JPH10145101A - 電磁波導入窓 - Google Patents
電磁波導入窓Info
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- JPH10145101A JPH10145101A JP29997496A JP29997496A JPH10145101A JP H10145101 A JPH10145101 A JP H10145101A JP 29997496 A JP29997496 A JP 29997496A JP 29997496 A JP29997496 A JP 29997496A JP H10145101 A JPH10145101 A JP H10145101A
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- JP
- Japan
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- electromagnetic wave
- seal ring
- peripheral surface
- dielectric
- waveguide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電磁波の乱れをなくし、また電磁波の吸収に
よるシールリングの悪化を防止することができる電磁波
導入窓を提供する。 【解決手段】 導波路１１の端部１１ｂに形成された一
方の突起部１１ｃの端面１１ｄが、容器１４の側面１４
ｃに接する一方、同端部１１ｂに形成された他方の突起
部１１ｅ、誘電体１２及びシールリング１３が、容器１
４の入口１４ａに形成された段部１４ｄ内に位置し、突
起部１１の先端面１１ｆと段部１４ｄの側面１４ｅとで
シールリング１３を挾持してこのシールリング１３を側
面１４ｅに押えつけ、これによってシールリング１３が
側面１４ｅと誘電体１２の外周面とに密着して物質をシ
ールすると共に、導波路１１の内周面１１ｇと、金属薄
膜１５で覆われた誘電体１２の外周面と、容器１４の入
口１４ａの内周面１４ｂとが、広がりがなく連続的にな
るような構成とする。
よるシールリングの悪化を防止することができる電磁波
導入窓を提供する。 【解決手段】 導波路１１の端部１１ｂに形成された一
方の突起部１１ｃの端面１１ｄが、容器１４の側面１４
ｃに接する一方、同端部１１ｂに形成された他方の突起
部１１ｅ、誘電体１２及びシールリング１３が、容器１
４の入口１４ａに形成された段部１４ｄ内に位置し、突
起部１１の先端面１１ｆと段部１４ｄの側面１４ｅとで
シールリング１３を挾持してこのシールリング１３を側
面１４ｅに押えつけ、これによってシールリング１３が
側面１４ｅと誘電体１２の外周面とに密着して物質をシ
ールすると共に、導波路１１の内周面１１ｇと、金属薄
膜１５で覆われた誘電体１２の外周面と、容器１４の入
口１４ａの内周面１４ｂとが、広がりがなく連続的にな
るような構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電磁波導入窓に関
し、マイクロ波やミリ波等の電磁波を異なる物質状態種
類、圧力相などにある空間に導入する装置全般における
電磁波導入窓に適用して有用なものである。
し、マイクロ波やミリ波等の電磁波を異なる物質状態種
類、圧力相などにある空間に導入する装置全般における
電磁波導入窓に適用して有用なものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の電磁波導入窓の構成を示
す断面図である。
す断面図である。
【０００３】同図に示すように、従来の電磁波導入窓
は、導波路１の端部１ｂと、この導波路１によって導か
れた電磁波が導入される容器４の入口４ａとの間に、物
質は遮断するが電磁波は通す誘電体２と、物質をシール
するためのシールリング３とを介在してなるものであ
る。
は、導波路１の端部１ｂと、この導波路１によって導か
れた電磁波が導入される容器４の入口４ａとの間に、物
質は遮断するが電磁波は通す誘電体２と、物質をシール
するためのシールリング３とを介在してなるものであ
る。
【０００４】詳述すると、導波路１の端部１ｂは本体部
