JPH10132853A - プローブ組立体およびプローブ - Google Patents
プローブ組立体およびプローブInfo
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- JPH10132853A JPH10132853A JP8300835A JP30083596A JPH10132853A JP H10132853 A JPH10132853 A JP H10132853A JP 8300835 A JP8300835 A JP 8300835A JP 30083596 A JP30083596 A JP 30083596A JP H10132853 A JPH10132853 A JP H10132853A
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- G01R1/07371—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch using an intermediate card or back card with apertures through which the probes pass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 容易にかつ廉価に製作することができ、針先
を電極に確実に接触させることができ、プローブの交換
を容易にすることにある。 【解決手段】 プローブ組立体は、ブロックと、帯状の
中央領域ならびに該中央領域の先端および後端からそれ
ぞれさらに前方および後方へ伸びる第１および第２の針
先領域を備える複数のプローブを中央領域の幅方向が上
下方向となる状態に中央領域を対向させてブロックの下
側に並列的に配置し、それらのプローブをそれらのブロ
ックを貫通する細長い１以上のガイドバーを介してブロ
ックに支持させたことを特徴とする。
を電極に確実に接触させることができ、プローブの交換
を容易にすることにある。 【解決手段】 プローブ組立体は、ブロックと、帯状の
中央領域ならびに該中央領域の先端および後端からそれ
ぞれさらに前方および後方へ伸びる第１および第２の針
先領域を備える複数のプローブを中央領域の幅方向が上
下方向となる状態に中央領域を対向させてブロックの下
側に並列的に配置し、それらのプローブをそれらのブロ
ックを貫通する細長い１以上のガイドバーを介してブロ
ックに支持させたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
ような平板状被検査体の検査に用いるプローブ組立体お
よびプローブに関する。
ような平板状被検査体の検査に用いるプローブ組立体お
よびプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルの検査に用いるプローブ
組立体として、現在では、先端部（針先部）をテーパ状
に形成して先端（針先）の直径寸法を小さくした多数の
金属細線を液晶表示パネルの電極の配置パターンに対応
させてブロックに配置し、接着剤で固定したニードルタ
イプのもの（特開平７−２２５２４５号公報）と、多数
の穴を液晶表示パネルの電極の配置パターンに対応させ
てブロックに千鳥状に形成し、各穴にスプリングピンを
配置したスプリングピンタイプのものとが販売されてい
る。
組立体として、現在では、先端部（針先部）をテーパ状
に形成して先端（針先）の直径寸法を小さくした多数の
金属細線を液晶表示パネルの電極の配置パターンに対応
させてブロックに配置し、接着剤で固定したニードルタ
イプのもの（特開平７−２２５２４５号公報）と、多数
の穴を液晶表示パネルの電極の配置パターンに対応させ
てブロックに千鳥状に形成し、各穴にスプリングピンを
配置したスプリングピンタイプのものとが販売されてい
る。
【０００３】針先がニードルタイプのものは、針先が液
晶表示パネルの電極を擦るいわゆるスクラッチ作用によ
り針先と電極とが電気的に確実に接触し、また針先と電
極との接触状態を目で確認することができる、という利
点を有する反面、製作煩雑で高価になり、またプローブ
の交換が難しい、という課題を有する。これに対し、ス
プリングピンタイプのものは、製作が容易で廉価であ
り、またプローブの交換が容易になる、という利点を有
する反面、針先と電極との接触状態を目で確認すること
ができず、またスプリングピンを千鳥状に配置するだけ
では電極の配置ピッチが小さい場合に対応することがで
きない、という課題を有する。
晶表示パネルの電極を擦るいわゆるスクラッチ作用によ
り針先と電極とが電気的に確実に接触し、また針先と電
極との接触状態を目で確認することができる、という利
点を有する反面、製作煩雑で高価になり、またプローブ
の交換が難しい、という課題を有する。これに対し、ス
プリングピンタイプのものは、製作が容易で廉価であ
り、またプローブの交換が容易になる、という利点を有
する反面、針先と電極との接触状態を目で確認すること
ができず、またスプリングピンを千鳥状に配置するだけ
では電極の配置ピッチが小さい場合に対応することがで
きない、という課題を有する。
【０００４】
【解決しようとする課題】本発明の目的は、容易にかつ
廉価に製作することができ、針先を電極に確実に接触さ
せることができ、プローブの交換を容易にすることにあ
る。
廉価に製作することができ、針先を電極に確実に接触さ
せることができ、プローブの交換を容易にすることにあ
る。
【０００５】
【解決手段、作用、効果】本発明のプローブ組立体は、
ブロックと、帯状の中央領域ならびに該中央領域の先端
および後端からそれぞれさらに前方および後方へ伸びる
第１および第２の針先領域を備える複数のプローブであ
って中央領域の幅方向が上下方向となる状態に中央領域
を対向させてブロックの下側に並列的に配置された複数
のプローブと、プローブの中央領域を貫通して伸びかつ
ブロックに支持された細長い１以上のガイドバーとを含
む。
ブロックと、帯状の中央領域ならびに該中央領域の先端
および後端からそれぞれさらに前方および後方へ伸びる
第１および第２の針先領域を備える複数のプローブであ
って中央領域の幅方向が上下方向となる状態に中央領域
を対向させてブロックの下側に並列的に配置された複数
