JPH0999518A - 積層体およびその製法 - Google Patents
積層体およびその製法Info
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Abstract
ルム、これによって高剛性の基体ポリイミドフィルムに
金属箔が強固に接着した金属箔積層体およびその製法を
提供することである。 【構成】 ビフェニルテトラカルボン酸二無水物−パラ
フェニレンジアミン系ポリイミドからなる基体ポリイミ
ドフィルムの片面または両面に、半硬化以前の状態で
2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物と1,3−ビス(4−アミニフェノキシ)ベンゼン
ジアミンとを、テトラカルボン酸二無水物を過剰に、あ
るいはジカルボン酸無水物でジアミン末端を封止して得
られるポリイミドあるいはポリアミックの溶液を積層、
イミド化、乾燥して多層ポリイミドフィルムを得る、ま
た金属箔とのホットメルト法により金属箔積層体を得
る。
Description
の製法に関するものであり、特に高剛性、高耐熱性、低
熱線膨張性のビフェニルテトラカルボン酸二無水物−パ
ラフェニレンジアミン系ポリイミドからなる基体ポリイ
ミド層の片面または両面に金属箔が特定のポリイミド層
を介して強固に接着した金属箔積層体,その製法および
それに使用する積層体である多層ポリイミドフィルムに
関するものである。
どの電子機器類への用途として芳香族ポリイミドは広く
使用されている。芳香族ポリイミドをフレキシブルプリ
ント板(FPC)やテ−プ・オ−トメイティッド・ボン
ディング(TAB)などの基板材料として使用するため
には、エポキシ樹脂などの接着剤を用いて銅箔を張り合
わせる方法が採用されている。
電気的特性などが優れているが、接着剤の耐熱性等が劣
るため、本来のポリイミドの特性を損なうことが指摘さ
れている。このような問題を解決するために、接着剤を
使用しないでポリイミドフィルムに銅を電気メッキした
り、銅箔にポリアミック酸溶液を塗布し、乾燥、イミド
化したり、熱可塑性のポリイミドを熱圧着させたオ−ル
ポリイミド基材も開発されている。
にポリイミド接着剤をサンドイッチ状に接合させたポリ
イミドラミネ−トおよびその製法が知られている(米国
特許第4543295号)。しかし、このポリイミドラ
ミネ−トおよびその製法は、ポリイミドフィルムと金属
箔との剥離強度が小さいという問題がある。
と金属箔とを熱圧着する方法が知られている(特開平4
−33847号、特開平4−33848号)。しかし、
これの方法では熱圧着に比較的高温、高圧を必要とす
る。
定のポリイミドを使用することによって、比較的緩和な
条件で製造できる多層ポリイミドフィルムを提供し、こ
の多層ポリイミドフィルムによって、比較的緩和な条件
で高剛性、高耐熱性、低熱線膨張性のビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物−パラフェニレンジアミン系ポリイ
ミドからなる基体ポリイミド層を含む多層ポリイミドフ
ィルムに金属箔が大きな剥離強度で積層した金属箔積層
体およびその製法を提供することである。
下記式のイミド単位を有する基体ポリイミド(X)層の
片面または両面に、
価の芳香族基または脂肪族基を表す。〕(A)が80〜
100モル%、(B)が20〜0モル%であって、この
ポリマ−末端がテトラカルボン酸無水物残基であるか、
またはアミン末端をジカルボン酸無水物で封止したポリ
イミド(Y)を積層した多層フィルムであって、前記基
体ポリイミド(X)層が半硬化以前の状態で積層した後
乾燥およびイミド化して得られる多層ポリイミドフィル
ムに、前記ポリイミド(Y)層を介して金属箔をホット
メルト法により張り合わせることを特徴とする金属箔積
層体の製法に関するものである。
有する基体ポリイミド(X)層の片面または両面に、
価の芳香族基または脂肪族基を表す。〕 (A)が80〜100モル%、(B)が20〜0モル%
であって、このポリマ−末端がテトラカルボン酸無水物
残基であるか、またはアミン末端をジカルボン酸無水物
で封止したポリイミド(Y)を積層した多層フィルム
に、前記ポリイミド(Y)層を介して金属箔がIPC−
TM−(2.4.9)の90°剥離法に従って測定した
剥離強度が1.0kgf/cm以上で積層されているこ
とを特徴とする金属箔積層体に関するものである。