１ａよりも内径が少し広がっており、この広がり部に誘
電体２の外周部２ｃが嵌合されている。一方、シールリ
ング３は、容器４の入口４ａの導波路側周縁部（側面４
ｂ）に設けられている。
１ａよりも内径が少し広がっており、この広がり部に誘
電体２の外周部２ｃが嵌合されている。一方、シールリ
ング３は、容器４の入口４ａの導波路側周縁部（側面４
ｂ）に設けられている。
【０００５】そして、導波路１の端面１ｃを容器４の側
面４ｂに隙間なく密着させることによって電磁波のリー
クを防止すると共に、シールリング３に接する誘電体２
の入射面２ａの対面２ｂを、導波路１により容器４の側
面４ｂに押えつけて、対面２ｂの外周部２ｃと入口４ａ
の周縁部４ｃとでシールリング３を挾持することによ
り、物質のシールを可能にしている。
面４ｂに隙間なく密着させることによって電磁波のリー
クを防止すると共に、シールリング３に接する誘電体２
の入射面２ａの対面２ｂを、導波路１により容器４の側
面４ｂに押えつけて、対面２ｂの外周部２ｃと入口４ａ
の周縁部４ｃとでシールリング３を挾持することによ
り、物質のシールを可能にしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の電磁波導入窓では、上記の如く、導波路１の端部１
ｂの内径が、誘電体２の外周部２ｃを支持すると共にこ
の外周部２ｃを介してシールリング３を押えつけるため
に、本体部１ａよりも少し広がっているため、電磁波
は、この広がり部に侵入して自らのモード（空間分布）
を崩し、乱れてしまう。また、シールリング３部にも電
磁波が侵入するため、シールリング３による電磁波の吸
収が起こり、その結果、シールリング３が変質又は燃焼
して、シールリング３の悪化が起こる。
来の電磁波導入窓では、上記の如く、導波路１の端部１
ｂの内径が、誘電体２の外周部２ｃを支持すると共にこ
の外周部２ｃを介してシールリング３を押えつけるため
に、本体部１ａよりも少し広がっているため、電磁波
は、この広がり部に侵入して自らのモード（空間分布）
を崩し、乱れてしまう。また、シールリング３部にも電
磁波が侵入するため、シールリング３による電磁波の吸
収が起こり、その結果、シールリング３が変質又は燃焼
して、シールリング３の悪化が起こる。
【０００７】従って本発明は上記従来技術に鑑み、電磁
波の乱れをなくし、また電磁波の吸収によるシールリン
グの悪化を防止することができる電磁波導入窓を提供す
ることを課題とする。
波の乱れをなくし、また電磁波の吸収によるシールリン
グの悪化を防止することができる電磁波導入窓を提供す
ることを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する第１
の発明の電磁波導入窓は、電磁波を導く導波路の端部
と、この導波路によって導かれた電磁波が導入される空
間の入口との間に、物質は遮断するが電磁波は通す誘電
体と、物質をシールするためのシールリングとを介在し
てなる電磁波導入窓において、前記誘電体は外周面が金
属薄膜で覆われており、前記シールリングはこの金属薄
膜で覆われた誘電体の外周面部に設けられ前記導波路の
端部と前記空間の入口の周縁部とに挟持されていること
を特徴とする。
の発明の電磁波導入窓は、電磁波を導く導波路の端部
と、この導波路によって導かれた電磁波が導入される空
間の入口との間に、物質は遮断するが電磁波は通す誘電
体と、物質をシールするためのシールリングとを介在し
てなる電磁波導入窓において、前記誘電体は外周面が金
属薄膜で覆われており、前記シールリングはこの金属薄
膜で覆われた誘電体の外周面部に設けられ前記導波路の
端部と前記空間の入口の周縁部とに挟持されていること
を特徴とする。
【０００９】また、第２の発明の電磁波導入窓は、第１
の発明の電磁波導入窓において、前記導波路の内周面
と、金属薄膜で覆われた前記誘電体の外周面と、前記空
間の入口の内周面とが、広がりがなく連続的になるよう
に構成されていることを特徴とする。
の発明の電磁波導入窓において、前記導波路の内周面
と、金属薄膜で覆われた前記誘電体の外周面と、前記空
間の入口の内周面とが、広がりがなく連続的になるよう
に構成されていることを特徴とする。
【００１０】従って、上記第１の発明の電磁波導入窓に
