JPH10143660A

JPH10143660A - 欠陥判定処理方法およびその装置

Info

Publication number: JPH10143660A
Application number: JP8298713A
Authority: JP
Inventors: Hisae Yamamura; 久恵山村; Yukio Matsuyama; 幸雄松山; Toshifumi Honda; 敏文本田; Ristour Ledwig; リストゥルルードヴィッヒ
Original assignee: Hitachi Ltd; Siemens Corp
Current assignee: Hitachi Ltd; Siemens Corp
Priority date: 1996-11-11
Filing date: 1996-11-11
Publication date: 1998-05-29
Also published as: US6333992B1; EP0841558A2; EP0841558A3

Abstract

(57)【要約】【課題】本課題は、各検査ウィンドウによって切り出さ
れた検出画像に対して画像処理パラメータおよび欠陥判
定パラメータの最適化をはかって良品虚報または欠陥見
逃しをなくして高信頼度の欠陥判定ができるようにした
欠陥判定処理方法およびその装置を提供することにあ
る。【解決手段】本発明は、検出された画像に対して予め指
定された複数の検査ウィンドウが示す範囲について画像
データ生成手段５により切り出して記憶手段６に記憶
し、前記複数の検査ウィンドウの各々に対してウィンド
ウデータ生成手段７により検査条件を付加したウィンド
ウデータを生成して記憶手段６に記憶し、前記記憶手段
６から各検査ウィンドウが示す範囲の検出画像を読出し
て特徴抽出部４１において各ウィンドウデータによって
得られる検査条件に適合する画像処理パラメータ６１に
基づいて構造的特徴パラメータ５６を抽出し、この抽出
された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部４２に
おいて前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータ６２
に基づいて欠陥判定することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、検出画像から必要
な画像データを選択的に収集し、この収集された画像デ
ータに対して画像処理を施して欠陥判定を行う欠陥判定
処理方法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の外観検査においては、例えば部品
実装基板など被検査対象物に対して検査ポイントの位置
情報などを予め検査ウィンドウデータとして登録してお
き、検査ポイントを含む画像を検出し、検査ウィンドウ
データが示す範囲の画像処理によって欠陥判定を行う手
法が知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術におい
て、画像処理や欠陥判定に用いるパラメータ数が多く、
しかも、多種多様な部品に対応するパラメータを別々に
設定する必要があるため、パラメータの最適化に時間が
かかるという課題を有していた。

【０００４】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決すべく、各検査ウィンドウによって切り出された検出
画像に対して画像処理パラメータおよび欠陥判定パラメ
ータの最適化をはかって良品虚報または欠陥見逃しをな
くして高信頼度の欠陥判定ができるようにした欠陥判定
処理方法およびその装置を提供することにある。また本
発明の他の目的は、各検査ウィンドウによって切り出さ
れた検出画像に対して高信頼度でもって欠陥判定する
際、良品虚報または欠陥見逃しをなくすべく画像処理パ
ラメータおよび欠陥判定パラメータの最適化をはかるよ
うにしたシミュレーションを含む欠陥判定処理方法およ
びその装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、被検査対象物の画像を画像検出手段によ
り検出し、この検出された画像に対して予め指定された
複数の検査ウィンドウが示す範囲について画像データ生
成手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記複数の
検査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生成手
段により検査条件を付加したウィンドウデータを生成し
て記憶手段に記憶し、前記記憶手段から各検査ウィンド
ウが示す範囲の検出画像を読出して特徴抽出部において
前記記憶手段に記憶された前記各検査ウィンドウに対応
する各ウィンドウデータを読出して該各ウィンドウデー
タによって得られる検査条件に適合する画像処理パラメ
ータに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、この抽
出された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部にお
いて前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータに基づ
いて欠陥判定することを特徴とする欠陥判定処理方法で
ある。また本発明は、被検査対象物の画像を画像検出手
段により検出し、この検出された画像に対して予め指定
された複数の検査ウィンドウが示す範囲について画像デ
ータ生成手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記
複数の検査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ
生成手段により検査条件を付加したウィンドウデータを
生成して記憶手段に記憶し、特徴抽出部において前記記
憶手段に記憶された前記各検査ウィンドウに対応する各
ウィンドウデータを読出して該各ウィンドウデータによ
って得られる検査条件に適合する画像処理パラメータを
選択し、更に前記記憶手段から読出される各検査ウィン
ドウが示す範囲の検出画像から前記選択された画像処理
パラメータに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、
欠陥判定部において前記検査条件に適合する欠陥判定パ
ラメータを選択し、前記抽出された構造的特徴パラメー
タに対して前記選択された欠陥判定パラメータに基づい
て欠陥判定することを特徴とする欠陥判定処理方法であ
る。

【０００６】また本発明は、被検査対象物の画像を画像
検出手段により検出し、この検出された画像に対して予
め指定された複数の検査ウィンドウが示す範囲について
画像データ生成手段により切り出して記憶手段に記憶
し、前記複数の検査ウィンドウの各々に対してウィンド
ウデータ生成手段により検査条件を付加したウィンドウ
データを生成して記憶手段に記憶し、前記記憶手段から
各検査ウィンドウが示す範囲の検出画像を読出して特徴
抽出部において前記記憶手段に記憶された前記各検査ウ
ィンドウに対応する各ウィンドウデータを読出して該各
ウィンドウデータによって得られる検査条件に適合する
画像処理パラメータに基づいて構造的特徴パラメータを
抽出し、この抽出された構造的特徴パラメータに対して
欠陥判定部において前記検査条件に適合する欠陥判定パ
ラメータに基づいて欠陥判定し、この欠陥判定と予め前
記各検査ウィンドウに対応させて記憶された欠陥情報と
を比較して良品虚報または欠陥見逃しを検出することを
特徴とする欠陥判定処理方法である。また本発明は、被
検査対象物の画像を画像検出手段により検出し、この検
出された画像に対して予め指定された複数の検査ウィン
ドウが示す範囲について画像データ生成手段により切り
出して記憶手段に記憶し、前記複数の検査ウィンドウの
各々に対してウィンドウデータ生成手段により検査条件
を付加したウィンドウデータを生成して記憶手段に記憶
し、前記記憶手段から各検査ウィンドウが示す範囲の検
出画像を読出して特徴抽出部において前記記憶手段に記
憶された前記各検査ウィンドウに対応する各ウィンドウ
データを読出して該各ウィンドウデータによって得られ
る検査条件に応じて選択された画像処理パラメータに基
づいて構造的特徴パラメータを抽出し、この抽出された
構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部において前記
検査条件に応じて選択された欠陥判定パラメータに基づ
いて欠陥判定し、この欠陥判定と予め前記各検査ウィン
ドウに対応させて記憶された欠陥情報とを比較して良品
虚報または欠陥見逃しを検出し、この検出された良品虚
報または欠陥見逃しに応じて前記選択された画像処理パ
ラメータまたは欠陥判定パラメータを最適化することを
特徴とする欠陥判定処理方法である。

