JPH10111399A - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
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- JPH10111399A JPH10111399A JP8283423A JP28342396A JPH10111399A JP H10111399 A JPH10111399 A JP H10111399A JP 8283423 A JP8283423 A JP 8283423A JP 28342396 A JP28342396 A JP 28342396A JP H10111399 A JPH10111399 A JP H10111399A
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- goniometer
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明はＸ線入射角の走査範囲を簡単に、か
つ、高精度に設定することのできるＸ線回折装置を提供
する。 【解決手段】Ｘ線回折装置１０は、試料１１がスイベル
テーブル１２の先端面に取り付けられ、スイベルテーブ
ル１２はその凸状曲面１２ａと密着する状態でゴニオメ
ータの回転軸１６に取り付けられている。スイベルテー
ブル１２は回転軸１６への取り付け位置に応じてＸ線源
１３からのＸ線１４とのなす入射角θが変化し、試料１
１の面と回転軸１６とのなす角度を任意に設定できる。
入射Ｘ線１４と回転軸１６とは直角（非平行）であり、
試料１１が０〜９０度まで回転する間に、Ｘ線１４の試
料１１への入射角は、０〜θ度まで変化する。ゴニオメ
ータの角精度をΔθとすると、Ｘ線１４の入射角θの精
度はΔθ／９０となり、入射角の走査範囲を簡単に、か
つ、高精度に設定できる。
つ、高精度に設定することのできるＸ線回折装置を提供
する。 【解決手段】Ｘ線回折装置１０は、試料１１がスイベル
テーブル１２の先端面に取り付けられ、スイベルテーブ
ル１２はその凸状曲面１２ａと密着する状態でゴニオメ
ータの回転軸１６に取り付けられている。スイベルテー
ブル１２は回転軸１６への取り付け位置に応じてＸ線源
１３からのＸ線１４とのなす入射角θが変化し、試料１
１の面と回転軸１６とのなす角度を任意に設定できる。
入射Ｘ線１４と回転軸１６とは直角（非平行）であり、
試料１１が０〜９０度まで回転する間に、Ｘ線１４の試
料１１への入射角は、０〜θ度まで変化する。ゴニオメ
ータの角精度をΔθとすると、Ｘ線１４の入射角θの精
度はΔθ／９０となり、入射角の走査範囲を簡単に、か
つ、高精度に設定できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線回折装置に関
し、詳細には、組成分析や結晶構造解析等に用いられる
Ｘ線回折装置に関する。
し、詳細には、組成分析や結晶構造解析等に用いられる
Ｘ線回折装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、Ｘ線回折装置においては、試料
にＸ線を照射し、試料で回折したＸ線をＸ線検出器によ
り検出するが、この検出操作においては、試料を一定の
角速度で間欠的あるいは連続的に回転し、Ｘ線検出器
を、試料の角速度の２倍の角速度で試料を中心として同
じ方向へ間欠的あるいは連続的に回転する。通常、この
ような試料の回転は、θ回転と呼ばれ、Ｘ線検出器の回
転は、２θ回転と呼ばれている。そして、ゴニオメータ
は、このように試料をθ回転させ、Ｘ線検出器を２θ回
転させるための、いわゆる測角器として用いられてい
る。
にＸ線を照射し、試料で回折したＸ線をＸ線検出器によ
り検出するが、この検出操作においては、試料を一定の
角速度で間欠的あるいは連続的に回転し、Ｘ線検出器
を、試料の角速度の２倍の角速度で試料を中心として同
じ方向へ間欠的あるいは連続的に回転する。通常、この
ような試料の回転は、θ回転と呼ばれ、Ｘ線検出器の回
転は、２θ回転と呼ばれている。そして、ゴニオメータ
は、このように試料をθ回転させ、Ｘ線検出器を２θ回
転させるための、いわゆる測角器として用いられてい
る。
【０００３】従来からＸ線回折装置のゴニオメータにお
いては、円筒状の軸部材であるθ回転軸によって試料を
支持し、θ回転軸と同軸な２θ回転軸によってＸ線検出
器を支持している。そして、それらの角回転軸を回転駆
動することによって試料をθ回転させ、さらに、Ｘ線検
出器を２θ回転させている。通常、θ回転軸及び２θ回
転軸は、パルスモータによって駆動される。パルスモー
タから角回転軸に至る回転駆動系としては、角回転軸に
ねじ等によって固着されたギヤと、パルスモータの出力
軸に固着されていて回転軸に固着された上記のギヤに噛
み合うウオームと、を有する駆動系が用いられるのが一
般的である。
いては、円筒状の軸部材であるθ回転軸によって試料を
