JPH10119973A - サンプリング口を有する薬液容器 - Google Patents
サンプリング口を有する薬液容器Info
- Publication number
- JPH10119973A JPH10119973A JP27625996A JP27625996A JPH10119973A JP H10119973 A JPH10119973 A JP H10119973A JP 27625996 A JP27625996 A JP 27625996A JP 27625996 A JP27625996 A JP 27625996A JP H10119973 A JPH10119973 A JP H10119973A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- chemical solution
- sampling
- port
- sampling port
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】電子工業分野における高純度な品質が要求され
る薬液容器を提供する。 【解決手段】サンプリング口９を有し、該口から容器内
部に挿入された管１０を有することを特徴とする薬液容
器。
る薬液容器を提供する。 【解決手段】サンプリング口９を有し、該口から容器内
部に挿入された管１０を有することを特徴とする薬液容
器。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造分野等に
使用される電子工業用高純度薬液用の容器の改良に関す
る。
使用される電子工業用高純度薬液用の容器の改良に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】電子工業分野では半導体や液晶表示装置
の製造にあたって、種々の高純度薬液が使用されてい
る。例えば、高純度過酸化水素水、高純度アンモニア
水、高純度テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイ
ド水溶液、高純度硫酸、高純度フッ酸等である。これら
の薬液中に微量でも不純物や微粒子が存在すると、半導
体素子や液晶表示素子の特性に悪影響を与えるため、薬
液は高純度品である必要がある。要求される純度は、例
えば全ての金属について各１ｐｐｂ以下、０．２μｍ以
上の大きさの微粒子が１００個／ｍｌ以下など、極めて
高純度である。従って、これらの高純度薬液を容器に一
旦収容し、使用場所まで輸送し使用するといった方法を
とるにあたっては、薬液の出し入れやサンプリングなど
の作業に伴う汚染ならびに容器材質からの不純物溶出や
発塵は厳密に管理されなければならない。
の製造にあたって、種々の高純度薬液が使用されてい
る。例えば、高純度過酸化水素水、高純度アンモニア
水、高純度テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイ
ド水溶液、高純度硫酸、高純度フッ酸等である。これら
の薬液中に微量でも不純物や微粒子が存在すると、半導
体素子や液晶表示素子の特性に悪影響を与えるため、薬
液は高純度品である必要がある。要求される純度は、例
えば全ての金属について各１ｐｐｂ以下、０．２μｍ以
上の大きさの微粒子が１００個／ｍｌ以下など、極めて
高純度である。従って、これらの高純度薬液を容器に一
旦収容し、使用場所まで輸送し使用するといった方法を
とるにあたっては、薬液の出し入れやサンプリングなど
の作業に伴う汚染ならびに容器材質からの不純物溶出や
発塵は厳密に管理されなければならない。
【０００３】薬液容器が２０Ｌ程度のものまでであれ
ば、クリーンルーム内で容器を傾けて中の薬液を汚染な
く抜き出すことができるが、１００Ｌ以上特に数ｋＬに
およぶような量の薬液を収容する大型容器では、薬液を
汚染させることなく抜き出すのは困難である。
ば、クリーンルーム内で容器を傾けて中の薬液を汚染な
く抜き出すことができるが、１００Ｌ以上特に数ｋＬに
およぶような量の薬液を収容する大型容器では、薬液を
汚染させることなく抜き出すのは困難である。
【０００４】以下に、図１の従来技術を説明する。一般
に、大型容器からの高純度薬液の抜き出しにおいては、
薬液抜き出し用ホース６の先端、即ち薬液抜き出し口７
をポンプに至る配管に接続しポンプの力により抜き出す
方法や、クリーンな窒素ガス等を供給するための配管を
ガス供給口４に接続し、薬液抜き出し口７に使用場所の
配管を接続した後、供給ガスで容器内を加圧することに
より、薬液を抜き出す方法が用いられる。
に、大型容器からの高純度薬液の抜き出しにおいては、
薬液抜き出し用ホース６の先端、即ち薬液抜き出し口７
をポンプに至る配管に接続しポンプの力により抜き出す
方法や、クリーンな窒素ガス等を供給するための配管を
ガス供給口４に接続し、薬液抜き出し口７に使用場所の
配管を接続した後、供給ガスで容器内を加圧することに
より、薬液を抜き出す方法が用いられる。
【０００５】なお、薬液の容器への充填については、薬
液抜き出し用とは別に独立して容器に薬液充填口が設置
されているものもあるし、また薬液充填口と薬液抜き出
し口を共通とし、同じ口から薬液の充填や抜き出しもで
きるようにしたものも既に知られている。
液抜き出し用とは別に独立して容器に薬液充填口が設置
