JPH0996431A - クリーンルームおよび風量制御方法 - Google Patents
クリーンルームおよび風量制御方法Info
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- JPH0996431A JPH0996431A JP25402195A JP25402195A JPH0996431A JP H0996431 A JPH0996431 A JP H0996431A JP 25402195 A JP25402195 A JP 25402195A JP 25402195 A JP25402195 A JP 25402195A JP H0996431 A JPH0996431 A JP H0996431A
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- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000013022 venting Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルーム内のレイアウト変更の発生に
対して、速やかにダウンフローの乱れを防止すること。 【解決手段】 アクセス床部１はクリーンルーム内の超
清浄空気を通す通風孔２と、通風孔２を通す風量を調整
する風量調整板３と、風量調整板３の制御を行う風量制
御装置４とを備え、風量制御装置４は通風孔２を通る風
量を測定し、常に一定の風量が得られるように制御す
る。
対して、速やかにダウンフローの乱れを防止すること。 【解決手段】 アクセス床部１はクリーンルーム内の超
清浄空気を通す通風孔２と、通風孔２を通す風量を調整
する風量調整板３と、風量調整板３の制御を行う風量制
御装置４とを備え、風量制御装置４は通風孔２を通る風
量を測定し、常に一定の風量が得られるように制御す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームに
関し、特にダウンフローによって塵埃の拡散を防止して
超清浄度を維持しているクリーンルームおよび風量制御
方法に関するものである。
関し、特にダウンフローによって塵埃の拡散を防止して
超清浄度を維持しているクリーンルームおよび風量制御
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種のクリーンルームおよび風量
制御方法について、図９〜図１１を参照して説明する。
図９は、従来のクリーンルームの一実施の形態を示す縦
断面図である。クリーンルームは、外気調和機９と、循
環空調機１０と、天井フィルター１１と、アクセス床部
１とで構成される。外気は外気調和機９により処理され
超清浄空気となった後、循環空調機１０により天井フィ
ルター１１から垂直に吹き出されアクセス床部１に通過
させ循環空調機１０に導かれる。この際に得られるダウ
ンフローによってクリーンルーム内の塵埃の拡散を防止
し、超清浄度を維持する。
制御方法について、図９〜図１１を参照して説明する。
図９は、従来のクリーンルームの一実施の形態を示す縦
断面図である。クリーンルームは、外気調和機９と、循
環空調機１０と、天井フィルター１１と、アクセス床部
１とで構成される。外気は外気調和機９により処理され
超清浄空気となった後、循環空調機１０により天井フィ
ルター１１から垂直に吹き出されアクセス床部１に通過
させ循環空調機１０に導かれる。この際に得られるダウ
ンフローによってクリーンルーム内の塵埃の拡散を防止
し、超清浄度を維持する。
【０００３】図１０は従来のアクセス床の一実施例を示
す図である。アクセス床部１は、クリーンルーム内の超
清浄空気を通す通風孔２と、通風孔を通過する風量を調
整する風量調整板３とを備えて構成されている。アクセ
ス床部１の床上、床下に障害物（生産設備、配管等）が
混在する場合、通風孔２を通過する風量を風量調整板３
を手動で調整することにより制御して、超清浄空気がよ
り通過の容易な通風孔から床下に通過して生じるダウン
フローの乱れを防止する。
す図である。アクセス床部１は、クリーンルーム内の超
清浄空気を通す通風孔２と、通風孔を通過する風量を調
整する風量調整板３とを備えて構成されている。アクセ
ス床部１の床上、床下に障害物（生産設備、配管等）が
混在する場合、通風孔２を通過する風量を風量調整板３
を手動で調整することにより制御して、超清浄空気がよ
り通過の容易な通風孔から床下に通過して生じるダウン
フローの乱れを防止する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のクリー
ンルームでは、図１１に示すように、クリーンルーム内
のレイアウト変更（生産設備の搬出入、床下配管の撤
去、設置等）の度に、超清浄空気がより通過の容易な通
風孔から床下に通過して生じるダウンフローの乱れを防
止するために、アクセス床の床上において気体測定装置
（三次元風速計、気流可視化装置等）を用いて超清浄空
気の気流を確認しながらダウンフローが得られるように
アクセス床の通風孔を通過する風量を人間が風量調整板
を手動で一つ一つ調整するか、またはアクセス床の床下
