JPH10137705A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH10137705A JPH10137705A JP31307096A JP31307096A JPH10137705A JP H10137705 A JPH10137705 A JP H10137705A JP 31307096 A JP31307096 A JP 31307096A JP 31307096 A JP31307096 A JP 31307096A JP H10137705 A JPH10137705 A JP H10137705A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- vibrators
- storage tank
- solvent storage
- cleaning
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】複数の超音波振動子から出力されるエネルギが
交差するように超音波振動子を配設することで、超音波
エネルギの交差により強いエネルギ密度を形成して充分
高い洗浄効果を得ることができる洗浄装置の提供を目的
とする。 【解決手段】溶剤貯溜タンク１３に少なくとも２個の超
音波振動子１６，１７を備え、これら各超音波振動子１
６，１７から出力されるエネルギｅ１，ｅ２が交差する
ように上記超音波振動子１６，１７を配設したことを特
徴とする。
交差するように超音波振動子を配設することで、超音波
エネルギの交差により強いエネルギ密度を形成して充分
高い洗浄効果を得ることができる洗浄装置の提供を目的
とする。 【解決手段】溶剤貯溜タンク１３に少なくとも２個の超
音波振動子１６，１７を備え、これら各超音波振動子１
６，１７から出力されるエネルギｅ１，ｅ２が交差する
ように上記超音波振動子１６，１７を配設したことを特
徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばＨＣ、Ｈ
ＦＥ、ＨＦＣ、塩化メチレンなどの溶剤を用いて電子部
品、精密部品、プリント配線基板、金属部品その他の各
種ワークを洗浄処理するような洗浄装置に関する。
ＦＥ、ＨＦＣ、塩化メチレンなどの溶剤を用いて電子部
品、精密部品、プリント配線基板、金属部品その他の各
種ワークを洗浄処理するような洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、上述例の洗浄装置としては例えば
ＨＣ、ＨＦＥ、ＨＦＣ、塩化メチレンなどの溶剤液を貯
溜した溶剤貯溜タンクを設けると共に、このタンクの底
部に少なくとも１個の超音波振動子を設置し、超音波発
振器で超音波振動子を振動させてキャビテーション効果
と加速度効果とによりワークを超音波洗浄するものであ
る。
ＨＣ、ＨＦＥ、ＨＦＣ、塩化メチレンなどの溶剤液を貯
溜した溶剤貯溜タンクを設けると共に、このタンクの底
部に少なくとも１個の超音波振動子を設置し、超音波発
振器で超音波振動子を振動させてキャビテーション効果
と加速度効果とによりワークを超音波洗浄するものであ
る。
【０００３】ここで、上述のキャビテーション効果と
は、液体中に発生した圧力変化によって生ずる空洞現象
で、液体中に溶けこんでいる気体が遊離して気泡にな
り、減圧期と加圧期とを交互に繰返す超音波の音圧の減
圧期に気泡が発生し、超音波の音圧変化に対応した気泡
の大きさを繰返しつつ、大きくなって行く。気泡は振動
しつつ浮上し液面に到達して消えるが、上述の気泡によ
り洗浄液中に負圧の空洞をつくり、ワーク表面の付着物
を効果的に除去する。
は、液体中に発生した圧力変化によって生ずる空洞現象
で、液体中に溶けこんでいる気体が遊離して気泡にな
り、減圧期と加圧期とを交互に繰返す超音波の音圧の減
圧期に気泡が発生し、超音波の音圧変化に対応した気泡
の大きさを繰返しつつ、大きくなって行く。気泡は振動
しつつ浮上し液面に到達して消えるが、上述の気泡によ
り洗浄液中に負圧の空洞をつくり、ワーク表面の付着物
を効果的に除去する。
【０００４】また加速度効果とは、液体中における超音
波の疎密波が周波数と振幅を大きくすることにより、媒
質の粒子（溶剤の粒子のこと）に対して非常に大きな運
動エネルギ（加速度）を与え、この加速度が洗浄液を介
してワークの汚れに加わるので、汚れはワークの表面か
ら剥離される効果をいう。しかし、従来の洗浄装置にお
いては溶剤液中においてワークに単に超音波エネルギが
付加されるのみであったため、充分な洗浄効果が得られ
ない問題点があった。
波の疎密波が周波数と振幅を大きくすることにより、媒
質の粒子（溶剤の粒子のこと）に対して非常に大きな運
