JPH10119280A

JPH10119280A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

Info

Publication number: JPH10119280A
Application number: JP28040696A
Authority: JP
Inventors: Mineo Kaneko; 峰夫金子; Genji Inada; 源次稲田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-10-23
Filing date: 1996-10-23
Publication date: 1998-05-12

Abstract

(57)【要約】【課題】クロストーク現象を抑制し、かつ、高周波数
でも安定してインク等の液体の吐出を行い得る液体吐出
ヘッドおよび液体吐出装置を提供すること。【解決手段】液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するため
の吐出口２に対向して設けられた少なくとも１つの電気
熱変換体１１と、該電気熱変換体に向けて液体を供給す
るための少なくとも２つの液体供給路１１ａ、１１ｂと
を含む。液体供給路１１ａ、１１ｂの流抵抗が互いに異
なる。流抵抗は異なる形状とすることにより異ならしめ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体吐出ヘッドお
よび当該液体吐出ヘッドを用いて液体を吐出する液体吐
出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液体吐出装置のうち、インクジェット記
録装置は、インクを微小な液滴としてノズルより吐出し
文字・図形等の記録を行ない、高精細な画像の出力、高
速印字の手段としてすぐれた利点を有している。特に、
電気熱変換体（以下、ヒータという）等により生成した
バブル（気泡）圧を用いる方法、いわゆる熱インクジェ
ット記録方法（特公昭６１−５９９１１〜４号）は装置
の小型化、画像の高密度化が容易であるなどの特徴を有
している。

【０００３】図１は、このような従来の熱インクジェッ
トヘッドの１つの形態を示す分解斜視図である。図１に
示したヘッドは、ヒータ１とオリフィス２とが対向して
設けられた、いわゆるサイドシュータタイプのヘッドで
ある。

【０００４】図１に示したように、複数のヒータ１は基
板３上に一列状に配され、各ヒータ１の配置部にはイン
クを供給するためのインク供給路としてのノズル４が対
応して形成されている。複数のノズル４は平行に形成さ
れた複数のノズル壁５により構成され、ヒータ１近傍の
一端部においてノズル４は閉じられ、その他端部におい
て共通液室６に開放されている。この共通液室６は、図
示しないインクタンクからのインクを受け入れるための
供給口７に連通している。また、基板３にはヒータ１に
電気信号を送るための電極配線（図示略）が配設されて
いる。このような基板３上に接合されるノズルプレート
部材８には、一列状に配された複数のヒータ１にそれぞ
れ対応する位置にオリフィス２が形成されている。

【０００５】図２は図１のヒータ近傍を拡大して示す図
であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけ
るＡ−Ａ線に沿う概略断面図である。

【０００６】図２（ａ）に示すように、幅Ｗのノズル４
は、一方で共通液室６に連通し、他方でヒータ１に連通
している。

【０００７】このような構成によれば、ヒータ、オリフ
ィス、ノズルのサイズを小さくすることにより、６００
〜１，２００ｄｐｉの画像に適した４〜１０ｐｌ程度の
液滴を吐出し、高精細画像に記録するインクジェットヘ
ッドを作成できる。特に、特開平４−１０９４０に示す
ようにノズル高さｈを低くして、大気に気泡を連通させ
て液体を吐出する方法では、微小な液滴を安定に吐出す
ることが可能である。

【０００８】ここで、図２（ａ）および（ｂ）の構成
で、そのままノズルを小さく（特に、ノズル高さｈを小
さく）すると、ノズルの開口部分の断面積が小さくなる
ため、流抵抗が増大する。このことは、吐出によって失
なわれたインクを液室より補充する、いわゆるリフィル
の流れを妨げ、ヒータの繰り返し吐出の周波数を下げる
原因となる。特に、微小液滴で画像を形成する場合は、
一枚当りの印字速度を維持するためには、より高周波数
で吐出を行わなければならないので、流抵抗の増大を招
く事態は深刻である。

【０００９】そこで、ノズルの幅Ｗを広げてノズルの断
面積を広げるという方法が考えられる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図２
（ｂ）に示すように、ノズル幅Ｗを広げると、ヒータか
ら生じた吐出パワーのうち、吐出方向Ｈに比べ直角方向
Ｖに逃げる量が増大し、液滴の吐出速度や吐出量が下が
り、画質が劣化する。さらに、Ｖ方向の成分は、インク
リフィルの流れに逆行する方向であり、リフィルに悪影
響を及ぼす。