において風速計と所定の数式を用いて超清浄空気が通風
孔を通過する風量が一定になるように風量調整板を手動
で一つ一つ調整することにより制御しなければならなか
った。
ンルームでは、図１１に示すように、クリーンルーム内
のレイアウト変更（生産設備の搬出入、床下配管の撤
去、設置等）の度に、超清浄空気がより通過の容易な通
風孔から床下に通過して生じるダウンフローの乱れを防
止するために、アクセス床の床上において気体測定装置
（三次元風速計、気流可視化装置等）を用いて超清浄空
気の気流を確認しながらダウンフローが得られるように
アクセス床の通風孔を通過する風量を人間が風量調整板
を手動で一つ一つ調整するか、またはアクセス床の床下
において風速計と所定の数式を用いて超清浄空気が通風
孔を通過する風量が一定になるように風量調整板を手動
で一つ一つ調整することにより制御しなければならなか
った。
【０００５】本発明は、クリーンルーム内のレイアウト
変更が発生しても、アクセス床の通風孔を通過する風量
を常に一定にさせ、速やかにダウンフローの乱れを防止
できるクリーンルームおよび風量制御方法を提供するこ
とである。
変更が発生しても、アクセス床の通風孔を通過する風量
を常に一定にさせ、速やかにダウンフローの乱れを防止
できるクリーンルームおよび風量制御方法を提供するこ
とである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、超清浄
空気を天井全面から吹き出し、室内の床全面に垂直に通
過させて得られるダウンフローによって超清浄度を維持
しているクリーンルームであって、アクセス床部が、前
記クリーンルーム内の超清浄空気を床下に通過する通風
孔と、該通風孔を通す風量を調整する風量調整板と、該
風量調整板の制御を行う風量制御装置と、該風量制御装
置の信号を隣接するアクセス床と送受信する接続部とを
備えたものであり、前記風量制御装置は、通風孔を通過
する風量を測定する風速計と、風速計からの信号に基づ
いて風量換算し設定風量と比較する演算装置と、該演算
装置の信号に基づいて設定風量が得られるように風量調
整板を調整する動力部を有することを特徴とするクリー
ンルームが得られる。
空気を天井全面から吹き出し、室内の床全面に垂直に通
過させて得られるダウンフローによって超清浄度を維持
しているクリーンルームであって、アクセス床部が、前
記クリーンルーム内の超清浄空気を床下に通過する通風
孔と、該通風孔を通す風量を調整する風量調整板と、該
風量調整板の制御を行う風量制御装置と、該風量制御装
置の信号を隣接するアクセス床と送受信する接続部とを
備えたものであり、前記風量制御装置は、通風孔を通過
する風量を測定する風速計と、風速計からの信号に基づ
いて風量換算し設定風量と比較する演算装置と、該演算
装置の信号に基づいて設定風量が得られるように風量調
整板を調整する動力部を有することを特徴とするクリー
ンルームが得られる。
【０００７】さらに、本発明によれば、前記アクセス床
部には、更に前記風量制御装置の信号を隣接するアクセ
ス床部との送受信を可能とするための接続部を備えてい
ることを特徴とするクリーンルームが得られる。
部には、更に前記風量制御装置の信号を隣接するアクセ
ス床部との送受信を可能とするための接続部を備えてい
ることを特徴とするクリーンルームが得られる。
【０００８】又、本発明によれば、前記クリーンルーム
内の通風孔を通過する風速を測定して、該風速を予め前
記演算装置内に記憶されている所定の風量換算式にて風
量に換算し、かつ予め前記演算装置内に記憶され現在選
択されている第Ｎ番（Ｎは整数）の設定番号の風量と比
較し、両者が合致するように前記風量調整板を調整する
ことを特徴とする風量制御方法が得られる。
内の通風孔を通過する風速を測定して、該風速を予め前
記演算装置内に記憶されている所定の風量換算式にて風
量に換算し、かつ予め前記演算装置内に記憶され現在選
択されている第Ｎ番（Ｎは整数）の設定番号の風量と比
較し、両者が合致するように前記風量調整板を調整する
ことを特徴とする風量制御方法が得られる。
【０００９】さらに、本発明によれば、隣接する複数の
演算装置が現在選択しているそれぞれの設定番号Ｎの最
小設定番号を選別認識し、その設定番号Ｎに１を加えた
（Ｎ＋１）番の設定番号を予め前記演算装置内に記憶さ
れている設定番号から選択することを特徴とする風量制
御方法が得られる。
演算装置が現在選択しているそれぞれの設定番号Ｎの最
小設定番号を選別認識し、その設定番号Ｎに１を加えた
（Ｎ＋１）番の設定番号を予め前記演算装置内に記憶さ
れている設定番号から選択することを特徴とする風量制
御方法が得られる。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図１〜図８を参照して説明する。図１及び図２は本発明
の第１の実施の形態におけるクリーンルーム内のアクセ
ス床部の構造及び構成を示した図である。アクセス床部
１は、図１に示すように、クリーンルーム内の超清浄空
気を通す通風孔２と、通風孔２を通過する風量を調整す
る風量調整板３と、風量調整板３の制御を行う風量制御
