JPH10109751A - 基板搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法 - Google Patents
基板搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法Info
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- JPH10109751A JPH10109751A JP26057896A JP26057896A JPH10109751A JP H10109751 A JPH10109751 A JP H10109751A JP 26057896 A JP26057896 A JP 26057896A JP 26057896 A JP26057896 A JP 26057896A JP H10109751 A JPH10109751 A JP H10109751A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板が上または下へ反ったばあいでも当該基
板を搬送アームに直接接触させずにパッドのみに接触し
た状態を維持でき、基板のずれを防止することができる
搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法を提供す
る。 【解決手段】 切欠Ｓが形成されるとともに上面に複数
個のパッド２が設けられた搬送アーム本体１、および該
搬送アーム本体１を移送するための搬送アーム本体移送
部を具備してなる、ガラス基板３を搬送するための基板
搬送アームであって、前記パッド２が少なくとも前記搬
送アーム本体１の外側端縁４、７および前記切欠Ｓの周
縁５、６にほぼ沿って配設されてなることを特徴とする
搬送アーム。
板を搬送アームに直接接触させずにパッドのみに接触し
た状態を維持でき、基板のずれを防止することができる
搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法を提供す
る。 【解決手段】 切欠Ｓが形成されるとともに上面に複数
個のパッド２が設けられた搬送アーム本体１、および該
搬送アーム本体１を移送するための搬送アーム本体移送
部を具備してなる、ガラス基板３を搬送するための基板
搬送アームであって、前記パッド２が少なくとも前記搬
送アーム本体１の外側端縁４、７および前記切欠Ｓの周
縁５、６にほぼ沿って配設されてなることを特徴とする
搬送アーム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基板搬送アーム（以
下、搬送アームという）およびそれを用いた基板搬送方
法に関する。さらに詳しくは基板が上または下へ反った
ばあいでも当該基板を搬送アームに直接接触させずにパ
ッドに接触した状態を維持でき、基板のずれを防止する
ことができる搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方
法に関する。
下、搬送アームという）およびそれを用いた基板搬送方
法に関する。さらに詳しくは基板が上または下へ反った
ばあいでも当該基板を搬送アームに直接接触させずにパ
ッドに接触した状態を維持でき、基板のずれを防止する
ことができる搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、液晶表示素子の製造装置の搬
送アームは、板状の搬送アーム本体上にゴム製パッドを
有し、このパッド上に基板が水平に載る構造となってい
る。搬送アームは、たとえばスパッタ装置などでガラス
基板を各チャンバーに搬送する手段として使われてい
る。図８には従来の搬送アームの一例が示されている。
図８において、２１はアルミニウム合金、ＳＵＳ、セラ
ミックなどの金属などからなる略Ｙ字状の搬送アーム本
体、２４は第１アーム、２５は第２アーム、および２６
は設置台であり、各構成要素は水平面上において回転軸
Ｘ、Ｙ、Ｚまわりに時計回りまたは反時計回りに回転運
動できるように連結されている。図５は前記搬送アーム
本体２１の拡大平面図であり、２１は搬送アーム本体、
２２はゴム製パッドである。なお、２３は搬送アーム本
体２１によって搬送されるガラス基板である。
送アームは、板状の搬送アーム本体上にゴム製パッドを
