JPH10132710A - 連続ガス分析装置 - Google Patents
連続ガス分析装置Info
- Publication number
- JPH10132710A JPH10132710A JP29078696A JP29078696A JPH10132710A JP H10132710 A JPH10132710 A JP H10132710A JP 29078696 A JP29078696 A JP 29078696A JP 29078696 A JP29078696 A JP 29078696A JP H10132710 A JPH10132710 A JP H10132710A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- calibration
- span
- measurement
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数のガス成分を測定する場合であっても、
迅速に各検出器の校正が行われるような連続ガス分析装
置を提供する。 【解決手段】 各検出器の校正を行うために三方切換弁
２をゼロガス側の流路に切り換えて、二方弁３を開放
し、ゼロガスを導入する。ゼロガスは各流路Ａ、Ｂ、Ｃ
を流れて各測定セルＡ、Ｂ、Ｃに供給され、各検出器の
ゼロ校正を行う。次に、二方弁３を閉じた後、二方弁
Ａ、Ｂ、Ｃをいずれも同時に開放してスパンガスＡ、
Ｂ、Ｃを各々流路Ａ、Ｂ、Ｃを介して測定セルＡ、Ｂ、
Ｃに同時に送り込むようする。これらスパンガスは所定
濃度のガスであるので、各検出器Ａ、Ｂ、Ｃでは所定の
検出値が示されるように校正を行う。このように校正が
同時に行えるので、校正時間を短縮することができる。
迅速に各検出器の校正が行われるような連続ガス分析装
置を提供する。 【解決手段】 各検出器の校正を行うために三方切換弁
２をゼロガス側の流路に切り換えて、二方弁３を開放
し、ゼロガスを導入する。ゼロガスは各流路Ａ、Ｂ、Ｃ
を流れて各測定セルＡ、Ｂ、Ｃに供給され、各検出器の
ゼロ校正を行う。次に、二方弁３を閉じた後、二方弁
Ａ、Ｂ、Ｃをいずれも同時に開放してスパンガスＡ、
Ｂ、Ｃを各々流路Ａ、Ｂ、Ｃを介して測定セルＡ、Ｂ、
Ｃに同時に送り込むようする。これらスパンガスは所定
濃度のガスであるので、各検出器Ａ、Ｂ、Ｃでは所定の
検出値が示されるように校正を行う。このように校正が
同時に行えるので、校正時間を短縮することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料ガス中の目的
成分の濃度を連続的に測定する連続ガス分析装置に関す
る。
成分の濃度を連続的に測定する連続ガス分析装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、大気中のＮＯx 、ＣＯ、Ｃ
Ｏ2 、Ｏ2 等を連続して測定するのに連続ガス分析計が
使用される。この連続ガス分析計の一般的な構成の概略
を図２に示す。
Ｏ2 、Ｏ2 等を連続して測定するのに連続ガス分析計が
使用される。この連続ガス分析計の一般的な構成の概略
を図２に示す。
【０００３】サンプリングプローブ等で大気中の試料ガ
スが採取され、試料ガス入口から前処理部２１を通っ
て、試料ガスからほこりや水分が除去され、三方切換弁
２２から分析計２４へ導かれてガス分析が行われる。
スが採取され、試料ガス入口から前処理部２１を通っ
て、試料ガスからほこりや水分が除去され、三方切換弁
２２から分析計２４へ導かれてガス分析が行われる。
【０００４】分析計２４では測定対象のガス成分に応じ
て、成分測定セルが設けられており、直列に接続された
成分測定セルＡ、Ｂ、Ｃに試料ガスを順番に通過させて
各測定セルで目的成分を検出器で測定することによっ
て、連続的にガス成分が検出される。
て、成分測定セルが設けられており、直列に接続された
成分測定セルＡ、Ｂ、Ｃに試料ガスを順番に通過させて
各測定セルで目的成分を検出器で測定することによっ
て、連続的にガス成分が検出される。
【０００５】ところで、各目的成分の測定を正確に行う
ために、各測定セルに設けられている各検出器の校正が
行われ、この校正にゼロガスとスパンガスが使用され
る。
ために、各測定セルに設けられている各検出器の校正が
行われ、この校正にゼロガスとスパンガスが使用され
る。
【０００６】ゼロガスは測定対象となるガス成分を全く
含まない例えば、Ｎ2 等が用いられ、このゼロガスは三
方切換弁２２が切り換えられ、二方弁２３が開けられた
ときに成分測定セルＡ、Ｂ、Ｃに順番に供給されて各検
出器のゼロ点が校正される。一方、感度を校正するため
に、スパンガスを各測定セルに導入するわけであるが、
各成分測定セルＡ、Ｂ、Ｃで測定しようとしているガス
