JPH10113502A - 高純度液体状態の低温流体を生成する方法および装置 - Google Patents
高純度液体状態の低温流体を生成する方法および装置Info
- Publication number
- JPH10113502A JPH10113502A JP9149654A JP14965497A JPH10113502A JP H10113502 A JPH10113502 A JP H10113502A JP 9149654 A JP9149654 A JP 9149654A JP 14965497 A JP14965497 A JP 14965497A JP H10113502 A JPH10113502 A JP H10113502A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adsorbent
- liquid state
- conduit
- zeolite
- cryogenic fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 119
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 185
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 104
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims abstract description 44
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 38
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical class O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 claims description 23
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 18
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 16
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 14
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 8
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- -1 silver ions Chemical class 0.000 claims description 4
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 claims description 2
- SYBFKRWZBUQDGU-UHFFFAOYSA-N copper manganese(2+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[O--].[Mn++].[Cu++] SYBFKRWZBUQDGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 229910052680 mordenite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 claims 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010926 purge Methods 0.000 abstract description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 8
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 6
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 6
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 5
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 5
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N methane;hydrate Chemical compound C.O VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002829 nitrogen Chemical class 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000007420 reactivation Effects 0.000 description 1
- 238000003303 reheating Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/04—Purification or separation of nitrogen
- C01B21/0405—Purification or separation processes
- C01B21/0433—Physical processing only
- C01B21/045—Physical processing only by adsorption in solids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/04—Purification or separation of nitrogen
- C01B21/0405—Purification or separation processes
- C01B21/0433—Physical processing only
- C01B21/045—Physical processing only by adsorption in solids
- C01B21/0455—Physical processing only by adsorption in solids characterised by the adsorbent
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
- C01B23/001—Purification or separation processes of noble gases
- C01B23/0036—Physical processing only
- C01B23/0052—Physical processing only by adsorption in solids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
- C01B23/001—Purification or separation processes of noble gases
- C01B23/0036—Physical processing only
- C01B23/0052—Physical processing only by adsorption in solids
- C01B23/0057—Physical processing only by adsorption in solids characterised by the adsorbent
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0029—Obtaining noble gases
- C01B2210/0031—Helium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0029—Obtaining noble gases
- C01B2210/0034—Argon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0043—Impurity removed
- C01B2210/0045—Oxygen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0043—Impurity removed
- C01B2210/005—Carbon monoxide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0043—Impurity removed
- C01B2210/0053—Hydrogen
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
- F25J2205/60—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using adsorption on solid adsorbents, e.g. by temperature-swing adsorption [TSA] at the hot or cold end
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
