JPH10142079A - 圧電衝撃センサ - Google Patents

圧電衝撃センサ

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Publication number
JPH10142079A
JPH10142079A JP8305237A JP30523796A JPH10142079A JP H10142079 A JPH10142079 A JP H10142079A JP 8305237 A JP8305237 A JP 8305237A JP 30523796 A JP30523796 A JP 30523796A JP H10142079 A JPH10142079 A JP H10142079A
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JP
Japan
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diaphragm
support
shock sensor
piezoelectric
support portions
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Application number
JP8305237A
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English (en)
Inventor
Hiromi Kakinuma
博美 柿沼
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Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 長い振動板でも、その取り付けによる特性の
ばらつきが生じにくく、そのため歩留まりが高く、しか
も音による誤動作が起こりにくく、感度の高い圧電衝撃
センサ。 【解決手段】 圧電衝撃センサは、金属製のビーム状の
振動板1と、この振動板1の長手方向の一方の端部に取
り付けられ、衝撃に伴う慣性力により振動板1を撓ませ
る錘10と、振動板1の表面に設けられ、同振動板1の
撓みに伴う歪みを電気信号に変換する圧電素子2と、振
動板1を保持する保持部材とを有する。前記振動板1が
その長手方向の一方の端部と中間部において2点で支持
され、圧電素子2が第一の支持部13、37と第二の支
持部23、38の間に設けられ、錘10が振動板1の中
間部を支持した第二の支持部23、38より、他方の端
部側に設けられている。振動板1の一方の端部を支持す
る第一の支持部13、37は、振動板1を単純支持また
は固定支持するものとし、振動板1の中間部を支持する
第二の支持部23、38は、振動板1を単純支持するも
のとする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、衝撃を検知する衝
撃センサに関し、特に、金属ビーム状の振動板の一端を
支持し、振動板の他端に、衝撃に伴う慣性力により振動
板を撓ませる錘を設け、振動板の表面に、その撓みに伴
う歪みを電気信号に変換する圧電素子を設けた圧電衝撃
センサに関する。
【0002】
【従来の技術】圧電衝撃センサは、金属板状の振動板の
一端または両端を支持し、この振動板の他端に錘を設
け、衝撃により振動板が撓むようにしている。さらに、
この振動板の表面に圧電素子を設け、振動板の撓みに伴
う歪みを電気信号に変換し、この電気信号により振動板
の撓みを検知し、これにより衝撃を検知するものであ
る。従来の圧電衝撃センサは、振動板の一端または両端
を完全に固定した状態でケース等の構造物に支持してい
る。
【0003】
【発明が解決しようとしている課題】振動板の一端を完
全固定した、いわゆる片持ち梁方式の圧電衝撃センサで
は、振動板とその支持部との取付角度がばらつきやす
く、生産上の歩留まりが悪い。特に、この問題は、振動
板の共振周波数を下げるため、振動板を長くすると特に
顕著に現れる。また、このような片持ち梁方式の圧電衝
撃センサでは、周囲の空気の圧力変動によっても振動板
が撓むため、音によって振動板に歪みを生じ、誤動作し
やすい欠点がある。
【0004】振動板の両端を完全固定した、いわゆる両
端固定梁方式の圧電衝撃センサでは、振動板の両端が固
定されているため、振動板の固有振動数が高く、低い共
振周波数振が得ずらい。換言すると、所要の共振周波数
を得るためには、長い振動板が必要となり、圧電衝撃セ
ンサが大形化してしまう。また、このような両端固定梁
方式の圧電衝撃センサでも、音によって振動板に歪みを
生じ、誤動作しやすい欠点がある。
【0005】本発明は、従来の圧電衝撃センサにおける
前記のような課題に鑑み、長い振動板でも、その取り付
けによる特性のばらつきが生じにくく、そのため歩留ま
りが高く、しかも音による誤動作が起こりにくく、感度
