JPH10125025A - 浮動ヘッドスライダ - Google Patents
浮動ヘッドスライダInfo
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- JPH10125025A JPH10125025A JP8280670A JP28067096A JPH10125025A JP H10125025 A JPH10125025 A JP H10125025A JP 8280670 A JP8280670 A JP 8280670A JP 28067096 A JP28067096 A JP 28067096A JP H10125025 A JPH10125025 A JP H10125025A
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
- G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
浮上均一性および浮上安定性を確保し、空気流出端およ
び負圧発生段差部分での液状ダストの発生を防ぎ、磁気
ディスク装置の信頼性が向上させる。 【解決手段】 センタパッド26の空気流出端での圧力
差を緩和するために、センタパッドの空気軸受け面を削
り、サイドレール14,15の空気流出端の浮上量を低
く設定し、センタパッドに集中する圧力を分散させる。
センタパッド部分に流入する空気流の乱れを抑制するた
め、クロスレール16〜19にトラックジオメトリに応
じたリセス20〜23を設け、全ディスク領域において
比較的均一な空気流をセンタパッド部分に供給する。
Description
係り、特にこの磁気ディスク装置に用いる浮動ヘッドス
ライダに関する。
密度を向上させるために、主には磁気ヘッドおよび記録
媒体(磁気ディスク)の磁気的特性の向上と磁気ヘッド
のギャップ先端と記録媒体面間の距離、いわゆる磁気ス
ペーシングの短縮によって行われていた。
は、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間の物理的な最小距
離が30nm程度に達しており、これは記録媒体面の表
面粗さとほぼ一致するレベルにある。このため、浮動ヘ
ッドスライダの浮上量の低下は、磁気記録媒体上の目標
とする位置への高速移動、いわゆるトラックシーク時の
空気軸受作用の変動、浮動ヘッドスライダ支持系の振動
や、磁気記録媒体の上下方向のうねりに対する浮動ヘッ
ドスライダの追従特性の限界から生じるスライダ、磁気
記録媒体間の高速摺動という現象をもたらす可能性が非
常に高い。
浮動ヘッドスライダの流体軸受けに負圧を利用し、空気
軸受けの剛性を高め、媒体追従性を向上させることによ
って格段に減少させることが可能となっている。また、
流体軸受け効果による十分な剛性確保によって、サスペ
ンションによる浮動ヘッドスライダへの押圧荷重を減じ
ることが可能となっている。さらに、空気軸受け面の拡
大によって、浮動ヘッドスライダの浮上速度が向上した
ためにCSS(コンタクト・スタート・ストップ)時の
摺動に対する耐久性を大幅に向上させることもできる。
である、再生信号S/Nに優れた磁気抵抗効果を利用し
た再生専用ヘッド(いわゆるMRヘッド)を採用するた
めには、従来の磁気記録媒体(磁気ディスク)の回転速
度に依存した再生出力特性をもつ薄膜ヘッドのみで記録
再生する場合よりもディスクの内、外周間の浮上均一性
が必要とされる。これは、再生出力の回転速度に対して
の依存性がないからであり、そのために高速摺動による
磁気記録媒体上での損傷確率の高い領域が増えている。
の代表例を、図15、図16、図17に示す。図15は
2レーン型、図16はセンタレール型、図17はセンタ
パッド型とそれぞれ呼ばれている浮動ヘッドスライダ1
を示す。
ス、3,4はスライダ1上でメインリセス2を形成する
一対のサイドレール、5はこれらのサイドレール3,4
間を接続するように設けたクロスレールで、6はこのク
ロスレール5の外側寄りの上方部分に設けたチャンファ
である。また、図16において、7はリセス2を分断す
るように設けたセンタレールで、これによりリセスは2