有する基体ポリイミド(X)層の片面または両面に、
価の芳香族基または脂肪族基を表す。〕 (A)が80〜100モル%、(B)が20〜0モル%
であって、このポリマ−末端がテトラカルボン酸無水物
残基であるか、またはアミン末端をジカルボン酸無水物
で封止したポリイミド(Y)を積層した多層フィルムで
あって、基体ポリイミド(X)層が半硬化以前の状態で
その片面または両面にポリイミド(Y)を与えるポリア
ミック酸あるいはポリイミドの溶液を積層した後、乾燥
およびイミド化してなることを特徴とする多層ポリイミ
ドフィルムに関するものである。
は、3,4,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物(以下単にs−BPDAと略記することもあ
る。)とパラフェニレンジアミン(以下単にPPDと略
記することもある。)と場合によりさらに4,4’−ジ
アミノジフェニルエ−テル(以下単にDADEと略記す
ることもある。)とから製造される。PPD/DADE
(モル比)は100/0〜70/30であることが必要
である。基体ポリイミド(X)の合成は、最終的に各成
分の割合が前記範囲内であればランダム重合、ブロック
重合、あるいはあらかじめ2種類のポリアミック酸を合
成しておき両ポリアミック酸溶液を混合後反応条件下で
混合する、いずれの方法によっても達成される。各成分
の割合を前記範囲内にすることによって、得られる基体
ポリイミド(X)層の特性、特に熱変形温度が優れ、最
終的に得られるフレキシブルな多層ポリイミドフィルム
積層体が優れた耐熱性、機械的物性、電気的物性を示
す。
ラカルボン酸二無水物の略等モル量を、有機溶媒中で反
応させてポリアミック酸の溶液(均一な溶液状態が保た
れていれば一部がイミド化されていてもよい)とし、該
ポリアミック酸の溶液からフィルム化・イミド化・乾燥
することによって製造することができる。前記ポリイミ
ド(X)の物性を損なわない種類と量の他の芳香族テト
ラカルボン酸二無水物、例えばピロメリット酸二無水物
等、芳香族ジアミン、例えば4,4’−ジアミノジフェ
ニルメタン等を使用してもよい。
1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(以下
単に、TPE−Rと略記することもある)と、2,3,
3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(以
下単に、a−BPDAと略記することもある)成分と、
場合により他のテトラカルボン酸二無水物およびジアミ
ン成分とを使用し、テトラカルボン酸二無水物を過剰の
条件下、もしくはジカルボン酸無水物でジアミン末端を
封止する条件下で有機溶媒中で反応させてポリアミック
酸の溶液(均一な溶液状態が保たれていれば一部がイミ
ド化されていてもよい)とし、該ポリアミック酸の溶液
からフィルム化・イミド化・乾燥することによって製造
することができる。
3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と
1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンと、さ
らに場合により他のテトラカルボン酸二無水物および他
のジアミンとを、有機溶媒中、約100℃以下、特に2
0〜60℃の温度で反応させてポリアミック酸の溶液と
し、このポリアミック酸の溶液をド−プ液として使用
し、そのド−プ液の薄膜を形成し、その薄膜から溶媒を
蒸発させ除去すると共にポリアミック酸をイミド環化す
ることにより製造することができる。
ック酸の溶液を150〜250℃に加熱するか、または
イミド化剤を添加して150℃以下、特に15〜50℃
の温度で反応させて、イミド環化した後溶媒を蒸発させ
る、もしくは貧溶媒中に析出させて粉末とした後、該粉
末を有機溶液に溶解してフィルム化・乾燥するいずれの
方法によってもポリイミド(Y)を製造することができ
る。
とができるテトラカルボン酸二無水物としては、2,
3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
が最も好ましいが、その20モル%以下、好ましくは1
0モル%以下が他の芳香族テトラカルボン酸二無水物
(前記式中、R基を含むテトラカルボン酸二無水物)、
例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’