成分が例えば、各々ＮＯ、ＣＯ、ＣＯ2 であるならば、
スパンガスＡに所定濃度のＮＯを、スパンガスＢに所定
濃度のＣＯを、スパンガスＣに所定濃度のＣＯ2 を用い
る。
含まない例えば、Ｎ2 等が用いられ、このゼロガスは三
方切換弁２２が切り換えられ、二方弁２３が開けられた
ときに成分測定セルＡ、Ｂ、Ｃに順番に供給されて各検
出器のゼロ点が校正される。一方、感度を校正するため
に、スパンガスを各測定セルに導入するわけであるが、
各成分測定セルＡ、Ｂ、Ｃで測定しようとしているガス
成分が例えば、各々ＮＯ、ＣＯ、ＣＯ2 であるならば、
スパンガスＡに所定濃度のＮＯを、スパンガスＢに所定
濃度のＣＯを、スパンガスＣに所定濃度のＣＯ2 を用い
る。
【０００７】そして、スパン校正を行う場合には、三方
切換弁２２をスパンガスの供給流路側に切り換えてお
き、二方弁Ａを開けてスパンガスＡを流してまず測定セ
ルＡの検出器を校正し、このガスをガス出口から排出し
てから、二方弁Ｂを開けてスパンガスＢを流して測定セ
ルＢの検出器を校正し、このガスをガス出口から排出し
てから、二方弁Ｃを開けてスパンガスＣを流して測定セ
ルＣの検出器を校正していた。
切換弁２２をスパンガスの供給流路側に切り換えてお
き、二方弁Ａを開けてスパンガスＡを流してまず測定セ
ルＡの検出器を校正し、このガスをガス出口から排出し
てから、二方弁Ｂを開けてスパンガスＢを流して測定セ
ルＢの検出器を校正し、このガスをガス出口から排出し
てから、二方弁Ｃを開けてスパンガスＣを流して測定セ
ルＣの検出器を校正していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
ではゼロ校正ガスは各測定セルの検出器を校正するのに
共通なために、直列に接続された測定セルに順次このゼ
ロ校正ガスを流して校正してゆけば良いが、スパン校正
ガスの場合には測定セルごとに流すガスが異なるので、
二方弁を開けてガスを順番に流路に出力し、一つの測定
セルの感度の校正が終了すると、次の二方弁を開けて流
路に出力して次の測定セルの感度を校正するというよう
にしなければならず、非常に校正に時間がかかってい
た。
ではゼロ校正ガスは各測定セルの検出器を校正するのに
共通なために、直列に接続された測定セルに順次このゼ
ロ校正ガスを流して校正してゆけば良いが、スパン校正
ガスの場合には測定セルごとに流すガスが異なるので、
二方弁を開けてガスを順番に流路に出力し、一つの測定
セルの感度の校正が終了すると、次の二方弁を開けて流
路に出力して次の測定セルの感度を校正するというよう
にしなければならず、非常に校正に時間がかかってい
た。
【０００９】本発明は、上記課題を解決するために創案
されたもので、複数のガス成分を測定する場合であって
も、迅速に各検出器の校正が行われるような連続ガス分
析装置を提供するものである。
されたもので、複数のガス成分を測定する場合であって
も、迅速に各検出器の校正が行われるような連続ガス分
析装置を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の連続ガス分析装置は、試料ガス中の複数の
目的成分を連続的に測定するために、各成分に応じた測
定セルが複数設けられた連続ガス分析装置において、試
料ガス導入流路を前記各測定セルに並列に設けるととも
に各測定セルの測定成分に応じたスパン校正ガスを前記
各測定セルに並列に設けられた試料ガス導入流路に各々
接続したことを特徴としている。
に、本発明の連続ガス分析装置は、試料ガス中の複数の
目的成分を連続的に測定するために、各成分に応じた測
定セルが複数設けられた連続ガス分析装置において、試
料ガス導入流路を前記各測定セルに並列に設けるととも
に各測定セルの測定成分に応じたスパン校正ガスを前記
各測定セルに並列に設けられた試料ガス導入流路に各々
接続したことを特徴としている。
【００１１】本発明の連続ガス分析装置は、各測定セル
への試料ガス導入路を各測定セル間を直列に接続して構
成するようなことをせずに、各測定セルに並列に設け、
この各試料ガス導入路に各測定セルの測定成分に応じた
スパン校正ガスを接続するようにしているので、それぞ
れのスパン校正ガスを同時に流すことによって、一度に
校正が行えるので、非常に校正時間が短縮できる。
への試料ガス導入路を各測定セル間を直列に接続して構
成するようなことをせずに、各測定セルに並列に設け、
この各試料ガス導入路に各測定セルの測定成分に応じた
スパン校正ガスを接続するようにしているので、それぞ
れのスパン校正ガスを同時に流すことによって、一度に
校正が行えるので、非常に校正時間が短縮できる。
【００１２】また、各測定セルに試料ガスを同時に導入
できるので、複数の目的成分を測定する時間も短縮する
ことができる。
