JPH1010084A

JPH1010084A - ガス濃度センサ

Info

Publication number: JPH1010084A
Application number: JP8184134A
Authority: JP
Inventors: Masanori Yasuda; 真範安田; Shinji Houchiyou; 伸次庖丁; Yoriaki Ando; 順明安藤; Norihiko Takagi; 範彦高木
Original assignee: Nippon Soken Inc; Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp; Soken Inc
Priority date: 1996-06-24
Filing date: 1996-06-24
Publication date: 1998-01-16

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ガス濃度検出部への汚れの付着によるセンサ
の劣化を防止し、ガス濃度検出部表面を通過する被測定
ガスの流量を十分多くして、応答性と耐久性とを高いレ
ベルで両立させる。【解決手段】内燃機関の排気管壁に固定されるハウジ
ング１内に、ガス濃度検出部２１を有する先端部が排気
管内に突出するセンサ素子２を挿通保持し、センサ素子
２の先端部の周囲を保護カバー３で覆う。保護カバー３
を内側カバー３２と外側カバー３１の二重構造として、
これら内側カバー３２および外側カバー３１の、センサ
素子２のガス濃度検出部２１上方の周壁に、被測定ガス
の流れに向くガス流通孔３１ａ、３２ａを対向して設け
る一方、下方の周壁には、内側カバーのガス流通孔３２
ｂ、３２ｃが、外側カバーのガス流通孔３１ｅ〜３１ｈ
間に位置するように設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は被測定ガス中の特定
ガス成分濃度を検出するガス濃度センサ、例えば内燃機
関の排気ガス中に含まれる酸素濃度より空燃比を検出す
る空燃比センサ等に利用されるガス濃度センサに関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のガス濃度センサの一例を図１０
に示す。図１０（ａ）はガス濃度センサの主要部を示す
もので、ガス濃度センサは、内燃機関の排気管（図略）
壁に固定されるハウジング１と、該ハウジング１内に挿
通保持されるセンサ素子２を備えている。上記センサ素
子２は、ガス濃度検出部２１を有する先端部が上記ハウ
ジング１より突出して上記排気管内に位置しており、上
記先端部の周囲にはこれを覆うように保護カバー３が配
設してある。

【０００３】上記保護カバー３は、容器状で、通常、断
熱効果を高めてセンサ素子２を高温に保持するために、
図のように外側カバー３１と内側カバー３２の二重構造
となっている。これら外側カバー３１と内側カバー３２
には、センサ素子２のガス濃度検出部２１の上方位置お
よび下方位置において、周壁の４か所にガス流通孔３１
１、３２１がそれぞれ設けてあり（図１０（ａ）、
（ｂ））、ガス流通孔３１１とガス流通孔３２１は同一
平面内に、かつ互い違いとなるように配置されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のガス濃度セ
ンサは、センサ素子２のガス濃度検出部２１に直接、排
気ガスが当たらないように、ガス流通孔３１１、３２１
がガス濃度検出部２１の対向位置を避けて形成されてお
り、排気ガスに含まれるスス等の汚れがガス濃度検出部
２１に付着してセンサが劣化し耐久性が低下することを
防止している。ところが、この構成において、ガス流通
孔３１１、３２１を経て内側カバー３１内に導入される
排気ガスの流れは、図１１（ａ）、（ｂ）に矢印で示す
ように、センサ素子２外周に沿って上流側より下流側
へ、あるいは下流側より上流側へ（図１２（ａ）、
（ｂ））、同一平面上を流れる。すなわち、排気ガス
は、主にガス濃度検出部２１の上方または下方を流れ、
これらの間に位置するガス濃度検出部２１表面を通過す
る流れは少ない。一方、センサの応答性は一般に流量に
比例するため、上記構成では、ガス濃度検出部２１表面
を通過する十分な流量が得られず、応答性が低下するお
それがあった。