支持し、θ回転軸と同軸な２θ回転軸によってＸ線検出
器を支持している。そして、それらの角回転軸を回転駆
動することによって試料をθ回転させ、さらに、Ｘ線検
出器を２θ回転させている。通常、θ回転軸及び２θ回
転軸は、パルスモータによって駆動される。パルスモー
タから角回転軸に至る回転駆動系としては、角回転軸に
ねじ等によって固着されたギヤと、パルスモータの出力
軸に固着されていて回転軸に固着された上記のギヤに噛
み合うウオームと、を有する駆動系が用いられるのが一
般的である。
【０００４】そして、高精度のＸ線回折測定を行うに
は、ゴニオメータに用いられるθ回転軸及び２θ回転軸
がきわめて正確なステップ角度または回転角度で回転す
る必要がある。
は、ゴニオメータに用いられるθ回転軸及び２θ回転軸
がきわめて正確なステップ角度または回転角度で回転す
る必要がある。
【０００５】そこで、従来、特開平６−１３０１９４号
公報に記載のＸ線回折装置の微回転ゴニオメータが提案
されており、このＸ線回折装置の微回転ゴニオメータ
は、ゴニオメータの回転軸にアームが固定され、アーム
の先端にはインポリュート曲線からなる平滑面が形成さ
れている。マイクロメータの先端は、尖っていて、平滑
面を押している。マイクロメータを回転させると、スピ
ンドルが移動し、アームは、その移動量に比例する微少
角θだけ回転する。
公報に記載のＸ線回折装置の微回転ゴニオメータが提案
されており、このＸ線回折装置の微回転ゴニオメータ
は、ゴニオメータの回転軸にアームが固定され、アーム
の先端にはインポリュート曲線からなる平滑面が形成さ
れている。マイクロメータの先端は、尖っていて、平滑
面を押している。マイクロメータを回転させると、スピ
ンドルが移動し、アームは、その移動量に比例する微少
角θだけ回転する。
【０００６】また、従来、特開平６−１３０１９５号公
報に記載のＸ線回折装置の微回転ゴニオメータ、特開平
５−２２３９９２号公報に記載のＸ線回折装置用ゴニオ
メータ及び特開平５−２２３９９３号公報に記載のＸ線
回折装置用ゴニオメータ等が提案されている。
報に記載のＸ線回折装置の微回転ゴニオメータ、特開平
５−２２３９９２号公報に記載のＸ線回折装置用ゴニオ
メータ及び特開平５−２２３９９３号公報に記載のＸ線
回折装置用ゴニオメータ等が提案されている。
【０００７】これらの従来のＸ線回折装置のゴニオメー
タは、いずれも試料面と回転軸が平行で、さらに入射Ｘ
線と回転軸が垂直であるという点で共通している。
タは、いずれも試料面と回転軸が平行で、さらに入射Ｘ
線と回転軸が垂直であるという点で共通している。
【０００８】すなわち、図３に示すように、従来のゴニ
オメータは、Ｘ線源１からＸ線２が試料３に照射され、
試料３で回折されたＸ線がＸ線検出器４に入射される。
この試料３の回転軸５は、図３に示すように、Ｘ線２の
入射位置に対して、試料３の面と平行で、入射Ｘ線２と
回転軸５が垂直であり、Ｘ線２の回折角の変化量は、常
に、試料３の回転角の変化量の２倍になる方向に回転す
る。
オメータは、Ｘ線源１からＸ線２が試料３に照射され、
試料３で回折されたＸ線がＸ線検出器４に入射される。
この試料３の回転軸５は、図３に示すように、Ｘ線２の
入射位置に対して、試料３の面と平行で、入射Ｘ線２と
回転軸５が垂直であり、Ｘ線２の回折角の変化量は、常
に、試料３の回転角の変化量の２倍になる方向に回転す
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のゴニオメータにあっては、Ｘ線の入射位置に
対して、試料面と回転軸が平行で、入射Ｘ線と回転軸が
垂直であり、Ｘ線２の回折角の変化量は、常に、試料３
の回転角の変化量の２倍になる方向に回転するようにな
っていたため、試料面に対するＸ線の入射角の走査範囲
を変化させるには、Ｘ線源、試料、ゴニオメータ等の幾
何学的配置を変える必要があり、Ｘ線の入射角の走査範
囲を変化させるための操作が煩雑で、大がかりな作業を
伴い、非常に多くの労力と時間を必要とするという問題
があった。また、従来のゴニオメータは、試料面と回転
軸が平行であったため、ゴニオメータの回転角は、試料
面に対するＸ線の入射角の変化量に等しく、Ｘ線入射角
精度は、ゴニオメータの角精度と同等で、Ｘ線入射角精
度をゴニオメータの角精度以上に向上させることができ
ないという問題があった。さらに、従来のゴニオメータ
においては、試料に入射するＸ線は、試料の回転軸と垂
直であり、その精度が測定精度に大きく影響し、最初の
幾何学的配置の設定には、細心の注意を払う必要があっ
た。
うな従来のゴニオメータにあっては、Ｘ線の入射位置に
対して、試料面と回転軸が平行で、入射Ｘ線と回転軸が
垂直であり、Ｘ線２の回折角の変化量は、常に、試料３
の回転角の変化量の２倍になる方向に回転するようにな
っていたため、試料面に対するＸ線の入射角の走査範囲
を変化させるには、Ｘ線源、試料、ゴニオメータ等の幾