有し、このパッド上に基板が水平に載る構造となってい
る。搬送アームは、たとえばスパッタ装置などでガラス
基板を各チャンバーに搬送する手段として使われてい
る。図８には従来の搬送アームの一例が示されている。
図８において、２１はアルミニウム合金、ＳＵＳ、セラ
ミックなどの金属などからなる略Ｙ字状の搬送アーム本
体、２４は第１アーム、２５は第２アーム、および２６
は設置台であり、各構成要素は水平面上において回転軸
Ｘ、Ｙ、Ｚまわりに時計回りまたは反時計回りに回転運
動できるように連結されている。図５は前記搬送アーム
本体２１の拡大平面図であり、２１は搬送アーム本体、
２２はゴム製パッドである。なお、２３は搬送アーム本
体２１によって搬送されるガラス基板である。
【０００３】ゴム製パッド２２は、略Ｙ字状の搬送アー
ム本体２１の２本の腕部分Ａ1およびＡ2の中央寄りにそ
れぞれのほぼ軸線に沿って一直線上に配設されている。
ム本体２１の２本の腕部分Ａ1およびＡ2の中央寄りにそ
れぞれのほぼ軸線に沿って一直線上に配設されている。
【０００４】前記図９の搬送アーム本体２１を用いた基
板搬送方法は、以下のようにして行なわれる。
板搬送方法は、以下のようにして行なわれる。
【０００５】まず、図５に示されるように、ガラス基板
２３を搬送アーム本体２１上のパッド２２の上に水平に
載置する。ついで、図８に示されるように、前記搬送ア
ーム本体２１、第１アーム２４および第２アーム２５を
水平面上で回転軸Ｘ、Ｙ、Ｚまわりに時計回りまたは反
時計回りに回転運動することにより、ガラス基板２３を
所定の位置へ搬送する。ガラス基板２３は、パッド２２
とガラス基板２３とのあいだに生じる摩擦力によって搬
送アーム本体２１上に保持されているため、搬送中にお
いてガラス基板２３が搬送アーム本体２１の上からすべ
り落ちないようになっている。
２３を搬送アーム本体２１上のパッド２２の上に水平に
載置する。ついで、図８に示されるように、前記搬送ア
ーム本体２１、第１アーム２４および第２アーム２５を
水平面上で回転軸Ｘ、Ｙ、Ｚまわりに時計回りまたは反
時計回りに回転運動することにより、ガラス基板２３を
所定の位置へ搬送する。ガラス基板２３は、パッド２２
とガラス基板２３とのあいだに生じる摩擦力によって搬
送アーム本体２１上に保持されているため、搬送中にお
いてガラス基板２３が搬送アーム本体２１の上からすべ
り落ちないようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図６に示され
るように、ガラス基板２３はたとえばクロム膜が成膜さ
れているばあいには、その残留応力などの原因により下
へ大きく反るばあいがある。かかる下反りのガラス基板
２３を搬送アーム本体２１の上に載置しても、ガラス基
板２３はパッド２２と接触せず、搬送アーム本体２１の
内側縁２１ａ、２１ｂの部位に接触する。アルミニウム
合金などの金属からなる搬送アーム本体２１とガラス基
板２３とのあいだの摩擦力は、ゴム製パッド２２とガラ
ス基板２３とのあいだの摩擦力より小さいため、ガラス
基板２３が保持力は小さくなる。その結果、ガラス基板
２３が、図９において二点鎖線（２３ａ）で示されるよ
うにずれるばあいがある。
るように、ガラス基板２３はたとえばクロム膜が成膜さ
れているばあいには、その残留応力などの原因により下
へ大きく反るばあいがある。かかる下反りのガラス基板
２３を搬送アーム本体２１の上に載置しても、ガラス基
板２３はパッド２２と接触せず、搬送アーム本体２１の
内側縁２１ａ、２１ｂの部位に接触する。アルミニウム
合金などの金属からなる搬送アーム本体２１とガラス基
板２３とのあいだの摩擦力は、ゴム製パッド２２とガラ
ス基板２３とのあいだの摩擦力より小さいため、ガラス
基板２３が保持力は小さくなる。その結果、ガラス基板
２３が、図９において二点鎖線（２３ａ）で示されるよ
うにずれるばあいがある。
【０００７】また、図７に示されるように、ガラス基板
２３はたとえば、その表面に膜がプラズマＣＶＤ法で成
膜されているばあいには、その残留応力などの原因によ
り上へ大きく反るばあいがある。かかる上反りのガラス
基板２３は、搬送アーム本体２１外側縁２１ｃ、２１ｄ
の部位に接触するため、前述と同様に、ガラス基板２３
の保持力が小さくなり、その結果、ガラス基板２３が図
９の２３ａのようにずれるばあいがある。
