JPH10115480A - インライン型表面硬化装置 - Google Patents

インライン型表面硬化装置

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JPH10115480A
JPH10115480A JP9114919A JP11491997A JPH10115480A JP H10115480 A JPH10115480 A JP H10115480A JP 9114919 A JP9114919 A JP 9114919A JP 11491997 A JP11491997 A JP 11491997A JP H10115480 A JPH10115480 A JP H10115480A
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surface hardening
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Air Liquide SA
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Abstract

(57)【要約】 【課題】後続する加工装置の運転速度に拘らず、製品の
表面硬化が満足に行われるインライン型表面硬化装置を
提供する。 【解決手段】チャンバ(16)、冷却剤供給手段(1
9)、搬送手段(18)、加工装置(14)からの製品
要求信号を受信する手段(42、44)、搬送手段(1
8)の制御手段(42)、冷却剤供給手段(19)の制
御手段(42)を有し、搬送手段(18)の制御手段
(42)は、製品要求信号の受信時に、チャンバ(1
6)内に最も長く滞在した表面硬化済製品(P)をチャ
ンバ(16)から搬出し、表面硬化すべき新しい製品
(P)をチャンバ(16)へ搬入し、冷却剤供給手段
(19)の制御手段(42)は、加工装置(14)から
製品要求信号を受信した連続する2つの時刻の間の経過
時間のうち、少なくとも1つの経過時間の関数として、
チャンバ内(16)の製品(P)へ供給する冷却剤量を
制御することを特徴とするインライン型表面硬化装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インライン型の表
面硬化装置に係り、製造工程ライン上の後続する加工装
置に、表面硬化済の製品を供給するためのものである。
本表面硬化装置は、チャンバと、前記製品の表面を硬化
させるための冷却剤(frigorie)を供給する手
段と、製品を前記チャンバ内に搬入およびチャンバ外へ
搬出するための少なくとも1つの搬送手段とを有してい
る。
【0002】
【従来の技術】製品の表面を硬化する工程は、後続する
加工工程を容易にするためのものであり、製品の少なく
とも1つの表面を冷凍する工程を含んでいる。表面硬化
技術は、特に、棒状のハムおよび豚の腰肉をスライスす
る工程を容易にするために用いられているが、その他に
も、サラミソーセージ、乾燥ソーセージ、ソーセージ、
チーズおよび魚類等切断する必要のある他の食品加工物
にも使用することができる。
【0003】現在、知られている表面硬化装置は、複数
の空洞部を有する構造をなしていた。前記空洞部の一端
は装置に製品を搬入するために開口し、他端は装置から
製品を搬出するために開口していた。前記空洞部の全体
に渡って配置された搬送手段が、製品を搬送するために
連続して運転されていた。また、前記空洞部の中には、
特に液体窒素などの低温液体を散布する手段から構成さ
れる、冷却剤供給手段が配置されていた。
【0004】従来、前記表面硬化装置は連続して運転さ
れることにより、前記製品は前記空洞部の中へ一定の速
度で搬入され、そして搬出されていた。しかし、表面硬
化装置に後続するスライス装置などに事故が発生し、こ
の表面硬化装置を長い間停止させる必要が生じた場合、
装置の作業者によって前記搬送手段は停止させられて、
その間、製品は前記空洞部の中に残されていた。その結
果、製品は必要以上の時間、冷却されることになるた
め、冷凍が進みすぎ、完全に凍ることもあった。
【0005】表面硬化装置の運転を再開した際、必要以
上に冷凍された製品が表面硬化装置から供給される結
果、スライス装置の切断刃がこの製品によって損傷する
危険があった。
【0006】上述の問題は、製造するスライスの厚みに
応じて、スライス装置の設定が変えられ運転速度が遅く
