JPH10100355A - 離形フィルム - Google Patents
離形フィルムInfo
- Publication number
- JPH10100355A JPH10100355A JP26289896A JP26289896A JPH10100355A JP H10100355 A JPH10100355 A JP H10100355A JP 26289896 A JP26289896 A JP 26289896A JP 26289896 A JP26289896 A JP 26289896A JP H10100355 A JPH10100355 A JP H10100355A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- release layer
- release
- polyethylene
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 離形層中の不純物が少なくかつフィルム中の
不純物が離形層表面に移行するのが抑制された、シリコ
ーンウエハー製造用途粘着剤の保護フィルムに有用な離
形フィルムを提供する。 【解決手段】 ポリエチレン−２，６−ナフタレートフ
ィルムの少なくとも片面に、テトラエトキシシランの加
水分解物を０．０２〜２μｍの厚さで塗工しさらにその
上に残留接着率が９５％以上のシリコーン離形層を設け
てなる離形フィルム。
不純物が離形層表面に移行するのが抑制された、シリコ
ーンウエハー製造用途粘着剤の保護フィルムに有用な離
形フィルムを提供する。 【解決手段】 ポリエチレン−２，６−ナフタレートフ
ィルムの少なくとも片面に、テトラエトキシシランの加
水分解物を０．０２〜２μｍの厚さで塗工しさらにその
上に残留接着率が９５％以上のシリコーン離形層を設け
てなる離形フィルム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ポリエチレン−
２，６−ナフタレートをベースフィルムとした離形フィ
ルムに関し、さらに詳しくは剥離性に優れ、離形層中の
不純物が少なくかつフィルム中の不純物が離形層表面へ
移行するのを抑制した、シリコーンウエハー製造の際の
バックグラインド及びダイシング工程で使用する粘着剤
の保護フィルム等に有用な離形フィルムに関する。
２，６−ナフタレートをベースフィルムとした離形フィ
ルムに関し、さらに詳しくは剥離性に優れ、離形層中の
不純物が少なくかつフィルム中の不純物が離形層表面へ
移行するのを抑制した、シリコーンウエハー製造の際の
バックグラインド及びダイシング工程で使用する粘着剤
の保護フィルム等に有用な離形フィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコーンウエハー製造の際のバックグ
ラインド及びダイシング工程等では、種々の粘着剤層を
積層した粘着フィルムがウエハーの固定用に使用され
る。
ラインド及びダイシング工程等では、種々の粘着剤層を
積層した粘着フィルムがウエハーの固定用に使用され
る。
【０００３】特に、バックグラインド工程では回路を印
刷する面を粘着剤層にて固定し背面を研磨後この粘着剤
層を剥離する。そのため、わずかな粘着剤の剥離残りや
粘着剤保護フィルムからの不純物転写があると印刷回路
不良等の問題が発生し半導体チップの歩留まりが低下す
る。
刷する面を粘着剤層にて固定し背面を研磨後この粘着剤
層を剥離する。そのため、わずかな粘着剤の剥離残りや
粘着剤保護フィルムからの不純物転写があると印刷回路
不良等の問題が発生し半導体チップの歩留まりが低下す
る。
【０００４】また、ダイシング工程では、シリコーンウ
エハーは粘着剤層に固定された状態で細かくカッティン
グされ、ＵＶ照射等により粘着剤の粘着力が逓減された
後、一つづつ取り出される。取り出されたウエハーは、
次のボンディング工程、モールディング工程に移送さ
れ、使用される。そして、上記の粘着フィルムは通常、
粘着剤層の表面を離形フィルムにより保護された状態で
保管され、前述のダイシング工程で、離形フィルムを剥
離除去して使用される。
エハーは粘着剤層に固定された状態で細かくカッティン
グされ、ＵＶ照射等により粘着剤の粘着力が逓減された
後、一つづつ取り出される。取り出されたウエハーは、
次のボンディング工程、モールディング工程に移送さ
れ、使用される。そして、上記の粘着フィルムは通常、
粘着剤層の表面を離形フィルムにより保護された状態で
保管され、前述のダイシング工程で、離形フィルムを剥
離除去して使用される。
【０００５】近年、モールディング工程で用いるシリコ
ーンウエハーのサイズは極めて小さくなっているが、ウ
エハー表面に不純物がわずかでも存在すると、その部分
を起点とした接着不良による割れ等が発生し、製品の歩
留まりが低下するという問題が生じている。
ーンウエハーのサイズは極めて小さくなっているが、ウ
エハー表面に不純物がわずかでも存在すると、その部分
を起点とした接着不良による割れ等が発生し、製品の歩
留まりが低下するという問題が生じている。
【０００６】一方、上記の粘着剤層保護フィルムには、
例えばポリエステルフィルムの上にシリコーン離形層を
設けた離形フィルム等が従来から用いられている。とこ
ろが、かかる離形フィルムは、ポリエステルフィルム中
の不純物（オリゴマーや重合触媒として用いた金属化合
物）がシリコーン離形層中を移行し離形層表面に堆積し
やすい欠点を有する。そして、この離形層表面に堆積し