【０００５】しかして、本発明の目的は、ガス濃度検出
部２１への汚れの付着によるセンサの劣化を防止でき、
しかもガス濃度検出部２１表面を通過する被測定ガスの
流量を十分多くして、応答性と耐久性とを高いレベルで
両立させることのできるガス濃度センサを提供すること
にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明請求項１の構成におけるガス濃度センサは、
被測定ガスが流通する流路壁に固定されるハウジング
と、該ハウジング内に挿通保持され、ガス濃度検出部を
有する先端部が上記流路内に突出するセンサ素子を備
え、該センサ素子の上記先端部の周囲を保護カバーで覆
うとともに、上記保護カバーにガス流通孔を設けてその
内部に被測定ガスを流通可能となしている。上記保護カ
バーは、内側カバーと外側カバーの二重構造となしてあ
り、これら内側カバーおよび外側カバーには、上記セン
サ素子の上記ガス濃度検出部より先端部側または基端部
側のいずれか一方の周壁に、被測定ガスの流れに向く少
なくとも１つのガス流通孔を対向して形成し、他方の周
壁に、それぞれ複数のガス流通孔を、上記内側カバーの
ガス流通孔が上記外側カバーのガス流通孔の間に位置す
るように設けている。

【０００７】上記構成において、被測定ガスは、内側カ
バーおよび外側カバーに対向配設した、被測定ガスの流
れに向くガス流通孔を通過してその内部に導入される。
センサ素子周囲の空間に到達した被測定ガスは、センサ
素子のガス濃度検出部表面を通過して、上記被測定ガス
の流れに向くガス流通孔と反対側に達するが、ここで
は、内側カバーと外側カバーの間の空間に、外側カバー
に設けた複数のガス流通孔間を流れる被測定ガスの流れ
が形成されている。このため、このガス流れの途中に位
置する内側カバーのガス流通孔表面で負圧が発生し、内
側カバー内のガスが吸い出されやすくなる。

【０００８】このように、ガス濃度検出部表面を挟んで
一方の側では、被測定ガスの流れが入りやすく、他方の
側では、流れが出やすくなるように、ガス流通孔を形成
することで、内側カバー内には、ガス濃度検出部を通過
する一定方向の流れが生じる。よって、上記ガス濃度検
出部に十分な量の被測定ガスを導入することができるの
で、応答性が向上する。また、ガス流通孔は上記ガス濃
度検出部に対向しない位置に形成されているので、ガス
濃度検出部に被測定ガス中の汚れが付着することが防止
でき、応答性と耐久性とを高いレベルで両立させること
が可能となる。

【０００９】あるいは、上記保護カバーの、上記センサ
素子の上記ガス濃度検出部より先端部側または基端部側
のいずれか一方の周壁に、被測定ガスの流れに向く少な
くとも１つのガス流通孔を形成し、他方の周壁において
上記保護カバーを内側カバーと外側カバーの二重構造と
なして、これら内側カバーおよび外側カバーに、それぞ
れ複数のガス流通孔を、上記内側カバーのガス流通孔が
上記外側カバーのガス流通孔の間に位置するように設け
ることもできる（請求項２）。

【００１０】このように、被測定ガスの流れに向くガス
流通孔の形成位置においては、上記保護カバーを一重構
造とすることもでき、この場合も同様の効果が得られ
る。

【００１１】上記請求項２の構成における保護カバー
の、上記センサ素子の上記ガス濃度検出部に対向する部
分を内側カバーと外側カバーの二重構造とすることもで
きる（請求項３）。このように、センサ素子のガス濃度
検出部の周囲を二重に保護することで、上記保護カバー
による断熱効果を高めることができ、センサ感度の向上
に効果がある。

【００１２】上記内側カバーの上記複数のガス流通孔お
よび上記外側カバーの上記複数のガス流通孔は、同一平
面上に設けることが好ましく（請求項４）、各ガス流通
孔間をガスが流れやすく、また、上記内側カバーからの
ガスの吸い出しがより良好になされる。

【００１３】上記外側カバーの上記複数のガス流通孔
は、具体的には、上記外側カバーと上記内側カバーの間
の空間内に、被測定ガスの流れに対し上流側の上記ガス
流通孔より下流側の上記ガス流通孔へ向かう被測定ガス
の流れを形成するように配置される。この時、上記内側
カバーの上記複数のガス流通孔は、そのそれぞれが、こ
の被測定ガスの流れの途中に配置されるようにする（請
求項５）。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の一実
施の形態について説明する。図１（ａ）において、ガス
濃度センサのハウジング１は、中央部にセンサ素子２が
挿通保持される貫通穴１１を有し、外周のフランジ部に
設けた複数の取り付け穴１２にて、例えば内燃機関の排
気管壁に固定される。図２は、内燃機関の排気管Ｐ壁に
図１のガス濃度センサを取り付けた状態を示し、上記取
り付け穴１２にボルト１３を挿通することにより、排気
管Ｐ壁に溶接固定した取り付け部材Ｐ１に固定してい
る。

