JPH10101352A - 石英ガラス管の製造方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 外径精度並びに肉厚バラツキを最小に押さえ
ることができ、また、製造する石英ガラス管の外径の変
更の都度交換する必要のない外径設定治具等を備えた、
均一肉厚を持つ石英ガラス管の製造方法を提供する。 【解決手段】 先端を封止してチューブ状に形成させた
石英ガラス製シリンダ１０を加熱軟化させる加熱炉１３
と、シリンダ１０に内圧ガスを導入して加熱軟化したシ
リンダを膨出させる内圧生成手段１８、１８ａ、１８ｂ
と、膨出した石英ガラス管１２の外周面に接触して外径
規制をする外径設定治具１４とを備え、石英ガラス管１
２を加熱炉１３内で軸方向に移動させつつ所定外径の石
英ガラス管を製造する装置において、外径設定治具１４
との接触手前位置で、外径設定治具通過後の石英ガラス
管外径Ｄ１を僅か上回る石英ガラス管外径Ｄ２を持つ膨
張部１１を形成するように外径規制若しくは内圧制御可
能に構成したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、石英ガラス製中空
管を使用して半導体製造装置の炉心管等の半導体治具部
材や光ファイバー用石英ガラス管等に使用される中空石
英ガラス管の製造方法とその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、中空石英ガラス管の製造方法
は、石英ガラス製厚肉シリンダを使用して、その一端を
封止した状態で内部に内圧用の窒素等の圧縮ガスを導入
した状態で所定引抜き径を持つダイスに導入し、前記内
圧を加圧して、ダイス内で前記シリンダを膨らませなが
ら前記ダイス径により外径を規制しつつ引き出し、所定
外径を持つ薄肉筒状部材である石英ガラス管を得るよう
にしている。

【０００３】かかる装置を図８に基づいて例示的に説明
するに、図において、炉体１０２に石英ガラス製シリン
ダ１００を加熱軟化させる筒状発熱体１０３を配置する
とともにその出口側にダイス支持部１０４を設け、該ダ
イス支持部１０４内周に回転自在に嵌挿され、所定内径
を持つダイス本体１０５を取り付ける。そして上記ダイ
ス本体１０５内径より小さい外径を持つ前記石英ガラス
製シリンダ１００を先端を封止した状態でダイス本体に
挿入しつつ矢印１０６方向に回転させながら窒素または
空気等を矢印Ｐ方向にシリンダ１００内に導入して内圧
を発生させ、前記ダイス本体１０５内でシリンダ内径を
膨らませながら矢印１０７方向に回転引き出すことによ
り、ダイス本体１０５により外径規制された所定外径Ｄ
１を持つ石英ガラス管を形成することが出来る。（実用
新案登録第２５０２８６８号）

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】かかる装置において
は、下記問題点を内蔵している。即ち、 １）ダイス本体１０５内で、加熱軟化した石英ガラス製
シリンダ１００を内圧Ｐにより膨らませ、ダイス径によ
り外径規制をするため、内圧の選択により外径精度はあ
る程度確保できるが、前記短幅のダイス本体内で膨出さ
せて外径規制する為に、図７（Ｂ）に示すように規制時
点の肉厚の変動が大きく、幅方向に肉厚に波を打つ場合
がある。 ２）上記問題に対しダイス幅を長くすることも考えられ
るが、ダイスとシリンダ外周との摺動抵抗が増大し引抜
きがうまく行かないのみならず、加熱炉も必然的に長く
なる問題があり、コスト高の原因を形成する。 ３）又、加熱炉の温度は２０００℃以上である為に、ダ
イス幅を長くするグラファイト製のダイス本体は脆く破
損され易く、又ダイス本体を支持するダイス支持部１０
４もこれに対応して必然的に長くなり、特にダイス支持
部は金属（Ｃｕ）で形成され内部に冷却媒体が還流可能
な冷却手段が付加されているために、これを加熱炉内部
まで延在させる事は中々困難であるのみならず構造も複
雑化する。 ４）前記ダイス本体は、上記製作する石英ガラス管の外
径のそれぞれに対応して準備するとともに、その都度交
換する必要があり、取り換えに伴う冷却時間等による休
転時間の増大延いては稼動率低下の問題がある。

【０００５】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、即ち、外径精度並びに肉厚バラツキを最小に押さえ
ることができ、また、製造する石英ガラス管の外径の変
更の都度交換する必要のない外径設定治具を備えた石英
ガラス管の製造装置を提供するようにしたものである。