た不純物が、粘着フィルムの粘着剤層表面に転写され、
更に上記シリコーンウエハー製造の際バックグラインド
及びダイシング工程でシリコーンウエハーに再転写され
ることによりモールディング工程での製品の歩留まりを
低下させる原因となっている。また、離形フィルムの離
形層を構成するシリコーン樹脂中の不純物（未硬化のシ
リコーンモノマーやオリゴマー）が存在すると、やはり
歩留まりを低下させる原因となる。
例えばポリエステルフィルムの上にシリコーン離形層を
設けた離形フィルム等が従来から用いられている。とこ
ろが、かかる離形フィルムは、ポリエステルフィルム中
の不純物（オリゴマーや重合触媒として用いた金属化合
物）がシリコーン離形層中を移行し離形層表面に堆積し
やすい欠点を有する。そして、この離形層表面に堆積し
た不純物が、粘着フィルムの粘着剤層表面に転写され、
更に上記シリコーンウエハー製造の際バックグラインド
及びダイシング工程でシリコーンウエハーに再転写され
ることによりモールディング工程での製品の歩留まりを
低下させる原因となっている。また、離形フィルムの離
形層を構成するシリコーン樹脂中の不純物（未硬化のシ
リコーンモノマーやオリゴマー）が存在すると、やはり
歩留まりを低下させる原因となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、かか
る従来技術の欠点を解消し、離形層中の不純物が少なく
かつフィルム中の不純物が離形層表面へ移行するのを抑
制した、シリコーンウエハー製造の際のバックグライン
ド及びダイシング工程で使用する粘着剤の保護フィルム
等に有用な離形フィルムを提供することにある。
る従来技術の欠点を解消し、離形層中の不純物が少なく
かつフィルム中の不純物が離形層表面へ移行するのを抑
制した、シリコーンウエハー製造の際のバックグライン
ド及びダイシング工程で使用する粘着剤の保護フィルム
等に有用な離形フィルムを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、ポリエチレン
−２，６−ナフタレートフィルムの少なくとも片面にＳ
ｉ（ＯＣ2Ｈ5）4の硬化物を０．０２〜２μｍの厚さで
塗工しさらにその上に残留接着率が９５％以上のシリコ
ーン離形層を設けてなる離形フィルムである。
−２，６−ナフタレートフィルムの少なくとも片面にＳ
ｉ（ＯＣ2Ｈ5）4の硬化物を０．０２〜２μｍの厚さで
塗工しさらにその上に残留接着率が９５％以上のシリコ
ーン離形層を設けてなる離形フィルムである。
【０００９】本発明におけるポリエチレン−２，６−ナ
フタレートフィルムとしては、エチレン−２，６−ナフ
タレートを全繰返し単位とするホモポリマーあるいは全
繰返し単位の少なくとも８０モル％がエチレン−２，６
−ナフタレートであるコポリマーが好ましく用いられ
る。
フタレートフィルムとしては、エチレン−２，６−ナフ
タレートを全繰返し単位とするホモポリマーあるいは全
繰返し単位の少なくとも８０モル％がエチレン−２，６
−ナフタレートであるコポリマーが好ましく用いられ
る。
【００１０】コポリマーを構成する共重合成分は、主と
して分子内に２つのエステル形成性官能基を有する化合
物であり、この具体例として、例えばシュウ酸、アジピ
ン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、２，７
−ナフタレンジカルボン酸、ジフェニルエーテルジカル
ボン酸等の如きジカルボン酸；ｐ−オキシ安息香酸、ｐ
−オキシエトキシ安息香酸等の如きオキシカルボン酸；
プロピレングリコール、トリメチレングリコール、テト
ラメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、シ
クロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール、
ジエチレングリコール等の如き２価アルコール等を挙げ
ることができる。
して分子内に２つのエステル形成性官能基を有する化合
物であり、この具体例として、例えばシュウ酸、アジピ
ン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、２，７
−ナフタレンジカルボン酸、ジフェニルエーテルジカル
ボン酸等の如きジカルボン酸；ｐ−オキシ安息香酸、ｐ
−オキシエトキシ安息香酸等の如きオキシカルボン酸；
プロピレングリコール、トリメチレングリコール、テト
ラメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、シ
クロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール、
ジエチレングリコール等の如き２価アルコール等を挙げ
ることができる。
【００１１】また、ポリエチレン−２，６−ナフタレー
トは、例えば安息香酸、メトキシポリアルキレングリコ
ール等の一官能性化合物によって末端の水酸基及び／又
はカルボキシル基の一部又は全部を封鎖したものであっ
てもよく、あるいは例えば極めて少量のグリセリン、ペ
ンタエリスリトール等の如き三官能以上の多官能性化合
物で実質的に線状のポリマーが得られる範囲内で変性さ
れたものでもよい。
トは、例えば安息香酸、メトキシポリアルキレングリコ
ール等の一官能性化合物によって末端の水酸基及び／又
はカルボキシル基の一部又は全部を封鎖したものであっ
てもよく、あるいは例えば極めて少量のグリセリン、ペ
ンタエリスリトール等の如き三官能以上の多官能性化合