できるので、複数の目的成分を測定する時間も短縮する
ことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を、以下、図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１４】図１は本発明による連続ガス分析装置の構
成図を示す。
成図を示す。
【００１５】１は試料ガスからほこりや水分を除去する
ための前処理部、２は分析計に試料ガスかゼロガスかの
どちらかを導入するためにその流路を切り換えることが
できる三方切換弁、３はゼロガスを導入するために使用
される二方弁、４は目的の各成分ガスを測定するための
分析計である。
ための前処理部、２は分析計に試料ガスかゼロガスかの
どちらかを導入するためにその流路を切り換えることが
できる三方切換弁、３はゼロガスを導入するために使用
される二方弁、４は目的の各成分ガスを測定するための
分析計である。
【００１６】分析計４は異なる目的成分を測定するため
に、測定対象となる成分ガスの種類だけ、測定セルと検
出器が設けられており、本実施例では３成分の場合を仮
定している。測定セルＡには検出器Ａが、測定セルＢに
は検出器Ｂが、測定セルＣには検出器Ｃが対応してお
り、測定セルＡは流路Ａを介して三方切換弁２に、測定
セルＢは流路Ｂを介して三方切換弁２に、測定セルＣは
流路Ｃを介して三方切換弁２に各々並列接続されてお
り、この流路ＡにはスパンガスＡを導入するための二方
弁Ａが、流路ＢにはスパンガスＢを導入するための二方
弁Ｂが、流路ＣにはスパンガスＣを導入するための二方
弁Ｃが各々設けられているスパンガスＡ、Ｂ、Ｃはそれ
ぞれ検出器Ａ、Ｂ、Ｃの校正を行うための異なる種類の
ガスである。
に、測定対象となる成分ガスの種類だけ、測定セルと検
出器が設けられており、本実施例では３成分の場合を仮
定している。測定セルＡには検出器Ａが、測定セルＢに
は検出器Ｂが、測定セルＣには検出器Ｃが対応してお
り、測定セルＡは流路Ａを介して三方切換弁２に、測定
セルＢは流路Ｂを介して三方切換弁２に、測定セルＣは
流路Ｃを介して三方切換弁２に各々並列接続されてお
り、この流路ＡにはスパンガスＡを導入するための二方
弁Ａが、流路ＢにはスパンガスＢを導入するための二方
弁Ｂが、流路ＣにはスパンガスＣを導入するための二方
弁Ｃが各々設けられているスパンガスＡ、Ｂ、Ｃはそれ
ぞれ検出器Ａ、Ｂ、Ｃの校正を行うための異なる種類の
ガスである。
【００１７】次に動作について説明する。
【００１８】まず、試料ガスを導入する前に、各検出器
のゼロ校正を行うために三方切換弁をゼロガス側の流路
に切り換えて、二方弁３を開放し、ゼロガスを導入す
る。ゼロガスは各流路Ａ、Ｂ、Ｃを流れて各測定セル
Ａ、Ｂ、Ｃに供給される。
のゼロ校正を行うために三方切換弁をゼロガス側の流路
に切り換えて、二方弁３を開放し、ゼロガスを導入す
る。ゼロガスは各流路Ａ、Ｂ、Ｃを流れて各測定セル
Ａ、Ｂ、Ｃに供給される。
【００１９】各測定セルでは各々異なる成分ガスの検出
を行うが、ゼロガスなので、いずれの成分ガスも含まれ
ておらず、各検出器Ａ、Ｂ、Ｃでは何も検出されないこ
とになるので、各検出値が０となるように校正する。
を行うが、ゼロガスなので、いずれの成分ガスも含まれ
ておらず、各検出器Ａ、Ｂ、Ｃでは何も検出されないこ
とになるので、各検出値が０となるように校正する。
【００２０】次に、二方弁３を閉じた後、二方弁Ａ、
Ｂ、Ｃをいずれも同時に開放してスパンガスＡ、Ｂ、Ｃ
を各々流路Ａ、Ｂ、Ｃに同時に送り込むようにする。各
流路Ａ、Ｂ、Ｃを介してスパンガスＡは測定セルＡに、
スパンガスＢは測定セルＢに、スパンガスＣは測定セル
Ｃに導入される。これらスパンガスは所定濃度のガスで
あるので、各検出器Ａ、Ｂ、Ｃでは一定の検出値が示さ
れるが、この検出値が濃度に対応した所定の値を示すよ
うに校正を行う。
Ｂ、Ｃをいずれも同時に開放してスパンガスＡ、Ｂ、Ｃ
を各々流路Ａ、Ｂ、Ｃに同時に送り込むようにする。各
流路Ａ、Ｂ、Ｃを介してスパンガスＡは測定セルＡに、
スパンガスＢは測定セルＢに、スパンガスＣは測定セル
Ｃに導入される。これらスパンガスは所定濃度のガスで
あるので、各検出器Ａ、Ｂ、Ｃでは一定の検出値が示さ
れるが、この検出値が濃度に対応した所定の値を示すよ
うに校正を行う。
【００２１】校正が終了し、スパンガスＡ、Ｂ、Ｃがガ
ス出口から排気された後に、試料ガスを測定する。
ス出口から排気された後に、試料ガスを測定する。
【００２２】ここで、三方切換弁２を試料ガスが分析計
４の内部へ導かれるように流路を切り換え、二方弁Ａ、
Ｂ、Ｃをいずれも閉めて、試料ガスをサンプリングす
る。サンプリングされた試料ガスは、試料ガス入口から
前処理部１に供給され、ここでほこりや水分を除去し
て、流路Ａ、Ｂ、Ｃにそれぞれ供給される。