２３はたとえば、その表面に膜がプラズマＣＶＤ法で成
膜されているばあいには、その残留応力などの原因によ
り上へ大きく反るばあいがある。かかる上反りのガラス
基板２３は、搬送アーム本体２１外側縁２１ｃ、２１ｄ
の部位に接触するため、前述と同様に、ガラス基板２３
の保持力が小さくなり、その結果、ガラス基板２３が図
９の２３ａのようにずれるばあいがある。
【０００８】本発明はかかる問題を解消するためになさ
れたものであり、基板が上または下へ反ったばあいでも
当該基板を搬送アームに直接接触させずにパッドのみに
接触した状態を維持でき、基板のずれを防止することが
できる搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法を提
供することを目的とする。
れたものであり、基板が上または下へ反ったばあいでも
当該基板を搬送アームに直接接触させずにパッドのみに
接触した状態を維持でき、基板のずれを防止することが
できる搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の搬送アームは、
少なくとも一部に切欠または開口が形成されるとともに
上面に複数個のパッドが設けられた搬送アーム本体、お
よび該搬送アーム本体を移送するための搬送アーム本体
移送部を具備してなる、基板を搬送するための基板搬送
アームであって、前記パッドが少なくとも前記搬送アー
ム本体の外側端縁、および前記切欠または開口の周縁に
ほぼ沿って配設されてなることを特徴とするものであ
る。
少なくとも一部に切欠または開口が形成されるとともに
上面に複数個のパッドが設けられた搬送アーム本体、お
よび該搬送アーム本体を移送するための搬送アーム本体
移送部を具備してなる、基板を搬送するための基板搬送
アームであって、前記パッドが少なくとも前記搬送アー
ム本体の外側端縁、および前記切欠または開口の周縁に
ほぼ沿って配設されてなることを特徴とするものであ
る。
【００１０】前記搬送アーム本体に載置される基板の幅
をＷとしたばあい、前記搬送アーム本体の外側端縁に沿
って、前記パッドが１５０〜４００ｍｍ間隔で配設さ
れ、かつ前記切欠または開口の周縁に沿って、前記パッ
ドが１５０〜４００ｍｍ間隔で配設され、かつ前記パッ
ドの高さＨが１ｍｍ≦Ｈ≦４ｍｍであるのが好ましい。
をＷとしたばあい、前記搬送アーム本体の外側端縁に沿
って、前記パッドが１５０〜４００ｍｍ間隔で配設さ
れ、かつ前記切欠または開口の周縁に沿って、前記パッ
ドが１５０〜４００ｍｍ間隔で配設され、かつ前記パッ
ドの高さＨが１ｍｍ≦Ｈ≦４ｍｍであるのが好ましい。
【００１１】前記搬送アーム本体が略Ｙ字状を呈してな
るのが好ましい。
るのが好ましい。
【００１２】前記搬送アーム本体が、矩形形状を呈する
開口を複数個形成されることにより、格子状を呈してな
るのが好ましい。
開口を複数個形成されることにより、格子状を呈してな
るのが好ましい。
【００１３】前記パッドが前記搬送アーム本体の外側端
縁と前記切欠または開口の周縁とのあいだにさらに配設
されてなるのが好ましい。
縁と前記切欠または開口の周縁とのあいだにさらに配設
されてなるのが好ましい。
【００１４】前記パッドが、少なくとも８〜１２個程度
配設されてなるのが好ましい。
配設されてなるのが好ましい。
【００１５】本発明の基板の搬送方法は、少なくとも一
部に切欠または開口が形成されるとともに搬送される基
板が上または下へ反っても常にパッドのみに接触するよ
うに複数個のパッドが上面に設けられた搬送アーム本体
の上に、当該基板を載置し、ついで基板が載置された搬
送アーム本体を所定の位置に移送することを特徴とする
ものである。
部に切欠または開口が形成されるとともに搬送される基
板が上または下へ反っても常にパッドのみに接触するよ
うに複数個のパッドが上面に設けられた搬送アーム本体
の上に、当該基板を載置し、ついで基板が載置された搬
送アーム本体を所定の位置に移送することを特徴とする
ものである。
【００１６】本発明の搬送アームは、搬送アーム本体に
おいて、パッドが少なくとも当該搬送アーム本体の外側
端縁、および前記切欠または開口の周縁にほぼ沿って配
設されているため、搬送される基板は上または下へ反っ
ても常に所定の摩擦力によって保持されるため、基板が
ずれるなどの不具合がない。
おいて、パッドが少なくとも当該搬送アーム本体の外側
