JPH10135771A - 圧電部品 - Google Patents

圧電部品

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JPH10135771A
JPH10135771A JP29216196A JP29216196A JPH10135771A JP H10135771 A JPH10135771 A JP H10135771A JP 29216196 A JP29216196 A JP 29216196A JP 29216196 A JP29216196 A JP 29216196A JP H10135771 A JPH10135771 A JP H10135771A
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JP
Japan
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piezoelectric vibrator
dielectric substrate
piezoelectric
case
electrode
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JP29216196A
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Yasuhide Yamashita
保英 山下
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TDK Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電振動子の振動特性を劣化させることなく
小型化し得る新規な圧電部品を提供する。 【解決手段】 圧電振動子2は、一面側に、振動電極2
1の周りを間隔を隔ててリング状に取り囲む絶縁樹脂2
3を有する。誘電体基板3は、圧電振動子2の一面側に
おいて、絶縁樹脂23の上に積層され、かつ、接着さ
れ、それによって、振動電極21の周りに、絶縁樹脂2
3と誘電体基板3とによって囲まれた空洞部S1が形成
されている。圧電振動子2及び誘電体基板3でなる積層
体はケース1の収納部11内に配置され、圧電振動子2
の他面側の周辺が段部12によって支持されている。封
止部4はケース1の開口を封止している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電部品及びその製造
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】圧電フィルタや、レゾネータ等に用いら
れる圧電部品としては、例えば、特開昭62-281505号、
実開平4-103722号に開示されているように、ケースの収
納部内に、圧電振動子及びコンデンサを構成する誘電体
基板を収納したタイプのものが知られている。これらの
先行技術では、圧電振動子や誘電体基板を支持するにあ
たり、ケースの収納部の内部に2段の段部を設け、下段
の段部において圧電振動子を支持し、その上の上段の段
部で誘電体基板を支持していた。
【0003】近年、電子機器の小型化、携帯化に伴い、
圧電部品の小型化の強い要求がある。圧電部品において
は、一般的に、圧電振動子のサイズを小さくしていく
と、振動特性が損なわれる傾向にあるから、圧電振動子
を小さくせずに、小型化しなければならない。
【0004】ところが、ケースの収納部の内部に2段の
段部を設け、下段の段部において圧電振動子を支持し、
その上段の段部で誘電体基板を支持する従来技術では、
このような要求を満たすことが困難である。即ち、ケー
スを小型化した場合、その縮小に合わせて、誘電体基板
を受ける段部によって囲まれた空間の横幅、縦幅を小さ
くしなければならない。誘電体基板を受ける段部の縮小
化に伴い、圧電振動子を受ける段部によって囲まれた空
間の横幅、縦幅がその影響を受けて、必然的に小さくな
らざるを得ない。従って、従来の2段構造の下で、ケー
スを小型化した場合には、圧電振動子を小型化せざるを
得なかった。このため、所望の振動特性を確保するとい
う観点から、例えば、L=3.7 mm、W=3.1 mm、T=1.
2 mm以下の外幅寸法の圧電部品を実現することがきわめ
て困難であった。
【0005】しかも、圧電部品の小型化の要請は、既
に、従来技術で可能な上記小型化の限界を越え、L=1.
