JPH10131911A - 流体圧シリンダ - Google Patents

流体圧シリンダ

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JPH10131911A
JPH10131911A JP28481996A JP28481996A JPH10131911A JP H10131911 A JPH10131911 A JP H10131911A JP 28481996 A JP28481996 A JP 28481996A JP 28481996 A JP28481996 A JP 28481996A JP H10131911 A JPH10131911 A JP H10131911A
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JP
Japan
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cylinder body
cylinder
piston
hole
slide
Prior art date
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Pending
Application number
JP28481996A
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English (en)
Inventor
Michinobu Sakata
道信 坂田
Yuichi Hirasawa
祐一 平沢
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Koganei Corp
Original Assignee
Koganei Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 2つのピストンロッドを往復動するための流
体圧シリンダの幅方向の寸法を小さくして流体圧シリン
ダの小型化を達成する。 【解決手段】 シリンダ本体11はほぼ直方体に形成さ
れるとともに長手方向に相互に平行に2つの貫通孔が形
成されており、それぞれの貫通孔内にシリンダ本体11
の一端部側に位置させて組み込まれたヘッドカバーと、
他端部側に位置させて組み込まれたロッドカバーとによ
り形成されるシリンダ室内に軸方向にそれぞれ摺動自在
に2つのピストンが装着され、シリンダ本体11に沿っ
てそれぞれ軸方向に摺動自在に2つのスライドテーブル
30a,30bが装着され、これらのスライドテーブル
30a,30bはピストンに対してピストンロッドを介
して連結されている。それぞれのスライドテーブル30
a,30bは同時あるいは別々に駆動される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は2つのピストンロッ
ドを同時あるいは別々に往復動し得るようにした流体圧
シリンダに関する。
【0002】
【従来の技術】被加工物つまりワークをある位置から他
の位置まで直線移動したり、治具などを直線往復動した
り、あるいはワークを把持するためのロボットハンドを
開閉するために流体圧により作動する流体圧シリンダが
使用されている。
【0003】たとえば、ワークなどを直線移動するため
の流体圧シリンダにあっては、シリンダ本体の外面に取
り付けられたガイドレールに沿って軸方向に摺動自在に
スライドテーブルを装着し、そのスライドテーブルにピ
ストンロッドを連結して、ピストンによりスライドテー
ブルを駆動するようにしたものがある。そして、並べら
れた状態の複数のワークを同時、あるいは所定のタイミ
ングで直線移動する場合には、ワークの数に対応させて
複数の流体圧シリンダを配置するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような場合には、
複数の流体圧シリンダを束ねた状態で配置することにな
るので、流体圧シリンダ全体の幅方向の寸法がどうして
も大きくなってしまうとともに、ワーク相互の間隔を大
きくせざるを得ず、ワーク相互間の間隔を狭くすること
ができないことになる。あるワークを一方側に移動し、
他のワークを他方側に移動するような場合にも、同様に
流体圧シリンダ全体の幅方向の寸法が大きくなってしま
うという問題点がある。
【0005】本発明の目的は2つのピストンロッドを往
復動するための流体圧シリンダの幅方向の寸法を小さく
して流体圧シリンダの小型化を達成することにある。
【0006】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0008】すなわち、本発明の流体圧シリンダは、ほ