【００１１】また、Ｖ方向の成分は、図３に示すよう
に、隣接するノズルにＶ′成分となって伝搬するため、
インクの吐出に悪影響を及ぼす、いわゆるクロストーク
現象を引き起こす。

【００１２】一方、特開平５−１１６３１７号には、吐
出の安定性や高周波数駆動について言及されてはいる
が、隣接するノズル間に生じるクロストーク現象による
影響は考慮されていない。

【００１３】このような構成の流路構造として、１つの
ヒータに対して２方向からインクの補充を行い得る構成
のヘッドも提案されている。

【００１４】しかしながら、このような構成のヘッドで
は、インク流路としての複数のノズル内の流抵抗が全て
同一に設定されているため、上記Ｖ方向の成分によりイ
ンクリフィルの流れが妨げられることがないものの、依
然として上記クロストーク現象を効果的に抑制するまで
には至っていないのが現状である。

【００１５】本発明の目的は、クロストーク現象を抑制
し、かつ、高周波数でも安定してインク等の液体の吐出
を行い得る液体吐出ヘッドを提供することにある。

【００１６】また、本発明の他の目的は、上述の液体吐
出ヘッドを用いた高速印字で、高精細な画像を作成し得
る液体吐出装置を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上述のような目的を達成
するための本発明の代表的な要件は、次のようなもので
ある。

【００１８】液滴を吐出するための吐出口に対向して設
けられた少なくとも１つの電気熱変換体と、該電気熱変
換体に向けて液体を供給するための少なくとも２つの液
体供給路と、を含む液体吐出ヘッドにおいて、前記同一
の電気熱変換体に液体を供給すべき関係の前記少なくと
も２つの液体供給路は、各液体供給路の流抵抗が互いに
異なる液体吐出ヘッド。

【００１９】もしくは、前記各液体供給路は、互いに異
なる形状を有している液体吐出ヘッド。

【００２０】もしくは、前記電気熱変換体は少なくとも
２つの群から構成されており、第１の群は第１の液室と
前記電気熱変換体とを連絡する第１の液体供給路と、第
２の液室と前記電気熱変換体とを連結しかつ前記第１の
液体供給路よりも流抵抗が大きい第２の液体供給路とを
含み、第２の群は前記第１の液室と前記電気熱変換体と
を連絡する第３の液体供給路と、前記第２の液室と前記
電気熱変換体とを連結しかつ前記第３の液体供給路より
も流抵抗が小さい第４の液体供給路とを含む液体吐出ヘ
ッド。

【００２１】もしくは、前記吐出口は複数個から構成さ
れ、かつ、列をなすと共に、前記電気熱変換体の前記第
１の群の前記第１の液体供給路と前記第２の群の前記第
３の液体供給路とが前記吐出口の列に対し一方の側に配
され、前記第１の群の前記第２の液体供給路と前記第２
の群の前記第４の液体供給路とが前記吐出口の列に対し
他方の側に配された液体吐出ヘッド。

【００２２】もしくは、前記吐出口の列に沿って、前記
第１の群に属する前記電気熱変換体と前記第２の群に属
する前記電気熱変換体とが交互に配されている液体吐出
ヘッド。

【００２３】もしくは、隣接する前記液体供給路の流抵
抗が交互に異なる液体吐出ヘッド。

【００２４】もしくは、前記第１の液室と前記第２の液
室とは連通している液体吐出ヘッド。

【００２５】もしくは、前記電気熱変換体によって前記
液体内に形成された気泡の圧力を利用して前記液体を前
記吐出口から外部に吐出する液体吐出ヘッドであって、
前記気泡内の圧力が外気圧より低い状態で、前記気泡と
外気とが前記吐出口近傍で連通する液体吐出ヘッド。

【００２６】もしくは、前記液体はインクである液体吐
出ヘッド。

【００２７】もしくは、上述の液体吐出ヘッドを用いて
前記液体を吐出する液体吐出装置である。

【００２８】本発明の特徴的な構成よれば、１つの電気
熱変換体に複数の液体供給路が対応して設けられている
ので、液体吐出時の発泡圧力の一部の成分が液体補充を
妨げる方向のみに働くことがなく、吐出力の損失を抑え
ることができる。また、同一の電気熱変換体に液体を供
給すべき関係の前記少なくとも２つの液体供給路の流抵
抗が互いに異なるので、相対的に流抵抗の小さい液体供
給路を介して液体の補充を円滑に行うことができると共
に、相対的に流抵抗の大きい液体供給路を通して他の電
気熱変換体からの発泡圧力の影響を受けることが少な
く、効果的にクロストーク現象を抑制することができ
る。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を実
施例により、具体的に説明する。

