JPH10128662A - ワイヤソー用のスラリー撹拌装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ワイヤソーにおいて、撹拌羽根によるスラリー
タンクの撹拌を停止した場合でも、撹拌羽根が砥粒の堆
積層によって捕縛されないようにする。 【解決手段】スラリータンク３３の蓋体の一部を構成す
る支持板２１に突設された垂直支持部２１ａ及び垂直な
ガイドポール３５に対し、台座体３６を上下動可能に取
り付ける。台座体３６には撹拌羽根３２と作動連結され
た撹拌モータ３１を固定する。そして、台座体３６に螺
合したスクリュー部材３８を昇降用モータ３７で回動し
て、台座体３６ごと撹拌モータ３１及び撹拌羽根３２を
昇降動させる。ワイヤソーの運転停止時には、台座体３
６を上動させて撹拌羽根３２をタンク３３内のスラリー
Ｓ中の堆積層より上方へ引き上げる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、砥粒及び分散液か
らなるスラリーを貯留するスラリータンクから当該スラ
リーを走行中のワイヤに供給し、当該ワイヤと砥粒のラ
ッピング作用に基づいてワークを切断するワイヤソーに
関し、特に、ワイヤソーにおいて用いられる前記タンク
内のスラリーの撹拌装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にワイヤソーは、所定ピッチで形成
された多数の溝を有する２〜４本のローラを備えてい
る。これらの溝付きローラには、繰り出しリールから繰
り出された切断用ワイヤが前記各溝に沿って所定ピッチ
で周回支持され、その後、巻き取りリールに巻き取り回
収されている。ワイヤソーの作動時には、溝付きローラ
群、繰り出しリール及び巻き取りリールを同期回転させ
て、切断用ワイヤを一定の線速度あるいは所定の制御プ
ログラムに従った線速度で走行させている。そして、砥
粒を水系あるいはオイル系の分散液に分散させて得たス
ラリーを、その走行中のワイヤに供給してワイヤ表面に
砥粒を付着させ、この状態のワイヤに円柱状や角柱状の
ワークを押し当てて、砥粒のラッピング作用に基づきワ
ークを多数のスライス片に切断加工している。

【０００３】このようなワイヤソーでは、スラリーの有
効利用を図るため、走行中のワイヤに供給した後のスラ
リーをスラリータンクに一旦回収し、その回収したスラ
リーを走行中のワイヤに再供給するというスラリーの循
環利用系を併設している。かかる循環利用系では、スラ
リータンク内に相当量のスラリーを直ちに利用可能な状
態で貯留する必要から、スラリータンクには、撹拌モー
タと作動連結された撹拌羽根が収容されており、これに
よって貯留中のスラリーを常時撹拌して砥粒と分散液と
の固液分離を防止しつつスラリーの均質化を図ってい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、ワイヤソー
の運転停止等によって撹拌羽根による撹拌が長時間停止
すると、スラリータンク内においてスラリーが固液分離
を起こし、砥粒がタンクの底に沈殿する。すると、タン
クの底から砥粒分リッチの堆積層が次第に形成され、こ
の堆積層の中に撹拌羽根の先端（下端部）が埋まってし
まうことがある。砥粒分リッチの堆積層は硬いペースト
状であり、撹拌羽根を捕縛してその回転を阻害するにい
たる。このため、ワイヤソーの運転再開に際して撹拌モ
ータを駆動させても容易には撹拌羽根を回転させること
ができず、また、撹拌モータへの通電を無理に続ける
と、撹拌羽根を破損したり撹拌モータの焼き付きを生じ
てしまう。

【０００５】それ故、かかる事態に陥った場合には、作
業者は撹拌羽根や撹拌モータをクレーン等で持ち上げて
撹拌羽根を砥粒の堆積層から一旦取り出し、撹拌羽根の
全体を堆積層の上方に分離した分散液の中に浸し、その
分散液層の撹拌を通じて堆積層の砥粒分が分散液にある
程度再分散された後に、撹拌羽根及び撹拌モータを本来
の取り付け位置に再度位置決めするという作業を必要と
した。このような作業は作業者にとって困難かつ煩雑な
ものであるのみならず、作業の安全を確保する上でも、
またワイヤソーの稼働率を向上させる上でも回避すべき
ものである。