よれば、金属薄膜で覆われた誘電体に外周面部にシール
リングが設けられているため、このシールリングは金属
薄膜によって電磁波から保護され、電磁波の吸収による
シールリングの悪化は生じない。
よれば、金属薄膜で覆われた誘電体に外周面部にシール
リングが設けられているため、このシールリングは金属
薄膜によって電磁波から保護され、電磁波の吸収による
シールリングの悪化は生じない。
【００１１】また、上記第２発明の電磁波導入窓によれ
ば、金属薄膜で覆われた誘電体の外周面部にシールリン
グが設けられているため、このシールリングは金属薄膜
によって電磁波から保護され、電磁波の吸収によるシー
ルリングの悪化は生じない。しかも、導波路の内周面
と、金属薄膜で覆われた誘電体の外周面と、空間の入口
の内周面とが、広がりがなく連続的になるように構成さ
れているため、従来のように広がり部に電磁波が侵入す
る虞はなく、従って電磁波の乱れ（モードの崩れ）は生
じない。
ば、金属薄膜で覆われた誘電体の外周面部にシールリン
グが設けられているため、このシールリングは金属薄膜
によって電磁波から保護され、電磁波の吸収によるシー
ルリングの悪化は生じない。しかも、導波路の内周面
と、金属薄膜で覆われた誘電体の外周面と、空間の入口
の内周面とが、広がりがなく連続的になるように構成さ
れているため、従来のように広がり部に電磁波が侵入す
る虞はなく、従って電磁波の乱れ（モードの崩れ）は生
じない。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき詳細に説明する。
に基づき詳細に説明する。
【００１３】図１は本発明の実施の形態に係る電磁波導
入窓の構成を示す断面図、図２（ａ）は図１に示す電磁
波導入窓の誘電体部を抽出して示す図１のＡ方向矢視
図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ方向矢視図、図２
（ｃ）は図２（ａ）のＣ方向矢視図である。
入窓の構成を示す断面図、図２（ａ）は図１に示す電磁
波導入窓の誘電体部を抽出して示す図１のＡ方向矢視
図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ方向矢視図、図２
（ｃ）は図２（ａ）のＣ方向矢視図である。
【００１４】図１に示すように、本実施の形態に係る電
磁波導入窓は、導波路１１の端部１１ｂと、この導波路
１１によって導かれた電磁波が導入される容器１４の入
口１４ａとの間に、物質は遮断するが電磁波は通す誘電
体１２と、物質をシールするためのシールリング１３と
を介在してなるものであって、誘電体１２は外周面が金
属薄膜１５で覆われており、シールリング１３はこの外
周面が金属薄膜１５で覆われた誘電体１２の外周面部に
設けられ誘電体１２の端部１１ｂと容器１４の入口１４
ａの周縁部とに挟持され、また、導波路１１の内周面１
１ｇと、金属薄膜１５で覆われた誘電体１２の外周面
と、容器１４の入口１４ａの内周面１４ｂとが、広がり
がなく連続的になるように構成されている。
磁波導入窓は、導波路１１の端部１１ｂと、この導波路
１１によって導かれた電磁波が導入される容器１４の入
口１４ａとの間に、物質は遮断するが電磁波は通す誘電
体１２と、物質をシールするためのシールリング１３と
を介在してなるものであって、誘電体１２は外周面が金
属薄膜１５で覆われており、シールリング１３はこの外
周面が金属薄膜１５で覆われた誘電体１２の外周面部に
設けられ誘電体１２の端部１１ｂと容器１４の入口１４
ａの周縁部とに挟持され、また、導波路１１の内周面１
１ｇと、金属薄膜１５で覆われた誘電体１２の外周面
と、容器１４の入口１４ａの内周面１４ｂとが、広がり
がなく連続的になるように構成されている。
【００１５】詳述すると、導波路１１は本体部１１ａか
ら端部１ｂに至るまで内部の幅が一定であり、また端部
１ｂは、導波路１１の長手方向（図中１中左右方向）に
突出した突起部１１ｅと、前記長手方向に直交する方向
に突出した突起部１１ｃとを有し、断面がＬ字状となる
ように形成されている。
ら端部１ｂに至るまで内部の幅が一定であり、また端部
１ｂは、導波路１１の長手方向（図中１中左右方向）に
突出した突起部１１ｅと、前記長手方向に直交する方向
に突出した突起部１１ｃとを有し、断面がＬ字状となる