動エネルギ（加速度）を与え、この加速度が洗浄液を介
してワークの汚れに加わるので、汚れはワークの表面か
ら剥離される効果をいう。しかし、従来の洗浄装置にお
いては溶剤液中においてワークに単に超音波エネルギが
付加されるのみであったため、充分な洗浄効果が得られ
ない問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１記載
の発明は、複数の超音波振動子から出力されるエネルギ
が交差するように超音波振動子を配設することで、超音
波エネルギの交差により強いエネルギ密度を形成して充
分高い洗浄効果を得ることができる洗浄装置の提供を目
的とする。
の発明は、複数の超音波振動子から出力されるエネルギ
が交差するように超音波振動子を配設することで、超音
波エネルギの交差により強いエネルギ密度を形成して充
分高い洗浄効果を得ることができる洗浄装置の提供を目
的とする。
【０００６】この発明の請求項２記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の目的と併せて、超音波エネルギが交
差する超音波集束領域を溶剤貯溜タンクの液面よりも所
定水深以下の領域に形成することで、ワーク洗浄に供す
る液中領域と超音波集束領域とを略一致させて、より一
層効果的な洗浄を行なうことができる洗浄装置の提供を
目的とする。
求項１記載の発明の目的と併せて、超音波エネルギが交
差する超音波集束領域を溶剤貯溜タンクの液面よりも所
定水深以下の領域に形成することで、ワーク洗浄に供す
る液中領域と超音波集束領域とを略一致させて、より一
層効果的な洗浄を行なうことができる洗浄装置の提供を
目的とする。
【０００７】この発明の請求項３記載の発明は、上記請
求項１もしくは２記載の発明の目的と併せて、超音波振
動子として異なる複数の周波数出力が同時に発振可能な
振動子（例えば２周波振動子）を用いることで、均一洗
浄の達成とワークに対応した洗浄との両立を図ることが
できる洗浄装置の提供を目的とする。
求項１もしくは２記載の発明の目的と併せて、超音波振
動子として異なる複数の周波数出力が同時に発振可能な
振動子（例えば２周波振動子）を用いることで、均一洗
浄の達成とワークに対応した洗浄との両立を図ることが
できる洗浄装置の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１記載
の発明は、溶剤貯溜タンクに少なくとも２個の超音波振
動子を備え、これら各超音波振動子から出力されるエネ
ルギが交差するように上記超音波振動子を配設した洗浄
装置であることを特徴とする。
の発明は、溶剤貯溜タンクに少なくとも２個の超音波振
動子を備え、これら各超音波振動子から出力されるエネ
ルギが交差するように上記超音波振動子を配設した洗浄
装置であることを特徴とする。
【０００９】この発明の請求項２記載の発明は、上記請
求項１記載の発明の構成と併せて、上記エネルギが交差
する超音波集束領域を溶剤貯溜タンクの液面より所定水
深以下の領域に形成した洗浄装置であることを特徴とす
る。
求項１記載の発明の構成と併せて、上記エネルギが交差
する超音波集束領域を溶剤貯溜タンクの液面より所定水
深以下の領域に形成した洗浄装置であることを特徴とす
る。
【００１０】この発明の請求項３記載の発明は、上記請
求項１もしくは２記載の発明の構成と併せて、上記各超
音波振動子には異なる複数の周波数出力が同時に発振可
能な振動子を用いた洗浄装置であることを特徴とする。
求項１もしくは２記載の発明の構成と併せて、上記各超
音波振動子には異なる複数の周波数出力が同時に発振可
能な振動子を用いた洗浄装置であることを特徴とする。
【００１１】
【発明の作用及び効果】この発明の請求項１記載の発明
によれば、少なくとも２個の超音波振動子から出力され
るエネルギが交差するように、これら超音波振動子を配
設したので、超音波エネルギの交差により強いエネルギ
密度を形成することができ、この結果、充分高い洗浄効
果を得ることができる。
によれば、少なくとも２個の超音波振動子から出力され
るエネルギが交差するように、これら超音波振動子を配
設したので、超音波エネルギの交差により強いエネルギ
密度を形成することができ、この結果、充分高い洗浄効
果を得ることができる。
【００１２】この発明の請求項２記載の発明によれば、
上記請求項１記載の発明の効果と併せて、超音波エネル
ギが交差する超音波集束領域を溶剤貯溜タンクの液面よ
りも所定水深以下の領域に形成したので、ワーク洗浄に
供する液中領域と超音波集束領域とを略一致させること
ができ、このため、より一層効果的な洗浄を行なうこと
ができる。
上記請求項１記載の発明の効果と併せて、超音波エネル