【０００７】また本発明は、被検査対象物の画像を画像
検出手段により検出し、この検出された画像に対して予
め指定された複数の検査ウィンドウが示す範囲について
画像データ生成手段により切り出して記憶手段に記憶
し、前記複数の検査ウィンドウの各々に対してウィンド
ウデータ生成手段により検査条件を付加したウィンドウ
データを生成して記憶手段に記憶し、前記記憶手段から
各検査ウィンドウが示す範囲の検出画像を読出して特徴
抽出部において前記記憶手段に記憶された前記各検査ウ
ィンドウに対応する各ウィンドウデータを読出して該各
ウィンドウデータによって得られる検査条件に適合する
画像処理パラメータに基づいて構造的特徴パラメータを
抽出し、この抽出された構造的特徴パラメータに対して
欠陥判定部において前記検査条件に適合する欠陥判定パ
ラメータに基づいて欠陥判定し、この欠陥判定と予め前
記各検査ウィンドウに対応させて記憶された欠陥情報と
を比較して良品虚報または欠陥見逃しを検出して表示手
段に表示することを特徴とする欠陥判定処理方法であ
る。また本発明は、被検査対象物の画像を画像検出手段
により検出し、この検出された画像に対して予め指定さ
れた複数の検査ウィンドウが示す範囲について画像デー
タ生成手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記複
数の検査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生
成手段により検査条件を付加したウィンドウデータを生
成して記憶手段に記憶し、前記記憶手段から各検査ウィ
ンドウが示す範囲の検出画像を読出して特徴抽出部にお
いて前記記憶手段に記憶された前記各検査ウィンドウに
対応する各ウィンドウデータを読出して該各ウィンドウ
データによって得られる検査条件に適合する画像処理パ
ラメータに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、こ
の抽出された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部
において前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータに
基づいて欠陥判定し、この欠陥判定を表示手段に表示
し、前記欠陥判定と予め前記各検査ウィンドウに対応さ
せて記憶された欠陥情報とを比較して良品虚報または欠
陥見逃しを検出して表示手段に表示することを特徴とす
る欠陥判定処理方法である。

【０００８】また本発明は、被検査対象物の画像を画像
検出手段により検出し、この検出された画像に対して予
め指定された複数の検査ウィンドウが示す範囲について
画像データ生成手段により切り出して記憶手段に記憶
し、前記複数の検査ウィンドウの各々に対してウィンド
ウデータ生成手段により検査条件を付加したウィンドウ
データを生成して記憶手段に記憶し、前記記憶手段から
各検査ウィンドウが示す範囲の検出画像を読出して特徴
抽出部において前記記憶手段に記憶された前記各検査ウ
ィンドウに対応する各ウィンドウデータを読出して該各
ウィンドウデータによって得られる検査条件に適合する
画像処理パラメータに基づいて構造的特徴パラメータを
抽出し、この抽出された構造的特徴パラメータに対して
欠陥判定部において前記検査条件に適合する欠陥判定パ
ラメータに基づいて欠陥判定し、前記抽出された構造的
特徴パラメータを表示手段に表示し、前記欠陥判定と予
め前記各検査ウィンドウに対応させて記憶された欠陥情
報とを比較して良品虚報または欠陥見逃しを検出して表
示手段に表示することを特徴とする欠陥判定処理方法で
ある。また本発明は、画像処理を施すことにより欠陥判
定を行う欠陥判定処理方法において、画像処理範囲及び
検査条件を指定するデータ等からなる検査ウィンドウデ
ータの項目の一部を検索キーとして指定し、この指定さ
れた検索キーに基づいて検査ウィンドウデータを選択
し、この選択された検査ウィンドウデータが示す範囲の
検出画像のデータのみを切り出して画像データを収集し
て記憶することを特徴とする欠陥判定処理方法である。

【０００９】また本発明は、被検査対象物の画像を検出
する画像検出手段と、記憶手段と、該画像検出手段によ
って検出された画像に対して予め指定された複数の検査
ウィンドウが示す範囲について切り出して前記記憶手段
に記憶する画像データ生成手段と、前記複数の検査ウィ
ンドウの各々に対して検査条件を付加したウィンドウデ
ータを生成して前記記憶手段に記憶させるウィンドウデ
ータ生成手段と、前記記憶手段から各検査ウィンドウが
示す範囲の検出画像を読出して前記記憶手段に記憶され
た前記各検査ウィンドウに対応する各ウィンドウデータ
を読出して該各ウィンドウデータによって得られる検査
条件に適合する画像処理パラメータに基づいて構造的特
徴パラメータを抽出する特徴抽出手段と、該特徴抽出手
段によって抽出された構造的特徴パラメータに対して前
記検査条件に適合する欠陥判定パラメータに基づいて欠
陥判定する欠陥判定手段とを備えたことを特徴とする欠
陥判定処理装置である。また本発明は、被検査対象物の
画像を検出する画像検出手段と、記憶手段と、該画像検
出手段によって検出された画像に対して予め指定された
複数の検査ウィンドウが示す範囲について切り出して前
記記憶手段に記憶する画像データ生成手段と、前記複数
の検査ウィンドウの各々に対して検査条件を付加したウ
ィンドウデータを生成して前記記憶手段に記憶させるウ
ィンドウデータ生成手段と、前記記憶手段から各検査ウ
ィンドウが示す範囲の検出画像を読出して前記記憶手段
に記憶された前記各検査ウィンドウに対応する各ウィン
ドウデータを読出して該各ウィンドウデータによって得
られる検査条件に適合する画像処理パラメータに基づい
て構造的特徴パラメータを抽出する特徴抽出手段と、該
特徴抽出手段によって抽出された構造的特徴パラメータ
に対して前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータに
基づいて欠陥判定する欠陥判定手段と、該欠陥判定手段
によって得られる欠陥判定結果と予め前記各検査ウィン
ドウに対応させて記憶された欠陥情報とを比較して良品
虚報または欠陥見逃しを検出する検出手段とを備えたこ
とを特徴とする欠陥判定処理装置である。

【００１０】また本発明は、画像処理を施すことにより
欠陥判定を行う際、各検査ウィンドウと対応する範囲を
指定するウィンドウデータを生成して記憶し、この記憶
されたウィンドウデータに基づいて検出画像から各検査
ウィンドウデータが示す範囲の画像データだけを切り出
して記憶する画像データ収集方法である。また本発明
は、画像処理を施すことにより欠陥判定を行う際、画像
処理範囲及び検査条件を指定するデータ等からなる検査
ウィンドウデータの項目の一部を検索キーとして指定
し、この指定された検索キーに基づいて検査ウィンドウ
データを選択し、この選択された検査ウィンドウデータ
が示す範囲の検出画像のデータのみを切り出して記憶す
る画像データ収集方法である。

【００１１】また本発明は、被検査対象物の画像を検出
する画像検出光学系と、被検査対象物または前記画像検
出光学系を保持する移動可能なステージと、予め指定さ
れた複数の検査ウィンドウデータが示す範囲の画像処理
により欠陥判定を行う画像処理部とを有する検査装置で
あって、検出画像から各検査ウィンドウデータが示す範
囲のデータだけを切り出す画像データ生成部と、前記画
像データに対して各検査ウィンドウと対応する範囲を指
定するウィンドウデータを生成するウィンドウデータ生
成部と、前記ウインドウデータと前記画像データを記憶
する記憶装置とを有することを特徴とする。また本発明
は、前記画像処理部において、前記画像データに対して
予め設定された検査パラメータを用いて、前記ウィンド
ウデータが示す範囲の画像処理を施すことにより欠陥判
定を行うことを特徴とする。また本発明は、前記画像デ
ータ生成部において、画像データの生成を、各検査ウィ
ンドウデータが示す範囲の検出画像のデータを一次元の
配列に順に複写することによって行うことを特徴とす
る。また本発明は、前記ウィンドウデータ生成部におい
て、ウィンドウデータの生成を、各検査ウィンドウデー
タに対応する画像データの先頭アドレスとデータサイズ
を付加することによって行うことを特徴とする。また本
発明は、前記ウィンドウデータ生成部におけるウィンド
ウデータの生成を、各検査ウィンドウと等しい大きさと
属性を持つウィンドウを重なりがなく、かつ画像と等し
い幅の矩形領域で全てのウィンドウを囲んだとき、前記
矩形領域の大きさが最小となるように配置することによ
って行い、前記画像データ生成部における画像データの
生成を、画像検出時に各検査ウィンドウデータが示す範
囲の検出画像のデータを対応するウィンドウデータが示
す位置に複写することによって行うことを特徴とする。