ように形成されている。
【００１６】誘電体１２は、図２に示すように矩形のも
のであって、外周面全体が金属薄膜１５によって覆われ
ており、図１に示すように、この金属薄膜１５で覆われ
た外周面の導波路側部分（図１中左側部分）が導波路１
１の端部１ｂ内に嵌合されている。なお、金属薄膜１５
の厚さは、電磁波の波長、パワーによって決める。波長
が長く、高パワーであるほど厚くする必要がある。金属
薄膜１５を生成する金属材料としては、Ａｌ程度に電導
率が高く、化学的に安定なものであれば、どのような金
属でもよい（具体例は後述）。
のであって、外周面全体が金属薄膜１５によって覆われ
ており、図１に示すように、この金属薄膜１５で覆われ
た外周面の導波路側部分（図１中左側部分）が導波路１
１の端部１ｂ内に嵌合されている。なお、金属薄膜１５
の厚さは、電磁波の波長、パワーによって決める。波長
が長く、高パワーであるほど厚くする必要がある。金属
薄膜１５を生成する金属材料としては、Ａｌ程度に電導
率が高く、化学的に安定なものであれば、どのような金
属でもよい（具体例は後述）。
【００１７】また、図１に示すように、シールリング１
３は、ゴム等の弾性体であり、外周面が金属薄膜１５で
覆われた誘電体１２の外周面部の容器寄り（図１中右側
寄り）に設けられ、この誘電体１３の外周面（即ち金属
薄膜１５）に圧着している。なお、シールリング１３と
しては、フレキシブルなものであって雰囲気物質に対し
化学的に安定なものであれば材質は問わない。
３は、ゴム等の弾性体であり、外周面が金属薄膜１５で
覆われた誘電体１２の外周面部の容器寄り（図１中右側
寄り）に設けられ、この誘電体１３の外周面（即ち金属
薄膜１５）に圧着している。なお、シールリング１３と
しては、フレキシブルなものであって雰囲気物質に対し
化学的に安定なものであれば材質は問わない。
【００１８】容器１４の入口１４ａの導波路側周縁部に
は、段部１４ｄが形成されており、この段部１４ｄでは
入口１４ａの内周面１４ｂよりも広くなっている。
は、段部１４ｄが形成されており、この段部１４ｄでは
入口１４ａの内周面１４ｂよりも広くなっている。
【００１９】そして、導波路１１の端部１１ｂに形成さ
れた一方の突起部１１ｃの端面１１ｄが、容器１４の側
面１４ｃに接する一方、同端部１１ｂに形成された他方
の突起部１１ｅ、誘電体１２及びシールリング１３が容
器１４の入口１４ａに形成された段部１４ｄ内に位置
し、突起部１１の先端面１１ｆと段部１４ｄの側面１４
ｅとでシールリング１３を挾持してこのシールリング１
３を側面１４ｅに押えつけ、これによってシールリング
１３が側面１４ｅと誘電体１２の外周面とに密着して物
質をシールする構成となっており、また、導波路１１の
内周面１１ｇと、金属薄膜１５で覆われた誘電体１２の
外周面と、容器１４の入口１４ａの内周面１４ｂとが、
広がりがなく連続的になる構成となっている。
れた一方の突起部１１ｃの端面１１ｄが、容器１４の側
面１４ｃに接する一方、同端部１１ｂに形成された他方
の突起部１１ｅ、誘電体１２及びシールリング１３が容
器１４の入口１４ａに形成された段部１４ｄ内に位置
し、突起部１１の先端面１１ｆと段部１４ｄの側面１４
ｅとでシールリング１３を挾持してこのシールリング１
３を側面１４ｅに押えつけ、これによってシールリング
１３が側面１４ｅと誘電体１２の外周面とに密着して物
質をシールする構成となっており、また、導波路１１の
内周面１１ｇと、金属薄膜１５で覆われた誘電体１２の
外周面と、容器１４の入口１４ａの内周面１４ｂとが、
広がりがなく連続的になる構成となっている。
【００２０】従って、上記構成の電磁波導入窓によれ
ば、外周面が金属薄膜１５で覆われた誘電体１２の外周
面部にシールリング１３が設けられているため、このシ
ールリング１３は金属薄膜１５によって電磁波から保護
され、電磁波の吸収によるシールリング１３の悪化は生
じない。しかも、導波路１１の内周面１１ｇと、金属薄
膜１５で覆われた誘電体１２の外周面と、容器１４の入
口１４ａの内周面１４ｂとが、広がりがなく連続的にな
るように構成されているため、従来のように広がり部に
電磁波が侵入する虞はなく、従って電磁波の乱れ（モー
ドの崩れ）は生じない。
