JPH10142772A - ペリクル収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 サイズの異なるペリクルもがたつきを生じる
ことなく収容でき、大きさの異なるペリクルに対する汎
用性に優れたペリクル収納容器を提供する。 【解決手段】 容器本体１０の周縁に嵌合部１１を、内
底部に載置凸部１２を平面視枠状に突設し、この載置凸
部１２上にペリクルフレームＦをペリクルＰ平面方向に
位置決めして載置可能な３つ条溝１３Ａ，１３Ｂ，１３
Ｃをそれぞれ同心状に形成するとともに、蓋２０の周縁
部に嵌合部２１を、中間部に弾性変形可能な略テーパ状
の押圧部２４を形成し、１つのペリクルフレームＦをそ
の大きさに対応する条溝１３に載置した後、蓋２０を容
器本体１０に被せて嵌合部１１，２１を嵌合させ、蓋２
０の押さえ部２４によりペリクルフレームＦを押圧保持
するように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ＩＣやＬＳＩ等
の製造に際して使用されるフォトマスクやレチクルの表
面への異物の付着を防止するために開発されたペリクル
を収納するペリクル収納容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程において、マスクに描か
れたパターンをウェハに転写する際にはペリクルを用い
てマスクの防塵が図られる。このようなペリクルは、ア
ルミニウム等からなるペリクルフレームに接着され、マ
スク上に装着されて用いられる。そして、パターンの転
写に際しては、ペリクル上に異物が付着しても、紫外線
等の焦点距離がずれるため、異物の像がウェハに転写さ
れることがない。しかし、ペリクルは、マスクの防塵を
目的とするものであるため、異物の付着を防止すること
が望まれる。そこで、このようなペリクルは輸送等に際
してペリクル収納容器に収容し、異物の付着が防止され
る。

【０００３】ところで、ペリクルはマスクと対応した大
きさに形成され、マスクの大きさに応じた各種の大きさ
のペリクルが流通する。そして、ペリクルをペリクル収
納容器に収納した際にペリクルががたつきを生じると発
塵を引き起こし、ペリクルに塵埃が付着するおそれが生
じる。このため、従来では、ペリクルのサイズに合わせ
たペリクル収納容器を用いてがたつきを防止している
が、ペリクル収納容器の製造にはペリクルのサイズに合
わせた金型装置が容器本体と蓋の双方に必要であり、製
造コストが大きいという問題があった。

【０００４】そこで、本出願人にあっては、製造コスト
の低減を目的に、異なる大きさのペリクルもがたつきを
生じることなく収納できるペリクル収納容器を特願平７
−２２７００２号や特願平７−２２７００３号等で先に
提案した。前者の特願平７−２２７００２号には、ペリ
クルを載置可能な平板状の載置部材が着脱交換可能な容
器本体に蓋を組み合わせ、ペリクルの大きさに応じて載
置部材を選択交換して用いるペリクル収納容器が提案さ
れる。また、後者の特願平７−２２７００３号には、ペ
リクルを載置する載置部の大きさが異なる複数種の容器
本体と、載置部上のペリクルフレームを押圧保持可能な
押さえ部が階段状に形成された蓋とを組み合わせ、ペリ
クル（ペリクルフレーム）の大きさに応じて１つの容器
本体を選択して用いるペリクル収納容器が提案される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
特願平７−２２７００２号に提案されるペリクル収納容
器にあっては、ペリクルのサイズに合わせた複数種の載
置部材が必要であるため、これらの載置部材を成形する
金型装置も複数が必要で、満足すべき製造コストの低減
を得られなかった。また、後者の特願平７−２２７００
３号に提案されるペリクル収納容器にあっても、ペリク
ルの大きさに合わせた複数種の容器本体を成形しなけれ
ばならず、容器本体の成型用の金型装置が複数種必要で
あり、製造コストの低減が十分ではなかった。さらに、
前者と後者を組み合わせてペリクル収納容器を構成して
も、前者のペリクル収納容器の問題、すなわち、複数種
の載置部材が必要という問題は解決されず、製造コスト
のさらなる低減は不可能であった。この発明は、上記問
題に鑑みてなされたもので、サイズの異なるペリクルも
がたつきを生じることなく収容でき、大きさの異なるペ
リクルに対する汎用性に優れたペリクル収納容器を提供
することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、ペリクルフレームに張設されたペリク
ルを容器本体上に載置し、該容器本体を蓋により被って
防塵するペリクル収納容器において、前記容器本体の底
部に平面視枠状に膨出させて載置凸部を形成し、該載置
凸部の上面に全周にわたって連続する複数の条溝を大き
さの異なる複数種のペリクルフレームが選択的に嵌合可
能に形成するとともに、前記蓋に前記載置凸部上のペリ
クルフレームを押圧保持可能な押圧部を形成した。