- F25J2205/82—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using a reactor with combustion or catalytic reaction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
- F25J2215/30—Helium
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
- F25J2215/42—Nitrogen or special cases, e.g. multiple or low purity N2
- F25J2215/44—Ultra high purity nitrogen, i.e. generally less than 1 ppb impurities
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
- F25J2215/58—Argon
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2290/00—Other details not covered by groups F25J2200/00 - F25J2280/00
- F25J2290/62—Details of storing a fluid in a tank
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S62/00—Refrigeration
- Y10S62/902—Apparatus
- Y10S62/908—Filter or absorber
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
- Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高純度液体状態の低温流体を生成する方法お
よび装置を提供する。 【解決手段】 含有する不純物のうち、少なくとも１つ
の不純物が実質的に除去された、高純度の液体アルゴ
ン、液体ヘリウムもしくは液体窒素のような、高純度液
体状態の低温流体を生成する方法であって、精製すべき
液体状態の低温流体を、前記不純物のうちの少なくとも
１つの不純物を吸着する吸着剤と接触させ、前記低温流
体を高純度液体の状態にて回収する方法において、吸着
剤の少なくとも一部分の冷却を、液体状態の精製された
低温流体によって、引き続く精製サイクルＮと精製サイ
クルＮ＋１とを分離している停止段階時間の少なくとも
一部の間中、維持することを特徴とする方法。
よび装置を提供する。 【解決手段】 含有する不純物のうち、少なくとも１つ
の不純物が実質的に除去された、高純度の液体アルゴ
ン、液体ヘリウムもしくは液体窒素のような、高純度液
体状態の低温流体を生成する方法であって、精製すべき
液体状態の低温流体を、前記不純物のうちの少なくとも
１つの不純物を吸着する吸着剤と接触させ、前記低温流
体を高純度液体の状態にて回収する方法において、吸着
剤の少なくとも一部分の冷却を、液体状態の精製された
低温流体によって、引き続く精製サイクルＮと精製サイ
クルＮ＋１とを分離している停止段階時間の少なくとも
一部の間中、維持することを特徴とする方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高純度液体状態の
低温（ｃｒｙｏｇｅｎｉｃ）流体、特に、高純度の、す
なわち含有している不純物のうちの、特に、水素、一酸
化炭素もしくは酸素系のうちの、少なくとも１つの不純
物が除去された、液体ヘリウム、液体アルゴン、もしく
は液体窒素を生成する分野に関する。
低温（ｃｒｙｏｇｅｎｉｃ）流体、特に、高純度の、す
なわち含有している不純物のうちの、特に、水素、一酸
化炭素もしくは酸素系のうちの、少なくとも１つの不純
物が除去された、液体ヘリウム、液体アルゴン、もしく
は液体窒素を生成する分野に関する。
【０００２】特に、本発明は、高純度液体状態の低温流
体、特に、高純度の液体ヘリウム、液体アルゴン、また
は液体窒素を生成する方法および装置の改善に関する。
体、特に、高純度の液体ヘリウム、液体アルゴン、また
は液体窒素を生成する方法および装置の改善に関する。
【０００３】
【従来の技術】液体もしくは気体の窒素は、通常、空気
を低温蒸留することにより生成される。蒸留は、１つも
しくはそれ以上の蒸留塔を収容するコールドボックスの
中で行われる。このようにして得られた窒素は、そのほ
とんどの用途に対して十分な純度を有している。しかし
ながら、エレクトロニクス産業、特に半導体もしくはそ
の他の部品の製造、または製薬産業、特に分析もしくは
研究用途のような産業分野においては、高純度の液体窒
素が要求されている。用途によっては、液体窒素は、そ
の不純物である水素、酸素もしくは一酸化炭素のうち、
少なくとも１つの不純物については、かなり除去されて
いなければならない。
を低温蒸留することにより生成される。蒸留は、１つも
しくはそれ以上の蒸留塔を収容するコールドボックスの
中で行われる。このようにして得られた窒素は、そのほ
とんどの用途に対して十分な純度を有している。しかし
ながら、エレクトロニクス産業、特に半導体もしくはそ
の他の部品の製造、または製薬産業、特に分析もしくは
研究用途のような産業分野においては、高純度の液体窒
素が要求されている。用途によっては、液体窒素は、そ
の不純物である水素、酸素もしくは一酸化炭素のうち、
少なくとも１つの不純物については、かなり除去されて
いなければならない。
【０００４】すなわち、液体窒素中に存在する不純物の
割合は、数ｐｐｂ（体積で１０億部当たりの部）を越え
てはならない。
割合は、数ｐｐｂ（体積で１０億部当たりの部）を越え
てはならない。
【０００５】水素もしくは一酸化炭素のような不純物
は、蒸留すべき空気から除去するか、もしくは低温蒸留
によって、気体窒素から除去することができる。
は、蒸留すべき空気から除去するか、もしくは低温蒸留
によって、気体窒素から除去することができる。
【０００６】上述の目的のために、すでに精製方法がい
くつか提案されてきた。たとえば、米国特許第 4,869,8
83号においては、触媒の存在下で、前記不純物を十分な
量の酸素と反応させて酸化させ、発生した水もしくは二
酸化炭素を、続いて吸着することにより除去している。
くつか提案されてきた。たとえば、米国特許第 4,869,8
83号においては、触媒の存在下で、前記不純物を十分な
量の酸素と反応させて酸化させ、発生した水もしくは二
酸化炭素を、続いて吸着することにより除去している。
【０００７】特許出願JP-A-05/079754においては、液体
窒素中に存在する二酸化炭素、水、および一酸化炭素不
純物を除去する方法が説明されている。
窒素中に存在する二酸化炭素、水、および一酸化炭素不
純物を除去する方法が説明されている。
【０００８】この方法によれば、空気蒸留塔から流出し
た液体窒素を、不純物を吸収するためにタイプＡの合成
ゼオライトが充填された吸着塔へと運び、そして蒸留塔
へと戻している。
た液体窒素を、不純物を吸収するためにタイプＡの合成
ゼオライトが充填された吸着塔へと運び、そして蒸留塔
へと戻している。
【０００９】特許出願ＦＲ第93 15958においては、液体
窒素を精製して、高純度の、つまり、水素、一酸化炭素
および酸素不純物のうちの少なくとも１つの不純物が実
質的に除去された、液体窒素を生成するために、液体窒
素を直接処理する方法が説明されている。この方法にお
いては、精製すべき液体窒素を、前記不純物のうちの少
なくとも１つの不純物を吸着する吸着剤と接触させ、次
に、生成された高純度窒素を回収する。この方法におい
て用いられる吸着剤は、天然および合成のゼオライト、
および多孔質金属酸化物からなる群の中から選ばれる。
窒素を精製して、高純度の、つまり、水素、一酸化炭素
および酸素不純物のうちの少なくとも１つの不純物が実
質的に除去された、液体窒素を生成するために、液体窒
素を直接処理する方法が説明されている。この方法にお
いては、精製すべき液体窒素を、前記不純物のうちの少
なくとも１つの不純物を吸着する吸着剤と接触させ、次
に、生成された高純度窒素を回収する。この方法におい
て用いられる吸着剤は、天然および合成のゼオライト、
および多孔質金属酸化物からなる群の中から選ばれる。
【００１０】その他にも、液体状態にある他の低温流
体、もしくは低温「液体」を精製する同様の方法があ
る。このような流体としては、液体ヘリウムもしくは液
体アルゴンがあり、これらは、特にエレクトロニクス産
業において使用される。
体、もしくは低温「液体」を精製する同様の方法があ
る。このような流体としては、液体ヘリウムもしくは液
体アルゴンがあり、これらは、特にエレクトロニクス産
業において使用される。
【００１１】しかし、このような従来の方法において
は、高純度液体窒素、ヘリウム、もしくはアルゴンのよ
うな高純度低温「液体」を生成することは可能ではある
が、連続して動作させた際、引き続く段階またはサイク
ルの精製工程のもとで動作させる時に、問題が発生す
る。これら引き続く段階またはサイクルの精製工程は、
時間が長いかもしくは短い、精製装置の停止時間により
分離されており、すなわち、不連続動作となっている。
以上のことは、一般に生産現場において起こるケースで
ある。
は、高純度液体窒素、ヘリウム、もしくはアルゴンのよ