a,2bで示すように分断して形成されている。さら
に、図17において、8はメインリセス2の中央部分下
方に配設したセンタパッドである。
ライダ1は、磁気ヘッドを磁気記録媒体(図示せず)よ
りも外周側に配置させることが可能であるため、記録容
量的に有利であり、負圧量も十分確保できるため、高速
回転に対して有利となる。しかし、浮上均一性と浮上姿
勢(ロール)に対する設計上の制約が大きいことと、外
乱に対する最小浮上量変動がやや大きくなるという欠点
がある。
ル型、図17におけるセンタパッド型の浮動ヘッドスラ
イダ1は、外乱に対する浮上量の変動を抑制することが
容易であること、浮上姿勢に対する制限が緩いために、
より浮上均一性を追求することが容易である。
のセンタレール型あるいは図17のセンタパッド型の浮
動ヘッドスライダ1は良好な特性をもっているが、サイ
ドレール3,4がスライダ1の全長よりも短いため、サ
イドレール3,4の空気流出端部分に発生する正圧は、
図15の2レーン型に比べてかなり低くなっている。
されるセンタパッド8の部分に発生する正圧は、2レー
ン型の空気流出端部分の倍以上となることが多いため、
空気流出端での圧力差は4〜5気圧にも達する場合があ
る。しかも、空気流速は10〜30m/Sに達するた
め、圧力変動に伴う空気中の水分や気化した記録媒体保
護用の潤滑剤が液化する場合がある。
の高速摺動時に浮動ヘッドスライダ1の空気軸受け面に
記録媒体保護用の潤滑剤が付着し、空気流によって空気
軸受け面上を移動して空気流出端に溜まる可能性も高
い。
レール5の空気流出端においても同様に発生する危険性
をもっている。特に、この空気流出端部分は、正圧力は
それほど高くないが、クロスレール5直後の負圧力は最
も大きくなるために圧力差は大きく、さらに空気流がか
なり遅くなる領域があり、流入するダストが滞留する可
能性が非常に高くなるという問題がある。
圧を利用したものが中心となっているが、負圧発生領域
の圧力は周囲圧力よりも低いために、磁気ディスク装置
内で発生する超微粒子のダストを吸込み易くなり、しか
も上述したニアコンタクト領域でのヘッド・ディスク・
インタフェースは、スライダと媒体表面との潤滑剤が常
に接触していると考えられるから、接触領域およびその
付近できわめて浮上量の低い空気軸受け面にダストが堆
積しない浮上ヘッドスライダの出現が要望されている。
ものであり、センタパッド型あるいはセンタレール型の
負圧利用の浮動ヘッドスライダにおいて、センタパッ
ド、センタレールおよびクロスレールの空気流出端付近
の圧力を低減して液状ダストの発生を抑制し、さらに負
圧によって引き込んだダストが空気軸受け面の低浮上領
域に付着する確率が低く、結果として浮上量変動が小さ
く、信頼性の高いヘッド・ディスク・インタフェースを
実現することができる浮動ヘッドスライダを得ることを
目的とする。
ために本発明に係る浮動ヘッドスライダは、磁気記録媒
体の回転によって励起される空気流によって正圧と負圧
の空気軸受作用を発生させるレールを備え、情報の記録
再生を行う電磁変換素子を磁気記録媒体表面より一定の
間隔を保って支持するにあたって、浮動ヘッドスライダ
の全長よりも短く、空気流入部にテーパあるいは2マク
ロメータ以下のリセスを有する一対あるいはそれ以上の
サイドレールと、浮動ヘッドスライダの全長に対して空
気流入側に位置し前記サイドレールと一本またはそれ以
上の本数によって接続あるいは所定の間隔をもって分断
されかつその一部分にテーパまたは2マイクロメータ以
下の段差を有するクロスレールと、空気流出端側の中央
部に位置し電磁変換素子を含むセンタパッドと、クロス
レールとセンタパッドの両方あるいは片方と接続される
か、あるいは両方と分断されているセンタレールを有し
各レール、センタパッド以外の部分と各レールおよびセ
ンタパッド表面の段差が15ミクロンメータ以内となっ
ているリセスを有する構成としたものである。
は、センタレールがなく、しかもクロスレールとサイド
レールにおいて少なくともセンタパッドから浮動ヘッド
スライダのヨー角配置に相当する角度にて見込む部分
を、レール表面に対して一定の段差をもって形成したも