ば、外周面が金属薄膜１５で覆われた誘電体１２の外周
面部にシールリング１３が設けられているため、このシ
ールリング１３は金属薄膜１５によって電磁波から保護
され、電磁波の吸収によるシールリング１３の悪化は生
じない。しかも、導波路１１の内周面１１ｇと、金属薄
膜１５で覆われた誘電体１２の外周面と、容器１４の入
口１４ａの内周面１４ｂとが、広がりがなく連続的にな
るように構成されているため、従来のように広がり部に
電磁波が侵入する虞はなく、従って電磁波の乱れ（モー
ドの崩れ）は生じない。
【００２１】このため、高パワーの電磁波を効率的に導
入することができ、電磁波の効率的な利用が可能とな
る。
入することができ、電磁波の効率的な利用が可能とな
る。
【００２２】なお、上記のような矩形の誘電体１２の場
合、コーナーでの密着性が問題になることが予想される
が、シールリング１３を設置する容器１４と誘電体１２
との隙間が、シールリング１３が入る範囲で十分狭けれ
ば、圧着によるシールリング１３の変形により密着性は
保てる。
合、コーナーでの密着性が問題になることが予想される
が、シールリング１３を設置する容器１４と誘電体１２
との隙間が、シールリング１３が入る範囲で十分狭けれ
ば、圧着によるシールリング１３の変形により密着性は
保てる。
【００２３】また、上記誘電体１２のように外周面を金
属薄膜で覆った誘電体は、合成石英ガラス等の誘電体に
対し、その外周面以外の面をマスクした状態で、前記外
周面の１面ずつをプラズマにさらして処理を施した後、
プラズマによる金属のスパッター現象を利用した真空蒸
着を行うことによって製作することができる。この方法
での誘電体（合成石英ガラス）への金属薄膜の生成はＡ
ｌ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕについて実験的に確認しており、
金属と誘電体の密着性も良好であり、シールとして十分
使用可能である。
属薄膜で覆った誘電体は、合成石英ガラス等の誘電体に
対し、その外周面以外の面をマスクした状態で、前記外
周面の１面ずつをプラズマにさらして処理を施した後、
プラズマによる金属のスパッター現象を利用した真空蒸
着を行うことによって製作することができる。この方法
での誘電体（合成石英ガラス）への金属薄膜の生成はＡ
ｌ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕについて実験的に確認しており、
金属と誘電体の密着性も良好であり、シールとして十分
使用可能である。
【００２４】また、誘電体の形状は上記の形状に限定す
るものではなく、導入窓の形状に合わせて任意である。
るものではなく、導入窓の形状に合わせて任意である。
【００２５】
【発明の効果】以上、発明の実施の形態と共に具体的に
説明したように、第１の発明の電磁波導入窓によれば、
金属薄膜で覆われた誘電体の外周面部にシールリングが
設けられているため、このシールリングは金属薄膜によ
って電磁波から保護され、電磁波の吸収によるシールリ
ングの悪化は生じない。
説明したように、第１の発明の電磁波導入窓によれば、
金属薄膜で覆われた誘電体の外周面部にシールリングが
設けられているため、このシールリングは金属薄膜によ
って電磁波から保護され、電磁波の吸収によるシールリ
ングの悪化は生じない。
【００２６】また、上記第２発明の電磁波導入窓によれ
ば、金属薄膜で覆われた誘電体の外周面部にシールリン
グが設けられているため、このシールリングは金属薄膜
によって電磁波から保護され、電磁波の吸収によるシー
ルリングの悪化は生じない。しかも、導波路の内周面
と、金属薄膜で覆われた誘電体の外周面と、空間の入口
の内周面とが、広がりがなく連続的になるように構成さ
れているため、従来のように広がり部に電磁波が侵入す
る虞はなく、従って電磁波の乱れ（モードの崩れ）は生
じない。
ば、金属薄膜で覆われた誘電体の外周面部にシールリン
グが設けられているため、このシールリングは金属薄膜
によって電磁波から保護され、電磁波の吸収によるシー
ルリングの悪化は生じない。しかも、導波路の内周面
と、金属薄膜で覆われた誘電体の外周面と、空間の入口
の内周面とが、広がりがなく連続的になるように構成さ
れているため、従来のように広がり部に電磁波が侵入す