ぼ直方体に形成されるとともに相互に平行に第1と第2
の貫通孔が形成されたシリンダ本体と、前記それぞれの
貫通孔内に前記シリンダ本体の一端部側に位置させて組
み込まれたヘッドカバーと、前記それぞれの貫通孔内に
前記シリンダ本体の他端部側に位置させて組み込まれた
ロッドカバーとにより形成されるシリンダ室内に軸方向
にそれぞれ摺動自在に装着された第1と第2のピストン
と、前記それぞれの貫通孔に平行にそれぞれ軸方向に隣
接させて摺動自在に装着され、前記それぞれのピストン
にピストンロッドを介して前記シリンダ本体の他端部側
において連結された第1と第2のスライドテーブルとを
有し、前記それぞれのスライドテーブルを同時あるいは
別々に同一方向に往復動するようにしたことを特徴とす
る。
【0009】また、本発明の流体圧シリンダは、ほぼ直
方体に形成されるとともに相互に平行に第1と第2の貫
通孔が形成されたシリンダ本体と、前記第1の貫通孔内
に前記シリンダ本体の一端部側に位置させて組み込まれ
た第1のヘッドカバーと、前記第1の貫通孔内に前記シ
リンダ本体の他端部側に位置させて組み込まれた第1の
ロッドカバーとにより形成される第1のシリンダ室内に
軸方向にそれぞれ摺動自在に装着された第1のピストン
と、前記第2の貫通孔内に前記シリンダ本体の他端部側
に位置させて組み込まれた第2のヘッドカバーと、前記
第2の貫通孔内に前記シリンダ本体の一端部側に位置さ
せて組み込まれた第2のロッドカバーとにより形成され
る第2のシリンダ室内に軸方向にそれぞれ摺動自在に装
着された第2のピストンと、前記第1の貫通孔に平行に
軸方向に摺動自在に装着され、前記第1のピストンに第
1のピストンロッドを介して前記シリンダ本体の他端部
側において連結された第1のスライドテーブルと、前記
第2の貫通孔に平行に軸方向に摺動自在に装着され、前
記第2のピストンに第2のピストンロッドを介して前記
シリンダ本体の一端部側において連結され前記第1のス
ライドシリンダに隣接させて配置される第2のスライド
テーブルとを有し、前記それぞれのスライドテーブルを
同時あるいは別々に逆方向に往復動するようにしたこと
を特徴とする。また、ガイドレール付きスライドテーブ
ル形シリンダを2台並べて使う場合、取付面の精度を高
くしても、位置度や平行度、直角度を出す事は非常に難
しい。
【0010】本発明にあっては、1つのシリンダ本体に
2つのスライドテーブルを直線方向に摺動自在に設けた
ので、2つのスライドテーブルを駆動するためにシリン
ダ本体の幅方向の寸法を短くすることができ、流体圧シ
リンダの小型化を達成することができると共に、1つの
シリンダ本体に2つのスライドテーブルを設けたため、
2台のシリンダを一体化して使うよりも、本発明のスラ
イドテーブルの位置度や平行度、直角度は互いに高い値
で保持する事ができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
【0012】図1〜図6は本発明の一実施の形態である
流体圧シリンダを示す図である。この流体圧シリンダ1
0は全体的にほぼ直方体形状となった金属製ブロックに
より形成されたシリンダ本体11を有しており、シリン
ダ本体11はアルミニウム合金を素材として押し出し成
形された部材を所定の長さ毎に切断することにより形成
されている。シリンダ本体11は、図2に示すように、
この図において上側と下側の幅の広い側面と前側と後側
の幅の狭い側面の4つの側面と左右の端面とを有してお
り、上側の側面11aは案内面となり、下側の側面11
bは本体取付面となり、前側と後側の側面11c,11
dはセンサ取付面となっている。また、2つの端面のう
ち図3における右側の端面11eはシリンダ本体11の
一端部側の端面となり、左側の端面11fは他端部側の
端面となっている。ただし、図2は押し出し成形された
後に所定の長さ毎に切断することによって形成されたシ
リンダ本体11を示し、これに対して機械加工や種々の
部材を取り付けることによって流体圧シリンダ10が組
み立てられる。
【0013】シリンダ本体11には相互に平行となって
2つの貫通孔12a,12bが形成されており、それぞ
れの貫通孔12a,12bの一方端部内には、図5に示
すように、ヘッドカバー13a,13bが取り付けら
れ、他方端部内にはロッドカバー14a,14bが取り
付けられている。ヘッドカバー13a,13bをそれぞ
れ貫通孔12a,12bに形成された段部15a,15
bに当接させ、それぞれの外側端面には環状溝16a,
16bに止め付けられるC字形状の止めリング17a,
17bを当接させることにより、それぞれのヘッドカバ
ー13a,13bがシリンダ本体11に固定されるよう
になっている。同様に、ロッドカバー14a,14bを