何学的配置を変える必要があり、Ｘ線の入射角の走査範
囲を変化させるための操作が煩雑で、大がかりな作業を
伴い、非常に多くの労力と時間を必要とするという問題
があった。また、従来のゴニオメータは、試料面と回転
軸が平行であったため、ゴニオメータの回転角は、試料
面に対するＸ線の入射角の変化量に等しく、Ｘ線入射角
精度は、ゴニオメータの角精度と同等で、Ｘ線入射角精
度をゴニオメータの角精度以上に向上させることができ
ないという問題があった。さらに、従来のゴニオメータ
においては、試料に入射するＸ線は、試料の回転軸と垂
直であり、その精度が測定精度に大きく影響し、最初の
幾何学的配置の設定には、細心の注意を払う必要があっ
た。
【００１０】そこで、請求項１記載の発明は、試料と回
転軸との間に、試料面と回転軸のなす角を任意に設定可
能とする試料角度調整手段を配設することにより、試料
交換時等の初期設定時の位置微調整の煩雑さを取り除く
とともに、ゴニオメータの有する機械的な角精度以上の
Ｘ線入射角精度を確保して、Ｘ線入射角の走査範囲を簡
単に、かつ、高精度に設定可能なＸ線回折装置を提供す
ることを目的としている。
転軸との間に、試料面と回転軸のなす角を任意に設定可
能とする試料角度調整手段を配設することにより、試料
交換時等の初期設定時の位置微調整の煩雑さを取り除く
とともに、ゴニオメータの有する機械的な角精度以上の
Ｘ線入射角精度を確保して、Ｘ線入射角の走査範囲を簡
単に、かつ、高精度に設定可能なＸ線回折装置を提供す
ることを目的としている。
【００１１】請求項２記載の発明は、試料面と回転軸が
非平行な角度で配設されるとともに、試料と回転軸との
間に、試料面と回転軸のなす角を任意に設定可能とする
試料角度調整手段を配設することにより、試料交換時等
の初期設定時の位置微調整の煩雑さを取り除くととも
に、より一層Ｘ線入射角精度を向上させて、Ｘ線入射角
の走査範囲をより一層簡単に、かつ、高精度に設定可能
なＸ線回折装置を提供することを目的としている。
非平行な角度で配設されるとともに、試料と回転軸との
間に、試料面と回転軸のなす角を任意に設定可能とする
試料角度調整手段を配設することにより、試料交換時等
の初期設定時の位置微調整の煩雑さを取り除くととも
に、より一層Ｘ線入射角精度を向上させて、Ｘ線入射角
の走査範囲をより一層簡単に、かつ、高精度に設定可能
なＸ線回折装置を提供することを目的としている。
【００１２】請求項３記載の発明は、回転軸と試料に入
射するＸ線とのなす角を任意に設定可能な回転軸角度調
整手段をさらに設けることにより、入射Ｘ線とゴニオメ
ータの回転軸のなす角をより一層任意に設定可能とし、
Ｘ線入射角の走査範囲をより一層簡単に、かつ、高精度
に設定可能として、より一層Ｘ線入射角精度を向上させ
ることのできるＸ線回折装置を提供することを目的とし
ている。
射するＸ線とのなす角を任意に設定可能な回転軸角度調
整手段をさらに設けることにより、入射Ｘ線とゴニオメ
ータの回転軸のなす角をより一層任意に設定可能とし、
Ｘ線入射角の走査範囲をより一層簡単に、かつ、高精度
に設定可能として、より一層Ｘ線入射角精度を向上させ
ることのできるＸ線回折装置を提供することを目的とし
ている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明のＸ
線回折装置は、ゴニオメータの回転軸に試料を固定し、
前記回転軸を中心に前記試料を回転させつつＸ線源から
Ｘ線を前記試料に照射して、前記試料で回折された前記
Ｘ線をＸ線検出器に導入するＸ線回折装置において、前
記試料と前記回転軸との間に、前記試料面と前記回転軸
のなす角を任意に設定可能とする試料角度調整手段を配
設することにより、上記目的を達成している。
線回折装置は、ゴニオメータの回転軸に試料を固定し、
前記回転軸を中心に前記試料を回転させつつＸ線源から
Ｘ線を前記試料に照射して、前記試料で回折された前記
Ｘ線をＸ線検出器に導入するＸ線回折装置において、前
記試料と前記回転軸との間に、前記試料面と前記回転軸
のなす角を任意に設定可能とする試料角度調整手段を配
設することにより、上記目的を達成している。
【００１４】上記構成によれば、試料と回転軸との間
に、試料面と回転軸のなす角を任意に設定可能とする試
料角度調整手段を配設しているので、試料交換時等の初
期設定時の位置微調整の煩雑さを取り除くことができる
とともに、ゴニオメータの有する機械的な角精度以上の
Ｘ線入射角精度を確保することができ、Ｘ線入射角の走
査範囲を簡単に、かつ、高精度に設定することができ
る。
に、試料面と回転軸のなす角を任意に設定可能とする試
料角度調整手段を配設しているので、試料交換時等の初
期設定時の位置微調整の煩雑さを取り除くことができる
とともに、ゴニオメータの有する機械的な角精度以上の
Ｘ線入射角精度を確保することができ、Ｘ線入射角の走
査範囲を簡単に、かつ、高精度に設定することができ
る。
【００１５】請求項２記載の発明のＸ線回折装置は、ゴ
