0992957A JP H0992957 A JPH0992957 A JP H0992957A JP 24426595 A JP24426595 A JP 24426595A JP 24426595 A JP24426595 A JP 24426595A JP H0992957 A JPH0992957 A JP H0992957A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、薄い金属箔張基板の表
面処理治具に関するものである。特に、薄い金属箔張基
板、例えば、厚さ 0.1mm程度以下の銅張基板やプリント
配線基板等の金属面の表面処理を効率良く、信頼性良く
実施するのに有用なものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface treatment jig for a thin metal foil-clad substrate. In particular, it is useful for efficiently and reliably performing surface treatment of a metal surface of a thin metal foil-clad substrate, for example, a copper-clad substrate having a thickness of about 0.1 mm or less, a printed wiring board, or the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、金属箔張基板に対しては、粗
化処理等の各種の表面処理が施されてきており、例えば
多層プリント配線板の内層コア材に対しては、薬液中に
銅張基板を浸漬して黒化処理することなどが行われてき
ている。この黒化処理に際しては、複数枚の基板を同時
にラックに支持して、処理薬液中に浸漬することが一般
的に行われている。多層プリント配線板の薄板化に伴っ
て、これを構成するコア材等の薄板化が進んでいる。そ
こで、例えば、黒化処理等の表面処理に際して、基板の
相互接触を防ぎつつ、均一な処理を可能とするために、
例えば、図7に示したように薄い金属箔張基板(A) をラ
ック(40)に支持固定するために、内枠に横枠(41)あるい
は仕切治具(42)を用いる方法がある。2. Description of the Related Art Conventionally, metal foil-clad substrates have been subjected to various surface treatments such as roughening treatment. For example, an inner layer core material of a multilayer printed wiring board is treated with a chemical solution. It has been practiced to immerse a copper-clad substrate for blackening treatment. In this blackening treatment, it is general practice to simultaneously support a plurality of substrates on a rack and immerse them in a treatment chemical solution. Along with the thinning of the multilayer printed wiring board, the core material and the like constituting the multilayer printed wiring board are becoming thinner. Therefore, for example, in surface treatment such as blackening treatment, in order to prevent the mutual contact of the substrates, to enable a uniform treatment,
For example, as shown in FIG. 7, there is a method of using a horizontal frame (41) or a partition jig (42) as an inner frame to support and fix the thin metal foil-clad substrate (A) to the rack (40).
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、この図7に示
した従来法の場合、板厚 0.1mm以下で残銅率が40%以下
の薄板基板等を多数枚配置するには課題があった。すな
わち、基板は容易にたわみ、その結果、横枠(41)を用い
た場合、基板表面が横枠(41)に接触し処理面が傷付いた
り、または仕切治具(42)を取付けた場合、基板が相互に
接触し処理不良を起こすことがあった。また、このよう
な支持固定法の場合には、たわみがないように支持固定
すること、相互接触なしに取り出すことに困難が伴い、
作業に相当の時間を要した。以上であり、板厚 0.1mm以
下で、残銅率40%以下のような薄板基板を多数枚同時に
高効率で歩留まり良く信頼性の高い均一な処理を可能と
する表面処理用治具が望まれていた。However, in the case of the conventional method shown in FIG. 7, there is a problem in arranging a large number of thin boards having a plate thickness of 0.1 mm or less and a residual copper rate of 40% or less. . That is, the board is easily deflected, and as a result, when the horizontal frame (41) is used, the surface of the board contacts the horizontal frame (41) and the processing surface is damaged, or the partition jig (42) is attached. However, the substrates may come into contact with each other to cause processing defects. Further, in the case of such a supporting and fixing method, it is difficult to carry out supporting and fixing so that there is no deflection, and take out without mutual contact,
It took a considerable amount of time for the work. As described above, a surface treatment jig is desired that can perform uniform treatment with high efficiency, high yield, and high reliability at the same time for a large number of thin substrates with a plate thickness of 0.1 mm or less and a residual copper ratio of 40% or less. Was there.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、ラ
ック(10)に薄い金属箔張基板(A) を鉛直支持して薬液に
よって表面処理するための治具であって、該ラック(10)