の高い圧電衝撃センサを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、振動板1の一方の端部を単純支持する
かまたは完全固定としたのに加え、振動板1の圧電素子
2を設けた部分と錘10を設けた部分との間を単純支持
するようにした。すなわち、圧電衝撃センサは、ビーム
状の振動板1と、この振動板1に取り付けられ、衝撃に
伴う慣性力により振動板1を撓ませる錘10と、振動板
1の表面に設けられ、同振動板1の撓みに伴う歪みを電
気信号に変換する圧電素子2と、振動板1を保持する保
持部材とを有する。そして本発明による圧電衝撃センサ
は、振動板1がその長手方向の一方の端部と中間部との
2点において保持部材に支持され、圧電素子2が第一の
支持部13、37と第二の支持部23、38との間に設
けられ、錘10が振動板1の中間部を支持した第二の支
持部23、38より、他方の端部側に設けられているこ
とを特徴とする。
【0007】ここで、振動板1の一方の端部を支持する
第一の支持部13、37は、振動板1を単純支持または
固定支持するものとし、振動板1の中間部を支持する第
二の支持部23、38は、振動板1を単純支持するもの
とする。振動板1を支持する保持部材は、一般的にはケ
ースであり、例えば、振動板1はその支持部13、2
3、37、38において、他の部分より十分撓みやすい
腕4、6により支持部材に支持されている。腕4、6
は、振動板1の他の部分より幅が狭く、或いは断面積を
小さくすることにより、剛性が小さくなり、振動板1の
他の部分より撓みやすくなる。
【0008】このような本発明による圧電衝撃センサで
は、振動板1が、その長手方向の一方の端部と中間部と
の2点で支持されているため、振動板1の取り付けによ
る振動特性のばらつきを少なくすることができる。ま
た、圧電衝撃センサの有感周波数は、1KHz以下であ
るが、その場合の振動板1の長さは数cm程度である。
他方、圧電衝撃センサの誤動作の原因となる音の波長は
数十cmであり、振動板1の長さに比べて十分に長い。
このため、振動板1の中間部を支持した第二の支持部2
3、38の両側では、同じ位相の音を受ける。このと
き、振動板1の第二の支持部23、38で支持された中
間部の両側では、歪みが互いに逆方向となる。そのた
め、歪みが互いに相殺され、音に対する感度が低くな
る。このため、音による圧電衝撃センサの誤動作が起こ
りにくい。さらに、振動板1の中間部を支持する第二の
支持部23、38は、単純支持となっているため、振動
板1が撓んだときにそのその第二の支持部23、38で
支持された部分が変曲点とならない。このため、振動板
1が振動しやすく、高い感度が得られる。
【0009】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について、具体的且つ詳細に説明する。
図1及び図2に示す例において、振動板1は、弾力があ
ってコシのある例えば隣青銅板などの金属板からなり、
プレスなどによって、図1に示すような矩形のビーム状
に形成されている。この振動板1の一方の端部側の幅方
向の両側からは、他の部分より幅の狭い腕4、4が延長
状に突設されており、この腕4、4に位置決め孔5、5
が穿孔されている。
【0010】さらに、振動板1の長手方向の中間部の幅
方向の中央部には、前記の腕4、4が設けられたのと反
対側の端部側に開いたコ字形の切欠7と、このコ字形の
切欠7の開いた側の端部と対向して振動板1の幅方向に
設けられたI字形の切欠8とが形成されている。これら
切欠7、8により囲まれた部分は、切欠7、8の間のご
く幅の狭い部分を残して振動板1の他の部分と分離され
た腕6となっている。この腕6の中央部には、後述する
ねじ21を貫通するための通孔9が設けられている。
【0011】この振動板1の表面の前記の腕4、4と腕
6との間には、圧電素子2が取り付けられている。この
圧電素子2は、円板状の圧電セラミックからなる圧電体
の両主面に金属膜からなる電極を設け、この片側の電極
を振動板1の表面に導電接着したものである。図1にお
いて、符号3は、圧電体の表面に設けた電極3であっ
て、振動板1の表面に導電固着されていない方のものを
示す。この圧電素子2の圧電体は、振動板1の表面に設
けた圧電膜であってもよい。
【0012】振動板1の腕4、4が設けられたのと反対
側の端部と腕6との間には、錘10が取り付けられてい
る。図示の錘10は、直方体の金属の塊からなり、振動
板1の表面に固定されている。ケースは、一対のハーフ
11、18からなり、これらハーフ11、18は、その
周囲の段部17を互いに嵌め込むことにより、所定の位
置で嵌合され、箱形のケースが構成される。
【0013】ケースの下側のハーフ11は、上面を開口
した箱形容器であり、その一方の端部の幅方向の中央上
面にねじ穴15が設けられている。さらに、このハーフ
11の端部に、縁部より一段低くなった平面状の第一の
支持部13が設けられ、この第一の支持部13は、前記
振動板1の端部形状に対応している。すなわち、この第