−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,
3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、2,2−ビス(3、4−ジカルボキシフェニル)プ
ロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニ
ル)エ−テル二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフ
ェニル)スルホン二無水物あるいは2,3,6,7−ナ
フタレンテトラカルボン酸二無水物など、好適には3,
3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
によって置き換えられてもよい。
とができるジアミンとしては、1,3−ビス(4−アミ
ノフェノキシ)ベンゼンが最も好ましいが、好ましくは
その20モル%以下、特に10モル%以下が他のジアミ
ン(前記式中R’基を含むジアミン)、例えば、4,
4’−ジアミノジフェニルエ−テル、4,4’−ジアミ
ノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノベンゾフ
ェノン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2
−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、1,4−ビス
(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス
(4−アミノフェニル)ジフェニルエ−テル、4,4’
−ビス(4−アミノフェニル)ジフェニルスルホン、
4,4’−ビス(4−アミノフェニル)ジフェニルスル
フィド、4,4’−ビス(4−アミノフェニル)ジフェ
ニルメタン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)
ジフェニルエ−テル、4,4’−ビス(4−アミノフェ
ノキシ)ジフェニルスルホン、4,4’−ビス(4−ア
ミノフェノキシ)ジフェニルスルフィド、4,4’−ビ
ス(4−アミノフェノキシ)ジフェニルメタン、2,2
−ビス〔4−(アミノフェノキシ)フェニル〕プロパ
ン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェ
ニル〕ヘキサフルオロプロパンなどの複数のベンゼン環
を有する柔軟な芳香族ジアミン、1,4−ジアミノブタ
ン、1,6−ジアミノヘキサン、1,8−ジアミノオク
タン、1,10−ジアミノデカン、1,12−ジアミノ
ドデカンなどの脂肪族ジアミン、キシレンジアミンなど
のジアミンによって置き換えられてもよい。複数のベン
ゼン環を有する柔軟な芳香族ジアミンの使用割合は全ジ
アミンに対して20モル%以下、特に10モル%以下で
あることが好ましい。また、脂肪族ジアミンの使用割合
は全ジアミンに対して20モル%以下であることが好ま
しい。この割合を越すとポリイミド(Y)の耐熱性が低
下する。
ン末端を封止するためのジカルボン酸無水物としては、
無水フタル酸およびその置換体、ヘキサヒドロ無水フタ
ル酸およびその置換体、無水コハク酸およびその置換体
などが挙げられる。特に、無水フタル酸が好適に挙げら
れる。
ためには、前記の有機溶媒中、ジアミン(アミノ基のモ
ル数として)の使用量が酸無水物の全モル数(テトラ酸
二無水物とジカルボン酸無水物の酸無水物基としての総
モルとして)に対する比として、好ましくは0.92〜
1.0、特に0.98〜1.0、そのなかでも特に0.
99〜1.0であり、ジカルボン酸無水物の使用量がテ
トラカルボン酸二無水物の酸無水物基モル量に対する比
として、好ましくは0.05以下、特に0.0001〜
0.02であるような割合の各成分を反応させることが
好ましい。
の使用割合が前記の範囲外であると、得られるポリアミ
ック酸、従ってポリイミド(Y)の分子量が小さく、フ
ィルムの強度および剥離強度の低下をもたらす。また、
特にジアミン成分過剰の条件では、ポリアミック酸の環
化イミド化あるいは溶媒の除去の際に劣化などを生じ、
フィルムの物性低下および剥離強度の低下をもたらす。
これらのゲル化を制限する目的でリン系安定剤、例えば
亜リン酸トリフェニル、リン酸トリフェニル等をポリア
ミック酸重合時に固形分(ポリマ−)濃度に対して0.