うな高純度低温「液体」を生成することは可能ではある
が、連続して動作させた際、引き続く段階またはサイク
ルの精製工程のもとで動作させる時に、問題が発生す
る。これら引き続く段階またはサイクルの精製工程は、
時間が長いかもしくは短い、精製装置の停止時間により
分離されており、すなわち、不連続動作となっている。
以上のことは、一般に生産現場において起こるケースで
ある。
【００１２】実際、たとえば、生産現場で使用される液
体窒素は、生産現場で必要に応じて直接製造されて、そ
して直ちに使用されるか、もしくは後で使用するために
貯蔵される。または現場以外で製造されて、たとえばト
ラックにより、使用する現場へと運ばれる。
体窒素は、生産現場で必要に応じて直接製造されて、そ
して直ちに使用されるか、もしくは後で使用するために
貯蔵される。または現場以外で製造されて、たとえばト
ラックにより、使用する現場へと運ばれる。
【００１３】しかし、窒素から連続的に不純物が除去さ
れることは、極めて希である。このような精製は、一般
に、引き続く精製段階もしくはサイクルのもとで行われ
るが、これらは、多かれ少なかれ、時間的に分離されて
いる。
れることは、極めて希である。このような精製は、一般
に、引き続く精製段階もしくはサイクルのもとで行われ
るが、これらは、多かれ少なかれ、時間的に分離されて
いる。
【００１４】一例を挙げると、窒素を現場以外で製造し
て、その窒素をトラックにより現場へ運ぶ場合がある。
トラックから取り出された液体窒素は、一番最初に、精
製すべき液体窒素中に存在する不純物を除去するための
装置へと移される。このような装置は、通常、反応容器
と呼ばれる。ここで、窒素中の不純物を選択的に捕捉す
る吸着剤と接触させることにより、液体窒素の精製が行
われる。このようにして得られた高純度窒素は、次に、
使用する場所へと運ばれるか、もしくは、より一般的
に、後に使用されるまで貯蔵場所へと運ばれる。このよ
うに、精製段階は、トラックから液体窒素が取り出され
ている間（すなわち、１時間から数時間）のみ続き、取
り出しが完了した時点で終了する。
て、その窒素をトラックにより現場へ運ぶ場合がある。
トラックから取り出された液体窒素は、一番最初に、精
製すべき液体窒素中に存在する不純物を除去するための
装置へと移される。このような装置は、通常、反応容器
と呼ばれる。ここで、窒素中の不純物を選択的に捕捉す
る吸着剤と接触させることにより、液体窒素の精製が行
われる。このようにして得られた高純度窒素は、次に、
使用する場所へと運ばれるか、もしくは、より一般的
に、後に使用されるまで貯蔵場所へと運ばれる。このよ
うに、精製段階は、トラックから液体窒素が取り出され
ている間（すなわち、１時間から数時間）のみ続き、取
り出しが完了した時点で終了する。
【００１５】新たな精製段階は、次のトラックから液体
窒素が取り出されている時にのみ行われる。これは、多
かれ少なかれ、時間的に離れている。さて、２つの引き
続く精製段階もしくはサイクルの間の停止段階が長時間
続くと、一般に、反応容器中に存在する吸着剤に捕捉さ
れた不純物フロント部が移行することが見られている。
この移行は、反応容器に熱が加えられた結果、吸着剤が
再加熱されるためである。
窒素が取り出されている時にのみ行われる。これは、多
かれ少なかれ、時間的に離れている。さて、２つの引き
続く精製段階もしくはサイクルの間の停止段階が長時間
続くと、一般に、反応容器中に存在する吸着剤に捕捉さ
れた不純物フロント部が移行することが見られている。
この移行は、反応容器に熱が加えられた結果、吸着剤が
再加熱されるためである。
【００１６】言い換えれば、２つの引き続く精製段階Ｎ
とＮ＋１の間の停止段階の経過時間が長くなるほど、反
応容器の下流側で再発生する不純物の量が増える。従っ
て、２つの引き続く精製段階の間で起る不純物フロント
部のこのような移行は、高純度窒素を生成して保存する
上において、支障をきたすものである。実際、精製段階
Ｎ＋１の間に不純物（特に、一酸化炭素および酸素）が
精製されている液体窒素は、その前の精製段階、つま
り、Ｎ、Ｎ−１などの間に放出された不純物によって汚
染されたものとなる。
とＮ＋１の間の停止段階の経過時間が長くなるほど、反
応容器の下流側で再発生する不純物の量が増える。従っ
て、２つの引き続く精製段階の間で起る不純物フロント
部のこのような移行は、高純度窒素を生成して保存する
上において、支障をきたすものである。実際、精製段階
Ｎ＋１の間に不純物（特に、一酸化炭素および酸素）が
精製されている液体窒素は、その前の精製段階、つま
り、Ｎ、Ｎ−１などの間に放出された不純物によって汚
染されたものとなる。
【００１７】その結果、このようにして生成された液体
窒素は、再放出された不純物を含むために、高純度窒素
を必要とする用途には使用できない。
窒素は、再放出された不純物を含むために、高純度窒素
を必要とする用途には使用できない。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】以上のことより、本発
明の目的は、高純度液体状態の低温流体であって、含有
している水素、一酸化炭素および酸素のうち、１つもし
くはそれ以上の不純物が除去された液体窒素のように、
含有している不純物のうち少なくとも１つの不純物が実
質的に除去されており、前述したような従来技術の欠点
を示さない低温流体を生成するための方法および装置を
提供することにある。特に、本発明の目的は、反応容器
中の吸着剤に捕捉された不純物フロント部の移行をなく
すことができる、もしくは最小限に抑えることのできる
方法および装置を提供することにある。この不純物フロ
ント部の移行は、引き続くいくつかの精製サイクルを分
離している、時間の長いもしくは短い停止段階の間に起
きており、この停止段階は、たとえばトラックから連続
して液体窒素を取り出すことなどと、結び付けられる。
明の目的は、高純度液体状態の低温流体であって、含有
している水素、一酸化炭素および酸素のうち、１つもし
くはそれ以上の不純物が除去された液体窒素のように、
含有している不純物のうち少なくとも１つの不純物が実
質的に除去されており、前述したような従来技術の欠点
を示さない低温流体を生成するための方法および装置を
提供することにある。特に、本発明の目的は、反応容器
中の吸着剤に捕捉された不純物フロント部の移行をなく
すことができる、もしくは最小限に抑えることのできる
方法および装置を提供することにある。この不純物フロ
ント部の移行は、引き続くいくつかの精製サイクルを分
離している、時間の長いもしくは短い停止段階の間に起
きており、この停止段階は、たとえばトラックから連続
して液体窒素を取り出すことなどと、結び付けられる。
【００１９】本発明の他の目的としては、時間的に信頼
性のある方法および装置を提供することである。つま
り、一方では、引き続く精製段階が、停止段階によって
かなり長期間（たとえば、１週間もしくは数週間までに
もわたる期間）分離されている場合に、不純物フロント
部の移行をなくすことができる、もしくは最小限に抑え
ることができる方法および装置であり、他方では、特
に、高純度液体ヘリウム、窒素もしくはアルゴンの高純
度液体状態の低温流体を、数多くの引き続く精製段階の
後でも、および／または多量の低温流体（たとえば数百
トン）を処理した後でも、生成することができる方法お
よび装置を提供することである。
性のある方法および装置を提供することである。つま
り、一方では、引き続く精製段階が、停止段階によって
かなり長期間（たとえば、１週間もしくは数週間までに
もわたる期間）分離されている場合に、不純物フロント
部の移行をなくすことができる、もしくは最小限に抑え
ることができる方法および装置であり、他方では、特
に、高純度液体ヘリウム、窒素もしくはアルゴンの高純
度液体状態の低温流体を、数多くの引き続く精製段階の
後でも、および／または多量の低温流体（たとえば数百
トン）を処理した後でも、生成することができる方法お
よび装置を提供することである。
【００２０】また、本発明に係る方法および装置は、経
済的にも有利である。それは、従来装置と比べてそれほ
ど多額の投資を必要とせずに、効果的に不純物を除去す
ることができるためである。
済的にも有利である。それは、従来装置と比べてそれほ
ど多額の投資を必要とせずに、効果的に不純物を除去す
ることができるためである。
【００２１】
【課題を解決するための手段】本発明は、含有する不純
物のうち、少なくとも１つの不純物が実質的に除去され
た高純度液体状態の低温流体を生成する方法であって、
精製すべき液体状態の前記低温流体を、前記不純物のう
ちの少なくとも１つの不純物を吸着する吸着剤と接触さ
せ、前記低温流体を高純度液体の状態にて回収する方法
において、吸着剤の少なくとも一部分の冷却を、液体状
態の前記精製された低温流体によって、引き続く精製サ
イクルＮと精製サイクルＮ＋１とを分離している停止段
階時間の少なくとも一部の間中、維持することを特徴と
する高純度液体状態の低温流体を生成する方法から構成
されている。
物のうち、少なくとも１つの不純物が実質的に除去され
た高純度液体状態の低温流体を生成する方法であって、
精製すべき液体状態の前記低温流体を、前記不純物のう
ちの少なくとも１つの不純物を吸着する吸着剤と接触さ
せ、前記低温流体を高純度液体の状態にて回収する方法
において、吸着剤の少なくとも一部分の冷却を、液体状
態の前記精製された低温流体によって、引き続く精製サ
