JPH10133093A - 反射鏡保持装置 - Google Patents

反射鏡保持装置

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JPH10133093A
JPH10133093A JP30246296A JP30246296A JPH10133093A JP H10133093 A JPH10133093 A JP H10133093A JP 30246296 A JP30246296 A JP 30246296A JP 30246296 A JP30246296 A JP 30246296A JP H10133093 A JPH10133093 A JP H10133093A
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JP
Japan
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substrate
reflector
reflecting mirror
base
reflecting
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP30246296A
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English (en)
Inventor
Makoto Taniguchi
谷口  誠
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Canon Inc
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Canon Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 環境変化があっても反射面の変形が少ない反
射鏡保持装置を得ること。 【解決手段】 反射鏡を接着部材で接着又は融着して基
板に固定保持する際、該反射鏡と基板の材質を同じに
し、かつ該反射鏡の中心厚と該基板の厚さを略同じくし
たこと。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、反射鏡保持装置に
関し、特に反射鏡を接着部材で基板に接着又は融着して
固定して筐体(レンズ鏡筒)内に収納した反射光学系や
天体望遠鏡や反射屈折光学系等の光学系(以下「反射光
学系」と称する。)に使用する際に好適なものである。
【0002】
【従来の技術】従来より反射光学系は凹面や凸面そして
放物面等の反射鏡を基板に機械的に固定または接着剤で
固定した反射鏡装置を複数個筐体内に収納して構成され
ている。一般に複数の反射鏡装置を用いた反射光学系は
大口径で長焦点距離が比較的容易に得られるといった特
徴がある。これらの反射光学系を構成する反射鏡装置は
各々保持部で保持されて鏡筒内に収納されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】一般に反射光学系は長
焦点距離で大口径でしかも大型であることが多い為に組
立が難しく、又組立精度が大変厳しい。この為、反射光
学系を構成する各要素には周囲の温度、湿度等の環境変
化に影響されずに又、経時変化が少なく、更に運搬等の
際の振動や衝撃等に十分耐え得る程度の機構が要求され
ている。
【0004】例えば環境温度が変化すると反射鏡の線膨
張係数や基板の線膨張係数そして反射鏡を基板に接着す
る接着剤の縦弾性係数等の違いにより、反射面の形状が
変化して光学性能が低下してくるという問題点が生じて
くる。
【0005】本発明は、反射鏡の材質や中心厚、該反射
鏡を固定保持する基板の材質そして反射鏡を基板に接着
又は融着するときの接着部材の材質等を適切に設定する
ことにより環境変化があっても反射面の形状変化が少な
い、高精度な反射光学系に好適な反射鏡保持装置の提供
を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の反射鏡保持装置
は、(1−1)反射鏡を接着部材で接着又は融着して基
板に固定保持する際、該反射鏡と基板の材質を同じに
し、かつ該反射鏡の中心厚と該基板の厚さを略同じくし
たことを特徴としている。
【0007】(1−2)反射鏡を接着部材で接着又は融
着して基板に固定保持する際、該接着部材として該反射
鏡の縦弾性係数の1/1000以下の縦弾性係数の接着
剤を用いていることを特徴としている。
【0008】(1−3)反射鏡を接着部材で接着又は融
着して基板に固定保持する際、該反射鏡の線膨張係数と
該基板の線膨張係数との差が1×10-7以下となるよう
にしていることを特徴としている。
【0009】(1−4)反射鏡を接着部材で接着又は融
着して基板に固定保持する際、該接着部材として該反射
鏡の縦弾性係数の1/1000以下の縦弾性係数の接着
剤を用いると共に該反射鏡の線膨張係数と該基板の線膨
張係数との差が1×10-7以下となるようにしているこ
とを特徴としている。
【0010】(1−5)反射鏡を接着部材で接着又は融
着して基板に固定保持する際、該反射鏡と該基板の縦弾
性係数を各々E1 ,E2 、該反射鏡の中心厚をt1 、該
基板の厚さをt2 としたとき(E2 /E11/3 ×t2
≦t1なる条件を満足することを特徴としている。
【0011】
【発明の実施の形態】図1は本発明の実施形態1の要部
斜視図である。同図において1は反射鏡、1aは反射鏡
1の反射面であり、凹面や凸面、そして非球面等から成
っている。2は基板であり、反射鏡1を保持している。