端縁、および前記切欠または開口の周縁にほぼ沿って配
設されているため、搬送される基板は上または下へ反っ
ても常に所定の摩擦力によって保持されるため、基板が
ずれるなどの不具合がない。
【００１７】たとえば、搬送される基板が下に反ったば
あいには基板の比較的中央に近い部位が前記搬送アーム
本体の前記切欠または開口の周縁に沿って配設されたパ
ッドに接触し、搬送アーム本体には接触しないため、基
板とパッドとのあいだの摩擦力を用いて基板をしっかり
と保持することができる。
あいには基板の比較的中央に近い部位が前記搬送アーム
本体の前記切欠または開口の周縁に沿って配設されたパ
ッドに接触し、搬送アーム本体には接触しないため、基
板とパッドとのあいだの摩擦力を用いて基板をしっかり
と保持することができる。
【００１８】一方、搬送される基板が上に反ったばあい
には基板の両端近傍の部位が前記搬送アーム本体の外側
端縁に沿って配設されたパッドに接触し、搬送アーム本
体には接触しないため、基板とパッドとのあいだの摩擦
力を用いて基板をしっかりと保持することができる。
には基板の両端近傍の部位が前記搬送アーム本体の外側
端縁に沿って配設されたパッドに接触し、搬送アーム本
体には接触しないため、基板とパッドとのあいだの摩擦
力を用いて基板をしっかりと保持することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】つぎに、図面を参照しながら、本
発明の搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法を詳
細に説明する。図１は本発明の搬送アームの一実施例を
示す略Ｙ字状を呈する搬送アーム本体の拡大平面図、図
２は図１の搬送アーム本体のII−II線断面図であって、
ガラス基板が下に反った状態を示す断面説明図、図３は
図１の搬送アーム本体のII−II線断面図であって、ガラ
ス基板が上に反った状態を示す断面説明図および図４は
本発明の搬送アームの他の実施例を示す略格子状を呈す
る搬送アーム本体の拡大平面図である。
発明の搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法を詳
細に説明する。図１は本発明の搬送アームの一実施例を
示す略Ｙ字状を呈する搬送アーム本体の拡大平面図、図
２は図１の搬送アーム本体のII−II線断面図であって、
ガラス基板が下に反った状態を示す断面説明図、図３は
図１の搬送アーム本体のII−II線断面図であって、ガラ
ス基板が上に反った状態を示す断面説明図および図４は
本発明の搬送アームの他の実施例を示す略格子状を呈す
る搬送アーム本体の拡大平面図である。
【００２０】図１には、本実施例の搬送アームの特徴部
分である、上面に複数個のパッド２が設けられた搬送ア
ーム本体１が示されている。なお、３は搬送されるガラ
ス基板である。
分である、上面に複数個のパッド２が設けられた搬送ア
ーム本体１が示されている。なお、３は搬送されるガラ
ス基板である。
【００２１】なお、図１には示されていないが、本実施
例の搬送アームは、搬送アーム本体１を移送するための
搬送アーム本体移送部を具備している。かかる搬送アー
ム本体移送部は、従来より用いられているものが採用さ
れ、たとえば、図８に示される第１アーム２４、第２ア
ーム２５および設置台２６、の各構成要素が水平面上に
おいて回転軸Ｘ、Ｙ、Ｚまわりに時計回りまたは反時計
回りに回転運動できるように連結された機構、または直
線的に水平搬送を行なう機構などが採用される。
例の搬送アームは、搬送アーム本体１を移送するための
搬送アーム本体移送部を具備している。かかる搬送アー
ム本体移送部は、従来より用いられているものが採用さ
れ、たとえば、図８に示される第１アーム２４、第２ア
ーム２５および設置台２６、の各構成要素が水平面上に
おいて回転軸Ｘ、Ｙ、Ｚまわりに時計回りまたは反時計
回りに回転運動できるように連結された機構、または直
線的に水平搬送を行なう機構などが採用される。
【００２２】搬送アーム本体１は、アルミニウム合金ま
たはステンレスなどの軽量でしかも剛性の高い金属や、
セラミックなどからなる略Ｙ字状を呈する支持体であ
り、２本の腕部分Ａ1とＡ2とのあいだには、ガラス基板
３を他の作業台やコンベヤなどに容易に載置できるよう
に、切欠Ｓが形成されている。
たはステンレスなどの軽量でしかも剛性の高い金属や、