【０００６】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、スラリータンクでの撹拌羽根による
撹拌を停止した場合でも、撹拌羽根が砥粒の堆積層によ
って捕縛されることがなく、撹拌羽根を容易に再起動す
ることができるワイヤソー用のスラリー撹拌装置を提供
することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、砥粒及び分散液からなるスラリーを貯留するスラリ
ータンクから当該スラリーを走行中のワイヤに供給し、
当該ワイヤと砥粒のラッピング作用に基づいてワークを
切断するワイヤソー用のスラリー撹拌装置であって、前
記スラリータンク内のスラリーを撹拌するための撹拌羽
根を備えたスラリー撹拌手段と、当該スラリー撹拌手段
を前記スラリータンクに対して昇降動させる昇降手段と
を備えてなることをその要旨とする。

【０００８】このスラリー撹拌装置によれば、ワイヤソ
ーの運転停止時には、昇降手段を用いてスラリー撹拌手
段を撹拌羽根ごとスラリータンク内から引き上げること
で、スラリーの撹拌が停止した状態で撹拌羽根がスラリ
ー中に深く浸されるという事態を予め回避できる。従っ
て、仮に長時間の撹拌停止によってスラリーの砥粒分が
タンクの底に堆積層を形成したとしても、その堆積層の
中に撹拌羽根の一部が埋まってしまうということがな
く、撹拌羽根の再起動に支障を生じない。また、スラリ
ー撹拌手段の昇降動は昇降手段により行われるため、安
全性やワイヤソーの稼働率の向上という観点からも有利
である。

【０００９】請求項２の発明にあっては、前記スラリー
撹拌手段は、前記撹拌羽根を回転させるための撹拌モー
タを備えてなることを特徴とする。この構成によれば、
スラリー撹拌手段を最も簡易に構成することができる。

【００１０】請求項３の発明にあっては、前記昇降手段
は、前記スラリー撹拌手段を搭載した台座体と、当該台
座体を昇降動可能に支持する支持手段と、前記スラリー
撹拌手段及び前記台座体に昇降動を生じさせる駆動手段
とを備えてなることを特徴とする。

【００１１】この構成によれば、駆動手段により、台座
体と共にスラリー撹拌手段は支持手段に案内されつつ昇
降動される。即ち、ワイヤソーの運転が停止された場合
には、駆動手段を用いてスラリー撹拌手段を撹拌羽根ご
とスラリータンク内から引き上げることができる。一
方、ワイヤソーの運転再開時には、駆動手段によって撹
拌羽根を再びスラリータンク内に進入させることができ
る。尚、駆動手段は、昇降用の電動モータ、エアシリン
ダや油圧シリンダの他、手動式の駆動機構であってもよ
い。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の各種実施形態を
図面を参照しつつ詳細に説明する。 （第１実施形態）図１に示すように、ワイヤソーの基台
１上には、三つの機構フレーム２，３，４が設けられて
いる。第１機構フレーム２上には切断機構５が装設さ
れ、第３機構フレーム４上には一対のリール機構６及び
トラバース機構７が装設されている。第２機構フレーム
３上には、切断機構５とリール機構６との間に位置する
ようにワイヤ張力付与機構８が配設されている。また、
第２機構フレーム３上には切断機構５の上方に位置する
ようにワーク支持機構９が設けられている。

【００１３】切断機構５は、溝付き駆動ローラ１１並び
に第１及び第２の溝付き被動ローラ１２，１３を備えて
いる。これらのローラ１１，１２，１３は、互いに平行
でかつ各軸芯を結ぶ図形が二等辺三角形状となるように
配置されている。各ローラ１１，１２，１３の外周部に
は多数の環状溝が所定ピッチで形成されている。リール
機構６からトラバース機構７及びワイヤ張力付与機構８
を介して、鋼線よりなる一本の切断用ワイヤ１４が切断
機構５に提供されている。この切断用ワイヤ１４は、各
溝付きローラ１１，１２，１３の各環状溝に順次連続的
に巻回されており、溝ピッチに応じた間隔でワイヤの各
部が並列配置されている。溝付き駆動ローラ１１はモー
タ（図示略）によって回転され、これにより、ワイヤ１
４の走行による両被動ローラ１２，１３の従動を伴いな
がらワイヤ１４が特定の一方向又は双方向に走行され
る。