イクルＮと精製サイクルＮ＋１とを分離している停止段
階時間の少なくとも一部の間中、維持することを特徴と
する高純度液体状態の低温流体を生成する方法から構成
されている。
【００２２】吸着剤の少なくとも一部分の冷却は、高純
度液体状態にある低温流体と直接接触させることにより
行われることが好ましい。
度液体状態にある低温流体と直接接触させることにより
行われることが好ましい。
【００２３】吸着剤は、高純度液体状態にある低温流体
に浸漬することにより、冷却されることが好ましい。
に浸漬することにより、冷却されることが好ましい。
【００２４】吸着剤の冷却は、引き続く精製サイクルＮ
と精製サイクルＮ＋１とを分離している停止段階時間の
実質的に全体に渡って、継続されていることが好まし
い。
と精製サイクルＮ＋１とを分離している停止段階時間の
実質的に全体に渡って、継続されていることが好まし
い。
【００２５】吸着剤は、交換されていても良い天然およ
び合成ゼオライト、および多孔質金属酸化物からなる群
から選ばれていることが好ましい。
び合成ゼオライト、および多孔質金属酸化物からなる群
から選ばれていることが好ましい。
【００２６】ゼオライトは、モルデナイト、またはゼオ
ライトＡ、ゼオライトＸ、およびゼオライトＹからなる
群から選ばれた合成ゼオライトであることが好ましい。
ライトＡ、ゼオライトＸ、およびゼオライトＹからなる
群から選ばれた合成ゼオライトであることが好ましい。
【００２７】ゼオライトは、リチウム、カルシウム、バ
リウム、ストロンチウム、亜鉛、鉄、銀、および銅から
なる群から選ばれた金属の、少なくとも１種のイオンと
交換されたゼオライトであることが好ましい。
リウム、ストロンチウム、亜鉛、鉄、銀、および銅から
なる群から選ばれた金属の、少なくとも１種のイオンと
交換されたゼオライトであることが好ましい。
【００２８】また、ゼオライトは、銅もしくは銀イオン
と交換されていることが好ましい。
と交換されていることが好ましい。
【００２９】本発明の好ましい態様として、ゼオライト
は銅もしくは銀イオンと交換されたゼオライト５Ａであ
る。
は銅もしくは銀イオンと交換されたゼオライト５Ａであ
る。
【００３０】本発明の他の態様としては、多孔質金属酸
化物は少なくとも１種の遷移金属の酸化物を含んでい
る。
化物は少なくとも１種の遷移金属の酸化物を含んでい
る。
【００３１】前記多孔質金属酸化物は、ホプカライトの
ような混合された銅マンガン酸化物を含んでいることが
好ましい。
ような混合された銅マンガン酸化物を含んでいることが
好ましい。
【００３２】液体状態にある低温流体は、液体ヘリウ
ム、液体アルゴンおよび液体窒素からなる群から選ばれ
ることが好ましい。
ム、液体アルゴンおよび液体窒素からなる群から選ばれ
ることが好ましい。
【００３３】液体窒素は、液体窒素が含んでいる水素、
一酸化炭素および酸素の不純物のうち、少なくとも１つ
が精製除去されていることが好ましい。
一酸化炭素および酸素の不純物のうち、少なくとも１つ
が精製除去されていることが好ましい。
【００３４】液体状態にある低温流体中に、特に液体窒
素中に、存在し得るすべての不純物を除去するために、
ゼオライトおよび多孔質金属酸化物を、直列してて配置
された２つの床においてで組み合わせることができる。
その結果、第１の床は、たとえば酸素および一酸化炭素
を選択的に除去するホプカライトを含み、また、第２の
床は、たとえば残留する一酸化炭素および酸素を除去す
る交換ゼオライトを含んでいるようにすることができ
る。
素中に、存在し得るすべての不純物を除去するために、
ゼオライトおよび多孔質金属酸化物を、直列してて配置
された２つの床においてで組み合わせることができる。
その結果、第１の床は、たとえば酸素および一酸化炭素
を選択的に除去するホプカライトを含み、また、第２の
床は、たとえば残留する一酸化炭素および酸素を除去す
る交換ゼオライトを含んでいるようにすることができ
る。
【００３５】生産上の点から言えば、ホプカライト系の
吸着剤を使用することが好ましい。その理由は、ホプカ
ライト系の吸着剤により、一酸化炭素および酸素を、非
常に低いレベル（１ｐｐｂ未満）の不純物量にまで、同
時に精製できるためである。
吸着剤を使用することが好ましい。その理由は、ホプカ
ライト系の吸着剤により、一酸化炭素および酸素を、非
常に低いレベル（１ｐｐｂ未満）の不純物量にまで、同
時に精製できるためである。
【００３６】また、本発明は、本発明に係る方法を実施
するための装置であって、少なくとも１つの反応容器を
含み、この反応容器は、精製すべき液体状態の低温流体
中に存在する不純物のうち、少なくとも１つの不純物を
除去することができる、少なくとも１つの吸収剤を含ん
でおり、また、上流側の導管により、精製すべき液体状
態の低温流体の供給源に接続され、かつ下流側の導管に
より、高純度液体状態の低温流体用の少なくとも１つの
貯蔵容器に接続されている装置において、高純度液体状
態にある低温流体の流れを供給するために配置され、引
き続く精製サイクルＮと精製サイクルＮ＋１とを分離し
ている停止段階時間の少なくとも一部の間中、吸着剤の
少なくとも一部分を冷却するための少なくとも１つの保
冷用の導管を含み、高純度液体状態の前記低温流体は、
高純度液体状態の低温流体の少なくとも１つの供給源か
ら由来することを特徴とする本発明に係る方法を実施す
るための装置に関している。
するための装置であって、少なくとも１つの反応容器を
含み、この反応容器は、精製すべき液体状態の低温流体
中に存在する不純物のうち、少なくとも１つの不純物を
除去することができる、少なくとも１つの吸収剤を含ん
でおり、また、上流側の導管により、精製すべき液体状
態の低温流体の供給源に接続され、かつ下流側の導管に
より、高純度液体状態の低温流体用の少なくとも１つの
貯蔵容器に接続されている装置において、高純度液体状
態にある低温流体の流れを供給するために配置され、引
き続く精製サイクルＮと精製サイクルＮ＋１とを分離し
ている停止段階時間の少なくとも一部の間中、吸着剤の
少なくとも一部分を冷却するための少なくとも１つの保
冷用の導管を含み、高純度液体状態の前記低温流体は、
高純度液体状態の低温流体の少なくとも１つの供給源か
ら由来することを特徴とする本発明に係る方法を実施す
るための装置に関している。
【００３７】保冷用の導管は、この導管の少なくとも１
つの上流端もしくは下流端によって、下流側導管の少な
くとも１つの上流部分もしくは下流部分と接続されてい
ることが好ましい。
つの上流端もしくは下流端によって、下流側導管の少な
くとも１つの上流部分もしくは下流部分と接続されてい
ることが好ましい。
【００３８】本発明の他の「モード」として、保冷用の
導管は、この導管の少なくとも１つの上流端もしくは下
流端によって、高純度液体状態の低温流体の少なくとも
１つの供給源に、および／または少なくとも１つの反応
容器に接続されていることが好ましい。
導管は、この導管の少なくとも１つの上流端もしくは下
流端によって、高純度液体状態の低温流体の少なくとも
１つの供給源に、および／または少なくとも１つの反応
容器に接続されていることが好ましい。
【００３９】高純度液体状態の低温流体の供給源は、少
なくとも１つの貯蔵容器であることが好ましい。
なくとも１つの貯蔵容器であることが好ましい。
【００４０】保冷用導管の上流端と下流端の間にある下
流側導管に、少なくとも１つのメカニカルフィルターが
装着されていることが好ましい。
流側導管に、少なくとも１つのメカニカルフィルターが
装着されていることが好ましい。
【００４１】
【発明の実施の形態】本発明を、以下、図面を参照して
詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。図１においては、水素、一酸化炭素もしくは酸素
の不純物うち、少なくとも１つが実質的に除去されてい
る高純度液体窒素を生成するための本発明に係る装置が
示されている。
詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。図１においては、水素、一酸化炭素もしくは酸素
の不純物うち、少なくとも１つが実質的に除去されてい
る高純度液体窒素を生成するための本発明に係る装置が
示されている。
【００４２】図１において、吸着剤１１を含む反応容器
２は、一方で、上流側導管８によって、精製すべき液体
状態の低温流体（本例の場合、液体窒素）の供給源１に
接続され、他方で、下流側導管９を介して、高純度液体
窒素１２の貯蔵容器３に接続されている。一組の２つの
フィルター４ａおよび４ｂが、反応容器２と貯蔵容器３
の間に配置されている。
２は、一方で、上流側導管８によって、精製すべき液体
状態の低温流体（本例の場合、液体窒素）の供給源１に
接続され、他方で、下流側導管９を介して、高純度液体
窒素１２の貯蔵容器３に接続されている。一組の２つの
フィルター４ａおよび４ｂが、反応容器２と貯蔵容器３
の間に配置されている。
【００４３】１５および１６により参照される部分は、
それぞれ、高純度液体窒素もしくは気体窒素用を取り出
すための、ユーザー用取り出し口を示している。
それぞれ、高純度液体窒素もしくは気体窒素用を取り出
すための、ユーザー用取り出し口を示している。
【００４４】精製サイクルに入る前に、２つの精製段階
の間（つまり、装置の停止段階中）に温まっていた装置
部分、すなわち、特に、パイプライン８および９、なら
びにフィルター組４ａ、４ｂの部分を、パージして予備