装置４とを備えて構成されている。風量制御装置４は、
図２に示すように、通風孔２を通過する風量を測定する
風速計６と、風速計６からの信号に基づいて風量換算し
設定風量と比較する演算装置７と、演算装置７の信号に
基づいて設定風量が得られるように風量調整板３を調整
する動力部８を備えて構成されている。
図１〜図８を参照して説明する。図１及び図２は本発明
の第１の実施の形態におけるクリーンルーム内のアクセ
ス床部の構造及び構成を示した図である。アクセス床部
１は、図１に示すように、クリーンルーム内の超清浄空
気を通す通風孔２と、通風孔２を通過する風量を調整す
る風量調整板３と、風量調整板３の制御を行う風量制御
装置４とを備えて構成されている。風量制御装置４は、
図２に示すように、通風孔２を通過する風量を測定する
風速計６と、風速計６からの信号に基づいて風量換算し
設定風量と比較する演算装置７と、演算装置７の信号に
基づいて設定風量が得られるように風量調整板３を調整
する動力部８を備えて構成されている。
【００１１】次にこの動作について説明する。超清浄空
気はアクセス床部１の通風孔２より導入され、風量調整
板３を経由してアクセス床部１の床下へ通過する。図２
及び図３に示すように、風量調整板３を通過した超清浄
空気の風速を風量制御装置４に備えられた風速計６によ
り測定し、予め演算装置７内に記憶されている所定の風
量換算式により前記風速を風量に換算し、かつ予め演算
装置７内に記憶され現在選択されている設定番号に対応
する風量と比較し、両者が合致するように風量調整板３
を動力部８が調整する仕組みとなっている。
気はアクセス床部１の通風孔２より導入され、風量調整
板３を経由してアクセス床部１の床下へ通過する。図２
及び図３に示すように、風量調整板３を通過した超清浄
空気の風速を風量制御装置４に備えられた風速計６によ
り測定し、予め演算装置７内に記憶されている所定の風
量換算式により前記風速を風量に換算し、かつ予め演算
装置７内に記憶され現在選択されている設定番号に対応
する風量と比較し、両者が合致するように風量調整板３
を動力部８が調整する仕組みとなっている。
【００１２】図４は本発明の第２の実施の形態における
クリーンルーム内のアクセス床部の構造を示した図であ
る。アクセス床部１は、図４に示すように、クリーンル
ーム内の超清浄空気を通す通風孔２と、通風孔２を通す
風量を調整する風量調整板３と、風量調整板３の制御を
行う風量制御装置４と、風量制御装置４の信号を隣接す
るアクセス床部（図示せず）に設けられた風量制御装置
と送受信するための接続部５とを備えている。風量制御
装置４は上記した第１の実施の形態と構造上同様のもの
である。接続部５は隣接するアクセス床部に設けられた
接続部と電気的及び機械的に接続され、接続された後、
互いに送受信可能となる。
クリーンルーム内のアクセス床部の構造を示した図であ
る。アクセス床部１は、図４に示すように、クリーンル
ーム内の超清浄空気を通す通風孔２と、通風孔２を通す
風量を調整する風量調整板３と、風量調整板３の制御を
行う風量制御装置４と、風量制御装置４の信号を隣接す
るアクセス床部（図示せず）に設けられた風量制御装置
と送受信するための接続部５とを備えている。風量制御
装置４は上記した第１の実施の形態と構造上同様のもの
である。接続部５は隣接するアクセス床部に設けられた
接続部と電気的及び機械的に接続され、接続された後、
互いに送受信可能となる。
【００１３】次にこの動作について説明する。図２及び
図５に示すように、風量制御装置４に備えられた演算装
置７内に予め記憶させる風量を値の小さい順に設定番号
０から記憶させる。例えば記憶させる風量値が０＜ａ＜
ｂ＜ｃ＜ｄ＜ｅ＜ｆの場合、設定番号０から設定番号６
に風量値０からｆを順番に記憶させる。接続部５から隣
接するアクセス床部に設けられた複数の演算装置の現在
選択している設定番号が演算装置７内に入力される。演
算装置７は入力された複数の設定番号から最小設定番号
を選別確認し、その設定番号をＮ（Ｎは整数）とした場
合、設定番号（Ｎ＋１）を予め演算装置７内に記憶され
ている設定番号から選択する。ただし、設定番号が最大
の場合はその設定番号を選択する。
図５に示すように、風量制御装置４に備えられた演算装
置７内に予め記憶させる風量を値の小さい順に設定番号
０から記憶させる。例えば記憶させる風量値が０＜ａ＜
ｂ＜ｃ＜ｄ＜ｅ＜ｆの場合、設定番号０から設定番号６
に風量値０からｆを順番に記憶させる。接続部５から隣
接するアクセス床部に設けられた複数の演算装置の現在
選択している設定番号が演算装置７内に入力される。演
算装置７は入力された複数の設定番号から最小設定番号
を選別確認し、その設定番号をＮ（Ｎは整数）とした場
合、設定番号（Ｎ＋１）を予め演算装置７内に記憶され
ている設定番号から選択する。ただし、設定番号が最大
の場合はその設定番号を選択する。
【００１４】風量調整板３を通過した超清浄空気の風速
を風量制御装置４に備えられた風速計６により測定し、
予め演算装置７内に記憶されている所定の風量換算式に
より前記風速を風量に換算し、かつ予め演算装置７内に
記憶され現在選択されている設定番号の風量と比較し、