【００１４】リール機構６は、繰り出しリール６ａから
切断機構５に向けてワイヤ１４を繰り出すと共に、切断
機構５からのワイヤ１４を巻き取りリール６ｂに巻き取
っている。トラバース機構７は、前記繰り出しリール６
ａからのワイヤ１４の繰り出し及び前記巻き取りリール
６ｂへのワイヤ１４の巻き取りを上下にトラバースしつ
つ案内する。ワイヤ張力付与機構８は、各ローラ１１，
１２，１３間を走行するワイヤ１４に所定の張力を付与
する。ワーク支持機構９は、ワークＷを昇降可能に支持
すると共に、切断動作時にはワークＷを駆動ローラ１１
と第１被動ローラ１２との間で走行するワイヤ１４に押
しつける。ワークＷとしては、半導体材料、磁性材料、
セラミックや金属のインゴット等があげられる。

【００１５】基台１の下側あるいは基台１に隣接して、
可動式のスラリータンク３３が配設されている。スラリ
ータンク３３とその付属機構の詳細については後述する
が、基本的に、スラリータンク３３の内部には撹拌モー
タ３１に作動連結された撹拌羽根３２が収容されてい
る。スラリータンク３３には、砥粒を水系あるいはオイ
ル系の分散液に分散させて得たスラリーＳが貯留され
る。このスラリータンク３３の底部にはキャスター３３
ａが取り付けられており、スラリータンク３３のみをワ
イヤソー本体から切り離して移動させることができる。
尚、撹拌モータ３１及び撹拌羽根３２は、スラリー撹拌
手段を構成する。

【００１６】駆動ローラ１１と第１被動ローラ１２との
間のワイヤ１４の上方には、前後一対のスラリー供給パ
イプ１５が設けられている。これらの供給パイプ１５は
ワイヤ１４の走行方向と直交する方向に延びている。各
供給パイプ１５の底側には、スラリーＳを走行中のワイ
ヤ１４上にスクリーン状に落下供給するための孔又は溝
が形成されている。これらのスラリー供給パイプ１５
は、供給用配管１６によって前記スラリータンク３３と
つながれている。供給用配管１６の途中には、バルブ１
７及びポンプ１８が設けられており、バルブ１７を開放
した状態でポンプ１８を作動させることにより、スラリ
ータンク３３内のスラリーＳが供給用配管１６を介して
各スラリー供給パイプ１５に圧送供給される。

【００１７】駆動ローラ１１と第１被動ローラ１２とを
つなぐワイヤ１４の下側で三本のローラ１１，１２，１
３で囲まれた三角領域内には、スラリー受け１９が配設
されている。このスラリー受け１９の底部は、回収用配
管２０によって前記スラリータンク３３とつながれてい
る。各スラリー供給パイプ１５からワイヤ１４上に落下
供給されたスラリーＳは、並走するワイヤ各部間を通り
抜け、スラリー受け１９によって受け止められる。そし
て、スラリー受け１９の底部に集められたスラリーＳ
は、回収用配管２０を通ってスラリータンク３３に回収
される。

【００１８】図２に示すように、スラリータンク３３の
蓋体の一部を構成する支持板２１には垂直支持部２１ａ
が突設され、この垂直支持部２１ａには、垂直に延びる
ガイド溝３４が形成されている。また、支持板２１に
は、ガイドポール３５が垂直に固定されている。尚、前
記昇降手段における支持手段は、支持板２１、垂直支持
部２１ａ、ガイド溝３４及びガイドポール３５により構
成される。

【００１９】前記撹拌モータ３１は台座体３６上に固定
されている。この台座体３６は、前記ガイド溝３４内に
嵌入されると共にこれに沿って上下動可能な第１のスラ
イドガイド部３６ａと、前記ガイドポール３５によって
貫通されると共にこれに沿って上下動可能な第２のスラ
イドガイド部３６ｂとを有している。尚、台座体３６
は、昇降手段の一部を構成する。