【００３０】［第１の実施例］図４は、本発明の液体吐
出ヘッドの第１の実施例を示す分解斜視図であり、図５
は、図４に示すヒータ近傍を拡大して示す概略平面図で
ある。図４および図５に示すヘッドにおける各構成要素
のうち、図１および図２に示した従来のヘッドにおける
各構成要素と共通するものについては、同一の符号を付
し、その部分の説明を省略する。

【００３１】本実施例に係る液体吐出ヘッドは、従来の
ヘッドと同様に、いわゆるサイドシュータタイプである
が、互いに平行に延びる千鳥状の２列のオリフィスを有
するものである。これらオリフィスにそれぞれ対応する
ヒータ１１、１２、１３、１４も千鳥状に配置され、ヒ
ータ１１、１３は同一の列に属し、ヒータ１２、１４は
別の同一の列に属している。

【００３２】ヒータ１１はノズル幅Ｗ１の第１のノズル
１１ａの一端部の底部に設けられており、この第１のノ
ズル１１ａの一端部には、当該ノズル１１ａと連通し、
かつ、当該ノズル１１ａの長さ方向に沿ってノズル１１
ａのノズル幅よりも狭いノズル幅の第２のノズル１１ｂ
が設けられている。第１のノズル１１ａは、その他端部
において第１の共通液室６Ｌと連通し、第２のノズル１
１ｂはヒータ１１から離れた側の端部において第２の共
通液室６Ｒと連通している。このような第１のノズル１
１ａと第２のノズル１１ｂは、ノズル幅が異なるため、
流抵抗も異なるように設定されている。

【００３３】また、上記ヒータ１１に隣接するヒータ１
２は、ノズル幅Ｗ２の第３のノズル１２ａの一端部の底
部に設けられており、この第３のノズル１２ａの一端部
には、第３のノズル１２ａと連通し、かつ、当該ノズル
１２ａの長さ方向に沿ってノズル１２ａのノズル幅より
も狭いノズル幅の第４のノズル１２ｂが設けられてい
る。第３のノズル１２ａは、その他端部において第１の
共通液室６Ｌと連通し、第４のノズル１２ｂはヒータ１
２から離れた側の端部において第２の共通液室６Ｒと連
通している。このような第３のノズル１２ａと第４のノ
ズル１２ｂは、ノズル幅が異なるため、流抵抗も異なる
ように設定されている。

【００３４】ここで、ヒータ１１とこれに隣接するヒー
タ１２との間の液体供給路の配置関係を説明する。

【００３５】ヒータ１１の第１のノズル１１ａは、上述
のように、第２のノズル１１ｂよりも相対的にノズル幅
Ｗ１が大きく、従って流抵抗の小さいものであり、これ
に隣接するヒータ１２の第４のノズル１２ｂは、第３の
ノズル１２ａよりも相対的にノズル幅が狭く、従って流
抵抗の大きいものである。ヒータ１１の発泡圧力の一成
分が図５の矢印Ｖ方向に沿って第１の共通液室６Ｌを通
って隣接するヒータ１２の第４のノズル１２ｂへ伝搬し
ても、第４のノズル１２ｂの流抵抗が大きいため、その
影響を受けることが少ない。

【００３６】ヒータ１３とヒータ１４との関係も、上述
のヒータ１１とヒータ１２との関係と同様である。

【００３７】なお、上述の２つの共通液室６Ｌおよび６
Ｒは、上述の各液体供給路以外で、それぞれ独立でもよ
く、あるいは接続された同一の液室であってもよい。

【００３８】本実施例では、基本的に１つのヒータに対
し２つの液体供給路を介して共通液室から液体の補充を
効率よく行えるので、高周波数で吐出が可能となる。ま
た、一方の液体供給路の流抵抗が他方の液体供給路の流
抵抗よりも大きいので、流抵抗の大きい液体供給路への
吐出力の逃げが少なくなる。

