JPH10122995A - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐食性が良好で、水素透過と吸蔵とを防止
し、且つ、密着性、耐磨耗性が良好なシールダイアフラ
ムを具備する差圧測定装置を提供するにある。 【解決手段】 測定流体に接するシールダイアフラムを
具備する差圧測定装置において、前記シールダイアフラ
ムの表面に設けられ該シールダイアフラムの表面を電気
的に絶縁及び機械的に保護するダイアモンド ライク
ナノコンポジットコーティング或いはダイアモンド ラ
イク コーティングのコーティング膜体を具備したこと
を特徴とする差圧測定装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、耐食性が良好で、
水素透過と吸蔵とを防止し、且つ、密着性、耐磨耗性が
良好なシールダイアフラムを具備する差圧測定装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】図２は、従来より一般に「ダイアフラム
シール付き差圧計」として使用されている従来例の構成
説明図で、例えば、実開昭６２−８６５２８号の従来例
に示されている。

【０００３】図において、１は伝送器本体部で、本体カ
プセル１１と本体カプセル１１を覆うカバー１２とより
なる。１１１は、本体カプセル１１の両側面に設けられ
たシールダイアフラムである。

【０００４】本体カプセル１１は、カプセル全体が金メ
ッキされている。本体カプセル１１は、この場合は、静
電容量検出型のものを示す。２はカバー１２に一端が接
続されたキャピラリーチューブである。

【０００５】３はキャピラリーチューブの他端に接続さ
れたダイアフラムシールユニットである。ダイアフラム
シールユニットは、図３に示す如く、ダイアフラムシー
ルボディ３１と、ダイアフラムシールボディ３１に設け
られたダイアフラムシール本体３２とよりなる。

【０００６】以上の構成において、ダイアフラムシール
本体３２が、測定流体に接すると、測定圧は、キャピラ
リーチューブ２中の封入液２１を介して、本体カプセル
１１に伝達され、差圧が測定される。

【０００７】そして、本体カプセル１１は、全体が金メ
ッキされているので、測定流体中の水素が本体カプセル
１１に侵入することがなく、本体カプセル１１の出力特
性を損うことが無いダイアフラムシール付き差圧計が得
られる。

【０００８】なお、金メッキのかわりに、セラミックス
コーティングが採用された差圧測定装置もある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、 （１）ピンホールが多い。 （２）膜厚が厚く（通常５〜１０μｍ）、ダイアフラム
材と物性値（熱膨張係数、ヤング率）が大きく異なるた
め、装置の出力特性が悪化する。本発明は、この問題点
を解決するものである。

【００１０】本発明の目的は、耐食性が良好で、水素透
過と吸蔵とを防止し、且つ、密着性、耐磨耗性が良好な
シールダイアフラムを具備する差圧測定装置を提供する
にある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、測定流体に接するシールダイアフラムを
具備する差圧測定装置において、前記シールダイアフラ
ムの表面に設けられ該シールダイアフラムの表面を電気
的に絶縁及び機械的に保護するダイアモンド ライク
ナノコンポジットコーティング或いはダイアモンド ラ
イク コーティングのコーティング膜体を具備したこと
を特徴とする差圧測定装置を構成した。

【００１２】

【作用】以上の構成において、ダイアフラムシール本体
が、測定流体に接すると、測定圧は、キャピラリーチュ
ーブ中の封入液を介して、本体カプセルに伝達され、差
圧が測定される。以下、実施例に基づき詳細に説明す
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図である。図において、図２と同一記号の構成
は同一機能を表わす。以下、図２と相違部分のみ説明す
る。

【００１４】４１は、シールダイアフラム１１１の表面
に設けられ、シールダイアフラム１１１の表面を電気的
に絶縁及び保護するダイアモンド ライク ナノコンポ
ジットコーティング、或いは、ダイアモンド ライク
コーティングのコーティング膜体である。この場合、コ
ーティング膜体４１の膜厚は、０．１〜２μｍ程度の厚
さが採用されている。