冷却する。このパージおよび冷却は、適切なバルブを動
作させることにより行う。次に、精製すべき液体窒素の
供給源１と上流側導管８を接続した後に、精製すべき窒
素を、供給源１から反応容器２へ導管８を通して送る。
精製すべき液体窒素の不純物を吸着剤１１へと吸着させ
ることにより、反応容器２内で精製を行う。不純物の吸
着の後に得られた高純度液体窒素を、上流部分９ａおよ
び下流部分９ｂを含む導管９により、一組のメカニカル
フィルター４ａ、４ｂを通して、貯蔵容器３へと運ぶ。
の間（つまり、装置の停止段階中）に温まっていた装置
部分、すなわち、特に、パイプライン８および９、なら
びにフィルター組４ａ、４ｂの部分を、パージして予備
冷却する。このパージおよび冷却は、適切なバルブを動
作させることにより行う。次に、精製すべき液体窒素の
供給源１と上流側導管８を接続した後に、精製すべき窒
素を、供給源１から反応容器２へ導管８を通して送る。
精製すべき液体窒素の不純物を吸着剤１１へと吸着させ
ることにより、反応容器２内で精製を行う。不純物の吸
着の後に得られた高純度液体窒素を、上流部分９ａおよ
び下流部分９ｂを含む導管９により、一組のメカニカル
フィルター４ａ、４ｂを通して、貯蔵容器３へと運ぶ。
【００４５】精製サイクルＮとこれに続く精製サイクル
Ｎ＋１との間において、その前の精製サイクル（Ｎ、Ｎ
−１など）中に吸着剤上に吸着された不純物のフロント
部の移行を防止するように、サイクルＮとＮ＋１とを分
離している停止段階の時間の好ましくは全体に渡って、
吸着剤１１の冷却が維持される。この冷却は、高純度窒
素の少なくとも１つの供給源から由来する高純度液体窒
素１２を用いて行う。ここで、容器３に貯蔵されている
高純度窒素が使用されることが好ましい。この窒素は、
熱遮蔽され適切に寸法が決められた保冷用導管１０によ
って送られる。従って、保冷用導管１０によって、高純
度窒素１２用の貯蔵容器３と反応容器２とが接続される
ことにより、前記反応容器に高純度液体窒素が導入され
ることが可能となり、その結果、引き続くサイクルＮと
サイクルＮ＋１との間において、吸着剤が本質的に連続
して高純度窒素中に浸されることで、吸着剤が冷却され
続ける。より正確には、保冷用導管１０の上流部分１０
ａが、下流側導管９の下流部分９ｂに接続されることに
より、下流部分９ｂは、フィルター４ａ、４ｂおよび高
純度窒素の供給源（本例の場合、貯蔵容器３）の間に入
れられている。同様にして、導管１０の下流部分１０ｂ
が、下流側導管９の上流部分９ａに接続されることによ
り、上流部分９ａは、フィルター４ａ、４ｂおよび反応
容器２の間に入れられている。
Ｎ＋１との間において、その前の精製サイクル（Ｎ、Ｎ
−１など）中に吸着剤上に吸着された不純物のフロント
部の移行を防止するように、サイクルＮとＮ＋１とを分
離している停止段階の時間の好ましくは全体に渡って、
吸着剤１１の冷却が維持される。この冷却は、高純度窒
素の少なくとも１つの供給源から由来する高純度液体窒
素１２を用いて行う。ここで、容器３に貯蔵されている
高純度窒素が使用されることが好ましい。この窒素は、
熱遮蔽され適切に寸法が決められた保冷用導管１０によ
って送られる。従って、保冷用導管１０によって、高純
度窒素１２用の貯蔵容器３と反応容器２とが接続される
ことにより、前記反応容器に高純度液体窒素が導入され
ることが可能となり、その結果、引き続くサイクルＮと
サイクルＮ＋１との間において、吸着剤が本質的に連続
して高純度窒素中に浸されることで、吸着剤が冷却され
続ける。より正確には、保冷用導管１０の上流部分１０
ａが、下流側導管９の下流部分９ｂに接続されることに
より、下流部分９ｂは、フィルター４ａ、４ｂおよび高
純度窒素の供給源（本例の場合、貯蔵容器３）の間に入
れられている。同様にして、導管１０の下流部分１０ｂ
が、下流側導管９の上流部分９ａに接続されることによ
り、上流部分９ａは、フィルター４ａ、４ｂおよび反応
容器２の間に入れられている。
【００４６】この装置を用いることで、吸着物質のフロ
ント部が移行する危険が除かれることにより、サイクル
Ｎ＋１の間に得られた高純度窒素が、その前のサイクル
中に吸着された不純物によって汚染されることが回避さ
れる。
ント部が移行する危険が除かれることにより、サイクル
Ｎ＋１の間に得られた高純度窒素が、その前のサイクル
中に吸着された不純物によって汚染されることが回避さ
れる。
【００４７】さらに、吸着剤を冷却し続けるために用い
られる窒素が、大気へと放出されずに精製サイクルＮ＋
１の間に貯蔵容器３へと戻される限り、気化した液体窒
素を消失させてしまう必要のないことが分かる。つま
り、動作は閉回路の中で行われる。
られる窒素が、大気へと放出されずに精製サイクルＮ＋
１の間に貯蔵容器３へと戻される限り、気化した液体窒
素を消失させてしまう必要のないことが分かる。つま
り、動作は閉回路の中で行われる。
【００４８】しかし、熱が加えられることで、吸着器の
中に存在する液体窒素が部分的に蒸発することが、時々
起こる。サイクルＮとＮ＋１とが時間的に離れるに従
い、この蒸発は、時間に比例して、増加する。液体窒素
が気体窒素へと蒸発する結果、吸着剤の中の圧力が増加
し、これと並行して、吸着器の中に存在する液体窒素の
量が減少していく。安全上の理由から、特に、装置の最
大圧力定格に合わせるように、当該技術分野に精通した
者に知られた通常の安全器具（バルブなど）を用いて、
生成された気体窒素の少なくとも一部が放出される。
中に存在する液体窒素が部分的に蒸発することが、時々
起こる。サイクルＮとＮ＋１とが時間的に離れるに従
い、この蒸発は、時間に比例して、増加する。液体窒素
が気体窒素へと蒸発する結果、吸着剤の中の圧力が増加
し、これと並行して、吸着器の中に存在する液体窒素の
量が減少していく。安全上の理由から、特に、装置の最
大圧力定格に合わせるように、当該技術分野に精通した
者に知られた通常の安全器具（バルブなど）を用いて、
生成された気体窒素の少なくとも一部が放出される。
【００４９】さらに、吸着器中の液体窒素の量が減少す
るのを補うために、液体窒素の常圧蒸留（ｔｏｐｐｉｎ
ｇ−ｕｐ）が行われる。この常圧蒸留は、必要ならば、
保冷用導管１０を通して行う。
るのを補うために、液体窒素の常圧蒸留（ｔｏｐｐｉｎ
ｇ−ｕｐ）が行われる。この常圧蒸留は、必要ならば、
保冷用導管１０を通して行う。
【００５０】また、この装置においては、吸着剤の再生
段階をできる限り遅らせることができる。すなわち、吸
着剤の再生を、比較的長期（たとえば数ヵ月）に渡って
使用した後にのみ行うことが必要となる、またはその代
わりに、精製サイクルが互いに近い場合には、多量の液
体窒素（たとえば数百トン）が精製された後でのみ、再
生を行えば良い。
段階をできる限り遅らせることができる。すなわち、吸
着剤の再生を、比較的長期（たとえば数ヵ月）に渡って
使用した後にのみ行うことが必要となる、またはその代
わりに、精製サイクルが互いに近い場合には、多量の液
体窒素（たとえば数百トン）が精製された後でのみ、再
生を行えば良い。
【００５１】このような再生段階は、所定の液体窒素量
が精製された後でのみ、行うことが好ましい。その後、
反応容器２を空にして、向流方向に吸着剤に送風する。
この送風は、最初に、周囲温度（約２０℃）の窒素を用
いて行い、次に、約２００℃の窒素を用いて行う。送風
のために用いる窒素は、貯蔵容器３から発生させた後、
導管１２ａを通して大気圧気化器５へと送り、そして導
管１２ｂを通して窒素再加熱器６へと送る。その後、導
管１２ｃを通して反応容器へと導入する。吸着剤１１の
再活性化は、水素／窒素混合ガス（たとえば２％Ｈ2 ／
Ｎ2 ）を用いて行う。その際、水素ガス源７は、たとえ
ば、加圧水素を含んだ１つもしくは複数のボトルであっ
て良い。このボトルは、導管１３を介して導管１２ｃに
接続されている。導管１２ｃの中を循環する窒素へ注入
する水素の流量は、所望のＨ2 ／Ｎ2 混合ガスを製造す
るために、制御器具１４を通して調整する。吸着剤を再
活性した後、周囲温度の窒素を送り込むことによって、
この吸着剤を冷却する。液体窒素を用いた吸着剤の冷却
は、後の精製サイクルの間でのみ行われる。
が精製された後でのみ、行うことが好ましい。その後、
反応容器２を空にして、向流方向に吸着剤に送風する。
この送風は、最初に、周囲温度（約２０℃）の窒素を用
いて行い、次に、約２００℃の窒素を用いて行う。送風
のために用いる窒素は、貯蔵容器３から発生させた後、
導管１２ａを通して大気圧気化器５へと送り、そして導
管１２ｂを通して窒素再加熱器６へと送る。その後、導
管１２ｃを通して反応容器へと導入する。吸着剤１１の
再活性化は、水素／窒素混合ガス（たとえば２％Ｈ2 ／
Ｎ2 ）を用いて行う。その際、水素ガス源７は、たとえ
ば、加圧水素を含んだ１つもしくは複数のボトルであっ
て良い。このボトルは、導管１３を介して導管１２ｃに
接続されている。導管１２ｃの中を循環する窒素へ注入
する水素の流量は、所望のＨ2 ／Ｎ2 混合ガスを製造す
るために、制御器具１４を通して調整する。吸着剤を再
活性した後、周囲温度の窒素を送り込むことによって、
この吸着剤を冷却する。液体窒素を用いた吸着剤の冷却
は、後の精製サイクルの間でのみ行われる。
【００５２】以上のように、ここで用いる方法は簡便
で、費用がかからず、高純度液体窒素、もしくは高純度
液体状態にある他のどんな低温流体をも保証できるもの
である。ここで、高純度とは、すなわち、不純物が数ｐ
ｐｂ（１０億部当たりの部）未満しか含まれていないこ