【００３９】また、本実施例では、図６に示すように、
ヒータ１１，１３に同時に吐出パルスを与え、遅延時間
をおいてヒータ１２，１４に吐出パルスを加えた場合
に、ヒータ１１の吐出力のうち、ノズル１１ａから図５
中の矢印Ｖ方向に逃げた成分により、隣接するヒータ１
２のノズル１２ｂや、更に隣接するヒータ１３のノズル
１３ａを通じてヒータ１２および１３に影響を与える。
しかし、ノズル１２ｂの流抵抗は高く、ノズル１３ａの
位置はヒータ１１から相当遠方であるため、各ヒータ１
２、１３に到達する前にその影響は減衰してしまい、問
題にならない。この他に、このような繊細なノズルにお
いてはインク中のゴミによるノズル詰りが懸念される
が、この構成によれば、ヒータへのインク供給が２方向
からなされるため、片方のノズルにゴミが詰っても、吐
出を続けることが可能である。

【００４０】なお、本実施例では、１つのヒータに接続
するノズルの幅と長さを相違させることで流路抵抗を相
違させたが、ノズル高さや断面積あるいは流体抵抗素子
を設けることで流体抵抗を相違させてもよい。また、ヒ
ータを千鳥状でなく、直線上に配置してもよい。

【００４１】さらに、供給口の位置も、図４ではヒータ
列の延長線上にあるが、ノズルと対向して、ヒータ列と
平行に細長い供給口を配してもよい。

【００４２】次に、本実施例に係る液体吐出ヘッドの製
造方法を説明する。液体吐出ヘッドの作製には基板上に
流路としてのノズルとなる固体層を形成し、この固体層
の周囲および上部に樹脂層を形成し、固体層を除去して
ノズルを形成した後、樹脂層のうち基板上のヒータに対
向する位置にインク吐出口としてのオリフィスを形成す
る方法を用いることができる。ここでは、ノズルおよび
オリフィスは、光硬化性樹脂を型としてパターンを形成
した。ヒータのサイズを２６μｍ×２６μｍとし、４２
μｍピッチで６４個配置した。オリフィス部の厚みｔ₁
は１０μｍ、オリフィス径は１８μｍとした。ノズル部
の厚みｔ₂は１０μｍ、ノズル１１ａの長さＬ₁＝２０
μｍ、幅Ｗ₁＝１８μｍ、ノズル１２ａの長さＬ₂＝４
０μｍ、幅Ｗ₂＝１０μｍとした。このヘッドを周波数
１０ｋＨｚで駆動したが、正常に吐出することができ
た。

【００４３】［第２の実施例］図７は、本発明の液体吐
出ヘッドの第２の実施例を示す概略平面図である。

【００４４】本実施例の特徴は、２つのノズルのうち、
一方のノズルの一部に狭窄部１１ｃ、１２ｃ．．．を設
けている点である。この構成によれば、ヒータにおける
発泡初期のパワーがノズル方向に逃げようとしても、狭
窄部において、その流れの速さにより激しい渦を形成し
てエネルギーを失う。一方、インクの補充の流れは、よ
りゆるやかであるため、狭窄部に於いてもエネルギーを
失なわず、狭窄部の長さが充分短ければ流抵抗も小さい
ため、影響が少ない。結果として、高周波数で駆動可能
であり、クロストークの少ない液体吐出ヘッドを提供で
きる。

【００４５】なお、本実施例では、先の第１の実施例と
異なり、ヒータ１１、１２．．．が一列に配列されてい
るが、ノズルの一部に狭窄部を設ける構成を有するもの
であれば、先の第１の実施例と同様に、ヒータを千鳥状
に２列に配列した構成を採用してもよい。

【００４６】［第３の実施例］図８は、本発明の液体吐
出ヘッドの第３の実施例を示す概略平面図であり、図９
は、図８に示したヘッドの駆動を説明するためのグラフ
である。

【００４７】本実施例では、ヒータが千鳥状に配列され
た先の第１の実施例と異なり、同一のノズルを有する複
数個のヒータが連続して配置され、形状は同一である
が、向きの異なるノズルを有する複数個のヒータが連続
して配置され、前者の一群（ブロック１）のヒータ１１
〜１３と後者の一群（ブロック２）のヒータ１４〜１６
とは別のノズル列に属している点に特徴がある。この構
成は、連続する一群のヒータ、すなわちブロック１また
は２に属するヒータを同時に駆動したい場合に有効であ
る。

【００４８】すなわち、図９に示すように、ブロック１
に属するヒータに対して吐出パルスを加えた後、所定の
遅延時間をおいて、ブロック２に属するヒータに対して
吐出パルスを加える。

【００４９】一般に、このような方法で駆動を行うと、
ブロック１に属するヒータの吐出パワーのうち、図８に
示す矢印Ｖ方向の成分が、ノズル数の分だけ増大し、ク
ロストークも増大することになる。