【００１５】上記センサ素子２は、基端部（図の上端
部）がハウジング１の上記貫通穴１１内に保持固定さ
れ、先端部（図の下端部）は上記ハウジング１より突出
して図の下方に延び、被測定ガスである排気ガスの流通
する排気管Ｐ内に位置している。上記センサ素子２は、
図３に示すように、円管状に成形した安定化ジルコニア
等の酸素イオン導電性固体電解質２２の内周面および外
周面に、それぞれ白金等の電極２３、２４を配設してな
り、外周側の電極２４の表面には多孔質層よりなる拡散
抵抗層２４１が形成されている。

【００１６】上記センサ素子２の外表面は一部を除いて
コーティング層２５で被覆されており、このコーティン
グ層２５を形成しない先端よりの一部が、被測定ガス中
の特定ガス成分濃度を検出する、ガス濃度検出部２１と
して機能する。上記ガス濃度検出部２１において、内周
側電極２３と外側電極２４との間には所定の電圧が印加
されており、この電圧印加により排気ガス中の酸素が拡
散抵抗層２４１、および固体電解質２２を通って固体電
解質中の中空部２６内に至る。この時酸素の移動により
電極２３、２４間に限界電流が流れるため、この限界電
流値から排気ガス中の酸素濃度を検出することができ
る。

【００１７】上記ハウジング１の下面には、ステンレス
等よりなる保護カバー３が固定されて（図１）、上記ガ
ス濃度検出素子２の先端部の周囲を保護している。上記
保護カバー３は二重構造で、上端が開口し下端が閉塞す
る円筒体状の外部カバー３１と内部カバー３２を同心状
に配して、その底部対向面間を溶接固定してなる。上記
外部カバー３１の上端縁は、上記ハウジング１内に埋設
固定され、上記内部カバー３２は、その上端縁を外方に
屈曲して外部カバー３１内周壁に当接保持せしめてい
る。

【００１８】上記センサ素子２のガス濃度検出部２１よ
り基端部側、すなわち図の上方位置において、上記外部
カバー３１には、周壁の４ヵ所に等間隔でガス流通孔３
１ａ〜３１ｄが形成してある（図１（ｂ））。このうち
の１つであるガス流通孔３１ａは、排気ガスの流れ（図
１（ａ）中に矢印で示す）に面しており、上記内部カバ
ー３２には、このガス流通孔３１ａに対向する位置にガ
ス流通孔３２ａが形成してある。

【００１９】一方、上記センサ素子２のガス濃度検出部
２１より先端部側、すなわち図の下方位置において、上
記外部カバー３１には、周壁の４ヵ所に等間隔でガス流
通孔３１ｅ〜３１ｈが形成してある（図１（ｃ））。こ
の時、これらガス流通孔３１ｅ〜３１ｈは、上記ガス流
通孔３１ａ〜３１ｄに対し、４５°回転した位置にあ
る。上記内部カバー３２には、周壁の２ヵ所に等間隔で
ガス流通孔３２ｂ、３２ｃが形成してあり、ガス流通孔
３２ｂは、上記外部カバー３１のガス流通孔３１ｅとガ
ス流通孔３１ｆの間に、ガス流通孔３２ｃは、上記外部
カバー３１のガス流通孔３１ｇとガス流通孔３１ｈの間
になるように設けてある。

【００２０】次に、上記構成のガス濃度センサの作動を
説明する。本発明のガス濃度センサを、上記図２のよう
に、上記保護カバー３の基端部側に設けた上記ガス流通
孔３１ａ、３２ａが排気ガスの流れに向くように排気管
Ｐ壁に固定すると、排気ガスは上記ガス流通孔３１ａよ
り外部カバー３１内に流入し、さらに排気ガスの動圧を
受けてその大部分が対向する上記ガス流通孔３２ａより
内部カバー３２内に導入される。余剰の排気ガスは外部
カバー３１のガス流通孔３１ｂ〜３１ｄより排気管Ｐ内
に排出される。