それぞれ貫通孔12a,12bに形成された段部18
a,18bに当接させ、それぞれの外側端面には環状溝
19a,19bに止め付けられる止めリング21a,2
1bを当接させることにより、それぞれのロッドカバー
14a,14bはシリンダ本体11に固定されるように
なっている。
【0014】前述した段部、環状溝や後述するねじ孔な
どは、押し出し成形によりシリンダ本体を図2に示すよ
うに形成した後に、機械加工によって形成される。
【0015】貫通孔12a,12bのうちヘッドカバー
13a,13bとロッドカバー14a,14bとの間の
部分はシリンダ室22a,22bとなっており、それぞ
れのシリンダ室22a,22b内にはピストン23a,
23bが軸方向に摺動自在に装着されている。それぞれ
のピストン23a,23bにはピストンロッド24a,
24bがそれぞれの基端部で取り付けられ、先端部はロ
ッドカバー14a,14bを貫通して外部に突出してい
る。
【0016】シリンダ本体11の案内面11aには、図
4および図6に示すように、貫通孔12a,12bに平
行に溝25a,25bが形成され、それぞれの溝25
a,25bにはガイドレール26a,26bがねじ部材
27により固定されており、それぞれのガイドレール2
6a,26bに軸方向に摺動自在にスライダー28a,
28bが装着されている。それぞれのスライダー28
a,28bは、図4に示されるように、断面コの字形状
となっており、ガイドレール26a,26bが入り込む
溝29a,29bを有している。
【0017】それぞれのスライダー28a,28bには
スライドテーブル30a,30bがねじ部材31により
固定されている。スライドテーブル30a,30bは、
図4に示すように、横断面がコの字形状となっており、
スライダー28a,28bが取り付けるための溝32
a,32bが長手方向に延びて形成されている。それぞ
れのスライドテーブル30a,30bの先端には、図1
に示すように、先端プレート33a,33bがねじ部材
39により固定されており、それぞれの先端プレート3
3a,33bには、図5に示すように、ピストンロッド
24a,24bが連結されている。
【0018】それぞれのピストンロッド24a,24b
を先端プレート33a,33bに連結するために、図5
に示すように、先端プレート33a,33bに形成され
た貫通孔には先端プレート33a,33bの内面側から
段付リング34a,34bが嵌合され、段付リング34
a,34bとこれの外側に位置するワッシャー35a,
35bとを貫通してピストンロッド24a,24bの先
端部にねじ部材36a,36bがねじ結合されている。
したがって、ピストン23a,23bをシリンダ室22
a,22b内で往復動すると、それぞれのスライドテー
ブル30a,30bは直線方向に往復動することにな
る。
【0019】それぞれのシリンダ室22a,22bは、
ピストン23a,23bによって前進用空気圧室37
a,37bと後退用空気圧室38a,38bとに区画さ
れており、シリンダ本体11にはそれぞれの前進用空気
圧室37a,37bに連通する第1給排ポート41a,
41bが形成され、さらにそれぞれの後退用空気圧室3
8a,38bに連通する第2給排ポート42a,42b
が形成されている。したがって、それぞれの第1給排ポ
ート41a,41bから圧縮空気を供給すると、ピスト
ン23a,23bが前進してスライドテーブル30a,
30bは前進駆動される。このときには、第2給排ポー
ト42a,42bから後退用空気圧室38a,38b内
の空気は外部に排出される。同様に、それぞれの第2給
排ポート42a,42bから圧縮空気を供給すると、ピ
ストン23a,23bが後退してスライドテーブル30
a,30bは後退駆動される。このときには、第1給排
ポート41a,41bから前進用空気圧室37a,37
b内の空気は外部に排出される。
【0020】スライドテーブル30a,30bの後退端
位置を規制するために、図5に示すように、シリンダ本
体11の先端面にはねじ部材43a,43bがねじ結合
され、それぞれのねじ部材43a,43bの頭部に対応
させて、それぞれの先端プレート33a,33bにはゴ
ムなどの弾性部材からなるストッパ44a,44bが埋
め込まれている。後退端位置はねじ部材43a,43b
を回転することにより調整され、調整された位置を固定
するために、ねじ部材43a,43bにはロックナット
45a,45bがねじ結合されている。
【0021】一方、スライドテーブル30a,30bの
前進端位置を規制するために、図6に示すように、シリ
ンダ本体11の案内面11aの先端部には位置決めブロ
ック46a,46bがねじ部材47により固定されてお
り、それぞれの位置決めブロック46a,46bには前