【００１２】また本発明は、ウィンドウデータの生成
を、各検査ウィンドウと等しい大きさと属性を持つウィ
ンドウを重なりがなく、かつ画像と等しい幅の矩形領域
で全てのウィンドウを囲んだとき、前記矩形領域の大き
さが最小となるように配置するウィンドウデータ生成部
と、画像データの生成を、各検査ウィンドウデータが示
す範囲の検出画像のデータを、対応するウィンドウデー
タが示す位置に複写して行う画像データ生成部と、前記
画像データに対し、前記ウィンドウデータが示す範囲の
画像処理を施すことにより欠陥判定を行う画像処理部と
を有することを特徴とする検査装置である。以上説明し
たように、本発明によれば、検出画像から各検査ウィン
ドウデータが示す範囲のデータのみ切り出されて画像デ
ータが生成されるため、欠陥判定に必要な情報が損なわ
れることがなく、データ容量は検出画像に比べて大幅に
削減され、画像の記憶装置への書き込みの時間も短縮す
ることができると共に、各検査ウィンドウと対応する画
像処理の範囲を指定するウィンドウデータを生成するた
め、前記画像データと前記ウィンドウデータを入力とし
て、検査と同等の画像処理による欠陥判定のシミュレー
ションが容易に実行可能となる。即ち、多数の検査ポイ
ントに対して、シミュレーションデータを生成し、パラ
メータを変更しながら欠陥判定のシミュレーションを繰
り返すことによって容易にパラメータ最適化を実現する
ことができる。

【００１３】また本発明によれば、各検査ウィンドウに
よって切り出された検出画像に対して画像処理パラメー
タおよび欠陥判定パラメータの最適化をはかって良品虚
報または欠陥見逃しをなくして高信頼度の欠陥判定を実
現することができる。また本発明によれば、各検査ウィ
ンドウによって切り出された検出画像に対して高信頼度
でもって欠陥判定する際、良品虚報または欠陥見逃しを
なくすべく画像処理パラメータおよび欠陥判定パラメー
タの最適化をはかるようにしたシミュレーションを実現
することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る実施の形態に
ついて図面を参照しながら説明する。図１は、本発明に
係る外観検査装置の一実施の形態を示す概略構成図であ
る。

【００１５】検査対象である配線実装構造体（部品実装
基板）１は、ＸＹ方向に移動可能なステージ２に保持さ
れている。ステージ２は、制御装置１１により予め指定
されたステージ制御データに基づいて制御される。画像
検出光学系３は、検査対象ポイントを含む濃淡画像ある
いは距離画像からなる検出画像１２を検出する。４は画
像処理部であり、通常の検査時には、画像検出光学系３
から得られる検出画像１２を受け取り、予め指定された
検査ウィンドウデータ１３の示す画像処理範囲の画像処
理により欠陥判定を行う。一方、画像データ生成部５
は、主として画像信号切り出し回路で構成され、画像検
出光学系３から得られる検出画像１２を受け取り、欠陥
判定と並行して、検査ウィンドウによって指定された画
像処理範囲の画像データを切り出し、ウィンドウデータ
１４によって与えられる先頭アドレスａｄｄr(i)とデー
タサイズｓｉｚｅ(i)とを付与して図５に示すように一
次元配列に変換してシミュレーション用の画像データ１
５を生成してハードディスクやメモリカードや半導体メ
モリ等で構成される記憶装置６に記憶させるものであ
る。検査ウィンドウデータ生成部１３は、図４に示すよ
うに、画像処理範囲と検査内容と部品番号（電子部品の
番号）とピン番号とリード方向と部品種類（電子部品の
種類）とから成る検査ウィンドウデータ１７を、上位シ
ステムから得られる被検査対象物に対応したＣＡＤデー
タ１６に基づいて作成される。ウィンドウデータ生成部
７は、画像検出光学系３による画像検出に先立って、あ
るいは同時に、検査ウィンドウデータ生成部１３から得
られる図４に示す検査ウィンドウデータ１７を元に、図
４に示す如く先頭アドレスａｄｄr(i)とデータサイズｓ
ｉｚｅ(i)とを付与したシミュレーション用のウィンド
ウデータ１４を生成して記憶装置６に記憶させるもので
ある。上記検査ウィンドウデータ生成部１３およびウィ
ンドウデータ生成部７は、主としてＣＰＵと、検査ウィ
ンドウデータ生成プログラムおよびウィンドウデータ生
成プログラムを記憶したＲＯＭと、ＣＰＵで生成された
検査ウィンドウデータおよびウィンドウデータを記憶す
るＲＡＭと、表示する表示手段と、入力するキーボード
等の入力手段と、上記記憶装置６やＣＡＤデータを提供
してくれる上記システム等との間を接続するＩ／Ｆとを
バス接続して構成される。記憶装置６は、ハードディス
クやメモリカードや半導体メモリ等で構成され、ウィン
ドウデータ生成部７によって生成されたシミュレーショ
ン用のウィンドウデータ１４と画像データ生成部５によ
って生成されたシミュレーション用の画像データ１５と
を記憶するものである。シミュレーション時には、画像
処理部４は、ウィンドウデータ１４内の先頭アドレスお
よびデータサイズを指定することによって記憶装置６に
記憶された画像データ１５を読みだして検出画像６８に
復元し、この復元された検出画像６８に対して検査条件
５９によって各種画像処理パラメータ１８から選択され
た画像処理パラメータ６１により２次元又は３次元形状
や物性等の構造的特徴パラメータ５６を抽出し、この抽
出した構造的特徴パラメータ５６に対して検査条件５９
によって各種欠陥判定パラメータ１９から選択された欠
陥判定パラメータ６２に基づいて欠陥判定を行って判定
結果２０を出力する（具体的には図９に示す。）。即ち
画像処理部４は、記憶装置６に記憶された画像データ１
５を読みだしてウィンドウデータ１４に基づいて指定さ
れた画像処理範囲について画像処理を施して欠陥判定を
行う。この画像処理部４も、主としてＣＰＵと、復元プ
ログラム、構造的特徴パラメータ抽出プログラムおよび
欠陥判定プログラム等を記憶したＲＯＭと、ＣＰＵで復
元される検出画像等を記憶するメモリと、ＣＰＵで抽出
される構造的特徴パラメータおよび欠陥判定結果等を記
憶するＲＡＭと、表示する表示手段と、入力するキーボ
ード等の入力手段と、上記記憶装置６や上記ウィンドウ
生成部７等との間を接続するＩ／Ｆとをバス接続して構
成される。なお、画像処理部４と検査ウィンドウデータ
生成部１３およびウィンドウデータ生成部７とを一緒に
して構成しても良い。また上記実施の形態においては、
検査ウィンドウデータ生成部１３およびウィンドウデー
タ生成部７によって構成した場合について説明したが、
検査ウィンドウデータ生成部１３とウィンドウデータ生
成部７とを一緒にしてウィンドウデータ生成部としても
良いことは明らかである。

【００１６】また上記実施の形態では、ＸＹ方向に移動
可能なステージ２上に検査対象である配線実装構造体
（部品実装基板）１を保持（搭載）した場合について説
明したが、ＸＹ方向に移動可能なステージ２上に画像検
出光学系３を設置しても良いことは明らかである。いず
れにしても、ＸＹ方向に移動可能なステージ２上に検査
対象である配線実装構造体（部品実装基板）１を保持
（搭載）した場合の方が安定して位置決め制御を行うこ
とができる。

【００１７】次に、画像検出光学系３等について説明す
る。図２は、被検査対象物の距離画像を検出する画像検
出光学系３の一実施の形態を示す図である。被検査対象
物（被検査基板）１は、ＸＹ方向に移動可能なステージ
２に保持されている。スリット光プロジェクタ２１は、
ステージ２のＸ方向に長いスリット光２２を、被検査対
象物１に対して真上から照射するように配置されてい
る。ＴＶカメラ２３は、スリット光２２を照射させた被
検査対象物１を、斜め方向から撮像し、光切断像を得
る。ここで、ＴＶカメラ２３は、撮像面のＸ軸がステー
ジ２のＸ方向に平行になるように配置されている。各Ｘ
座標について、得られた光切断像の輝度のＹ方向の重心
位置（中心位置）を計算することにより、そのＸ座標に
おける被検査対象物の高さが検出される。ステージ２を
Ｙ方向に走査することによって、被検査対象物１の立体
形状を示す距離画像を検出することができる。画像検
出光学系３は、この他に、ステージを予め指定された位
置に移動し、被検査対象物１に対してリング照明により
斜めから照明し、真上から例えばＴＶカメラで撮像する
ことにより被検査対象物１の立体形状を示す濃淡画像信
号を検出するものでも良い。また被検査対象物１から得
られる光の反射率や透過率を濃淡画像信号として検出す
ることによって、光の反射率や透過率の相違に基づく被
検査対象物１の物性を濃淡画像信号として検出すること
もできる。