ニオメータの回転軸に試料を固定し、前記回転軸を中心
に前記試料を回転させつつＸ線源からＸ線を前記試料に
照射して、前記試料で回折された前記Ｘ線をＸ線検出器
に導入するＸ線回折装置において、前記試料面と前記回
転軸が非平行な角度で配設されているとともに、前記試
料と前記回転軸との間に、前記試料面と前記回転軸のな
す角を任意に設定可能とする試料角度調整手段を配設す
ることにより、上記目的を達成している。
ニオメータの回転軸に試料を固定し、前記回転軸を中心
に前記試料を回転させつつＸ線源からＸ線を前記試料に
照射して、前記試料で回折された前記Ｘ線をＸ線検出器
に導入するＸ線回折装置において、前記試料面と前記回
転軸が非平行な角度で配設されているとともに、前記試
料と前記回転軸との間に、前記試料面と前記回転軸のな
す角を任意に設定可能とする試料角度調整手段を配設す
ることにより、上記目的を達成している。
【００１６】上記構成によれば、試料面と回転軸が非平
行な角度で配設されるとともに、試料と回転軸との間
に、試料面と回転軸のなす角を任意に設定可能とする試
料角度調整手段を配設しているので、試料交換時等の初
期設定時の位置微調整の煩雑さを取り除くことができる
とともに、より一層Ｘ線入射角精度を向上させることが
でき、Ｘ線入射角の走査範囲をより一層簡単に、かつ、
高精度に設定することができる。
行な角度で配設されるとともに、試料と回転軸との間
に、試料面と回転軸のなす角を任意に設定可能とする試
料角度調整手段を配設しているので、試料交換時等の初
期設定時の位置微調整の煩雑さを取り除くことができる
とともに、より一層Ｘ線入射角精度を向上させることが
でき、Ｘ線入射角の走査範囲をより一層簡単に、かつ、
高精度に設定することができる。
【００１７】上記各場合において、例えば、請求項３に
記載するように、前記Ｘ線回折装置は、前記回転軸と前
記試料に入射する前記Ｘ線とのなす角を任意に設定可能
とする回転軸角度調整手段を、さらに備えていてもよ
い。
記載するように、前記Ｘ線回折装置は、前記回転軸と前
記試料に入射する前記Ｘ線とのなす角を任意に設定可能
とする回転軸角度調整手段を、さらに備えていてもよ
い。
【００１８】上記構成によれば、回転軸と試料に入射す
るＸ線とのなす角を任意に設定可能な回転軸角度調整手
段をさらに設けているので、入射Ｘ線とゴニオメータの
回転軸のなす角をより一層任意に設定することができ、
Ｘ線入射角の走査範囲をより一層簡単に、かつ、高精度
に設定することができる。その結果、より一層Ｘ線入射
角精度を向上させることができる。
るＸ線とのなす角を任意に設定可能な回転軸角度調整手
段をさらに設けているので、入射Ｘ線とゴニオメータの
回転軸のなす角をより一層任意に設定することができ、
Ｘ線入射角の走査範囲をより一層簡単に、かつ、高精度
に設定することができる。その結果、より一層Ｘ線入射
角精度を向上させることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。
【００２０】図１は、本発明のＸ線回折装置の第１の実
施の形態を示す図であり、図１は、本発明のＸ線回折装
置の第１の実施の形態を適用したＸ線回折装置１０の要
部構成図である。
施の形態を示す図であり、図１は、本発明のＸ線回折装
置の第１の実施の形態を適用したＸ線回折装置１０の要
部構成図である。
【００２１】図１において、Ｘ線回折装置１０は、Ｘ線
回折の対象である試料１１がスイベルテーブル（試料角
度調整手段）１２の先端に取り付けられており、試料１
１には、Ｘ線源１３からＸ線１４が照射される。試料１
１に対してＸ線源１３と反対側には、Ｘ線検出器１５が
配設されており、Ｘ線源１３から試料１１に照射された
Ｘ線１４は、試料１１で回折されて、Ｘ線検出器１５に
導入される。
回折の対象である試料１１がスイベルテーブル（試料角
度調整手段）１２の先端に取り付けられており、試料１
１には、Ｘ線源１３からＸ線１４が照射される。試料１
１に対してＸ線源１３と反対側には、Ｘ線検出器１５が
配設されており、Ｘ線源１３から試料１１に照射された
Ｘ線１４は、試料１１で回折されて、Ｘ線検出器１５に
導入される。
【００２２】上記スイベルテーブル１２は、その試料１
１の取り付けられた側と反対側の端部が、所定の曲率を
有し外方に突出した凸状の曲面（以下、凸状曲面）１２
ａに形成されており、この凸状曲面１２ａに図示しない
ゴニオメータの回転軸１６の先端が取り付けられてい
る。すなわち、回転軸１６は、その先端が上記スイベル
テーブル１２の凸状曲面１２ａと密着する凹状の曲面に
形成されており、この凹状曲面とスイベルテーブル１２
の凸状曲面１２ａとが密着した状態で、図１中一点鎖線
で示す軸中心１６ａを中心として矢印で示す方向にスイ
ベルテーブル１２を回転させる。
１の取り付けられた側と反対側の端部が、所定の曲率を
有し外方に突出した凸状の曲面（以下、凸状曲面）１２