【００５０】しかし、図８に示す構成によると、ブロッ
ク１から逃げる上述の矢印Ｖ方向の成分がブロック２に
属するヒータに影響を与えるには、幅の狭い流抵抗の大
きいノズルを通過しなければならないため、実際にはブ
ロック１からブロック２へのクロストークを効率的に抑
制することができ、良好な液体吐出を行うことが可能と
なる。

【００５１】なお、本実施例では、ブロック１または２
に属するヒータとしてそれぞれ３つのみ示したが、各ブ
ロックに属するヒータを例えば１６個とし、この１６個
のヒータを１単位として同時に駆動するようにしてもよ
い。

【００５２】また、本発明が適用できるヘッドの構成
は、前述の実施例の範囲にはとどまらない。例えば、オ
リフィスを形成する材料としては、光感光性の樹脂や、
電鋳法でオリフィスを形成したメッキ基板や、ポリイミ
ドなどの薄い樹脂テープや成形可能な樹脂（例えばＰＳ
Ｆ）などが使用可能である。オリフィスの形成方法も光
によるパターニングや、ＵＶＯ₃によるアッシング、エ
キシマレーザーによるパターニングモールドによる形成
などが可能である。

【００５３】このような液体吐出ヘッドの全体の構成を
図１０（ａ）および（ｂ）を参照しつつ説明する。

【００５４】図１０（ａ）および（ｂ）は、本発明の液
体吐出ヘッドの一例の概略構成を示す図であって、図１
０（ａ）は外観を示す斜視図であり、図１０（ｂ）は図
１０（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。

【００５５】図１０において、符号３は電気熱変換素子
としてのヒータおよび吐出口が薄膜技術により形成され
たＳｉ素子基板である。この素子基板３には、図１０
（ａ）に示すように２列に配列された複数の吐出口２が
千鳥状に設けられている。素子基板３はＬ字状に加工さ
れた支持部材１０２の一部に接着固定されている。同じ
く支持部材１０２上には、配線基板１０４が固定され、
この配線基板１０４の配線部分と素子基板３の配線部分
とはボンディングにより電気的に接続されている。支持
部材１０２は、コスト、加工性等の観点からアルミニウ
ム材で形成される。モールド部材１０３は、その内部に
支持部材１０２の一部を挿入させ、支持部材１０２を支
持すると共に、その内部に形成された液体供給路１０７
を介して液体貯留部（図示略）から前述の素子基板３に
設けられた吐出口に液体（例えば、インク）を供給する
ための部材である。また、モールド部材１０３は、本実
施形態の液体吐出ヘッド全体を後述の液体吐出装置に着
脱自在に固定するための装着、位置決め部材としての役
割を果たす。

【００５６】素子基板３の内部には、モールド部材１０
３の液体供給路１０７を介して供給される液体を、吐出
口までさらに供給するための連通路１０５が素子基板３
を貫通して設けられている。この連通路１０５は、各吐
出口に連通する液流路と連通しており、共通液室として
の役割を担っている。

【００５７】次に、上述の液体吐出ヘッドの装着が可能
な液体吐出装置の一例を説明する。

【００５８】図１１において符号２００は上述の液体吐
出ヘッドを着脱自在に装着するためのキャリッジであ
る。本例では、液体吐出ヘッドは液体としてのインクの
色の種類に応じて４種類装着され、各ヘッドは、イエロ
ーインクのタンク２０１Ｙ，マゼンタインクのタンク２
０１Ｍ，シアンインクのタンク２０１Ｃ，ブラックイン
クのタンク２０１Ｂと共にキャリッジ２００上に搭載さ
れている。

【００５９】キャリッジ２００は、ガイドシャフト２０
２に支持され、モータ２０３により順方向または逆方向
に駆動される無端ベルト２０４によりガイドシャフト２
０２上を矢印Ａ方向に往復移動可能とされる。無端ベル
ト２０４はプーリ２０５および２０６間に巻回されてい
る。

【００６０】被記録媒体としての記録紙Ｐは、矢印Ａ方
向に直交する矢印Ｂ方向に間欠的に搬送される。記録紙
Ｐは上流側の一対のローラユニット２０７、２０８と、
下流側の一対のローラユニット２０９、２１０とによ
り、挟持され、一定の張力を印加され、ヘッドに対する
平面性を確保しながら搬送される。各ローラユニットに
対する駆動力の付与は駆動部２１１により行われるが、
前述の駆動モータを利用して上記ローラユニットを駆動
する構成としてもよい。

