JPH10144908A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JPH10144908A JPH10144908A JP8303139A JP30313996A JPH10144908A JP H10144908 A JPH10144908 A JP H10144908A JP 8303139 A JP8303139 A JP 8303139A JP 30313996 A JP30313996 A JP 30313996A JP H10144908 A JPH10144908 A JP H10144908A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 隣接するＣＣＤレジスタ間の配線抵抗を小さ
くして、小型化が可能な固体撮像装置を提供する。 【解決手段】 センサ列１１ｒ，１１ｇ，１１ｂの両側
に転送レジスタ１２ｒ及び１３ｒ，１２ｇ及び１３ｇ，
１２ｂ及び１３ｂが配された両側読み出しの撮像素子が
複数配列され、隣り合う撮像素子の互いに対向する転送
レジスタ１３ｒ及び１３ｇ，１２ｇ及び１２ｂの同相の
転送部が向かい合って転送電極１４ａ，１４ｂが接続さ
れた固体撮像装置１を構成する。
くして、小型化が可能な固体撮像装置を提供する。 【解決手段】 センサ列１１ｒ，１１ｇ，１１ｂの両側
に転送レジスタ１２ｒ及び１３ｒ，１２ｇ及び１３ｇ，
１２ｂ及び１３ｂが配された両側読み出しの撮像素子が
複数配列され、隣り合う撮像素子の互いに対向する転送
レジスタ１３ｒ及び１３ｇ，１２ｇ及び１２ｂの同相の
転送部が向かい合って転送電極１４ａ，１４ｂが接続さ
れた固体撮像装置１を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、センサ列の両側に
転送レジスタが配された両側読み出しの撮像素子が複数
配列された固体撮像装置に係わる。
転送レジスタが配された両側読み出しの撮像素子が複数
配列された固体撮像装置に係わる。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像装置の一例として、一次元配列
のセンサ列を複数配列した構成のリニアセンサが知られ
ている。この場合、各センサ列にはそれぞれＣＣＤ転送
レジスタが隣接して設けられて、それぞれが単一リニア
センサ（いわゆる撮像素子）として構成されている。例
えばカラーリニアセンサでは、複数の単一リニアセンサ
をそれぞれＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）というように
割り当てて、各単一リニアセンサ上に、該当する色のフ
ィルタを形成して構成し、これをカラー画像の撮像等に
用いている。
のセンサ列を複数配列した構成のリニアセンサが知られ
ている。この場合、各センサ列にはそれぞれＣＣＤ転送
レジスタが隣接して設けられて、それぞれが単一リニア
センサ（いわゆる撮像素子）として構成されている。例
えばカラーリニアセンサでは、複数の単一リニアセンサ
をそれぞれＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）というように
割り当てて、各単一リニアセンサ上に、該当する色のフ
ィルタを形成して構成し、これをカラー画像の撮像等に
用いている。
【０００３】一方、単一リニアセンサは、そのセンサ列
が１次元配列のフォトダイオードによる受光部から構成
され、受光部に入射した光エネルギーを一時的に蓄積し
た後、センサ列に隣接した読み出し電極をオンすること
により信号電荷を読みとって、この信号電荷をセンサ列
に並行して設けられたＣＣＤレジスタを用いて順次転送
している。このような単一リニアセンサでは、センサ列
の片側にＣＣＤレジスタを設けた構成の他に、センサ列
の両側にＣＣＤレジスタを設けた構成も用いられる。
が１次元配列のフォトダイオードによる受光部から構成
され、受光部に入射した光エネルギーを一時的に蓄積し
た後、センサ列に隣接した読み出し電極をオンすること
により信号電荷を読みとって、この信号電荷をセンサ列
に並行して設けられたＣＣＤレジスタを用いて順次転送
している。このような単一リニアセンサでは、センサ列
の片側にＣＣＤレジスタを設けた構成の他に、センサ列
の両側にＣＣＤレジスタを設けた構成も用いられる。
【０００４】センサ列の両側にＣＣＤレジスタを設ける
場合は、センサ列の奇数番目のセンサ部の信号電荷を第
１のＣＣＤレジスタに読み出し、センサ列の偶数番目の
センサ部の信号電荷を第２のＣＣＤレジスタに読み出す
ようにしている。このようにＣＣＤレジスタを両側に設
けて両側読み出しを行うことにより、高速転送の場合、
片側読み出し方式に比べて駆動クロック周波数が１／２