【０００６】また、請求項２記載の発明は、前記発明の
目的に加え、外径規制につき、製造する石英ガラス管の
外径変更に随意対応できるようにした、外径制御による
均一肉厚を持つ石英ガラス管の製造装置の提供を目的と
したものである。

【０００７】また、請求項３記載の発明は、現場作業員
による手動操作を改めて外径規制とともに、内圧制御の
自動化を図った石英ガラス管の製造装置の提供を目的と
したものである。

【０００８】また、請求項４及び請求項５記載の発明
は、更に精度のよい石英ガラス管の外径と肉厚制御を可
能とする石英ガラス管御の製造装置の提供を目的とした
ものである。

【０００９】また、請求項６記載の発明は、更に精度の
よい石英ガラス管の外径と均一肉厚を有する石英ガラス
管の製造方法の提供を目的としたものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
めに、請求項１記載の発明は、先端を封止してチューブ
状に形成させた石英ガラス製中空管を加熱軟化させる加
熱手段と、前記中空管内部に内圧用ガスを導入するとと
もに加熱軟化させた中空管を膨出させる内圧生成手段
と、前記膨出させた加熱軟化状態にある中空管（以下石
英ガラス管という）外周面に接触させ外径規制させる外
径設定治具とを備え、前記石英ガラス管を加熱手段内で
軸方向に移動させつつ所定外径の石英ガラス管を製造す
る装置において、前記外径設定治具との接触手前位置
で、外径設定治具通過後の石英ガラス管外径Ｄ１を僅か
上回る石英ガラス管外径Ｄ２を持つ膨張部を形成するよ
うに外径規制若しくは内圧制御可能に構成したことを特
徴とするものである。

【００１１】上記内圧操作は炉内部での膨張部の膨らみ
状況の目視観測結果に基づき、手動バルブ操作により行
ってもよく、又レーザ外径測定器よりの測定結果に基づ
いて電磁弁等によるバルブ操作により行ってもよい。

【００１２】この場合請求項２記載のように、前記外径
設定治具の規制幅を変位可能に構成するとともに、外径
規制後の石英ガラス管外径を計測する手段を設け、該計
測手段による計測値に基づいて外径設定治具の規制幅若
しくは内圧を制御しながら所定外径の石英ガラス管を得
るようにするのがよく、より具体的には請求項３記載の
ように、前記外径規制は、非加熱領域からの遠隔測定で
得られた石英ガラス管膨張部外径と外径設定治具通過後
の石英ガラス管外径との差△Ｄを演算して、該△Ｄが適
正設定範囲に維持されるように内圧制御を行うのがよ
い。

【００１３】請求項６記載の発明は、先端を封止してチ
ューブ状に形成させた石英ガラス製中空管を加熱炉で加
熱軟化させ、該中空管内部に内圧用ガスを導入するとと
もに、外径設定治具を前記加熱軟化状態にある石英ガラ
ス管外周面に接触させ、外径規制させた状態で、前記石
英ガラス管を軸方向に移動させつつ所定外径の石英ガラ
ス管を製造する方法において、上記石英ガラス管の加熱
軟化領域を内圧操作により、外径設定治具接触手前位置
で、外径設定治具通過後の石英ガラス管外径Ｄ１を僅か
上回る石英ガラス管外径Ｄ２を持つ膨張部を形成させ、
該膨張部を外径設定治具に侵入させながら前記石英ガラ
ス管の外径規制を行うとともに、前記外径規制は、非加
熱領域からの遠隔測定で得られた石英ガラス管膨張部外
径と外径設定治具通過後の石英ガラス管外径との差△Ｄ
を演算して、該△Ｄが適正設定範囲に維持されるように
内圧制御を行うことを特徴とする石英ガラス管の製造方
法にある。この場合、具体的な数値としては、前記膨張
量△Ｄ＝［（Ｄ２−Ｄ１）／２］の適正設定範囲が、略
０＜△Ｄ≦１ｍｍ、好ましくは０＜△Ｄ≦０．５ｍｍで
あるのがよい。

【００１４】かかる発明によれば、外径規制手前で石英
ガラス製シリンダの外径を内圧操作と加熱軟化とにより
均一な薄肉状筒体に薄肉膨張させ、爾後外径設定治具を
介して外径規制をすることにより、外径精度並びに肉厚
精度の向上を図ることが出来る。