一の支持部13の幅方向の両側に前記振動板1の端部の
腕4、4の形状に対応する凹部が設けられ、この凹部に
位置決め穴14、14が設けられている。
【0014】ケースの下側のハーフ11の内部底面の中
央、具体的には前記振動板1の中間部の腕6に対応する
位置に、底面から隆起した台形円錐状の第二の支持部2
3が形成されている。この第二の支持部23の上面中心
には、ねじ穴16が設けられている。これら第一と第二
の支持部13、23を除くハーフ11の側壁及び端壁に
囲まれた部分は、振動板1が振動できるように空間とな
っている。
【0015】ケースの上側のハーフ18は、下面を開口
した箱形容器である、図2に示すようにその一方の端部
と中間部であって、前記下側のハーフ11の第一の支持
部13と第二の支持部23とに対応する部分にそれぞれ
第一と第二の支持部37、38が設けられており、これ
ら第一と第二の支持部37、38には、それぞれねじ孔
22、22(図1の符号を参照)が設けられている。こ
れら第一と第二の支持部37、38を除くハーフ18の
側壁及び端壁に囲まれた部分は、振動板1が振動できる
ように空間となっている。
【0016】この第一と第二の支持部37、38の部分
には、金属導体製の端子19、20が埋め込まれてい
る。図2に示されたように、この端子19、20の下端
は、ケースの上側のハーフ18の内部に導出され、それ
ぞれ第一と第二の支持部37、38の下端に添うように
L字形に曲げられている。このうち、第一の支持部37
に埋め込まれた端子の下端は、第一の支持部37から第
二の支持部38側に延び、先端近くの部分に、下方に突
になるよう湾曲した接触部24が形成されている。
【0017】このような構成部材からなる圧電衝撃セン
サは、次のようにして組み立てられる。まず、ケースの
上下のハーフ11、18を分離した状態で、振動板1の
一方の端部の幅方向の両側の腕4、4を、ハーフ11の
第一の支持部13の両側の凹部に乗せて、位置決め孔
5、5と位置決め孔14、14を位置合わせする。ま
た、振動板1の長手方向の中間部の幅方向の中央部の腕
6を第二の支持部23の上に乗せ、それらのねじ孔6と
ねじ穴16とを位置合わせする。
【0018】次に、ケースの上側のハーフ18を下側の
ハーフ11の上に乗せ、それらの周囲の段部17を互い
に嵌め込んで互いに位置合わせする。この状態では、振
動板1の端部の腕4、4が上下のハーフ11、18の第
一の支持部13、37に挟持されると共に、振動板1の
中央部の腕6が第二の支持部23、38に挟持される。
また、上側のハーフ18のねじ孔22、22がそれぞれ
下側のハーフ11のねじ孔15、16に位置合わせされ
る。端子19のL字形の曲がった下端は、その下方に突
になった接触部24が圧電素子2の電極3の表面に接触
されて電気的に接続される。また、端子20のL字形に
曲がった下端は、その下面が振動板1の腕6の部分に接
触し、電気的に接続される。この状態で、上側のハーフ
18のねじ孔22、22からねじ21、21をねじ込
み、これを下側のハーフ11のねじ穴15、16にねじ
込むことにより、一対のハーフ11、18が固定され、
圧電衝撃センサが完成する。
【0019】このような圧電衝撃センサでは、振動板1
がその長手方向の一方の端部と中間部との2個所で第一
の支持部13、37と第二の支持部23、38に支持さ
れているいるので、振動板1を取り付けしやすく、取付
位置のずれ等に起因する振動特性のばらつきが生じにく
い。他方振動板1は、他の部分より十分幅が狭く、断面
積が小さい腕4、4、6の部分でハーフ11、18の第
一の支持部13、37と第二の支持部23、38に支持
されているので、自由度が高く、何れもほぼ単純支持さ
れた状態となる。このように支持された状態を図3に模
式的に示す。すなわち、振動板1は、その長手方向の一
方の端部が第一の支持部13、37により単純支持さ
れ、その中間部が第二の支持部23、38により単純支
持されている。そして、振動板1の単純支持された一方
の端部と中間部との間に圧電素子が設けられ、中間部よ
り他方の端部側に錘18が設けられている。
【0020】図4(a)は、このように振動板1の長手
方向の一方の端部と中間部が単純支持された状態で、加
速度を受て、振動体板1に設けた錘18の慣性力によ
り、振動板1が撓んだ状態を示す。他方、図4(b)
は、振動板1の長手方向の一方の端部が第一の支持部1
3’、37’で完全固定され、振動板1の中間部が単純
支持された状態で、加速度を受て、振動板1に設けた錘
18の慣性力により、振動板1が撓んだ状態を示す。何
れも、振動板1の中間部を支持する第二の支持部23、
38が単純支持となっているため、振動板1が撓んだと
きにその振動板1の第二の支持部23、38で支持され
た個所が変曲点とならない。このため、振動板1が振動
しやすく、高い感度が得られる。このような振動板1の
撓みにより発生する歪みをその表面に設けた圧電素子が
感知し、これが前記端子19、20の間で電気信号とし