のプローブと、プローブの中央領域を貫通して伸びかつ
ブロックに支持された細長い１以上のガイドバーとを含
む。
【０００６】各プローブは、ガイドバーが貫通するガイ
ド穴を中央領域に有し、また第１および第２の針先領域
の端部を針先として用いられる。このようなプローブ
は、たとえば、薄い金属板にエッチング加工をすること
により製作することができる。このため、プローブ自体
の製作が容易であり、廉価になる。
ド穴を中央領域に有し、また第１および第２の針先領域
の端部を針先として用いられる。このようなプローブ
は、たとえば、薄い金属板にエッチング加工をすること
により製作することができる。このため、プローブ自体
の製作が容易であり、廉価になる。
【０００７】プローブ組立体は、たとえば、多数のプロ
ーブを液晶表示パネルのような平板状被検査体の電極の
配置パターンに応じたパターンにブロックに並列的に配
置し、ガイドバーをプローブのガイド穴に通し、その後
ガイドバーをブロックに支持させることにより、組み立
てることができる。このため、プローブ組立体の組立が
容易になり、廉価になる。
ーブを液晶表示パネルのような平板状被検査体の電極の
配置パターンに応じたパターンにブロックに並列的に配
置し、ガイドバーをプローブのガイド穴に通し、その後
ガイドバーをブロックに支持させることにより、組み立
てることができる。このため、プローブ組立体の組立が
容易になり、廉価になる。
【０００８】完成したプローブ組立体は、たとえば、こ
れをＴＡＢ(Tape Automated Bonding)テープに、第２の
鉢先領域の先端（針先）がＴＡＢテープに設けられた駆
動用集積回路の電極に接触した状態に組み付けることに
より、検査用ヘッドに組み立てることができる。組み立
てられた検査用ヘッドは、第１の針先領域の針先が被検
査体の電極に対向するように試験装置に組み付けられ
る。
れをＴＡＢ(Tape Automated Bonding)テープに、第２の
鉢先領域の先端（針先）がＴＡＢテープに設けられた駆
動用集積回路の電極に接触した状態に組み付けることに
より、検査用ヘッドに組み立てることができる。組み立
てられた検査用ヘッドは、第１の針先領域の針先が被検
査体の電極に対向するように試験装置に組み付けられ
る。
【０００９】検査時、プローブ組立体は、第１の針先領
域の針先を平板状被検査体の電極にわずかの過剰に押圧
される。これにより、第１の針先領域がオーバードライ
ブにより弧状に反るから、第１の針先領域の針先が被検
査体の電極に対して滑る。このため、各プローブと電極
とは電気的に確実に接触する。
域の針先を平板状被検査体の電極にわずかの過剰に押圧
される。これにより、第１の針先領域がオーバードライ
ブにより弧状に反るから、第１の針先領域の針先が被検
査体の電極に対して滑る。このため、各プローブと電極
とは電気的に確実に接触する。
【００１０】プローブの交換は、たとえば、ガイドバー
を抜き、交換すべきプローブを取り去り、その代わりに
新たなプローブをブロックに配置し、ガイドバーを再度
プローブに指し通し、ガイドバーをブロックに支持させ
ることにより、行うことができる。このため、プローブ
の交換が容易になる。
を抜き、交換すべきプローブを取り去り、その代わりに
新たなプローブをブロックに配置し、ガイドバーを再度
プローブに指し通し、ガイドバーをブロックに支持させ
ることにより、行うことができる。このため、プローブ
の交換が容易になる。
【００１１】本発明によれば、帯状の複数のプローブを
ブロックの下側にプローブの中央領域の幅方向が上下方
向となる状態に中央領域を対向させて並列的に配置し、
ガイドバーをプローブを貫通させてブロックに支持させ
たから、製作が容易で廉価になり、針先が電極に確実に
接触し、プローブの交換が容易になる。
ブロックの下側にプローブの中央領域の幅方向が上下方
向となる状態に中央領域を対向させて並列的に配置し、
ガイドバーをプローブを貫通させてブロックに支持させ
たから、製作が容易で廉価になり、針先が電極に確実に
接触し、プローブの交換が容易になる。
【００１２】さらに、ブロックの先端側および後端側に
それぞれ配置されてガイドバーの長手方向へ伸びる第１
および第２のスリットバーであってプローブの先端側お
よび後端側の部位をそれぞれ受け入れるべく長手方向に
間隔をおいた複数のスリットをそれぞれ有する第１およ
び第２のスリットバーを含むことができる。これによ
り、プローブがスリットバーによりガイドバーの長手方
向における所定の位置に維持されるから、組立作業がよ
り容易になり、より廉価になる。また、組立後において
も、ガイドバーの長手方向へのプローブの変位がプロー
ブの両端部においてスリットバーにより阻止されるか
ら、ガイドバーの長手方向における両針先領域の位置が
安定し、各プローブの針先が所定の電極に確実に接触す
る。
それぞれ配置されてガイドバーの長手方向へ伸びる第１
および第２のスリットバーであってプローブの先端側お
よび後端側の部位をそれぞれ受け入れるべく長手方向に
間隔をおいた複数のスリットをそれぞれ有する第１およ
び第２のスリットバーを含むことができる。これによ
り、プローブがスリットバーによりガイドバーの長手方
向における所定の位置に維持されるから、組立作業がよ
り容易になり、より廉価になる。また、組立後において
も、ガイドバーの長手方向へのプローブの変位がプロー
ブの両端部においてスリットバーにより阻止されるか
ら、ガイドバーの長手方向における両針先領域の位置が
安定し、各プローブの針先が所定の電極に確実に接触す
る。
【００１３】それぞれがガイドバーの長手方向の端部を
受け入れる板状の一対のサイドカバーであってそれぞれ
がブロックの側部に取り外し可能に組み付けられた一対
のサイドカバーを含むことができる。これにより、サイ
ドバーを介してガイドバーをブロックに支持させること
ができる。
受け入れる板状の一対のサイドカバーであってそれぞれ
がブロックの側部に取り外し可能に組み付けられた一対
のサイドカバーを含むことができる。これにより、サイ
ドバーを介してガイドバーをブロックに支持させること
ができる。
【００１４】プローブの中央領域の長手方向に間隔をお
いた部位、好ましくは先端部および後端部を貫通して伸
びる一対のガイドバーを設けることができる。これによ