のである。
は、センタパッドを、各レールに施される一定の曲面加
工の仮装曲線よりも深く加工するか、センタパッド表面
に穴または溝、あるいはその両方が一個以上存在するよ
うに構成する。このとき、穴または溝の密度が一定でな
いようにするとよい。
は、センタパッドの側断面の角度がセンタパッド表面に
対して60度以下となるように構成している。さらに、
本発明に係る浮動ヘッドスライダは、クロスレールの空
気流出端側の全てあるいはその一部をテーパ形状となる
ように構成している。
は、センタレールと、クロスレールおよび再度レールと
を備えている場合において、センタレールがクロスレー
ルおよびサイドレールに設けた段差と同一またはそれ以
上の段差を有するように構成している。ここで、センタ
レールの段差を、その全長にわたって均一でないように
構成する。
け面形状を用いることにより、浮動ヘッドスライダにお
いて空気流出端部分などでの液状ダストの発生を抑制
し、液状、その他のダスト付着確率を低減することがで
きる。換言すれば、本発明によれば、クロスレールにお
けるスライダの長さ方向での幅の差を利用してスライダ
の幅方向の圧力差を発生させ、負圧発生領域での比較的
流速が遅くダストが集中し易い流れを制御し、磁気記録
媒体の表面に最も近いセンタパッドへのダストの流入を
制御する。
央部とセンタパッドを浅いリセス部で接続し、より明確
な空気流路を確保し、さらにセンタパッド部分の空気流
入端に空気流の滞留点が発生しないように空気流入端形
状を曲線とし、加えて深さ方向に鏡面等による段差を設
けることにより、ダスト付着を抑制する。
ライダの第1の実施の形態を示し、この図1は本発明に
おいて請求項1に記載した発明の具体例に相当する。同
図において、符号10は浮動ヘッドスライダで、この浮
動ヘッドスライダ10上には、一対のリセス部(チャン
ファ部)12,13を有するサイドレール14,15が
設けられている。
を接続するためのクロスレールが図中16,17,1
8,19で示すように分断した状態で形成されている。
図中20,21,22,23はこれら分断されたクロス
レール16,17,18,19のリセス部(チャンファ
部分)である。24はセンタレールで、リセス部(チャ
ンファ部分)25を有し、またこのセンタレール24に
はセンタパッド26が接続された状態で配設されてい
る。
図ではセンタレール24とセンタパッド26とを分離し
た形状とした場合である。図3は上述した図1、図2の
さらに変形例を示し、サイドレール14,15をガイド
レール14a,14b;15a,15bに分離した形状
とした場合である。図4は上述した図1〜図3のさらに
別の変形例を示し、クロスレール16,17,18,1
9の分断間隔および分断形状を異なるような形状とした
場合を示す。
求項1に記載した発明の具体例を示すものであって、こ
の浮動ヘッドスライダ1は、以下の構成となっている。
すなわち、浮動ヘッドスライダ1の全長よりも短く、空
気流入部(図中上方)にテーパあるいは2マクロメータ
以下のリセス部12,13を有する一対あるいはそれ以
上のサイドレール14,15と、浮動ヘッドスライダ1
の全長に対して空気流入側に位置し前記サイドレール1
4,15(または14a,14b;15a,15b)と
を備える。さらに、一本またはそれ以上の本数によって
接続あるいは所定の間隔をもって分断されかつその一部
分に前記テーパまたは2マイクロメータ以下の段差によ
るリセス部20,21,22,23を有するクロスレー
ル16,17,18,19を備える。
に位置し電磁変換素子を含むセンタパッド26と、前記
クロスレール16〜19と前記センタパッド26の両方
あるいは片方と接続されるか、あるいは両方と分断され
ているセンタレール24を有し前記各レール14,1
5,16〜19,24、センタパッド26以外の部分と
各レール14,15,16〜19,24およびセンタパ
ッド26表面の段差が15ミクロンメータ以内であるメ
インリセス28,29を有している。
形態では、クロスレール16〜19の分断領域で空気流
の圧縮、膨張がなく、均一な空気流を実現できるため、
センタパッド26付近の低浮上領域に液状ダストを付着