なった場合にも生じていた。この場合には、表面硬化装
置の搬送手段の速度を手動で新しい設定にするか、かつ
/または前記冷却剤供給手段の設定を新しくする必要が
あった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
の問題が解決されたインライン型の表面硬化装置を提供
することであり、特に、後続する加工装置の運転速度に
拘らず、製品の表面硬化が満足に行われるインライン型
表面硬化装置を提供しようとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明に係るインライン
型表面硬化装置は、チャンバと、製品の表面を硬化する
ための冷却剤を供給する冷却剤供給手段と、前記製品を
前記チャンバへ搬入しかつ前記チャンバから搬出するた
めの少なくとも1つの搬送手段とを有し、後続する加工
装置へ製品を供給するインライン型表面硬化装置におい
て、前記加工装置から発信される製品要求信号を受信す
る手段と、前記搬送手段を制御する手段と、前記冷却剤
供給手段を制御する手段とを有し、前記搬送手段を制御
する手段は、前記製品要求信号を受信した際に、前記チ
ャンバ内に最も長く滞在した表面硬化済の製品を前記チ
ャンバから搬出し、実質的に同時に、表面硬化すべき新
しい製品を前記チャンバへ搬入し、前記冷却剤供給手段
を制御する手段は、前記加工装置から前記製品要求信号
を受信した連続する2つの時刻の間の経過時間のうち、
少なくとも1つの経過時間の関数として、前記チャンバ
内に滞在する前記製品へ供給する単位時間当たりの前記
冷却剤量を制御することを特徴とするものである。
【0009】本発明に係る表面硬化装置は、個々の態様
に応じて、以下に記述する特徴のうち、1つもしくは2
つ以上を有する。
【0010】(1)前記冷却剤供給手段を制御する手段
は、前記チャンバ内に滞在する各製品と、各製品が前記
チャンバへ搬入されてからの経過時間と、各製品へ供給
された前記冷却剤の量とを記憶する手段と、前記チャン
バ内に最も長い時間滞在している前記製品の表面硬化を
完了させるために必要な、前記製品に供給されるべき前
記冷却剤の量を算出する手段と、前記製品要求信号を次
に受信するまでの経過時間を見積もり、この見積もられ
た経過時間および前記チャンバ内に最も長い時間滞在し
ている前記製品に供給されるべき前記冷却剤の量から、
前記チャンバ内に滞在する前記製品へ供給する単位時間
当たりの前記冷却剤の量を見積もる手段とを有する。
【0011】(2)前記製品要求信号を次に受信するま
での経過時間を見積もるための前記手段は、前記製品要
求信号を受信した連続する時刻の間の経過時間の平均時
間を算出する手段を有する。
【0012】(3)前記平均時間は、最後のk個の前記
経過時間から算出され、kは前記チャンバ内に同時に収
容される前記製品の数を示す。
【0013】(4)前記製品要求信号を受信した最後の
時刻から経過した時間が第1の設定時間を越えた時に、
前記冷却剤供給手段を停止する手段を有する。
【0014】(5)前記製品要求信号を受信した最後の
時刻から経過した時間が第2の設定時間を越えた時に、
前記チャンバ内の温度を上げるために前記チャンバ内を
換気する手段を有する。
【0015】(6)前記チャンバは、前記チャンバへ前
記製品を搬入し及び前記チャンバから搬出する時には開
口部を開放し、前記チャンバへ前記製品を搬入し及び前
記チャンバから搬出する時以外は開口部を閉じている、
開閉手段を有し、前記チャンバ内を換気する前記手段
は、前記チャンバ内へ前記製品を搬入し及び前記チャン
バから搬出する時以外は、前記開閉手段を閉じる手段を
有する。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る表面硬化装置
を、実施例および図面に基づいて明瞭に説明する。
【0017】図1に示す設備は、棒状のハムをスライス
するためのものである。この設備は、棒状のハムを搬送
する搬送装置10、本発明に係る表面硬化装置12およ
び表面硬化済の棒状のハムをスライスするスライス装置
14を、連続して有する。
【0018】スライス装置14は、表面硬化装置12か
ら送られてくる予め表面硬化された棒状のハムを、所定
の厚みのスライスに切断する。スライス装置14は、表
面硬化装置12から搬出された棒状のハムを取り出すた
めの搬送装置15を有する。このスライス装置14は、
製品(今の場合は、ハムの固まり)のスライスが終了し