ａに形成されており、この凸状曲面１２ａに図示しない
ゴニオメータの回転軸１６の先端が取り付けられてい
る。すなわち、回転軸１６は、その先端が上記スイベル
テーブル１２の凸状曲面１２ａと密着する凹状の曲面に
形成されており、この凹状曲面とスイベルテーブル１２
の凸状曲面１２ａとが密着した状態で、図１中一点鎖線
で示す軸中心１６ａを中心として矢印で示す方向にスイ
ベルテーブル１２を回転させる。
【００２３】いま、入射Ｘ線１４は、図１の紙面と平行
で、試料１１の回転中心、すなわち、回転軸１６もまた
紙面に対して平行であり、入射Ｘ線１４と回転軸１６と
は、直角である。
で、試料１１の回転中心、すなわち、回転軸１６もまた
紙面に対して平行であり、入射Ｘ線１４と回転軸１６と
は、直角である。
【００２４】そして、スイベルテーブル１２は、図１に
矢印で示すように、その凸状曲面１２ａの範囲で回転軸
１６に密着しつつ移動可能となっており、スイベルテー
ブル１２を、その凸状曲面１２ａの範囲内で回転軸１６
との密着位置を変化させることにより、スイベルテーブ
ル１２に取り付けられている試料１１の回転軸１６に対
する角度、すなわち、入射Ｘ線１４とのなす角度（以
下、入射角）θを変化させることができる。
矢印で示すように、その凸状曲面１２ａの範囲で回転軸
１６に密着しつつ移動可能となっており、スイベルテー
ブル１２を、その凸状曲面１２ａの範囲内で回転軸１６
との密着位置を変化させることにより、スイベルテーブ
ル１２に取り付けられている試料１１の回転軸１６に対
する角度、すなわち、入射Ｘ線１４とのなす角度（以
下、入射角）θを変化させることができる。
【００２５】次に、本実施の形態の作用について、以
下、説明する。図１において、Ｘ線回折装置１０は、試
料１１がスイベルテーブル１２の先端面に取り付けら
れ、スイベルテーブル１２は、その凸状曲面１２ａと密
着する状態でゴニオメータの回転軸１６に取り付けられ
ている。
下、説明する。図１において、Ｘ線回折装置１０は、試
料１１がスイベルテーブル１２の先端面に取り付けら
れ、スイベルテーブル１２は、その凸状曲面１２ａと密
着する状態でゴニオメータの回転軸１６に取り付けられ
ている。
【００２６】したがって、スイベルテーブル１２は、回
転軸１６への取り付け位置に応じて、Ｘ線源１３から照
射されるＸ線１４とのなす角（入射角）θが変化し、回
折対象である試料１１の種類や回折目的等に応じて、ス
イベルテーブル１２の回転軸１６への取り付け位置を適
宜調整することにより、試料１１の面（以下、試料面）
と回転軸１６とのなす角度を任意に設定することができ
る。
転軸１６への取り付け位置に応じて、Ｘ線源１３から照
射されるＸ線１４とのなす角（入射角）θが変化し、回
折対象である試料１１の種類や回折目的等に応じて、ス
イベルテーブル１２の回転軸１６への取り付け位置を適
宜調整することにより、試料１１の面（以下、試料面）
と回転軸１６とのなす角度を任意に設定することができ
る。
【００２７】そして、いま、Ｘ線１４は、図１の紙面と
平行で、試料１１の回転中心、すなわち、回転軸１６も
また紙面に対して平行であり、入射Ｘ線１４と回転軸１
６とは、直角、すなわち、非平行である。
平行で、試料１１の回転中心、すなわち、回転軸１６も
また紙面に対して平行であり、入射Ｘ線１４と回転軸１
６とは、直角、すなわち、非平行である。
【００２８】したがって、試料１１が紙面に対し直角で
あるとき、Ｘ線１４の試料１１への入射角は最大で、θ
となり、この状態から試料１１を９０度回転させると、
Ｘ線１４の試料１１への入射角は、０度で最低となる。
あるとき、Ｘ線１４の試料１１への入射角は最大で、θ
となり、この状態から試料１１を９０度回転させると、
Ｘ線１４の試料１１への入射角は、０度で最低となる。
【００２９】すなわち、試料１１が０〜９０度まで回転
する間に、Ｘ線１４の試料１１への入射角は、０〜θ度
まで変化し、ゴニオメータの角精度を、Δθとすると、
Ｘ線１４の入射角θの精度は、Δθ／９０となり、図３
に示した従来の配置のＸ線回折装置よりも遙かに高い入
射角精度を得ることができる。
する間に、Ｘ線１４の試料１１への入射角は、０〜θ度
まで変化し、ゴニオメータの角精度を、Δθとすると、
Ｘ線１４の入射角θの精度は、Δθ／９０となり、図３
に示した従来の配置のＸ線回折装置よりも遙かに高い入
射角精度を得ることができる。
【００３０】そして、上述のように、Ｘ線１４の試料１
１への入射角θの走査範囲を変える場合、スイベルテー
ブル１２の回転軸１６への取り付け位置を調整すること
により、入射角θの設定値を変えることができる。
１への入射角θの走査範囲を変える場合、スイベルテー
ブル１２の回転軸１６への取り付け位置を調整すること
により、入射角θの設定値を変えることができる。
【００３１】したがって、試料１１の交換時の位置の微
調整の煩雑さを取り除くことができ、ゴニオメータの持
っている機械的な角精度以上のＸ線１４の試料１１への