は該薄い金属箔張基板(A) の左右を支持固定するための
額縁状フレーム(30)と該額縁状フレーム(30)の左右を支
持固定するための開閉自在とした複数のラックフレーム
内枠(20)とからなることを特徴とする薄い金属箔張基板
の表面処理治具である。Means for Solving the Problems That is, the present invention relates to a jig for vertically supporting a thin metal foil-clad substrate (A) on a rack (10) for surface treatment with a chemical solution. )
Is a frame-shaped frame (30) for supporting and fixing the left and right sides of the thin metal foil-clad substrate (A), and a plurality of openable and closable rack frame inner frames for supporting and fixing the left and right sides of the frame-shaped frame (30). (20) A surface treatment jig for a thin metal foil-clad substrate comprising:
【0005】そして、本発明は該額縁状フレーム(30)
が、耐食性金属板製の額縁状のフレーム枠(31,32) とそ
の左右に固定具(33,34) とを設けてなり、少なくとも一
方の固定具 (33又は34) を設けたプレート(36)が該薄い
金属箔張基板(A) の大きさに応じて上下フレーム枠(32)
を左右に移動させ固定可能としてなるものであること、
該ラックフレーム内枠(20)が、左右の支持固定部に弾性
体からなる補助具(21)を設けてなるものであること、該
ラックフレーム内枠(20)が、額縁状フレーム(30)の左右
の額縁部の位置に相当する幅を有する支持固定部を設け
た左右の枠部と、該左右の枠部に連続し、額縁状フレー
ム(30)の上下の額縁部の位置に相当する以上の高さを有
する上下の枠部とで構成されるものであること、さらに
該ラック(10)が、ラックフレーム内枠(20)を該ラック(1
0)のフレームに支持固定するための弾性体を具備した固
定具(11)を設けてなるものである薄い金属箔張基板の表
面処理治具である。Then, the present invention relates to the frame-like frame (30).
However, the frame (31, 32) made of a corrosion-resistant metal plate is provided with the frame (31, 32) and the fixtures (33, 34) on the left and right sides thereof, and the plate (36 having at least one fixture (33 or 34) is provided. ) Is the upper and lower frame frame (32) according to the size of the thin metal foil-clad substrate (A)
Can be fixed by moving left and right,
The rack frame inner frame (20) is one in which auxiliary tools (21) made of an elastic body are provided on the left and right supporting and fixing parts, and the rack frame inner frame (20) is a frame-shaped frame (30). The left and right frame portions provided with the supporting and fixing portions having a width corresponding to the positions of the left and right frame portions, and the upper and lower frame portions that are continuous with the left and right frame portions and correspond to the positions of the upper and lower frame portions of the frame frame (30). The rack (10) further comprises an inner frame (20) for the rack (1).
A surface treatment jig for a thin metal foil-clad substrate, comprising a fixture (11) provided with an elastic body for supporting and fixing to the frame (0).
【0006】[0006]
【発明の実施の形態】図面を用いて本発明の実施例を説
明する。図1、図2および図3は、本発明の額縁状フレ
ーム(30)に支持固定された薄い金属箔張基板(A) をラッ
ク(10)に複数鉛直に支持固定した例である。図1は正面
図、図2は図1の右側面図であり、図3は該ラック(10)
とラックフレーム内枠(20)の側面の支持固定部を示す斜
視図である。また、図4、図5および図6は、本発明の
額縁状フレーム(30)と薄い金属箔張基板(A) をこの額縁
状フレーム(30)に支持固定した例である。図4は正面
図、図5は図4の右側面図であり、図6は該額縁状フレ
ーム(30)に移動自在な支持固定用フレーム(32)により薄
い金属箔張基板(A) を支持固定するための部分を示す斜
視図である。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1, 2 and 3 show an example in which a plurality of thin metal foil-clad substrates (A) supported and fixed to a frame-shaped frame (30) of the present invention are vertically supported and fixed to a rack (10). 1 is a front view, FIG. 2 is a right side view of FIG. 1, and FIG. 3 is the rack (10).
FIG. 3 is a perspective view showing a side supporting and fixing portion of the rack frame inner frame (20). 4, 5 and 6 show examples in which the frame-shaped frame (30) of the present invention and the thin metal foil-clad substrate (A) are supported and fixed to the frame-shaped frame (30). FIG. 4 is a front view, FIG. 5 is a right side view of FIG. 4, and FIG. 6 is a view showing that the thin metal foil-clad substrate (A) is supported on the frame-shaped frame (30) by a movable supporting and fixing frame (32). It is a perspective view which shows the part for fixing.