記ストッパ44a,44bと同様にゴムなどの弾性体か
らなるストッパ48a,48bが埋め込まれている。ス
ライドテーブル30a,30bの後端部にはそれぞれの
ストッパ48a,48bに対応させてねじ部材51a,
51bがねじ結合されている。前進端位置はねじ部材5
1a,51bを回転することにより調整され、調整され
た位置を固定するために、ねじ部材51a,51bには
ロックナット52a,52bがねじ結合されている。
【0022】スライドテーブル30a,30bが前進端
位置および後退端位置まで移動したことを検出するため
に、ピストン23a,23bには図5に示すように永久
磁石53a,53bが設けられ、それぞれの永久磁石5
3a,53bの磁力により感応するセンサがシリンダ本
体11に取り付けられるようになっている。図3に示す
ように、シリンダ本体11のセンサ取付面11cにも2
本のセンサ溝54a,55aが形成され、他方のセンサ
取付面11dには2本のセンサ溝54b,55bが長手
方向に貫通して形成されている。そして、それぞれのセ
ンサ溝は図4に示すように半円部56とそれに連なる平
坦部57とを有し断面U字形状となっており、これらの
溝は溝幅よりも狭いのど部58を介して外部に開口され
ている。
【0023】それぞれのセンサ溝54a,54b,55
a,55bには、これらのセンサ溝の断面形状に対応し
た断面形状を有するセンサ61が設けられており、それ
ぞれのセンサ61は任意の位置に調整移動し得るように
なっており、図3に示すように、ねじ部材62によって
所定の位置に固定することができる。
【0024】シリンダ本体11を図示しない台座などの
部材に取り付けるために、シリンダ本体11の幅方向中
央部にはねじ部材を取り付けるための取付孔63が形成
されている。取付孔63にねじ部材を貫通させる際に
は、図6に示すように、2つのスライドテーブル30
a,30bを所定の位置に設定したときに、ねじ部材を
貫通させるための凹部64a,64bが形成されてい
る。このようにシリンダ本体11の幅方向中央部分に取
付孔63を形成することによって、2つのスライドテー
ブル30a,30bを駆動するためのシリンダ本体11
の幅寸法を大きくすることなく、シリンダ本体11の固
定用のスペースを確保することができる。しかも、それ
ぞれのスライドテーブル30a,30bに凹部64a,
64bを形成することによって、スライドテーブル相互
を接近させても、取付孔63にシリンダ本体11を固定
するためのねじ部材を貫通させることができ、2つのス
ライドテーブル30a,30bそれぞれの幅寸法を所要
の寸法に維持しつつ、全体の幅寸法を短くすることがで
きる。
【0025】スライドテーブル30a,30bには、こ
の上でワークを支持して水平方向に搬送する際に、図示
しないワーク支持用の治具を取り付けるための複数のね
じ孔65が形成されている。このような搬送方向とする
ためにシリンダ本体11を台座などに取り付ける場合に
は、シリンダ本体11は水平方向に設置される。一方、
先端プレート33a,33bの上にワークを支持して垂
直方向にワークを搬送する際に、図示しないワーク支持
用の治具を取り付けるための複数のねじ孔66が、図1
に示すように、先端プレート33a,33bに形成され
ている。その場合には、シリンダ本体11は垂直方向に
設置される。
【0026】給排ポート41aから圧縮空気を供給する
と、スライドテーブル30aは前進移動することにな
り、給排ポート42aから供給すると後退移動すること
になり、同様に、給排ポート41bから圧縮空気を供給
すると、スライドテーブル30bは前進移動し、給排ポ
ート42bから供給すると後退移動することになるが、
両方のスライドテーブル30a,30bを同時に前進後
退移動するようにしても良く、別々に独立させて移動す
るようにしても良い。
【0027】別々に移動させる場合には、一方のスライ
ドテーブルでワークを移動するときには他方のスライド
テーブルを停止状態とすることができるので、エスケー
プ動作やディレイ動作を行うことができる。2つの部材
を同時にそれぞれのスライドテーブルによって移動する
こともでき、同時に移動する場合であって、2つのスラ
イドテーブルによって1つの被搬送物を移動する場合に
は、図示しない治具によって2つのスライドテーブル3
0a,30bを連結して、これらに支持される部材を2
倍の推力によって移動することができることになる。こ
のような種々の操作を幅の狭い小型の流体圧シリンダに
よって達成することができる。
【0028】図7〜図11は本発明の他の実施の形態で
ある流体圧シリンダ10aを示す図であり、これらの図
にあっては、図1〜図6に示す流体圧シリンダ10にお
