JPH10123714A - 感光性樹脂組成物及び感光性フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 下地金属との密着性を向上し、めっきもぐり
が少なく、かつ、保存時の安定性に優れた感光性樹脂組
成物及び感光性フィルムを提供する。 【解決手段】 （ａ）一般式（Ｉ） 【化１】 （式中、Ｒ¹はハロゲン原子、炭素数１〜３のアルキル
基、シアノ基又はニトロ基を示し、Ｒ²は炭素数１〜１
２のアルキル基又は置換基を有する炭素数１〜１２のア
ルキル基を示し、ｍは０〜４の整数であり、ｎは１〜３
の整数である）で表される含窒素複素環式化合物、
（ｂ）熱可塑性有機高分子化合物、（ｃ）エチレン性不
飽和基を有する光重合性化合物及び（ｄ）光重合開始剤
を含有してなる感光性樹脂組成物並びにこの感光性樹脂
組成物の層及びフィルム状支持体を有してなる感光性フ
ィルム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成物
及び感光性フィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】感光性樹脂組成物は、印刷配線板用基板
（以下単に基板という）に溶剤を含有した液体皮膜とし
て塗布され次いで、加熱乾燥によって含有溶剤が除かれ
乾燥皮膜とされ、その後活性光に画像的に露光され現像
されてフォトレジスト像とされている。しかし近年、そ
の低作業性、大気汚染性、低歩留りを改善するために、
フィルム状支持体、乾燥された感光性樹脂組成物層（以
下単に感光層と言う）、必要に応じて用いられる保護フ
ィルム層からなる感光性樹脂組成物積層体（以下単に感
光性フィルムと言う）が用いられるようになってきた。
感光性樹脂組成物としては、未露光部がアルカリ水溶液
によって除去（現像）される所謂アルカリ現像型と有機
溶剤によって除去（現像）される所謂溶剤現像型の両者
が知られている。

【０００３】感光性フィルムの使用方法は感光性フィル
ムから保護フィルム層がある場合はこれを取り除いて感
光層と支持フィルム層とからなる積層体にした後、その
感光層が基板に接するように加熱圧着（ラミネート）す
る。次いでネガフィルム等を用いて画像的に露光を行っ
た後、炭酸ソーダ水、１，１，１−トリクロロエタン等
の所定の現像液を用いて未露光部を除去（現像）しフォ
トレジスト像を形成する。この形成されたフォトレジス
ト像をマスクとして基板の金属表面をエッチングあるい
はメッキによる処理を行い次いでフォトレジスト像を水
酸化ナトリウム水溶液、塩化メチレン等の所定の剥離液
を用いて剥離し、印刷配線板等が製造される。

【０００４】上記の工程中、基板の金属表面のエッチン
グあるいはメッキによる処理に対してフォトレジスト像
は、マスクとして充分な耐性を有していなければならな
い。エッチング処理は、塩化第二鉄、塩化第二銅、過硫
酸アンモニウムの水溶液を用いて基板の表面層をなして
いる金属（通常は銅）を除去する工程である。まためっ
き処理に用いるめっき液の種類は数多くあり、半田めっ
き、硫酸銅めっき、金めっき、ニッケルめっき、ピロリ
ン酸銅めっき等がある。めっきは、いずれも高濃度な薬
品溶液中で電流を流すので、エッチング処理と比較し
て、かなりきびしい処理といえる。

【０００５】この種の感光性樹脂組成物及び感光性フィ
ルムは特開昭５２−９４３８８号公報、特開昭５２−１
３０７０１号公報、特開昭５３−１２８６８８号公報、
特開昭５０−１４７３２３号公報等に開示される。金属
との接着性を改善する添加剤を含有する感光性樹脂組成
物は特開昭５０−９１７７号公報に１，２，３−ベンゾ
トリアゾール等の−ＮＨ−含有の複素環化合物、特開昭
５５−６５２０３号公報にインダゾール又はその誘導
体、特開昭５５−６５２０２号公報にフタラゾン又はそ
の誘導体がそれぞれ開示されている。