物で実質的に線状のポリマーが得られる範囲内で変性さ
れたものでもよい。
【００１２】ポリエチレン−２，６−ナフタレートとし
ては、エチレン−２，６−ナフタレートを実質的に全繰
返し単位としてなるホモポリマーが好ましい。かかるポ
リエチレン−２，６−ナフタレートは添加剤、例えば安
定剤、紫外線吸収剤、着色剤、難燃剤等を含有すること
ができる。
ては、エチレン−２，６−ナフタレートを実質的に全繰
返し単位としてなるホモポリマーが好ましい。かかるポ
リエチレン−２，６−ナフタレートは添加剤、例えば安
定剤、紫外線吸収剤、着色剤、難燃剤等を含有すること
ができる。
【００１３】本発明におけるポリエチレン−２，６−ナ
フタレートは、フィルムに滑り性を付与するために不活
性微粒子を少割合含有させることができる。
フタレートは、フィルムに滑り性を付与するために不活
性微粒子を少割合含有させることができる。
【００１４】かかる不活性微粒子の例としては、シリカ
球状粒子、炭酸カルシウム、アルミナ、ゼオライトの如
き無機粒子あるいは架橋シリコーン粒子、架橋ポリスチ
レン粒子の如き耐熱性有機粒子を挙げることができる。
無機粒子は天然品に比べ、合成品が好ましく、あらゆる
結晶形態を取り得る。
球状粒子、炭酸カルシウム、アルミナ、ゼオライトの如
き無機粒子あるいは架橋シリコーン粒子、架橋ポリスチ
レン粒子の如き耐熱性有機粒子を挙げることができる。
無機粒子は天然品に比べ、合成品が好ましく、あらゆる
結晶形態を取り得る。
【００１５】上記の不活性微粒子の平均粒径は０．０５
〜１．５μｍの範囲にあるのが好ましい。特に、不活性
粒子が無機粒子の場合には、平均粒径が０．１〜０．８
μｍの範囲にあるのがより好ましく、０．２〜０．５μ
ｍにあるのが特に好ましい。不活性微粒子が架橋シリコ
ーン樹脂粒子の場合には、平均粒径が０．１〜１．５μ
ｍの範囲にあるのが特に好ましい。また、不活性微粒子
が架橋ポリスチレン粒子の場合には、平均粒径が０．１
〜１μｍの範囲にあるのがより好ましい。
〜１．５μｍの範囲にあるのが好ましい。特に、不活性
粒子が無機粒子の場合には、平均粒径が０．１〜０．８
μｍの範囲にあるのがより好ましく、０．２〜０．５μ
ｍにあるのが特に好ましい。不活性微粒子が架橋シリコ
ーン樹脂粒子の場合には、平均粒径が０．１〜１．５μ
ｍの範囲にあるのが特に好ましい。また、不活性微粒子
が架橋ポリスチレン粒子の場合には、平均粒径が０．１
〜１μｍの範囲にあるのがより好ましい。
【００１６】不活性微粒子の平均粒径が０．０５μｍよ
り小さいと、フィルムの滑り性、耐削れ性あるいは巻取
り性などの向上効果が小さく、一方平均粒径が１．５μ
ｍより大きいとフィルム表面が粗くなり過ぎるため好ま
しくない。
り小さいと、フィルムの滑り性、耐削れ性あるいは巻取
り性などの向上効果が小さく、一方平均粒径が１．５μ
ｍより大きいとフィルム表面が粗くなり過ぎるため好ま
しくない。
【００１７】不活性微粒子の含有量は、０．００１重量
％以上が好ましく、０．００５〜２０重量％の範囲がさ
らに好ましい。この含有量が０．００１重量％未満で
は、フィルム滑り性が不充分となり、好ましくない。
％以上が好ましく、０．００５〜２０重量％の範囲がさ
らに好ましい。この含有量が０．００１重量％未満で
は、フィルム滑り性が不充分となり、好ましくない。
【００１８】不活性微粒子の添加時期は、ポリエチレン
−２，６−ナフタレートを製膜するまでの段階であれば
特に制限はなく、例えば重合段階でもよく、また製膜前
の段階でもよい。
−２，６−ナフタレートを製膜するまでの段階であれば
特に制限はなく、例えば重合段階でもよく、また製膜前
の段階でもよい。
【００１９】本発明に使用されるポリエチレン−２，６
−ナフタレートフィルムは、従来から知られている方法
で製造することができる。例えば、ポリエチレン−２，
６−ナフタレートを乾燥後、Ｔｍ〜（Ｔｍ＋７０）℃の
温度（但し、Ｔｍ：ポリエチレン−２，６−ナフタレー
トの融点）で押出機にて溶融し、ダイ（例えばＴ−ダ
イ、Ｉ−ダイ等）から回転冷却ドラム上に押出し、４０
〜９０℃で急冷して未延伸フィルムを製造し、ついで該
未延伸フィルムを（Ｔｇ−１０）〜（Ｔｇ＋７０）℃の
温度（Ｔｇ：ポリエチレン−２，６−ナフタレートのガ
ラス転移温度）で縦方向に２．５〜８．０倍の倍率で延
伸し、横方向２．５〜８．０倍の倍率で延伸し、必要に
応じて１８０〜２５０℃の温度で１〜６０秒間熱固定す
ることにより製造できる。フィルムの厚みは、１〜１０
０μｍが好ましく、２５〜７５μｍがさらに好ましい。
−ナフタレートフィルムは、従来から知られている方法
で製造することができる。例えば、ポリエチレン−２，
６−ナフタレートを乾燥後、Ｔｍ〜（Ｔｍ＋７０）℃の
温度（但し、Ｔｍ：ポリエチレン−２，６−ナフタレー
トの融点）で押出機にて溶融し、ダイ（例えばＴ−ダ
イ、Ｉ−ダイ等）から回転冷却ドラム上に押出し、４０
〜９０℃で急冷して未延伸フィルムを製造し、ついで該
未延伸フィルムを（Ｔｇ−１０）〜（Ｔｇ＋７０）℃の
温度（Ｔｇ：ポリエチレン−２，６−ナフタレートのガ
ラス転移温度）で縦方向に２．５〜８．０倍の倍率で延
伸し、横方向２．５〜８．０倍の倍率で延伸し、必要に
応じて１８０〜２５０℃の温度で１〜６０秒間熱固定す
ることにより製造できる。フィルムの厚みは、１〜１０
０μｍが好ましく、２５〜７５μｍがさらに好ましい。
【００２０】本発明においては、ポリエチレン−２，６
−ナフタレートフィルムの少なくとも片面に、フィルム