とを意味する。
で、費用がかからず、高純度液体窒素、もしくは高純度
液体状態にある他のどんな低温流体をも保証できるもの
である。ここで、高純度とは、すなわち、不純物が数ｐ
ｐｂ（１０億部当たりの部）未満しか含まれていないこ
とを意味する。
【００５３】以下、実施例を用いて、本発明に係る方法
および装置の効果を具体的に説明する。
および装置の効果を具体的に説明する。
【００５４】
【実施例】本発明に係る方法を、上述した装置と同様の
装置により実施した。そして、実施例で示すように、液
体窒素の精製を行った。
装置により実施した。そして、実施例で示すように、液
体窒素の精製を行った。
【００５５】精製すべき液体窒素を現場以外の場所で製
造した後、精製する現場へトラックで運んだ。従って、
この場合、精製すべき液体窒素の供給源は、上述したよ
うにトラックである。
造した後、精製する現場へトラックで運んだ。従って、
この場合、精製すべき液体窒素の供給源は、上述したよ
うにトラックである。
【００５６】使用した吸着剤はホプカライトである。ホ
プカライトは、精製すべき液体窒素中に存在する酸素な
らびに一酸化炭素を、吸着することにより選択的に除去
する。
プカライトは、精製すべき液体窒素中に存在する酸素な
らびに一酸化炭素を、吸着することにより選択的に除去
する。
【００５７】再生段階を行うことなしに５カ月間使用し
た後（これは、約７００トンの液体窒素を精製すること
に、概ね対応する）、反応容器の下流で採取した精製液
体窒素試料を分析した。分析は、検出限界がｐｐｂレベ
ルである特定の通常の分析装置を用いて行った。分析結
果によれば、上述のようにして得られた高純度液体窒素
中に含まれる一酸化炭素および酸素不純物の量は、１ｐ
ｐｂ未満であった。
た後（これは、約７００トンの液体窒素を精製すること
に、概ね対応する）、反応容器の下流で採取した精製液
体窒素試料を分析した。分析は、検出限界がｐｐｂレベ
ルである特定の通常の分析装置を用いて行った。分析結
果によれば、上述のようにして得られた高純度液体窒素
中に含まれる一酸化炭素および酸素不純物の量は、１ｐ
ｐｂ未満であった。
【００５８】このような驚くべき結果は、引き続く精製
サイクルの間の装置の停止段階中に、精製された液体窒
素を用いて吸着剤を系統的に冷却し続けることにより、
得ることが可能であった。前記サイクルは、１０日間以
上、故意に分離した。
サイクルの間の装置の停止段階中に、精製された液体窒
素を用いて吸着剤を系統的に冷却し続けることにより、
得ることが可能であった。前記サイクルは、１０日間以
上、故意に分離した。
【００５９】本発明に係る方法および装置により、液体
窒素を精製するだけでなく、液体アルゴンや液体ヘリウ
ムなどの、液体状態にあるその他の低温流体をも効果的
に精製することができる。
窒素を精製するだけでなく、液体アルゴンや液体ヘリウ
ムなどの、液体状態にあるその他の低温流体をも効果的
に精製することができる。
【図１】本発明に係る高純度液体窒素を生成するための
装置を示す概略図。
装置を示す概略図。
１…低温流体の供給源、 ２…反応容器、 ３…貯蔵容器、 ４ａ、４ｂ…フィルター、 ５…大気圧気化器、 ６…窒素再加熱器、 ７…水素ガス源、 ８…上流側導管、 ８ａ、９ａ、１０ａ…上流部分、 ８ｂ、９ｂ、１０ｂ…下流部分、 ９…下流側導管、 １０…保冷用導管、 １１…吸着剤、 １２…高純度液体窒素、 １２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１３…導管、 １４…制御器具、 １５、１６…ユーザー用取り出し口。
Claims (18)
- 【請求項１】 含有する不純物のうち、少なくとも１つ
の不純物が実質的に除去された高純度液体状態の低温流
体を生成する方法であって、精製すべき液体状態の前記
低温流体を、前記不純物のうちの少なくとも１つの不純
物を吸着する吸着剤と接触させ、前記低温流体を高純度
液体の状態にて回収する方法において、吸着剤の少なく
とも一部分の冷却を、液体状態の前記精製された低温流
体によって、引き続く精製サイクルＮと精製サイクルＮ
＋１とを分離している停止段階時間の少なくとも一部の
間中、維持することを特徴とする方法。 - 【請求項２】 吸着剤の少なくとも一部分の冷却を、高
純度液体状態にある低温流体と直接接触させることによ
り行うことを特徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 吸着剤を、前記高純度液体状態にある低
温流体に浸すことにより、冷却することを特徴とする請
求項１もしくは２記載の方法。 - 【請求項４】 吸着剤の冷却を、引き続く精製サイクル
Ｎと精製サイクルＮ＋１とを分離している停止段階時間
の実質的に全体に渡って、継続することを特徴とする請
求項１ないし３のいずれか１項記載の方法。 - 【請求項５】 吸着剤は、交換されていても良い天然お
よび合成ゼオライト、および多孔質金属酸化物からなる
群から選ばれることを特徴とする請求項１ないし４のい
ずれか１項記載の方法。 - 【請求項６】 ゼオライトは、モルデナイト、またはゼ
オライトＡ、ゼオライトＸ、およびゼオライトＹからな
る群から選ばれた合成ゼオライトであることを特徴とす
る請求項５記載の方法。 - 【請求項７】 ゼオライトは、リチウム、カルシウム、
バリウム、ストロンチウム、亜鉛、鉄、銀、および銅か
らなる群から選ばれた金属の少なくとも１種のイオンと
交換されたゼオライトであることを特徴とする請求項６
記載の方法。 - 【請求項８】 ゼオライトは、銅もしくは銀イオンと交
換されていることを特徴とする請求項７記載の方法。 - 【請求項９】 ゼオライトは銅もしくは銀イオンと交換
されたゼオライト５Ａであることを特徴とする請求項８
記載の方法。 - 【請求項１０】 多孔質金属酸化物は少なくとも１つの
遷移金属の酸化物を含んでいることを特徴とする請求項
５記載の方法。 - 【請求項１１】 多孔質金属酸化物は、ホプカライトの
ような混合された銅マンガン酸化物を含んでいることを
特徴とする請求項１０記載の方法。 - 【請求項１２】 液体状態にある低温流体は、液体ヘリ
ウム、液体アルゴンおよび液体窒素からなる群から選ば
れることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１
項記載の方法。 - 【請求項１３】 液体窒素は、液体窒素が含んでいる水
素（Ｈ2 ）、一酸化炭素（ＣＯ）および酸素（Ｏ2 ）の
不純物のうち、少なくとも１つが精製除去されているこ
とを特徴とする請求項１２記載の方法。 - 【請求項１４】 少なくとも１つの反応容器を含み、こ
の反応容器は、精製すべき液体状態の低温流体中に存在
する不純物のうち、少なくとも１つの不純物を除去する
ことができる、少なくとも１つの吸収剤を含んでおり、
また、上流側の導管により、精製すべき液体状態の低温
流体の供給源に接続され、かつ下流側の導管により、高
純度液体状態の低温流体用の少なくとも１つの貯蔵容器
に接続されている装置において、高純度液体状態にある
低温流体の流れを供給するために配置され、引き続く精
製サイクルＮと精製サイクルＮ＋１とを分離している停
止段階時間の少なくとも一部の間中、吸着剤の少なくと
も一部分を冷却するための少なくとも１つの保冷用の導
管を含み、高純度液体状態の前記低温流体は、高純度液
体状態の低温流体の少なくとも１つの供給源から由来す
ることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれか１項
記載の方法を実施する装置。 - 【請求項１５】 保冷用の導管は、この導管の少なくと
も１つの上流端もしくは下流端によって、下流側導管の
少なくとも１つの下流部分もしくは上流部分と接続され
ていることを特徴とする請求項１４記載の装置。 - 【請求項１６】 保冷用の導管は、この導管の少なくと
も１つの上流端もしくは下流端によって、高純度液体状
態の低温流体の少なくとも１つの供給源に、および／ま
たは少なくとも１つの反応容器に接続されていることを
特徴とする請求項１４記載の装置。 - 【請求項１７】 高純度液体状態の低温流体の供給源
は、少なくとも１つの貯蔵容器であることを特徴とする
請求項１４ないし１６のいずれか１項記載の装置。 - 【請求項１８】 保冷用導管の上流端と下流端の間にあ
る下流側導管に、少なくとも１つのフィルターが装着さ
れていることを特徴とする請求項１４ないし１７のいず
れか１項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9607100A FR2749575B1 (fr) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | Procede et dispositif de preparation d'azote liquide de haute purete |
| FR9607100 | 1996-06-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10113502A true JPH10113502A (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=9492837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9149654A Ceased JPH10113502A (ja) | 1996-06-07 | 1997-06-06 | 高純度液体状態の低温流体を生成する方法および装置 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5784898A (ja) |