01〜1%の範囲で添加することができる。
溶媒は、ポリイミド(X)およびポリイミド(Y)のい
ずれに対しても、N−メチル−2−ピロリドン、N,N
−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N,N−ジエチルアセトアミド、ジメチルスルホキ
シド、ヘキサメチルホスホルアミド、N−メチルカプロ
ラクタム、クレゾ−ル類などが挙げられる。これらの有
機溶媒は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよ
い。
の製造においては、例えば上記のようにして基体ポリイ
ミド(X)のポリアミック酸溶液(透明粘調な溶液)を
調製し、これをガラス板、ステンレス鏡面、ベルト面等
の支持体面上に流延塗布し、100〜200℃で半硬化
状態またはそれ以前の乾燥状態とする。200℃を越え
た高い温度で流延フィルムを処理すると、多層ポリイミ
ドフィルムの製造において、接着性の低下などの欠陥を
来す。この発明において、半硬化状態またはそれ以前の
状態とは、加熱および/または化学イミド化によって一
部ゲル化した自己支持性の状態にあるか、またはその直
前の段階で自己支持性を有する状態を意味する。
ド(X)を与えるポリアミック酸の溶液と、ポリイミド
(Y)を与えるポリアミック酸の溶液あるいはポリイミ
ドの溶液とから、例えば特開平4−33847号公報に
記載の共押出法によって2層あるいは3層に積層した
後、乾燥およびイミド化して多層ポリイミドフィルムを
得ることができる。この発明においてポリイミド(X)
の半硬化以前の状態で、該層の片面または両面に、ポリ
イミド(Y)を与えるポリアミック酸の溶液あるいはポ
リイミド溶液を積層して多層フィルム状物を形成し、ポ
リイミド(Y)のガラス転移温度(Tg)以上で劣化が
生じる温度以下の温度、好適には350℃以下の温度、
特に好適には270〜350℃の温度(表面温度計で測
定した表面温度)まで加熱して(好適にはこの温度で1
〜60分間加熱して)イミド化、乾燥して多層ポリイミ
ドフィルムを製造することができる。
法により、多層ポリミドフィルムのポリイミド(Y)層
の片面あるいは両面に、金属箔を重ね合わせ、好適には
280〜330℃の温度、1〜100kgf/cm2 の
圧力、1秒〜30分間加熱・加圧して製造することがで
きる。また、この発明の金属箔積層体は、前記の条件で
多層ポリイミドフィルムと金属箔とを熱ロ−ルを使用す
る連続的なホットメルト法により製造することもでき
る。
のフィルム(層)の厚さは15〜150μmであること
が好ましい。15μm未満では作成した多層ポリイミド
フィルムの機械的強度、寸法安定性に問題が生じる。ま
た150μmより厚くなると溶媒の除去、イミド化に難
点が生じる。また、この発明において、柔軟なポリイミ
ド(Y)層の厚さは2〜10μmが好ましい。2μm未
満では接着性能が低下し、10μmを超えても使用可能
であるがとくに効果はなく、むしろ金属箔積層体の耐熱
性が低下する。基体ポリイミド(X)のフィルム(層)
の厚さは全体の多層フィルムの70%以上であることが
好ましい。この割合より小さいと作成した多層フィルム
の機械的強度、寸法安定性などの問題が発生する。
は、銅、アルミニウム、金、合金の箔など各種金属箔が
挙げられるが、好適には圧延銅、電解銅などがあげられ
る。金属箔の厚さは特に制限はないが、10〜60μm
が好ましい。
ポリイミド(Y)との特定の組合せを選択することによ
って、比較的低温度でキュアを行うことができるため、
ポリイミド(Y)の劣化を来すことなく、多層ポリイミ
ドフィルムのイミド化、乾燥を完了させることができ、
しかも接着強度の大きい金属箔積層体を得ることができ
るのである。
さらに詳細に説明する。
例1 攪拌機、窒素導入管および還流管を備えた300mlガ
ラス製反応容器に、N−メチル−2−ピロリドン160
gを加え、攪拌および窒素流通下、パラフェニレンジア
ミン(PPD)10.81g(0.1000モル)を添
加し、50℃に保温し完全に溶解させた。この溶液に
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物(s−BPDA)29.258g(0.0994
5)を発熱に注意しながら徐々に添加し、添加終了後5
0℃を保ったままで3時間反応を続けた。得られたポリ
アミック酸溶液は褐色粘調液体であり、25℃における
溶液粘度は約3000ポイズであった。この溶液(ド−
プ)をX−1と称する。
例2 攪拌機、窒素導入管および還流管を備えた300mlガ
ラス製反応容器に、N,N−ジメチルアセトアミド(D
MAc)166gを加え、攪拌および窒素流通下PPD
9.192g(0.08500モル)および4,4’−
ジアミノジフェニルエ−テル(DADE)3.003g
(0.01500モル)を添加し、50℃で完全に溶解
させた。この溶液にs−BPDA29.258g(0.