されているものもあるし、また薬液充填口と薬液抜き出
し口を共通とし、同じ口から薬液の充填や抜き出しもで
きるようにしたものも既に知られている。
【０００６】容器としては、機械的強度に優れ、また薬
液が容器から汚染されるのを避ける構造のものが使用さ
れている。例えば、ポリエチレン製やフッ素樹脂製等の
容器の外側をＦＲＰやステンレススチール等で補強した
構造のもの等が用いられている。
液が容器から汚染されるのを避ける構造のものが使用さ
れている。例えば、ポリエチレン製やフッ素樹脂製等の
容器の外側をＦＲＰやステンレススチール等で補強した
構造のもの等が用いられている。
【０００７】このような大型容器においては、容器に収
容された薬液の品質の分析のために薬液の一部を抜き出
す行為、即ちサンプリングが必要となった場合、薬液の
汚染なくこれを行うのは難しい。小型容器のように容器
ごとクリーンルームに入れてサンプリング作業を行うこ
とは困難であり、実際には容器を外気中に置いての作業
となる場合が多い。そのため容器に薬液充填口やマンホ
ールがある場合はそれを開けて、チューブ等を差し込み
ポンプで抜き出すような作業を行うことになるが、外気
との接触や作業に伴う汚染があり、容器中の薬液そのも
のの高純度が保てなくなるという問題がある。
容された薬液の品質の分析のために薬液の一部を抜き出
す行為、即ちサンプリングが必要となった場合、薬液の
汚染なくこれを行うのは難しい。小型容器のように容器
ごとクリーンルームに入れてサンプリング作業を行うこ
とは困難であり、実際には容器を外気中に置いての作業
となる場合が多い。そのため容器に薬液充填口やマンホ
ールがある場合はそれを開けて、チューブ等を差し込み
ポンプで抜き出すような作業を行うことになるが、外気
との接触や作業に伴う汚染があり、容器中の薬液そのも
のの高純度が保てなくなるという問題がある。
【０００８】一方、薬液抜き出し口７からサンプリング
を行うこともできるが、薬液抜き出し口７に至る薬液用
ホース６の内径は大きいのが一般的であり、薬液用ホー
ス６内をクリーンにするまでかなりの薬液を廃棄するこ
とになるため、分析に必要なサンプル量がせいぜい１Ｌ
程度であることを考えると経済性が悪いばかりでなく、
作業もしにくい。
を行うこともできるが、薬液抜き出し口７に至る薬液用
ホース６の内径は大きいのが一般的であり、薬液用ホー
ス６内をクリーンにするまでかなりの薬液を廃棄するこ
とになるため、分析に必要なサンプル量がせいぜい１Ｌ
程度であることを考えると経済性が悪いばかりでなく、
作業もしにくい。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、高純
度薬液を収容した容器から薬液のサンプリングを行う
際、容器外部からの汚染やサンプリング作業に伴う汚染
を排除した、クリーンなサンプリングができるような構
造を持つ容器を提供することにある。
度薬液を収容した容器から薬液のサンプリングを行う
際、容器外部からの汚染やサンプリング作業に伴う汚染
を排除した、クリーンなサンプリングができるような構
造を持つ容器を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意努力の
結果、高純度薬液を収容した容器から薬液のサンプリン
グを行う際、容器外部からの汚染やサンプリング作業に
伴う汚染を排除したクリーンなサンプリングができるよ
うな構造を有する容器を見いだし、本発明を完成させ
た。即ち、本発明は、サンプリング口を有し、該口から
容器内部に挿入された管を有することを特徴とする薬液
容器に関する。なお、薬液の充填口と抜き出し口は、先
にも述べたように、独立して容器に設置されていても良
いし、共通で充填も抜き出しも行えるような構造のもの
であっても良い。
結果、高純度薬液を収容した容器から薬液のサンプリン
グを行う際、容器外部からの汚染やサンプリング作業に
伴う汚染を排除したクリーンなサンプリングができるよ
うな構造を有する容器を見いだし、本発明を完成させ
た。即ち、本発明は、サンプリング口を有し、該口から
容器内部に挿入された管を有することを特徴とする薬液
容器に関する。なお、薬液の充填口と抜き出し口は、先
にも述べたように、独立して容器に設置されていても良
いし、共通で充填も抜き出しも行えるような構造のもの
であっても良い。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。
図２は、本発明の実施例である。ただし、本発明の形
状、構成および大きさはこの実施例に限定されるもので
はない。
図２は、本発明の実施例である。ただし、本発明の形
状、構成および大きさはこの実施例に限定されるもので
はない。
【００１２】容器本体１はポリエチレン製やフッ素樹脂
製等の容器の外側をＦＲＰやステンレススチール等で補
強したものものが用いられる。本発明においては、サン
プリング口９が容器に設置される。サンプリング口９は
直接容器の表面に設けても良いし、薬液抜き出し口７の
他に薬液充填口やメンテナンスのためのマンホールがあ
る場合は、薬液充填口の蓋やマンホールの蓋に設けても
良い。サンプリング口９から容器内部へサンプリング用
挿入管１０が接続される。サンプリング用挿入管１０の
材質は、溶出や発塵などで収容される薬液の品質を低下
させないものであれば何でも使用できる。例えば、ポリ