| EP (1) | EP0811576B1 (ja) |
| JP (1) | JPH10113502A (ja) |
| KR (1) | KR980003438A (ja) |
| CN (1) | CN1171534A (ja) |
| DE (1) | DE69706475T2 (ja) |
| FR (1) | FR2749575B1 (ja) |
| SG (1) | SG50832A1 (ja) |
| TW (1) | TW336726U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150125978A (ko) * | 2013-03-01 | 2015-11-10 | 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드 | 액체상 극저온 흡착을 통한 아르곤의 정제 |
| JP2016193404A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 大陽日酸株式会社 | 液体ヘリウム用フィルター、及び液体ヘリウム用フィルターユニット |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5913893A (en) * | 1996-12-24 | 1999-06-22 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process for the purification of a cryogenic fluid by filtration and/or adsorption |
| FR2757421B1 (fr) * | 1996-12-24 | 1999-01-15 | Air Liquide | Procede d'epuration d'un fluide cryogenique par filtration et/ou adsorption |
| FR2771943B1 (fr) * | 1997-12-05 | 2000-01-14 | Air Liquide | Procede de purification de fluides inertes par adsorption sur zeolite lsx |
| US20020111953A1 (en) * | 2000-11-27 | 2002-08-15 | First To File, Inc. | Docketing system |
| DE10138584A1 (de) * | 2001-08-06 | 2003-02-20 | Linde Ag | Verfahren zum Erzeugen eines hochreinen Stickstoffstromes |
| ATE315438T1 (de) * | 2001-11-19 | 2006-02-15 | Air Prod & Chem | Verfahren zur rückgewinnung von krypton und xenon aus einem gas- oder flüssigkeitsstrom |
| US6658894B2 (en) | 2001-11-19 | 2003-12-09 | Air Products And Chemicals, Inc. | Process and adsorbent for the recovery of krypton and xenon from a gas or liquid stream |
| DE10210324A1 (de) * | 2002-03-08 | 2003-09-18 | Linde Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines hoch reinen Produkts aus einer Einsatzfraktion |
| JP5101540B2 (ja) * | 2009-02-03 | 2012-12-19 | 住友精化株式会社 | アルゴン精製方法およびアルゴン精製装置 |
| US9644890B2 (en) | 2013-03-01 | 2017-05-09 | Praxair Technology, Inc. | Argon production method and apparatus |
| US9457337B2 (en) | 2013-03-01 | 2016-10-04 | Praxair Technology, Inc. | Adsorbent composition for argon purification |
| CN103672395A (zh) * | 2013-11-15 | 2014-03-26 | 苏州金宏气体股份有限公司 | 一种高纯气体运输储罐放空余气回收利用的方法 |
| US9676629B2 (en) | 2015-06-09 | 2017-06-13 | Praxair Technology, Inc. | Helium enhanced heat transfer in adsorptive liquid or gas phase argon purification processes |
| US10012438B2 (en) | 2015-07-31 | 2018-07-03 | Praxair Technology, Inc. | Method and apparatus for argon recovery in a cryogenic air separation unit integrated with a pressure swing adsorption system |
| US10012437B2 (en) | 2015-07-31 | 2018-07-03 | Praxair Technology, Inc. | Method and apparatus for argon recovery in a cryogenic air separation unit integrated with a pressure swing adsorption system |
| US10066871B2 (en) | 2015-07-31 | 2018-09-04 | Praxair Technology, Inc. | Method and apparatus for argon rejection and recovery |
| US10024596B2 (en) | 2015-07-31 | 2018-07-17 | Praxair Technology, Inc. | Method and apparatus for argon recovery in a cryogenic air separation unit integrated with a pressure swing adsorption system |
| US11262125B2 (en) | 2018-01-02 | 2022-03-01 | Praxair Technology, Inc. | System and method for flexible recovery of argon from a cryogenic air separation unit |
| CN110090616B (zh) * | 2018-01-30 | 2026-01-23 | 北京航天试验技术研究所 | 一种低温液体吸附除水材料的制备 |
| CN115751841B (zh) * | 2022-12-14 | 2026-03-31 | 开封迪尔空分实业有限公司 | 一种氖气的深冷分离纯化装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4150548A (en) * | 1976-10-26 | 1979-04-24 | Kemp Reduction Corporation | Pollutant removal from pyrolytic gases by centrifuge and molecular sieves |
| US4717406A (en) * | 1986-07-07 | 1988-01-05 | Liquid Air Corporation | Cryogenic liquified gas purification method and apparatus |
| JPH01148703A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Nippon Steel Corp | アルゴンガスの回収方法 |
| JPH0230607A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-02-01 | Kobe Steel Ltd | 高純度窒素の製造方法 |
| JPH02183789A (ja) * | 1989-01-06 | 1990-07-18 | Hitachi Ltd | 超高純度窒素の製造方法及び装置 |
| US5551257A (en) * | 1992-10-01 | 1996-09-03 | The Boc Group, Inc. | Production of ultrahigh purity nitrogen |