ける部材と共通する部材には同一の符号が付されてい
る。
【0029】この流体圧シリンダ10aにあっては、シ
リンダ本体11の一方の端面からピストンロッド24a
が突出し、他方の端面からピストンロッド24bが突出
している。したがって、図1と図7との比較により明ら
かなように、スライドテーブル30bとそれを駆動する
部分は両方の実施の形態において同一であるが、スライ
ドテーブル30aとこれを駆動する部分は両方の実施の
形態において相互に逆向きとなっている。
【0030】したがって、このような流体圧シリンダ1
0aによってワークなどの被搬送物を相互に逆方向に同
時にあるいは別々のタイミングで移動することができる
とともに、ワークを把持するためのハンドを開閉するハ
ンドリング動作を行うことができる。
【0031】図1に示す流体圧シリンダ10にあっては
2つのスライドテーブル30a,30bが相互に同一方
向を向いて並列となっているのに対して、図7に示す流
体圧シリンダ10aは2つのスライドテーブル30a,
30bが相互に逆方向を向いており、両方の流体圧シリ
ンダ10,10aを構成する部材はそれぞれ共通してい
るので、同一の部材を使用して両方の流体圧シリンダ1
0,10aを組み立てることができる。ただし、図示す
る実施の形態では、シリンダ本体11に形成される給排
ポート41a〜42bの位置は相違している。
【0032】図12は他のタイプの流体圧シリンダ10
bを構成するシリンダ本体11を示す図であり、この場
合には、ヘッドカバー13a,13bとロッドカバー1
4a,14bの厚みを相互にほぼ同一とし、それぞれの
給排ポート41a〜42bのシリンダ本体11の両端面
からの距離Dをほぼ同一とすることによって、給排ポー
トの機械加工などが終了した後のシリンダ本体11を、
図1に示すようにスライドテーブル30a,30bを同
一向きとしたタイプの流体圧シリンダ10と、図7に示
すように逆向きとしたタイプの流体圧シリンダ10aと
のいずれのタイプにも使用することができる。
【0033】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実
施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0034】たとえば、図示する実施の形態にあって
は、給排ポートはシリンダ本体のセンサ取付面に形成さ
れているが、端面に形成するようにしても良い。また、
それぞれの空気圧室に対応させて合計4つの給排ポート
がシリンダ本体に形成されているが、同時に2つのスラ
イドテーブル30a,30bを駆動する使用形態の場合
には、2つの前進用空気圧室37a,37bを連通路で
連通するとともに、2つの後退用空気圧室38a,38
bを連通する連通路を設けるようにすれば、2つの給排
ポートのみで良い。さらに、図示する場合には、スライ
ドテーブルと先端プレートを別々の部材として、これら
をねじ部材により連結して全体としてL字形状となった
部材を形成するようにしているが、これらを正面から見
てL字形状の部材を用いて、先端プレート部とスライド
テーブル部とが一体となった部材を使用するようにして
も良い。
【0035】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0036】(1).1つの流体圧シリンダによって2つの
スライドテーブルを同一方向あるいは逆方向に往復動す
ることができる。
【0037】(2).2つのスライドテーブルを往復動する
ための流体圧シリンダを小型化することができる。
【0038】(3).共通する部材によって、スライドテー
ブルを同一方向に往復動するタイプと逆方向に往復動す
るタイプのいずれのタイプをも製造することができる。
【0039】(4).1つの流体圧シリンダによって、2つ
のスライドテーブルを同時に台座などに取り付けられる
ため、位置度、平行度、直角度等が、高い値で2台分を
確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である流体圧シリンダを
示す斜視図である。
【図2】図1に示されたシリンダ本体を示す斜視図であ
る。
【図3】図1の正面図である。
【図4】図3の右側面図である。
【図5】図3における5−5線に沿う断面図である。
【図6】図3における6−6線に沿う断面図である。
【図7】本発明の他の実施の形態である流体圧シリンダ
を示す斜視図である。
【図8】図7の正面図である。
【図9】図8の右側面図である。
【図10】図8における10−10線に沿う断面図であ
る。
【図11】図8における11−11線に沿う断面図であ
る。
【図12】本発明の他の実施の形態である流体圧シリン
ダのシリンダ本体を示す断面図である。