【００１８】次に、画像処理部４、画像データ生成部
５、記憶装置６およびウィンドウデータ生成部７等につ
いて具体的に説明する。図３は、被検査対象物１として
配線基板３１上に電子部品３２を実装した配線基板実装
構造体３０を対象とした場合の検査ウィンドウデータの
実施の形態を示す図である。１２は画像検出光学系３で
検出された配線基板実装構造体３０の立体形状（高さ）
を濃淡で示した距離画像からなる検出画像である。３２
は配線基板３１に実装された電子部品である。３３ａ〜
３３ｈは電子部品３２のリード、３４ａ〜３４ｈは配線
基板３１上のパッドである。配線基板実装構造体３０に
対する検査内容としては、例えばリード先端のはんだ付
状態とリード間のブリッジの有無である。はんだ付状態
の検査ウィンドウとしては、３５ａ〜３５ｈに示すリー
ド先端を中心とした画像処理範囲を指定し、ブリッジの
検査ウィンドウとしては、３６ａ〜３６ｃ、３６ｅ〜３
６ｇに示すパッドの間の画像処理範囲を指定する。画像
処理範囲の指定は、検査ウィンドウデータ生成部１３に
よって行われ、例えば部品種類（電子部品の種類が対応
する。）ごとに予めウィンドウサイズを決めておき、Ｃ
ＡＤデータ１６から得られる配線基板３１に対する電子
部品３２の搭載位置（部品番号とピン番号が対応す
る。）及び搭載方向（リード方向が対応する。）の設計
情報と部品形状を表すデータから、リード先端位置を計
算し、リード先端位置（ｘ，ｙ）を中心にウィンドウ位
置を決めればよい（設定すればよい。）。図３に示す場
合、ＣＡＤデータ１６から電子部品の形状データとし
て、リードを含む幅Ｗ、リードピッチｐ、一辺のリード
本数Ｎを入力すれば、検査ウィンドウデータ生成部１３
におけるＣＰＵは、ＣＡＤデータ１６から入力される電
子部品の搭載位置（Ｘ，Ｙ）（この搭載位置座標は、配
線基板３１上の基準点を原点として設定される。）を用
いて、次に示す（数１）式および（数２）式に基づいて
リード３３ａの先端位置（ｘ，ｙ）を算出する。

【００１９】ｘ＝Ｘ−Ｗ／２（数１）ｙ＝Ｙ−（（Ｎ−１）×ｐ／２）（数２）また検査ウィンドウデータ生成部１３は、検出画像１２
から、画像処理により各電子部品３２のボディのエッジ
を検出し、検出したボディのエッジを基準として、ＣＡ
Ｄデータ１６から入力される上記電子部品の形状データ
から予め決められた位置に、検査ウィンドウを設定して
もよい。検査ウィンドウデータには、図４に示すよう
に、画像処理範囲を示す情報とともに、検査内容、部品
種類（電子部品の種類）およびリード方向からなる検査
条件を決定するための情報と、部品番号（電子部品の番
号）およびピン番号からなるウィンドウを特定する情報
も付加しておく。次に、本発明に係る画像データの収集
の一実施の形態について説明する。即ち、ウィンドウデ
ータ１４の元となる検査ウィンドウデータ１７は、図４
に示すように、画像処理範囲を示す情報と、検査内容、
部品種類およびリード方向からなる検査条件を決定する
ための情報と、部品番号およびピン番号からなるウィン
ドウを特定する情報とから成り、上位システムから得ら
れる被検査対象物に対応するＣＡＤデータ１６に基づい
て生成される。このときウィンドウが設定される検出画
像の座標については、被検査対象物（ＣＡＤデータが対
応する。）に対する結像倍率を考慮することが必要とな
る。画像処理範囲は、例えばウィンドウの左上コーナ座
標（ｘs(i)，ｙs(i)）と右下コーナ座標（ｘe(i)，ｙe
(i)）で表すことができる。ウィンドウデータ生成部７
は、検査ウィンドウデータ１７を複写し、各ウィンドウ
における画像データの先頭アドレスａｄｄr(i)とデータ
サイズｓｉｚｅ(i)を付加して、ウィンドウデータ１４
を作成する。画像データ生成部５は、検査ウィンドウデ
ータが示す画像処理範囲における検出画像を、図５に示
すように、走査線ごとに一次元配列状に並べ変えて画像
データを生成して記憶装置６に記憶させる。なお、画像
データ生成部５は、検査ウィンドウデータが示す画像処
理範囲における検出画像を切り出して、図６（ｃ）に示
すようにそのまま記憶装置６に記憶させても良い。この
場合、後述する画像処理部４における検出画像復元部４
４は不要となる。この場合、検査ウィンドウデータの指
定部４３で指定されたウィンドウデータ５８に基づいて
このウィンドウデータ５８に対応する画像データを記憶
装置６から読み出して特徴抽出部４１に検出画像６８と
して入力するように構成すれば良い。

【００２０】ウィンドウデータ生成部７において生成す
る各ウィンドウにおける画像データのデータサイズｓｉ
ｚｅ(i)は、ウィンドウの幅がｘe(i)−ｘs(i)＋１、ウ
ィンドウ内の走査線の数がｙe(i)−ｙs(i)＋１であるか
ら、次に示す（数３）式の関係から算出することができ
る。ｓｉｚｅ(i)＝（ｘe(i)−ｘs(i)＋１）×（ｙe(i)−ｙe(i)＋１）（数３）またウィンドウデータ生成部７において生成する各ウィ
ンドウにおける画像データの先頭アドレスａｄｄr(i)
は、次に示す（数４）式の関係から算出することができ
る。ａｄｄr(i)＝０（ｉ＝０）ａｄｄr(i)＝ａｄｄr(i-1)＋ｓｉｚｅ(i-1) （ｉ＞０）（数４）これらウィンドウデータの生成は、検査前に行ってもよ
いし、画像データ生成と同時、すなわち検査と同時に行
ってもよい。またウィンドウデータ生成部７に対して検
査ウィンドウデータの項目の一部を検索キー６０として
指定し、指定された検索キー６０により検索された検査
ウィンドウについてのみ、ウィンドウデータ生成部７に
おいてウィンドウデータ１４が生成され、画像データ生
成部５においてこのウインドウデータ１４に基づいて画
像データ１５が生成されても良い。

【００２１】次に、本発明に係る画像データの収集にお
いて図５に示す一実施の形態と異なる他の実施の形態に
ついて説明する。即ち、ウィンドウデータ生成部７は、
画像検出前に、各検査ウィンドウと等しい大きさと属性
を持つシミュレーション用のウィンドウを、復元画像と
等しい幅に、重なりがなくかつ全てのウィンドウを囲む
矩形領域の大きさが最小となるように配置して記憶装置
６に記憶する。画像データ生成部５は、画像検出時に、
前記矩形領域のサイズの記憶領域を確保し、各検査ウィ
ンドウデータが示す画像処理範囲の検出画像のデータ１
５を図６（ｃ）に示すごとく、記憶装置６における対応
するウィンドウデータが示す位置に記憶する（複写す
る。）。以上の処理により、各検査ウィンドウと等しい
大きさと属性を持つウィンドウデータ１４と、検出画像
と同じ幅を持つ画像データ１５とが生成されて記憶装置
６に記憶されることになる。