になり、動作がゆっくりになり信号処理がしやすくな
る。従って、リニアセンサの高速化が可能となる。
場合は、センサ列の奇数番目のセンサ部の信号電荷を第
１のＣＣＤレジスタに読み出し、センサ列の偶数番目の
センサ部の信号電荷を第２のＣＣＤレジスタに読み出す
ようにしている。このようにＣＣＤレジスタを両側に設
けて両側読み出しを行うことにより、高速転送の場合、
片側読み出し方式に比べて駆動クロック周波数が１／２
になり、動作がゆっくりになり信号処理がしやすくな
る。従って、リニアセンサの高速化が可能となる。
【０００５】図５〜図７は、従来のいわゆる両側読み出
しのカラーリニアセンサの構成を示す。このカラーリニ
アセンサ５０は、３列の単一リニアセンサ、即ちＲ
（赤）リニアセンサ６０Ｒ、Ｇ（緑）リニアセンサ６０
Ｇ及びＢ（青）リニアセンサ６０Ｂが並行に配置されて
成る。各Ｒ，Ｇ，Ｂリニアセンサ６０Ｒ，６０Ｇ，６０
Ｂは、ぞれぞれ１次元配列の画素となる複数の受光部、
いわゆるセンサ部から成るセンサ列５１ｒ，５１ｇ，５
１ｂを有し、各センサ列５１ｒ，５１ｇ，５１ｂの両側
に第１のＣＣＤレジスタ５２〔５２ｒ，５２ｇ，５２
ｂ〕及び第２のＣＣＤレジスタ５３〔５３ｒ，５３ｇ，
５３ｂ〕が配されて形成される。即ち、Ｒセンサ列５１
ｒの両側にＣＣＤレジスタ５２ｒと５３ｒが、Ｇセンサ
列５１ｇの両側にＣＣＤレジスタ５２ｇと５３ｇが、Ｂ
センサ列５１ｂの両側にＣＣＤレジスタ５２ｂと５３ｂ
がそれぞれ配される。各Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列５１ｒ，５
１ｇ，５１ｂ上には、図示しないが、それぞれ対応する
赤色、緑色、青色のフィルタが形成されて、該当する色
の信号成分を受光検出することができる。
しのカラーリニアセンサの構成を示す。このカラーリニ
アセンサ５０は、３列の単一リニアセンサ、即ちＲ
（赤）リニアセンサ６０Ｒ、Ｇ（緑）リニアセンサ６０
Ｇ及びＢ（青）リニアセンサ６０Ｂが並行に配置されて
成る。各Ｒ，Ｇ，Ｂリニアセンサ６０Ｒ，６０Ｇ，６０
Ｂは、ぞれぞれ１次元配列の画素となる複数の受光部、
いわゆるセンサ部から成るセンサ列５１ｒ，５１ｇ，５
１ｂを有し、各センサ列５１ｒ，５１ｇ，５１ｂの両側
に第１のＣＣＤレジスタ５２〔５２ｒ，５２ｇ，５２
ｂ〕及び第２のＣＣＤレジスタ５３〔５３ｒ，５３ｇ，
５３ｂ〕が配されて形成される。即ち、Ｒセンサ列５１
ｒの両側にＣＣＤレジスタ５２ｒと５３ｒが、Ｇセンサ
列５１ｇの両側にＣＣＤレジスタ５２ｇと５３ｇが、Ｂ
センサ列５１ｂの両側にＣＣＤレジスタ５２ｂと５３ｂ
がそれぞれ配される。各Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列５１ｒ，５
１ｇ，５１ｂ上には、図示しないが、それぞれ対応する
赤色、緑色、青色のフィルタが形成されて、該当する色
の信号成分を受光検出することができる。
【０００６】第１のＣＣＤレジスタ５２〔５２ｒ，５２
ｇ，５２ｂ〕は、それぞれ各Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列５１
ｒ，５１ｇ，５１ｂにおける例えば奇数番目のセンサ部
（Ｒ1，Ｒ3 ，Ｒ5 ，・・・Ｒ2n-1，Ｒ2n+1、Ｇ1 ，Ｇ
3 ，Ｇ5 ，・・・Ｇ2n-1，Ｇ2n+1、及びＢ1 ，Ｂ3 ，Ｂ
5 ，・・・Ｂ2n-1，Ｂ2n+1）の信号電荷を読み出し、転
送するＣＣＤレジスタであり、第２のＣＣＤレジスタ５
３〔５３ｒ，５３ｇ，５３ｂ〕は、それぞれ各Ｒ，Ｇ，
Ｂセンサ列５１ｒ，５１ｇ，５１ｂにおける例えば偶数
番目のセンサ部（Ｒ2 ，Ｒ4 ，Ｒ6 ，・・・Ｒ2n、
Ｇ2 ，Ｇ4 ，Ｇ6 ，・・・Ｇ2n、及びＢ2 ，Ｂ4 ，Ｂ6
・・・Ｂ2n）の信号電荷を読み出し、転送するＣＣＤレ
ジスタである。
ｇ，５２ｂ〕は、それぞれ各Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列５１
ｒ，５１ｇ，５１ｂにおける例えば奇数番目のセンサ部
（Ｒ1，Ｒ3 ，Ｒ5 ，・・・Ｒ2n-1，Ｒ2n+1、Ｇ1 ，Ｇ
3 ，Ｇ5 ，・・・Ｇ2n-1，Ｇ2n+1、及びＢ1 ，Ｂ3 ，Ｂ
5 ，・・・Ｂ2n-1，Ｂ2n+1）の信号電荷を読み出し、転
送するＣＣＤレジスタであり、第２のＣＣＤレジスタ５
３〔５３ｒ，５３ｇ，５３ｂ〕は、それぞれ各Ｒ，Ｇ，
Ｂセンサ列５１ｒ，５１ｇ，５１ｂにおける例えば偶数
番目のセンサ部（Ｒ2 ，Ｒ4 ，Ｒ6 ，・・・Ｒ2n、
Ｇ2 ，Ｇ4 ，Ｇ6 ，・・・Ｇ2n、及びＢ2 ，Ｂ4 ，Ｂ6
・・・Ｂ2n）の信号電荷を読み出し、転送するＣＣＤレ
ジスタである。
【０００７】通常、第１のＣＣＤレジスタ５２ｒ，５２
ｇ，５２ｂと第２のＣＣＤレジスタ５３ｒ，５３ｇ，５