セラミックなどからなる略Ｙ字状を呈する支持体であ
り、２本の腕部分Ａ1とＡ2とのあいだには、ガラス基板
３を他の作業台やコンベヤなどに容易に載置できるよう
に、切欠Ｓが形成されている。
【００２３】パッド２は、ゴムなどからなり、搬送され
るガラス基板３（またはその他の材料からなる基板）と
のあいだで高い摩擦力を生じせしめる材料によって作製
される。パッド２は、前記搬送アーム本体の外側端縁
４、７および前記切欠の周縁５、６に接して配設されて
いる。なお、パッド２は、前記搬送アーム本体１の外側
端縁４、７および前記切欠の周縁５、６に必ずしも接し
ている必要がなく、パッド高さや配置を調節するなどし
てガラス基板３が上または下へ反ったときに前記搬送ア
ーム本体１に接触しなければ、前記外側端縁４、７およ
び前記切欠の周縁５、６にほぼ沿って配設されていれば
よい。
るガラス基板３（またはその他の材料からなる基板）と
のあいだで高い摩擦力を生じせしめる材料によって作製
される。パッド２は、前記搬送アーム本体の外側端縁
４、７および前記切欠の周縁５、６に接して配設されて
いる。なお、パッド２は、前記搬送アーム本体１の外側
端縁４、７および前記切欠の周縁５、６に必ずしも接し
ている必要がなく、パッド高さや配置を調節するなどし
てガラス基板３が上または下へ反ったときに前記搬送ア
ーム本体１に接触しなければ、前記外側端縁４、７およ
び前記切欠の周縁５、６にほぼ沿って配設されていれば
よい。
【００２４】パッド２の形状は、本発明においてとくに
限定されるものではなく、図示された円形以外にも矩形
などの適宜の形状を採用することができる。
限定されるものではなく、図示された円形以外にも矩形
などの適宜の形状を採用することができる。
【００２５】図１の搬送アームを用いてガラス基板３を
搬送するばあい、搬送アーム本体１の上の所定の位置に
当該基板３を載置し、ついでガラス基板３が載置された
搬送アーム本体１を図示しない搬送アーム本体移送部に
より、所定の位置に移送することにより、搬送が行なわ
れる。
搬送するばあい、搬送アーム本体１の上の所定の位置に
当該基板３を載置し、ついでガラス基板３が載置された
搬送アーム本体１を図示しない搬送アーム本体移送部に
より、所定の位置に移送することにより、搬送が行なわ
れる。
【００２６】したがって、図２に示されるように、搬送
されるガラス基板３が下に反ったばあいにはガラス基板
３の比較的中央に近い部位が前記搬送アーム本体１の前
記切欠Ｓ周縁に沿って配設されたパッド２ａ、２ｂに接
触し、搬送アーム本体１には接触しないため、ガラス基
板３とパッド２ａ、２ｂとのあいだの摩擦力を用いてガ
ラス基板３をしっかりと保持することができる。
されるガラス基板３が下に反ったばあいにはガラス基板
３の比較的中央に近い部位が前記搬送アーム本体１の前
記切欠Ｓ周縁に沿って配設されたパッド２ａ、２ｂに接
触し、搬送アーム本体１には接触しないため、ガラス基
板３とパッド２ａ、２ｂとのあいだの摩擦力を用いてガ
ラス基板３をしっかりと保持することができる。
【００２７】一方、図３に示されるように、搬送される
ガラス基板３が上に反ったばあいにはガラス基板３の両
端近傍の部位が前記搬送アーム本体１の外側端縁に沿っ
て配設されたパッド２ｃ、２ｄに接触し、搬送アーム本
体１には接触しないため、ガラス基板３とパッド２ｃ、
２ｄとのあいだの摩擦力を用いてガラス基板３をしっか
りと保持することができる。
ガラス基板３が上に反ったばあいにはガラス基板３の両
端近傍の部位が前記搬送アーム本体１の外側端縁に沿っ
て配設されたパッド２ｃ、２ｄに接触し、搬送アーム本
体１には接触しないため、ガラス基板３とパッド２ｃ、
２ｄとのあいだの摩擦力を用いてガラス基板３をしっか
りと保持することができる。
【００２８】つぎに、ガラス基板３の幅Ｗとパッド２の
間隔Ｓ1、Ｓ2との関係を説明する。図１に示されるよう
に、前記搬送アーム本体１に載置されるガラス基板３の
幅をＷとしたばあい、前記搬送アーム本体１の外側端縁
４、７に沿って、前記パッド２が間隔Ｇ1が１５０〜４
００ｍｍ程度になるように配設され、かつ前記切欠Ｓの
周縁５、６に沿って、前記パッド２が間隔Ｇ2が１５０
〜４００ｍｍ程度になるように配設され、かつ前記パッ
ド２の高さＨ（図２参照）が１ｍｍ≦Ｈ≦４ｍｍの関係
を満たすように、パッド２を配設することにより、残留