【００２２】次に、上記説明したシミュレーション用の
ウィンドウの配置方法について詳しく説明する。図６
（ａ）は、検出画像１２に検査ウィンドウを重ねて表示
したものの一実施の形態を示し、図６（ｂ）は、シミュ
レーション用のウィンドウの配置の途中経過を示す図、
図６（ｃ）は、完成したシミュレーション用のウィンド
ウの配置とそれに基づいて生成されるシミュレーション
用の画像データ１５とを示す図である。図中５１ａ〜５
１ｆは検査ウィンドウ、５２ａ〜５２ｆはウィンドウを
示している。説明の便宜上、ウィンドウデータ生成中
の、配置済みのウィンドウの下端の線が連続する部分５
３ｂ〜５３ｅをそれぞれ区間と呼ぶことにする。区間を
表す区間データは、ｙ座標と区間の始点と終点のｘ座標
からなる。ここでは、右向きにｘ軸、下向きにｙ軸をと
ったものと考える。図７は、ウィンドウデータ生成部７
の動作を示すフローチャートである。

【００２３】まず、ステップ７１において、例えば５１
ａ〜５１ｆで示される検査ウィンドウデータ１７を、ｙ
方向サイズの大きい順にソートしておく。ステップ７２
において、初期の区間データ５３ａとして、ｙ座標を
０、区間の始点のｘ座標を０、終点ｘ座標を検出画像の
幅ＸＷに設定する。図６（ｂ）に示す５３ａは、初期の
区間を示している。次にステップ７３において、ウィン
ドウのｘ方向のサイズの最小値をＸｍｉｎとしてこの最
小値Ｘｍｉｎを求める。次にステップ７４において、最
初のウィンドウ（サイズＸＳ×ＹＳ）に注目する。次
に、全てのウィンドウが配置されるまで、以下に説明す
るウィンドウ配置の手順を繰り返す。

【００２４】ステップ７５においてｙ座標が最小となる
区間に注目し、ステップ７６において注目する区間の長
さをＸＡ、その区間と両隣の区間のｙ座標の差の小さい
方をＹＡ１、大きい方をＹＡ２として、ＸＡ、ＹＡ１、
ＹＡ２を計算して求める。ＹＡ１、ＹＡ２の値は、隣の
区間がない場合は無限大、隣の区間のｙ座標の方が小さ
ければ負であると考える。最初に、ステップ７７におい
てＸＡの値をチェックする。図８（ｃ）のように、ＸＡ
がＸｍｉｎ未満かつＹＡ１、ＹＡ２とも正であれば、ス
テップ７８においてＹＡ１の側の区間と接続して１つの
区間とする。ステップ７９においてｙ座標が次に小さい
区間に注目し、最初に戻る。次に、ステップ７７におい
てＸＡ≧Ｘｍｉｎの場合には、ステップ８０においてＸ
Ａとウィンドウのｘ方向のサイズＸＳを比較し、ＸＡの
方がＸＳより大きければ、ステップ８１においてウィン
ドウのｙ方向のサイズＹＳとＹＡ１を比較する。図８
（ａ）に示すように、ＹＳとＹＡ１が等しい場合は、ス
テップ８２においてＹＡ１の側の区間に接するようにウ
ィンドウを配置する。その他の場合は、ステップ８３に
おいて図８（ｃ）に示すように、ＹＡ２の側の区間に接
するようにウィンドウを配置する。図８（ｂ）に示すよ
うに、ステップ８０においてＸＡの方がＸＳより小さけ
れば、ウィンドウのｘ方向のサイズがＸＡ以下かつｙ方
向のサイズがＹＡ１以下のものを探し（ＹＳ×ＹＡ１よ
り小さいウィンドウ（サイズＸＳ’×ＹＳ’）を探し、
ステップ８５において見付かればステップ８６において
そのウィンドウを配置する。ステップ８５においてその
ようなウィンドウが見付からなければ、ステップ８７に
おいてｙ座標が次に小さい区間に注目し、ウィンドウ１
個を配置するまで同様の処理を繰り返す。

【００２５】ステップ８８において配置したウィンドウ
のｘ方向のサイズがＸｍｉｎと等しければ、ステップ８
９において残りのウィンドウのｘ方向のサイズの最小値
をＸｍｉｎとする。区間データを更新し、ステップ９０
において次のウィンドウに注目し、次のウィンドウを同
様の手順で配置する。このようにシミュレーション用の
ウィンドウを配置することにより、図６（ｃ）に示すよ
うに、全てのウィンドウを囲む矩形領域５４の大きさが
最小となり、このことは、シミュレーション用の画像デ
ータ１５の大きさが最小となることを示している。以上
の画像データ収集方法により、データ容量が検出画像に
比べて大幅に削減されたシミュレーション用の画像デー
タ１５を生成することができる。例えば、配線基板実装
構造体３０を対象とした場合には、１０〜２０％に削減
することが可能である。従って、多数の検査ポイントの
画像データを収集することが容易になる。またシミュレ
ーション用の画像データ１５に対して画像処理範囲、検
査内容、部品種類、部品番号、ピン番号、リード方向を
指定する、シミュレーション用のウィンドウデータ１４
が同時にあるいは予め生成されるため、シミュレーショ
ン用の画像データ１５に対して容易に欠陥判定を行うこ
とができる。

【００２６】次に画像処理部４におけるシミュレーショ
ンについて説明する。図９は、画像処理部４についての
機能ブロック構成を示す図である。画像処理部４は、特
徴抽出部４１と欠陥判定部４２と検査ウィンドウデータ
の指定部４３と検出画像復元部４４と画像処理パラメー
タの選択部４５と欠陥判定パラメータの選択部４６と欠
陥情報データ格納部４７と良品虚報及び欠陥見逃し検出
部４８とから構成される。検査ウィンドウデータの指定
部４３は、検索キーの指定６０または入力された予め定
められたプログラムに従ってウィンドウデータ（検査ウ
ィンドウデータ）を指定するものである。画像処理パラ
メータの選択部４５は、パラメータ編集のためにマニュ
アルで直接入力されるパラメータの指定４９または検査
ウィンドウデータの指定部４３によって指定された検査
条件（検査内容、部品種類、およびリード方向等からな
る。）に適合する画像処理パラメータ６１を、各種画像
処理パラメータ１８の中から選択する。欠陥判定パラメ
ータの選択部４６も、パラメータ編集のためにマニュア
ルで直接入力されるパラメータの指定４９または検査ウ
ィンドウデータの指定部４３によって指定された検査条
件（検査内容、部品種類、およびリード方向等からな
る。）に適合する欠陥判定パラメータ６２を各種欠陥判
定パラメータ１９の中から選択する。検出画像復元部４
４は、記憶装置６に記憶された画像データ１５を検査ウ
ィンドウの指定部４３によって指定された先頭アドレス
ａｄｄr(i)とデータサイズｓｉｚｅ(i)とウィンドウの
幅ｘe(i)−ｘs(i)＋１とに基づいて検査ウィンドウが示
す画像処理範囲の検出画像６８を復元するものである。
特徴抽出部４１は、この復元した検出画像６８に対して
上記選択された画像処理パラメータ６１によって２次元
形状や立体形状（３次元形状）や物性からなる構造的特
徴パラメータ（例えばはんだ付部のフィレット高さ、フ
ィレット長さなどの構造的特徴パラメータ）５６を抽出
するものである。欠陥判定部４２は、この抽出された構
造的特徴パラメータ５６に対して上記選択された欠陥判
定パラメータ６２によって欠陥判定を行い、判定結果２
０を出力するものである。そしてこの判定結果２０は、
画像処理部４に備えられたディスプレイ等の表示手段に
表示したり、画像処理部４に備えられた出力手段（記録
媒体も含む）により出力される。