り、ブロックに対する各プローブの姿勢が安定する。
いた部位、好ましくは先端部および後端部を貫通して伸
びる一対のガイドバーを設けることができる。これによ
り、ブロックに対する各プローブの姿勢が安定する。
【００１５】好ましい実施例においては、第１および第
２の針先領域の針先は、それぞれ、その先端部および後
端部から下方および上方へ突出する。
２の針先領域の針先は、それぞれ、その先端部および後
端部から下方および上方へ突出する。
【００１６】さらに、ガイドバーの長手方向へ伸びる状
態にブロックの後端に組み付けられた長い板状のガイド
部材であって第２の針先領域の針先が貫通する複数の穴
を有するガイド部材を含むことができる。これにより、
第２の針先領域の針先がガイド部材によりガイドバーの
長手方向における所定の位置に維持されるから、第２の
針先領域の針先の位置がより安定する。
態にブロックの後端に組み付けられた長い板状のガイド
部材であって第２の針先領域の針先が貫通する複数の穴
を有するガイド部材を含むことができる。これにより、
第２の針先領域の針先がガイド部材によりガイドバーの
長手方向における所定の位置に維持されるから、第２の
針先領域の針先の位置がより安定する。
【００１７】本発明のプローブは、帯状の中央領域と、
該中央領域の一端に続く第１の針先領域と、中央領域の
他端に続く第２の針先領域と、中央領域に形成されたガ
イド穴とを備える。第１および第２の針先領域の針先
は、中央領域の幅方向の外側におよび互いに反対の側に
突出されている。このため、前記したようにガイドバー
によりブロックに組み付けることにより前記したプロー
ブ組立体を製作することができる。
該中央領域の一端に続く第１の針先領域と、中央領域の
他端に続く第２の針先領域と、中央領域に形成されたガ
イド穴とを備える。第１および第２の針先領域の針先
は、中央領域の幅方向の外側におよび互いに反対の側に
突出されている。このため、前記したようにガイドバー
によりブロックに組み付けることにより前記したプロー
ブ組立体を製作することができる。
【００１８】さらに、中央領域に形成されて中央領域を
その長手方向へ伸びる１以上の長穴を有することができ
る。これにより、複数のプローブを前記したようにブロ
ックに組み付けても、隣り合うプローブ間の静電容量ま
たは浮遊容量が小さくなり、電気信号の漏洩が小さくな
る。
その長手方向へ伸びる１以上の長穴を有することができ
る。これにより、複数のプローブを前記したようにブロ
ックに組み付けても、隣り合うプローブ間の静電容量ま
たは浮遊容量が小さくなり、電気信号の漏洩が小さくな
る。
【００１９】好ましい実施例においては、第１および第
２の針先領域は、それぞれ、中央領域の幅方向における
一方の縁部の側および他方の縁部の側から伸びている。
２の針先領域は、それぞれ、中央領域の幅方向における
一方の縁部の側および他方の縁部の側から伸びている。
【００２０】第１の針先領域は、中央領域の幅寸法より
小さい幅寸法とすることができる。これにより、針先が
被検査体の電極に押圧されたとき、第１の針先領域が弧
状に確実に反り、針先と電極とが確実に接触する。
小さい幅寸法とすることができる。これにより、針先が
被検査体の電極に押圧されたとき、第１の針先領域が弧
状に確実に反り、針先と電極とが確実に接触する。
【００２１】ガイドバーを貫通させるガイド穴を、中央
領域の長手方向に間隔をおいた箇所のそれぞれに、好ま
しくは先端部と後端部とに形成することができる。これ
により、複数のプローブをガイドバーによりブロックに
組み付けた状態において、ブロックに対する各プローブ
の姿勢が安定する。
領域の長手方向に間隔をおいた箇所のそれぞれに、好ま
しくは先端部と後端部とに形成することができる。これ
により、複数のプローブをガイドバーによりブロックに
組み付けた状態において、ブロックに対する各プローブ
の姿勢が安定する。
【００２２】
【発明の実施の形態】図１〜図６を参照するに、プロー
ブ組立体１０は、ブロック１２と、ブロック１２の下側
に並列的に配置された帯状の複数のプローブ１４と、プ
ローブ１４を貫通する細長い一対のガイドバー１６と、
プローブ１４の一部を受け入れる一対のスリットバー１
８と、プローブ１４の後端側に針先の位置を安定化させ
る長尺のガイド部材２０と、ガイドバー１６をブロック
１２に支持させる一対のサイドカバー２２とを含む。
ブ組立体１０は、ブロック１２と、ブロック１２の下側
に並列的に配置された帯状の複数のプローブ１４と、プ
ローブ１４を貫通する細長い一対のガイドバー１６と、
プローブ１４の一部を受け入れる一対のスリットバー１
８と、プローブ１４の後端側に針先の位置を安定化させ
る長尺のガイド部材２０と、ガイドバー１６をブロック
１２に支持させる一対のサイドカバー２２とを含む。
【００２３】なお、本発明においては、ブロック１２の
厚さ方向（図１において上下の方向）を上下方向とい
い、プローブの伸長方向すなわち長手方向（図１におい
て左右方向）を前後方向といい、ガイドバー１６の伸長
方向すなわち長手方向（図１において左上から右下およ
びその逆の方向）を左右方向という。
厚さ方向（図１において上下の方向）を上下方向とい
い、プローブの伸長方向すなわち長手方向（図１におい
て左右方向）を前後方向といい、ガイドバー１６の伸長
方向すなわち長手方向（図１において左上から右下およ
びその逆の方向）を左右方向という。
【００２４】ブロック１２は、ねじ穴２４および一対の
ガイド穴２６を上面の側に有するとともに、一対のガイ
ド穴２８を各側面の側に有する。ブロック１２の下面
は、図４に示すように、複数の段部により階段状に形成
されている。ブロック１２は、電気を通さないいわゆる
非導電性の、金属材料、セラミックまたは合成樹脂から
製作することができる。
ガイド穴２６を上面の側に有するとともに、一対のガイ
ド穴２８を各側面の側に有する。ブロック１２の下面
は、図４に示すように、複数の段部により階段状に形成
されている。ブロック１２は、電気を通さないいわゆる
非導電性の、金属材料、セラミックまたは合成樹脂から
製作することができる。
【００２５】各プローブ１４は、図４〜図６に示すよう
に、帯状の中央領域３０と、該中央領域の前端すなわち
先端および後端からそれぞれからさらに前方および後方