３ｂの配置は、各Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列５１ｒ，５１ｇ，
５１ｂにおいて同じ配置である。即ち、Ｒセンサ列５１
ｒ，Ｇセンサ列５１ｇ，Ｂセンサ列５１ｂのいずれに対
しても、第１のＣＣＤレジスタ５２ｒ，５２ｇ，５２ｂ
が上側に配され、第２のＣＣＤレジスタ５３ｒ，５３
ｇ，５３ｂが下側に配されており、全体としてみると、
奇数番目のセンサ部用の第１のＣＣＤレジスタと偶数番
目のセンサ部用の第２のＣＣＤレジスタとが交互に並ん
でいる。このように配置すると、複数のセンサ列に対し
て、同じ転送電極パターンを使用してＣＣＤレジスタを
形成することができるため、この配置が一般的に用いら
れている。
ｇ，５２ｂと第２のＣＣＤレジスタ５３ｒ，５３ｇ，５
３ｂの配置は、各Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列５１ｒ，５１ｇ，
５１ｂにおいて同じ配置である。即ち、Ｒセンサ列５１
ｒ，Ｇセンサ列５１ｇ，Ｂセンサ列５１ｂのいずれに対
しても、第１のＣＣＤレジスタ５２ｒ，５２ｇ，５２ｂ
が上側に配され、第２のＣＣＤレジスタ５３ｒ，５３
ｇ，５３ｂが下側に配されており、全体としてみると、
奇数番目のセンサ部用の第１のＣＣＤレジスタと偶数番
目のセンサ部用の第２のＣＣＤレジスタとが交互に並ん
でいる。このように配置すると、複数のセンサ列に対し
て、同じ転送電極パターンを使用してＣＣＤレジスタを
形成することができるため、この配置が一般的に用いら
れている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ＣＣＤレジスタ５２
ｒ，５２ｇ，５２ｂ及び５３ｒ，５３ｇ，５３ｂは、図
５の破線で囲った部分の拡大図を図６に示すように、各
転送部の転送電極が第１層のポリシリコン層からなる電
極５４ａ，５４ｂと第２層のポリシリコン層からなる電
極５４ａ′，５４ｂ′とからなり、１つおきの転送電極
５４Ａに第１相のクロックパルスφ1 が印加され、他の
１つおきの転送電極５４Ｂに第２相のクロックパルスφ
2 が印加されるように構成される。ところで、ライン間
で隣り合う２つのＣＣＤレジスタ、例えば図示するＣＣ
Ｄレジスタ５３ｒ，５２ｇでは、当然ながら互いに同相
の転送電極５４Ａ、転送電極５４Ｂが転送方向に半ビッ
トずれた配列パターンとなる。
ｒ，５２ｇ，５２ｂ及び５３ｒ，５３ｇ，５３ｂは、図
５の破線で囲った部分の拡大図を図６に示すように、各
転送部の転送電極が第１層のポリシリコン層からなる電
極５４ａ，５４ｂと第２層のポリシリコン層からなる電
極５４ａ′，５４ｂ′とからなり、１つおきの転送電極
５４Ａに第１相のクロックパルスφ1 が印加され、他の
１つおきの転送電極５４Ｂに第２相のクロックパルスφ
2 が印加されるように構成される。ところで、ライン間
で隣り合う２つのＣＣＤレジスタ、例えば図示するＣＣ
Ｄレジスタ５３ｒ，５２ｇでは、当然ながら互いに同相
の転送電極５４Ａ、転送電極５４Ｂが転送方向に半ビッ
トずれた配列パターンとなる。
【０００９】従って、図７に示すように、隣り合う２つ
のＣＣＤレジスタ５３ｒ，５２ｇ間のクロックパルスφ
1 が印加される転送電極５４Ａ同士、及びクロックパル
スφ2 が印加される転送電極５４Ｂ同士を繋ぐ第１相の
同相配線５５ａ及び第２相の同相配線５５ｂは、斜めに
形成される。尚、第２層のポリシリコン層からなる転送
電極５４ａ′及び５４ｂ′についても同様に同相配線５
５ａ′及び５５ｂ′が接続される。また、隣り合う２つ
のＣＣＤレジスタ５３ｒ，５２ｇ間において、各対応す
る同相の転送電極と、その同相配線とは共通のポリシリ
コン層で形成される。転送電極５４Ａ，５４Ｂ上には、
それぞれ駆動クロックパルスφ1 及びφ2 を印加する第
１相のバスライン５７ａ及び第２相のバスライン５７ｂ
が転送方向に平行に形成され、コンタクト部５６により
それぞれ転送電極５４Ａ及び転送電極５４Ｂに接続され
る。
のＣＣＤレジスタ５３ｒ，５２ｇ間のクロックパルスφ
1 が印加される転送電極５４Ａ同士、及びクロックパル
スφ2 が印加される転送電極５４Ｂ同士を繋ぐ第１相の
同相配線５５ａ及び第２相の同相配線５５ｂは、斜めに
形成される。尚、第２層のポリシリコン層からなる転送
電極５４ａ′及び５４ｂ′についても同様に同相配線５
５ａ′及び５５ｂ′が接続される。また、隣り合う２つ
のＣＣＤレジスタ５３ｒ，５２ｇ間において、各対応す
る同相の転送電極と、その同相配線とは共通のポリシリ
コン層で形成される。転送電極５４Ａ，５４Ｂ上には、
それぞれ駆動クロックパルスφ1 及びφ2 を印加する第
１相のバスライン５７ａ及び第２相のバスライン５７ｂ
が転送方向に平行に形成され、コンタクト部５６により
それぞれ転送電極５４Ａ及び転送電極５４Ｂに接続され