中の不純物が離形層表面に移行するのを抑制するため、
Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4化合物を架橋硬化させた０．０２〜
２μｍの肉厚のプライマー層を設ける。
−ナフタレートフィルムの少なくとも片面に、フィルム
中の不純物が離形層表面に移行するのを抑制するため、
Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4化合物を架橋硬化させた０．０２〜
２μｍの肉厚のプライマー層を設ける。
【００２１】本発明におけるプライマー層は、例えば前
述の化合物のエタノール溶液を、ポリエチレン−２，６
−ナフタレートフィルムの少なくとも片面に塗布し、例
えば１２０〜２１０℃の温度で１０〜６０秒間加熱して
溶媒を乾燥除去すると共に架橋硬化させることにより塗
設することができる。
述の化合物のエタノール溶液を、ポリエチレン−２，６
−ナフタレートフィルムの少なくとも片面に塗布し、例
えば１２０〜２１０℃の温度で１０〜６０秒間加熱して
溶媒を乾燥除去すると共に架橋硬化させることにより塗
設することができる。
【００２２】Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4化合物のエタノール溶
液をフィルムに塗布すると、溶媒のエタノールが蒸発す
るにつれて、空気中の水分とＳｉ（ＯＣ2Ｈ5）4化合物
が接触することにより下式に従い反応が進み、化合物Ａ
が生成する。
液をフィルムに塗布すると、溶媒のエタノールが蒸発す
るにつれて、空気中の水分とＳｉ（ＯＣ2Ｈ5）4化合物
が接触することにより下式に従い反応が進み、化合物Ａ
が生成する。
【００２３】
【化１】
【００２４】この化合物Ａが加熱乾燥の際にシラノール
基の脱水縮合反応を起こし、均一な層を形成する。
基の脱水縮合反応を起こし、均一な層を形成する。
【００２５】本発明におけるプライマー層の肉厚は、
０．０２〜２μｍである。この肉厚が０．０２μｍ未満
であると、フィルム中の不純物が離形層表面に移行する
のを抑制する効果が不足し、２μｍを越えるとプライマ
ー層を積層したフィルムの耐ブロッキング性が不良とな
るので好ましくない。
０．０２〜２μｍである。この肉厚が０．０２μｍ未満
であると、フィルム中の不純物が離形層表面に移行する
のを抑制する効果が不足し、２μｍを越えるとプライマ
ー層を積層したフィルムの耐ブロッキング性が不良とな
るので好ましくない。
【００２６】本発明においては、プライマー層の上に残
留接着率が９５％以上のシリコーン離形層を設ける。
留接着率が９５％以上のシリコーン離形層を設ける。
【００２７】このシリコーン樹脂塗膜は、硬化性シリコ
ーン樹脂を含む塗液をフィルムの少なくとも片面に塗布
し、乾燥、硬化させることにより形成できる。
ーン樹脂を含む塗液をフィルムの少なくとも片面に塗布
し、乾燥、硬化させることにより形成できる。
【００２８】硬化性シリコーン樹脂としては、例えば縮
合反応系のもの、付加反応系のもの、紫外線もしくは電
子線硬化系のもの等いずれの反応系のものも用いること
ができる。これらは一種以上用いることができる。
合反応系のもの、付加反応系のもの、紫外線もしくは電
子線硬化系のもの等いずれの反応系のものも用いること
ができる。これらは一種以上用いることができる。
【００２９】各種シリコーンの硬化反応は、次のように
示すことができる。
示すことができる。
【００３０】
【化２】
【００３１】上記縮合反応系のシリコーン樹脂として
は、例えば、末端−ＯＨ基をもつポリメチルシロキサン
と末端に−Ｈ基をもつポリジメチルシロキサン（ハイド
ロジェンシラン）を有機錫触媒（例えば有機錫アシレー
ト触媒）を用いて縮合反応させ、３次元架橋構造をつく
るものが挙げられる。
は、例えば、末端−ＯＨ基をもつポリメチルシロキサン
と末端に−Ｈ基をもつポリジメチルシロキサン（ハイド
ロジェンシラン）を有機錫触媒（例えば有機錫アシレー
ト触媒）を用いて縮合反応させ、３次元架橋構造をつく
るものが挙げられる。
【００３２】付加反応系のシリコーン樹脂としては、例
えば末端にビニル基を導入したポリジメチルシロキサン
とハイドロジェンシランを白金触媒を用いて反応させ、
３次元構造をつくるものが挙げられる。
えば末端にビニル基を導入したポリジメチルシロキサン
とハイドロジェンシランを白金触媒を用いて反応させ、
３次元構造をつくるものが挙げられる。
【００３３】紫外線硬化系のシリコーン樹脂としては、
例えば最も基本的なタイプとして通常のシリコーンゴム
架橋と同じラジカル反応を利用するもの、アクリル基を
導入して光硬化させるもの、紫外線でオニウム塩を分解
させて強酸を発生させ、これでエポキシ基を開裂させて
架橋させるもの、ビニルシロキサンへのチオールの付加
反応で架橋するもの等が挙げられる。電子線は紫外線よ
りもエネルギーが強く、紫外線硬化の場合のように開始
剤を用いずともラジカルによる架橋反応が起こる。
例えば最も基本的なタイプとして通常のシリコーンゴム
架橋と同じラジカル反応を利用するもの、アクリル基を
導入して光硬化させるもの、紫外線でオニウム塩を分解
させて強酸を発生させ、これでエポキシ基を開裂させて
架橋させるもの、ビニルシロキサンへのチオールの付加
反応で架橋するもの等が挙げられる。電子線は紫外線よ
りもエネルギーが強く、紫外線硬化の場合のように開始
剤を用いずともラジカルによる架橋反応が起こる。
【００３４】硬化性シリコーン樹脂としては、その重合
度が５０〜２０万程度、好ましくは千〜１０万程度のも