へ伸びる一対の針先領域３２および３４とを備える。中
央領域３０は、ガイドバー１６が貫通するガイド穴３６
を各端部に有するとともに、中央領域３０の長手方向に
間隔をおいた部位を貫通する複数の長穴３８をガイド穴
３６の間の部位に有する。各長穴３８は、中央領域３０
の長手方向へ伸びているとともに、中央領域３０の長手
方向に間隔をおいている。
に、帯状の中央領域３０と、該中央領域の前端すなわち
先端および後端からそれぞれからさらに前方および後方
へ伸びる一対の針先領域３２および３４とを備える。中
央領域３０は、ガイドバー１６が貫通するガイド穴３６
を各端部に有するとともに、中央領域３０の長手方向に
間隔をおいた部位を貫通する複数の長穴３８をガイド穴
３６の間の部位に有する。各長穴３８は、中央領域３０
の長手方向へ伸びているとともに、中央領域３０の長手
方向に間隔をおいている。
【００２６】図示の例では、各ガイド穴３６は、円形で
あるが、ガイドバー１６の断面形状に対応した形状とす
ることができる。また、ガイド穴３６を、中央領域３０
の長手方向に間隔をおいた他の箇所に形成してもよい
し、中央領域３０の長手方向へ伸びる長穴としてもよ
く、この場合長穴３８に続く長い穴としてもよい。
あるが、ガイドバー１６の断面形状に対応した形状とす
ることができる。また、ガイド穴３６を、中央領域３０
の長手方向に間隔をおいた他の箇所に形成してもよい
し、中央領域３０の長手方向へ伸びる長穴としてもよ
く、この場合長穴３８に続く長い穴としてもよい。
【００２７】針先領域３２および３４は、それぞれ、中
央領域３０の幅方向における一方の縁部の側および他方
の縁部の側から前方および後方へ伸びており、また中央
領域３０の幅寸法より小さい幅寸法を有する。針先領域
３２および３４の針先３２ａおよび３４ａは、それぞ
れ、針先領域３２および３４の先端部および後端部から
下方および上方へ突出している。プローブ１４をその厚
さ方向から見たとき、針先３２ａは半円形の形状を有す
るが、針先３４ａは三角形の形状を有する。
央領域３０の幅方向における一方の縁部の側および他方
の縁部の側から前方および後方へ伸びており、また中央
領域３０の幅寸法より小さい幅寸法を有する。針先領域
３２および３４の針先３２ａおよび３４ａは、それぞ
れ、針先領域３２および３４の先端部および後端部から
下方および上方へ突出している。プローブ１４をその厚
さ方向から見たとき、針先３２ａは半円形の形状を有す
るが、針先３４ａは三角形の形状を有する。
【００２８】プローブ１４は、導電性の薄い金属板にエ
ッチング加工をしてプローブを作成し、次いでポリイミ
ド材のような電気絶縁性材料によるコーティングをプロ
ーブの針先となる部分を除いて形成することにより、製
作することができる。
ッチング加工をしてプローブを作成し、次いでポリイミ
ド材のような電気絶縁性材料によるコーティングをプロ
ーブの針先となる部分を除いて形成することにより、製
作することができる。
【００２９】プローブ１４は、中央領域３０の幅方向が
上下方向となる状態に、中央領域３０、ガイド穴３６お
よび長穴３８を対向させて、ブロック１２の下側に並列
的に配置されている。
上下方向となる状態に、中央領域３０、ガイド穴３６お
よび長穴３８を対向させて、ブロック１２の下側に並列
的に配置されている。
【００３０】各ガイドバー１６は、図示の例では、円形
の断面形状を有しており、また非導電性の金属材料によ
り形成されている。各ガイドバー１６は、プローブ１４
のガイド穴３６に押し込まれ、各端部がサイドカバー２
２を貫通することにより、両サイドカバー２２によりブ
ロック１２に組み付けられる。
の断面形状を有しており、また非導電性の金属材料によ
り形成されている。各ガイドバー１６は、プローブ１４
のガイド穴３６に押し込まれ、各端部がサイドカバー２
２を貫通することにより、両サイドカバー２２によりブ
ロック１２に組み付けられる。
【００３１】各スリットバー１８には、複数のスリット
４０が長手方向に所定のピッチで形成されている。各ス
リット４０は、プローブ１４の厚さ寸法とほぼ同じ幅寸
法を有しており、またスリットバー１８の幅方向全体に
わたって伸びている。スリットバー１８はセラミックの
ような非導電性材料から製作することができる。また、
各スリット４０は、スリットバー１８をブロック１２に
装着する前または装着した後に、形成することができ
る。
４０が長手方向に所定のピッチで形成されている。各ス
リット４０は、プローブ１４の厚さ寸法とほぼ同じ幅寸
法を有しており、またスリットバー１８の幅方向全体に
わたって伸びている。スリットバー１８はセラミックの
ような非導電性材料から製作することができる。また、
各スリット４０は、スリットバー１８をブロック１２に
装着する前または装着した後に、形成することができ
る。
【００３２】一方のスリットバー１８は、これがプロー
ブ１４の配列方向へ伸びてスリット４０が下方に向く状
態にブロック１２の前端下面に接着される。他方のスリ
ットバー１８は、これがプローブ１４の配列方向へ伸び
てスリット４０が下方に向く状態にブロック１２の後端
下面に接着される。しかし、各スリットバー１８をブロ
ック１２に、１以上のねじ部材によりまたは嵌合により
取り付けてもよい。
ブ１４の配列方向へ伸びてスリット４０が下方に向く状
態にブロック１２の前端下面に接着される。他方のスリ
ットバー１８は、これがプローブ１４の配列方向へ伸び
てスリット４０が下方に向く状態にブロック１２の後端
下面に接着される。しかし、各スリットバー１８をブロ
ック１２に、１以上のねじ部材によりまたは嵌合により
取り付けてもよい。
【００３３】各プローブ１４は、針先３２ａが一方のス
リットバー１８から前方および下方へ突出するように、
針先領域３２を一方のスリットバー１８のスリット４０
に受け入れられており、また針先３４ａが他方のスリッ
トバー１８から後方および上方へ突出するように、中央
領域３０と針先領域３４との境界近傍を他方のスリット
バー１８のスリット４０に受け入れられている。
リットバー１８から前方および下方へ突出するように、
針先領域３２を一方のスリットバー１８のスリット４０
に受け入れられており、また針先３４ａが他方のスリッ
トバー１８から後方および上方へ突出するように、中央