【0007】まず、本発明の額縁状フレーム(30)に関す
る図4、5、6を説明する。図において、上下のフレー
ム枠には、移動自在な支持固定用フレーム(32)を左右に
自在に移動させ固定するための固定部が形成され、移動
自在な支持固定用フレーム(32)の上下を固定具(37)に
て、所望の位置に固定する。左枠内側に固定した支持固
定用フレーム(31)、移動自在な支持固定用フレーム(32)
には、薄い金属箔張基板(A) を固定する基板固定プレー
ト(35,36) が設ける。そして、固定具(33,34) により支
持固定用フレーム(31,32) と基板固定プレート(35,36)
との間に薄い金属箔張基板(A) を挟み固定する。First, FIGS. 4, 5 and 6 relating to the frame-like frame (30) of the present invention will be described. In the figure, the upper and lower frame frames are formed with a fixing portion for moving and fixing the movable supporting and fixing frame (32) freely to the left and right, and the upper and lower portions of the movable supporting and fixing frame (32) are fixed. Fix it in the desired position with the fixture (37). Support fixing frame (31) fixed inside the left frame, movable support fixing frame (32)
A board fixing plate (35, 36) for fixing the thin metal foil-clad board (A) is provided on this. Then, using the fixtures (33, 34), the supporting and fixing frame (31, 32) and the board fixing plate (35, 36)
A thin metal foil-clad substrate (A) is sandwiched between and fixed.
【0008】薄い金属箔張基板(A) の額縁状フレーム(3
0)への支持固定は以下である。薄い金属箔張基板(A) の
左右両端をそれぞれ、左右の支持固定用フレーム(31,3
2) と基板固定プレート(35,36) との間に挟み、固定具
(33,34) を締めつけて固定する。ついで、移動自在な支
持固定用フレーム(32)の固定具(37)を緩め、薄い金属箔
張基板(A) にたるみがないように移動させ、その状態で
固定具(37)を締めつけて固定する。これにより、たるみ
のない状態で薄い金属箔張基板(A) が額縁状フレーム(3
0)に強固に支持固定される。A frame-shaped frame (3
The support fixation to 0) is as follows. Attach the left and right ends of the thin metal foil-clad substrate (A) to the left and right supporting and fixing frames (31,3
2) and the board fixing plate (35, 36), and fix
Tighten (33,34) to secure. Then, loosen the fixing tool (37) of the movable supporting and fixing frame (32), move it so that there is no slack in the thin metal foil-clad substrate (A), and then tighten the fixing tool (37) to fix it. To do. As a result, the thin metal foil-clad substrate (A) can be used in the frame-shaped frame (3
It is firmly supported and fixed to 0).
【0009】薬液による処理後、薄い金属箔張基板(A)
を固定した額縁状フレーム(30)を平板上に置き、固定具
(33,34,37)を緩め、移動自在な支持固定用フレーム(3
2)、額縁状フレーム(30)をそれぞれ移動させ、額縁状フ
レーム(30)から平板上に薄い金属箔張基板(A) を開放す
る。これにより、直接、薄い金属箔張基板(A) に触れる
ことなく基板を取り出すことができ、薄い金属箔張基板
(A) に折れ、傷、その他の不良の発生を防止したものと
できる。After treatment with a chemical solution, a thin metal foil-clad substrate (A)
Place the frame-shaped frame (30) with the
Loosen (33, 34, 37) and move the supporting support frame (3
2) Move the frame-shaped frames (30) respectively to open the thin metal foil-clad substrate (A) on the flat plate from the frame-shaped frames (30). This allows the board to be taken out directly without touching the thin metal foil-clad board (A).
It is possible to prevent breakage, scratches, and other defects from occurring in (A).
【0010】次に、上記の額縁状フレーム(30)を支持固
定するラック(10)に関する図1、2、3について説明す
る。図1、2、3、特に図2において、ラック(10)は、
ラックフレーム外枠(12)と複数の開閉自在なラックフレ
ーム内枠(20a〜20e)で構成され、ラックフレーム内枠(2
0a〜20e)は、ラックフレーム外枠(12)の底部に設けた回
転部(14)を中心に開閉自在とされる。また、ラックフレ
ーム内枠(20a〜20e)のラックフレーム外枠(12)への支持
固定のための弾性体を具備した固定具(11)と、ラックフ
レーム内枠(20a〜20e)の開いた状態の調節と該固定具(1
1)と対となってラックフレーム内枠(20a〜20e)のラック
フレーム外枠(12)への支持固定をする内枠ストッパー(1
3)とを設けてなる。1, 2 and 3 relating to the rack (10) for supporting and fixing the frame-shaped frame (30) will be described below. 1, 2, 3 and in particular FIG. 2, the rack (10) is
It consists of the rack frame outer frame (12) and multiple openable rack frame inner frames (20a to 20e).