る。
【００１０】このように配線部分５５ａ，５５ｂ，５５
ａ′，５５ｂ′が斜めに形成されることにより、配線部
分の幅Ｗ0 が狭くなり、従って配線部分の抵抗が大きく
なる。データレートの高速化を図るためには、この配線
抵抗を小さくする必要がある。そして、この配線抵抗を
小さくするには、配線部分の幅を広げるために各Ｒ，
Ｇ，Ｂリニアセンサのライン間の距離を大きくする必要
がある。しかし、ライン間隔を広げて配線抵抗を小さく
する構成をとると、固体撮像装置即ち、カラーリニアセ
ンサの小型化が困難であった。
ａ′，５５ｂ′が斜めに形成されることにより、配線部
分の幅Ｗ0 が狭くなり、従って配線部分の抵抗が大きく
なる。データレートの高速化を図るためには、この配線
抵抗を小さくする必要がある。そして、この配線抵抗を
小さくするには、配線部分の幅を広げるために各Ｒ，
Ｇ，Ｂリニアセンサのライン間の距離を大きくする必要
がある。しかし、ライン間隔を広げて配線抵抗を小さく
する構成をとると、固体撮像装置即ち、カラーリニアセ
ンサの小型化が困難であった。
【００１１】また、上述の複数のセンサ列を有するカラ
ーリニアセンサにおいては、同一の被写体に対して、各
センサ列５１ｒ，５１ｇ，５１ｂが走査するタイミング
に時差が生じるため、通常３つの走査が終了した部分に
おいて信号を一括処理している。ライン間の距離を大き
くすると、センサ列間の間隔が拡がることから、各セン
サ列が走査するタイミングの時差も大きくなる。そのた
め、先に読みとった信号を一時蓄積するためのメモリ容
量も大きくする必要が生じる。
ーリニアセンサにおいては、同一の被写体に対して、各
センサ列５１ｒ，５１ｇ，５１ｂが走査するタイミング
に時差が生じるため、通常３つの走査が終了した部分に
おいて信号を一括処理している。ライン間の距離を大き
くすると、センサ列間の間隔が拡がることから、各セン
サ列が走査するタイミングの時差も大きくなる。そのた
め、先に読みとった信号を一時蓄積するためのメモリ容
量も大きくする必要が生じる。
【００１２】上述した問題の解決のために、本発明にお
いては、隣接するＣＣＤレジスタ間の配線抵抗を小さく
して、小型化が可能なカラーリニアセンサ等の固体撮像
装置を提供するものである。
いては、隣接するＣＣＤレジスタ間の配線抵抗を小さく
して、小型化が可能なカラーリニアセンサ等の固体撮像
装置を提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置
は、両側読み出しの撮像素子を複数配列し、隣り合う撮
像素子の互いに対向する転送レジスタの同相の転送部が
向かい合って転送電極が接続された構成である。
は、両側読み出しの撮像素子を複数配列し、隣り合う撮
像素子の互いに対向する転送レジスタの同相の転送部が
向かい合って転送電極が接続された構成である。
【００１４】上述の本発明の構成によれば、転送レジス
タの同相の転送部が向かい合って転送電極が接続される
ことにより、同相の転送部をつなぐ同相配線を、対向す
る転送レジスタ間でまっすぐ形成することができ、同相
配線の配線抵抗を小さくすることができる。また、ライ
ン間隔を詰めることができ、固体撮像素子の小型化が図
れる。
タの同相の転送部が向かい合って転送電極が接続される
ことにより、同相の転送部をつなぐ同相配線を、対向す
る転送レジスタ間でまっすぐ形成することができ、同相
配線の配線抵抗を小さくすることができる。また、ライ
ン間隔を詰めることができ、固体撮像素子の小型化が図
れる。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明は、センサ列の両側に転送
レジスタが配された両側読み出しの撮像素子が複数配列
された固体撮像装置において、隣り合う上記撮像素子の
互いに対向する転送レジスタの同相の転送部が向かい合
って転送電極が接続されて成る固体撮像装置である。
レジスタが配された両側読み出しの撮像素子が複数配列
された固体撮像装置において、隣り合う上記撮像素子の
互いに対向する転送レジスタの同相の転送部が向かい合
って転送電極が接続されて成る固体撮像装置である。
【００１６】以下、図面を参照して本発明の固体撮像素
装置の実施例を説明する。図１は、本発明の固体撮像装
置をカラーラインセンサに適用した場合の概略構成図を
示す。本実施例のカラーリニアセンサ１は、複数、本例
では３本の単一リニアセンサ（撮像素子）、即ちＲ
（赤）リニアセンサ２０Ｒ、Ｇ（緑）リニアセンサ２０
Ｇ及びＢ（青）リニアセンサ２０Ｂにより構成され、各
Ｒ，Ｇ，Ｂリニアセンサ２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂが前述
の両側読み出しの構成となっている。
装置の実施例を説明する。図１は、本発明の固体撮像装