領域３０と針先領域３４との境界近傍を他方のスリット
バー１８のスリット４０に受け入れられている。
【００３４】ガイド部材２０は、Ｌ字型の断面形状を有
しており、またガイド部材２０の長手方向に間隔をおい
た複数の貫通穴４２（図６参照）をＬ字の一方の辺部分
に有する。ガイド部材２０はポリイミド材のような非導
電性のフィルムから製作することができ、また穴４２は
エッチング加工により形成することができる。
しており、またガイド部材２０の長手方向に間隔をおい
た複数の貫通穴４２（図６参照）をＬ字の一方の辺部分
に有する。ガイド部材２０はポリイミド材のような非導
電性のフィルムから製作することができ、また穴４２は
エッチング加工により形成することができる。
【００３５】ガイド部材２０は、各針先３４ａが穴４２
を貫通するように、Ｌ字の他方の辺部分おいてプローブ
１４の配列方向へ伸びる状態に複数のねじ部材４４によ
りブロック１２の後端面下部に取り外し可能に取り付け
られている。しかし、ガイド部材２０をブロック１２
に、嵌合によりまたは接着により取り付けてもよい。
を貫通するように、Ｌ字の他方の辺部分おいてプローブ
１４の配列方向へ伸びる状態に複数のねじ部材４４によ
りブロック１２の後端面下部に取り外し可能に取り付け
られている。しかし、ガイド部材２０をブロック１２
に、嵌合によりまたは接着により取り付けてもよい。
【００３６】各サイドカバー２２は、ブロック１２の側
面と対応した形状の板部材から形成されており、また一
対のガイドピン４６と複数のねじ部材４８とによりブロ
ック１２の側面に取り外し可能に取り付けられている。
各ガイドピン４６は、ブロック１２に形成されたガイド
穴２８に脱出不能に嵌合されており、端部をサイドカバ
ー２２形成されたガイド穴に嵌合される。しかし、ガイ
ドピン４６をサイドカバー２２に固定してもよい。サイ
ドカバー２２は、両ガイドバー１６の端部を受け入れる
貫通穴を有する。
面と対応した形状の板部材から形成されており、また一
対のガイドピン４６と複数のねじ部材４８とによりブロ
ック１２の側面に取り外し可能に取り付けられている。
各ガイドピン４６は、ブロック１２に形成されたガイド
穴２８に脱出不能に嵌合されており、端部をサイドカバ
ー２２形成されたガイド穴に嵌合される。しかし、ガイ
ドピン４６をサイドカバー２２に固定してもよい。サイ
ドカバー２２は、両ガイドバー１６の端部を受け入れる
貫通穴を有する。
【００３７】図においては、隣り合うプローブ１４が大
きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプ
ローブ１４の配列ピッチは小さい。プローブ１４の厚さ
寸法および配列ピッチ、ならびに、スリット４０の配置
ピッチおよび幅寸法は、被検査体の種類、特に電極の配
置ピッチと幅寸法により異なる。
きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプ
ローブ１４の配列ピッチは小さい。プローブ１４の厚さ
寸法および配列ピッチ、ならびに、スリット４０の配置
ピッチおよび幅寸法は、被検査体の種類、特に電極の配
置ピッチと幅寸法により異なる。
【００３８】たとえば、被検査体の電極の配置ピッチお
よび幅寸法がそれぞれ５５μｍおよび４０μｍである場
合、プローブ１４およびスリット４０の配置ピッチを５
５μｍ、スリット４０の幅寸法を３５μｍ、プローブ１
４用の薄い金属板素材の厚さ寸法を３０μｍとすること
ができる。
よび幅寸法がそれぞれ５５μｍおよび４０μｍである場
合、プローブ１４およびスリット４０の配置ピッチを５
５μｍ、スリット４０の幅寸法を３５μｍ、プローブ１
４用の薄い金属板素材の厚さ寸法を３０μｍとすること
ができる。
【００３９】プローブ組立体１０は、先ず、両スリット
バー１８とガイド部材２０とを上記した状態にブロック
１２に取り付けた状態で、各プローブ１４の両端部をス
リットバー１８のスリット４０に挿し込むとともに針先
３４ａをガイド部材２０の穴４０に通し、次いでガイド
バー１６をプローブ１４のガイド穴３６に挿し通し、次
いでガイドピン４６をサイドカバー２２とブロック１２
とに挿し通すとともにガイドバー１６の端部をサイドカ
バー２２に挿し通し、その後サイドカバー２２をねじ部
材４８でブロック１２に取り付けることにより、組み立
てることができる。これにより、プローブ１４およびガ
イドバー１６は、サイドカバー２２を介してブロック１
２に支持される。
バー１８とガイド部材２０とを上記した状態にブロック
１２に取り付けた状態で、各プローブ１４の両端部をス
リットバー１８のスリット４０に挿し込むとともに針先
３４ａをガイド部材２０の穴４０に通し、次いでガイド
バー１６をプローブ１４のガイド穴３６に挿し通し、次
いでガイドピン４６をサイドカバー２２とブロック１２
とに挿し通すとともにガイドバー１６の端部をサイドカ
バー２２に挿し通し、その後サイドカバー２２をねじ部
材４８でブロック１２に取り付けることにより、組み立
てることができる。これにより、プローブ１４およびガ
イドバー１６は、サイドカバー２２を介してブロック１
２に支持される。
【００４０】上記のように組み立てた状態において、プ
ローブ１４は液晶表示パネルのような平板状被検査体の
電極の配置パターンに応じたパターンにブロック１２の
下側に並列的に配置され、針先３２ａはスリットバー１
８から前方および下方へ突出し、針先３４ａはスリット
バー１８から後方および上方へ突出してガイド部材２０
から上方へ突出しており、針先領域３２のスリット４０
の底面との間に空間が形成されている。
ローブ１４は液晶表示パネルのような平板状被検査体の
電極の配置パターンに応じたパターンにブロック１２の
下側に並列的に配置され、針先３２ａはスリットバー１
８から前方および下方へ突出し、針先３４ａはスリット
バー１８から後方および上方へ突出してガイド部材２０
から上方へ突出しており、針先領域３２のスリット４０
の底面との間に空間が形成されている。
【００４１】検査用ヘッド５０に組み付けるとき、プロ
ーブ組立体１０は、図５および図６に示すように、針先
３４ａがＴＡＢテープ５２に設けられた駆動用集積回路
５４の電極に接触し、かつ、針先３４ａが駆動用集積回
路５４の電極にわずかに過剰に押圧された状態に、検査