応力の大きい膜がガラス基板上に成膜されているなどの
ばあいにガラス基板３に上または下に大きく反りが生じ
ても、ガラス基板３はパッド２と接触した状態を安定し
て維持することができる。
間隔Ｓ1、Ｓ2との関係を説明する。図１に示されるよう
に、前記搬送アーム本体１に載置されるガラス基板３の
幅をＷとしたばあい、前記搬送アーム本体１の外側端縁
４、７に沿って、前記パッド２が間隔Ｇ1が１５０〜４
００ｍｍ程度になるように配設され、かつ前記切欠Ｓの
周縁５、６に沿って、前記パッド２が間隔Ｇ2が１５０
〜４００ｍｍ程度になるように配設され、かつ前記パッ
ド２の高さＨ（図２参照）が１ｍｍ≦Ｈ≦４ｍｍの関係
を満たすように、パッド２を配設することにより、残留
応力の大きい膜がガラス基板上に成膜されているなどの
ばあいにガラス基板３に上または下に大きく反りが生じ
ても、ガラス基板３はパッド２と接触した状態を安定し
て維持することができる。
【００２９】前記実施例では、搬送アーム本体１とし
て、略Ｙ字状を呈するものを例に挙げて説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、種々の形状を採
用すればよい。
て、略Ｙ字状を呈するものを例に挙げて説明したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、種々の形状を採
用すればよい。
【００３０】その他の形状の例として、図４に示される
ような矩形形状を呈する開口Ｐを複数個形成することに
より、格子状を呈してなる搬送アーム本体１を採用する
ことも可能である。このばあい、パッド２が搬送アーム
本体１の外側端縁および開口Ｐの周縁に接して配設され
れば、前記実施例と同様の作用を奏することができ、ガ
ラス基板３が大きく反ったばあいでも、常にガラス基板
３はパッド２と接触し、搬送アーム１とは触れることが
ないので安定してガラス基板３を保持することができ
る。なお、パッド２は、前記搬送アーム本体１の外側端
縁および開口Ｐの周縁に必ずしも接している必要がな
く、ガラス基板３が上または下へ反ったときに前記搬送
アーム本体１に接触しなければ、前記外側端縁および前
記開口の周縁にほぼ沿って配設されていればよい。
ような矩形形状を呈する開口Ｐを複数個形成することに
より、格子状を呈してなる搬送アーム本体１を採用する
ことも可能である。このばあい、パッド２が搬送アーム
本体１の外側端縁および開口Ｐの周縁に接して配設され
れば、前記実施例と同様の作用を奏することができ、ガ
ラス基板３が大きく反ったばあいでも、常にガラス基板
３はパッド２と接触し、搬送アーム１とは触れることが
ないので安定してガラス基板３を保持することができ
る。なお、パッド２は、前記搬送アーム本体１の外側端
縁および開口Ｐの周縁に必ずしも接している必要がな
く、ガラス基板３が上または下へ反ったときに前記搬送
アーム本体１に接触しなければ、前記外側端縁および前
記開口の周縁にほぼ沿って配設されていればよい。
【００３１】また、前記パッド２は、ガラス基板３の前
記搬送アーム本体１の外側端縁と前記切欠または開口の
周縁とのあいだにさらに配設されていれば、ガラス基板
３がほとんど反っていないフラットな状態のときの保持
力をさらに向上させることができる。
記搬送アーム本体１の外側端縁と前記切欠または開口の
周縁とのあいだにさらに配設されていれば、ガラス基板
３がほとんど反っていないフラットな状態のときの保持
力をさらに向上させることができる。
【００３２】前記パッド２は、少なくとも８〜１２個程
度配設されていれば、搬送アーム本体１の外側端縁、お
よび前記切欠または開口の周縁にほぼ均等に配設され、
ガラス基板３の各部位に均等に保持力を与えることがで
きるため好ましい。
度配設されていれば、搬送アーム本体１の外側端縁、お
よび前記切欠または開口の周縁にほぼ均等に配設され、
ガラス基板３の各部位に均等に保持力を与えることがで
きるため好ましい。
【００３３】なお、本実施例では搬送される基板の例と
して、液晶表示素子用のガラス基板を例にあげて説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、プラス
チックなどの基板も本発明の搬送アームによって本実施
例と同様の作用を奏しながら搬送することができる。