両者が合致するように風量調整板３を動力部８が調整す
る仕組みとなっている。
を風量制御装置４に備えられた風速計６により測定し、
予め演算装置７内に記憶されている所定の風量換算式に
より前記風速を風量に換算し、かつ予め演算装置７内に
記憶され現在選択されている設定番号の風量と比較し、
両者が合致するように風量調整板３を動力部８が調整す
る仕組みとなっている。
【００１５】図６、図７、及び図８は上記第２の実施の
形態におけるアクセス床部が設定番号を自動選択する様
子を示した図である。例えば図６に示すように全アクセ
ス床部が設定番号６を選択しているクリーンルームに、
設定番号０＝風量０に選択させたアクセス床部（生産設
備設置場所等に対応したアクセス床部）を存在させる
と、図７に示すように隣接したアクセス床部が上述した
仕組みによって設定番号１を選択する。更に設定番号１
を選択したアクセス床部に隣接するアクセス床部は設定
番号２を選択し、このような動作を繰り返し、最終的に
は図８に示すような風量設定になる。
形態におけるアクセス床部が設定番号を自動選択する様
子を示した図である。例えば図６に示すように全アクセ
ス床部が設定番号６を選択しているクリーンルームに、
設定番号０＝風量０に選択させたアクセス床部（生産設
備設置場所等に対応したアクセス床部）を存在させる
と、図７に示すように隣接したアクセス床部が上述した
仕組みによって設定番号１を選択する。更に設定番号１
を選択したアクセス床部に隣接するアクセス床部は設定
番号２を選択し、このような動作を繰り返し、最終的に
は図８に示すような風量設定になる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ルームによれば、クリーンルーム内のレイアウト変更、
すなわち生産設備の搬出入、床下配管の撤去、設置等が
発生しても、アクセス床部の通風孔を通過する風量は常
に一定なため、速やかにダウンフローの乱れを防止で
き、人件費の削減、調整ミスによるトラブルの回避、塵
埃の拡散による歩留まりの低下防止等の効果を有する。
ルームによれば、クリーンルーム内のレイアウト変更、
すなわち生産設備の搬出入、床下配管の撤去、設置等が
発生しても、アクセス床部の通風孔を通過する風量は常
に一定なため、速やかにダウンフローの乱れを防止で
き、人件費の削減、調整ミスによるトラブルの回避、塵
埃の拡散による歩留まりの低下防止等の効果を有する。
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるクリーンル
ーム内のアクセス床部の構造を示した一部断面斜視図で
ある。
ーム内のアクセス床部の構造を示した一部断面斜視図で
ある。
【図２】本発明のクリーンルームにおけるアクセス床部
の風量制御装置の構成を示した図である。
の風量制御装置の構成を示した図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態におけるクリーンル
ーム内のアクセス床部の風量制御方法を説明するための
フローチャートである。
ーム内のアクセス床部の風量制御方法を説明するための
フローチャートである。
【図４】本発明の第２の実施の形態におけるクリーンル
ーム内のアクセス床部の構造を示した一部断面斜視図で
ある。
ーム内のアクセス床部の構造を示した一部断面斜視図で
ある。
【図５】本発明の第２の実施の形態におけるクリーンル
ーム内のアクセス床部の風量制御方法を説明するための
フローチャートである。
ーム内のアクセス床部の風量制御方法を説明するための
フローチャートである。
【図６】本発明の第２の実施の形態におけるクリーンル
ーム内のアクセス床部の設定風量自動選択の経時変化図
である。
ーム内のアクセス床部の設定風量自動選択の経時変化図
である。
【図７】本発明の第２の実施の形態におけるクリーンル
ーム内のアクセス床部の設定風量自動選択の経時変化図
である。
ーム内のアクセス床部の設定風量自動選択の経時変化図
である。
【図８】本発明の第２の実施の形態におけるクリーンル
ーム内のアクセス床部の設定風量自動選択の経時変化図
である。
ーム内のアクセス床部の設定風量自動選択の経時変化図
である。
【図９】従来のクリーンルームの一実施例を示した断面
図である。
図である。
【図１０】従来のクリーンルームにおけるアクセス床部
の構造を示した一部断面斜視図である。
の構造を示した一部断面斜視図である。
【図１１】従来のクリーンルームにおけるアクセス床部
の風量制御方法を説明するためのフローチャートであ
る。
の風量制御方法を説明するためのフローチャートであ
る。
１ アクセス床部 ２ 通風孔 ３ 風量調整板 ４ 風量制御装置 ５ 接続部 ６ 風速計 ７ 演算装置 ８ 動力部 ９ 外気調和機 １０ 循環空調機 １１ 天井フィルター
Claims (4)
- 【請求項１】 超清浄空気を天井全面から吹き出し、室
内の床全面に垂直に通過させて得られるダウンフローに
よって超清浄度を維持しているクリーンルームであっ
て、アクセス床部が、前記クリーンルーム内の超清浄空
気を床下に通す通風孔と、該通風孔を通過する風量を調
整する風量調整板と、該風量調整板の制御を行う風量制