させる確率を低減することができる。
発明に係る浮動ヘッドスライダ10の第2の実施の形態
を示し、この図5は本発明において請求項3に記載した
発明の具体例に相当する。ここで、この図5の(a)は
浮動ヘッドスライダ10を側面から見た図、(b)は空
気流出端を側面から見た図、(c)は浮動ヘッドスライ
ダ10の浮上状態の概略図、(d)はサイドレール1
4,15およびセンタパッド26の空気流出端部分の圧
力分布を示した図である。なお、図6(a),(b),
(c),(d)は従来のセンタパッド型の負圧式浮動ヘ
ッドスライダ10と同等の形状で形成した例を示す。こ
こで、図中26aは従来のセンタパッドの形状を示す。
ド26、サイドレール14,15において、センタパッ
ド26を仮想曲面以下に(仮想曲面よりも深くなるよう
に)加工することによって、浮上中のセンタパッド26
とサイドレール14,15の最小浮上量差を低減し、図
5(d)に示すように発生圧力を分散させることができ
るため、液状ダストの発生を抑制することが可能とな
る。これは図6(a)〜(c)および図6(d)との比
較から容易に理解されるところである。ここで、図中3
0は空気流出端の電磁変換素子を示す。
ける請求項4記載の内容による実施の形態を示す。同図
(a)はセンタパッド26に、空気流方向に垂直に等間
隔に溝31を設けた形状を示しており、(b)はその断
面VII - VII を示し、(c)は溝31がある場合(溝あ
り)とない場合(平面型)との発生圧力の差を示してい
る。この図(c)から明らかなように、センタパッド2
6上に溝31を取ることによって、発生する最高圧力を
低減することが可能となる。
ける請求項5記載の内容による実施の形態を示す。同図
(a)はセンタパッド26に、空気流と垂直に空気流出
端に向って溝31の密度が高くなるように設けた形状を
示し、(b)はその断面VIII−VIIIを示し、(c)は溝
31が図7の場合のように均一幅である場合と不均一幅
である場合との発生圧力の差を示しており、その効果は
前述した図7による場合に比べて優れている。
項6記載の内容による実施の形態を示す。同図(a)は
浮動ヘッドスライダ10全体の外観図、(b)はセンタ
パッド26のIX−IX線での断面図である。これらの図に
おいて、たとえばセンタパッド26の空気流入側の面の
断面形状が垂直である場合には、断面部分での圧力が低
く、空気流速も遅いため、液状ダストが体積しやすい
が、この実施の形態のようにセンタパッド26の段差に
比較的大きなテーパ(60度以下)を設けることによっ
て、圧力、流速変化を穏やかにすることにより液状ダス
トの滞留を防ぐことが可能となる。
ヘッドスライダにおいて、請求項2に記載の内容による
実施の形態を示す。すなわち、現行の磁気ディスク装置
では、同図(a)に示すようにロータリ型アクチュエー
タを採用しているため、磁気記録媒体40の内周側と外
周側で浮動ヘッドスライダ10の長手方向と磁気記録媒
体40の円周接線方向とのなす角は一定ではなく、内周
側のヨー角θ1で約10度、外周側のヨー角θ2で約−
20度となっている。
ロスレール41およびサイドレール14,15におい
て、センタパッド26から上記角度θ1,θ2にて見込
む領域に段差42を設けることにより、負圧発生効率を
それほど落とすことがなく、センタパッド25に流入す
る空気流を磁気記録媒体40全面にわたってそれほど落
とすことがない。このため、液状ダストの発生およびそ
の付着確率を低減することができる。なお、図中斜線で
示した部分は実質的に同一曲面上にある空気軸受け面を
示している。また、図中43,44はチャンファであ
る。
容を示す別の実施の形態を示す。これは、クロスレール
段差部分46の左右対称性を確保するために、センタパ
ッド26を浮動ヘッドスライダ10の幅方向の中心より
オフセットすなわち位置をずらして設けている。
おける請求項7記載の内容による実施の形態を示す。同
図(a)は浮動ヘッドスライダ10の外観を示し、
(b)はクロスレール41の断面XII−XIIでの形状を示
し、(c)は段差が垂直である場合と(b)のP−P’
で示すような断面形状である場合での圧力分布を示して