8 mm、W=0.9 mmという微小寸法まで進んでいる。従来
技術では、この要望に応えることができない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、圧電
振動子の振動特性を劣化させることなく小型化し得る新
規な圧電部品を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係る圧電部品は、ケースと、圧電振動子
と、コンデンサ用誘電体基板と、封止部と含む。前記ケ
ースは、一面側を開口させた収納部を有し、前記収納部
は内部に段部を有する。
【0008】前記圧電振動子は、少なくとも一面側に、
振動電極の周りをリング状に取り囲むように付着された
絶縁樹脂を有する。
【0009】前記誘電体基板は、前記圧電振動子の前記
一面側において、前記絶縁樹脂の上に積層され、前記圧
電振動子に接着されており、それによって、前記振動電
極の周りに、前記絶縁樹脂と前記誘電体基板とによって
囲まれた空洞部が形成されている。
【0010】前記圧電振動子及び前記誘電体基板でなる
積層体は、前記ケースの前記収納部内に配置され、前記
圧電振動子の他面側の周辺が前記段部によって支持され
ている。前記封止部は、前記ケースの前記開口を封止し
ている。
【0011】上述したように、誘電体基板は、圧電振動
子の一面側において積層され、かつ、接着されている。
この積層体は、ケースの収納部内に配置され、圧電振動
子の他面側が段部によって支持されている。従って、ケ
ースは、誘電体基板及び圧電振動子の積層体を支持する
一つの段部を有するだけでよい。この場合、段部によっ
て囲まれた凹部の横幅及び縦幅は、圧電振動子に要求さ
れる寸法に従って定めることができる。従来と異なっ
て、誘電体基板を載せる段部の大きさによる制限を受け
ることがない。このため、誘電体基板及び圧電振動子を
上下2段の段部で受ける従来の構造よりも、圧電振動子
を大きくすることができるようになる。従って、圧電振
動子の発振特性、振動特性を損なうことなく、圧電部品
を小型化することができる。
【0012】しかも、誘電体基板及び圧電振動子を積層
体として一体化したので、ケースの厚み(高さ)を縮小
し、薄型化することができる。
【0013】圧電振動子は、少なくとも一面側に、振動
電極の周りをリング状に取り囲むように付着された絶縁
樹脂を有する。誘電体基板は絶縁樹脂の上に積層され、
前記圧電振動子に接着されており、それによって、振動
電極の周りに、絶縁樹脂と誘電体基板とによって囲まれ
た空洞部が形成されている。この構造によれば、誘電体
基板及び圧電振動子の積層による薄型化と同時に、圧電
振動子の振動電極のための空洞部を同時に形成すること
ができる。このため、薄型化を図りながら、必要な振動
特性を確実に確保することができる。
【0014】ケースは収納部の内部に段部を有してお
り、圧電振動子及び誘電体基板でなる積層体は、圧電振
動子の他面側の周辺が段部によって支持されているか
ら、圧電振動子の他面側に生じる振動電極に対しても、
段部による空洞が形成される。従って、圧電振動子は、
他面側においても、何らの振動障害を受けることなく、
自己の振動特性で振動することができる。
【0015】ケースの開口は封止部によって封止されて
いるから、圧電振動子及び誘電体基板の積層体がケース
内に封止され、所定の動作特性及び耐湿性が確保され
る。
【0016】本発明の他の目的、構成及び利点について
は、実施例である添付図面を参照して、更に詳しく説明
する。
【0017】
【発明の実施の形態】図1は本考案に係る圧電部品の分
解斜視図、図2は図1に示した圧電部品の組立状態にお
ける断面図、図3は図2の3ー3線に沿った断面図、図
4は図2の4ー4線に沿った断面図である。本発明に係
る圧電部品は、ケース1と、圧電振動子2と、コンデン
サ用誘電体基板3と、封止部4と含む。
【0018】ケース1は、一面側を開口させた収納部1
1を有し、収納部11は内部に段部12を有している。
段部12は、中央に窪んだ底部10が残るようにして、
その周りに形成されている。本発明に係る圧電部品は、
表面実装部品であり、圧電振動子2及び誘電体基板3を
収納するケース1の材質は、リフロー時の熱に耐え得る
材料、例えば、液晶ポリマーやエポキシ樹脂を使用する
ことが望ましい。
【0019】圧電振動子2は、少なくとも一面側に、振
動電極21の周りを取り囲むように付着された絶縁樹脂
23を有する。絶縁樹脂23は、熱硬化性樹脂またはU
V硬化性樹脂の何れかでなることが望ましい。圧電振動