【０００６】しかし、従来用いられている密着促進剤で
は、添加量の増加に伴い、フォトレジストの感度低下、
解像度の悪化、現像・剥離後の銅面の色やけ、剥離後の
エッチング速度の遅延化、メッキ不良等の新たな問題が
発生するため、実際には添加量に制限があり、従来の添
加量では、線幅の狭い配線パターンの部分での密着性は
充分とはいえない。また、米国特許第４，６８０，２４
９号明細書では、カルボキシベンゾトリアゾールが用い
られているが、このもの自身の溶解性の問題から分散が
悪く、充分な効果が得られない。また、この問題の解決
のために特開平２−３３１４８号公報ではカルボキシベ
ンゾトリアゾールと２級アルキルアミンとアルデヒド類
から合成される化合物の使用が開示されているが、金属
への密着性が弱く、金めっき、ピロリン酸銅めっき等の
めっきとして非常に強い処理を行うとレジスト膜のはが
れ、持ち上がり、めっきのもぐり（レジストの下にめつ
きが析出する現象）等が発生する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明
は、優れた耐めっき性、耐エッチング液性、耐薬品性を
有する感光性樹脂組成物を提供するものである。請求項
２記載の発明は、請求項１記載の発明の効果に加えて、
より耐めっき性が優れる感光性樹脂組成物を提供するも
のである。請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載
の発明の効果に加えて、より取扱性、作業性に優れた感
光性フィルムを提供するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）一般式
（Ｉ）

【化３】 （式中、Ｒ¹はハロゲン原子、炭素数１〜３のアルキル
基、シアノ基又はニトロ基を示し、Ｒ²は炭素数１〜１
２のアルキル基又は置換基を有する炭素数１〜１２のア
ルキル基を示し、ｍは０〜４の整数であり、ｎは１〜３
の整数である）で表される含窒素複素環式化合物、
（ｂ）熱可塑性有機高分子化合物、（ｃ）エチレン性不
飽和基を有する光重合性化合物及び（ｄ）光重合開始剤
を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。

【０００９】また、本発明は、一般式（Ｉ）におけるＲ
²の置換基を有する炭素数１〜１２のアルキル基が、一
般式（II）

【化４】 （式中、ｋは１〜１２の整数であり、Ｘは−Ｏ−又は−
Ｓ−を示し、Ｒ³は炭素数１〜１２のアルキル基又は炭
素数１〜１４のアリール基を示す）である前記感光性樹
脂組成物に関する。また、本発明は、前記感光性樹脂組
成物の層及びフィルム状支持体を有してなる感光性フィ
ルムに関する。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の感光性樹脂組成物には、
上記の一般式（Ｉ）で表される含窒素複素環式化合物が
含有される。一般式（Ｉ）においてＲ²で示される置換
基を有する炭素数１〜１２のアルキル基における置換基
としては、例えば、炭素数１〜１２のアルコキシ基、ア
リール基（フェニル基、ナフチル基等）、アリールオキ
シ基（フェノキシ基、ナフトキシ基等）、フェノキシア
ルコキシ基、ポリアルキレンオキシ基、ポリアルキレン
グリコール基、ハロゲン原子（フッ素原子、塩素原子、
臭素原子、ヨウ素原子等）、ビニル基、ヒドロキシル基
等が挙げられる。

【００１１】本発明における（ａ）一般式（Ｉ）で表さ
れる含窒素複素環式化合物として、具体的には、表１及
び表２に示すもの等が挙げられる。

【００１２】

【表１】

【００１３】

【表２】

【００１４】本発明における（ｂ）熱可塑性有機高分子
化合物は、特に制限はないが、感光性フィルムとして、
それぞれの現像液に可溶なフィルム付与性の高分子量体
が好ましい。例えば、溶剤現像型としてはメタクリル酸
の共重合体で重量平均分子量が２〜４０万のビニル共重
合体、アルカリ現像型としては、カルボキシ基含有量が
１７〜５０モル％、重量平均分子量が３〜４０万の線状
共重合体等が挙げられる。ビニル共重合体に用いられる
ビニル重合性単量体としては、メタクリル酸メチル、メ
タクリル酸ブチル、メタクリル酸−２−エチルヘキシ
ル、メタクリル酸ラウリル、アクリル酸エチル、アクリ
ル酸メチルスチレン、ビニルトルエン、Ｎ−ビニルピロ
リドン、α−メチルスチレン、２−ヒドロキシエチルメ
タクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、ア
クリルアミド、アクリロニトリル、ジメチルアミノエチ
ルメタクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレー
ト、カルボキシ基を有するビニル共重合体としてはアク
リル酸、メタクリル酸、フマル酸、けい皮酸、イタコン
酸、マレイン酸等があげられる。