【０００７】そして、この発明にかかるペリクル収納容
器は、前記複数の条溝に高低差を設けて階段状に形成す
る態様（請求項２）に、望ましくは、外側の条溝が低く
なるように形成する態様に、また、前記蓋の押さえ部を
断面階段状に形成、すなわち、前述した特願平７−２７
００３号に提案される蓋の構造を採用する態様（請求項
３）に構成することができる。

【０００８】ペリクルは、透光性を有する薄膜、具体的
には、厚みが数ミクロンから数十ミクロン程度のニトロ
セルロース等の薄膜であり、ペリクルフレームに接着さ
れて輸送され、また、使用される。ペリクルフレーム
は、アルミニウム（合金）等からなり、一面側にペリク
ルの周縁部が接着される。

【０００９】容器本体および蓋は、ポリプロピレン（Ｐ
Ｐ）系、ポリスチレン（ＰＳ）系、アクリル系、ポリカ
ーボネート系、ポリエステル系またはアクリロニトリル
−ブタジエン−スチレン（ＡＢＳ）系等の熱可塑性若し
くは熱硬化性樹脂、好ましくは、熱可塑性の帯電防止樹
脂あるいは熱可塑性エラストマを用い、射出成形等によ
り、すなわち、金型を用いて各部が一体成形される。こ
れら容器本体と蓋は同一あるいは異種の樹脂から構成す
ることも任意であるが、組み合わせとしては、容器本体
がＡＢＳ系で蓋をアクリル系、あるいは、ＡＢＳ系とＰ
Ｐ系あるいはアクリル系とアクリル系が例示される。

【００１０】容器本体は、その底面部分を表面側に突出
させて上面に複数の条溝を有する載置凸部が形成され、
周縁部に蓋と嵌合する嵌合部が形成される。望ましい態
様としては、載置凸部は容器本体の底部分を膨出成形し
て底部分の載置凸部内側部分を平面的に形成し、また、
複数の条溝は同心状に、さらに、これら条溝は請求項２
に記載されるように高低差を設けて階段状に形成する。
これら条溝は、平面視形状が各種の大きさのペリクルフ
レームをペリクル平面方向に位置決めして載置あるいは
嵌合保持可能に、すなわち、平面視形状を各種のペリク
ルフレームと略一致させて形成される。

【００１１】蓋は、周縁部に容器本体の嵌合部と嵌合可
能な嵌合部が、中央側にペリクルフレームを押圧保持す
る押さえ部が形成される。押さえ部は、上記複数の条溝
に載置される可能性がある全てのペリクルフレームを押
圧保持可能に、例えば、載置凸部の幅と同等の範囲にわ
たってテーパ状に傾斜する傾斜部として、あるいは、請
求項３に記載される略階段状に傾斜する傾斜部として成
形される。