【００２１】上記保護カバー３の先端部側においては、
図４に示すように、排気ガスは、上流側に位置する上記
ガス流通孔３１ｅ、３１ｈから上記外部カバー３１内に
流入し、上記ガス流通孔３１ｅから入った排気ガスはそ
の下流のガス流通孔３１ｆへ向けて主に流れ、図の矢印
のように、内部カバー３２の外表面に沿う流れが生じ
る。このため、この流れの途中に位置する内部カバー３
２の上記ガス流通孔３２ｂでは負圧が発生し、内部カバ
ー３２内の排気ガスが上記ガス流通孔３２ｂから吸い出
されて（図中、矢印）、ガス流通孔３１ｆへ向かう流れ
に合流する。同様に、上記ガス流通孔３１ｈから入った
排気ガスはその下流のガス流通孔３１ｇへ向けて主に流
れ、この流れの途中に位置する内部カバー３２のガス流
通孔３２ｃで発生する負圧によって、内部カバー３２内
の排気ガスが上記ガス流通孔３２ｃから吸い出される。

【００２２】かくして、上記センサ素子２と内部カバー
３２との間の空間には、図５に示すように、上方の上記
ガス流通孔３２ａより下方の上記ガス流通孔３２ｂ、３
２ｃへ向かう排気ガスの流れが生じる。よって、排気ガ
スの流れは、これらの間に位置するセンサ素子２のガス
濃度検出部２１の表面を必ず通過し、ガス濃度検出部２
１の表面において排気ガスは上から下へ、常に一方向へ
流れることになる。その結果、ガス濃度検出部２１に
は、十分な量の排気ガスが導入され、しかも絶えず新し
い排気ガスと入れ変わるので、センサの応答性を大きく
向上させる。

【００２３】さらに、外部カバー３１、内部カバー３２
のガス流通孔３１ａ〜３１ｈ、３２ａ〜３２ｃを、セン
サ素子２のガス濃度検出部２１と対向しない位置に設け
たので、ガス検出部２１に、直接、排気ガスが接触する
ことはほとんどない。従って、保護カバー３表面に到達
するガス中のスス等により、センサ素子が汚れて、性能
が悪化することがなく、耐久性を大幅に向上させる。

【００２４】また、本実施の形態では、導出側のガス流
通孔３１ｅ〜３１ｈ、３２ｂ〜３２ｃを先端部側、つま
り排気ガスの流量の多い排気管Ｐの中央部近傍に位置す
るようにしたので、ガス流通孔３１ｅ〜３１ｈ間を流れ
る排気ガス流速が速くなる。これに伴い、ガス流通孔３
２ｂ〜３２ｃからのガスの吸い出しが速くなり、ガス濃
度検出部２１表面を通過するガス流量が増加して、応答
性をより高めることができる。

【００２５】なお、図６に本発明の第２の実施の形態と
して示すように、導出側のガス流通孔３１ｅ〜３１ｈ、
３２ｂ〜３２ｃを図の上方位置、すなわち基端部側に、
導入側のガス流通孔３１ａ、３２ａを図の下方位置、す
なわち先端部側に形成することももちろんできる。この
場合も、上記ガス検出部２１表面を通過する被測定ガス
の流れを形成して応答性を向上させる同様の効果が得ら
れる。

【００２６】上記各実施の形態では、外部カバー３１の
ガス流通孔を周壁の４か所に、内部カバー３２のガス流
通孔を周壁の２か所に設けたが、ガス流通孔の数はこれ
に限定されるものではなく、複数以上であればよい。例
えばガス流通孔を外部カバー３１の周壁の２か所に設
け、その１つを排気ガスの流れに向く位置に、もう１つ
をこれと軸対称の位置にそれぞれ設ければ、本実施の形
態同様、上流より下流に向かう２つの流れが外部カバー
３１内に形成され、内部カバー３２のガス流通孔をこれ
らの流れの途中に設けることで、同様の効果が得られ
る。また、ガス流通孔の配置も、特に限定されるもので
はなく、外部カバー３１のガス流通孔が、外部カバー３
１と内部カバー３２の間に被測定ガスの流れが形成され
るように、内部カバー３２のガス流通孔が、この被測定
ガスの流れの途中に位置するように、配置されていれば
よい。