置をカラーラインセンサに適用した場合の概略構成図を
示す。本実施例のカラーリニアセンサ１は、複数、本例
では３本の単一リニアセンサ（撮像素子）、即ちＲ
（赤）リニアセンサ２０Ｒ、Ｇ（緑）リニアセンサ２０
Ｇ及びＢ（青）リニアセンサ２０Ｂにより構成され、各
Ｒ，Ｇ，Ｂリニアセンサ２０Ｒ，２０Ｇ，２０Ｂが前述
の両側読み出しの構成となっている。
【００１７】各Ｒリニアセンサ２０Ｒ，Ｇリニアセンサ
２０Ｇ及びＢリニアセンサ２０Ｂは、それぞれＲセンサ
列１１ｒ、Ｇセンサ列１１ｇ、Ｂセンサ列１１ｂを有
す、これら３列のセンサ列が並行に配置されると共に、
各センサ列１１ｒ，１１ｇ，１１ｂの両側にそれぞれ２
相駆動の第１のＣＣＤレジスタ１２ｒ，１２ｇ，１２ｂ
及び第２のＣＣＤレジスタ１３ｒ，１３ｇ，１３ｂが配
されて両側読み出しのリニアセンサを構成している。各
Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列１１ｒ，１１ｇ，１１ｂ上には、図
示しないが、それぞれの対応する赤色、緑色、青色のフ
ィルタが形成されて、該当する色の信号成分を受光検出
することができる。
２０Ｇ及びＢリニアセンサ２０Ｂは、それぞれＲセンサ
列１１ｒ、Ｇセンサ列１１ｇ、Ｂセンサ列１１ｂを有
す、これら３列のセンサ列が並行に配置されると共に、
各センサ列１１ｒ，１１ｇ，１１ｂの両側にそれぞれ２
相駆動の第１のＣＣＤレジスタ１２ｒ，１２ｇ，１２ｂ
及び第２のＣＣＤレジスタ１３ｒ，１３ｇ，１３ｂが配
されて両側読み出しのリニアセンサを構成している。各
Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列１１ｒ，１１ｇ，１１ｂ上には、図
示しないが、それぞれの対応する赤色、緑色、青色のフ
ィルタが形成されて、該当する色の信号成分を受光検出
することができる。
【００１８】第１のＣＣＤレジスタ１２ｒ，１２ｇ，１
２ｂは、それぞれ各Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列１１ｒ，１１
ｇ，１１ｂの奇数番目のセンサ部（Ｒ1 ，Ｒ3 ，Ｒ5 ，
・・・Ｒ2n-1，Ｒ2n+1、Ｇ1 ，Ｇ3 ，Ｇ5 ，・・・Ｇ
2n-1，Ｇ2n+1、及びＢ1 ，Ｂ3 ，Ｂ5 ，・・・Ｂ2n-1，
Ｂ2n+1）の信号電荷を読み出し転送するＣＣＤレジスタ
であり、第２のＣＣＤレジスタ１３ｒ，１３ｇ，１３ｂ
は、それぞれ各Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列１１ｒ，１１ｇ，１
１ｂの偶数番目のセンサ部（Ｒ2 ，Ｒ4 ，Ｒ6 ，・・・
Ｒ2n、Ｇ2 ，Ｇ4 ，Ｇ6 ，・・・Ｇ2n、及びＢ2 ，
Ｂ4 ，Ｂ6 ・・・Ｂ2n）の信号電荷を読み出し転送する
ＣＣＤレジスタである。
２ｂは、それぞれ各Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列１１ｒ，１１
ｇ，１１ｂの奇数番目のセンサ部（Ｒ1 ，Ｒ3 ，Ｒ5 ，
・・・Ｒ2n-1，Ｒ2n+1、Ｇ1 ，Ｇ3 ，Ｇ5 ，・・・Ｇ
2n-1，Ｇ2n+1、及びＢ1 ，Ｂ3 ，Ｂ5 ，・・・Ｂ2n-1，
Ｂ2n+1）の信号電荷を読み出し転送するＣＣＤレジスタ
であり、第２のＣＣＤレジスタ１３ｒ，１３ｇ，１３ｂ
は、それぞれ各Ｒ，Ｇ，Ｂセンサ列１１ｒ，１１ｇ，１
１ｂの偶数番目のセンサ部（Ｒ2 ，Ｒ4 ，Ｒ6 ，・・・
Ｒ2n、Ｇ2 ，Ｇ4 ，Ｇ6 ，・・・Ｇ2n、及びＢ2 ，
Ｂ4 ，Ｂ6 ・・・Ｂ2n）の信号電荷を読み出し転送する
ＣＣＤレジスタである。
【００１９】この例では、第１のＣＣＤレジスタ１２
ｒ，１２ｇ，１２ｂと第２のＣＣＤレジスタ１３ｒ，１
３ｇ，１３ｂの配置は、それぞれ隣り合うセンサ列間で
互いに上下逆となるように、従って各センサ列１１ｒ，
１１ｇ，１１ｂ間において隣接するＣＣＤレジスタが同
じパターンとなるようにした配置である。即ち、図１中
上からＲセンサ列１１ｒの第１のＣＣＤレジスタ１２
ｒ、Ｒセンサ列１１ｒの第２のＣＣＤレジスタ１３ｒ、
Ｇセンサ列１１ｇの第２のＣＣＤレジスタ１３ｇ、Ｇセ
ンサ列１１ｇの第１のＣＣＤレジスタ１２ｇ、Ｂセンサ
列１１ｂの第１のＣＣＤレジスタ１２ｂ、Ｂセンサ列１
１ｂの第２のＣＣＤレジスタ１３ｂの順序で、奇数番目
のセンサ部用の第１のＣＣＤレジスタ同士、並びに偶数
番目のセンサ部用の第２のＣＣＤレジスタ同士が対向す
るように並んでいる。
ｒ，１２ｇ，１２ｂと第２のＣＣＤレジスタ１３ｒ，１
３ｇ，１３ｂの配置は、それぞれ隣り合うセンサ列間で
互いに上下逆となるように、従って各センサ列１１ｒ，
１１ｇ，１１ｂ間において隣接するＣＣＤレジスタが同
じパターンとなるようにした配置である。即ち、図１中
上からＲセンサ列１１ｒの第１のＣＣＤレジスタ１２