て取り出すことができる。
【0021】図5は、前記振動板1が音による空気の圧
力変動を受けたときの状態を模式的に示す、図5(a)
が第一の支持部13、37と第二の支持部23、38の
間の部分に音圧を受けた時の状態を、図5(b)が第二
の支持部23、38の先の錘18を取り付けた部分に音
圧を受けた時の状態をそれぞれ示す。既に述べた通り、
圧電衝撃センサの有感周波数は、1KHz以下である
が、その場合の振動板1の長さは数cm程度である。他
方、圧電衝撃センサの誤動作の原因となる音の波長は数
十cmであり、振動板1の長さに比べて十分に長い。そ
のため、振動板1の長手方向の中間部を支持した第二の
支持部23、38の両端側では、同じ位相の音を受け
る。このとき、振動板1はその中間部が第二の支持部2
3、38で単純支持され、変曲点が形成されないため、
音圧によりその両側に発生する歪みは互いに他方側に及
び、しかもそれらは互いに逆方向となる。すなわち、図
5(a)に示されたように、振動板1の第一と第二の支
持部13、37、23、38の間の部分に音圧を受けた
時は、振動板1の中間部が下に凸になるように撓もうと
する。他方、図5(b)に示されたように、第二の支持
部23、38の先の錘18を取り付けた部分に音圧を受
けた時は、振動板1の中間部が上に凸になるように撓も
うとする。そしてこの歪みは、互いに他方側に及ぶた
め、それら歪みが互いに相殺される。従って、振動板1
の音に対する感度が低くなり、音による圧電衝撃センサ
の誤動作が起こりにくくなる。
【0022】図6は、本発明による圧電衝撃センサの他
の例を示すもので、ここでは、振動板1の長手方向の一
方の端部と中間部とを、上側のハーフ18で押さえ付け
ず、下側のハーフ11の端部と中間部とに設けた第一と
第二の支持部13、23に接着剤で取り付けている。さ
らに、端子19、20は、下側のハーフ11の第一と第
二の支持部13、23の部分に埋め込み、それらの上端
を半田25、26でそれぞれ圧電素子2の表面に設けた
電極3と振動板1の表面とに半田付けしている。
【0023】図7は、本発明による圧電衝撃センサの他
の例を示すもので、ここでは、振動板1の長手方向の一
方の端部と中間部のそれぞれ幅方向の両側に腕4、4、
6、6を突設している。そして、この突起状の腕4、
4、6、6を、ケースの下側のハーフ11の側壁に設け
た凹状の切欠きからなる第一と第二の支持部13、23
と、上側のハーフ18の側壁から突設した突起状の第一
と第二の支持部37、38との間に挟持して支持してい
る。すなわち、振動板1の幅方向の両側に突設された腕
4、4、6、6は、ケースの下側のハーフ11の側壁に
設けられた切欠き状の第一の支持部13、23に嵌め込
まれる。さらに、上下のハーフ11、18が組み合わせ
られるとき、上側のハーフ18の突起状の支持部37、
38が下側のハーフ11の支持部13、23に挿入さ
れ、それらの間に腕4、4、6、6が挟持される。これ
ら支持部13、23の底部及び支持部37、38の先端
部は、山状に尖っており、その尖った先端部で腕4、
4、6、6が挟持される。このため、振動板1の他の部
分より幅が狭く、断面積が小さい腕4、4、6、6が点
状に挟持されるため、振動板1は、それら支持部13、
23、37、38においてほぼ完全に単純支持された状
態となる。なお、この図7に示し例では、圧電素子2の
電極3と振動板1とは、ケースの外側に引き出されたリ
ード線32により回路との接続がなされる。
【0024】図8は、本発明による圧電衝撃センサの他
の例を示すもので、その基本的な構成は前記図7の実施
例と同じである。すなわち、振動板1の長手方向の一方
の端部と中間部のそれぞれ幅方向の両側に腕4、4、
6、6を突設し、この突起状の腕4、4、6、6を、ケ
ースの下側のハーフ11の側壁に設けた凹状の切欠きか
らなる第一の支持部13及び第二の支持部23と、上側
のハーフ18の側壁から突設した突起状の第一の支持部
37及び第二の支持部38との間に挟持して支持してい
る。
【0025】図7の実施例と異なっているのは、振動板
1の一方の端部において、振動板1から腕4、4を直接
突設せず、振動板1の端部に電気的に絶縁状態で取り付
けた金属導体からなる端子板35から幅方向の両側に腕
4、4を突出している。そして、この端子板35は、接
続部39を介して圧電素子2の表面の電極3に接続され
ている。この端子板3には、振動板1に対して電気的に
絶縁状態となったピン状の端子31、31の上端が半田
付けされ、この端子31、31が下方に突設されたてい
る。また、振動板1の中間部には、やはりピン状の端子
34、34の上端が半田付けされ、この端子34、34
が振動板1から下方に突設されている。この圧電衝撃セ
ンサの基本的な組み立て態様は、前記図8と概ね同様で
あるが、端子31、31、34、34は、ケースの下側
のハーフの11の底壁に設けた引出孔40からケースの
外部に引き出され、回路に接続される。