【００１５】本発明における（ｃ）エチレン基を有する
光重合性化合物としては、例えば、トリメチロールプロ
パントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアク
リレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、
２，２−ビス（４−メタクリロキシエトキシフェニル）
プロパン、２，２−ビス（４−アクリロキシエトキシフ
ェニル）プロパン、ジペンタエリスリトールペンタアク
リレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート
等の多価アルコールのポリアクリレート又はポリメタク
リレート、トリメチルプロパントリグリシジルエーテル
のアクリル酸又はメタクリル酸との付加物、ビスフェノ
ールＡエピクロルヒドリン系のエポキシ樹脂のアクリル
酸又はメタクリル酸付加物等のエポキシアクリレート、
無水フタル酸−ネオペンチルグリコール−アクリル酸の
１：１：２（モル比）の縮合物等の低分子不飽和ポリエ
ステル、トリメチルヘキサメチレンジイソシアナート、
２価アルコール、２価アルコールのアクリル酸又はメタ
クリル酸のモノエステル等を反応させて得られるウレタ
ンジアクリレート化合物、２，２，２′，２′−テトラ
キス（ヒドロキシルメチル）−３，３′−オキシジプロ
パノールと６−ヘキサノリド付加物との縮合物とアクリ
ル酸とのエステル化物等が用いられる。

【００１６】本発明における（ｄ）光重合開始剤として
は、例えば、キノン系化合物（２−エチルアントラキノ
ン、２−tert−ブチルアントラキノン、オクタメチルア
ントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３
−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノ
ン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロア
ントラキノン、２−クロロアントラキノン、２−メチル
アントラキノン、１，４−ナフタキノン、９，１０−フ
ェナントラキノン、１，４−ジメチルアントラキノン、
２，３−ジメチルアントラキノン、３−クロロ−２−メ
チルアントラキノン等）、芳香族ケトン系化合物（ベン
ゾフェノン、ミヒラーケトン〔４，４′−ビス（ジメチ
ルアミノ）ベンゾフェノン〕、４，４′−ビス（ジエチ
ルアミノ）ベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメ
チルアミノベンゾフェノン等）、ベンゾイン化合物、
（ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイ
ン）、ベンゾインエーテル（ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエ
ーテル等）などが挙げられる。これらは単独で又は２種
以上を組み合わせて用いることができる。２，４，５−
トリアリールイミダゾール二量体と２−メルカプトベン
ゾキサゾール、ロイコクリスタルバイオレット又はトリ
ス（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）メタン
等との組み合わせ系も使用できる。

【００１７】本発明の感光性樹脂組成物中には、現像性
やめっき性を向上させる点から、さらに（ｅ）有機ハロ
ゲン化合物を含有させることができる。（ｅ）有機ハロ
ゲン化合物としては、例えば、四塩化炭素、クロロホル
ム、ブロモホルム、１，１，１−トリクロロエタン、臭
化メチレン、ヨウ化メチレン、塩化メチレン、四臭化炭
素、ヨードホルム、１，１，２，２−テトラブロモエタ
ン、ペンタブロモエタン、トリブロモアセトフェノン、
ビス−（トリブロモメチル）スルホン、トリブロモメチ
ルフェニルスルホン、塩化ビニル、塩素化オレフイン等
が挙げられる。炭素−ハロゲン結合強度の弱い脂肪族ハ
ロゲン化合物、特に同一炭素上に２個以上のハロゲン原
子が結合している化合物とりわけ有機ブロム化合物が好
ましい。トリブロモメチル基を有する有機ハロゲン化合
物が一層好ましい結果をあたえるが、トリブロモメチル
フェニルスルホンが好ましい。また、本発明の感光性樹
脂組成物には、公知の染料、可塑性、連鎖移動剤、顔
料、難燃剤、安定剤、密着性付与剤等を必要に応じて添
加することもできる。