のが好ましく、これらの具体例としては信越化学工業
（株）製のＫＳ−７１８、−７７４、−７７５、−７７
８、ー７７９Ｈ、−８３０、−８３５、−８３７、−８
３８、−８３９、−８４１、−８４３、−８４７、−８
４７Ｈ、Ｘ−６２−２４１８、−２４２２、−２１２
５、−２４９２、−２４９４、−４７０、−２３６６、
−６３０、Ｘ−９２−１４０、−１２８、ＫＳ−７２３
Ａ・Ｂ、−７０５Ｆ、−７０８Ａ、−８８３、−７０
９、−７１９；東芝シリコーン（株）のＴＰＲ−６７０
１、−６７０２、−６７０３、−３７０４、−６７０
５、−６７２２、−６７２１、−６７００、ＸＳＲ−７
０２９、ＹＳＲ−３０２２、ＹＲ−３２８６；ダウコー
ニング（株）製のＤＫ−Ｑ３−２０２、−２０３、−２
０４、−２１０、−２４０、−３００３、−２０５、−
３０５７、ＳＦＸＦ−２５６０；東レシリコーン（株）
製のＳＤ−７２２６、−７３２０、−７２２９、ＢＹ２
４−９００、−１７１、−３１２、−３７４、ＳＲＸ−
３７５、ＳＹＬ−ＯＦＦ２３、ＳＲＸ−２４４、ＳＥＸ
−２９０；アイ・シー・アイ・ジャパン（株）製のＳＩ
ＬＣＯＬＥＡＳＥ４２５等を挙げることができる。ま
た、特開昭４７−３４４４７号公報、特公昭５２−４０
９１８号公報等に記載のシリコーン樹脂も用いることが
できる。
度が５０〜２０万程度、好ましくは千〜１０万程度のも
のが好ましく、これらの具体例としては信越化学工業
（株）製のＫＳ−７１８、−７７４、−７７５、−７７
８、ー７７９Ｈ、−８３０、−８３５、−８３７、−８
３８、−８３９、−８４１、−８４３、−８４７、−８
４７Ｈ、Ｘ−６２−２４１８、−２４２２、−２１２
５、−２４９２、−２４９４、−４７０、−２３６６、
−６３０、Ｘ−９２−１４０、−１２８、ＫＳ−７２３
Ａ・Ｂ、−７０５Ｆ、−７０８Ａ、−８８３、−７０
９、−７１９；東芝シリコーン（株）のＴＰＲ−６７０
１、−６７０２、−６７０３、−３７０４、−６７０
５、−６７２２、−６７２１、−６７００、ＸＳＲ−７
０２９、ＹＳＲ−３０２２、ＹＲ−３２８６；ダウコー
ニング（株）製のＤＫ−Ｑ３−２０２、−２０３、−２
０４、−２１０、−２４０、−３００３、−２０５、−
３０５７、ＳＦＸＦ−２５６０；東レシリコーン（株）
製のＳＤ−７２２６、−７３２０、−７２２９、ＢＹ２
４−９００、−１７１、−３１２、−３７４、ＳＲＸ−
３７５、ＳＹＬ−ＯＦＦ２３、ＳＲＸ−２４４、ＳＥＸ
−２９０；アイ・シー・アイ・ジャパン（株）製のＳＩ
ＬＣＯＬＥＡＳＥ４２５等を挙げることができる。ま
た、特開昭４７−３４４４７号公報、特公昭５２−４０
９１８号公報等に記載のシリコーン樹脂も用いることが
できる。
【００３５】前記硬化シリコーン樹脂塗膜をフィルム表
面に形成させる場合、コーティングの方法としてはバー
コート法、ドクターブレード法、リバースロールコート
法またはグラビアロールコート法等の従来から知られて
いる方法が利用できる。
面に形成させる場合、コーティングの方法としてはバー
コート法、ドクターブレード法、リバースロールコート
法またはグラビアロールコート法等の従来から知られて
いる方法が利用できる。
【００３６】塗膜の乾燥及び硬化（熱硬化、紫外線硬化
等）は、残留接着率が９５％以上となるよう実施する必
要がある。乾燥及び硬化はそれぞれ個別又は同時に行な
うことができる。同時に行なうときには１００℃以上で
行なうことが好ましい。乾燥及び硬化の条件としては１
００℃以上で３０秒以上が好ましい。乾燥温度が１００
℃未満及び硬化時間が３０秒未満では塗膜の硬化が不完
全であり、塗膜が脱落しやすくなるため好ましくない。
等）は、残留接着率が９５％以上となるよう実施する必
要がある。乾燥及び硬化はそれぞれ個別又は同時に行な
うことができる。同時に行なうときには１００℃以上で
行なうことが好ましい。乾燥及び硬化の条件としては１
００℃以上で３０秒以上が好ましい。乾燥温度が１００
℃未満及び硬化時間が３０秒未満では塗膜の硬化が不完
全であり、塗膜が脱落しやすくなるため好ましくない。
【００３７】硬化性シリコーン樹脂塗膜の厚みは、特に
限定されないが、０．０５〜０．５μｍの範囲が好まし
い。厚みが０．０５μｍ未満では、離形性能が低下し満
足すべき性能が得られないし、逆に０．５μｍを超える
とキュアリングに時間がかかり生産上不都合を生じるた
め好ましくない。
限定されないが、０．０５〜０．５μｍの範囲が好まし
い。厚みが０．０５μｍ未満では、離形性能が低下し満
足すべき性能が得られないし、逆に０．５μｍを超える
とキュアリングに時間がかかり生産上不都合を生じるた
め好ましくない。
【００３８】本発明における離形層には本発明の目的を
妨げない範囲で公知の各種添加剤を配合することができ
る。かかる添加剤としては、例えば紫外線吸収剤、顔
料、消泡剤等を挙げることができる。
妨げない範囲で公知の各種添加剤を配合することができ
る。かかる添加剤としては、例えば紫外線吸収剤、顔
料、消泡剤等を挙げることができる。
【００３９】
【実施例】以下、本発明を実施例により詳述する。ま
た、本発明における物性値及び特性値は、下記の方法に
て測定した。
た、本発明における物性値及び特性値は、下記の方法に
て測定した。
【００４０】（１）離形層表面の金属元素の分析 離形フィルムの離形層表面にポリエステル粘着テープ
（日東紡績（株）製 ニットー３１Ｂ）を貼付し、圧着
ローラにて５ｋｇ／ｃｍ2の圧力で圧着し、７０℃で２
０時間放置した後、粘着テープを離形フィルムから剥離