【符号の説明】
10,10a,10b 流体圧シリンダ 11 シリンダ本体 12a,12b 貫通孔 13a,13b ヘッドカバー 14a,14b ロッドカバー 15a,15b 段部 16a,16b 環状溝 17a,17b 止めリング 18a,18b 段部 19a,19b 環状溝 21a,21b 止めリング 22a,22b シリンダ室 23a,23b ピストン 24a,24b ピストンロッド 25a,25b 溝 26a,26b ガイドレール 27 ねじ部材 28a,28b スライダー 29a,29b 溝 30a,30b スライドテーブル 31 ねじ部材 32a,32b 溝 33a,33b 先端プレート 34a,34b 段付リング 35a,35b ワッシャー 36a,36b ねじ部材 37a,37b 前進用空気圧室 38a,38b 後退用空気圧室 39 ねじ部材 41a,41b 第1給排ポート 42a,42b 第2給排ポート 43a,43b ねじ部材 44a,44b ストッパ 45a,45b ロックナット 46a,46b 位置決めブロック 47 ねじ部材 48a,48b ストッパ 51a,51b ねじ部材 52a,52b ロックナット 53a,53b 永久磁石 54a,54b センサ溝 55a,55b センサ溝 56 半円部 57 平坦部 58 のど部 61 センサ 62 ねじ部材 63 取付孔 64a,64b 凹部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ほぼ直方体に形成されるとともに相互に
    平行に第1と第2の貫通孔が形成されたシリンダ本体
    と、 前記それぞれの貫通孔内に前記シリンダ本体の一端部側
    に位置させて組み込まれたヘッドカバーと、前記それぞ
    れの貫通孔内に前記シリンダ本体の他端部側に位置させ
    て組み込まれたロッドカバーとにより形成されるシリン
    ダ室内に軸方向にそれぞれ摺動自在に装着された第1と
    第2のピストンと、 前記それぞれの貫通孔に平行にそれぞれ軸方向に隣接さ
    せて摺動自在に装着され、前記それぞれのピストンにピ
    ストンロッドを介して前記シリンダ本体の他端部側にお
    いて連結された第1と第2のスライドテーブルとを有
    し、 前記それぞれのスライドテーブルを同時あるいは別々に
    同一方向に往復動するようにしたことを特徴とする流体
    圧シリンダ。
  2. 【請求項2】 ほぼ直方体に形成されるとともに相互に
    平行に第1と第2の貫通孔が形成されたシリンダ本体
    と、 前記第1の貫通孔内に前記シリンダ本体の一端部側に位
    置させて組み込まれた第1のヘッドカバーと、前記第1
    の貫通孔内に前記シリンダ本体の他端部側に位置させて
    組み込まれた第1のロッドカバーとにより形成される第
    1のシリンダ室内に軸方向にそれぞれ摺動自在に装着さ
    れた第1のピストンと、 前記第2の貫通孔内に前記シリンダ本体の他端部側に位
    置させて組み込まれた第2のヘッドカバーと、前記第2
    の貫通孔内に前記シリンダ本体の一端部側に位置させて
    組み込まれた第2のロッドカバーとにより形成される第
    2のシリンダ室内に軸方向にそれぞれ摺動自在に装着さ
    れた第2のピストンと、 前記第1の貫通孔に平行に軸方向に摺動自在に装着さ
    れ、前記第1のピストンに第1のピストンロッドを介し
    て前記シリンダ本体の他端部側において連結された第1
    のスライドテーブルと、 前記第2の貫通孔に平行に軸方向に摺動自在に装着さ
    れ、前記第2のピストンに第2のピストンロッドを介し
    て前記シリンダ本体の一端部側において連結され前記第
    1のスライドテーブルに隣接させて配置される第2のス
    ライドテーブルとを有し、 前記それぞれのスライドテーブルを同時あるいは別々に
    逆方向に往復動するようにしたことを特徴とする流体圧
    シリンダ。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006258134A (ja) * 2005-03-15 2006-09-28 Koganei Corp マグネット式ロッドレスシリンダ
JP2007218296A (ja) * 2006-02-15 2007-08-30 New-Era Co Ltd アクチュエータ
CN104863921A (zh) * 2015-05-27 2015-08-26 浙江亿太诺气动科技有限公司 一种多面安装气动侧滑台

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