入射角精度を得ることができる。その結果、Ｘ線１４の
試料１１への入射角θの走査範囲を簡単に、かつ、高精
度に設定することができる。
調整の煩雑さを取り除くことができ、ゴニオメータの持
っている機械的な角精度以上のＸ線１４の試料１１への
入射角精度を得ることができる。その結果、Ｘ線１４の
試料１１への入射角θの走査範囲を簡単に、かつ、高精
度に設定することができる。
【００３２】また、入射Ｘ線１４とゴニオメータの回転
軸１６が平行ではないため、Ｘ線回折装置１０の初期設
定時の煩雑な微調整を省くことができるとともに、より
一層角精度を向上させることができる。
軸１６が平行ではないため、Ｘ線回折装置１０の初期設
定時の煩雑な微調整を省くことができるとともに、より
一層角精度を向上させることができる。
【００３３】図２は、本発明のＸ線回折装置の第２の実
施の形態を示す図であり、図２は、本発明のＸ線回折装
置の第２の実施の形態を適用したＸ線回折装置２０の要
部構成図である。なお、本実施の形態は、上記第１の実
施の形態と同様のＸ線回折装置に適用したものであり、
本実施の形態の説明においては、上記第１の実施の形態
と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細
な説明を省略する。
施の形態を示す図であり、図２は、本発明のＸ線回折装
置の第２の実施の形態を適用したＸ線回折装置２０の要
部構成図である。なお、本実施の形態は、上記第１の実
施の形態と同様のＸ線回折装置に適用したものであり、
本実施の形態の説明においては、上記第１の実施の形態
と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細
な説明を省略する。
【００３４】図２においては、Ｘ線回折装置２０は、試
料１１がスイベルテーブル１２の先端に取り付けられて
おり、試料１１には、Ｘ線源１３からＸ線１４が照射さ
れる。試料１１に対してＸ線源１３と反対側には、Ｘ線
検出器１５が配設されており、Ｘ線源１３から試料１１
に照射されたＸ線１４は、試料１１で回折されて、Ｘ線
検出器１５に導入される。
料１１がスイベルテーブル１２の先端に取り付けられて
おり、試料１１には、Ｘ線源１３からＸ線１４が照射さ
れる。試料１１に対してＸ線源１３と反対側には、Ｘ線
検出器１５が配設されており、Ｘ線源１３から試料１１
に照射されたＸ線１４は、試料１１で回折されて、Ｘ線
検出器１５に導入される。
【００３５】スイベルテーブル１２の凸状曲面１２ａに
は、ゴニオメータ２１の回転軸１６の先端が取り付けら
れており、スイベルテーブル１２は、回転軸１６に対し
て図２中矢印で示す方向に位置調整可能となっている。
したがって、スイベルテーブル１２を、その凸状曲面１
２ａの範囲内で回転軸１６との密着位置を変化させるこ
とにより、スイベルテーブル１２に取り付けられている
試料１１の回転軸１６に対する角度、すなわち、Ｘ線１
４とのなす角（入射角）θを変化させることができる。
また、Ｘ線１４は、図２の紙面と平行で、試料１１の回
転中心、すなわち、回転軸１６もまた紙面に対して平行
であり、Ｘ線１４と回転軸１６とは、直角（非平行）で
ある。
は、ゴニオメータ２１の回転軸１６の先端が取り付けら
れており、スイベルテーブル１２は、回転軸１６に対し
て図２中矢印で示す方向に位置調整可能となっている。
したがって、スイベルテーブル１２を、その凸状曲面１
２ａの範囲内で回転軸１６との密着位置を変化させるこ
とにより、スイベルテーブル１２に取り付けられている
試料１１の回転軸１６に対する角度、すなわち、Ｘ線１
４とのなす角（入射角）θを変化させることができる。
また、Ｘ線１４は、図２の紙面と平行で、試料１１の回
転中心、すなわち、回転軸１６もまた紙面に対して平行
であり、Ｘ線１４と回転軸１６とは、直角（非平行）で
ある。
【００３６】上記ゴニオメータ２１は、スイベルテーブ
ル（回転軸角度調整手段）２２を介して固定台２３に取
り付けられている。すなわち、ゴニオメータ２１には、
スイベルテーブル２２が固定されており、スイベルテー
ブル２２は、スイベルテーブル２２の凸状曲面２２ａと
固定台２３のスイベルテーブル２２側に形成された凹状
曲面が密着する状態で、固定台２３に取り付けられてい
る。したがって、ゴニオメータ２１は、スイベルテーブ
ル２２を介して固定台２３に対して図２中矢印で示す方
向に移動可能となっている。
ル（回転軸角度調整手段）２２を介して固定台２３に取
り付けられている。すなわち、ゴニオメータ２１には、
スイベルテーブル２２が固定されており、スイベルテー
ブル２２は、スイベルテーブル２２の凸状曲面２２ａと
固定台２３のスイベルテーブル２２側に形成された凹状
曲面が密着する状態で、固定台２３に取り付けられてい
る。したがって、ゴニオメータ２１は、スイベルテーブ
ル２２を介して固定台２３に対して図２中矢印で示す方
向に移動可能となっている。
【００３７】したがって、Ｘ線回折装置２０は、上記第