【００２７】欠陥情報データ格納部４７は、欠陥情報が
既知の被検査対象物または被検査対象物上の欠陥情報が
既知の検査ウィンドウに対してこの既知の欠陥情報デー
タ６７を入力手段によって入力して、検査ウィンドウデ
ータ生成部１３から得られる検査ウィンドウデータ１７
またはウィンドウデータ生成部７から得られるウィンド
ウデータ１４に対応させて格納するものである。良品虚
報及び欠陥見逃し検出部４８は、欠陥情報が既知の被検
査対象物または被検査対象物上の欠陥情報が既知の検査
ウィンドウから検査ウィンドウデータ１７に対応して得
られる判定結果２０と欠陥情報データ格納部４７に検査
ウィンドウデータ１７に対応させて格納された既知の欠
陥情報データとを比較して良品虚報や欠陥見逃しを検出
するものであり、この検出結果は、画像処理部４に備え
られたディスプレイ等の表示手段に表示したり、画像処
理部４に備えられた出力手段（記録媒体も含む）により
出力される。

【００２８】シミュレーション時には、画像処理部４
は、ウィンドウデータから検査ウィンドウデータ指定部
４３によって指定されたシミュレーション画像の先頭ア
ドレスａｄｄr(i)とデータサイズｓｉｚｅ(i)とウィン
ドウの幅ｘe(i)−ｘs(i)＋１とを用いて、画像データ１
５から検出画像復元部４４において検査ウィンドウが示
す画像処理範囲の画像を復元し、上記検査ウィンドウデ
ータの指定部４３で指定された検査条件（検査内容、部
品種類、およびリード方向等からなる。）５９により画
像処理パラメータの選択部４５において各種画像処理パ
ラメータ１８から上記復元した検出画像に対応する画像
処理パラメータ６１を選択すると共に欠陥判定パラメー
タの選択部４６において各種欠陥判定パラメータ１９か
ら上記復元した検出画像に対応する欠陥判定パラメータ
６２を選択し、特徴抽出部４１において上記復元した検
出画像６８に対して上記選択された画像処理パラメータ
６１によって２次元形状や立体形状（３次元形状）や物
性からなる構造的特徴パラメータ５６を抽出し、欠陥判
定部４２において上記抽出された構造的特徴パラメータ
５６に対して上記選択された欠陥判定パラメータ６２に
よって欠陥判定を行って判定結果２０を出力する。

【００２９】また、良品虚報及び欠陥見逃し検出部４８
により、検査ウィンドウデータ１７に対応して良品虚報
や欠陥見逃しを検出することができるので、この結果を
パラメータの指定４９により画像処理パラメータの選択
部４５における検査ウィンドウデータの指定部４３によ
る検査条件５９に対応する画像処理パラメータの選択を
変更して画像処理パラメータの最適化を実現することが
でき、欠陥判定パラメータの選択部４６における検査ウ
ィンドウデータの指定部４３による検査条件５９に対応
する欠陥判定パラメータの選択を変更して欠陥判定パラ
メータの最適化を実現することができる。当然パラメー
タの指定４９により各種画像処理パラメータ１８に対し
て変更を加えても良く、また各種欠陥判定パラメータ１
９に対して変更を加えても良いことは明らかである。ま
た良品虚報及び欠陥見逃し検出部４８で検出された結果
６３をパラメータの指定指令４９として画像処理パラメ
ータの選択部４５および欠陥判定パラメータの選択部４
６に印加して各種画像処理パラメータの中から画像処理
パラメータの選択部４５において最適化された画像処理
パラメータを選択し、各種欠陥判定パラメータの中から
欠陥判定パラメータの選択部４６において最適化された
欠陥判定パラメータを選択することができる。

【００３０】以上説明したように、生成されたウィンド
ウデータ１４には、画像データ１５に対して画像処理範
囲を指定するデータが含まれているため、検査ウィンド
ウ内部の検出画像を検出画像復元部４４において容易に
復元することもでき、しかも復元された検出画像６８に
対してウィンドウデータ１４に基づいて特徴抽出部４１
および欠陥判定部４２において画像処理を施すことによ
り欠陥判定のシミュレーションを容易に実現することが
できる。さらにウィンドウデータ１４には、図４に示す
ように検査ウィンドウデータ１７と同じ情報（部品番
号、ピン番号、部品種類等）を持っているため、検査ウ
ィンドウデータ１７の項目の一部を検索キー６０として
指定し、検出画像復元部４４において選択的に検出画像
を復元し、特徴抽出部４１および欠陥判定部４２におい
てシミュレーションを行うことができる。例えば、部品
種類として０．５ｍｍピッチＱＦＰ、検査内容としては
んだ付検査を検索キー６０により指定すれば、検査ウィ
ンドウデータの指定部４３がウィンドウデータの部品種
類と検査内容を検索して検査条件に合うウィンドウのみ
を、先頭アドレスａｄｄr(i)とデータサイズｓｉｚｅ
(i)とウィンドウの幅ｘe(i)−ｘs(i)＋１とにより選択
し、それらに対応する検出画像を検出画像復元部４４に
おいて復元し、特徴抽出部４１および欠陥判定部４２に
おいてシミュレーションを行う。

【００３１】本実施の形態では、生成された画像データ
とウィンドウデータとを用いたシミュレーション機能を
内部に設けられた画像処理部４で実現した検査装置であ
るが、このシミュレーション機能を実現する画像処理部
４だけを切り離しても良い。図１０は、本発明に係るシ
ミュレーション機能を画像処理部４でオフラインで実現
する動作フローを示す図である。モード選択１０１とし
ては、パラメータ編集１０２と、欠陥情報教示（欠陥情
報入力）１０３と、シミュレーション１０４とがあり、
オペレータは何れかを、画像処理部４のＣＰＵに対して
入力手段を用いて選択する。モード選択１０１として、
パラメータ編集１０２を選択した場合は、オペレータは
パラメータの指定４９により画像処理パラメータの選択
部４５において各種画像処理パラメータ１８から選択さ
れた各種の画像処理パラメータ６１を選択し、欠陥判定
パラメータの選択部４６において各種欠陥判定パラメー
タ１９から選択された各種の欠陥判定パラメータ６２を
選択して画像処理パラメータ及び欠陥判定パラメータの
修正を行うことができる。そして後述するシミュレーシ
ョンによって、修正された画像処理パラメータ及び欠陥
判定パラメータに対応した判定結果２０を出力すること
ができる。

【００３２】モード選択１０１として、欠陥情報教示
（欠陥情報入力）１０３を選択した場合は、オペレータ
が欠陥情報が既知の基板種類と基板番号によって基板を
指定し、部品番号・ピン番号と該部品番号・ピン番号に
対応する既知の欠陥の種類とからなる欠陥情報データ６
７を入力手段により入力することによって、欠陥情報デ
ータ格納部４７において指定された基板における配線実
装構造体（被検査対象物）の既知の欠陥情報データが作
成される。この欠陥情報データは、シミュレーション時
に、良品であるのに欠陥と判定される良品虚報や、欠陥
であるのに良品と判定される欠陥見逃しを、良品虚報及
び見逃し検出部４８においてチェックするために用いら
れる。モード選択１０１として、シミュレーション１０
４を選択した場合は、まず、オペレータがステップ１０
５において基板種類と基板番号によって配線基板を指定
し、次にステップ１０６においてウィンドウデータ１４
の項目の一部をウィンドウ検索キー６０として指定す
る。これらはいずれも複数指定が可能であり、すべてを
検査ウィンドウデータの指定部４３において指定するこ
とも可能である。次に、ステップ１０７において指定さ
れた基板毎の画像データ１５及びウィンドウデータ１４
が記憶装置６から読み出され、指定された基板毎の欠陥
情報データが欠陥情報データ格納部４７から読み出され
る。