09945)を発熱に注意しながら徐々に添加し、添加
終了後50℃を保ったまま3時間反応を続けた。得られ
たポリアミック酸溶液は褐色粘調液体であり、25℃に
おける溶液粘度は約3000ポイズであった。この溶液
をX−2と称する。
備えた500mlのガラス製反応容器に、N−メチル−
2−ピロリドン195gを加え、攪拌および窒素流通
下、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
(TPE−R)29.234g(0.1000モル)お
よびトリフェニルホスフェ−ト59mgを加え、25℃
にて完全に溶解させた。この溶液に2,3,3’,4’
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(a−BPD
A)29.273g(0.0995モル)および無水フ
タル酸0.1481g(0.001000モル)を発熱
に注意しながら徐々に添加し、添加終了後25℃にて1
時間反応を続けた。このポリアミック酸溶液にトルエン
を20ml加えるとともに、反応温度を190℃に昇温
し、生成する水をトルエンと共に留去しながら5時間反
応し、黄赤色粘調ポリイミド溶液を得た。25℃におけ
る溶液粘度は約500ポイズであった。この溶液をY−
1と称する。
備えた500mlのガラス製反応容器に、N,N−ジメ
チルアセトアミド235gを加え、攪拌および窒素流通
下、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
(TPE−R)29.234g(0.1000モル)お
よびトリフェニルホスフェ−ト59mgを加え、25℃
にて完全に溶解させた。この溶液に2,3,3’,4’
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(a−BPD
A)29.273g(0.0995モル)および無水フ
タル酸0.1481g(0.001000モル)を発熱
に注意しながら徐々に添加し、添加終了後25℃にて5
時間反応を継続し、淡黄褐色粘調なポリアミック酸溶液
を得た。25℃における溶液粘度は約2000ポイズで
あった。この溶液をY−2と称する。
−3 攪拌機、、温度計、窒素導入管および還流管付分留管を
備えた500mlのガラス製反応容器に、N,N−ジメ
チルアセトアミド269gを加え、攪拌および窒素流通
下、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
(TPE−R)29.234g(0.1000モル)お
よびトリフェニルホスフェ−ト59mgを加え、25℃
にて完全に溶解させた。この溶液に2,3,3’,4’
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(a−BPD
A)29.71g(0.101モル)を発熱に注意しな
がら徐々に添加し、添加終了後25℃にて4時間反応を
継続し、淡褐色透明粘調なポリアミック酸溶液を得た。
25℃における溶液粘度は約2000ポイズであった。
この溶液をY−3と称する。
布し、120℃にて15分間乾燥してフィルムを得た。
この被(皮)膜上にさらにアプリケ−タ−を用いてド−
プY−1を塗布し、120℃にて15分間乾燥した。こ
の膜厚は6.5μm(熱処理後5μm)であった。この
2層被膜を一旦冷却し、ガラス面から剥離し、ステンレ
ス製の金枠に固定し、200℃で30分、300℃で3
0分の熱処理を行い、X−1/Y−1の2層ポリイミド
フィルム(25μm/5μm、全厚み30μm)を得
た。300℃に保った熱プレスを用い、電解銅箔(厚み
35μm)を上記2層ポリイミドフィルムのポリイミド
(Y−1)側で重ね合わせ、5分間予熱後、30kgf
/cm2 の圧力で1分間プレスを行い、銅箔積層板を得
た。得られた積層板はほとんど反りの見られないもので
あった。この積層板について、未処理の90°剥離強
度、銅を1mmごとのライン アンド スペ−スにエッ
チングした後の90°剥離強度、280℃の半田に1分
間浸漬した後(半田処理)の外観および90°剥離強度
の各項目について評価し、評価結果を表1に示す。剥離
はすべて銅とポリイミドとの界面で生じていた。
イミド(Y)用ド−プの組合せで、実施例1と同様に2
層ポリイミドフィルムを製造し、これらの各フィルムに
ついて電解銅箔と張り合わせたところ、いずれも反りは