ギが交差する超音波集束領域を溶剤貯溜タンクの液面よ
りも所定水深以下の領域に形成したので、ワーク洗浄に
供する液中領域と超音波集束領域とを略一致させること
ができ、このため、より一層効果的な洗浄を行なうこと
ができる。
【００１３】この発明の請求項３記載の発明によれば、
上記請求項１もしくは２記載の発明の効果と併せて、超
音波振動子としては例えば２周波振動子のような異なる
複数の振動周波数出力が同時に発振可能な振動子を用い
たので、均一洗浄の達成とワークに対応した洗浄との両
立を図ることができる効果がある。
上記請求項１もしくは２記載の発明の効果と併せて、超
音波振動子としては例えば２周波振動子のような異なる
複数の振動周波数出力が同時に発振可能な振動子を用い
たので、均一洗浄の達成とワークに対応した洗浄との両
立を図ることができる効果がある。
【００１４】
【実施例】この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳
述する。図面は洗浄装置を示し、図１において、この洗
浄装置１１は上面を開放してワーク出入口１２が形成さ
れた溶剤貯溜タンク１３を設け、この溶剤貯溜タンク１
３のタンク底面を開角の比較的大きい縦断面Ｖ字状に形
成し、このＶ字状底面の一辺１４および他辺１５にはそ
れぞれ超音波振動子としての２周波振動子１６，１７を
設置している。
述する。図面は洗浄装置を示し、図１において、この洗
浄装置１１は上面を開放してワーク出入口１２が形成さ
れた溶剤貯溜タンク１３を設け、この溶剤貯溜タンク１
３のタンク底面を開角の比較的大きい縦断面Ｖ字状に形
成し、このＶ字状底面の一辺１４および他辺１５にはそ
れぞれ超音波振動子としての２周波振動子１６，１７を
設置している。
【００１５】また上述の溶剤貯溜タンク１３にはＨＣ、
ＨＦＥ、ＨＦＣ、塩化メチレンなどの溶剤液Ａを貯溜す
る一方、上述の２つの２周波振動子１６，１７の表面か
ら出力される超音波エネルギｅ１，ｅ２が溶剤液Ａの液
中において互に交差するように２つの超音波振動子１
６，１７を配設している。
ＨＦＥ、ＨＦＣ、塩化メチレンなどの溶剤液Ａを貯溜す
る一方、上述の２つの２周波振動子１６，１７の表面か
ら出力される超音波エネルギｅ１，ｅ２が溶剤液Ａの液
中において互に交差するように２つの超音波振動子１
６，１７を配設している。
【００１６】ここで、上述の超音波エネルギｅ１，ｅ２
が交差する超音波集束領域Ｂは溶剤貯溜タンク１３の液
面ａより所定水深Ｌ１以下の領域、換言すれば液面ａよ
り所定水深Ｌ１だけ下がった位置からさらに深い領域に
かけて形成されている。上述の所定水深Ｌ１は例えば３
０〜５０mm程度に設定される。
が交差する超音波集束領域Ｂは溶剤貯溜タンク１３の液
面ａより所定水深Ｌ１以下の領域、換言すれば液面ａよ
り所定水深Ｌ１だけ下がった位置からさらに深い領域に
かけて形成されている。上述の所定水深Ｌ１は例えば３
０〜５０mm程度に設定される。
【００１７】上述の２周波振動子１６，１７としては異
なる２つの周波数（具体的には２８KHz と３９KHz ）出
力が同時に発振可能な振動子を用いている。さらに上述
の溶剤貯溜タンク１３には必要に応じて溶剤液Ａを加熱
する加熱手段としてのヒータ１８を取付けている。この
ように構成した洗浄装置１１によりワークを洗浄する場
合、次の２通りの洗浄方法がある。
なる２つの周波数（具体的には２８KHz と３９KHz ）出
力が同時に発振可能な振動子を用いている。さらに上述
の溶剤貯溜タンク１３には必要に応じて溶剤液Ａを加熱
する加熱手段としてのヒータ１８を取付けている。この
ように構成した洗浄装置１１によりワークを洗浄する場
合、次の２通りの洗浄方法がある。
【００１８】すなわち、２つの２周波振動子１６，１７
を共に２８KHz と３９KHz との２通りに超音波振動さ
せ、超音波集束領域Ｂを形成して、この領域Ｂにてワー
クを洗浄する方法と、一方の２周振動子１６を２８KHz
で、他方の２周波振動子１７を３９KHz でそれぞれ超音
波振動させ、超音波集束領域Ｂを形成して、この領域Ｂ
にてワークを洗浄する方法との２通りである。前者の振
動方法によれば（２周波振動方法）によれば均一洗浄が
可能となり、後者の振動方法（単周波振動方法）によれ
ばワークに対応した洗浄を行なうことができる。いずれ
の方法にあっても振動子１６，１７の同時発振により超
音波振動による応力の作用点が密となる。
を共に２８KHz と３９KHz との２通りに超音波振動さ
せ、超音波集束領域Ｂを形成して、この領域Ｂにてワー
クを洗浄する方法と、一方の２周振動子１６を２８KHz
で、他方の２周波振動子１７を３９KHz でそれぞれ超音