いる。上述した図12の(b)に示すような断面形状と
することにより、同図(c)中実線で示すような圧力分
布を実現することができる。したがって、空気流の圧力
変動差を緩和することが可能となるから、液状ダストの
発生を抑制することができる。
記載の内容を示す実施の形態である。同図(a)は浮動
ヘッドスライダ10の概念図、同図(b)はXIII−XIII
線での断面図である。ここでは全面段差となっているク
ロスレール41に接続され、さらにクロスレール41と
同一の段差を有するセンタレール24を設けた場合を示
している。このように全面段差加工されているセンタレ
ール24を設けることにより、深いリセス領域を流れる
遅い空気流が、センタパッド26に流入することを防
ぎ、センタパッド26の段差面へのダスト付着確率を低
減することができる。
求項9記載の内容を示す実施の形態である。同図(a)
は浮動ヘッドスライダ10の概観図、同図(b)はセン
タレール24の断面XIV−XIV線での断面図である。この
場合も、圧力変動および空気流変動を緩和することが可
能となるため、液状ダストの発生および付着確率を低減
することが可能となる。
した構造には限定されず、各部の形状、構造等を適宜変
形、変更し得ることはいうまでもない。たとえば本発明
は浮動ヘッドスライダ10の各レールの形状に関するも
のであって、その材質を特定するものではなく、浮動ヘ
ッドスライダ10の材料および磁気記録媒体保護膜の材
料および磁気記録媒体40上の潤滑剤との関係によって
最適とされるものであれば、どのようなものでもよい。
ッドスライダによれば、浮動ヘッドスライダの空気軸受
け面を所要の形状とすることにより、簡単な構成である
にもかかわらず、液状ダストの発生を抑制し、液状ある
いはその他のダスト付着確率を低減し、磁気ヘッドの動
作上での信頼性を高くし、さらに記録密度の向上が可能
となる磁気ディスク装置を得ることができる。
施の形態を示す図である。
施の形態の変形例を示す図である。
施の形態の他の変形例を示す図である。
施の形態のさらに別の変形例を示す図である。
施の形態を示し、(a)は浮動ヘッドスライダを側面か
ら見た図、(b)は空気流出端を側面から見た図、
(c)は浮動ヘッドスライダの浮上状態の概略図、
(d)はサイドレールおよびセンタパッドの空気流出端
部分の圧力分布を示した図である。
ヘッドスライダの対応する従来例を説明するための図で
ある。
の形態を示し、(a)はセンタパッドに空気流方向に垂
直に等間隔の溝を設けた形状を示す図、(b)はその断
面VII - VII を示す図、(c)は溝がある場合(溝あ
り)とない場合(平面型)との発生圧力の差を示す特性
図である。
の実施の形態を示し、(a)はセンタパッドに空気流と
垂直に空気流出端に向って溝の密度が高くなるように設
けた形状を示す図、(b)はその断面VIII−VIIIを示す
図、(c)は溝が図7の場合のように均一幅である場合
と不均一幅である場合との発生圧力の差を示す特性図で
ある。
の形態を示し、(a)は浮動ヘッドスライダ全体の外観
図、(b)はセンタパッドのIX−IX線での断面図であ
る。
別の実施の形態を示し、(a)は磁気記録媒体との関係
を示す図、(b)は要部の側面図である。
施の形態を示す図である。
施の形態を示し、(a)は浮動ヘッドスライダの外観
図、(b)はクロスレールの断面XII−XIIでの形状を示
す図、(c)は段差が垂直である場合と(b)のP−
P’で示すような断面形状である場合での圧力分布の特
性図である。
他の実施の形態を示し、(a)は浮動ヘッドスライダの
概念図、(b)はXIII−XIII線での断面図である。
別の実施の形態を示し、(a)は浮動ヘッドスライダの
概観図、(b)はセンタレールの断面XIV−XIV線での断
面図である。
空気軸受け面形状を示す図である。
的な空気軸受け面形状を示す図である。
的な空気軸受け面形状を示す図である。
ャンファ部分)、14,15…サイドレール、16,1
7,18,19…クロスレール、20,21,22,2
3…リセス部(チャンファ部分)、24…センタレー
ル、26…センタパッド、28,29…メインリセス、