子2は、圧電素体20の両面に振動電極21、22を有
する。振動電極21、22及びその周辺が振動部とな
る。
【0020】誘電体基板3は、圧電振動子2の一面側に
おいて、絶縁樹脂23の上に積層され、圧電振動子2に
接着されている。この積層構造によって、振動電極21
の周りに、絶縁樹脂23と誘電体基板3とによって囲ま
れた空洞部S1が形成される。誘電体基板3及び圧電振
動子2の接着に当たっては、導電性接着剤または半田6
1、62等が用いられる。
【0021】圧電振動子2及び誘電体基板3でなる積層
体は、ケース1の収納部11の内部に配置され、圧電振
動子2の他面側の周辺が段部12によって支持されてい
る。圧電振動子2の下側には、段部12の高さに起因す
る空洞部S2がある。
【0022】封止部4は、ケース1の前記開口を封止し
ている。実施例において、積層体は、誘電体基板3の上
方に収納部11の内部空間が生じるように配置されてい
る。封止部4は内部空間に充填された熱硬化性樹脂で構
成されている。
【0023】上述したように、誘電体基板3は、圧電振
動子2の一面側において積層され、かつ、接着されてい
る。この積層体は、ケース1の収納部内に配置され、圧
電振動子2の他面側が段部12によって支持されてい
る。従って、ケース1は、誘電体基板3及び圧電振動子
2の積層体を支持する一つの段部12を有するだけでよ
い。この場合、段部12によって囲まれた空洞部S2
(凹部)の横幅及び縦幅を、圧電振動子2に要求される
寸法に従って定めることができる。従来と異なって、誘
電体基板3を載せる段部12の大きさによる影響を受け
ることがない。このため、誘電体基板3及び圧電振動子
2を上下2段の段部で受ける従来の構造よりも、圧電振
動子2を大きくすることができるようになる。従って、
圧電振動子2の発振特性、振動特性を損なうことなく、
圧電部品を小型化することができる。例えば、従来は不
可能視されていたL=1.8 mm、W=0.9 mmという微小寸
法の圧電部品であっても実現することができる。
【0024】しかも、誘電体基板3及び圧電振動子2を
積層体として一体化したので、ケース1の厚み(高さ)
を縮小し、薄型化することができる。
【0025】圧電振動子2は、少なくとも一面側に、振
動電極21の周りを、間隔を隔ててリング状に取り囲む
ように付着された絶縁樹脂23を有する。誘電体基板3
は絶縁樹脂23の上に積層され、前記圧電振動子に接着
されており、それによって、振動電極21の周りに、絶
縁樹脂23と誘電体基板3とによって囲まれた空洞部S
1が形成されている。この構造によれば、誘電体基板3
及び圧電振動子2の積層による薄型化と共に、圧電振動
子2の振動電極21のための空洞部S1を形成すること
ができる。このため、薄型化を図りながら、必要な振動
特性を確実に確保することができる。また、絶縁樹脂2
3による圧電振動子2のスプリアス抑制作用をも併せ得
ることができる。
【0026】ケース1は収納部11の内部に段部12を
有しており、圧電振動子2及び誘電体基板3でなる積層
体は、圧電振動子2の他面側の周辺が段部12によって
支持されている。この構造によれば、圧電振動子2の他
面側に生じる振動電極22に対しても、段部12による
空洞部S2が形成される。従って、圧電振動子2は、他
面側においても、何らの振動障害を受けることなく、自
己の振動特性で振動することができる。空洞部S2を生
じさせる手段として、圧電振動子2の全周を段部12の
上にのせ、空洞部S2を圧電振動子2によって閉じる構
造が採用される。
【0027】ケース1の開口は、封止部4によって封止
されているから、圧電振動子2及び誘電体基板3の積層
体がケース1の内部11に封止され、所定の動作特性及
び耐湿性が確保される。
【0028】積層体は誘電体基板3の上方に収納部11
の内部空間が生じるように配置し、封止部4は内部空間
に充填された熱硬化性樹脂で構成する。これにより、収
納部11の内部の圧電振動子2及び誘電体基板3に対し
て、完全な封止構造を与えることができる。しかも、圧
電振動子2は、少なくとも一面側に、振動電極21の周
りを間隔を隔ててリング状に取り囲むように付着された
絶縁樹脂23を有するから、ケース1の収納部11の内
部空間に液状の熱硬化性樹脂を注入して封止する工程を
採用した場合でも、リング状絶縁樹脂23が障壁とな
り、熱硬化性樹脂の振動電極に対する付着が阻止され
る。このため、圧電振動子2の動作特性に悪影響を与え
ることなく、熱硬化性樹脂充填による高度の封止構造を
実現することができる。
【0029】図1〜図4に示された圧電部品において、