し、この粘着テープの剥離表面の金属元素をＥＳＣＡ装
置にて励起源をＭｇΚα（１２５４ｅＶ）として分析す
ることにより、離形フィルムから粘着テープに移行した
金属元素を求めた。なお、ＥＳＣＡによる金属元素の測
定で、金属元素のピークが５００ｃｏｕｎｔ以上となる
ものを金属元素が検出されたものとした。
（日東紡績（株）製 ニットー３１Ｂ）を貼付し、圧着
ローラにて５ｋｇ／ｃｍ2の圧力で圧着し、７０℃で２
０時間放置した後、粘着テープを離形フィルムから剥離
し、この粘着テープの剥離表面の金属元素をＥＳＣＡ装
置にて励起源をＭｇΚα（１２５４ｅＶ）として分析す
ることにより、離形フィルムから粘着テープに移行した
金属元素を求めた。なお、ＥＳＣＡによる金属元素の測
定で、金属元素のピークが５００ｃｏｕｎｔ以上となる
ものを金属元素が検出されたものとした。
【００４１】（２）オリゴマーの測定 離形フィルムをオーブン内で１８０℃にて５分間加熱し
た後、取り出し冷却後、該離形フィルムの離形層面をＡ
ｕでスパッタし、このスパッタ表面を走査型電子顕微鏡
にて２０００倍の倍率で１０μｍ平方の面積の表面を１
０箇所観察し、いずれの観察箇所にもオリゴマーの結晶
（６角柱状結晶）が認められないのを離形フィルムの離
形層表面にオリゴマーが存在しないものとした。
た後、取り出し冷却後、該離形フィルムの離形層面をＡ
ｕでスパッタし、このスパッタ表面を走査型電子顕微鏡
にて２０００倍の倍率で１０μｍ平方の面積の表面を１
０箇所観察し、いずれの観察箇所にもオリゴマーの結晶
（６角柱状結晶）が認められないのを離形フィルムの離
形層表面にオリゴマーが存在しないものとした。
【００４２】（３）残留接着率 ポリエステル粘着テープ（ニットー３１Ｂ）をＪＩＳ
Ｇ４３０５に規定する冷間圧延ステンレス板（ＳＵＳ３
０４）に貼り付けた後の剥離力を測定し、基礎接着力
（ｆ0）とした。また、前記ポリエステル粘着テープを
サンプルフィルムの離形層塗設面に張り合わせ、５ｋｇ
の圧着ローラーで圧着し３０秒間放置した後粘着テープ
を剥がした。そして、この剥がした粘着テープを上記の
ステンレス板に貼り、該貼合部の剥離力を測定し残留接
着力（ｆ）とした。得られた基礎接着力（ｆ0）と残留
接着力（ｆ）とから下記式を用いて残留接着率を求め
た。
Ｇ４３０５に規定する冷間圧延ステンレス板（ＳＵＳ３
０４）に貼り付けた後の剥離力を測定し、基礎接着力
（ｆ0）とした。また、前記ポリエステル粘着テープを
サンプルフィルムの離形層塗設面に張り合わせ、５ｋｇ
の圧着ローラーで圧着し３０秒間放置した後粘着テープ
を剥がした。そして、この剥がした粘着テープを上記の
ステンレス板に貼り、該貼合部の剥離力を測定し残留接
着力（ｆ）とした。得られた基礎接着力（ｆ0）と残留
接着力（ｆ）とから下記式を用いて残留接着率を求め
た。
【００４３】
【数１】残留接着率（％）＝（ｆ／ｆ0）×１００
【００４４】（４）剥離強度 離形フィルムの離形層面にポリエステル粘着テープ（ニ
ットー３１Ｂ）を貼り合わせ、５ｋｇの圧着ローラーで
圧着し２０時間放置後、離形層と粘着テープとの剥離力
（Ｒf0）を引張り試験機にて測定した。
ットー３１Ｂ）を貼り合わせ、５ｋｇの圧着ローラーで
圧着し２０時間放置後、離形層と粘着テープとの剥離力
（Ｒf0）を引張り試験機にて測定した。
【００４５】［実施例１］触媒としてアンチモン化合物
及びマンガン化合物を使用して重合した固有粘度が０．
６２のポリエチレン−２，６−ナフタレートを押出機に
て溶融し、フィルム状の溶融ポリマーをダイスから、約
４０℃に維持してある回転ドラム上に押出し、静電密着
法を用いて該フィルム状の溶融ポリマーを冷却ドラムに
密着させながら急冷して未延伸フィルムを得た。次い
で、該未延伸フィルムを縦方向に３．７倍延伸し、引き
続き横方向に３．８倍延伸し、さらに２４０℃にて熱固
定を行なって厚さ５０μｍの二軸配向フィルムを得た。
このフィルム上にＳｉ（ＯＣ2Ｈ5）4のイソプロピルア
ルコール溶液（（株）コルコート社製コルコートＰ）を
グラビアコート法により塗工し、１４０℃、３０秒で乾
燥硬化させ、０．５μｍの膜厚のアンカーコートを得
た。
及びマンガン化合物を使用して重合した固有粘度が０．
６２のポリエチレン−２，６−ナフタレートを押出機に
て溶融し、フィルム状の溶融ポリマーをダイスから、約
４０℃に維持してある回転ドラム上に押出し、静電密着
法を用いて該フィルム状の溶融ポリマーを冷却ドラムに
密着させながら急冷して未延伸フィルムを得た。次い
で、該未延伸フィルムを縦方向に３．７倍延伸し、引き
続き横方向に３．８倍延伸し、さらに２４０℃にて熱固
定を行なって厚さ５０μｍの二軸配向フィルムを得た。
このフィルム上にＳｉ（ＯＣ2Ｈ5）4のイソプロピルア
ルコール溶液（（株）コルコート社製コルコートＰ）を
グラビアコート法により塗工し、１４０℃、３０秒で乾
燥硬化させ、０．５μｍの膜厚のアンカーコートを得
た。
【００４６】次に、この二軸延伸フィルムのアンカーコ
ート層塗設面に、下記組成のシリコーン樹脂塗液を塗布
量８ｇ／ｍ2（ｗｅｔ）で塗布し、１３０℃、３０秒の
条件で乾燥硬化処理して離形層の厚み０．２４μｍの離
形フィルムを得た。この離形フィルムの性能を表１に示
す。
ート層塗設面に、下記組成のシリコーン樹脂塗液を塗布
量８ｇ／ｍ2（ｗｅｔ）で塗布し、１３０℃、３０秒の
条件で乾燥硬化処理して離形層の厚み０．２４μｍの離
形フィルムを得た。この離形フィルムの性能を表１に示
す。