0a to 20e) can be opened and closed centering on a rotating portion (14) provided at the bottom of the rack frame outer frame (12). Further, the fixture (11) equipped with an elastic body for supporting and fixing the rack frame inner frame (20a to 20e) to the rack frame outer frame (12) and the rack frame inner frame (20a to 20e) are opened. Condition adjustment and the fixture (1
1) and the inner frame stopper (1) that supports and fixes the rack frame inner frame (20a to 20e) to the rack frame outer frame (12).
3) and are provided.
【0011】さらに、ラックフレーム内枠(20a〜20e)の
左右の枠には、弾性体からなる補助具(21)が設けられ
る。この補助具(21)は、厚い基板や薄い金属箔張基板
(A) を支持固定した額縁状フレーム(30)をラックに支持
固定したときのスペーサーであると同時に、該補助具(2
1)が弾性体からなることから、振動などによっても安定
に支持固定を維持することを可能とする。Further, auxiliary tools (21) made of an elastic body are provided on the left and right frames of the rack frame inner frames (20a to 20e). This auxiliary tool (21) is suitable for thick substrates and thin metal foil-clad substrates.
(A) is a spacer when the frame-shaped frame (30) supporting and fixing it is fixed to the rack, and at the same time, the auxiliary tool (2
Since 1) is made of an elastic body, it is possible to stably support and fix it even by vibration.
【0012】上記した薄い金属箔張基板(A) を支持固定
した額縁状フレーム(30)は、ラックフレーム外枠(12)の
内枠ストッパー(13)を開放して (図2)、ラックフレー
ム内枠(20a〜20e)を外側に開き、内枠(20a〜20e)の間に
配する。ついで、内枠ストッパー(13)を引上げ、固定具
(11)によってラック(10)に支持固定する。薬液による処
理後、固定具(11)を外し、内枠(20a〜20e)を順次開き、
薄い金属箔張基板(A) を支持固定した額縁状フレーム(3
0)を取り出す。The frame-shaped frame (30) supporting and fixing the above-mentioned thin metal foil-clad substrate (A) opens the inner frame stopper (13) of the rack frame outer frame (12) (FIG. 2), The inner frames (20a to 20e) are opened to the outside and arranged between the inner frames (20a to 20e). Then, pull up the inner frame stopper (13) and fix it.
It is supported and fixed to the rack (10) by (11). After treatment with the chemical solution, remove the fixture (11), open the inner frame (20a ~ 20e) sequentially,
A frame-shaped frame (3) that supports and fixes a thin metal foil-clad substrate (A).
Take out 0).
【0013】以上、本発明の薄い金属箔張基板の表面処
理治具を使用して0.05mmの厚さで残銅率35%の薄い金属
箔張基板の各種サイズをラックから脱落、基板の相互接
触無しに安定的に処理を行うことが出来た。そして、本
発明により 0.1mm程度以下の薄い金属箔張基板の表面処
理治具への仕込・取出時間は、約40%短縮され、処理中
の基板の脱落・基板相互接触などの処理不良は無くなっ
た。As described above, using the thin metal foil-clad substrate surface treatment jig of the present invention, various sizes of the thin metal foil-clad substrate having a thickness of 0.05 mm and a residual copper rate of 35% were removed from the rack, and The treatment could be performed stably without contact. In addition, according to the present invention, the time for loading and unloading a thin metal foil-clad substrate of about 0.1 mm or less into the surface treatment jig is reduced by about 40%, and there is no processing defect such as dropping of the substrate during processing or mutual contact between substrates. It was
【0014】上記に、本発明を具体的な図面を用いて説
明したが、本発明は上記に限定されるものではない。本
発明のラック(10)、ラックフレーム内枠(20a〜20e)、額
縁状フレーム(30)などの構造に用いる材料は、処理に使
用する薬液によって侵されないものであり、金属、セラ
ミックス、樹脂、樹脂コートした金属などから選択さ
れ、充分な剛性が得られる太さ、厚みなどを有するもの
とする。特に、ラックフレームの内側に補強材などを設
置する構成は、薬液処理不良の原因を作ることとなるの
で、このような補強材を必要としない材料で構成する必
要がある。具体的には、チタン、チタン合金、ステンレ
ス(SUS304,316 他) 、テフロンコートステンレスなどが
例示される。Although the present invention has been described above with reference to the specific drawings, the present invention is not limited to the above. The rack (10) of the present invention, the rack frame inner frame (20a ~ 20e), the material used for the structure of the frame-like frame (30), such as those that are not attacked by the chemical used in the treatment, metal, ceramics, resin, It is selected from a resin-coated metal or the like, and has a thickness and a thickness capable of obtaining sufficient rigidity. In particular, the configuration in which the reinforcing material is installed inside the rack frame causes a chemical treatment failure, and thus it is necessary to use a material that does not require such a reinforcing material. Specific examples include titanium, titanium alloys, stainless steel (SUS304, 316, etc.), Teflon-coated stainless steel, and the like.