御装置と、該風量制御装置の信号を隣接するアクセス床
部と送受信する接続部とを備えたものであり、前記風量
制御装置は、通風孔を通過する風量を測定する風速計
と、風速計からの信号に基づいて風量換算し設定風量と
比較する演算装置と、該演算装置の信号に基づいて設定
風量が得られるように風量調整板を調整する動力部を有
することを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項２】 前記アクセス床部には、更に前記風量制
御装置の信号を隣接するアクセス床部との送受信を可能
とするための接続部を備えていることを特徴とする請求
項１記載のクリーンルーム。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のクリーンルーム内
の通風孔を通過する風速を測定して、該風速を予め前記
演算装置内に記憶されている所定の風量換算式にて風量
に換算し、かつ予め前記演算装置内に記憶され現在選択
されている第Ｎ番（Ｎは整数）の設定番号の風量と比較
し、両者が合致するように前記風量調整板を調整するこ
とを特徴とする風量制御方法。 - 【請求項４】 隣接する複数の演算装置が現在選択して
いるそれぞれの設定番号Ｎの最小設定番号を選別認識
し、その設定番号Ｎに１を加えた（Ｎ＋１）番の設定番
号を予め前記演算装置内に記憶されている設定番号から
選択することを特徴とする請求項３記載の風量制御方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25402195A JP2655139B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | クリーンルームおよび風量制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25402195A JP2655139B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | クリーンルームおよび風量制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0996431A true JPH0996431A (ja) | 1997-04-08 |
| JP2655139B2 JP2655139B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=17259149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25402195A Expired - Fee Related JP2655139B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | クリーンルームおよび風量制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655139B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6607435B2 (en) | 2001-08-24 | 2003-08-19 | Hitachi, Ltd. | Fan filter unit control system and clean room provided with same |
| JP2007263532A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 風速分布調整装置 |
| CN105387583A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-03-09 | 冯义文 | 一种净化设备的进风量调节装置 |
| CN110360624A (zh) * | 2018-04-09 | 2019-10-22 | 宁波方太厨具有限公司 | 厨房空气调节系统 |
| CN119983497A (zh) * | 2025-04-17 | 2025-05-13 | 深圳雅尔典环境技术科技有限公司 | 一种空气净化方法、装置及终端设备 |
| WO2025218574A1 (zh) * | 2024-04-15 | 2025-10-23 | Tcl空调器(中山)有限公司 | 柔风结构及空调 |
-
1995
- 1995-09-29 JP JP25402195A patent/JP2655139B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6607435B2 (en) | 2001-08-24 | 2003-08-19 | Hitachi, Ltd. | Fan filter unit control system and clean room provided with same |
| JP2007263532A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 風速分布調整装置 |
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