【００１５】なお、前記外径設定治具は加熱炉出口側の
加熱温度分布立ち下がり部に位置し、該外径設定治具に
よる外径規制後石英ガラス管を加熱させないようにする
のがよい。そして更に具体的には請求項５記載のよう
に、前記外径設定治具は、中空管状母材を挟んで母材半
径方向に変位可能な一対の平行規制板により構成され、
前記外径設定治具により外径規制後の母材外径が所定外
径Ｄ１に近付くように前記一対の平行規制板の規制幅を
制御可能に構成するのがよい。

【００１６】かかる構成によれば、従来のリング状ダイ
スによる外径規制では、被外径規制石英ガラス管を回転
状態で挟持する板状部材による回転狭窄機能を使用した
ため、石英ガラス管の外径寸法の変更に対しても板状部
材の間隔を制御するだけで問題なく処理できる。また、
高温石英ガラス管に接するグラファイト製板状部材の冷
却も簡単にできる効果を持つ。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例の形態を、
図示例と共に説明する。ただし、この実施例に記載され
ている構成部品の寸法、形状、その相対的位置等は特に
特定的な記載がないかぎりは、この発明の範囲をそれに
限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。図１
は本発明の基本構成に係る石英ガラス管の製造装置で、
１０は厚肉の石英ガラス製シリンダで、先端を丸封させ
るとともに、他端の開口部を窒素導入治具１６で封止
し、内圧調整バルブ１８を介して石英ガラス製シリンダ
１０内に内圧が導入可能に構成されている。又、丸封さ
れた石英ガラス製シリンダ１０の軸側には、中心軸に沿
ってダミーロッド２３が延設されており、該ダミーロッ
ド２３の自由端側と石英ガラス製シリンダ１０の基端側
にはそれぞれ移動回転治具２２Ａ及び２２Ｂが回転自在
に支持されており、該移動回転治具２２Ａ、２２Ｂによ
り石英ガラス製シリンダ１０を回転させながら加熱炉内
に沿って中心軸上を移動可能に構成されている。

【００１８】前記基端側に設けた内圧導入部（窒素導入
治具１６及び内圧調整バルブ１８）を介しての内圧操作
Ｐと並行する前記石英ガラス製シリンダを加熱軟化膨張
させる加熱炉１３は、周囲に断熱材１３ａが巻き回され
た円筒状の電気炉で構成されているとともに、該加熱炉
１３の外側に基部を持ちダミーロッド２３側よりシリン
ダ１０の軸線と平行に一対のホルダ１４ａが加熱炉１３
内側末端付近に向け延設され、その延設端である自由端
側にグラファイト製平行規制板１４ｂが石英ガラス管に
対面する位置に配設されている。即ち、外径設定治具１
４は一対のホルダ１４ａと一対の平行規制板１４ｂとか
らなる。前記ホルダ１４ａは銅部材で内部に冷媒が還流
可能に構成され、平行規制板１４ｂを裏面側より冷却さ
せるとともに、石英ガラス管１２のラジアル方向の矢印
Ａに沿い手動操作にて互いに反対方向に変位可能に構成
する。平行規制板１４ｂは、加熱軟化により膨張した石
英ガラス管１２を狭持するようにして石英ガラス管１２
の回転と相俟ってその挟圧力により外径規制を可能に
し、且つ石英ガラス管１２の長軸方向に平行に配設され
た一対のグラファイト製平行規制板１４ｂにより構成さ
れている。

【００１９】かかる構成によれば、加熱炉１３内に設け
た外径規制用の平行規制板１４ｂの間隔を所定外径Ｄ１
に設定した後、石英ガラス製シリンダ１０を回転させな
がら加熱炉１３に挿入させて加熱軟化させ、窒素導入治
具１６及びバルブ１８を介してシリンダ１０内に内圧Ｐ
を加圧する。そして略２３００℃の加熱温度で加熱軟化
させた石英ガラス製シリンダ１０が平行規制板１４ｂに
接触する手前で、所定外径Ｄ１を僅かに上回る石英ガラ
ス管１２の外径Ｄ２を持つ膨張部１１を形成させ、該膨
張部１１を前記平行規制板１４ｂにより押圧させながら
外径規制をして、図７（Ａ）に示すように所定外径Ｄ１
の均一肉厚を持つ石英ガラス管１２を得ることが出来
る。