【００１２】

【作用】この発明にかかるペリクル収納容器は、容器本
体の載置凸部の条溝をそれぞれ異なる大きさのペリクル
フレームに合わせて形成し、条溝の１つに合致するペリ
クルフレームを載置し、条溝の側壁でペリクルフレーム
をペリクル平面方向に位置決めする。そして、容器本体
に蓋を被せ、容器本体の嵌合部と蓋の嵌合部とを嵌着さ
せ、蓋の押さえ部によりペリクルフレームを押圧保持す
る。このため、大きさの異なるペリクルフレームもがた
つきを生じることなく収容でき、輸送時等の発塵を防止
でき、容器内でペリクルに異物が付着することが防止さ
れる。そして、容器本体と蓋、すなわち、異なる大きさ
に対応した容器本体と蓋がそれぞれ１つの金型で成形で
きるため、安価に製造できる。

【００１３】

【実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図面を参
照して説明する。図１から図４はこの発明の一の実施の
形態にかかるペリクル収納容器を示し、図１が蓋を半部
を取り除いた状態の平面図、図２が図１のＡ−Ａ矢視断
面図、図３が図２の一部を拡大した部分断面図、図４が
図３と異なる大きさのペリクルフレームを収納した状態
の部分断面図である。

【００１４】図中、Ｐはペリクル、ＲはペリクルＰを収
容するペリクル収納容器を示す。ペリクルＰは、ニトロ
セルロース等の薄膜からなり、周縁がペリクルフレーム
Ｆの一面に接着される。ペリクルフレームＦは、アルミ
ニウム（合金）等から平面視矩形の枠状に形成される。
なお、この実施の形態では、ペリクルＰおよびペリクル
フレームＦに付いてそれぞれ大きさの異なる３種（必要
に応じて，Ａ，Ｂ，Ｃで表す）を例示する。

【００１５】ペリクル収納容器Ｒは、容器本体１０と蓋
２０からなり、これら容器本体１０と蓋２０が前述した
熱可塑性帯電防止樹脂の射出成形等で成形される。容器
本体１０は、平面視矩形の板状をなし、周縁部に全周に
わたって嵌合部１１が形成される。この嵌合部１１は、
容器本体１０の周縁部分を略直角に上方へ屈曲させてな
り、内側面に蓋２０の後述する嵌合部が嵌着する。な
お、図２中、１９は容器本体１０の裏面に形成された脚
である。

【００１６】また、容器本体１０は、嵌合部１１の内側
に表面側へ凸の載置凸部１２が嵌合部１１と平面視略相
似の枠状に膨出成形され、この載置凸部１２の内側部分
が表裏ともに平面、すなわち、平板状をなす。載置凸部
１２は、断面略矩形状をなし、上面に３条の条溝１３
Ａ，１３Ｂ，１３Ｃが同心状に形成される。これら条溝
１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃはそれぞれ、異なる大きさのペ
リクルフレームＦＡ，ＦＢ，ＦＣと対応し、幅寸法が対
応するペリクルフレームＦＡ，ＦＢ，ＦＣの幅寸法と若
干小さく、また、対応するペリクルフレームＦＡ，Ｆ
Ｂ，ＦＣと略等しい平面形状を有する。

【００１７】蓋２０は、周縁に嵌合部２１を、中央に天
蓋部２２を有し、これら嵌合部２１と天蓋部２２が下側
テーパ部２３、押さえ部２４および上側テーパ部２５を
介して一体に連続する。嵌合部２１は、蓋の周縁部分を
略Ｕ字状に屈曲してなり、蓋２０の被蓋時に容器本体１
０の嵌合部１１に嵌着する。下側テーパ部２３は比較的
大きな傾斜角度で傾斜し、上側テーパ部２５は比較的小
さな傾斜角度で傾斜する。