圧電振動子2は、一辺側に、振動電極21から延長され
たリード電極211を有している。誘電体基板3は、圧電
振動子2の振動電極から延長されたリード電極211と対
応する位置に、コンデンサ電極32を有している。コン
デンサ電極32とリード電極211とは、導電性接着剤ま
たは半田61によって接着固定されている。
【0030】圧電振動子2は、更に、リード電極211の
ある一辺とは反対側の他辺側において、振動電極21と
は反対側に設けられた振動電極22から延長されたリー
ド電極221を有しており、誘電体基板3は、リード電極2
21と対応する位置に、コンデンサ電極31を有してい
る。コンデンサ電極31とリード電極221とは、導電性
接着剤または半田62によって接着固定されている。
【0031】ケース11に電極51〜54が設けられて
いる。電極51〜54はメタライズ導体である。電極5
1は、収納部11の一端側において、段部12及び側壁
13を覆うように形成され、更に、両端が、側壁13を
通って、ケース1の外面に導かれている。
【0032】電極52は、収納部11の他端側におい
て、段部12及び側壁13を覆うように形成され、更
に、両端が、側壁13を通って、ケース1の外面に導か
れている。電極53及び54は、電極51及び電極52
の配置方向で見た収納部11の中間部に設けられてい
る。これらの電極53、54は、段部12及び側壁13
を覆うように形成され、更に、両端が、側壁13を通っ
て、ケース1の外面に導かれている。
【0033】誘電体基板3は誘電体素体30の一面に共
通電極31を設けると共に、他面側に独立電極32、3
3を互いに間隔を隔てて形成してある。そして、導電接
着剤または半田63、64等を用いて、共通電極31を
電極53、54に導通接続し、独立電極32、33を電
極51、52にそれぞれ導通接続してある。電極51〜
54は端部がケース1の外面に導かれているので、表面
実装部品として利用できる。
【0034】誘電体基板3の上方にある開口部は、封止
樹脂よりなる封止部4によって封止されている。実施例
において、積層体は、誘電体基板3の上方に収納部11
の内部空間が生じるように配置されており、封止部4は
内部空間に充填された熱硬化性樹脂で構成されている。
【0035】図5は図1〜図3に示した圧電部品の電気
回路図である。圧電振動子2の両端に誘電体基板3によ
る2つのコンデンサC1、C2を接続した回路となって
いる。
【0036】次に、本発明に係る圧電部品の製造方法に
ついて、図6〜図12を参照して説明する。まず図6に
示すように、圧電振動子2の片面に、UV硬化性もしく
は熱硬化性の絶縁樹脂23をリング状に印刷し、硬化さ
せる。このリング状絶縁樹脂23は、圧電振動子2のス
プリアス抑制のためと、封止のために後で充填される接
着樹脂が圧電振動子2の振動電極に流れ込み、振動を抑
えてしまう不具合を生じさせないためのものである。
【0037】次に、前述の圧電振動子2の引き出し電極
両側面に、導電性接着剤またはハンダ611を塗布し、図
7に示すように、圧電振動子2の樹脂塗布面と、誘電体
基板3の下面の電極部とを重ね合わせ、導電性接着剤ま
たはハンダ61によって導通させて接合し、100〜2
60℃に加熱し、圧電振動子2及び誘電体基板3を固定
する。
【0038】次に図8に示すように、圧電振動子2及び
誘電体基板3の積層体の側面に導電性接着剤またはハン
ダ612、622を塗布し、圧電振動子2及び誘電体基板3の
積層体を、圧電振動子2を下にして、ケース1の収納部
11に挿入し、圧電振動子2の周辺部をケース1の段部
12で支持する。
【0039】次に、図9及び図10に示すように、圧電
振動子2及び誘電体基板3の積層体をケース1の収納部
11内に収納し、圧電振動子2の周辺部をケース1の段
部12で支持した状態で、100〜260℃の温度条件
で加熱する。これにより、誘電体基板3及び圧電振動子
2が導電性接着剤または半田61、62により電極5
1、52に接合される。誘電体基板3の電極31と、電
極53、54との間にも、導電性接着剤またはハンダ6
3、64を塗布しておき、同様の手段で、溶融及び固化
させる。
【0040】次に、図11及び図12に示すように、ケ
ース1の上部より、熱硬化性エポキシ樹脂4を充填す
る。この後、100〜260℃で加熱して樹脂4を硬化
させ、ケース1の内部の気密性を得る。ここで、圧電振
動子2上にリング状に印刷した絶縁樹脂23の頂部を、
誘電体基板3と接触させてあるから、樹脂4が圧電振動
子2の振動スペースとなる空洞部S1へ流れ込むことが
ない。