【００２０】垂直支持部２１ａの上端には昇降用モータ
３７が配設され、この昇降用モータ３７の出力軸３７ａ
は、前記ガイド溝３４のほぼ全域にわたって延びるスク
リュー部材３８とつながれている。このスクリュー部材
３８の下端部は支持板２１によって回動可能に支持され
ている。また、前記台座体３６の第１のスライドガイド
部３６ａには、スクリュー部材３８のスクリューと対応
するネジ孔が形成され、当該ネジ孔にスクリュー部材３
８が螺合されている。従って、昇降用モータ３７の出力
軸３７ａの正逆回転に応じて、台座体３６はガイド溝３
４及びガイドポール３５にガイドされながら垂直方向に
移動することができる。尚、この実施形態では、昇降用
モータ３７及びスクリュー部材３８が昇降手段における
駆動手段を構成する。

【００２１】ガイドポール３５の近傍において支持板２
１には、目盛板４３が立設され、第２のスライドガイド
部３６ｂの端部に設けられた指示針４４が目盛板４３上
のスケール（目盛）を指示するようになっている。

【００２２】前記撹拌羽根３２は撹拌モータ３１の出力
軸と作動連結されている。撹拌羽根３２は、各々水平方
向に分岐した上段羽根３２ａ、中段羽根３２ｂ及び下段
羽根３２ｃを備えている。これらの各分岐羽根３２ａ〜
３２ｃは、撹拌羽根３２の本体部に異なる高さで形成さ
れている。従って、撹拌モータ３１及び台座体３６の上
下動に応じて、各分岐羽根３２ａ〜３２ｃは、スラリー
タンク３３の深さ方向（垂直方向）における高さを変え
ることができる。

【００２３】さて、図１に示すワイヤソーの通常運転時
には、図３（Ａ）に示すように、撹拌羽根３２は、その
上段、中段及び下段羽根３２ａ，３２ｂ，３２ｃの全て
がスラリーＳ中に沈み込むようなスラリータンク３３内
の位置（作用位置と呼ぶ）に配置される。撹拌羽根３２
が作用位置に配置されると、下段羽根３２ｃはタンク３
３の底に近いところに位置するため、撹拌羽根３２の回
転により、タンク３３の底に沈殿しがちな砥粒分を巻き
上げつつタンク３３内の全体が満遍なく撹拌される。そ
れ故、図３（Ａ）の状態で、撹拌モータ３１が作動する
と、撹拌羽根３２によるタンク内スラリーＳの撹拌が効
率的に行われ、砥粒と分散液からなるスラリー濃度の均
一化が図られる。

【００２４】ワイヤソーの運転停止時には、昇降用モー
タ３７を駆動することで撹拌羽根３２は撹拌モータ３１
と共に引き上げられて図３（Ｂ）に示すような第１待避
位置に配置される。撹拌羽根３２が第１待避位置に配置
された場合でも、上段羽根３２ａはスラリー液面より上
方に位置するが、中段及び下段羽根３２ｂ，３２ｃはス
ラリーＳ中に入ったままである。但し、この場合でも、
中段及び下段羽根３２ｂ，３２ｃは、スラリーＳが固液
分離を起こして砥粒分の堆積層と分散液の液層とに分離
したときの液層側領域（境界Ｂより上の領域）に存在す
る。

【００２５】また、スラリータンク３３の内部を清掃す
るときや、摩耗ないし損傷した撹拌羽根３２を交換する
ときには、図３（Ｃ）に示すように、撹拌羽根３２は前
記第１待避位置よりも更に高い第２待避位置まで持ち上
げられる。第２待避位置では撹拌羽根３２の全体が完全
にスラリー液面の上方に位置する。この場合には、撹拌
羽根３２の全体がスラリータンク３３の上蓋（図示略）
の上面よりも更に上方に引き上げられるため、その上蓋
を外して外部に置いた時でもその上蓋によって撹拌羽根
３２が傷つけられることがない。また、撹拌羽根３２を
第２待避位置に配置すれば、タンクの上蓋を外さずとも
或いは撹拌モータ３１を取り外さずとも、撹拌羽根３２
を交換することができる。