【００２７】上記各実施の形態では、上記保護カバー全
体を内外二重構造としたが、図７に示す本発明の第３の
実施の形態の如く、導入側のガス流通孔の形成位置で
は、必ずしも二重に構成する必要はない。図において、
上記保護カバー３は、両端開口の円筒状外部カバー３１
内に、上端が開口し下端が閉塞する円筒体状の内部カバ
ー３２を嵌着固定してなり、センサ素子２のガス濃度検
出部２１より下方では、内部カバー３２のみの一重構造
となしてある。外部カバー３１の下端開口より突出する
内部カバー３２の先端部には、排気ガスの流れ方向に向
く上記ガス流通孔３２ａが形成され（図７（ｂ））、ガ
ス濃度検出部２１より上方の外部カバー３１、内部カバ
ー３２の周壁には、ガス流通孔３１ｅ〜３１ｈ、３２ｂ
〜３２ｃが上記各実施の形態と同様の配置で形成されて
いる（図７（ｃ））。

【００２８】上記構成によっても、排気ガスは、保護カ
バー３下方の上記ガス流通孔３２ａより、内部カバー３
２内に導入され、上方のガス流通孔３２ｂ、３２ｃに生
じる負圧によって吸い出される。よって、センサ素子２
のガス検出部２１を通過するガス流量が増してセンサの
応答性を向上させる。また、保護カバー３を、ガス濃度
検出部２１の対向位置において、内外二重に構成して断
熱効果を高めているので、センサ素子を高温に保持して
検出感度を向上させる。

【００２９】図８には本発明の第３の実施の形態を示
す。上記各実施の形態では、円管状のセンサ素子２を用
いたガス濃度センサについて説明したが、図のように積
層型のセンサ素子２を用いたガス濃度センサに本発明を
適用することもできる。図９（ａ）は、積層型のセンサ
素子２の詳細を示すもので、平板状の酸素導電性固体電
解質２２は両面に電極２３、２４を有し、図の左側電極
２３の表面に多孔質層よりなる拡散抵抗層２４１を積層
形成している。右側の電極２４には中空部２６を形成す
るサポート部材２７を介してヒータ層２８が積層され
る。ヒータ層２８は、図９（ｂ）の如く、電熱線２８１
を内蔵し、センサ素子２が検出可能な高温に速やかに加
熱する機能を有する。

【００３０】上記センサ素子２の左側電極２３は、ガス
濃度検出部２１（図８参照）となる一部を除いてコーテ
ィング層で被覆される（図９では図示を略す）。このガ
ス濃度検出部２１において、センサ素子２は、前述の第
１の実施の形態で述べたように排気ガス中の酸素濃度
を、電極２３、２４間の限界電流値で検出する。

【００３１】本実施の形態においても、保護カバー３周
壁の上下２か所に設けたガス流通孔により、センサ素子
２のガス濃度検出部２１に十分な量の排気ガスを導入し
て応答性を向上させる同様の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態を示し、（ａ）はガ
ス濃度センサの概略構成断面図、（ｂ）は（ａ）のＩｂ
−Ｉｂ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＩｃ−Ｉｃ線断面図
である。

【図２】本発明のガス濃度センサを内燃機関の排気管壁
に取り付けた状態を示す図である。

【図３】センサ素子の部分拡大断面図である。

【図４】本発明のガス濃度センサの作動を示す図で、ガ
ス濃度センサの横断面図である。

【図５】本発明のガス濃度センサの作動を示す図で、ガ
ス濃度センサの縦断面図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態を示し、（ａ）はガ
ス濃度センサの概略構成断面図、（ｂ）は（ａ）のＶＩ
ｂ−ＶＩｂ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＶＩｃ−ＶＩｃ
線断面図である。

【図７】本発明の第３の実施の形態を示し、（ａ）はガ
ス濃度センサの概略構成断面図、（ｂ）は（ａ）のＶＩ
Ｉｂ−ＶＩＩｂ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＶＩＩｃ−
ＶＩＩｃ線断面図である。