【００３３】検査ウィンドウデータの指定部４３は、ス
テップ１０８において指定された検索キー６０を用いて
ウィンドウデータ１４を検索し、ステップ１０９におい
て検索されたウィンドウについて、検出画像復元部４４
において画像データ１５から指定されたウィンドウデー
タ５８を用いて検出画像を復元し、特徴抽出部４１にお
いて復元された検出画像に対して上記修正された各種の
画像処理パラメータに応じた構造的特徴パラメータ５６
を抽出し、欠陥判定部４２において抽出された構造的特
徴パラメータ５６に対して上記修正された各種の欠陥判
定パラメータに応じた欠陥判定を行う。次に、ステップ
１１０において良品虚報及び欠陥見逃し検出部４８は、
欠陥判定部４２から出力された欠陥判定結果２０と欠陥
情報データ格納部４７から読み出された欠陥情報データ
５７とを比較することにより、良品虚報及び欠陥見逃し
を検出し、それを表示手段に表示することもできる。そ
してステップ１０７からステップ１１０まで指定したす
べての基板について欠陥判定を行って良品虚報及び欠陥
見逃しを検出し、ステップ１１１において良品虚報及び
欠陥見逃し検出部４８は、全良品数に対する虚報の割合
（即ち良品虚報率）及び全欠陥数に対する見逃し割合
（即ち欠陥見逃し率）６３を算出し、表示手段に表示す
ることも可能である。

【００３４】次の処理は、ステップ１１２において、グ
ラフ表示、画像表示、パラメータの変更のサブモードの
中から、オペレータが画像処理部４のＣＰＵに対して入
力手段を用いて選択する。グラフ表示を選択すると、ス
テップ１１３においてオペレータが検索キー６０によっ
て指定した項目における特徴抽出部４１から得られる構
造的特徴パラメータの度数分布６５を求めて表示手段に
グラフにして表示する。画像表示を選択すると、ステッ
プ１１４において、検索キー６０によって指定された部
品番号とピン番号とによって決まるウィンドウに対応す
る検出画像を検出画像復元部４４から得て、その検出画
像６６を表示手段に表示する。パラメータの変更を選択
すると、ステップ１１５においてパラメータの指定４９
により上記パラメータ編集モードと同様にパラメータの
変更を行い、ステップ１１６において変更後のパラメー
タを用いて特徴抽出部４１および欠陥判定部４２におい
て再度シミュレーシュンを実行する。以上の処理は、繰
り返し選択、実行を画像処理部４に対して行うことがで
きるので、表示手段に表示された良品虚報率および欠陥
見逃し率６３、特徴パラメータの度数分布６５などを監
視しながら、パラメータの指定４９によりパラメータを
少しずつ変更してシミュレーションを繰り返すことによ
り、画像処理パラメータおよび欠陥判定パラメータの最
適化を行うことが可能である。これらのパラメータは、
前述の外観検査装置において使用することができる。

【００３５】以上説明したように、画像処理部４は検査
を中断することなく、検査に用いるパラメータを最適化
することが可能となる。また検査履歴を残したい場合に
おいても、検索キー６０の指定により必要最小限のウィ
ンドウを指定することによって得られる判定結果６４ま
たは良品虚報率及び欠陥見逃し率６３をディスク等に記
録または記憶しておくことが可能となる

【００３６】。

【発明の効果】本発明によれば、検出画像から各検査ウ
ィンドウデータが示す範囲のデータのみ切り出されて画
像データが生成されるため、欠陥判定に必要な情報が損
なわれることがなく、データ容量は検出画像に比べて大
幅に削減され、画像の記憶装置への書き込みの時間も短
縮することができると共に、各検査ウィンドウと対応す
る画像処理の範囲を指定するウィンドウデータを生成す
るため、前記画像データと前記ウィンドウデータを入力
として、検査と同等の画像処理による欠陥判定のシミュ
レーションが容易に実行可能となる効果を奏する。即
ち、多数の検査ポイントに対して、シミュレーションデ
ータを生成し、パラメータを変更しながら欠陥判定のシ
ミュレーションを繰り返すことによって容易にパラメー
タ最適化を実現することができる効果を奏する。

【００３７】また本発明によれば、各検査ウィンドウに
よって切り出された検出画像に対して画像処理パラメー
タおよび欠陥判定パラメータの最適化をはかって良品虚
報または欠陥見逃しをなくして高信頼度の欠陥判定を実
現することができる効果を奏する。また本発明によれ
ば、各検査ウィンドウによって切り出された検出画像に
対して高信頼度でもって欠陥判定する際、良品虚報また
は欠陥見逃しをなくすべく画像処理パラメータおよび欠
陥判定パラメータの最適化をはかるようにしたシミュレ
ーションを実現することができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の一実施の形態を示す概
略構成図である。

【図２】図１に示す画像検出光学系等の具体的な一実施
の形態を示す斜視図である。

【図３】検出画像に対して検査ウィンドウを指定する方
法を説明するための図である。

【図４】検査ウィンドウデータおよびウィンドウデータ
の一実施の形態を示す図である。

【図５】シミュレーション用の画像データを生成する方
法を説明するための図である。

【図６】検査ウィンドウとシミュレーション用のウィン
ドウの配置関係を示す図である。

【図７】シミュレーション用のウィンドウを配置生成さ
せるためのフローチャートを示す図である。

【図８】シミュレーション用のウィンドウを配置させる
方法を説明するための図である。

【図９】図１に示す画像処理部の具体的構成を示す機能
ブロック図である。

【図１０】図９に示す画像処理部において、オフライン
によるシミュレーション動作プログラムを示す図であ
る。

【符号の説明】

１…被検査対象物（配線実装構造体）、２…ＸＹステー
ジ３…画像検出光学系、４…画像処理部、５…画像データ
生成部６…記憶装置、７…ウィンドウデータ生成部１１…制御装置（ステージ制御データ）、１２…検出画
像１３…検査ウィンドウデータ生成部、１４…ウィンドウ
データ１５…画像データ、１７…検査ウィンドウデータ１８…各種画像処理パラメータ、１９…各種欠陥判定パ
ラメータ２０…判定結果、２１…スリット光プロジェクタ、２３
…ＴＶカメラ３０…配線実装構造体、３１…配線基板（基板）、３２
…電子部品３３ａ〜３３ｈ…リード、３４ａ〜３４ｈ…パッド３５ａ〜３５ｈ…はんだ付状態の検査ウィンドウ３６ａ〜３６ｇ…ブリッジの検査ウィンドウ、４１…特
徴抽出部４２…欠陥判定部、４３…検査ウィンドウデータの指定
部４４…検出画像復元部、４５…画像処理パラメータの選
択部４６…欠陥判定パラメータの選択部、４７…欠陥情報デ
ータ格納部４８…良品虚報及び見逃し検出部、４９…パラメータの
指定５１ａ〜５１ｆ…検査ウィンドウ、５２ａ〜５２ｆ…ウ
ィンドウ５３ａ〜５３ｅ…区間データ、５４…矩形領域、５６…
構造的特徴パラメータ５８…指定されたウィンドウデータ（先頭アドレス、デ
ータサイズ等）５９…検査条件、６０…検索キー指定６１…選択された画像処理パラメータ、６２…選択され
た欠陥判定パラメータ６３…欠陥検出率・良品虚報率、６８…復元された検出
画像