波振動させ、超音波集束領域Ｂを形成して、この領域Ｂ
にてワークを洗浄する方法との２通りである。前者の振
動方法によれば（２周波振動方法）によれば均一洗浄が
可能となり、後者の振動方法（単周波振動方法）によれ
ばワークに対応した洗浄を行なうことができる。いずれ
の方法にあっても振動子１６，１７の同時発振により超
音波振動による応力の作用点が密となる。
【００１９】このように、少なくとも２個の超音波振動
子１６，１７から出力されるエネルギｅ１，ｅ２が交差
するように、これら超音波振動子１６，１７を配設した
ので、超音波エネルギｅ１，ｅ２の交差により強いエネ
ルギ密度を形成することができ、この結果、充分高い洗
浄効果を得ることができる。
子１６，１７から出力されるエネルギｅ１，ｅ２が交差
するように、これら超音波振動子１６，１７を配設した
ので、超音波エネルギｅ１，ｅ２の交差により強いエネ
ルギ密度を形成することができ、この結果、充分高い洗
浄効果を得ることができる。
【００２０】また、超音波エネルギｅ１，ｅ２が交差す
る超音波集束領域Ｂを溶剤貯溜タンク１３の液面ａより
も所定水深Ｌ１以下の領域に形成したので、ワーク洗浄
に供する液中領域と超音波集束領域Ｂとを略一致させる
ことができ、このため、より一層効果的な洗浄を行なう
ことができる。
る超音波集束領域Ｂを溶剤貯溜タンク１３の液面ａより
も所定水深Ｌ１以下の領域に形成したので、ワーク洗浄
に供する液中領域と超音波集束領域Ｂとを略一致させる
ことができ、このため、より一層効果的な洗浄を行なう
ことができる。
【００２１】さらに、超音波振動子１６，１７としては
例えば２周波振動子のような異なる複数の振動周波数出
力が可能な振動子を用いたので、均一洗浄の達成とワー
クに対応した洗浄との両立を図ることができる効果があ
る。
例えば２周波振動子のような異なる複数の振動周波数出
力が可能な振動子を用いたので、均一洗浄の達成とワー
クに対応した洗浄との両立を図ることができる効果があ
る。
【００２２】図２は洗浄装置の他の実施例を示し、図１
の実施例にあってはタンク底面をＶ字状に形成したが、
図２に示すこの実施例においてはタンク底面を四角錐形
状に形成し、合計４つの各面２０，２１，２２（但し、
図２においては３面のみを示す）にそれぞれ上述同様の
２周波振動子１６，１７，１９を設置して、液中におい
て超音波集束領域Ｂを構成したものである。このように
タンク底面を角錐形状に形成すると、超音波集束領域Ｂ
における超音波エネルギ密度をさらに高めることができ
るので、洗浄効果のより一層の増大を図ることができ
る。
の実施例にあってはタンク底面をＶ字状に形成したが、
図２に示すこの実施例においてはタンク底面を四角錐形
状に形成し、合計４つの各面２０，２１，２２（但し、
図２においては３面のみを示す）にそれぞれ上述同様の
２周波振動子１６，１７，１９を設置して、液中におい
て超音波集束領域Ｂを構成したものである。このように
タンク底面を角錐形状に形成すると、超音波集束領域Ｂ
における超音波エネルギ密度をさらに高めることができ
るので、洗浄効果のより一層の増大を図ることができ
る。
【００２３】ここで、超音波集束領域Ｂの片寄りを防止
する目的で２周波振動子１６を２８KHz と３９KHz との
２通りに超音波振動させる場合には対面する側の２周波
振動子１７も２８KHz と３９KHz との２通りに超音波振
動させ、２周波振動子１６を２８KHｚで超音波振動させ
る場合には対面する側の２周波振動子１６を３９KHzで
超音波振動させ、かつ別の２周波振動子１９を２８KHz
で超音波振動させると共に、この振動子１９と対面する
側の振動子（図示せず）を３９KHz で超音波振動させる
ことが望まれる。
する目的で２周波振動子１６を２８KHz と３９KHz との
２通りに超音波振動させる場合には対面する側の２周波
振動子１７も２８KHz と３９KHz との２通りに超音波振
動させ、２周波振動子１６を２８KHｚで超音波振動させ
る場合には対面する側の２周波振動子１６を３９KHzで
超音波振動させ、かつ別の２周波振動子１９を２８KHz
で超音波振動させると共に、この振動子１９と対面する
側の振動子（図示せず）を３９KHz で超音波振動させる
ことが望まれる。
【００２４】なお、その他の点については先の実施例と
ほぼ同様の作用、効果を奏するので、図２において図１
と同一の部分には同一符号を付して、その詳しい説明を
省略するが、上述のタンク底面の形状は四角錐形状に代
えて、三角錐形状、五角錐形状、六角錐形状あるいは多
面体形状と成してもよく、多面体形状と成した場合には
全ての面に超音波振動子を設置してもよく、必要とする
任意の面にのみ超音波振動子を設置してもよい。
ほぼ同様の作用、効果を奏するので、図２において図１