用ヘッド５０の取付体５６に組み付けられる。これによ
り、各プローブ１４は針先領域３４の幅寸法が中央領域
３０のそれより小さいから弧状に反り、各針先３４ａは
電極に確実に接触する。駆動用集積回路５４は、可撓性
の配線基板５８に形成された配線に接続されている。
ーブ組立体１０は、図５および図６に示すように、針先
３４ａがＴＡＢテープ５２に設けられた駆動用集積回路
５４の電極に接触し、かつ、針先３４ａが駆動用集積回
路５４の電極にわずかに過剰に押圧された状態に、検査
用ヘッド５０の取付体５６に組み付けられる。これによ
り、各プローブ１４は針先領域３４の幅寸法が中央領域
３０のそれより小さいから弧状に反り、各針先３４ａは
電極に確実に接触する。駆動用集積回路５４は、可撓性
の配線基板５８に形成された配線に接続されている。
【００４２】ガイド部材２０の貫通穴４０に対応する微
小な複数のガイド穴６２を有するガイドフィルム６０を
駆動用集積回路５４の電極の下面に貼着することが好ま
しい。これにより、針先３４ａが駆動用集積回路５４の
電極に押圧されたときに針先３４ａが電極に対して滑る
ことに起因する針先３４ａと電極との接触位置ずれがガ
イド穴６２により防止される。
小な複数のガイド穴６２を有するガイドフィルム６０を
駆動用集積回路５４の電極の下面に貼着することが好ま
しい。これにより、針先３４ａが駆動用集積回路５４の
電極に押圧されたときに針先３４ａが電極に対して滑る
ことに起因する針先３４ａと電極との接触位置ずれがガ
イド穴６２により防止される。
【００４３】プローブ組立体１０を取付体５６に組み付
けるとき、プローブ組立体１０は、図１に示すガイド穴
２６に差し込まれるガイドピンにより取付体５６に対す
る位置決めをされ、またねじ穴２４に螺合されるねじ部
材により取付体５６に取り外し可能に組み付けられる。
プローブ組立体１０を取付体５６に組み付けるとき、上
下方向における針先３４ａの位置に多少のずれがある
と、そのようなずれは、プローブ１４がガイドバー１６
に対し、針先領域３４側のガイドバー１６とガイド穴３
６との間のわずかな間隙の間内で変位することにより吸
収される。
けるとき、プローブ組立体１０は、図１に示すガイド穴
２６に差し込まれるガイドピンにより取付体５６に対す
る位置決めをされ、またねじ穴２４に螺合されるねじ部
材により取付体５６に取り外し可能に組み付けられる。
プローブ組立体１０を取付体５６に組み付けるとき、上
下方向における針先３４ａの位置に多少のずれがある
と、そのようなずれは、プローブ１４がガイドバー１６
に対し、針先領域３４側のガイドバー１６とガイド穴３
６との間のわずかな間隙の間内で変位することにより吸
収される。
【００４４】完成した検査用ヘッド５０は、針先３２ａ
が被検査体７０（図６参照）の電極に対向するように図
示しない試験装置に組み付けられる。検査時、プローブ
組立体１０は、針先３２ａを被検査体７０の電極にわず
かに過剰に押圧される。このとき、上下方向における針
先３２ａ相互間の位置に多少のずれがあると、そのよう
なずれは、プローブ１４がガイドバー１６に対し、針先
領域３２側のガイドバー１６とガイド穴３６との間のわ
ずかな間隙の間内で変位することにより吸収される。
が被検査体７０（図６参照）の電極に対向するように図
示しない試験装置に組み付けられる。検査時、プローブ
組立体１０は、針先３２ａを被検査体７０の電極にわず
かに過剰に押圧される。このとき、上下方向における針
先３２ａ相互間の位置に多少のずれがあると、そのよう
なずれは、プローブ１４がガイドバー１６に対し、針先
領域３２側のガイドバー１６とガイド穴３６との間のわ
ずかな間隙の間内で変位することにより吸収される。
【００４５】針先３２ａを被検査体７０の電極にわずか
に過剰に押圧されると、針先領域３２の上方に空間を有
することとあいまって、針先領域３２が図６に示すよう
に弧状に反るから、針先３２ａが被検査体の電極に対し
てわずかに滑る。そのような擦り作用により、針先３２
ａは、電極表面の酸化膜を掻き取るか、または電極内に
わずかに食い込む。このため、各プローブと電極とは電
気的に確実に接触する。プローブの反り量および滑り量
を図６にそれぞれＬ1 およびＬ2 で示す。
に過剰に押圧されると、針先領域３２の上方に空間を有
することとあいまって、針先領域３２が図６に示すよう
に弧状に反るから、針先３２ａが被検査体の電極に対し
てわずかに滑る。そのような擦り作用により、針先３２
ａは、電極表面の酸化膜を掻き取るか、または電極内に
わずかに食い込む。このため、各プローブと電極とは電
気的に確実に接触する。プローブの反り量および滑り量
を図６にそれぞれＬ1 およびＬ2 で示す。
【００４６】針先領域３２が図６に示すように弧状に反
ったとき、針先３２ａが半円形の形状を有すると、被検
査体の電極への針先３２ａ当接部位が変位するから、電
極に対する針先３２ａの滑り量Ｌ2 が小さくなり、電極
の削り屑が少なくなる。しかし、針先３２ａを、三角
形、平坦面等、他の形状に形成してもよい。
ったとき、針先３２ａが半円形の形状を有すると、被検
査体の電極への針先３２ａ当接部位が変位するから、電
極に対する針先３２ａの滑り量Ｌ2 が小さくなり、電極
の削り屑が少なくなる。しかし、針先３２ａを、三角
形、平坦面等、他の形状に形成してもよい。
【００４７】検査時、プローブ１４は、被検査体７０へ
の通電用として用いられるか、被検査体７０からの電気
信号の取出し用として用いられる。いずれの場合も、隣
り合うプローブ間の静電容量または浮遊容量が長穴３８
により小さく押えられ、プローブ１４からの電気信号の
漏洩が小さくなる。
の通電用として用いられるか、被検査体７０からの電気
信号の取出し用として用いられる。いずれの場合も、隣
り合うプローブ間の静電容量または浮遊容量が長穴３８
により小さく押えられ、プローブ１４からの電気信号の
漏洩が小さくなる。
【００４８】プローブ１４の交換は、プローブ組立体１
０を取付体５６から外し、サイドカバー２２をブロック
１２から外し、ガイドバー１６を抜き、交換すべきプロ
ーブを取り去り、その代わりに新たなプローブをブロッ
ク１２に配置し、その後既に述べた手法で、プローブ組
立体１０を組み立て、そのプローブ組立体１０を取付体
５６に取り付ければよい。このため、プローブの交換が