【００２０】上記内圧操作は、本実施例では内圧を内圧
調整バルブ１８により手動操作して所定外径Ｄ１より微
小膨張した膨張部１１の外径Ｄ２を前記外径設定治具１
４により押圧させるようにしてある。そして前記膨張部
位１１における微小膨張分である△Ｄ（＝［Ｄ２−Ｄ
１］／２）が大きくなった場合は平行規制板１４ｂはホ
ルダ１４ａの自由端側に配設されているために、該平行
規制板１４ｂはその際広がり現象を起こし高精度の外径
規制ができない。従って上記△Ｄの適切な値の適正設定
範囲は、０＜△Ｄ≦０．５〜１ｍｍ程度が好ましく、よ
り好ましくは０＜△Ｄ≦０．５ｍｍがよく、この範囲内
においては外径、肉厚が安定した石英ガラス管１２の製
造が可能である。つまり、△Ｄが上記適正設定範囲内に
あるよう、内圧制御することが本発明の必須条件とな
る。又、外径設定治具１４の設定位置は、図２に示すよ
うに、加熱炉１３内の加熱温度分布が立ち下がり位置に
外径設定治具１４の平行規制板１４ｂを配置して外径規
制を行うのが良い。

【００２１】さて前記実施例においては、製造された石
英ガラス管１２の外径をオペレータがノギスで測定し、
所定外径から外れた場合にホルダ１４ａの間隔調整を手
動で行うために、外径測定作業と前記治具による設定作
業を頻繁に行う必要があり、また、得られた石英ガラス
管１２の外径変動も大きく歩留まり低下の原因を形成す
る。

【００２２】そこで、上記問題を解決する為に、図３に
示すように、石英ガラス管１２の外径測定をレーザ外径
測定器等による遠隔測定を行い、得られた石英ガラス管
１２の外径と所定外径との差をコンピュータで演算して
外径規制の精度向上を図るのがよい。図３は、前記外径
規制を自動的に行う本発明の他の実施例を示す石英ガラ
ス管の製造装置で、１９は加熱炉１３の外部出口側に配
設されたレーザ外径測定器、２１はホルダ１４ａを介し
て一対の平行規制板１４ｂを矢印Ａの幅方向に変位させ
るホルダ自動調整用モータ、２０は外径自動調整用制御
機器で、レーザ外径測定器により測定した検出信号によ
り正しい規制外径Ｄ１との偏差量△ｄに基づくホルダ自
動調整用モータ２１を駆動制御する。

【００２３】次にかかる構成の動作を図４に基づいて説
明する。 １）先ず予め、正しい規制外径Ｄ１を外径自動調整用制
御機器２０に入力して置く。 ２）次に外径自動調整用制御機器２０を介してホルダ自
動調整用モータ２１を駆動制御させ、ホルダ１４ａを介
して一対の平行規制板１４ｂの間隔を所定外径Ｄ１に設
定する。 ３）次に前記実施形態に基づく石英ガラス管１２の製造
を開始し、該ガラス管を前記間隔設定をした一対の平行
規制板１４ｂに接触安定させる。 ４）外径自動調整用制御機器２０を自動運転モードに切
り換える。 ５）レーザ外径測定器１９（走査形外径測定器による遮
断パルス数のカウント出力）で石英ガラス管１２の外径
Ｄ１を測定する。 ６）測定された外径データを外径自動調整用制御機器２
０のコンピュータに取込み設定されている所定外径Ｄ１
との偏差量（△ｄ）の値を求める。 ７）求めた前記偏差量（△ｄ）の分だけ、グラファイト
製の平行規制板１４ｂをホルダ１４ａを介して移動させ
るために、ホルダ自動調整用モータ２１に信号を送る。 ８）ホルダ自動調整用モータ２１が作動し、平行規制板
１４ｂはホルダ１４ａを介して移動する。 ９）オペレータは、炉内を監視しながら、石英ガラス管
１２を前記グラファイト製の平行規制板１４ｂに接触さ
せる。 １０）上記 ５）〜８）までの操作を繰り返し行うこと
によって、偏差量（△ｄ）の値を極力小さくすることが
可能となる。これにより、製造された石英ガラス管１２
の外径は、非常に安定したものになる。