たときに、新しい製品を要求する信号を発信するように
設計されている。その結果、スライス装置14には製品
が連続して供給されることになるため、スライス装置1
4はその効率が最適化される。
【0019】表面硬化装置12は、基本的に、1つの空
洞部の形態にあるチャンバ16を備え、このチャンバ
を、表面硬化されるべき複数の製品Pを搬送する1つの
搬送装置18が通過する。この搬送装置18は、例えば
ベルトコンベアーから構成される。チャンバ16は、製
品Pへ冷却剤を供給するための手段19を有する。
【0020】チャンバ16は、地上に設置された架台2
0によって支持されている。チャンバ16は、一般的な
平行六面体の形状をなし、対向する2つの開口部22、
24を有している。開口部22、24は、それぞれ、表
面硬化されるべき製品を搬入する開口部、および表面硬
化済の製品を搬出する開口部を形成している。チャンバ
16の全長(開口部22と24の間の距離)は、表面硬
化されるべき製品を、搬送装置18上に7個づつ繰り返
して配置できる長さになっている。
【0021】搬送装置18は、搬入用開口部22を通過
する。搬送装置18の最前端は、チャンバ16の手前に
位置し、製品がチャンバ16へ搬入される前に待機する
待機領域26を形成している。搬送装置18は、チャン
バ16内を直線的に進み、搬出用開口部24の直前で終
わっている。
【0022】開口部22、24は、それぞれ、スライド
するドア22A、24Aと連結されている。ドア22
A、24Aは、それぞれシリンダーアクチュエータ22
B、24Bによって駆動され、各ドアは、各開口部が閉
じられてチャンバ16内が周囲の雰囲気と隔離される位
置と、駆動手段が後退して各開口部が開けられ暴露され
る位置の間を移動する。各開口部が暴露される位置にお
いては、製品が通過し、チャンバ16内と周囲の雰囲気
とが自由に連絡できるようになる。
【0023】チャンバ16の側壁には、開閉軸を介して
開閉自在のふた28が取付けられ、特にクリーニングの
ためにチャンバ16内部にアクセスできるようになって
いる。
【0024】チャンバ16のすべての壁、ドア22A、
ドア24A、およびふた28には、熱遮蔽処理が施さ
れ、チャンバ16内部と周囲の雰囲気との間で熱が行き
来するのを防いでいる。
【0025】チャンバ16は、水平の隔壁30によっ
て、縦方向に2つの部屋16A、16Bに仕切られてい
る。下方に位置する部屋16Bは搬送装置18が通るも
のであり、製品を表面硬化するための空間を形成してい
る。
【0026】上方に位置する部屋16Aには、図2に示
すように、液体窒素を散布するための散布手段32が収
容されている。散布手段32は、例えば、複数の散布用
ノズル36を有する環状の管34からなる。環状の管3
4は、制御可能な液体窒素供給手段(図示せず)に接続
されている。
【0027】さらに、隔壁30内には2つの通路38が
設けられ、それぞれの通路38を横切ってファンまたは
タービン40が配置されている。2つの通路38は、表
面硬化されるべき製品Pに冷却剤が供給されるように散
布された液体窒素が上方の部屋16Aから下方の部屋1
6Bへと送られることを保証する。このようにして、チ
ャンバ16内部は実質的に−80℃に等しい温度に維持
され、製品の周囲には低温の気体窒素の流れが維持さ
れ、強制対流によって、製品の表面は硬化される。
【0028】また、表面硬化装置12は、例えばプログ
ラム可能な制御装置から構成された、制御手段42を有
する。制御手段42は、特に、搬送装置18のステップ
状の進行、シリンダーアクチュエータ22Bおよび24
Bの駆動、および冷却剤供給手段19の調整を制御する
ように設計されている。制御手段42は、また、特に、
単位時間当たり決められた量の冷却剤を製品Pへ供給す
ることを保証するために、ファン40の動作、および散
布手段32への供給を制御するように設計されている。
【0029】また、制御手段42に接続された温度プロ
ーブ46が、下方の部屋16B内に配置されている。
【0030】制御手段42は、データ伝達線44を介し
てスライス装置14と接続され、スライス装置14から
製品要求信号を受信するようになっている。制御手段4
2は、前記製品要求信号を受信した連続する2つの時刻
の間の経過時間を算出するように設計されている。これ
らの経過時間は、後述する構造を有するスタック内に記
憶される。
【0031】図1に示すように、チャンバ16の全長
は、表面硬化すべき製品を等間隔に配置して、同時に7