容易になる。
０を取付体５６から外し、サイドカバー２２をブロック
１２から外し、ガイドバー１６を抜き、交換すべきプロ
ーブを取り去り、その代わりに新たなプローブをブロッ
ク１２に配置し、その後既に述べた手法で、プローブ組
立体１０を組み立て、そのプローブ組立体１０を取付体
５６に取り付ければよい。このため、プローブの交換が
容易になる。
【００４９】プローブ組立体１０によれば、プローブ組
立体１０およびその部品の製作が従来のプローブ組立体
に比べ著しく容易であるから、プローブ組立体１０が廉
価になり、また針先３２ａが被検査体の電極に確実に接
触し、さらにプローブ１４の交換が従来のプローブ組立
体に比べ著しく容易になる。
立体１０およびその部品の製作が従来のプローブ組立体
に比べ著しく容易であるから、プローブ組立体１０が廉
価になり、また針先３２ａが被検査体の電極に確実に接
触し、さらにプローブ１４の交換が従来のプローブ組立
体に比べ著しく容易になる。
【００５０】プローブ組立体１０の組立時、プローブ１
４がスリットバー１８によりガイドバー１６の長手方向
における所定の位置に維持されるから、組立作業が容易
になり、廉価になる。また、組立後においても、ガイド
バー１６の長手方向へのプローブ１２の変位がプローブ
１４の両端部においてスリットバー１８により阻止され
るから、ガイドバー１６の長手方向における針先領域３
２，３４の位置が安定し、各プローブ１２の針先３２
ａ，３４ａが所定の電極に確実に接触する。しかし、ス
リットバー１８を設けなくてもよい。
４がスリットバー１８によりガイドバー１６の長手方向
における所定の位置に維持されるから、組立作業が容易
になり、廉価になる。また、組立後においても、ガイド
バー１６の長手方向へのプローブ１２の変位がプローブ
１４の両端部においてスリットバー１８により阻止され
るから、ガイドバー１６の長手方向における針先領域３
２，３４の位置が安定し、各プローブ１２の針先３２
ａ，３４ａが所定の電極に確実に接触する。しかし、ス
リットバー１８を設けなくてもよい。
【００５１】上記実施例のように、プローブ１４の中央
領域３０の長手方向に間隔をおいた部位、好ましくは先
端部および後端部を貫通して伸びる一対のガイドバー１
６を設けるならば、ブロック１２に対する各プローブ１
２の姿勢が安定する。しかし、１つのガイドバー１６を
用いてもよい。
領域３０の長手方向に間隔をおいた部位、好ましくは先
端部および後端部を貫通して伸びる一対のガイドバー１
６を設けるならば、ブロック１２に対する各プローブ１
２の姿勢が安定する。しかし、１つのガイドバー１６を
用いてもよい。
【００５２】第２の針先領域の針先が貫通する複数の穴
を有するガイド部材２０を備えるならば、針先３４ａが
ガイド部材２０によりガイドバー１６の長手方向におけ
る所定の位置に維持されるから、針先３４ａの位置がよ
り安定する。しかし、ガイド部材２０を備えなくてもよ
い。
を有するガイド部材２０を備えるならば、針先３４ａが
ガイド部材２０によりガイドバー１６の長手方向におけ
る所定の位置に維持されるから、針先３４ａの位置がよ
り安定する。しかし、ガイド部材２０を備えなくてもよ
い。
【００５３】本発明は、液晶表示パネルの検査に用いる
プローブおよびプローブ組立体のみならず、集積回路の
ような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブおよ
びプローブ組立体にも適用することができる。
プローブおよびプローブ組立体のみならず、集積回路の
ような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブおよ
びプローブ組立体にも適用することができる。
【図１】本発明のプローブ組立体の一実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図２】図１に示すプローブ組立体の平面図である。
【図３】図２の左側面図である。
【図４】図２における４−４線に沿って得た断面図であ
る。
る。
【図５】図１に示すプローブ組立体を検査用ヘッドの取
付体に取り付けた状態の一実施例を示す図である。
付体に取り付けた状態の一実施例を示す図である。
【図６】プローブの一実施例を示す拡大図である。
１０ プローブ組立体 １２ ブロック １４ プローブ １６ ガイドバー １８ スリットバー ２０ ガイド部材 ２２ サイドカバー ２８ ガイドピン ３０ 中央領域 ３２，３４ 針先領域 ３６ ガイド穴 ３８ 長穴 ４０ スリット
Claims (12)
- 【請求項１】 ブロックと、帯状の中央領域ならびに該
中央領域の先端および後端からそれぞれさらに前方およ
び後方へ伸びる第１および第２の針先領域を備える複数
のプローブであって前記中央領域の幅方向が上下方向と
なる状態に前記ブロックの下側に前記中央領域を対向さ
せて並列的に配置された複数のプローブと、前記プロー
ブの中央領域を貫通して伸びかつ前記ブロックに支持さ
れた細長い１以上のガイドバーとを含む、プローブ組立
体。 - 【請求項２】 さらに、前記ブロックの先端側および後
端側にそれぞれ配置されて前記ガイドバーの長手方向へ
伸びる第１および第２のスリットバーであって前記プロ
ーブの先端側および後端側の部位をそれぞれ受け入れる
べく長手方向に間隔をおいた複数のスリットをそれぞれ
有する第１および第２のスリットバーを含む、請求項１
に記載のプローブ組立体。 - 【請求項３】 前記ガイドバーの長手方向の端部を受け
入れる板状の一対のサイドカバーであって前記ブロック
の側部に取り外し可能に組み付けられた一対のサイドカ
バーを含む、請求項１または２に記載のプローブ組立
体。 - 【請求項４】 一対の前記ガイドバーが設けられてお
り、両ガイドバーは前記中央領域の長手方向に間隔をお
いた部位を貫通して伸びる、請求項１，２または３に記
載のプローブ組立体。 - 【請求項５】 前記第１および第２の針先領域は、それ
ぞれ、その先端部および後端部から下方および上方へ突
出する針先を有する、請求項２に記載のプローブ組立
体。 - 【請求項６】 さらに、前記ブロックの後端に前記ガイ
ドバーの長手方向へ伸びる状態に組み付けられた長い板
状のガイド部材であって前記第２の針先領域の針先が貫
通する複数の穴を有するガイド部材を含む、請求項５に