【００１８】本発明における（ａ）一般式（Ｉ）で表さ
れる含窒素複素環式化合物の使用量は、（ａ）成分、
（ｂ）成分、（ｃ）成分及び（ｄ）成分の総量が１００
重量部として、０．００１〜２重量部の範囲とすること
が好ましく、０．０５〜１．０重量部の範囲とすること
がより好ましい。また、感光性樹脂組成物中に（ｅ）有
機ハロゲン化合物等のその他の成分（ただし、有機溶剤
を除く）を含む場合には、上記の（ａ）成分、（ｂ）成
分、（ｃ）成分、（ｄ）成分及び（ｅ）有機ハロゲン化
合物等のその他の成分の総量が１００重量部として、上
記の範囲とすることが好ましい。 （ａ）一般式（Ｉ）で表される含窒素複素環式化合物の
使用量が、０．００１重量部未満であると、耐めっき
性、接着力等の向上の効果が不充分となる傾向があり、
２重量部を超えると、感光性フィルムとしての他特性、
例えば、剥離性、感度等が低下する傾向がある。

【００１９】本発明における（ｂ）熱可塑性有機高分子
化合物の使用量は、（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成
分及び（ｄ）成分の総量が１００重量部として、３０〜
９０重量部の範囲とすることが好ましい。また、感光性
樹脂組成物中に（ｅ）有機ハロゲン化合物等のその他の
成分（ただし、有機溶剤を除く）を含む場合には、上記
の（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成分、（ｄ）成分及
び（ｅ）有機ハロゲン化合物等のその他の成分の総量が
１００重量部として、上記の範囲とすることが好まし
い。 （ｂ）熱可塑性有機高分子化合物の使用量が、３０重量
部未満であると、コールドフローを起こし、樹脂がフィ
ルム端面からしみ出す等の傾向があり、９０重量部を超
えると、感度が不足する傾向がある。

【００２０】本発明における（ｃ）エチレン基を有する
光重合性化合物の使用量は、（ａ）成分、（ｂ）成分、
（ｃ）成分及び（ｄ）成分の総量が１００重量部とし
て、１０〜７０重量部の範囲とすることが好ましい。ま
た、感光性樹脂組成物中に（ｅ）有機ハロゲン化合物等
のその他の成分（ただし、有機溶剤を除く）を含む場合
には、上記の（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成分、
（ｄ）成分及び（ｅ）有機ハロゲン化合物等のその他の
成分の総量が１００重量部として、上記の範囲とするこ
とが好ましい。 （ｃ）エチレン基を有する光重合性化合物の使用量が、
１０重量部未満であると感度が不足する傾向があり、７
０重量部を超えるとコールドフローを起こし、樹脂がフ
ィルム端面からしみ出す等の傾向がある。

【００２１】本発明における（ｄ）光重合開始剤の使用
量は、（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成分及び（ｄ）
成分の総量が１００重量部として、０．５〜１０．０重
量部の範囲とすることが好ましく、１．０〜５．０重量
部の範囲とすることがより好ましい。また、感光性樹脂
組成物中に（ｅ）有機ハロゲン化合物等のその他の成分
（ただし、有機溶剤を除く）を含む場合には、上記の
（ａ）成分、（ｂ）成分、（ｃ）成分、（ｄ）成分及び
（ｅ）有機ハロゲン化合物等のその他の成分の総量が１
００重量部として、上記の範囲とすることが好ましい。 （ｄ）光重合開始剤の使用量か、０．５重量部未満の場
合は、感光層に活性光線を照射して硬化させる際、硬化
が充分に進行しない傾向があり、１０．０重量部を超え
る場合は、感光性樹脂層の活性光線に対する感度が高す
ぎるために、解像度が低下したり、安定性が低下したり
する傾向がある。

【００２２】本発明の感光性樹脂組成物は、メチルエチ
ルケトン、メチルセロソルブ、塩化メチレン等の有機溶
剤を加えて溶液とできる。本発明の感光性樹脂組成物
は、溶液状態で被処理物上に塗布され、乾燥して用いら
れるかあるいはフィルム状支持体上に塗布、乾燥して使
用できる。