エチレン等のポリオレフィンおよびポリテトラフルオロ
エチレンやテトラフルオロエチレン・パーフルオロアル
キルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂
等が使用できる。サンプリング用挿入管１０の径につい
ては特に制限はない。長さについても、薬液がサンプリ
ングできる長さであれば特に制限はない。ただし、薬液
の代表的なところをサンプリングするという意味ではサ
ンプリング用挿入管１０の先端は容器の中央付近である
方がより好ましい。
製等の容器の外側をＦＲＰやステンレススチール等で補
強したものものが用いられる。本発明においては、サン
プリング口９が容器に設置される。サンプリング口９は
直接容器の表面に設けても良いし、薬液抜き出し口７の
他に薬液充填口やメンテナンスのためのマンホールがあ
る場合は、薬液充填口の蓋やマンホールの蓋に設けても
良い。サンプリング口９から容器内部へサンプリング用
挿入管１０が接続される。サンプリング用挿入管１０の
材質は、溶出や発塵などで収容される薬液の品質を低下
させないものであれば何でも使用できる。例えば、ポリ
エチレン等のポリオレフィンおよびポリテトラフルオロ
エチレンやテトラフルオロエチレン・パーフルオロアル
キルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂
等が使用できる。サンプリング用挿入管１０の径につい
ては特に制限はない。長さについても、薬液がサンプリ
ングできる長さであれば特に制限はない。ただし、薬液
の代表的なところをサンプリングするという意味ではサ
ンプリング用挿入管１０の先端は容器の中央付近である
方がより好ましい。
【００１３】サンプリングにあたっては、サンプリング
口９にチューブを接続し、チューブの他端はクリーンル
ーム内に配置する。チューブのサンプリング口９への接
続はネジ式のものでも良いし、ワンタッチ式のカプラー
でも良いが、後者の方が使用が簡便である。チューブの
接続時には接続部即ちサンプリング口９が瞬間的に外気
に触れることになり若干の汚染があるが、薬液をこの接
続部およびチューブに少量通すこと、即ち共洗いするこ
とで洗い流すことができる。さらに、サンプリング口９
を覆うように小型のクリーンブースを設置すれば、外気
による接続部の汚染がなく、よりクリーンな環境でチュ
ーブの脱着ができる。
口９にチューブを接続し、チューブの他端はクリーンル
ーム内に配置する。チューブのサンプリング口９への接
続はネジ式のものでも良いし、ワンタッチ式のカプラー
でも良いが、後者の方が使用が簡便である。チューブの
接続時には接続部即ちサンプリング口９が瞬間的に外気
に触れることになり若干の汚染があるが、薬液をこの接
続部およびチューブに少量通すこと、即ち共洗いするこ
とで洗い流すことができる。さらに、サンプリング口９
を覆うように小型のクリーンブースを設置すれば、外気
による接続部の汚染がなく、よりクリーンな環境でチュ
ーブの脱着ができる。
【００１４】サンプリング口９の接液部、使用するチュ
ーブおよびネジ式あるいはカプラー式の接続部品の接液
部の材質については、薬液に対して溶出が少ないもので
あれば何でも良く、例えば前記のフッ素樹脂等が用いら
れる。
ーブおよびネジ式あるいはカプラー式の接続部品の接液
部の材質については、薬液に対して溶出が少ないもので
あれば何でも良く、例えば前記のフッ素樹脂等が用いら
れる。
【００１５】サンプリング口９の内径およびそれに接続
するチューブの内径は、薬液抜き出し口７へ至る薬液用
ホース６の内径より小さいことが重要である。薬液抜き
出し用ホース６の内径は通常数十ｍｍであるため、サン
プリング口９の内径およびそれに接続するチューブの内
径はこれよりも小さい径、実際には５〜１０ｍｍ程度が
扱い易く、好適である。このようにすることで、チュー
ブの薬液による共洗いの量が少なくて済み、かつ例えば
１Ｌといった少量のサンプリングが可能となる。
するチューブの内径は、薬液抜き出し口７へ至る薬液用
ホース６の内径より小さいことが重要である。薬液抜き
出し用ホース６の内径は通常数十ｍｍであるため、サン
プリング口９の内径およびそれに接続するチューブの内
径はこれよりも小さい径、実際には５〜１０ｍｍ程度が
扱い易く、好適である。このようにすることで、チュー
ブの薬液による共洗いの量が少なくて済み、かつ例えば
１Ｌといった少量のサンプリングが可能となる。
【００１６】薬液のサンプリングを行う際の抜き出し方
法には制限はない。例えば、サンプリング口９に接続し
たチューブの他端をポンプに接続し、ポンプの力で抜き
出すことができる。このとき、ガス供給口４からは抜き
出した薬液の分だけ、クリーンな窒素ガス等を容器内に
供給する。また、サンプリング口９に接続したチューブ
の他端を開放にしておき、ガス供給口４からクリーンな
窒素ガス等を供給し容器を加圧することによって、薬液
を圧送することもできる。サンプリングする薬液の流量
は容器に供給される圧送用ガスの流量で調節される。前
者の場合、ポンプといった摺動部を有するものや接続部
分が増える。薬液の汚染を考えると、後者の方がより単
純であり汚染の可能性も少なく、より好ましい。
法には制限はない。例えば、サンプリング口９に接続し
たチューブの他端をポンプに接続し、ポンプの力で抜き
出すことができる。このとき、ガス供給口４からは抜き