と同一の部分には同一符号を付して、その詳しい説明を
省略するが、上述のタンク底面の形状は四角錐形状に代
えて、三角錐形状、五角錐形状、六角錐形状あるいは多
面体形状と成してもよく、多面体形状と成した場合には
全ての面に超音波振動子を設置してもよく、必要とする
任意の面にのみ超音波振動子を設置してもよい。
【００２５】図３は洗浄装置のさらに他の実施例を示
し、図１、図２の各実施例にあってはタンク底面を非平
面に形成したが、図３に示すこの実施例においてはタン
ク底面をフラットな平面に形成する一方、２周波振動子
１６，１７を取付けた時に液中の所定部位において超音
波集束領域Ｂが形成されるようなスラント部２３ａ，２
４ａを有するブラケット２３，２４を設け、タンク底部
に固定した該ブラケット２３，２４のスラント部２３
ａ，２４ａに２周波振動子１６，１７を設置して、上述
の超音波集束領域Ｂを形成したものである。
し、図１、図２の各実施例にあってはタンク底面を非平
面に形成したが、図３に示すこの実施例においてはタン
ク底面をフラットな平面に形成する一方、２周波振動子
１６，１７を取付けた時に液中の所定部位において超音
波集束領域Ｂが形成されるようなスラント部２３ａ，２
４ａを有するブラケット２３，２４を設け、タンク底部
に固定した該ブラケット２３，２４のスラント部２３
ａ，２４ａに２周波振動子１６，１７を設置して、上述
の超音波集束領域Ｂを形成したものである。
【００２６】このように構成しても先の実施例とほぼ同
様の作用、効果を奏するので、図３において前図と同一
の部分には同一符号を付して、その詳しい説明を省略す
る。
様の作用、効果を奏するので、図３において前図と同一
の部分には同一符号を付して、その詳しい説明を省略す
る。
【００２７】この発明の構成と、上述の実施例との対応
において、この発明の超音波振動子は、実施例の２周波
振動子１６，１７，１９に対応するも、この発明は、上
述の実施例の構成のみに限定されるものではない。例え
ば溶剤としてはＨＣ、ＨＦＥ、ＨＦＣ、塩化メチレンを
例示したが、その他の溶剤であってもよく、超音波振動
子の周波数は２８KHz 、３９KHz 以外の周波数であって
もよい。
において、この発明の超音波振動子は、実施例の２周波
振動子１６，１７，１９に対応するも、この発明は、上
述の実施例の構成のみに限定されるものではない。例え
ば溶剤としてはＨＣ、ＨＦＥ、ＨＦＣ、塩化メチレンを
例示したが、その他の溶剤であってもよく、超音波振動
子の周波数は２８KHz 、３９KHz 以外の周波数であって
もよい。
【００２８】また上述の溶剤貯溜タンク１３の構成は一
例であって、上部に溶剤蒸気層および乾燥層が形成され
たような他の超音波槽に適用することができることは云
うまでもない。
例であって、上部に溶剤蒸気層および乾燥層が形成され
たような他の超音波槽に適用することができることは云
うまでもない。
【図１】 この発明の洗浄装置を示す断面図。
【図２】 洗浄装置の他の実施例を示す断面図。
【図３】 洗浄装置のさらに他の実施例を示す断面図。
１３…溶剤貯溜タンク １６，１７，１９…２周波振動子 Ｂ…超音波集束領域 ｅ１，ｅ２…超音波エネルギ
Claims (3)
- 【請求項１】溶剤貯溜タンクに少なくとも２個の超音波
振動子を備え、 これら各超音波振動子から出力されるエネルギが交差す
るように上記超音波振動子を配設した洗浄装置。 - 【請求項２】上記エネルギが交差する超音波集束領域を
溶剤貯溜タンクの液面より所定水深以下の領域に形成し
た請求項１記載の洗浄装置。 - 【請求項３】上記各超音波振動子には異なる複数の周波
数出力が同時に発振可能な振動子を用いた請求項１もし
くは２記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31307096A JPH10137705A (ja) | 1996-11-09 | 1996-11-09 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31307096A JPH10137705A (ja) | 1996-11-09 | 1996-11-09 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10137705A true JPH10137705A (ja) | 1998-05-26 |
Family