【００２３】本発明の感光性フィルムは、例えば、感光
性樹脂組成物の溶液をフィルム状支持体上に塗布し、乾
燥して感光性フィルム（感光性樹脂組成物積層体）とす
ることができる。フィルム状支持体としては、ポリエチ
レンテレフタレートフィルム、ポリスチレンフィルム、
ポリプロピレンフィルム等が用いられる。必要に応じて
フィルム状支持体の上に積層された感光性樹脂組成層の
上に保護フィルムを積層してもよい。保護フィルムとし
ては、上記のフィルム状支持体として用いられる材料の
他にポリエチレンフィルム、ポリビニルアルコールフィ
ルム等が用いられる。

【００２４】

【実施例】本発明を実施例により説明する。 製造例 以下に記した手順で熱可塑性有機高分子化合物（ポリマ
（１）及びポリマ（２））を合成した。表３の配合に従
って二種類のモノマ混合溶液４００ｇを調整した。次に
冷却器、温度計、滴下装置を備えた１リットルの４ツ口
反応フラスコにトルエン２５０ｇ、表２に従って秤量し
たモノマ溶液各４００ｇのうち１５０ｇを入れ、窒素気
流を通じ９３℃に昇温した。次いで残りのモノマ２５０
ｇ、トルエン１５０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル
０．５０ｇを混合し、溶解したものを３時間にわたって
滴下した。滴下終了後更に７時間保温を続けた。この間
フラスコの温度は９３℃に保たれた。次にアゾビスイソ
ブチロニトリル０．２５ｇをトルエン７５ｇに溶解した
ものを３０分にわたり滴下した。滴下後４時間保温を続
けたものをトルエン７５ｇ、メチルエチルケトン７５ｇ
で希釈したものをそれぞれポリマ（１）、ポリマ（２）
とした。得られたポリマの特性を表４に示した。

【００２５】

【表３】

【００２６】

【表４】

【００２７】比較例１〜５及び実施例１〜２ 表５に示す配合で感光性樹脂組成物の溶液を製造した。

【００２８】

【表５】

【００２９】*1 新中村化学(株)製 トリメチロールプ
ロパントリアクリレート *2 日本化薬(株)製 ２,２,２′,２′−テトラキス(ヒ
ドロキシメチル)−３,３′−オキシジプロパノールと６
−ヘキサノリド付加物との縮合物とアクリル酸のエステ
ル化物 *3 新中村化学(株)製 ２,２−ビス((４−メタクリロ
キシペンタエトキシ)フェニル)プロパン *4 城北化学(株)製 １−(Ｎ,Ｎ′−ジ−２エチルヘキ
シル)アミノメチル−ベンゾトリアゾール

【化５】

【００３０】*5 千代田化学(株)製 １−(Ｎ，Ｎ′−
ジ−(２−エチルヘキシル))アミノメチル−ベンゾトリ
アゾール−５−カルボン酸

【化６】 *6 千代田化学(株)製 １−(Ｎ−ヒドロ−Ｎ−３−(２
−エチルヘキシルオキシ)−１−プロピル)アミノメチル
−ベンゾトリアゾール−５−カルボン酸（前記表１でN
o.７の化合物）

【化７】

【００３１】比較例６〜１０及び実施例３〜４ 比較例１〜５及び実施例１〜２で得られた感光性樹脂組
成物の溶液を、厚み２３μｍの縦２０cm、横１５cmのポ
リエチレンテレフタレートフィルム（東レ(株)製ルミラ
ーＲ）にアプリケータを用いて乾燥後の膜厚が４０μｍ
となるように塗布、乾燥し、厚み３５μｍのポリエチレ
ンフィルムで被覆して感光性フィルムを得た。

【００３２】銅はく（厚さ３５μｍ）を両面に積層した
ガラスエポキシ材である基板（日立化成工業株式会社
製、商標ＭＣＬ−ＥＤ−６１）の銅表面を♯８００のサ
ンドペーパーで研磨し、水洗して空気流で乾燥した。次
いで、基板を６０℃に加温し、その銅面上に、比較例６
〜１０及び実施例３〜４で得られた感光性フィルムのポ
リエチレンフィルムを除去した後、感光性フィルムの感
光性樹脂層が基板に接するように１６０℃に加熱しなが
ら各々、別々の基板にラミネートした。これらの基板に
ネガフィルムを使用して、３kWの高圧水銀灯（オーク製
作所製、商標フェニックス−３０００）で１０秒間５０
cmの距離で露光を行った。その後、比較例６〜１０及び
実施例３で得られた感光性フィルムを用いたものは、下
記に示す＜条件Ａ＞の条件で、実施例４で得られた感光
性フィルムを用いたものは、＜条件Ｂ＞の条件でそれぞ
れ現像した。