【００１８】図３，４に示すように、押さえ部２４は、
小さな傾斜角度で傾斜し、上記テーパ部２３，２５間に
連続する。この押さえ部２４は、上述した載置凸部１２
の幅寸法と略同等あるいはより大きな平面視幅寸法Ｗを
有し、蓋２０が容器本体１０を被う被蓋時に条溝１３Ａ
に載置されたペリクルフレームＦＡ、条溝１３Ｂに載置
されたペリクルフレームＦＢあるいは条溝１３Ｃに載置
されたペリクルフレームＦＣのいずれを押圧保持可能に
形成される。なお、この押さえ部２４は、上述した形状
および後述する実施の形態の形状に限られるものではな
く、収納するペリクルフレームＦの大きさ等に応じて適
当な形状に成形することが可能であり、また、後述する
図５に示すように載置凸部１２の条溝１３Ａ，１３Ｂ，
１３Ｃと対応した３つの成形部分を階段状に形成するこ
とも可能である。

【００１９】この実施の形態にかかるペリクル収納容器
Ｒにあっては、ペリクルフレームＦＡ，ＦＢ，ＦＣのい
ずれか１つを収納でき、ペリクルフレームＦＡは容器本
体１０の条溝１３Ａに載置し、以下同様に、ペリクルフ
レームＦＢは条溝１３Ｂに、ペリクルフレームＦＣは条
溝１３Ｃに載置する。ここで、条溝１３に載置されたペ
リクルフレームＦは条溝１３の両側壁あるいはいずれか
一方の側壁によりペリクル平面方向に位置決めされる。

【００２０】次いで、このペリクルフレームＦが載置さ
れた容器本体１０に蓋２０を被せて嵌合部１１，２１を
嵌着すると、ペリクルフレームＦは蓋２０の押さえ部２
４により押圧保持される。すなわち、ペリクルフレーム
ＦＡには押さえ部２４の径方向内側部分が弾性的に接触
して保持され、ペリクルフレームＦＢには押さえ部２４
の径方向中間部分が弾性的に接触して保持され（図３参
照）、ペリクルフレームＦＣには押さえ部２４の径方向
外側部分が弾性的に接触して保持される（図４参照）。

【００２１】そして、このペリクル収納容器Ｒは、何ら
改変することなく３種のペリクルＰＡ，ＰＢ，ＰＣを収
納すること、すなわち、同一の容器本体１０と蓋２０を
用いて３種のペリクルＰＡ，ＰＢ，ＰＣを収納すること
ができる。したがって、容器本体１０と蓋２０をそれぞ
れ同一の金型を用いて成形でき、ペリクル収納容器Ｒの
製造コストを低減できる。

【００２２】図５はこの発明の他の実施の形態にかかる
ペリクル収納容器を示し、一部を拡大した部分断面図で
ある。なお、この実施の形態においては、前述した実施
の形態と同一の部分には同一の符号を付して説明と図示
を割愛する。

【００２３】この実施の形態においては、容器本体１０
は載置凸部１２の３つの条溝１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃが
高低差をもって断面階段状に形成され、径方向外側の条
溝１３Ｃが最も低い位置に位置する。そして、これら条
溝１３Ａの両側にそれぞれ側壁となる突条１４ａ，１４
ｂが、条溝１３Ｂの径方向外側の縁には側壁となる突条
１４ｃが、条溝１３Ｃの径方向外側の縁には側壁となる
突条１４ｄが一体に形成される。

【００２４】また、蓋２０は、押さえ部２４が傾斜角度
が比較的小さな３つの押さえ部分４１Ａ，４１Ｂ，４１
Ｃと、これら押さえ部分４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ間の傾
斜角度が比較的大きな段差部分４２ａ，４２ｂとを有す
る。押さえ部分４１Ａは被蓋時に条溝１３Ａ上のペリク
ルフレームＦＡを押圧保持し、同様に、押さえ部分４１
Ｂは条溝１３Ｂ上のペリクルフレームＦＢを、押さえ部
分４１Ｃは条溝１３Ｃ上のペリクルフレームＦＣを押圧
保持する。なお、上述した段差部分４２Ａ，４２Ｂの傾
斜角度は異ならせることも可能である。また、この蓋２
０は前述した特願平７−２２７００３号に提案されるも
のと基本的思想は同一であり、その詳細な説明は割愛す
る。