出した薬液の分だけ、クリーンな窒素ガス等を容器内に
供給する。また、サンプリング口９に接続したチューブ
の他端を開放にしておき、ガス供給口４からクリーンな
窒素ガス等を供給し容器を加圧することによって、薬液
を圧送することもできる。サンプリングする薬液の流量
は容器に供給される圧送用ガスの流量で調節される。前
者の場合、ポンプといった摺動部を有するものや接続部
分が増える。薬液の汚染を考えると、後者の方がより単
純であり汚染の可能性も少なく、より好ましい。
【００１７】なお、サンプリング口９を使用しない場合
は、ガス供給口４や薬液抜き出し口７も同様だが、キャ
ップをしたりカバーを掛けることにより外気からの埃な
どの汚染物質の付着を防ぐ。
は、ガス供給口４や薬液抜き出し口７も同様だが、キャ
ップをしたりカバーを掛けることにより外気からの埃な
どの汚染物質の付着を防ぐ。
【００１８】
【発明の効果】本発明によると、容器に容器内部への挿
入管と連結して成るサンプリング口を設置することで、
容器に収容された薬液を大量に無駄にすることなく、し
かも薬液を汚染させずにサンプリングが可能になった。
入管と連結して成るサンプリング口を設置することで、
容器に収容された薬液を大量に無駄にすることなく、し
かも薬液を汚染させずにサンプリングが可能になった。
【図１】従来技術の容器の断面図
【図２】本発明の容器の断面図
１：容器本体 ２：ガス用バルブ ３：ガス用ホース ４：ガス供給口 ５：薬液用バルブ ６：薬液用ホース ７：薬液抜き出し口 ８：薬液抜き出し用挿入管 ９：サンプリング口 １０：サンプリング用挿入管
Claims (2)
- 【請求項１】 サンプリング口９を有し、該口から容器
内部に挿入された管１０を有することを特徴とする薬液
容器。 - 【請求項２】 サンプリング口９の内径が薬液用ホ−ス
６の内径よりも小さいことを特徴とする請求項１記載の
薬液容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27625996A JPH10119973A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | サンプリング口を有する薬液容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27625996A JPH10119973A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | サンプリング口を有する薬液容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10119973A true JPH10119973A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17566943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27625996A Pending JPH10119973A (ja) | 1996-10-18 | 1996-10-18 | サンプリング口を有する薬液容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10119973A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103879620A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-06-25 | 无锡华瑛微电子技术有限公司 | 化学液存储瓶及其制造方法 |
| CN103964039A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-08-06 | 无锡华瑛微电子技术有限公司 | 化学液存储瓶及其制造方法 |
| US10358263B2 (en) | 2012-08-09 | 2019-07-23 | Entegris, Inc. | Ultra-high purity storage and dispensing of liquid reagents |
-
1996
- 1996-10-18 JP JP27625996A patent/JPH10119973A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10358263B2 (en) | 2012-08-09 | 2019-07-23 | Entegris, Inc. | Ultra-high purity storage and dispensing of liquid reagents |
| CN103879620A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-06-25 | 无锡华瑛微电子技术有限公司 | 化学液存储瓶及其制造方法 |
| CN103964039A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-08-06 | 无锡华瑛微电子技术有限公司 | 化学液存储瓶及其制造方法 |
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