3は接着部材であり、反射鏡1を基板2に接着又は融着
して固定している。4は基板支持部材であり、基板2を
支持して筐体(不図示)の一部に固定保持している。
【0012】本実施形態において反射鏡1及び基板2は
同一の材質より構成している。接着部材3の線膨張係数
は反射鏡1及び基板2の線膨張係数とは異なっている。
本実施形態では反射鏡1及び基板2の線膨張係数は5×
10-8[/K]であり、接着部材3の線膨張係数は約3
×10-4[/K]である。又接着部材3の縦弾性係数は
反射鏡1及び基板2の縦弾性係数に比較して1/100
0以下と非常に小さい。
【0013】本実施形態では反射鏡1及び基板2の縦弾
性係数は約9200[kgf/mm2 ]であり、接着部
材3の縦弾性係数は約1[kgf/mm2 ]である。本
実施形態では環境変化のうち、例えば温度変化により反
射鏡1,基板2,接着部材3が変形した場合、反射鏡1
と基板2は同様な変形を生じ、接着部材3は反射鏡1及
び基板2より大きな変形を生じる。しかしながら、接着
部材は縦弾性係数が反射鏡1及び基板2に比較して非常
に小さい為、反射鏡1及び基板2に対して及ぼす力は小
さく、反射鏡1の反射面1aの面変化への影響は少な
い。
【0014】本実施形態ではこのような構成にすること
により温度変化が生じる環境下でも高精度の反射面を維
持している。尚反射鏡1及び基板2の材料としては、特
に温度変化に対し、高精度を維持する必要がある場合、
インバー合金等の低膨張金属材料や低膨張ガラス、ガラ
スセラミックス、セラミックス等が好適である。より高
い精度が必要な場合は、接着部材3の縦弾性係数のより
小さな接着剤を選択するのが良い。
【0015】又本実施形態では反射鏡1の中心厚と基板
2の厚さが略同じ(10%以内の差)厚さとなるように
している。これにより反射面と基板との接合面の接着部
材又は融着部の線膨張係数が該反射鏡及び該基板の線膨
張係数と違っている場合でも、温度変化が生じたときに
該反射鏡と該基板との間において生じる力の差がないよ
うにして反射面に面変化が生じ難く、反射面を高精度に
保つようにしている。
【0016】次に本発明の他の実施形態について説明す
る。反射鏡保持装置の外観は図1に示すものと同じであ
る。
【0017】(A1)本実施形態においては反射鏡1と
基板2に略同等の線膨張係数を持つ材質を使用してい
る。例えば反射鏡の線膨張係数と基板の線膨張係数との
差が1×10-7以下となるようにしている。具体的には
反射鏡1の線膨張係数は5×10-8[/K]であり、基
板2の線膨張係数は4.8×10-8[−K]であり、接
着部材3の線膨張係数は約3×10-4[/K]である。
【0018】上記構成において、該反射鏡と該基板とは
線膨張係数の差が小さい為、温度変化が生じたときに該
反射鏡と該基板の変形量の差が小さく、該反射鏡と該基
板との間において生じる力が小さくなり、これによって
反射面に面変化が生じ難く、反射面を高精度に保ってい
る。
【0019】(A2)又接着部材3の縦弾性係数が反射
鏡1及び基板2の縦弾性係数に比較して非常に小さいも
のを用いている。例えば接着部材3として反射鏡1の縦
弾性係数の1/1000以下の縦弾性係数の接着剤を用
いている。具体的には反射鏡1の縦弾性係数は約920
0[kgf/mm2 ]であり、基板2の縦弾性係数は約
6900[kgf/mm2 ]であり、接着部材3の縦弾
性係数は約1[kgf/mm2 ]である。
【0020】上記構成において、温度変化が生じたとき
に、該反射鏡及び該基板と該接着部材との線膨張係数の
違いにより生じる力が小さくなり、これによって反射面
に面変化が生じ難く、反射面を高精度に保っている。
【0021】特に接着部材の縦弾性係数が小さい為、接
着層において該反射鏡と該基板の間で発生する力が緩和
され、これによって反射面に面変化が生じ難く、反射面
を高精度に保っている。
【0022】(A3)本発明においては反射鏡1の反射
面の変形を小さく抑える為、反射鏡1の剛性を基板2の
剛性と同等或いは大きくしている。本実施形態において
反射鏡1の縦弾性係数をE1 ,厚さ(中心厚さ)をt
1 ,基板2の縦弾性係数をE2,厚さをt2 とすると、
接着面に関する曲げ剛性は反射鏡1でE1 ×t1 3であ
り、基板2でE2 ×t2 3である。本実施形態では反射鏡
1の厚さt1 が t2 ×(E2 /E11/3 ≦t1 となるようにしている。
【0023】上記構成において該反射鏡と該基板とは線
膨張係数の差が小さい為、温度変化が生じたときに該反
射鏡と該基板の変形量の差が小さくなる。又該反射鏡の
接着面に関する曲げ剛性が該基板の接着面に関する曲げ
剛性に比較して同等又はそれ以上となり、これによって
反射面に面変化が生じ難く、反射面を高精度に保ってい
る。
【0024】(A4)本実施形態において、より高精度
を維持する為には、反射鏡1と基板2の線膨張係数の差
が少なくなるように材料を選択し、反射鏡1に縦弾性係
数の大きな材料を用いるようにし、接着部材3を縦弾性
係数のより小さいものを用いるのが良い。
【0025】
【発明の効果】本発明によれば以上のように、反射鏡の
材質や中心厚、該反射鏡を固定保持する基板の材質そし
て反射鏡を基板に接着又は融着するときの接着部材の材
質等を適切に設定することにより環境変化があっても反
射面の形状変化が少ない、高精度な反射光学系に好適な
反射鏡保持装置を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1の要部斜視図
【符号の説明】
1 反射鏡 1a 反射面 2 基板 3 接着部材 4 基板支持部材