30…電磁変換素子、31…溝、40…磁気記録媒体
(磁気ディスク)、41…クロスレール、42…段差、
43,44…チャンファ、46…段差部分。
Claims (9)
- 【請求項1】 磁気記録媒体の回転によって励起される
空気流によって正圧と負圧の空気軸受作用を発生させる
レールを備え、情報の記録再生を行う電磁変換素子を磁
気記録媒体表面より一定の間隔を保って支持する浮動ヘ
ッドスライダであって、 前記浮動ヘッドスライダの全長よりも短く、空気流入部
にテーパあるいは2マクロメータ以下のリセス部を有す
る一対あるいはそれ以上のサイドレールと、前記浮動ヘ
ッドスライダの全長に対して空気流入側に位置し前記サ
イドレールと一本またはそれ以上の本数によって接続あ
るいは所定の間隔をもって分断されかつその一部分に前
記テーパまたは2マイクロメータ以下の段差を有するク
ロスレールと、空気流出端側の中央部に位置し電磁変換
素子を含むセンタパッドと、前記クロスレールと前記セ
ンタパッドの両方あるいは片方と接続されるか、あるい
は両方と分断されているセンタレールを有し前記各レー
ル、センタパッド以外の部分と各レールおよびセンタパ
ッド表面の段差が15ミクロンメータ以内であるリセス
を有することを特徴とする浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項2】 請求項1記載の浮動ヘッドスライダにお
いて、 センタレールがなく、しかもクロスレールとサイドレー
ルにおいて少なくともセンタパッドから浮動ヘッドスラ
イダのヨー角配置に相当する角度にて見込む部分が前記
レール表面に対して一定の段差をもって形成されている
ことを特徴とする浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2記載の浮動ヘッ
ドスライダにおいて、 センタパッドが、各レールに施される一定の曲面加工の
仮装曲線よりも深く加工されていることを特徴とする浮
動ヘッドスライダ。 - 【請求項4】 請求項1または請求項2記載の浮動ヘッ
ドスライダにおいて、 センタパッドの表面に穴または溝、あるいはその両方が
一個以上存在することを特徴とする浮動ヘッドスライ
ダ。 - 【請求項5】 請求項4記載の浮動ヘッドスライダにお
いて、 穴または溝がセンタパッドの表面上に密度が一定でない
状態で設けられていることを特徴とする浮動ヘッドスラ
イダ。 - 【請求項6】 請求項1または請求項2記載の浮動ヘッ
ドスライダにおいて、 センタパッドの側断面の角度を、センタパッドの表面に
対して60度以下に構成したことを特徴とする浮動ヘッ
ドスライダ。 - 【請求項7】 請求項2、請求項3、請求項4、請求項
5または請求項6記載の浮動ヘッドスライダにおいて、 クロスレールの空気流出端側の全てあるいはその一部が
テーパ形状となっていることを特徴とする浮動ヘッドス
ライダ。 - 【請求項8】 請求項2、請求項3、請求項4、請求項
5、請求項6または請求項7記載の浮動ヘッドスライダ
において、 センタレール、クロスレールおよびサイドレールを備
え、このセンタレールを前記クロスレールおよびサイド
レールに設けた段差と同一またはそれ以上の段差を有す
るように構成したことを特徴とする浮動ヘッドスライ
ダ。 - 【請求項9】 請求項8記載の浮動ヘッドスライダにお
いて、 センタレールの段差をその全長にわたって均一ではない
ように構成したことを特徴とする浮動ヘッドスライダ。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP8280670A JP2874667B2 (ja) | 1996-10-23 | 1996-10-23 | 浮動ヘッドスライダ |
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| KR1019970054486A KR100259690B1 (ko) | 1996-10-23 | 1997-10-23 | 액상 먼지의 점착이 억제되는 부동 헤드 슬라이더 |
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