【００４７】 ＜シリコーン樹脂塗液の組成＞ 硬化シリコーン樹脂（ＫＳ８４７Ｈ；信越化学工業（株）製） １００重量部 触媒（ＣＡＴ ＰＬ−５０Ｔ；信越化学工業（株）製） ２重量部 希釈溶剤：メチルエチルケトン/キシレン/メチルイソフ゛チルケトン混合溶剤 ８９８重量部
【００４８】［比較例１］実施例１でポリエチレン−
２，６−ナフタレートの代わりに、ジメチルテレフタレ
ートとエチレングリコールとを、触媒としてアンチモン
化合物及びマンガン化合物を使用して重合したポリエチ
レンテレフタレート（２５℃のｏ−クロロフェノール中
で測定した固有粘度：０．６５）を用いる以外は実施例
１と同じ方法で離形フィルムを得た。この離形フィルム
の性能を表１に示す。
２，６−ナフタレートの代わりに、ジメチルテレフタレ
ートとエチレングリコールとを、触媒としてアンチモン
化合物及びマンガン化合物を使用して重合したポリエチ
レンテレフタレート（２５℃のｏ−クロロフェノール中
で測定した固有粘度：０．６５）を用いる以外は実施例
１と同じ方法で離形フィルムを得た。この離形フィルム
の性能を表１に示す。
【００４９】［比較例２］ポリエチレン−２，６−ナフ
タレートフィルムの表面にアンカーコート層を塗設する
代わりに、表面のぬれ指数が５０ｄｙｎ／ｃｍとなるよ
うにコロナ処理を施し、該コロナ処理面にシリコーン樹
脂塗液を塗布する以外は実施例１と同じ方法で離形フィ
ルムを得た。この離形フィルムの性能を表１に示す。
タレートフィルムの表面にアンカーコート層を塗設する
代わりに、表面のぬれ指数が５０ｄｙｎ／ｃｍとなるよ
うにコロナ処理を施し、該コロナ処理面にシリコーン樹
脂塗液を塗布する以外は実施例１と同じ方法で離形フィ
ルムを得た。この離形フィルムの性能を表１に示す。
【００５０】［比較例３］実施例１における触媒を０．
５重量部にする以外は実施例１と同じ方法で離形フィル
ムを得た。この離形フィルムの性能を表１に示す。
５重量部にする以外は実施例１と同じ方法で離形フィル
ムを得た。この離形フィルムの性能を表１に示す。
【００５１】
【表１】
【００５２】
【発明の効果】本発明によれば、離形層中の不純物が少
なくかつフィルム中の不純物が離形層表面へ移行するの
が抑制された離形フィルムを提供できる。この離形フィ
ルムは、シリコーンウエハー製造の際のバックグライン
ド及びダイシング工程で使用する粘着剤の保護フィルム
に極めて有用である。
なくかつフィルム中の不純物が離形層表面へ移行するの
が抑制された離形フィルムを提供できる。この離形フィ
ルムは、シリコーンウエハー製造の際のバックグライン
ド及びダイシング工程で使用する粘着剤の保護フィルム
に極めて有用である。
Claims (2)
- 【請求項１】 ポリエチレン−２，６−ナフタレートフ
ィルムの少なくとも片面にＳｉ（ＯＣ2Ｈ5）4の硬化物
を０．０２〜２μｍの厚さで塗工しさらにその上に残留
接着率が９５％以上のシリコーン離形層を設けてなる離
形フィルム。 - 【請求項２】 シリコーンウエハー製造用途粘着剤の保
護フィルムに用いる請求項１記載の離形フィルム。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26289896A JPH10100355A (ja) | 1996-10-03 | 1996-10-03 | 離形フィルム |
| EP19970942218 EP0882576B1 (en) | 1996-10-03 | 1997-10-01 | Release film |
| DE1997628653 DE69728653T2 (de) | 1996-10-03 | 1997-10-01 | Trennfolie |
| PCT/JP1997/003504 WO1998014328A1 (en) | 1996-10-03 | 1997-10-01 | Release film |
| US09/091,034 US6057041A (en) | 1996-10-03 | 1997-10-01 | Polyester releasing film containing a silicone resin layer |
| KR10-1998-0704067A KR100402999B1 (ko) | 1996-10-03 | 1997-10-01 | 이형필름 |
| TW086114388A TW349907B (en) | 1996-10-03 | 1997-10-02 | Stripping thin film |
| US09/499,388 US6333117B1 (en) | 1996-10-03 | 2000-02-07 | Releasing film comprising a polyester film and a cured silicone resin layer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26289896A JPH10100355A (ja) | 1996-10-03 | 1996-10-03 | 離形フィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10100355A true JPH10100355A (ja) | 1998-04-21 |
Family