【0041】また、圧電振動子2の全周を段部12の上
にのせ、空洞部S2を圧電振動子2によって閉じてある
ので、樹脂4が圧電振動子2のもう一つの振動スペース
となる空洞部S2へ流れ込むこともない。以上の工程を
経ることにより、図1〜図4に示した圧電部品が得られ
る。
【0042】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、圧
電振動子の振動特性を劣化させることなく、小型化し得
る新規な圧電部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る圧電部品の分解斜視図である。
【図2】図1に示した圧電部品の組立状態における平面
図である。
【図3】図2の3−3線に沿った断面図である。
【図4】図2の4−4線に沿った断面図である。
【図5】図1〜図4に示した圧電部品の電気回路図であ
る。
【図6】本発明に係る圧電部品の製造工程を示す図であ
る。
【図7】図6に示した後の製造工程を示す図である。
【図8】図7に示した後の製造工程を示す図である。
【図9】図8に示した後の製造工程を示す図である。
【図10】図9の10ー10線に沿った断面図である。
【図11】図9、図10に示した後の製造工程を示す図
である。
【図12】図11の12ー12線に沿った断面図であ
る。
【符号の説明】
1 ケース 2 圧電振動子 3 誘電体基板 4 封止部

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ケースと、圧電振動子と、コンデンサ用
    誘電体基板と、封止部と含む圧電部品であって、 前記ケースは、一面側を開口させた収納部を有し、前記
    収納部は内部に段部を有しており、 前記圧電振動子は、少なくとも一面側に、振動電極の周
    りを間隔を隔ててリング状に取り囲むように付着された
    絶縁樹脂を有しており、 前記誘電体基板は、前記圧電振動子の前記一面側におい
    て、前記絶縁樹脂の上に積層され、前記圧電振動子に接
    着されており、それによって、前記振動電極の周りに、
    前記絶縁樹脂と前記誘電体基板とによって囲まれた空洞
    部が形成されており、 前記圧電振動子及び前記誘電体基板でなる積層体は、前
    記ケースの前記収納部内に配置され、前記圧電振動子の
    他面側の周辺が前記段部によって支持されており、 前記封止部は、前記ケースの前記開口を封止している圧
    電部品。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載された圧電部品であっ
    て、 前記誘電体基板は、前記圧電振動子の前記振動電極から
    延長されたリード電極と対応する位置に、コンデンサ電
    極を有しており、 前記接着剤は、前記コンデンサ電極と前記リード電極と
    を接着する導電性接着剤または半田である圧電部品。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載された圧電部品であっ
    て、 前記リング状の絶縁樹脂は、熱硬化性樹脂またはUV硬
    化性樹脂の何れかでなる圧電部品。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載された圧電部品であっ
    て、 前記積層体は、前記誘電体基板の上方に前記収納部の内
    部空間が生じるように配置されており、 前記封止部は、前記内部空間に充填された熱硬化性樹脂
    で構成されている圧電部品。
  5. 【請求項5】 圧電振動子及びコンデンサ用誘電体基板
    を、ケース内に収納した圧電部品を製造する方法であっ
    て、 前記ケースは、一面側を開口させた収納部を有し、前記
    収納部は内部に段部を有しており、 前記圧電振動子は、少なくとも一面側に、振動電極の周
    りをリング状に取り囲むように付着された絶縁樹脂を有
    しており、 前記圧電振動子の前記一面側において前記絶縁樹脂の上
    に前記誘電体基板を積層し、前記圧電振動子に接着する
    ことによって積層体を構成し、それによって、前記振動
    電極の周りに、前記絶縁樹脂と前記誘電体基板とによっ
    て囲まれた空洞部を形成し、 次に、前記積層体を、前記ケースの前記収納部内に挿入
    し、前記圧電振動子の他面側を前記段部によって支持
    し、 次に、前記ケースの前記開口部を封止する圧電部品の製