【００２４】図５は前記内圧操作をも自動化した他の実
施例である。該実施例による内圧自動操作は、手動によ
る内圧調整バルブ１８の代りに設けたガス導入用内圧自
動調整電磁バルブ１８ａとリリース用電磁バルブ１８ｂ
と、該バルブ群を開閉制御するガス内圧自動調整装置３
０と、該内圧自動調整装置３０に連携する画像処理装置
３２と、該画像処理装置３２に映像信号を入力する膨張
部１１の外径Ｄ２を測定する画像処理装置用ＣＣＤカメ
ラ３１、３１と、同じく前記画像処理装置３２にカウン
タ信号を入力する石英ガラス管１２の外径Ｄ１を測定す
るレーザ外径測定器１９（走査形外径測定器による遮断
パルス数のカウント数により検出）とよりなる。そして
外径規制後の加熱炉１３の出口側の石英ガラス管外径
（所定外径Ｄ１）に対するレーザ測定器１９よりのカウ
ンタ計測信号と、膨張部１１の外径Ｄ２の前記ＣＣＤカ
メラ３１による映像信号とを入力して、前記［Ｄ２とＤ
１との差△ｄを画像処理装置３２で演算し、演算した△
ｄと前記適正設定範囲（０＜△Ｄ≦０．５ｍｍ）とを内
圧自動調整装置３０で比較し、その比較結果に基づきガ
ス導入用内圧自動調整電磁バルブ１８ａとリリース用電
磁バルブ１８ｂとを制御し、内圧操作の自動制御を行う
もので、前記△ｄが常に前記適正設定範囲で変動するよ
うにして、より安定した肉厚を持つ石英ガラス管１２が
得られるようにしてある。

【００２５】次にかかる実施例の動作手順を図６に示す
ブロック図に基づいて説明する。 １）石英ガラス管１２の引き始めの部分は、オペレータ
による手動操作で行う。 ２）石英ガラス管１２の外径が所定の外径Ｄ１になり安
定したところで、自動運転に入る。 ３）まず、レーザ外径測定器１９で石英ガラス管１２の
外径Ｄ１を測定し、Ｄ１データを形成するカウンタ出力
を画像処理装置３２に入力させる。 ４）画像処理用ＣＣＤカメラ３１、３１により膨張部外
径を測定し、Ｄ２データを形成する映像信号を画像処理
装置３２に入力させる。 ５）画像処理装置３２のコンピュータで、前記入力した
Ｄ１データとＤ２データとの演算処理により△ｄを求め
る。 ６）求めた△ｄを内圧自動調整装置３０のコンピュータ
におくる。 ７）内圧自動調整装置３０のコンピュータには、予め前
記△ｄの範囲を設定しておく。設定範囲は、更に０．１
ｍｍ＜△Ｄ≦０．４ｍｍに設定してある。 ８）内圧自動調整装置３０のコンピュータは、前記△ｄ
が前記△Ｄの設定範囲に入るように、内圧→ガス導入用
内圧自動調整電磁バルブ１８ａとリリース用電磁バルブ
１８ｂとを作動させる。 ９）電磁バルブの制御方法は、△ｄが△Ｄの設定範囲の
下限値に近付いた場合、内圧自動調整電磁バルブ１８ａ
を開け、リリース用電磁バルブ１８ｂを閉じ、石英ガラ
ス製シリンダ１０に内圧をかける。一方△Ｄの上限に近
付いた場合、内圧自動調整電磁バルブ１８ａを閉じ、リ
リース用電磁バルブ１８ｂを開け、石英ガラス製シリン
ダ１０より内圧を抜く。なお、上記３）〜９）までのフ
ィードバックスピードを速くすることによって、△Ｄの
設定範囲を狭めることが可能となる。結果として、製造
された石英ガラス管１２の肉厚は非常に安定したものに
なる。

【００２６】従って本実施例によれば、△Ｄに基づいて
内圧が自動制御されるため、製造された石英ガラス管１
２の寸法精度は顕著に向上し、特に外径規制の手前で内
圧操作及び加熱炉１３における温度操作により膨張部を
形成するようにしたため、外径精度ばかりでなく肉厚の
バラツキも最小に押 さえることができる。また、フィ
ードバック数値制御による内圧制御により、外径、肉厚
ともに精度の高い石英ガラス管１２を得ることが可能で
ある。

【００２７】

【発明の効果】以上記載のごとく本発明によれば、外径
精度並びに肉厚バラツキを最小に押さえることができ、
また、製造する石英ガラス管の外径変更の都度交換する
必要がなく、生産性の極めて高い石英ガラス管の製造方
法とその装置を得ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係わる石英ガラス管の製
造装置の概略構成図である。