ｒ、Ｒセンサ列１１ｒの第２のＣＣＤレジスタ１３ｒ、
Ｇセンサ列１１ｇの第２のＣＣＤレジスタ１３ｇ、Ｇセ
ンサ列１１ｇの第１のＣＣＤレジスタ１２ｇ、Ｂセンサ
列１１ｂの第１のＣＣＤレジスタ１２ｂ、Ｂセンサ列１
１ｂの第２のＣＣＤレジスタ１３ｂの順序で、奇数番目
のセンサ部用の第１のＣＣＤレジスタ同士、並びに偶数
番目のセンサ部用の第２のＣＣＤレジスタ同士が対向す
るように並んでいる。
【００２０】各第１のＣＣＤレジスタ１２〔１２ｒ，１
２ｇ，１２ｂ〕及び第２のＣＣＤレジスタ１３〔１３
ｒ，１３ｇ，１３ｂ〕は、図１の破線で囲った部分の拡
大図を図２に示すように、その各転送部の転送電極が第
１層のポリシリコン層からなる１４ａ，１４ｂと第２層
のポリシリコン層からなる電極１４ａ′，１４ｂ′とか
らなり、１つおきの転送電極１４Ａに第１相のクロック
パルスφ1 が印加され、他の１つおきの転送電極１４Ｂ
に第２相のクロックパルスφ2 が印加されるように構成
される。そして、ライン間で隣り合う２つのＣＣＤレジ
スタ、例えば図示する２つのＣＣＤレジスタ１３ｒ及び
１３ｇにおいては、そのクロックパルスφ1 が印加され
る転送部、即ちその転送電極１４Ａ同士、そのクロック
パルスφ2が印加される転送部、即ちその転送電極１４
Ｂ同士がそれぞれ対向して形成される。
２ｇ，１２ｂ〕及び第２のＣＣＤレジスタ１３〔１３
ｒ，１３ｇ，１３ｂ〕は、図１の破線で囲った部分の拡
大図を図２に示すように、その各転送部の転送電極が第
１層のポリシリコン層からなる１４ａ，１４ｂと第２層
のポリシリコン層からなる電極１４ａ′，１４ｂ′とか
らなり、１つおきの転送電極１４Ａに第１相のクロック
パルスφ1 が印加され、他の１つおきの転送電極１４Ｂ
に第２相のクロックパルスφ2 が印加されるように構成
される。そして、ライン間で隣り合う２つのＣＣＤレジ
スタ、例えば図示する２つのＣＣＤレジスタ１３ｒ及び
１３ｇにおいては、そのクロックパルスφ1 が印加され
る転送部、即ちその転送電極１４Ａ同士、そのクロック
パルスφ2が印加される転送部、即ちその転送電極１４
Ｂ同士がそれぞれ対向して形成される。
【００２１】このとき、図３に示すように、隣り合う２
つのＣＣＤレジスタ１３ｒ，１３ｇ間のクロックパルス
φ1 が印加される転送電極１４Ａ同士及びクロックパル
スφ2 が印加される転送電極１４Ｂ同士を繋ぐ第１相の
同相配線１５ａ及び第２相の同相配線１５ｂは、まっす
ぐ太い（幅の広い）配線で形成される。尚、第２層のポ
リシリコン層からなる転送電極１４ａ′及び１４ｂ′に
ついても同様に同相配線１５ａ′及び１５ｂ′が接続さ
れる。また、隣り合う２つのＣＣＤレジスタ１３ｒ，１
３ｇ間において、各対応する同相の転送電極とその同相
配線とは共通のポリシリコン層で形成される。転送電極
及び同相配線上には、それぞれ駆動クロックパルスφ1
及びφ2 を印加する第１相のバスライン１７ａ及び第２
相のバスライン１７ｂが転送方向に平行に形成され、コ
ンタクト部５６によりそれぞれ第１相の転送電極１４ａ
及び第２相の転送電極１４ｂに接続される。
つのＣＣＤレジスタ１３ｒ，１３ｇ間のクロックパルス
φ1 が印加される転送電極１４Ａ同士及びクロックパル
スφ2 が印加される転送電極１４Ｂ同士を繋ぐ第１相の
同相配線１５ａ及び第２相の同相配線１５ｂは、まっす
ぐ太い（幅の広い）配線で形成される。尚、第２層のポ
リシリコン層からなる転送電極１４ａ′及び１４ｂ′に
ついても同様に同相配線１５ａ′及び１５ｂ′が接続さ
れる。また、隣り合う２つのＣＣＤレジスタ１３ｒ，１
３ｇ間において、各対応する同相の転送電極とその同相
配線とは共通のポリシリコン層で形成される。転送電極
及び同相配線上には、それぞれ駆動クロックパルスφ1
及びφ2 を印加する第１相のバスライン１７ａ及び第２
相のバスライン１７ｂが転送方向に平行に形成され、コ
ンタクト部５６によりそれぞれ第１相の転送電極１４ａ
及び第２相の転送電極１４ｂに接続される。
【００２２】上述の構成の第１及び第２のＣＣＤレジス
タにより転送された信号電荷は、図示しないが、それぞ
れＦＤ（フローティングディフュージョン）等で電圧に
変換されて、Ｒセンサ列１１ｒ，Ｇセンサ列１１ｇ，Ｂ
センサ列１１ｂにそれぞれ対応したＲ出力Ｖ１ｒ，Ｖ２
ｒ、Ｇ出力Ｖ１ｇ，Ｖ２ｇ、Ｂ出力Ｖ１ｂ，Ｖ２ｂが得
られる。
タにより転送された信号電荷は、図示しないが、それぞ
れＦＤ（フローティングディフュージョン）等で電圧に
変換されて、Ｒセンサ列１１ｒ，Ｇセンサ列１１ｇ，Ｂ
センサ列１１ｂにそれぞれ対応したＲ出力Ｖ１ｒ，Ｖ２
ｒ、Ｇ出力Ｖ１ｇ，Ｖ２ｇ、Ｂ出力Ｖ１ｂ，Ｖ２ｂが得
られる。
【００２３】そして、例えば図４に示す信号処理のブロ
ック図の構成によってデータが処理される。画像信号に
対応したカラーＣＣＤリニアセンサ１からの６つの出力