【００３３】＜条件Ａ＞ 現像液：１,１,１−トリクロロエタン 現像液の温度：２０℃ 現像液のシャワー圧：１．０〜１．５kgf/cm² 現像時間：６０秒（リンス含む） ＜条件Ｂ＞ 現像液：１重量％Ｎａ₂ＣＯ₃水溶液 現像液の温度：３０℃ 現像液のシャワー圧：１．５〜２．０kgf/cm² 現像時間：４５秒（リンス含む）

【００３４】以上のようにして得られたレジスト像を表
６に示す条件によりめっきを行なった。

【００３５】

【表６】

【００３６】めっき終了後、めっきもぐりの有無を目視
で確認する目視テスト及び積水化学工業(株)製粘着テー
プをめっき後の基板に圧着し、基板に対して１８０°の
方向にひきはがし、レジストのはがれの有無を確認する
テープはくりテストを行ない、下記に示す評価基準で評
価し、結果を表７に示した。 〔目視テスト〕 ○：めっきもぐりなし（ライン際の変色なし） △：一部にめっきもぐりあり（ライン際に断続して変色
あり） ×：全体にメッキもぐりあり 〔テープはくりテスト〕 ○：レジストはがれなし △：一部にはがれあり（ライン際に断続してレジストは
がれあり） ×：全体にはがれあり

【００３７】

【表７】

【００３８】表７の結果から、本発明の感光性樹脂組成
物から得られるレジスト像は硫酸銅めっきに対して充分
な耐性を有することが示される。

【００３９】また、比較例６〜１０及び実施例３〜４で
得られた感光性フィルムの感光性樹脂組成物の層を基板
に積層した状態で、３０℃９０ＲＨ％で３日間放置した
後、それぞれ前記した＜条件Ａ＞又は＜条件Ｂ＞の条件
で現像し、現像後の銅表面の変色を下記の評価基準で、
目視にて観察し、感光性樹脂組成物の保存安定性を評価
した。結果を表８に示した。 〔現像後の銅表面の変色〕 ○：変色なし ×：現像残りによる変色あり

【００４０】

【表８】

【００４１】以上から、本発明による感光性樹脂組成物
は優れた安定性を有することが示される。

【００４２】

【発明の効果】請求項１記載の感光性樹脂組成物は、優
れた耐めっき性、耐エッチング液性、耐薬品性を有す
る。請求項２記載の感光性樹脂組成物は、請求項１記載
の感光性樹脂組成物の効果に加えて、より耐めっき性が
優れる。請求項３記載の感光性フィルムは、請求項１又
は２記載の感光性樹脂組成物の効果に加えて、より取扱
性、作業性に優れる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ 3/18 3/18 Ｄ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）一般式（Ｉ） 【化１】 （式中、Ｒ¹はハロゲン原子、炭素数１〜３のアルキル
   基、シアノ基又はニトロ基を示し、Ｒ²は炭素数１〜１
   ２のアルキル基又は置換基を有する炭素数１〜１２のア
   ルキル基を示し、ｍは０〜４の整数であり、ｎは１〜３
   の整数である）で表される含窒素複素環式化合物、
   （ｂ）熱可塑性有機高分子化合物、（ｃ）エチレン性不
   飽和基を有する光重合性化合物及び（ｄ）光重合開始剤
   を含有してなる感光性樹脂組成物。
2. 【請求項２】 一般式（Ｉ）におけるＲ²の置換基を有
   する炭素数１〜１２のアルキル基が、一般式（II） 【化２】 （式中、ｋは１〜１２の整数であり、Ｘは−Ｏ−又は−
   Ｓ−を示し、Ｒ³は炭素数１〜１２のアルキル基又は炭
   素数１〜１４のアリール基を示す）である請求項１記載
   の感光性樹脂組成物。
3. 【請求項３】 請求項１又は２項記載の感光性樹脂組成
   物の層及びフィルム状支持体を有してなる感光性フィル
   ム。