【0026】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明による圧電衝
撃センサでは、長い振動板でも、その取り付けによる特
性のばらつきが生じにくく、そのため歩留まりが高く、
しかも音による誤動作が起こりにくく、感度の高い圧電
衝撃センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による圧電衝撃センサの例を示す分解斜
視図である。
【図2】同圧電衝撃センサの例を示す中央縦断側面図で
ある。
【図3】同圧電衝撃センサの例の振動板の支持状態示す
模式図である。
【図4】圧電衝撃センサの振動板の長手方向の一方の端
部及び中間部を単純支持した例と、一方の端部を完全固
定とし、中間部を単純支持した例の衝撃を受けたときの
振動板の撓み状態を示す模式図である。
【図5】前記圧電衝撃センサの振動板の長手方向の一方
の端部及び中間部を単純支持したときの、音圧を受けた
ときの振動板の撓み状態を示す模式図である。
【図6】本発明による圧電衝撃センサの他の例を示す縦
断側面図である。
【図7】本発明による圧電衝撃センサの他の例を示す分
解斜視図である。
【図8】本発明による圧電衝撃センサの他の例を示す分
解斜視図である。
【符号の説明】
1 振動板 10 錘 2 圧電素子 11 ケースの下側のハーフ 13 ケースの下側のハーフの第一の支持部 23 ケースの下側のハーフの第二の支持部 18 ケースの上側のハーフ 37 ケースの下側のハーフの第一の支持部 38 ケースの下側のハーフの第二の支持部

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ビーム状の振動板(1)と、この振動板
    (1)に取り付けられ、衝撃に伴う慣性力により振動板
    (1)を撓ませる錘(10)と、振動板(1)の表面に
    設けられ、同振動板(1)の撓みに伴う歪みを電気信号
    に変換する圧電素子(2)と、振動板(1)を保持する
    保持部材とを有する圧電衝撃センサにおいて、振動板
    (1)がその長手方向の一方の端部と中間部との2点に
    おいて保持部材に支持され、圧電素子(2)が第一の支
    持部(13)、(37)と第二の支持部(23)、(3
    8)との間に設けられ、錘(10)が振動板(1)の中
    間部を支持した第二の支持部(23)、(38)より、
    他方の端部側に設けられていることを特徴とする圧電衝
    撃センサ。
  2. 【請求項2】 第一の支持部(13)、(37)が、振
    動板(1)の一方の端部を単純支持するかまたは固定支
    持していることを特徴とする請求項1に記載の圧電衝撃
    センサ。
  3. 【請求項3】 第二の支持部(23)、(38)が、振
    動板(1)の中間部を単純支持していることを特徴とす
    る請求項1に記載の圧電衝撃センサ。
  4. 【請求項4】 振動板1は、その支持部(13)、(2
    3)、(37)、(38)において、他の部分より十分
    撓みやすい腕(4)、(6)により支持部材に支持され
    ていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の
    圧電衝撃センサ。
  5. 【請求項5】 振動板1は、その支持部(13)、(2
    3)、(37)、(38)において、他の部分より十分
    断面積の小さな腕(4)、(6)により支持部材に支持
    されていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記
    載の圧電衝撃センサ。
  6. 【請求項6】 振動板1は、その支持部(13)、(2
    3)、(37)、(38)において、他の部分より十分
    幅の狭い腕(4)、(6)により支持部材に支持されて
    いることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の圧
    電衝撃センサ。
  7. 【請求項7】 振動板(1)を支持する保持部材が、ケ
    ースであることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記
    載の圧電衝撃センサ。
JP8305237A 1996-11-15 1996-11-15 圧電衝撃センサ Pending JPH10142079A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP5579190B2 (ja) * 2009-10-07 2014-08-27 Necトーキン株式会社 圧電式加速度センサ
CN115360292A (zh) * 2022-09-20 2022-11-18 上海凸申科技有限公司 一种压电薄膜传感器

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