１の実施の形態と同様に、スイベルテーブル１２を、図
２に矢印で示すように、その凸状曲面１２ａの範囲で回
転軸１６に密着させつつ移動可能となっており、スイベ
ルテーブル１２を、その凸状曲面１２ａの範囲内で回転
軸１６との密着位置を変化させることにより、スイベル
テーブル１２に取り付けられている試料１１の回転軸１
６に対する角度、すなわち、入射Ｘ線１４とのなす角度
θを変化させることができるとともに、ゴニオメータ２
１をスイベルテーブル２２を介して固定台２３に対し
て、図２中矢印方向に移動可能となっており、ゴニオメ
ータ２１に固定されているスイベルテーブル２２をその
凸状曲面２２ａの範囲内で固定台２３との密着位置を変
化させることにより、ゴニオメータ２１の回転軸１６と
入射Ｘ線１４とのなす角度を任意に調整することができ
る。
１の実施の形態と同様に、スイベルテーブル１２を、図
２に矢印で示すように、その凸状曲面１２ａの範囲で回
転軸１６に密着させつつ移動可能となっており、スイベ
ルテーブル１２を、その凸状曲面１２ａの範囲内で回転
軸１６との密着位置を変化させることにより、スイベル
テーブル１２に取り付けられている試料１１の回転軸１
６に対する角度、すなわち、入射Ｘ線１４とのなす角度
θを変化させることができるとともに、ゴニオメータ２
１をスイベルテーブル２２を介して固定台２３に対し
て、図２中矢印方向に移動可能となっており、ゴニオメ
ータ２１に固定されているスイベルテーブル２２をその
凸状曲面２２ａの範囲内で固定台２３との密着位置を変
化させることにより、ゴニオメータ２１の回転軸１６と
入射Ｘ線１４とのなす角度を任意に調整することができ
る。
【００３８】本実施の形態によれば、上記実施の形態と
同様に、スイベルテーブル１２の回転軸１６への取り付
け位置を調整することにより、入射角θの設定値を変え
ることができ、試料１１の交換時の位置の微調整の煩雑
さを取り除くことができる。したがって、ゴニオメータ
２１の持っている機械的な角精度以上のＸ線１４の試料
１１への入射角精度を得ることができ、Ｘ線１４の試料
１１への入射角θの走査範囲を簡単に、かつ、高精度に
設定することができる。
同様に、スイベルテーブル１２の回転軸１６への取り付
け位置を調整することにより、入射角θの設定値を変え
ることができ、試料１１の交換時の位置の微調整の煩雑
さを取り除くことができる。したがって、ゴニオメータ
２１の持っている機械的な角精度以上のＸ線１４の試料
１１への入射角精度を得ることができ、Ｘ線１４の試料
１１への入射角θの走査範囲を簡単に、かつ、高精度に
設定することができる。
【００３９】また、本実施の形態においては、ゴニオメ
ータ２１に固定されているスイベルテーブル２２をその
凸状曲面２２ａの範囲内で固定台２３との密着位置を変
化させることにより、ゴニオメータ２１の回転軸１６と
入射Ｘ線１４とのなす角度を任意に調整することがで
き、入射Ｘ線１４の走査範囲をより一層広範囲に、か
つ、簡単に設定することができる。その結果、より一層
Ｘ線入射角精度を向上させることができる。
ータ２１に固定されているスイベルテーブル２２をその
凸状曲面２２ａの範囲内で固定台２３との密着位置を変
化させることにより、ゴニオメータ２１の回転軸１６と
入射Ｘ線１４とのなす角度を任意に調整することがで
き、入射Ｘ線１４の走査範囲をより一層広範囲に、か
つ、簡単に設定することができる。その結果、より一層
Ｘ線入射角精度を向上させることができる。
【００４０】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
【００４１】
【発明の効果】請求項１記載の発明のＸ線回折装置によ
れば、試料と回転軸との間に、試料面と回転軸のなす角
を任意に設定可能とする試料角度調整手段を配設してい
るので、試料交換時等の初期設定時の位置微調整の煩雑
さを取り除くことができるとともに、ゴニオメータの有
する機械的な角精度以上のＸ線入射角精度を確保するこ
とができ、Ｘ線入射角の走査範囲を簡単に、かつ、高精
度に設定することができる。
れば、試料と回転軸との間に、試料面と回転軸のなす角
を任意に設定可能とする試料角度調整手段を配設してい
るので、試料交換時等の初期設定時の位置微調整の煩雑
さを取り除くことができるとともに、ゴニオメータの有
する機械的な角精度以上のＸ線入射角精度を確保するこ
とができ、Ｘ線入射角の走査範囲を簡単に、かつ、高精
度に設定することができる。
【００４２】請求項２記載の発明のＸ線回折装置によれ
ば、試料面と回転軸が非平行な角度で配設されるととも
に、試料と回転軸との間に、試料面と回転軸のなす角を
任意に設定可能とする試料角度調整手段を配設している
ので、試料交換時等の初期設定時の位置微調整の煩雑さ
を取り除くことができるとともに、より一層Ｘ線入射角
精度を向上させることができ、Ｘ線入射角の走査範囲を
より一層簡単に、かつ、高精度に設定することができ
る。