して、液晶表示素子用のガラス基板を例にあげて説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、プラス
チックなどの基板も本発明の搬送アームによって本実施
例と同様の作用を奏しながら搬送することができる。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、基板が上または下へ反
ったばあいでも当該基板を搬送アームに直接接触させず
にパッドに接触した状態を維持でき、基板のずれを防止
することができる。また、基板がずれにくくなるので搬
送速度をさらに上げることができ、その結果、液晶表示
素子を製造するばあいの生産時間を短縮することができ
る。
ったばあいでも当該基板を搬送アームに直接接触させず
にパッドに接触した状態を維持でき、基板のずれを防止
することができる。また、基板がずれにくくなるので搬
送速度をさらに上げることができ、その結果、液晶表示
素子を製造するばあいの生産時間を短縮することができ
る。
【図１】本発明の搬送アームの一実施例を示す略Ｙ字状
を呈する搬送アーム本体の拡大平面図である。
を呈する搬送アーム本体の拡大平面図である。
【図２】図１の搬送アーム本体のII−II線断面図であっ
て、ガラス基板が下に反った状態を示す断面説明図であ
る。
て、ガラス基板が下に反った状態を示す断面説明図であ
る。
【図３】図１の搬送アーム本体のII−II線断面図であっ
て、ガラス基板が上に反った状態を示す断面説明図であ
る。
て、ガラス基板が上に反った状態を示す断面説明図であ
る。
【図４】本発明の搬送アームの他の実施例を示す略格子
状を呈する搬送アーム本体の拡大平面図である。
状を呈する搬送アーム本体の拡大平面図である。
【図５】従来の搬送アーム本体の拡大平面図である。
【図６】図５の搬送アーム本体のVI−VI線断面図であっ
て、ガラス基板が下に反った状態を示す断面説明図であ
る。
て、ガラス基板が下に反った状態を示す断面説明図であ
る。
【図７】図５の搬送アーム本体のVI−VI線断面図であっ
て、ガラス基板が上に反った状態を示す断面説明図であ
る。
て、ガラス基板が上に反った状態を示す断面説明図であ
る。
【図８】搬送アームの全体の構成を示す平面図である。
【図９】図５の搬送アーム本体上の基板がずれた状態を
示す平面図である。
示す平面図である。
１ 搬送アーム本体 ２、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ パッド ３ ガラス基板 ４、７ 外側側縁 ５、６ 周縁 Ｓ 切欠 Ｐ 開口
Claims (7)
- 【請求項１】 少なくとも一部に切欠または開口が形成
されるとともに上面に複数個のパッドが設けられた搬送
アーム本体、および該搬送アーム本体を移送するための
搬送アーム本体移送部を具備してなる、基板を搬送する
ための基板搬送アームであって、前記パッドが少なくと
も前記搬送アーム本体の外側端縁、および前記切欠また
は開口の周縁にほぼ沿って配設されてなることを特徴と
する基板搬送アーム。 - 【請求項２】 前記搬送アーム本体に載置される基板の
幅をＷとしたばあい、前記搬送アーム本体の外側端縁に
沿って、前記パッドが１５０〜４００ｍｍ間隔で配設さ
れ、かつ前記切欠または開口の周縁に沿って、前記パッ
ドが１５０〜４００ｍｍ間隔で配設され、かつ前記パッ
ドの高さＨが１ｍｍ≦Ｈ≦４ｍｍである請求項１記載の
基板搬送アーム。 - 【請求項３】 前記搬送アーム本体が略Ｙ字状を呈して
なる請求項１または２記載の基板搬送アーム。 - 【請求項４】 前記搬送アーム本体が、矩形形状を呈す
る開口が複数個形成されることにより、格子状を呈して
なる請求項１または２記載の基板搬送アーム。 - 【請求項５】 前記パッドが前記搬送アーム本体の外側
端縁と前記切欠または開口の周縁とのあいだにさらに配
設されてなる請求項１、２、３または４記載の基板搬送
アーム。 - 【請求項６】 前記パッドが、少なくとも８〜１２個程
度配設されてなる請求項１、２、３または４記載の基板
搬送アーム。 - 【請求項７】 請求項１記載の少なくとも一部に切欠ま
たは開口が形成されるとともに搬送される基板が上また
は下へ反っても常にパッドのみに接触するように複数個
のパッドが上面に設けられた搬送アーム本体の上に、当
該基板を載置し、ついで基板が載置された搬送アーム本
体を所定の位置に移送することを特徴とする基板の搬送