【0015】本発明の弾性体支持固定補助具(21)は、処
理に使用する薬液によって侵されないものであり、例え
ばシリコンゴム、フッ素ゴムなどを使用して作成したも
のが例示される。また、弾性を具備した固定具(11)は、
上記した額縁状フレーム(30)を挟み込んだラックフレー
ム内枠(20a〜20e)をラック(10)に強固に支持固定するた
めのものであり、具体的には図3に示したキャッチクリ
ップの他に、弾性体の形態が異なるが、キャッチクリッ
プと同様の機能を有するスプリングパチン錠、また弾性
は具備しないが締めしろが調節可能なアジャスタブルキ
ャッチ、アジャスタブルファスナーが例示される。後者
の場合、特に、上記した弾性体支持固定補助具(21)の弾
性と固定具の締めしろとの調節によってラックフレーム
内枠(20a〜20e)のラック(10)への強固な支持固定する。The elastic body supporting and fixing aid (21) of the present invention is one which is not attacked by the chemical solution used for the treatment, and is made of, for example, silicone rubber or fluororubber. Also, the elastic fixture (11) is
It is for firmly supporting and fixing the rack frame inner frames (20a to 20e) sandwiching the frame-shaped frame (30) to the rack (10), specifically, other than the catch clip shown in FIG. Examples of the spring snap lock include a spring clip having the same function as a catch clip, although the elastic body has a different shape, and an adjustable catch and an adjustable fastener which have no elasticity but whose tightening margin is adjustable. In the latter case, in particular, the elastic support of the elastic body support / fixing tool (21) and the tightening margin of the fixing tool are adjusted to firmly support and fix the rack frame inner frame (20a to 20e) to the rack (10). .
【0016】本発明の額縁状フレーム(30)に設ける基板
固定具(33,34) 、基板固定プレート(35,36) としては、
図6に示した構造の他に、基板固定具(33,34) にピンを
設け、予め薄い金属箔張基板(A) と基板固定プレート(3
5,36) とにこのピンに対応した穴を設け、ピンにて固定
する方法などが例示される。また、薄い金属箔張基板
(A) と接する基板固定具(33,34) 、基板固定プレート(3
5,36) の表面に、凹凸状の加工を施すことや摩擦係数の
大きい材料で被覆することなど実施できるものである。The board fixing member (33, 34) and the board fixing plate (35, 36) provided on the frame-like frame (30) of the present invention include:
In addition to the structure shown in FIG. 6, pins are provided on the board fixing tools (33, 34) to preliminarily prepare a thin metal foil-clad board (A) and a board fixing plate (3
5,36) and the like, a hole corresponding to this pin is provided, and the pin is fixed. Also, a thin metal foil-clad substrate
Board fixing tool (33, 34) in contact with (A), board fixing plate (3
The surface of (5,36) can be subjected to uneven processing or coated with a material having a large friction coefficient.