個収容できる長さに設計されている。搬送装置10は、
表面硬化装置12の搬送装置18と同期して、表面硬化
すべき製品を前記間隔に離して待機領域26へと送り込
むようになっている。
【0032】チャンバ16内に収容されている製品は、
表面硬化状態が製品ごとに異なっている。搬出用ドア2
4Aの直前に位置する製品P1 は、チャンバ16内に最
も長く滞在しているため、表面硬化は実際上完了してい
る。一方、搬入用ドア22Aの直後に位置する製品P7
は、チャンバ16内に最後に搬入されているため、表面
硬化はまだ初期段階にある。製品P2 からP6 において
は、表面硬化は中間状態にある。
【0033】本発明に係る表面硬化装置12の動作を、
図3に示した流れ図に基づいて説明する。図3は、表面
硬化装置12が定常的な動作状態にあるときに制御手段
42により実行される制御手順を示している。
【0034】ステップ100において製品要求信号が受
信されると、ステップ102において制御手段42は冷
却剤供給手段19を停止する。冷却剤供給手段19は、
液体窒素の供給を遮断することにより停止されるが、合
わせてファン40を停止することにより停止されても良
い。ステップ104において、制御手段42はシリンダ
ーアクチュエータ22Bおよび24Bを駆動することに
より、ドア22Aおよび24Aを開ける。次に、ステッ
プ106において、制御手段42は搬送装置18を1ス
テップ進ませる。その結果、搬送装置18は、チャンバ
16内に最も長く滞在して表面硬化した製品Pをチャン
バから外へと搬出し、それと同時に、表面硬化すべき新
しい製品をドア22を通して搬入する。その後、ステッ
プ108において、ドア22Aおよび22Bが閉じられ
る。
【0035】さらに、ステップ110において、制御手
段42は製品要求信号を受信した最後の2回の時刻につ
いて、その間の経過時間dn を算出し、このdn の値を
スタックRに記憶する。スタックRは、“先入れ先出し
(first in−first out)”(通常F
IFOと呼ばれる)形式の7つの要素を有している。図
4に、スタックRの構造を示す。以上のようにして、ス
タックRは、表面硬化装置12の最後の7回の動作サイ
クルについて、その間の経過時間dn を記憶する。ここ
で、1回の動作サイクルとは、連続する2回の製品要求
信号の間の動作サイクルを意味する。
【0036】さらに、制御手段42は、冷却剤の量Qn
を前記スタックRに記憶する。Qnは、最後に経過した
動作サイクル中に、チャンバ16内の各製品に供給され
た冷却剤の量である。チャンバ16内の各製品は同じ量
の冷却剤を受けとるように設計されている。この冷却剤
の量Qn は、測定されたチャンバ16内の温度と、動作
サイクルの時間より算出される。
【0037】以上のようにして、スタックRに記憶され
たデータから、チャンバ16内へ搬入されてから各製品
に供給された冷却剤の量、および、この冷却剤の量に対
応した各製品の表面硬化状態を求めることができる。さ
らに、各製品が搬入されてからの経過時間も求めること
ができる。
【0038】ステップ112において、制御手段42は
次の動作サイクルの見積もり経過時間d´n+1 を算出す
る。このために、制御手段42は、スタックRに記憶さ
れた7個の算出経過時間dn を平均することにより、次
の動作サイクルの経過時間の近似を行う。
【0039】ステップ112の間に、制御手段42は冷
却剤の量Q´n+1 も算出する。Q´n+1 は、チャンバ1
6内に最も長く滞在している製品に対して、その表面硬
化を完了させるために必要な冷却剤の供給量である。ス
テップ114において、制御手段42は、次のサイクル
の見積り経過時間d´n+1 の間に、Q´n+1 の量の冷却
剤が定常的に供給されるように、冷却剤の量Q´n+1
基づいて、冷却剤供給手段19を調整する設定値を求め
る。この設定値は、実際には、チャンバ16内の製品に
単位時間当たりに供給すべき冷却剤の量に対応する。そ
して、ステップ116において、冷却剤供給手段19は
前記設定値に従って動作を開始する。
【0040】冷却剤供給手段19が動作している間に、
ステップ118において、制御手段42により製品要求
信号が受信されると、ただちにステップ102ないし1
16が再び実行される。そして、表面硬化済の製品がチ
ャンバ16から搬出され、表面硬化する新しい製品がチ
ャンバ内へと搬入される。
【0041】もし、ステップ120において、測定され
た経過時間Dn+1 (最後の製品要求信号が受信されてか