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 反射鏡を接着部材で接着又は融着して基
    板に固定保持する際、該反射鏡と基板の材質を同じに
    し、かつ該反射鏡の中心厚と該基板の厚さを略同じくし
    たことを特徴とする反射鏡保持装置。
  2. 【請求項2】 反射鏡を接着部材で接着又は融着して基
    板に固定保持する際、該接着部材として該反射鏡の縦弾
    性係数の1/1000以下の縦弾性係数の接着剤を用い
    ていることを特徴とする反射鏡保持装置。
  3. 【請求項3】 反射鏡を接着部材で接着又は融着して基
    板に固定保持する際、該反射鏡の線膨張係数と該基板の
    線膨張係数との差が1×10-7以下となるようにしてい
    ることを特徴とする反射鏡保持装置。
  4. 【請求項4】 反射鏡を接着部材で接着又は融着して基
    板に固定保持する際、該接着部材として該反射鏡の縦弾
    性係数の1/1000以下の縦弾性係数の接着剤を用い
    ると共に該反射鏡の線膨張係数と該基板の線膨張係数と
    の差が1×10-7以下となるようにしていることを特徴
    とする反射鏡保持装置。
  5. 【請求項5】 反射鏡を接着部材で接着又は融着して基
    板に固定保持する際、該反射鏡と該基板の縦弾性係数を
    各々E1 ,E2 、該反射鏡の中心厚をt1 、該基板の厚
    さをt2 としたとき (E2 /E11/3 ×t2 ≦t1 なる条件を満足することを特徴とする反射鏡保持装置。
JP30246296A 1996-10-28 1996-10-28 反射鏡保持装置 Withdrawn JPH10133093A (ja)

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JP30246296A JPH10133093A (ja) 1996-10-28 1996-10-28 反射鏡保持装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014194509A (ja) * 2013-03-29 2014-10-09 Mitsubishi Electric Corp 集光光学系
CN116256866A (zh) * 2022-12-13 2023-06-13 北京空间机电研究所 一种膨胀锁紧式大口径反射镜柔性支撑结构

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