【0017】また、薄い金属箔張基板(A) に皺、撓みな
どがないように、かつ一定の張力にて額縁状フレーム(3
0)に固定するために、左右に移動可能な基板固定具(34)
とその外側に位置する枠との間にバネなどを仮固定可能
とし、基板固定具(33,34) と基板固定プレート(35,36)
とで強固に固定した後、バネなどを仮固定して、固定具
(37)にて左右に移動可能な基板固定具(34)を固定する方
法など適宜できる。Further, the thin metal foil-clad substrate (A) should not be wrinkled or bent, and the frame-shaped frame (3
Board fixture (34) that can be moved left and right to secure it to (0)
A spring etc. can be temporarily fixed between the frame and the frame located outside it, and the board fixing tool (33, 34) and the board fixing plate (35, 36)
After firmly fixing with and, temporarily fix the spring etc.
A method of fixing the substrate fixing member (34) that can be moved left and right at (37) can be appropriately used.
【0018】[0018]
【作用】本発明の表面処理治具によって、額縁状フレー
ム(30)に支持固定された薄い金属箔張基板(A) をラック
(10)に複数鉛直に支持固定し、該薄い金属箔張基板(A)
の表面処理を効率良く、信頼性良く実施することができ
る。The thin metal foil-clad substrate (A) supported and fixed to the frame-like frame (30) is racked by the surface treatment jig of the present invention.
A plurality of vertically supported thin metal foil substrates (A)
The surface treatment can be efficiently and reliably performed.
【0019】[0019]
【発明の効果】以上、詳しく説明した通り、この発明に
よって、各種サイズの薄い金属箔張基板の表面処理が可
能となり、表面処理時のたわみで基板が相互接触してお
こる処理不良やラックからの脱落という不都合も生じな
い。生産性、作業性、その処理効率は大きく向上する。As described above in detail, the present invention enables the surface treatment of thin metal foil-clad substrates of various sizes, and it is possible to prevent defects such as treatment defects caused by the deflection of the surface treatment resulting in mutual contact between the substrates and racks. The inconvenience of dropping does not occur. Productivity, workability, and processing efficiency are greatly improved.
【図1】 正面図額縁状フレーム(30)に支持固定された
薄い金属箔張基板(A) をラック(10)に複数鉛直に支持固
定した例の正面図である。FIG. 1 is a front view of an example in which a plurality of thin metal foil-clad substrates (A) supported and fixed to a frame-shaped frame (30) are vertically supported and fixed to a rack (10).
【図2】 側面図図1の右側面図である。2 is a right side view of the side view FIG. 1. FIG.
【図3】 斜視図ラック(10)にラックフレーム内枠(20)
を支持固定するための機構(11)と、該ラックフレーム内
枠(20)に設けた額縁状のフレーム(30)を支持固定するた
めの弾性体支持固定補助具(21)との部分を示す斜視図で
ある。FIG. 3 is a perspective view of the rack (10) and the rack frame inner frame (20).
A part (11) for supporting and fixing the frame and an elastic body supporting and fixing aid (21) for supporting and fixing the frame-shaped frame (30) provided in the rack frame inner frame (20) are shown. It is a perspective view.
【図4】 正面図額縁状フレーム(30)とこれに支持固定
された薄い金属箔張基板(A) を示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing a frame-shaped frame (30) and a thin metal foil-clad substrate (A) supported and fixed thereto.
【図5】 側面図図4の右側面図である。5 is a right side view of the side view FIG. 4. FIG.
【図6】 斜視図額縁状のフレーム(30)に設けた薄い金
属箔張基板(A) を支持固定する移動可能なフレーム枠(3
2)の部分を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a movable frame frame (3) for supporting and fixing a thin metal foil-clad substrate (A) provided on a frame (30) having a frame shape.
It is a perspective view showing a portion 2).
【図7】 斜視図従来法のラックを示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a conventional rack.
10:ラック、11:弾性を具備したラックフレーム内枠の
固定具、20:ラックフレーム内枠、21:額縁状のフレー
ム(30)を支持固定するための弾性体支持固定補助具、3
0:額縁状のフレーム、 31,32:フレーム枠、 33,34:
基板固定具、35,36:基板固定プレート、40:従来法の
ラック、41:基板脱落防止用横枠、42:基板接触防止用
仕切り。10: Rack, 11: Fixing tool for rack frame inner frame having elasticity, 20: Rack frame inner frame, 21: Elastic body support fixing aid for supporting and fixing frame-shaped frame (30), 3
0: Frame-shaped frame, 31,32: Frame frame, 33,34:
Board fixing tool, 35, 36: board fixing plate, 40: conventional rack, 41: horizontal frame for preventing board from falling off, 42: partition for preventing board contact.