４の内部へ導かれるように流路を切り換え、二方弁Ａ、
Ｂ、Ｃをいずれも閉めて、試料ガスをサンプリングす
る。サンプリングされた試料ガスは、試料ガス入口から
前処理部１に供給され、ここでほこりや水分を除去し
て、流路Ａ、Ｂ、Ｃにそれぞれ供給される。
【００２３】各測定セルＡ、Ｂ、Ｃに試料ガスが供給さ
れるので、各測定セルの測定対象に応じた成分ガスが検
出される。
れるので、各測定セルの測定対象に応じた成分ガスが検
出される。
【００２４】以上の実施例では試料ガス中の３成分を測
定する場合について述べているが、より多くの成分を測
定する場合であっても同様に構成することができ、測定
成分の数が増えても、試料ガス中の１成分を測定する場
合と同じ校正時間で校正を行うことができ、試料ガスの
測定時間もほぼ１成分のときと同じ時間で行うことがで
きる。
定する場合について述べているが、より多くの成分を測
定する場合であっても同様に構成することができ、測定
成分の数が増えても、試料ガス中の１成分を測定する場
合と同じ校正時間で校正を行うことができ、試料ガスの
測定時間もほぼ１成分のときと同じ時間で行うことがで
きる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
試料ガス導入流路を各測定セルに並列に設け、この導入
流路に各測定セルの測定成分に応じたスパン校正ガスを
接続するようにしているので、各測定セルの検出器のス
パン校正が同時に行え、校正時間を非常に短縮すること
ができる。
試料ガス導入流路を各測定セルに並列に設け、この導入
流路に各測定セルの測定成分に応じたスパン校正ガスを
接続するようにしているので、各測定セルの検出器のス
パン校正が同時に行え、校正時間を非常に短縮すること
ができる。
【００２６】また、試料ガスも同時に各測定セル内に導
くことができるので、複数の成分ガス測定も同時に行
え、測定時間も短縮することができる。
くことができるので、複数の成分ガス測定も同時に行
え、測定時間も短縮することができる。
【図１】本発明の連続ガス分析装置の構成を示す図であ
る。
る。
【図２】従来の連続ガス分析装置の構成を示す図であ
る。
る。
Claims (1)
- 【請求項１】 試料ガス中の複数の目的成分を連続的に
測定するために、各成分に応じた測定セルが複数設けら
れた連続ガス分析装置において、試料ガス導入流路を前
記各測定セルに並列に設けるとともに各測定セルの測定
成分に応じたスパン校正ガスを前記各測定セルに並列に
設けられた試料ガス導入流路に各々接続したことを特徴
とする連続ガス分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29078696A JPH10132710A (ja) | 1996-10-31 | 1996-10-31 | 連続ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29078696A JPH10132710A (ja) | 1996-10-31 | 1996-10-31 | 連続ガス分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10132710A true JPH10132710A (ja) | 1998-05-22 |
Family
ID=17760496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29078696A Pending JPH10132710A (ja) | 1996-10-31 | 1996-10-31 | 連続ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10132710A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008111548A1 (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-18 | Sanyo Electric Co., Ltd. | 培養装置 |
| JP2013242274A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Horiba Ltd | 分析計校正システム及び排ガス分析システム |
| GB2552991A (en) * | 2016-08-18 | 2018-02-21 | Whitley Don Scient Ltd | Gas sensor calibration system and method for a controlled atmosphere workstation |
-
1996