ば、試料面と回転軸が非平行な角度で配設されるととも
に、試料と回転軸との間に、試料面と回転軸のなす角を
任意に設定可能とする試料角度調整手段を配設している
ので、試料交換時等の初期設定時の位置微調整の煩雑さ
を取り除くことができるとともに、より一層Ｘ線入射角
精度を向上させることができ、Ｘ線入射角の走査範囲を
より一層簡単に、かつ、高精度に設定することができ
る。
【００４３】請求項３記載の発明のＸ線回折装置によれ
ば、回転軸と試料に入射するＸ線とのなす角を任意に設
定可能な回転軸角度調整手段をさらに設けているので、
入射Ｘ線とゴニオメータの回転軸のなす角をより一層任
意に設定することができ、Ｘ線入射角の走査範囲をより
一層簡単に、かつ、高精度に設定することができる。そ
の結果、より一層Ｘ線入射角精度を向上させることがで
きる。
ば、回転軸と試料に入射するＸ線とのなす角を任意に設
定可能な回転軸角度調整手段をさらに設けているので、
入射Ｘ線とゴニオメータの回転軸のなす角をより一層任
意に設定することができ、Ｘ線入射角の走査範囲をより
一層簡単に、かつ、高精度に設定することができる。そ
の結果、より一層Ｘ線入射角精度を向上させることがで
きる。
【図１】本発明のＸ線回折装置の第１の実施の形態を適
用したＸ線回折装置の要部構成図。
用したＸ線回折装置の要部構成図。
【図２】本発明のＸ線回折装置の第２の実施の形態を適
用したＸ線回折装置の要部構成図。
用したＸ線回折装置の要部構成図。
【図３】従来のＸ線回折装置の一例の要部構成図。
１０ Ｘ線回折装置 １１ 試料 １２ スイベルテーブル １２ａ 凸状曲面 １３ Ｘ線源 １４ Ｘ線 １５ Ｘ線検出器 １６ 回転軸 １６ａ 軸中心 ２０ Ｘ線回折装置 ２１ ゴニオメータ ２２ スイベルテーブル ２２ａ 凸状曲面 ２３ 固定台
Claims (3)
- 【請求項１】ゴニオメータの回転軸に試料を固定し、前
記回転軸を中心に前記試料を回転させつつＸ線源からＸ
線を前記試料に照射して、前記試料で回折された前記Ｘ
線をＸ線検出器に導入するＸ線回折装置において、前記
試料と前記回転軸との間に、前記試料面と前記回転軸の
なす角を任意に設定可能とする試料角度調整手段を配設
したことを特徴とするＸ線回折装置。 - 【請求項２】ゴニオメータの回転軸に試料を固定し、前
記回転軸を中心に前記試料を回転させつつＸ線源からＸ
線を前記試料に照射して、前記試料で回折された前記Ｘ
線をＸ線検出器に導入するＸ線回折装置において、前記
試料面と前記回転軸が非平行な角度で配設されていると
ともに、前記試料と前記回転軸との間に、前記試料面と
前記回転軸のなす角を任意に設定可能とする試料角度調
整手段を配設したことを特徴とするＸ線回折装置。 - 【請求項３】前記Ｘ線回折装置は、前記回転軸と前記試
料に入射する前記Ｘ線とのなす角を任意に設定可能とす
る回転軸角度調整手段を、さらに備えたことを特徴とす
る請求項１または請求項２記載のＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8283423A JPH10111399A (ja) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8283423A JPH10111399A (ja) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | Ｘ線回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10111399A true JPH10111399A (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=17665347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8283423A Pending JPH10111399A (ja) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10111399A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014122860A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 単結晶ウェハの結晶方位測定用治具 |
-
1996
- 1996-10-04 JP JP8283423A patent/JPH10111399A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014122860A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 単結晶ウェハの結晶方位測定用治具 |
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