Ｖ１ｒ，Ｖ２ｒ，Ｖ１ｇ，Ｖ２ｇ，Ｖ１ｂ，Ｖ２ｂが、
アナログ信号処理部２に出力され、このアナログ信号処
理部２において、６つの出力信号Ｖ１ｒ，Ｖ２ｒ，Ｖ１
ｇ，Ｖ２ｇ，Ｖ１ｂ，Ｖ２ｂが信号処理されて信号デー
タ３となる。この信号データ３は、Ａ／Ｄ変換器４によ
り８ビットから１０ビット変換されることによりアナロ
グ信号である信号データ３からデジタル信号５に変換さ
れ、このデジタル信号５がデジタル信号処理部６におい
て処理される。尚、カラーＣＣＤリニアセンサ１、アナ
ログ信号処理部２、Ａ／Ｄ変換器４及びデジタル信号処
理部の各ブロックには、それぞれ駆動のためのクロック
パルス７が印加される。
ック図の構成によってデータが処理される。画像信号に
対応したカラーＣＣＤリニアセンサ１からの６つの出力
Ｖ１ｒ，Ｖ２ｒ，Ｖ１ｇ，Ｖ２ｇ，Ｖ１ｂ，Ｖ２ｂが、
アナログ信号処理部２に出力され、このアナログ信号処
理部２において、６つの出力信号Ｖ１ｒ，Ｖ２ｒ，Ｖ１
ｇ，Ｖ２ｇ，Ｖ１ｂ，Ｖ２ｂが信号処理されて信号デー
タ３となる。この信号データ３は、Ａ／Ｄ変換器４によ
り８ビットから１０ビット変換されることによりアナロ
グ信号である信号データ３からデジタル信号５に変換さ
れ、このデジタル信号５がデジタル信号処理部６におい
て処理される。尚、カラーＣＣＤリニアセンサ１、アナ
ログ信号処理部２、Ａ／Ｄ変換器４及びデジタル信号処
理部の各ブロックには、それぞれ駆動のためのクロック
パルス７が印加される。
【００２４】本実施例によれば、配線部分１５ａ，１５
ｂ，１５ａ′，１５ｂ′がまっすぐ太く形成されること
により、配線の幅Ｗ1 が、図７の場合の配線の幅Ｗ0 よ
り広くなるため（Ｗ1 ＞Ｗ0 ）、配線部分の抵抗が従来
より小さくなる。
ｂ，１５ａ′，１５ｂ′がまっすぐ太く形成されること
により、配線の幅Ｗ1 が、図７の場合の配線の幅Ｗ0 よ
り広くなるため（Ｗ1 ＞Ｗ0 ）、配線部分の抵抗が従来
より小さくなる。
【００２５】配線抵抗が小さくなるため、ライン間の距
離を短縮することもでき、カラーリニアセンサの小型化
を図ることができる。また、ライン間の距離を短縮して
センサ列の間隔を狭めることにより、各センサ列１１
ｒ，１１ｇ，１１ｂ間の走査タイミングの時差を小さく
することができ、先に読みとった信号を一時蓄積するた
めのメモリ容量も小さくて済む。また配線抵抗が小さい
ことからもデータ転送速度の向上が図られる。
離を短縮することもでき、カラーリニアセンサの小型化
を図ることができる。また、ライン間の距離を短縮して
センサ列の間隔を狭めることにより、各センサ列１１
ｒ，１１ｇ，１１ｂ間の走査タイミングの時差を小さく
することができ、先に読みとった信号を一時蓄積するた
めのメモリ容量も小さくて済む。また配線抵抗が小さい
ことからもデータ転送速度の向上が図られる。
【００２６】上述の例においては、センサ列がＲセンサ
列１１ｒ、Ｇセンサ列１１ｇ、Ｂセンサ列１１ｂの３列
から成る構成としたが、その他両側読み出しのセンサ列
を複数形成した固体撮像装置においても、同様に本発明
を適用して対向するＣＣＤレジスタを同相の電極同士が
対向するようにして、配線抵抗を低減することができ
る。
列１１ｒ、Ｇセンサ列１１ｇ、Ｂセンサ列１１ｂの３列
から成る構成としたが、その他両側読み出しのセンサ列
を複数形成した固体撮像装置においても、同様に本発明
を適用して対向するＣＣＤレジスタを同相の電極同士が
対向するようにして、配線抵抗を低減することができ
る。
【００２７】本発明の固体撮像装置は、上述の例に限定
されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
その他様々な構成が取り得る。
されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
その他様々な構成が取り得る。
【００２８】
【発明の効果】上述の本発明による固体撮像装置によれ
ば、転送レジスタの同相の転送部が向かい合って転送電
極が接続されることにより、同相の転送部をつなぐ同相
配線を、対向する転送レジスタ間でまっすぐ且つ幅広く
形成することができ、同相配線の配線抵抗を小さくする
ことができる。
ば、転送レジスタの同相の転送部が向かい合って転送電
極が接続されることにより、同相の転送部をつなぐ同相
配線を、対向する転送レジスタ間でまっすぐ且つ幅広く
形成することができ、同相配線の配線抵抗を小さくする
ことができる。
【００２９】また、配線抵抗が小さいため、センサ列の
間隔を縮めることができ、複数のセンサ列の内の、先に
走査したセンサ列のデータを一時的に蓄積するメモリの
容量を低減して、信号処理における制約を小さくするこ
とができる。
間隔を縮めることができ、複数のセンサ列の内の、先に