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26057896A JP3874852B2 (ja) | 1996-10-01 | 1996-10-01 | 基板搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26057896A JP3874852B2 (ja) | 1996-10-01 | 1996-10-01 | 基板搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10109751A true JPH10109751A (ja) | 1998-04-28 |
| JP3874852B2 JP3874852B2 (ja) | 2007-01-31 |
Family
ID=17349906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26057896A Expired - Lifetime JP3874852B2 (ja) | 1996-10-01 | 1996-10-01 | 基板搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3874852B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010062043A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機ｅｌデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
| JP2011187456A (ja) * | 2011-06-15 | 2011-09-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機ｅｌデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
| JP2013001920A (ja) * | 2011-06-14 | 2013-01-07 | Hitachi High-Technologies Corp | スパッタリング装置、スパッタリング装置を用いた成膜装置、およびそれらの成膜方法 |
| CN112442724A (zh) * | 2016-06-30 | 2021-03-05 | 株式会社荏原制作所 | 搬送系统及基板支承构件 |
-
1996
- 1996-10-01 JP JP26057896A patent/JP3874852B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010062043A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機ｅｌデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
| JP2013001920A (ja) * | 2011-06-14 | 2013-01-07 | Hitachi High-Technologies Corp | スパッタリング装置、スパッタリング装置を用いた成膜装置、およびそれらの成膜方法 |
| JP2011187456A (ja) * | 2011-06-15 | 2011-09-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機ｅｌデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
| CN112442724A (zh) * | 2016-06-30 | 2021-03-05 | 株式会社荏原制作所 | 搬送系统及基板支承构件 |
| CN112442724B (zh) * | 2016-06-30 | 2024-02-06 | 株式会社荏原制作所 | 搬送系统及基板支承构件 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3874852B2 (ja) | 2007-01-31 |
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