| FR2714618B1 (fr) * | 1993-12-31 | 1996-05-24 | Air Liquide | Procédé et dispositif pour la préparation d'azote liquide de haute pureté. |
| AU681481B2 (en) * | 1994-03-10 | 1997-08-28 | Boc Group, Inc., The | Cryogenic refrigeration method for use in connection with a cryogenic temperature swing adsorption process |
| US5425242A (en) * | 1994-04-14 | 1995-06-20 | Uop | Process for recovery and purification of refrigerants with solid sorbents |
| RU2091683C1 (ru) * | 1994-05-25 | 1997-09-27 | Акционерное общество "Гелиймаш" | Способ очистки криоагента |
-
1996
- 1996-06-07 FR FR9607100A patent/FR2749575B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-05-14 US US08/854,446 patent/US5784898A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-05-16 TW TW086208243U patent/TW336726U/zh unknown
- 1997-05-16 SG SG1997001669A patent/SG50832A1/en unknown
- 1997-06-02 DE DE69706475T patent/DE69706475T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-06-02 EP EP97401215A patent/EP0811576B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-05 KR KR1019970023210A patent/KR980003438A/ko not_active Withdrawn
- 1997-06-06 CN CN97105456A patent/CN1171534A/zh active Pending
- 1997-06-06 JP JP9149654A patent/JPH10113502A/ja not_active Ceased
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150125978A (ko) * | 2013-03-01 | 2015-11-10 | 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드 | 액체상 극저온 흡착을 통한 아르곤의 정제 |
| JP2016193404A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 大陽日酸株式会社 | 液体ヘリウム用フィルター、及び液体ヘリウム用フィルターユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2749575A1 (fr) | 1997-12-12 |
| TW336726U (en) | 1998-07-11 |
| FR2749575B1 (fr) | 1998-07-10 |
| EP0811576A3 (fr) | 1998-12-23 |
| CN1171534A (zh) | 1998-01-28 |
| DE69706475D1 (de) | 2001-10-11 |
| DE69706475T2 (de) | 2002-05-08 |
| SG50832A1 (en) | 1998-07-20 |
| US5784898A (en) | 1998-07-28 |
| EP0811576A2 (fr) | 1997-12-10 |
| KR980003438A (ko) | 1998-03-30 |
| EP0811576B1 (fr) | 2001-09-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10113502A (ja) | 高純度液体状態の低温流体を生成する方法および装置 | |
| US6270557B1 (en) | Process for purifying air by adsorption before cryogenic distillation | |
| JP3279585B2 (ja) | 精製された空気の製造法 | |
| US4477265A (en) | Argon purification | |
| JP3351815B2 (ja) | 不活性ガスの精製方法 | |
| US11650010B2 (en) | Adsorptive xenon recovery process from a gas or liquid stream at cryogenic temperature | |
| JPH11226335A (ja) | Ｌｓｘゼオライト上の吸着により不活性流体を精製する方法 | |
| KR940001410B1 (ko) | 기체상 염소의 농축방법 | |
| KR970000367B1 (ko) | 초고순도 질소의 제조방법 | |
| EP3504157B1 (en) | Cryogenic adsorption process for xenon recovery | |
| JP3569017B2 (ja) | 高純度液体窒素の製造方法及び装置 | |
| EP0284850B1 (en) | Improved adsorptive purification process | |
| KR20030041780A (ko) | 기체 또는 액체 스트림으로부터 크립톤 및 크세논을회수하기 위한 공정 및 흡착제 | |
| US20100115994A1 (en) | Adsorbent for carbon monoxide, gas purification method, and gas purification apparatus | |
| JPS62119104A (ja) | 単結晶製造炉の排ガスより高純度アルゴンを回収する方法 | |
| EP0646543A1 (en) | Purification of fluids by adsorption | |
| US5626033A (en) | Process for the recovery of perfluorinated compounds | |
| JP2003103132A (ja) | 圧力スィング吸着によるガス精製 | |
| US5891220A (en) | O2 /CO removal from an inert gas by adsorption on porous metal oxide | |
| US5737941A (en) | Method and apparatus for removing trace quantities of impurities from liquified bulk gases | |
| NZ248804A (en) | Argon purification by cryogenic adsorption | |
| US5589151A (en) | Process for the preparation of high-purity liquid nitrogen | |
| JPH11100204A (ja) | 超純粋不活性気体の製造のための方法および装置 | |
| JP3213851B2 (ja) | 不活性ガス中の一酸化炭素の除去方法 | |
| JP3080687B2 (ja) | 塩素ガスの濃縮方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040514 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080115 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080408 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090106 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090430 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090515 |
|
| A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20091002 |
|
| A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20110125 |