走査したセンサ列のデータを一時的に蓄積するメモリの
容量を低減して、信号処理における制約を小さくするこ
とができる。
【００３０】さらに、配線抵抗を低減することにより、
データレートの高速化を図ることができる。
データレートの高速化を図ることができる。
【図１】本発明によるリニアセンサの概略構成図（平面
図）である。
図）である。
【図２】図１の一部を拡大した図である。
【図３】図２における同相配線の接続状態を示した図で
ある。
ある。
【図４】本発明の固体撮像素子の実施例における信号処
理を示すブロック図である。
理を示すブロック図である。
【図５】従来のリニアセンサの概略構成図（平面図）で
ある。
ある。
【図６】図５の一部を拡大した図である。
【図７】図６における同相配線の接続状態を示した図で
ある。
ある。
１，５０ カラーリニアセンサ、２ アナログ信号処理
部、３ 信号データ（アナログ信号）、４ Ａ／Ｄ変換
器、５ デジタル信号、６ デジタル信号処理部、７
クロックパルス、１１ｒ，５１ｒ Ｒセンサ列、１１
ｇ，５１ｇ Ｇセンサ列、１１ｂ，５１ｂ Ｂセンサ
列、１２ｒ，１２ｇ，１２ｂ，５２ｒ，５２ｇ，５２ｂ
第１のＣＣＤレジスタ、１３ｒ，１３ｇ，１３ｂ，５
３ｒ，５３ｇ，５３ｂ 第２のＣＣＤレジスタ、１４
ａ，１４ａ′，１４Ａ，５４ａ，５４ａ′，５４Ａ 第
１相の転送電極、１４ｂ，１４ｂ′，１４Ｂ，５４ｂ，
５４ｂ′，５４Ｂ 第２相の転送電極、１５ａ，１５
ａ′，５５ａ，５５ａ′ 第１相の同相配線、１５ｂ，
１５ｂ′，５５ｂ，５５ｂ′ 第２相の同相配線、１
６，５６コンタクト部、１７ａ，５７ａ 第１相のバス
ライン、１７ｂ，５７ｂ 第２相のバスライン、２０
Ｒ，６０Ｒ Ｒリニアセンサ、２０Ｇ，６０Ｇ Ｇリニ
アセンサ、２０Ｂ，６０Ｂ Ｂリニアセンサ、Ｗ0 ，Ｗ
1 配線の幅
部、３ 信号データ（アナログ信号）、４ Ａ／Ｄ変換
器、５ デジタル信号、６ デジタル信号処理部、７
クロックパルス、１１ｒ，５１ｒ Ｒセンサ列、１１
ｇ，５１ｇ Ｇセンサ列、１１ｂ，５１ｂ Ｂセンサ
列、１２ｒ，１２ｇ，１２ｂ，５２ｒ，５２ｇ，５２ｂ
第１のＣＣＤレジスタ、１３ｒ，１３ｇ，１３ｂ，５
３ｒ，５３ｇ，５３ｂ 第２のＣＣＤレジスタ、１４
ａ，１４ａ′，１４Ａ，５４ａ，５４ａ′，５４Ａ 第
１相の転送電極、１４ｂ，１４ｂ′，１４Ｂ，５４ｂ，
５４ｂ′，５４Ｂ 第２相の転送電極、１５ａ，１５
ａ′，５５ａ，５５ａ′ 第１相の同相配線、１５ｂ，
１５ｂ′，５５ｂ，５５ｂ′ 第２相の同相配線、１
６，５６コンタクト部、１７ａ，５７ａ 第１相のバス
ライン、１７ｂ，５７ｂ 第２相のバスライン、２０
Ｒ，６０Ｒ Ｒリニアセンサ、２０Ｇ，６０Ｇ Ｇリニ
アセンサ、２０Ｂ，６０Ｂ Ｂリニアセンサ、Ｗ0 ，Ｗ
1 配線の幅
Claims (1)
- 【請求項１】 センサ列の両側に転送レジスタが配され
た両側読み出しの撮像素子が複数配列された固体撮像装
置において、 隣り合う上記撮像素子の互いに対向する転送レジスタの
同相の転送部が向かい合って転送電極が接続されて成る
ことを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8303139A JPH10144908A (ja) | 1996-11-14 | 1996-11-14 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8303139A JPH10144908A (ja) | 1996-11-14 | 1996-11-14 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10144908A true JPH10144908A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=17917358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8303139A Pending JPH10144908A (ja) | 1996-11-14 | 1996-11-14 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10144908A (ja) |
-
1996
- 1996-11-14 JP JP8303139A patent/JPH10144908A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040625 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040629 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041026 |