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者松山幸雄神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者本田敏文神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者ルードヴィッヒリストゥルドイツ国ミュンヘン市Ｄ−81739 オットーハーンリング６シーメンスアクチエンゲゼルシャフト内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査対象物の画像を画像検出手段により
検出し、この検出された画像に対して予め指定された複
数の検査ウィンドウが示す範囲について画像データ生成
手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記複数の検
査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生成手段
により検査条件を付加したウィンドウデータを生成して
記憶手段に記憶し、前記記憶手段から各検査ウィンドウ
が示す範囲の検出画像を読出して特徴抽出部において前
記記憶手段に記憶された前記各検査ウィンドウに対応す
る各ウィンドウデータを読出して該各ウィンドウデータ
によって得られる検査条件に適合する画像処理パラメー
タに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、この抽出
された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部におい
て前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータに基づい
て欠陥判定することを特徴とする欠陥判定処理方法。
【請求項２】被検査対象物の画像を画像検出手段により
検出し、この検出された画像に対して予め指定された複
数の検査ウィンドウが示す範囲について画像データ生成
手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記複数の検
査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生成手段
により検査条件を付加したウィンドウデータを生成して
記憶手段に記憶し、特徴抽出部において前記記憶手段に
記憶された前記各検査ウィンドウに対応する各ウィンド
ウデータを読出して該各ウィンドウデータによって得ら
れる検査条件に適合する画像処理パラメータを選択し、
更に前記記憶手段から読出される各検査ウィンドウが示
す範囲の検出画像から前記選択された画像処理パラメー
タに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、欠陥判定
部において前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータ
を選択し、前記抽出された構造的特徴パラメータに対し
て前記選択された欠陥判定パラメータに基づいて欠陥判
定することを特徴とする欠陥判定処理方法。
【請求項３】被検査対象物の画像を画像検出手段により
検出し、この検出された画像に対して予め指定された複
数の検査ウィンドウが示す範囲について画像データ生成
手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記複数の検
査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生成手段
により検査条件を付加したウィンドウデータを生成して
記憶手段に記憶し、前記記憶手段から各検査ウィンドウ
が示す範囲の検出画像を読出して特徴抽出部において前
記記憶手段に記憶された前記各検査ウィンドウに対応す
る各ウィンドウデータを読出して該各ウィンドウデータ
によって得られる検査条件に適合する画像処理パラメー
タに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、この抽出
された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部におい
て前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータに基づい
て欠陥判定し、この欠陥判定と予め前記各検査ウィンド
ウに対応させて記憶された欠陥情報とを比較して良品虚
報または欠陥見逃しを検出することを特徴とする欠陥判
定処理方法。
【請求項４】被検査対象物の画像を画像検出手段により
検出し、この検出された画像に対して予め指定された複
数の検査ウィンドウが示す範囲について画像データ生成
手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記複数の検
査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生成手段
により検査条件を付加したウィンドウデータを生成して
記憶手段に記憶し、前記記憶手段から各検査ウィンドウ
が示す範囲の検出画像を読出して特徴抽出部において前
記記憶手段に記憶された前記各検査ウィンドウに対応す
る各ウィンドウデータを読出して該各ウィンドウデータ
によって得られる検査条件に応じて選択された画像処理
パラメータに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、
この抽出された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定
部において前記検査条件に応じて選択された欠陥判定パ
ラメータに基づいて欠陥判定し、この欠陥判定と予め前
記各検査ウィンドウに対応させて記憶された欠陥情報と
を比較して良品虚報または欠陥見逃しを検出し、この検
出された良品虚報または欠陥見逃しに応じて前記選択さ
れた画像処理パラメータまたは欠陥判定パラメータを最
適化することを特徴とする欠陥判定処理方法。
【請求項５】被検査対象物の画像を画像検出手段により
検出し、この検出された画像に対して予め指定された複
数の検査ウィンドウが示す範囲について画像データ生成
手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記複数の検
査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生成手段
により検査条件を付加したウィンドウデータを生成して
記憶手段に記憶し、前記記憶手段から各検査ウィンドウ
が示す範囲の検出画像を読出して特徴抽出部において前
記記憶手段に記憶された前記各検査ウィンドウに対応す
る各ウィンドウデータを読出して該各ウィンドウデータ
によって得られる検査条件に適合する画像処理パラメー
タに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、この抽出
された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部におい
て前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータに基づい
て欠陥判定し、この欠陥判定と予め前記各検査ウィンド
ウに対応させて記憶された欠陥情報とを比較して良品虚
報または欠陥見逃しを検出して表示手段に表示すること
を特徴とする欠陥判定処理方法。
【請求項６】被検査対象物の画像を画像検出手段により
検出し、この検出された画像に対して予め指定された複
数の検査ウィンドウが示す範囲について画像データ生成
手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記複数の検
査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生成手段
により検査条件を付加したウィンドウデータを生成して
記憶手段に記憶し、前記記憶手段から各検査ウィンドウ
が示す範囲の検出画像を読出して特徴抽出部において前
記記憶手段に記憶された前記各検査ウィンドウに対応す
る各ウィンドウデータを読出して該各ウィンドウデータ
によって得られる検査条件に適合する画像処理パラメー
タに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、この抽出
された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部におい
て前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータに基づい
て欠陥判定し、この欠陥判定を表示手段に表示し、前記
欠陥判定と予め前記各検査ウィンドウに対応させて記憶
された欠陥情報とを比較して良品虚報または欠陥見逃し
を検出して表示手段に表示することを特徴とする欠陥判
定処理方法。
【請求項７】被検査対象物の画像を画像検出手段により
検出し、この検出された画像に対して予め指定された複
数の検査ウィンドウが示す範囲について画像データ生成
手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記複数の検
査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生成手段
により検査条件を付加したウィンドウデータを生成して
記憶手段に記憶し、前記記憶手段から各検査ウィンドウ
が示す範囲の検出画像を読出して特徴抽出部において前
記記憶手段に記憶された前記各検査ウィンドウに対応す
る各ウィンドウデータを読出して該各ウィンドウデータ
によって得られる検査条件に適合する画像処理パラメー
タに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、この抽出
された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部におい
て前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータに基づい
て欠陥判定し、前記抽出された構造的特徴パラメータを
表示手段に表示し、前記欠陥判定と予め前記各検査ウィ
ンドウに対応させて記憶された欠陥情報とを比較して良
品虚報または欠陥見逃しを検出して表示手段に表示する
ことを特徴とする欠陥判定処理方法。
【請求項８】画像処理を施すことにより欠陥判定を行う
欠陥判定処理方法において、画像処理範囲及び検査条件
を指定するデータ等からなる検査ウィンドウデータの項
目の一部を検索キーとして指定し、この指定された検索
キーに基づいて検査ウィンドウデータを選択し、この選
択された検査ウィンドウデータが示す範囲の検出画像の
データのみを切り出して画像データを収集して記憶する
ことを特徴とする欠陥判定処理方法。
【請求項９】被検査対象物の画像を検出する画像検出手
段と、記憶手段と、該画像検出手段によって検出された
画像に対して予め指定された複数の検査ウィンドウが示
す範囲について切り出して前記記憶手段に記憶する画像
データ生成手段と、前記複数の検査ウィンドウの各々に
対して検査条件を付加したウィンドウデータを生成して
前記記憶手段に記憶させるウィンドウデータ生成手段
と、前記記憶手段から各検査ウィンドウが示す範囲の検
出画像を読出して前記記憶手段に記憶された前記各検査
ウィンドウに対応する各ウィンドウデータを読出して該
各ウィンドウデータによって得られる検査条件に適合す
る画像処理パラメータに基づいて構造的特徴パラメータ
を抽出する特徴抽出手段と、該特徴抽出手段によって抽
出された構造的特徴パラメータに対して前記検査条件に
適合する欠陥判定パラメータに基づいて欠陥判定する欠
陥判定手段とを備えたことを特徴とする欠陥判定処理装
置。
【請求項１０】被検査対象物の画像を検出する画像検出
手段と、記憶手段と、該画像検出手段によって検出され
た画像に対して予め指定された複数の検査ウィンドウが
示す範囲について切り出して前記記憶手段に記憶する画
像データ生成手段と、前記複数の検査ウィンドウの各々
に対して検査条件を付加したウィンドウデータを生成し
て前記記憶手段に記憶させるウィンドウデータ生成手段
と、前記記憶手段から各検査ウィンドウが示す範囲の検
出画像を読出して前記記憶手段に記憶された前記各検査
ウィンドウに対応する各ウィンドウデータを読出して該
各ウィンドウデータによって得られる検査条件に適合す
る画像処理パラメータに基づいて構造的特徴パラメータ
を抽出する特徴抽出手段と、該特徴抽出手段によって抽
出された構造的特徴パラメータに対して前記検査条件に
適合する欠陥判定パラメータに基づいて欠陥判定する欠
陥判定手段と、該欠陥判定手段によって得られる欠陥判
定結果と予め前記各検査ウィンドウに対応させて記憶さ
れた欠陥情報とを比較して良品虚報または欠陥見逃しを
検出する検出手段とを備えたことを特徴とする欠陥判定
処理装置。