    造方法。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載された圧電部品であっ
    て、 前記誘電体基板は、前記圧電振動子の前記振動電極から
    延長されたリード電極と対応する位置に、コンデンサ電
    極を有しており、 前記誘電体基板を前記圧電振動子に積層するに当たり、
    前記コンデンサ電極と前記リード電極とを、導電性接着
    剤または半田によって接着する圧電部品の製造方法。
  7. 【請求項7】 請求項5に記載された圧電部品であっ
    て、 前記ケースの前記開口部を封止するに当たり、前記ケー
    スの開口に熱硬化性樹脂を充填し、次に加熱硬化させる
    圧電部品の製造方法。
JP29216196A 1996-11-01 1996-11-01 圧電部品 Withdrawn JPH10135771A (ja)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007105559A1 (ja) * 2006-03-15 2007-09-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 角速度センサとその製造方法およびその角速度センサを用いた電子機器
JP2007248188A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP2007248187A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP2007248189A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサの製造方法
EP1665374A4 (en) * 2003-08-19 2010-03-03 Capital Formation Inc PACKAGE WITH MULTIPLE CAVES / FANES
US7701021B2 (en) 2006-09-05 2010-04-20 Sony Corporation Functional device, semiconductor device, and electronic device
JP2012075053A (ja) * 2010-09-30 2012-04-12 Seiko Instruments Inc パッケージおよび圧電振動子

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1665374A4 (en) * 2003-08-19 2010-03-03 Capital Formation Inc PACKAGE WITH MULTIPLE CAVES / FANES
WO2007105559A1 (ja) * 2006-03-15 2007-09-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 角速度センサとその製造方法およびその角速度センサを用いた電子機器
JP2007248188A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP2007248187A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサ
JP2007248189A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサの製造方法
US8087296B2 (en) 2006-03-15 2012-01-03 Panasonic Corporation Angular velocity sensor
CN103196437A (zh) * 2006-03-15 2013-07-10 松下电器产业株式会社 角速度传感器及其制造方法
CN103196437B (zh) * 2006-03-15 2016-04-06 松下知识产权经营株式会社 角速度传感器及其制造方法
US7701021B2 (en) 2006-09-05 2010-04-20 Sony Corporation Functional device, semiconductor device, and electronic device
JP2012075053A (ja) * 2010-09-30 2012-04-12 Seiko Instruments Inc パッケージおよび圧電振動子

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