【００１５】以上の構成において、ダイアフラムシール
本体３２が、測定流体に接すると、測定圧は、キャピラ
リーチューブ２中の封入液２１を介して、本体カプセル
１１に伝達され、差圧が測定される。

【００１６】そして、本体カプセル１１は、シールダイ
アフラム１１１の表面に設けられ、シールダイアフラム
１１１の表面を電気的に絶縁する及び機械的に保護する
ダイアモンド ライク ナノコンポジットコーティン
グ、或いは、ダイアモンド ライク コーティングのコ
ーティング膜体４１が構成されているので、測定流体か
ら保護される。

【００１７】以上の結果、 （１）コーティング膜体４１が電気的絶縁性が高いの
で、シールダイアフラム１１１が測定流体と電気的に絶
縁されるため、シールダイアフラム１１１と測定流体間
に腐蝕電流が流れない。

【００１８】従って、 （ａ）耐食性が向上するされた差圧測定装置が得られ
る。 （ｂ）腐蝕反応時に発生する水素の本体カプセル１１内
への侵入を防止出来る差圧測定装置が得られる。

【００１９】（２）シールダイアフラム１１１の材料に
よっては、たとえば、タンタルの様に水素を吸蔵して脆
化することがある。コーティング膜体４１の存在によ
り、水素吸蔵を防止する事が出来る差圧測定装置が得ら
れる。

【００２０】（３）コーティング膜体４１が、密着性、
耐磨耗性が高いため、測定流体からシールダイアフラム
１１１の表面が機械的に十分に保護され、測定流体に対
して耐磨耗性が高い差圧測定装置が得られる。

【００２１】なお、前述の実施例においては、ダイアフ
ラムシールユニット３付きの差圧測定装置について説明
したが、これに限ることはなく、ダイアフラムシールユ
ニット３の付かない差圧測定装置にも適用できる事は勿
論である。

【００２２】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明は、 （１）コーティング膜体が電気的絶縁性が高いので、シ
ールダイアフラムが測定流体と電気的に絶縁されるた
め、シールダイアフラムと測定流体間に腐蝕電流が流れ
ない。

【００２３】従って、（ａ）耐食性が向上するされた差
圧測定装置が得られる。（ｂ）腐蝕反応時に発生する水
素の本体カプセル内への侵入を防止出来る差圧測定装置
が得られる。

【００２４】（２）シールダイアフラムの材料によって
は、たとえば、タンタルの様に水素を吸蔵して脆化する
ことがある。コーティング膜体の存在により、水素吸蔵
を防止する事が出来る差圧測定装置が得られる。

【００２５】（３）コーティング膜体が、密着性、耐磨
耗性が高いため、測定流体からシールダイアフラムの表
面が機械的に十分に保護され、測定流体に対して耐磨耗
性が高い差圧測定装置が得られる。

【００２６】従って、本発明によれば、耐食性が良好
で、水素透過と吸蔵とを防止し、且つ、密着性、耐磨耗
性が良好なシールダイアフラムを具備する差圧測定装置
を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成説明図である。

【図２】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

【図３】図２の要部詳細説明図である。

【符号の説明】

１ 伝送器本体部 １１ 本体カプセル １１１ シールダイアフラム １２ カバー ２ キャピラリーチューブ ２１ 封入液 ３ ダイアフラムシールユニット ３１ ダイアフラムシールボディ ３２ ダイアフラムシール本体３２とよりなる。 ４１ コーティング膜体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】測定流体に接するシールダイアフラムを具
   備する差圧測定装置において、 前記シールダイアフラムの表面に設けられ該シールダイ
   アフラムの表面を電気的に絶縁及び機械的に保護するダ
   イアモンド ライク ナノコンポジットコーティング或
   いはダイアモンド ライク コーティングのコーティン
   グ膜体を具備したことを特徴とする差圧測定装置。