らの経過時間)が、第1の設定時間dref1よりも大きい
値として測定された場合、例えば見積もり経過時間d´
n+1 の110%に等しくなるような場合には、ステップ
122において、制御手段42は冷却剤供給手段19を
停止するか、もしくは冷却剤の流量を小さくし、製品が
必要以上に表面硬化されるのを防ぐ。必要以上に硬化し
た表面は、実際、後続するスライス装置に対して損傷を
与え得る。このように製品要求信号が遅れて受信される
理由としては、スライス装置の動作サイクルが変更され
たか、もしくはスライス装置内で事故が発生したなどが
あり得る。
【0042】もし、ステップ124において、製品要求
信号が受信された場合には、ステップ102ないし11
6が再び実行される。そうでない場合、ステップ126
において、経過時間Dn+1 (最後の製品要求信号が受信
されてからの経過時間)が、第2の設定時間dref2より
も大きい値として測定された場合、例えば見積もり経過
時間d´n+1 の120%に等しくなるような場合には、
ステップ128において、制御手段42はシリンダーア
クチュエータ22Bおよび24Bを駆動することによ
り、ドア22Aおよび24Aを開ける。その結果、チャ
ンバ16内は周囲の大気と接触させられ換気される。そ
の結果、チャンバ16内の温度は上昇して表面硬化すべ
き製品が中心まで凍ることを防ぐ。
【0043】次に、ステップ130において、制御手段
42は冷却剤供給手段19、ドア22Aおよび24Aの
開口を適応して制御し、チャンバ16内に最も長く滞在
している製品の表面硬化状態を許容できるレベルに保つ
ようにする。このステップ130は、ステップ132に
おいて製品要求信号が受信されたときに終了する。そし
て、ステップ102ないし116が実行される。
【0044】平均の経過時間d´n+1 を算出して、進行
中の動作サイクルの時間を見積もる際、設定時間よりも
長かった経過時間は算出から除くことが可能である。例
えば、第2の設定時間dref2に等しくなるような経過時
間は、スライス装置の異常な動作サイクル(故障または
設定の変更)に対応するとして、算出から除くことがで
きる。
【0045】装置が運転されている間、経過時間および
供給された冷却剤の量に対して、その平均値がスタック
Rの中のレジスタに記憶される。
【0046】本発明に係る表面硬化装置によれば、製品
の表面硬化状態には影響を与えずに、動作サイクルの長
さを変えることができることがわかる。たとえスライス
装置に重大な問題が起こって長い間停止したとしても、
製品が必要以上に冷凍される危険はなく、従って、スラ
イス装置の切断刃、その他の部分に損傷を与えるような
危険はない。
【0047】上記表面硬化装置は、強制対流による冷却
剤供給手段を使用しているが、他の形式の冷却剤供給手
段も用いることができる。例えば、製品へ低温の液体を
直接散布する手段、または製品をこの低温の液体と接触
させる手段が挙げられる。さらに、上記表面硬化装置に
おいては、液体窒素の代わりに液体二酸化炭素が、散布
用の環状の管34に供給されても良い。
【0048】上述の実施例においては、本発明に係る表
面硬化装置は、チャンバ16内の製品へ供給されるべき
冷却剤の量の決定に適用されている。特に、スタックR
に記憶される値は、各サイクルにおいて製品へ供給され
る冷却剤の量に対応する。しかし、他の例として、本発
明に係る表面硬化装置は、チャンバ16の下方に位置す
る部屋16Bの温度の調節に適用することができる。そ
の理由としては、冷却剤の供給量は、チャンバ内の温度
および滞在時間に直接関係しているため、冷却剤の供給
量を制御することとチャンバ内の温度を制御することと
は、同等であるからである。この場合、スタックRに記
憶される値は、各サイクルでの経過時間に加えて、温度
測定手段46によって測定される下方に位置する部屋1
6Bの温度を含む。
【0049】また、本発明に係る表面硬化装置12は、
互いに独立した複数の搬送装置を有していても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る表面硬化装置を伴ったハムスライ
ス設備を示す概略図。
【図2】本発明に係る表面加工装置の、上部カバーを外
した概略図。
【図3】本発明に係る表面硬化装置を制御する制御手段
により実行される制御手順を示す流れ図。
【図4】本発明に係る制御手段により記憶媒体に記憶さ
れたスタックデータの構造を示す図。
【符号の説明】