【００２６】図３（Ｂ）及び（Ｃ）のいずれの場合も、
スラリーＳの固液分離によってタンク３３内に形成され
得る砥粒分の堆積層に、撹拌羽根３２の一部が埋まって
しまうことはない。このように、ワイヤソーの運転停止
時には、撹拌羽根３２は、その最下端部がスラリーＳの
固液分離時における砥粒分の堆積層と分散液の液層との
境界Ｂよりも上方に位置するように、引き上げられる。

【００２７】この第１実施形態の特徴的効果は次の通り
である。 （イ）ワイヤソーの運転停止時には、撹拌モータ３１ご
と撹拌羽根３２をスラリータンク３３上方の待避位置に
待避させることができる。このため、撹拌停止によって
スラリータンク３３の底に形成され得る砥粒の堆積層に
撹拌羽根３２が捕縛されることがなく、長時間の撹拌停
止後にあっても撹拌羽根３２を容易に再起動することが
できる。

【００２８】（ロ）撹拌羽根３２と連結した撹拌モータ
３１を台座体３６上に固定し、この台座体３６を前記ガ
イド溝３４及びガイドポール３５でガイドしつつ上下動
するようにしたので、撹拌羽根３２及び撹拌モータ３１
の上下動時にあっても、作業者は殊更危険にさらされる
ことはなく、安全に撹拌羽根３２の位置決め作業を遂行
することができる。

【００２９】（ハ）台座体３６の配置（高さ）に応じて
指示針４４が目盛板４３のスケールを指示するので、こ
れを参照して撹拌羽根３２の配置、特にタンク３３の底
から下段羽根３２ｃまでの高さを容易に把握することが
でき、位置決め作業が極めて容易となる。

【００３０】（第２実施形態）図４は手動で台座体３６
等を昇降動可能とする駆動機構を示す。図４に示すよう
に、スクリュー部材３８の上端部には第１プーリ３９が
取り付けられ、また、垂直支持部２１ａ上には第２プー
リ４０が回動可能に取り付けられている。両プーリ３
９，４０はベルト４１によって相互連結され、第２プー
リ４０にはハンドル４２が取り付けられている。この構
成によれば、作業者がハンドル４２を回すことで、ベル
ト４１を介して第１プーリ３９及びスクリュー部材３８
を手動で正逆回転させ台座体３６及びモータ３１を手動
で上下動させることができる。従って、スクリュー部材
３８、第１及び第２プーリ３９，４０、ベルト４１及び
ハンドル４２によって昇降手段における手動式の駆動手
段が構成される。

【００３１】この第２実施形態に従うスラリー撹拌装置
によっても、前記（イ）、（ロ）及び（ハ）に記載の効
果を奏する。それに加えて、第２実施形態によれば、仮
に停電となった場合でも、作業者はハンドル４２を回動
操作することで台座体３６等を手動で上動させることが
できるので、非常時においても撹拌羽根３２をスラリー
Ｓ中から取り出すことができるという利点がある。

【００３２】尚、図５に示すように、前記第１実施形態
の駆動モータ３７と、前記第２実施形態の手動式駆動機
構とを合体させて、自動及び手動両用の駆動機構を構成
してもよい。

【００３３】（第３実施形態）図６は、台座体３６等を
昇降動可能とする、エアシリンダ４６等を用いて構成し
た駆動機構を示す。図６に示すように、垂直支持部２１
ａの上端にはエアシリンダ４６が設けられている。エア
シリンダ４６からは作動ロッド４７が下方に延び、その
下端部は台座体３６の第１スライドガイド部３６ａに連
結されている。エアシリンダ４６は図示しないエア源と
つながれており、そのエア源からのエア供給に応じて作
動ロッド４７を垂直方向に出没させ、台座体３６と共に
撹拌モータ３１及び撹拌羽根３２を昇降動させる。この
実施形態では、エアシリンダ４６及び作動ロッド４７に
より昇降手段における駆動手段が構成される。

【００３４】この構成によれば、停電を契機としてアキ
ュームレータ等から必要なエアをエアシリンダ４６に導
き、強制的に撹拌モータ３１及び撹拌羽根３２を引き上
げるというシステム設計が可能となるため、非常時対応
が容易となる。また、電動モータ方式に較べて、スクリ
ューが必要とされない等、メカニズムの構成が簡略化さ
れるため、保守管理が容易となる。