【図２】加熱炉内の温度分布と外径設定治具（平行規制
板）の配置図を示す。

【図３】本発明の第２実施例で、外径規制の自動化を図
った石英ガラス管の製造装置の概略構成図である。

【図４】図３の外径規制の制御機構を示すブロック図で
ある。

【図５】本発明の第３実施例で、内圧制御と外径規制の
自動化を図った石英ガラス管の製造装置の概略構成図で
ある。

【図６】図５の内圧制御の制御機構の概略の構成を示す
ブロック図である。

【図７】本発明により製造した石英ガラス管の肉厚バラ
ツキを従来装置に比較して示す断面図で、（Ａ）は本発
明による製造法による場合を示し、（Ｂ）は従来装置に
よる場合を示す。

【図８】従来の石英ガラス管の製造装置の概略構成図で
ある。

【符号の説明】

１０ 石英ガラス製シリンダ １１ 膨張部 １２ 石英ガラス管 １３ 加熱炉 １４ 外径設定治具 １４ａ ホルダ １４ｂ 平行規制板 １８ 内圧調整バルブ １８ａ 内圧自動調整電磁バルブ １８ｂ リリース用電磁バルブ １９ レーザ外径測定器 ２０ 外径自動調整用制御機器 ２１ ホルダ自動調整用モータ ３０ 内圧自動調整装置 ３１ 画像処理装置用ＣＣＤカメラ ３２ 画像処理装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 先端を封止してチューブ状に形成させた
   石英ガラス製中空管を加熱軟化させる加熱手段と、 前記中空管内部に内圧用ガスを導入するとともに加熱軟
   化させた中空管を膨出させる内圧生成手段と、 前記膨出させた加熱軟化状態にある中空管（以下石英ガ
   ラス管という）外周面に接触させ外径規制させる外径設
   定治具とを備え、 前記石英ガラス管を加熱手段内で軸方向に移動させつつ
   所定外径の石英ガラス管を製造する装置において、 前記外径設定治具との接触手前位置で、外径設定治具通
   過後の石英ガラス管外径Ｄ１を僅か上回る石英ガラス管
   外径Ｄ２を持つ膨張部を形成するように外径規制若しく
   は内圧制御可能に構成したことを特徴とする石英ガラス
   管の製造装置。
2. 【請求項２】 前記外径設定治具の規制幅を変位可能に
   構成するとともに、外径規制後の石英ガラス管外径を計
   測する手段を設け、該計測手段による計測値に基づいて
   外径設定治具の規制幅若しくは内圧を制御しながら所定
   外径の石英ガラス管を得るようにしたことを特徴とする
   請求項１記載の石英ガラス管の製造装置。
3. 【請求項３】 前記外径規制は、非加熱領域からの遠隔
   測定で得られた石英ガラス管膨張部外径と外径設定治具
   通過後の石英ガラス管外径との差△Ｄを演算して、該△
   Ｄを適正設定範囲に維持するように内圧制御を行うこと
   を特徴とする請求項１記載の石英ガラス管の製造装置。
4. 【請求項４】 前記外径設定治具が加熱炉出口側の加熱
   温度分布立ち下がり部に位置し、該外径設定治具による
   外径規制後石英ガラス管を加熱させないようにした請求
   項１記載の石英ガラス管の製造装置。
5. 【請求項５】 前記外径設定治具は、中空管状母材を挟
   んで母材半径方向に変位可能な一対の平行規制板より構
   成され、 前記外径設定治具により外径規制後の母材外径が所定外
   径Ｄ１に近づくように前記一対の平行規制板の規制幅を
   制御可能に構成したことを特徴とする請求項１記載の石
   英ガラス管の製造装置。
6. 【請求項６】 先端を封止してチューブ状に形成させた
   石英ガラス製中空管を加熱炉で加熱軟化させ、該中空管
   内部に内圧用ガスを導入するとともに、外径設定治具を
   前記加熱軟化状態にある石英ガラス管外周面に接触さ
   せ、外径規制させた状態で、前記石英ガラス管を軸方向
   に移動させつつ所定外径の石英ガラス管を製造する方法
   において、 上記石英ガラス管の加熱軟化領域を内圧操作により、外
   径設定治具接触手前位置で、外径設定治具通過後の石英
   ガラス管外径Ｄ１を僅か上回る石英ガラス管外径Ｄ２を
   持つ膨張部を形成させ、該膨張部を外径設定治具に侵入
   させながら前記石英ガラス管の外径規制を行うととも
   に、前記外径規制は、非加熱領域からの遠隔測定で得ら
   れた石英ガラス管膨張部外径と外径設定治具通過後の石
   英ガラス管外径との差△Ｄを演算して、該△Ｄが適正設
   定範囲に維持するように内圧制御を行うことを特徴とす
   る石英ガラス管の製造方法。