Claims (5)
直支持して薬液によって表面処理するための治具であっ
て、該ラック(10)は該薄い金属箔張基板(A)の左右を支
持固定するための額縁状フレーム(30)と該額縁状フレー
ム(30)の左右を支持固定するための開閉自在とした複数
のラックフレーム内枠(20)とからなることを特徴とする
薄い金属箔張基板の表面処理治具。1. A jig for vertically supporting a thin metal foil-clad substrate (A) on a rack (10) for surface treatment with a chemical solution, wherein the rack (10) comprises the thin metal foil-clad substrate (A). ), A frame-shaped frame (30) for supporting and fixing the left and right sides of the frame, and a plurality of openable and closable rack frame inner frames (20) for supporting and fixing the left and right sides of the frame-shaped frame (30). A surface treatment jig for thin metal foil-clad substrates.
製の額縁状のフレーム枠(31,32) とその左右に固定具(3
3,34) とを設けてなり、少なくとも一方の固定具 (33又
は34) を設けたプレート(36)が該薄い金属箔張基板(A)
の大きさに応じて上下フレーム枠(32)を左右に移動させ
固定可能としてなるものである請求項1記載の薄い金属
箔張基板の表面処理治具。2. The frame-shaped frame (30) comprises a frame-shaped frame frame (31, 32) made of a corrosion-resistant metal plate and fixing members (3) on the left and right sides thereof.
3, 34) and the plate (36) provided with at least one fixture (33 or 34) is the thin metal foil-clad substrate (A).
2. The surface treatment jig for a thin metal foil-clad substrate according to claim 1, wherein the upper and lower frame frames (32) can be moved and fixed to the left and right according to the size of the.
持固定部に弾性体からなる補助具(21)を設けてなるもの
である請求項1記載の薄い金属箔張基板の表面処理治
具。3. The surface treatment of a thin metal foil-clad substrate according to claim 1, wherein the rack frame inner frame (20) is provided with auxiliary tools (21) made of an elastic body on the left and right supporting and fixing portions. jig.
レーム(30)の左右の額縁部の位置に相当する幅を有する
支持固定部を設けた左右の枠部と、該左右の枠部に連続
し、額縁状フレーム(30)の上下の額縁部の位置に相当す
る以上の高さを有する上下の枠部とで構成されるもので
ある請求項1記載の薄い金属箔張基板の表面処理治具。4. The rack frame inner frame (20), the left and right frame parts provided with support and fixing parts having a width corresponding to the positions of the left and right frame parts of the frame frame (30), and the left and right frame parts. 2. The thin metal foil-clad substrate according to claim 1, wherein the thin metal foil-clad substrate is composed of upper and lower frame portions which are continuous with the frame and have a height higher than the positions of the upper and lower frame portions of the frame frame (30). Surface treatment jig.
0)を該ラック(10)のフレームに支持固定するための弾性
体を具備した固定具(11)を設けてなるものである請求項
1記載の薄い金属箔張基板の表面処理治具。5. The rack (10) comprises a rack frame inner frame (2
The surface treatment jig for a thin metal foil-clad substrate according to claim 1, further comprising a fixture (11) provided with an elastic body for supporting and fixing (0) to the frame of the rack (10).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24426595A JPH0992957A (en) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | Surface treatment jig for thin metal foil-clad substrates |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24426595A JPH0992957A (en) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | Surface treatment jig for thin metal foil-clad substrates |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0992957A true JPH0992957A (en) | 1997-04-04 |
Family
ID=17116185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24426595A Pending JPH0992957A (en) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | Surface treatment jig for thin metal foil-clad substrates |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0992957A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100760256B1 (en) * | 2006-06-28 | 2007-09-19 | (주)스마트에이스 | Jig for Spray Etching System |
| KR101631843B1 (en) * | 2015-02-02 | 2016-06-20 | 주식회사 디에이피 | Box type tray for PCB |
-
1995
- 1995-09-22 JP JP24426595A patent/JPH0992957A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100760256B1 (en) * | 2006-06-28 | 2007-09-19 | (주)스마트에이스 | Jig for Spray Etching System |
| KR101631843B1 (en) * | 2015-02-02 | 2016-06-20 | 주식회사 디에이피 | Box type tray for PCB |
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