【００３５】尚、図７に示すように、エアシリンダ４６
を垂直支持部２１ａの側壁に隣接配置し、その上方に延
びる作動ロッド４７の先端を台座体３６の第１スライド
ガイド部３６ａの一部と連結してもよい。

【００３６】本発明は上記第１〜第３実施形態にのみ限
定されるものではなく、次のような態様にて実施しても
よい。 （ａ）図６及び図７に示すエアシリンダ４６を、油圧式
のシリンダに取り替えてもよい。

【００３７】（ｂ）前記第１実施形態（図２）におい
て、前記目盛板４３に、台座体３６の昇降動の作用位
置、第１待避位置及び第２待避位置をそれぞれ検知する
三つのリミットスイッチを設け、台座体３６の昇降動に
応じて指示針４４が前記三つのリミットスイッチのいず
れかに接触した場合に、昇降用モータ３７の駆動を停止
するように構成された昇降用モータ制御回路を付加して
もよい。

【００３８】（ｃ）前記各実施形態ではスケール付きの
目盛板４３を特に設けたが、ガイドポール３５の表面に
スケールを刻んで目盛板４３の機能を持たせてもよい。

【００３９】

【発明の効果】以上詳述したように、各請求項に記載の
本発明によれば、スラリータンクでの撹拌羽根による撹
拌を停止する場合には、昇降手段によって撹拌羽根をス
ラリータンク内から待避させることができるので、撹拌
停止によってスラリータンクの底に形成され得る砥粒の
堆積層に撹拌羽根が捕縛されることがない。従って、長
時間の撹拌停止後にあっても撹拌羽根を容易に再起動す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワイヤソーの全体構成を示す正面図。

【図２】第１実施形態に従うスラリー撹拌装置の断面
図。

【図３】撹拌羽根の配置状態を示し、（Ａ）は作用位
置、（Ｂ）は第１待避位置、（Ｃ）は第２待避位置を示
す模式図。

【図４】第２実施形態に従うスラリー撹拌装置の要部断
面図。

【図５】第２実施形態の別例となるスラリー撹拌装置の
要部断面図。

【図６】第３実施形態に従うスラリー撹拌装置の要部断
面図。

【図７】第３実施形態の別例となるスラリー撹拌装置の
要部断面図。

【符号の説明】

１…基台、１４…切断用ワイヤ、２１…支持板、２１ａ
…垂直支持部、３１…撹拌モータ、３２…撹拌羽根（３
１，３２はスラリー撹拌手段を構成する）、３３…スラ
リータンク、３４…ガイド溝、３５…ガイドポール（２
１，２１ａ，３４，３５は昇降手段における支持手段を
構成する）、３６…台座体（昇降手段を構成する）、３
７…昇降用モータ、３８…スクリュー部材（３７，３８
は昇降手段における駆動手段を構成する）、３９，４０
…第１及び第２プーリ、４１…ベルト、４２…ハンドル
（３８，３９，４０，４１，４２は昇降手段における駆
動手段を構成する）、４６…エアシリンダ、４７…作動
ロッド、Ｓ…スラリー、Ｗ…ワーク。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】砥粒及び分散液からなるスラリーを貯留す
   るスラリータンクから当該スラリーを走行中のワイヤに
   供給し、当該ワイヤと砥粒のラッピング作用に基づいて
   ワークを切断するワイヤソー用のスラリー撹拌装置であ
   って、 スラリータンク内のスラリーを撹拌するための撹拌羽根
   を備えたスラリー撹拌手段と、当該スラリー撹拌手段を
   前記スラリータンクに対して昇降動させる昇降手段とを
   備えてなるワイヤソー用のスラリー撹拌装置。
2. 【請求項２】前記スラリー撹拌手段は、前記撹拌羽根を
   回転させるための撹拌モータを備えてなる請求項１に記
   載のスラリー撹拌装置。
3. 【請求項３】前記昇降手段は、前記スラリー撹拌手段を
   搭載した台座体と、当該台座体を昇降動可能に支持する
   支持手段と、前記スラリー撹拌手段及び前記台座体に昇
   降動を生じさせる駆動手段とを備えてなる請求項１又は
   請求項２に記載のスラリー撹拌装置。