【００６１】キャリッジ２００は、記録開始時または記
録中に必要に応じてホームポジションに停止する。この
ポジションには、各ヘッドの吐出口面をキャップするキ
ャップ部材２１２が設けられ、このキャップ部材２１２
には、吐出口面の吐出口に対して強制的に吸引して吐出
口内の目詰まりを防止するための吸引回復手段（図示
略）が接続されている。

【００６２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、１つのヒータに形状の異なる複数のノズルに
よってインクを供給する構造を用い、各ヒータ群の境界
では形状の異なるノズルが隣接する構成とすることで、
高周波数での吐出と、クロストークの少ない安定吐出が
可能となる。また、吐出パワーのロスや、ゴミづまりに
よる不良も低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来知られているインクジェットヘッドの分解
斜視図である。

【図２】図１の部分拡大図である。

【図３】図２のインクの流れを説明する図である。

【図４】本発明の第１の実施例の全体を表す図である。

【図５】本発明の第１の実施例を表す概念図である。

【図６】図５のヒータの駆動を説明する図である。

【図７】本発明の第２の実施例を表す図である。

【図８】本発明の第３の実施例を表す図である。

【図９】図８のヒータの駆動を説明する図である。

【図１０】（ａ）および（ｂ）は、本発明の液体吐出ヘ
ッドの概略構成を示す図であって、（ａ）は外観を示す
斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図
である。

【図１１】本発明の液体吐出ヘッドを装着することがで
きる液体吐出装置の一例を示す概略斜視図である。

【符号の説明】

１、１１、１２、１３、１４、１５、１６ヒータ２オリフィス（吐出口）３基板４ノズル５ノズル壁６共通液室７供給口８ノズルプレート１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂノズル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液滴を吐出するための吐出口に対向して
設けられた少なくとも１つの電気熱変換体と、該電気熱
変換体に向けて液体を供給するための少なくとも２つの
液体供給路と、を含む液体吐出ヘッドにおいて、前記同一の電気熱変換体に液体を供給すべき関係の前記
少なくとも２つの液体供給路は、各液体供給路の流抵抗
が互いに異なることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】前記各液体供給路は、互いに異なる形状
を有していることを特徴とする請求項１記載の液体吐出
ヘッド。
【請求項３】前記電気熱変換体は少なくとも２つの群
から構成されており、第１の群は第１の液室と前記電気
熱変換体とを連絡する第１の液体供給路と、第２の液室
と前記電気熱変換体とを連結しかつ前記第１の液体供給
路よりも流抵抗が大きい第２の液体供給路とを含み、第
２の群は前記第１の液室と前記電気熱変換体とを連絡す
る第３の液体供給路と、前記第２の液室と前記電気熱変
換体とを連結しかつ前記第３の液体供給路よりも流抵抗
が小さい第４の液体供給路とを含むことを特徴とする請
求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】前記吐出口は複数個から構成され、か
つ、列をなすと共に、前記電気熱変換体の前記第１の群
の前記第１の液体供給路と前記第２の群の前記第３の液
体供給路とが前記吐出口の列に対し一方の側に配され、
前記第１の群の前記第２の液体供給路と前記第２の群の
前記第４の液体供給路とが前記吐出口の列に対し他方の
側に配されたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか
の項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】前記吐出口の列に沿って、前記第１の群
に属する前記電気熱変換体と前記第２の群に属する前記
電気熱変換体とが交互に配されていることを特徴とする
請求項４記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】隣接する前記液体供給路の流抵抗が交互
に異なることを特徴とする請求項５記載の液体吐出ヘッ
ド。
【請求項７】前記第１の液室と前記第２の液室とは連
通していることを特徴とする請求項３記載の液体吐出ヘ
ッド。
【請求項８】前記電気熱変換体によって前記液体内に
形成された気泡の圧力を利用して前記液体を前記吐出口
から外部に吐出する液体吐出ヘッドであって、前記気泡内の圧力が外気圧より低い状態で、前記気泡と
外気とが前記吐出口近傍で連通することを特徴とする請
求項１〜７のいずれかの項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】前記液体はインクであることを特徴とす
る請求項１〜８のいずれかの項に記載の液体吐出ヘッ
ド。
【請求項１０】請求項１〜９のいずれかの項に記載の
液体吐出ヘッドを用いて前記液体を吐出することを特徴
とする液体吐出装置。