【図８】本発明の第４の実施の形態を示し、（ａ）はガ
ス濃度センサの概略構成断面図、（ｂ）は（ａ）のＶＩ
ＩＩｂ−ＶＩＩＩｂ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＶＩＩ
Ｉｃ−ＶＩＩＩｃ線断面図である。

【図９】（ａ）はセンサ素子の概略構成断面図、（ｂ）
は（ａ）のＩＸｂ−ＩＸｂ線断面図である。

【図１０】（ａ）は従来のガス濃度センサの概略構成断
面図、（ｂ）は（ａ）のＸｂ−Ｘｂ線断面図である。

【図１１】（ａ）は従来のガス濃度センサ内のガス流れ
の状態を示す図で、ガス濃度センサの部分概略断面図、
（ｂ）は（ａ）のＸＩｂ−ＸＩｂ線断面図である。

【図１２】（ａ）は従来のガス濃度センサ内のガス流れ
の状態を示す図で、ガス濃度センサの部分概略断面図、
（ｂ）は（ａ）のＸＩＩｂ−ＸＩＩｂ線断面図である。

【符号の説明】

１ハウジング１１貫通穴１２取り付け穴２センサ素子２１ガス濃度検出部２２固体電解質２３、２４電極２４１拡散抵抗層２５コーティング層２６中空部３保護カバー３１外部カバー３１ａ〜３１ｈガス流通孔３２内部カバー３１ａ〜３１ｃガス流通孔

フロントページの続き (72)発明者安藤順明愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地株式会社日本自動車部品総合研究所内 (72)発明者高木範彦愛知県豊田市トヨタ町１番地トヨタ自動車株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定ガスが流通する流路壁に固定され
るハウジングと、該ハウジング内に挿通保持され、ガス
濃度検出部を有する先端部が上記流路内に突出するセン
サ素子を備え、該センサ素子の上記先端部の周囲を保護
カバーで覆うとともに、上記保護カバーにガス流通孔を
設けてその内部に被測定ガスを導入可能となしたガス濃
度センサであって、上記保護カバーを内側カバーと外側
カバーの二重構造となし、これら内側カバーおよび外側
カバーには、上記センサ素子の上記ガス濃度検出部より
先端部側または基端部側のいずれか一方の周壁に、被測
定ガスの流れに向く少なくとも１つのガス流通孔を対向
して形成し、他方の周壁に、それぞれ複数のガス流通孔
を、上記内側カバーのガス流通孔が上記外側カバーのガ
ス流通孔の間に位置するように設けたことを特徴とする
ガス濃度センサ。
【請求項２】被測定ガスが流通する流路壁に固定され
るハウジングと、該ハウジング内に挿通保持され、ガス
濃度検出部を有する先端部が上記流路内に突出するセン
サ素子を備え、該センサ素子の上記先端部の周囲を保護
カバーで覆うとともに、上記保護カバーにガス流通孔を
設けてその内部に被測定ガスを導入可能となしたガス濃
度センサであって、上記保護カバーの、上記センサ素子
の上記ガス濃度検出部より先端部側または基端部側のい
ずれか一方の周壁に、被測定ガスの流れに向く少なくと
も１つのガス流通孔を形成し、他方の周壁において上記
保護カバーを内側カバーと外側カバーの二重構造となし
て、これら内側カバーおよび外側カバーに、それぞれ複
数のガス流通孔を、上記内側カバーのガス流通孔が上記
外側カバーのガス流通孔の間に位置するように設けたこ
とを特徴とするガス濃度センサ。
【請求項３】上記保護カバーの、上記センサ素子の上
記ガス濃度検出部に対向する部分を内側カバーと外側カ
バーの二重構造となした請求項２記載のガス濃度セン
サ。
【請求項４】上記内側カバーの上記複数のガス流通孔
および上記外側カバーの上記複数のガス流通孔が同一平
面上にある請求項１ないし３記載のガス濃度センサ。
【請求項５】上記外側カバーの上記複数のガス流通孔
が、上記外側カバーと上記内側カバーの間の空間内に、
上記流路の上流側に位置する上記ガス流通孔より下流側
に位置する上記ガス流通孔へ向かう被測定ガスの流れを
形成するように配置され、上記内側カバーの上記複数の
ガス流通孔のそれぞれが、この被測定ガスの流れの途中
に配置されている請求項１ないし４記載のガス濃度セン
サ。