ID=18036844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31307096A Pending JPH10137705A (ja) | 1996-11-09 | 1996-11-09 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10137705A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010194471A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Yamaguchi Prefectural Industrial Technology Institute | 霧化装置及びそれを用いた霧化方法 |
| JP2013528477A (ja) * | 2010-04-02 | 2013-07-11 | アドヴェニラ エンタープライジーズ，インコーポレイテッド | ロールコータ |
| CN103769382A (zh) * | 2012-10-17 | 2014-05-07 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 超声波清洗装置 |
| CN110834009A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-02-25 | 天津科技大学 | 一种新型高效超声波清洗机 |
| JP2024119263A (ja) * | 2023-02-22 | 2024-09-03 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
| US12076762B2 (en) | 2009-12-22 | 2024-09-03 | Tech Sonic Limited Partnership | Method and apparatus for ultrasonically cleaning industrial components |
-
1996
- 1996-11-09 JP JP31307096A patent/JPH10137705A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010194471A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Yamaguchi Prefectural Industrial Technology Institute | 霧化装置及びそれを用いた霧化方法 |
| US12076762B2 (en) | 2009-12-22 | 2024-09-03 | Tech Sonic Limited Partnership | Method and apparatus for ultrasonically cleaning industrial components |
| US12365012B2 (en) | 2009-12-22 | 2025-07-22 | Tech Sonic Limited Partnership | Apparatus for cleaning industrial components |
| JP2013528477A (ja) * | 2010-04-02 | 2013-07-11 | アドヴェニラ エンタープライジーズ，インコーポレイテッド | ロールコータ |
| JP2014030826A (ja) * | 2010-04-02 | 2014-02-20 | Advenira Enterprises Inc | ロールコータ |
| US9120122B2 (en) | 2010-04-02 | 2015-09-01 | Advenira Enterprises, Inc. | Roll coatings sol-gel precursors |
| JP2015157289A (ja) * | 2010-04-02 | 2015-09-03 | アドヴェニラ エンタープライジーズ，インコーポレイテッド | ロールコータ |
| CN103769382A (zh) * | 2012-10-17 | 2014-05-07 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 超声波清洗装置 |
| CN110834009A (zh) * | 2019-11-26 | 2020-02-25 | 天津科技大学 | 一种新型高效超声波清洗机 |
| JP2024119263A (ja) * | 2023-02-22 | 2024-09-03 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
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