【００２５】この実施の形態にかかるペリクル収納容器
Ｒにあっても、３種のペリクルフレームＦＡ，ＦＢ，Ｆ
Ｃのいずれか１つを同一の容器本体１０と蓋２０を用い
て何ら改造を施すことなく収容できる。したがって、容
器本体１０や蓋２０の成形に複数の金型が不要で、安価
に製造できる。特に、この実施の形態は、各条溝１３を
外側の条溝１３Ｃが低くなる階段状に形成するため、マ
スクへの装着に際してのロボット等による取出が容易に
行える。

【００２６】なお、条溝１３の側壁（突条１４ａ〜１４
ｄ等）は必ずしも連続した突条とする必要はなく、間欠
的に、すなわち、条溝１３の側壁を一定間隔で所定長さ
ずつ所定深さに切り欠くことも可能であり、条溝１３の
側壁を切り欠くことでロボットによるペリクルＰの取出
も容易に行える。また、上述した実施の形態にかかるペ
リクル収納容器Ｒは、いずれも３種のペリクルフレーム
ＦＡ，ＦＢ，ＦＣの１つを選択的に収納できる構造であ
るが、条溝の数とそれに対応する側壁（突条）並びに押
さえ部の数を増減することにより２種あるいは４種以上
のペリクルフレームから１つを選択的に収納できるよう
に構成することも可能である。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明にかかる
ペリクル収納容器によれば、容器本体の内底部に載置凸
部を枠状に突設し、この載置凸部上にペリクルフレーム
をペリクル平面方向に位置決めして載置可能な複数の条
溝をそれぞれ形成するとともに、蓋に条溝に載置された
いずれのペリクルフレームも押圧保持可能な押圧部を形
成するため、１種の容器本体と１種の蓋の組み合わせで
複数種のペリクル（ペリクルフレーム）の収納に共用す
ることができ、大きさの異なるペリクルに対して優れた
汎用性が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一の実施の形態にかかるペリクル収
納容器の蓋の半部を取り除いた状態の平面図である。

【図２】同ペリクル収納容器の図１中のＡ−Ａ矢視断面
図である。

【図３】同ペリクル収納容器の一部を拡大した断面図で
ある。

【図４】同ペリクル収納容器の図３と異なる大きさのペ
リクルを収納した状態を示す一部拡大断面図である。

【図５】この発明の他の実施の形態にかかるペリクル収
納容器の一部を拡大した断面図である。

【符号の説明】

１０ 容器本体 １１ 嵌合部 １２ 載置凸部 １３Ａ 条溝 １３Ｂ 条溝 １３Ｃ 条溝 ２０ 蓋 ２１ 嵌合部 ２４ 押さえ部 ４１Ａ 押さえ部分 ４１Ｂ 押さえ部分 ４１Ｃ 押さえ部分 ＦＡ ペリクルフレーム ＦＢ ペリクルフレーム ＦＣ ペリクルフレーム Ｐ ペリクル Ｒ ペリクル収納容器

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ペリクルフレームに張設されたペリクル
   を容器本体上に載置し、該容器本体を蓋により被って防
   塵するペリクル収納容器において、 前記容器本体の底部に平面視枠状に突出させて載置凸部
   を形成し、該載置凸部の上面に全周にわたって連続する
   複数の条溝を大きさの異なる複数種のペリクルフレーム
   が選択的に嵌合可能に形成するとともに、 前記蓋に前記載置凸部上のペリクルフレームを押圧保持
   可能な押圧部を形成したことを特徴とするペリクル収納
   容器。
2. 【請求項２】 前記複数の条溝に高低差を設けて階段状
   に形成した請求項１に記載のペリクル収納容器。
3. 【請求項３】 前記蓋の押さえ部が断面階段状に形成さ
   れた傾斜部である請求項１または請求項２に記載のペリ
   クル収納容器。