10…搬送装置、 12…表面硬化装置、 14…スライス装置 15…搬送装置、 16…チャンバ、 16A、16B…部屋、 18…搬送装置、 19…冷却剤供給手段、 20…架台、 22、24…開口部、 22A、24A…ドア、 22B、24B…シリンダーアクチュエータ、 26…待機領域、 28…ふた、 30…隔壁、 32…散布手段、 34…管、 36…散布用ノズル、 38…通路、 40…ファン、 42…制御手段、 44…データ伝達線、 46…温度プローブ。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チャンバと、製品の表面を硬化するため
    の冷却剤を供給する冷却剤供給手段と、前記製品を前記
    チャンバへ搬入しかつ前記チャンバから搬出するための
    少なくとも1つの搬送手段とを有し、後続する加工装置
    へ製品を供給するインライン型表面硬化装置において、 前記加工装置から発信される製品要求信号を受信する手
    段と、 前記搬送手段を制御する手段と、 前記冷却剤供給手段を制御する手段とを有し、 前記搬送手段を制御する手段は、前記製品要求信号を受
    信した際に、前記チャンバ内に最も長く滞在した表面硬
    化済の製品を前記チャンバから搬出し、実質的に同時
    に、表面硬化すべき新しい製品を前記チャンバへ搬入
    し、 前記冷却剤供給手段を制御する手段は、前記加工装置か
    ら前記製品要求信号を受信した連続する2つの時刻の間
    の経過時間のうち、少なくとも1つの経過時間の関数と
    して、前記チャンバ内に滞在する前記製品へ供給する単
    位時間当たりの前記冷却剤量を制御することを特徴とす
    るインライン型表面硬化装置。
  2. 【請求項2】 前記冷却剤供給手段を制御する手段は、 前記チャンバ内に滞在する各製品と、各製品が前記チャ
    ンバへ搬入されてからの経過時間と、各製品へ供給され
    た前記冷却剤の量とを記憶する手段と、 前記チャンバ内に最も長い時間滞在している前記製品の
    表面硬化を完了させるために必要な、前記製品に供給さ
    れるべき前記冷却剤の量を算出する手段と、 前記製品要求信号を次に受信するまでの経過時間を見積
    もり、この見積もられた経過時間および前記チャンバ内
    に最も長い時間滞在している前記製品に供給されるべき
    前記冷却剤の量から、前記チャンバ内に滞在する前記製
    品へ供給する単位時間当たりの前記冷却剤の量を見積も
    る手段とを有することを特徴とする請求項1記載のイン
    ライン型表面硬化装置。
  3. 【請求項3】 前記製品要求信号を次に受信するまでの
    経過時間を見積もるための前記手段は、前記製品要求信
    号を受信した連続する時刻の間の経過時間の平均時間を
    算出する手段を有することを特徴とする請求項2記載の
    インライン型表面硬化装置。
  4. 【請求項4】 前記平均時間は、最後のk個の前記経過
    時間から算出され、kは前記チャンバ内に同時に収容さ
    れる前記製品の数を示すことを特徴とする請求項3記載
    のインライン型表面硬化装置。
  5. 【請求項5】 前記製品要求信号を受信した最後の時刻
    から経過した時間が第1の設定時間を越えた時に、前記
    冷却剤供給手段を停止する手段を有することを特徴とす
    る請求項1から4記載のインライン型表面硬化装置。
  6. 【請求項6】 前記製品要求信号を受信した最後の時刻
    から経過した時間が第2の設定時間を越えた時に、前記
    チャンバ内の温度を上げるために前記チャンバ内を換気
    する手段を有することを特徴とする請求項1から5記載
    のインライン型表面硬化装置。
  7. 【請求項7】 前記チャンバは、前記チャンバへ前記製
    品を搬入し及び前記チャンバから搬出する時には開口部
    を開放し、前記チャンバへ前記製品を搬入し及び前記チ
    ャンバから搬出する時以外は開口部を閉じている、開閉
    手段を有し、 前記チャンバ内を換気する前記手段は、前記チャンバ内
    へ前記製品を搬入し及び前記チャンバから搬出する時以
    外は、前記開閉手段を閉じる手段を有することを特徴と
    する請求項6記載のインライン型表面硬化装置。
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