記載のプローブ組立体。 - 【請求項７】 帯状の中央領域と、該中央領域の一端に
続く第１の針先領域と、前記中央領域の他端に続く第２
の針先領域と、前記中央領域に形成されたガイド穴とを
備え、前記第１および第２の針先領域の針先は、前記中
央領域の幅方向の外側におよび互いに反対の側に突出さ
れている、プローブ。 - 【請求項８】 さらに、前記中央領域に形成されて前記
中央領域をその長手方向へ伸びる１以上の長穴を有す
る、請求項７に記載のプローブ。 - 【請求項９】 前記第１および第２の針先領域は、それ
ぞれ、前記中央領域の幅方向における一方の縁部の側お
よび他方の縁部の側から伸びている、請求項７または８
に記載のプローブ。 - 【請求項１０】 前記第１の針先領域は、前記中央領域
の幅寸法より小さい幅寸法を有する、請求項７，８また
は９に記載のプローブ。 - 【請求項１１】 前記中央領域の長手方向に間隔をおい
た箇所のそれぞれに前記ガイド穴が形成されている、請
求項７〜１０のいずれか１項に記載のプローブ。 - 【請求項１２】 前記ガイド穴は、前記中央領域の先端
部と後端部とに形成されている、請求項１１に記載のプ
ローブ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30083596A JP3750831B2 (ja) | 1996-10-28 | 1996-10-28 | プローブ組立体 |
| KR1019970034959A KR100252566B1 (ko) | 1996-10-28 | 1997-07-25 | 프로브조립체및프로브 |
| TW087105403A TW392073B (en) | 1996-10-28 | 1998-04-10 | Probe assembly and probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30083596A JP3750831B2 (ja) | 1996-10-28 | 1996-10-28 | プローブ組立体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10132853A true JPH10132853A (ja) | 1998-05-22 |
| JP3750831B2 JP3750831B2 (ja) | 2006-03-01 |
Family
ID=17889693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30083596A Expired - Lifetime JP3750831B2 (ja) | 1996-10-28 | 1996-10-28 | プローブ組立体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3750831B2 (ja) |
| KR (1) | KR100252566B1 (ja) |
| TW (1) | TW392073B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2001050858A (ja) * | 1999-08-04 | 2001-02-23 | Micronics Japan Co Ltd | 表示用パネル基板の検査装置 |
| JP2005274488A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体 |
| JP2006145514A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-06-08 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体 |
| KR100610889B1 (ko) | 2005-10-10 | 2006-08-08 | (주)엠씨티코리아 | 초미세 피치를 갖는 평판형 디스플레이장치 검사용프로브유니트 |
| KR100692179B1 (ko) * | 2006-05-01 | 2007-03-12 | 주식회사 코디에스 | 평판디스플레이 검사를 위한 프로브 조립체 |
| JP2007303834A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体 |
| JP2007303969A (ja) * | 2006-05-11 | 2007-11-22 | Micronics Japan Co Ltd | プローブおよびプローブ組立体 |
| JP2008256410A (ja) * | 2007-04-02 | 2008-10-23 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体 |
| JP2008286601A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Micronics Japan Co Ltd | プローブ組立体及び検査装置 |
| US7789707B2 (en) | 2006-03-03 | 2010-09-07 | Nhk Spring Co., Ltd. | Conductive contact unit |
| JP2010256255A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Kiyota Seisakusho:Kk | 積層型プローブ |
| US7955122B2 (en) | 2006-03-03 | 2011-06-07 | Nhk Spring Co., Ltd. | Conductive contact unit |
| JP2011203275A (ja) * | 2011-07-05 | 2011-10-13 | Micronics Japan Co Ltd | プローブおよびプローブ組立体 |
| JP2019219341A (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ組立体 |
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