ほとんど見られなかった。各評価項目についての評価結
果をまとめて表1に示す。剥離はすべて銅とポリイミド
との界面で生じていた。
S、25μm)にアプリケ−タ−を用いてド−プY−2
を塗布し、120℃で15分、200℃で30分、30
0℃で30分熱処理した。この膜厚は5μmであり、2
層ポリイミドの全厚みは30μmであった。このフィル
ムについて、実施例1と同様に電解銅箔と張り合わせ
た。得られた金属箔積層体は、未処理の90°剥離強度
が0.5kgf/cmで、実用的なレベルの剥離強度が
なかった。また剥離はポリイミドフィルム(ユ−ピレッ
クス−S)とポリイミド(Y)との界面で生じていた。
布し、120℃にて15分間乾燥してフィルムを得た。
この上にさらにアプリケ−タ−を用いてド−プX−1を
塗布し、120℃にて15分間乾燥した。この自己支持
性の2層皮膜の上にさらにアプリケ−タ−を用いてド−
プY−1を塗布し、120℃にて15分間乾燥した。得
られた3層の皮膜を一旦冷却し、ガラス面から剥離し、
ステンレス製の金型に固定し、200℃で30分、30
0℃で30分熱処理を行い、Y−1/X−1/Y−1の
3層ポリイミドフィルム(5μm/25μm/5 μm)
を得た。このフィルムの両面に電解銅箔を重ねて実施例
1と同じ条件で熱圧着し、5層の銅箔積層板を作製し
た。評価結果を表2に示す。
イミド(Y)用ド−プの組合せで、実施例7と同様に3
層ポリイミドフィルムを製造した。これらのフィルムの
両面に電解銅箔を重ねて実施例7と同じ条件で熱圧着
し、5層の銅箔積層板を作製した。評価結果を表2に示
す。
て、s−BPDA/PPD−DADE(85/15)を
DMAc中で重合し、ポリマ−濃度18重量%、溶液粘
度1500ポイズのポリアミック酸溶液を調製した。ポ
リイミド(Y)製造用ド−プの合成例2に準じて、a−
BPDA/TPE−RをDMAc中で重合し、ポリマ−
濃度22重量%、溶液粘度1500ポイズのポリアミッ
ク酸溶液を調製した。
で、前記ポリアミック酸溶液を3層押出ダイスを使用し
て平滑な金属製支持体上に流延し、140℃の熱風で連
続的に乾燥し、固化フィルムを形成した。この固化フィ
ルムを支持体から剥離した後加熱炉で200℃から32
0℃まで徐々に昇温して溶媒の除去、イミド化を行い長
尺状3層押出フィルムを製造した。次いで、特開平4−
33847号公報に記載の方法で、このフィルムの両面
に電解銅箔(35μm厚)を熱ロ−ル温度320℃、ロ
−ル圧力24kg/cm、ラミネ−ト速度0.5m/分
の条件で熱ラミネ−トし、長尺状金属箔積層体を得た。
μm)を重ねて実施例7と同じ条件で熱圧着して金属箔
積層体を得た。この金属箔積層体の評価結果は、未処理
で1.9kgf/cm、エッチング処理後で1.9kg
f/cm、半田処理後で1.9kgf/cmの各90°
剥離強度、半田処理後の外観:良好の結果であった。
フィルムを製造した。得られた3層あるいは2層ポリイ
ミドフィルムの物性、および実施例13と同様にして作
製した長尺状銅箔積層体の90°剥離強度測定結果を表
3に示す。また、各多層ポリイミドフィルムについて、
プレッシャ−・クッカ−テスト(120℃、2気圧、2
0時間)を行った。結果をまとめて表4に示す。いずれ
もテスト後の物性に実質的に変化は認められなかった。
高剛性、高耐熱性、低熱線膨張性のビフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物−パラフェニレンジアミン系ポリイミ
ドからなる基体ポリイミド層と柔軟な熱融着性ポリイミ
ドが大きな剥離強度で積層した多層ポリイミドフィルム
を製造することができる。
率が少なく熱的に変化の少ない安定な性能を有してお
り、未処理の剥離強度、エッチング処理後の剥離強度、
半田処理後の剥離強度のいずれも大きい。
レッシャ−・クッカ−テスト後の物性が変化せず、高耐
熱性のポリイミドと熱融着性ポリイミドが大きな剥離強
度で積層している。
Claims (7)
- 【請求項1】 下記式のイミド単位を有する基体ポリイ
ミド(X)層の片面または両面に、 【化1】 下記のイミド単位(A)および(B)からなり、 【化2】 〔式(B)において、R,R’はそれぞれ4価および2
価の芳香族基または脂肪族基を表す。〕 (A)が80〜100モル%、(B)が20〜0モル%
であって、このポリマ−末端がテトラカルボン酸無水物