- 1996-10-31 JP JP29078696A patent/JPH10132710A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008111548A1 (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-18 | Sanyo Electric Co., Ltd. | 培養装置 |
| JP2008220235A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 培養装置 |
| JP2013242274A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Horiba Ltd | 分析計校正システム及び排ガス分析システム |
| US9255917B2 (en) | 2012-05-22 | 2016-02-09 | Horiba, Ltd. | Analyzer calibrating system and exhaust gas analyzing system |
| GB2552991A (en) * | 2016-08-18 | 2018-02-21 | Whitley Don Scient Ltd | Gas sensor calibration system and method for a controlled atmosphere workstation |
| GB2552991B (en) * | 2016-08-18 | 2022-02-02 | Whitley Don Scient Ltd | Gas sensor calibration system and method for a controlled atmosphere workstation |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11454618B2 (en) | Coupled analytical instruments for dual mode FTIR/GC-FTIR | |
| JP4246867B2 (ja) | 排ガス分析システム | |
| JP3607997B2 (ja) | ガス中の微量不純物の分析装置 | |
| CN112557127B (zh) | 多点位VOCs在线连续采样监测装置及方法 | |
| US5894083A (en) | Continuous gas analyzer | |
| CN109490443A (zh) | 一种非甲烷总烃含量检测装置及方法 | |
| US11674892B2 (en) | Discrete sample introduction module (DSIM) for gas analysis by laser absorption spectroscopy | |
| CN207516315U (zh) | 非甲烷总烃检测装置 | |
| CN114235941A (zh) | 一种环境空气中非甲烷总烃的直接检测装置及方法 | |
| CN120908355B (zh) | 基于色谱技术的PANs分析装置和方法 | |
| JPH10132710A (ja) | 連続ガス分析装置 | |
| CN114609283B (zh) | 一种全氟异丁腈中分解产物的测定系统及方法 | |
| JP3299089B2 (ja) | ガス分析装置 | |
| US6492639B1 (en) | Method and apparatus for recognizing properties of a sample based on mass spectroscopy | |
| JP2002350340A (ja) | 同位体ガス測定装置、及び測定方法 | |
| JPS643073Y2 (ja) | ||
| JP3195728B2 (ja) | 硫黄成分測定装置 | |
| JPH04120461A (ja) | Ｓｆ↓６ガス分析装置 | |
| JPH06281607A (ja) | ガス濃度連続分析装置 | |
| JPS6336265Y2 (ja) | ||
| US9182325B2 (en) | Method and apparatus for changing relative concentrations of gases present within a gaseous sample for mass spectrometry | |
| JP3402718B2 (ja) | 流体変調式ガス分析方法 | |
| JP2601977Y2 (ja) | ガス分析計 | |
| JPH11118676A (ja) | ガス分析計 | |
| JP2874307B2 (ja) | プロセスガスクロマトグラフの校正方法 |