ID=17382155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26289896A Pending JPH10100355A (ja) | 1996-10-03 | 1996-10-03 | 離形フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10100355A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000141570A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-05-23 | Mitsubishi Polyester Film Copp | 離型用積層ポリエステルフィルム |
| JP2001154595A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-06-08 | Teijin Ltd | プラズマディスプレイ前面板用積層体 |
| KR100477858B1 (ko) * | 1998-09-10 | 2005-07-11 | 도레이새한 주식회사 | 폴리에스테르 이형필름의 제조방법 |
| JP2009196178A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Mitsubishi Plastics Inc | 離型フィルム |
| JP2012166376A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Mitsubishi Plastics Inc | 離型フィルム |
-
1996
- 1996-10-03 JP JP26289896A patent/JPH10100355A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100477858B1 (ko) * | 1998-09-10 | 2005-07-11 | 도레이새한 주식회사 | 폴리에스테르 이형필름의 제조방법 |
| JP2000141570A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-05-23 | Mitsubishi Polyester Film Copp | 離型用積層ポリエステルフィルム |
| JP2001154595A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-06-08 | Teijin Ltd | プラズマディスプレイ前面板用積層体 |
| JP2009196178A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Mitsubishi Plastics Inc | 離型フィルム |
| JP2012166376A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Mitsubishi Plastics Inc | 離型フィルム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6333117B1 (en) | Releasing film comprising a polyester film and a cured silicone resin layer | |
| JP7795707B2 (ja) | 積層フィルムおよび積層フィルムの製造方法 | |
| CN103229080B (zh) | 脱模膜 | |
| JP2000141568A (ja) | 離型フィルム | |
| JP2012159548A (ja) | 偏光板用離型ポリエステルフィルム | |
| JP2001246698A (ja) | 離型フィルム | |
| JP3095978B2 (ja) | 離型フイルム | |
| WO2004085562A1 (ja) | 光学部材表面保護フィルム用離型フィルム | |
| JP6164791B2 (ja) | 基材レス両面粘着シート用ポリエステルフィルム | |
| JPH10100355A (ja) | 離形フィルム | |
| JP2022082601A (ja) | セラミックグリーンシート製造用離型フィルム | |
| JPH10138431A (ja) | 離形フィルム | |
| JP2006051681A (ja) | 離型フィルム | |
| JP6390149B2 (ja) | ポリエステルフィルム | |
| JPH10214801A (ja) | ダイシングテープ | |
| JP2001047580A (ja) | 離型フィルム | |
| JP2004306344A (ja) | 離型フィルム | |
| JP2009214347A (ja) | 離型フィルム | |
| JP3962161B2 (ja) | セラミックコンデンサー製造用キャリヤーシート | |
| JP3205283B2 (ja) | 低汚染性離型フィルム | |
| JP3895052B2 (ja) | 離形フィルム | |
| JPH1016163A (ja) | 離形フイルム | |
| JPH1191039A (ja) | 医療用離形フィルム | |
| JPH09174763A (ja) | 離型フイルム | |
| JPH10278203A (ja) | 離型フィルム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040921 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041207 |