残基であるか、またはアミン末端をジカルボン酸無水物
で封止したポリイミド(Y)層を積層した多層フィルム
であって、前記基体ポリイミド(X)層が半硬化以前の
状態で積層した後加熱して乾燥およびイミド化して得ら
れる多層ポリイミドフィルムに、前記ポリイミド(Y)
層を介して金属箔をホットメルト法により張り合わせる
ことを特徴とする金属箔積層体の製法。 - 【請求項2】 基体ポリイミド(X)層が半硬化以前の
状態でその片面または両面にポリイミド(Y)を与える
ポリアミック酸あるいはポリイミドの溶液を積層して多
層フィルムとした後、ポリイミド(Y)のガラス転移温
度以上で劣化温度以下の温度まで加熱して、乾燥および
イミド化する工程と、多層フィルムのポリイミド(Y)
面に金属箔を重ね合わせ、280〜330℃の温度、1
〜100kgf/cm2 の圧力、1秒〜30分加熱、加
圧して張り合わせる工程とを含む請求項1記載の製法。 - 【請求項3】 多層ポリイミドフィルムの基体ポリイミ
ド(X)層の厚さが15〜150μmであって、全体の
厚さの70%以上であり、ポリイミド(Y)層の厚さが
2〜10μmである請求項1記載の製法。 - 【請求項4】 多層ポリイミドフィルムが基体ポリイミ
ド(X)を与えるポリアミック酸の溶液と、ポリイミド
(Y)を与えるポリアミック酸あるいはポリイミドの溶
液とを共押出法によって積層した後、ポリイミド(Y)
のガラス転移温度以上で劣化温度以下の温度まで加熱し
て、乾燥およびイミド化して得られるものである請求項
1記載の製法。 - 【請求項5】 下記式のイミド単位を有する基体ポリイ
ミド(X)層の片面または両面に、 【化3】 下記のイミド単位(A)および(B)からなり、 【化4】 〔式(B)において、R,R’はそれぞれ4価および2
価の芳香族基または脂肪族基を表す。〕 (A)が80〜100モル%、(B)が20〜0モル%
であって、このポリマ−末端がテトラカルボン酸無水物
残基であるか、またはアミン末端をジカルボン酸無水物
で封止したポリイミド(Y)層を積層した多層ポリイミ
ドフィルムに、前記ポリイミド(Y)層を介して金属箔
がIPC−TM−(2.4.9)の90°剥離法に従っ
て測定した剥離強度が1.0kgf/cm以上で積層さ
れていることを特徴とする金属箔積層体。 - 【請求項6】 下記式のイミド単位を有する基体ポリイ
ミド(X)層の片面または両面に、 【化5】 下記のイミド単位(A)および(B)からなり、 【化6】 〔式(B)において、R,R’はそれぞれ4価および2
価の芳香族基または脂肪族基を表す。〕 (A)が80〜100モル%、(B)が20〜0モル%
であって、このポリマ−末端がテトラカルボン酸無水物
残基であるか、またはアミン末端をジカルボン酸無水物
で封止したポリイミド(Y)を積層した多層フィルムで
あって、 基体ポリイミド(X)層が半硬化以前の状態でその片面
または両面にポリイミド(Y)を与えるポリアミック酸
あるいはポリイミドの溶液を積層した後、加熱して乾燥
およびイミド化してなることを特徴とする多層ポリイミ
ドフィルム。 - 【請求項7】 請求項6において、乾燥およびイミド化
をポリイミド(Y)のガラス転移温度以上で劣化温度以
下の温度まで加熱してなる請求項7記載の多層ポリイミ
ドフィルム。
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|---|---|---|---|
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| US10/454,730 US6797392B2 (en) | 1995-08-01 | 2003-06-03 | Polyimide/metal composite sheet |
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| JP7-196538 | 1995-08-01 | ||
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- 1996-05-31 JP JP13855196A patent/JP3267154B2/ja not_active Expired - Lifetime
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