る虞はなく、従って電磁波の乱れ（モードの崩れ）は生
じない。
【００２７】このため、高パワーの電磁波を効率的に導
入することができ、電磁波の効率的な利用が可能とな
る。
入することができ、電磁波の効率的な利用が可能とな
る。
【図１】本発明の実施の形態に係る電磁波導入窓の構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】（ａ）は図１に示す電磁波導入窓の誘電体部を
抽出して示す図１のＡ方向矢視図、（ｂ）は（ａ）のＢ
方向矢視図、（ｃ）は（ａ）のＣ方向矢視図である。
抽出して示す図１のＡ方向矢視図、（ｂ）は（ａ）のＢ
方向矢視図、（ｃ）は（ａ）のＣ方向矢視図である。
【図３】従来の電磁波導入窓の構成を示す断面図であ
る。
る。
１１ 導波路 １１ａ 本体部 １１ｂ 端部 １１ｃ 突起部 １１ｄ 端面 １１ｅ 突起部 １１ｆ 端面 １１ｇ 内周面 １２ 誘電体 １３ シールリング １４ 容器 １４ａ 入口 １４ｂ 内周面 １４ｃ 側面 １４ｄ 段部 １４ｅ 側面 １５ 金属薄膜
Claims (2)
- 【請求項１】 電磁波を導く導波路の端部と、この導波
路によって導かれた電磁波が導入される空間の入口との
間に、物質は遮断するが電磁波は通す誘電体と、物質を
シールするためのシールリングとを介在してなる電磁波
導入窓において、 前記誘電体は外周面が金属薄膜で覆われており、前記シ
ールリングはこの金属薄膜で覆われた誘電体の外周面部
に設けられ前記導波路の端部と前記空間の入口の周縁部
とに挟持されていることを特徴とする電磁波導入窓。 - 【請求項２】 請求項１に記載する電磁波導入窓におい
て、 前記導波路の内周面と、金属薄膜で覆われた前記誘電体
の外周面と、前記空間の入口の内周面とが、広がりがな
く連続的になるように構成されていることを特徴とする
電磁波導入窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29997496A JPH10145101A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | 電磁波導入窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29997496A JPH10145101A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | 電磁波導入窓 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10145101A true JPH10145101A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=17879231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29997496A Withdrawn JPH10145101A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | 電磁波導入窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10145101A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2785141A1 (fr) * | 1998-10-27 | 2000-04-28 | Electrovac | Boitier pour circuits electriques/electroniques |
-
1996
- 1996-11-12 JP JP29997496A patent/JPH10145101A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2785141A1 (fr) * | 1998-10-27 | 2000-04-28 | Electrovac | Boitier pour circuits electriques/electroniques |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040203 |