JPH10147432A - カセットチャンバ - Google Patents

カセットチャンバ

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JPH10147432A
JPH10147432A JP8324783A JP32478396A JPH10147432A JP H10147432 A JPH10147432 A JP H10147432A JP 8324783 A JP8324783 A JP 8324783A JP 32478396 A JP32478396 A JP 32478396A JP H10147432 A JPH10147432 A JP H10147432A
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JP
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cassette
chamber
arm member
chamber container
support
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JP8324783A
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Keiichi Matsushima
圭一 松島
Teruo Asakawa
輝雄 浅川
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Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセットをチャンバ容器内に搬入、或いは搬
出させる際に、その途中でカセットの向きを縦から横、
或いはその逆に変えることができるカセットチャンバを
提供する。 【解決手段】 複数枚の被処理体Ｗを収容可能なカセッ
トＣを収容して被処理体を搬入搬出可能とするカセット
チャンバにおいて、前記カセットを収容し得るチャンバ
容器２０と、前記カセットを保持するために昇降可能に
なされた昇降台座２６と、前記カセットの底面３１を受
ける底面支持部３８と背面２５を受ける背面支持部４０
を有するカセット支持台３６と、前記チャンバ容器の外
側に設けられ、前記カセット支持台を縦方向に回転しつ
つ前記チャンバ容器内とチャンバ容器外との間を移動さ
せるカセット支持台移動機構３４とを備えるように構成
する。これにより、カセットを搬入、或いは搬出する際
にこれを縦方向に９０度回転させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
被処理体を収納するカセットを収容するカセットチャン
バに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体ウエハに対して各種の処
理、例えば成膜処理やエッチング処理や熱酸化処理等を
行なうプロセスチャンバの前段側には、多数枚、例えば
２５枚のウエハを一度に収納できるカセットを収容する
カセットチャンバが設けられており、このカセットチャ
ンバとプロセスチャンバとの間をトランスファチャンバ
を介してウエハの受け渡しを行なうようになっている。
例えば、ウエハの収納されたカセットをカセットチャン
バ内に取り込む場合には、オペレータがカセットの搬出
入口を上向きにした状態でカセットをカセットチャンバ
のステージ側に設置し、カセットチャンバ内に組み込ま
れているはね橋式の駆動機構によって上記カセットをカ
セットチャンバに取り込みつつ略９０度回転させてカセ
ット搬出入口を上向きから水平方向に向けるようになっ
ている。
【０００３】そして、通常、１つのトランスファチャン
バに対して複数、例えば２個のカセットチャンバを接続
していることから、トランスファチャンバ内に設けられ
る搬送アームが上記２つのカセットチャンバ内の各カセ
ットにアクセスできるようにするためには、各カセット
の搬出入口を搬送アームの進退方向に対して真正面を向
くようにカセットの方向付けをするようになっている。
【０００４】この状態を図９〜図１１を参照して説明す
る。図９はクラスタツール装置の斜視図を示し、図１０
はその平面断面図を示す。このクラスタツール装置は、
２つのプロセスチャンバ２、４とこれに接続された１つ
のトランスファチャンバ６と、これに接続された２つの
カセットチャンバ８、１０により主に構成される。各チ
ャンバ間は、気密に開閉可能になされたゲートバルブＧ
を介して連通遮断可能になされる。上記トランスファチ
ャンバ６内には、屈伸及び回転可能になされた例えば多
関節式の搬送アーム１２が設けられ、この１つのアーム
１２により各カセットチャンバ８、１０内のカセットＣ
に収容されている半導体ウエハＷの搬入・搬出を行な
う。そのため、各カセットＣの搬出入口１４は、搬送ア
ーム１２の進退方向１６に対して真正面を向いている必
要があるので、各搬出入口１４は、図１０中の上下方向
に対して所定の角度θだけ角度を持たせて設置される。
【０００５】これに対して、オペレータは、各カセット
チャンバ８、１０のゲートドアＧ１の外側のステージ
に、搬出入口を上向きにした状態で、しかも、図１０中
において水平方向に対して平行となるようにカセットＣ
を載置するように装置規約上定められているので、この
カセットＣをカセットチャンバ内に取り込むときにはカ
セットＣを９０度回転させると共に水平方向に角度θだ
け回転させてその搬出入口１４を搬送アーム１２の中心
方向に向けなければならない。図１１はこの時の状態を
示しており、図中、破線で示されるカセットＣはカセッ
トチャンバの外側に位置するカセットＣをはね橋式に９
０度反転させてカセットチャンバ内に取り込んだ時の状
態を示す。
【０００６】このような動作を実行する装置例として例
えば米国特許第５１８６５９４号や米国特許第５５０７
６１４号に示されるものが知られている。前者は、いわ
ゆるはね橋式の駆動機構によりカセットＣを９０度反転
させてカセットチャンバ内に取り込むことによって上方
を向いていた搬出入口を水平方向に向け、次に、これを
ピボット機構により所定の角度だけ水平回転させてアー
ム中心側に向けるようにしている。また、後者にあって
は、重力方向に対して斜め方向に設けた回転軸を回転さ
せることによって、カセットを一気に所定のポジション
に位置させるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前者の装置
例にあっては、はね橋機構を採用してはね橋動作を行な
うにあたり、チャンバ内から外に向かって、或いは逆に
外から内に向かってカセットを移動させつつこれを横か
ら縦へ、或いはその逆に縦から横へ向きを変えるように
なっていることから、はね橋機構がフロント側に飛び出
して装置のフロントエンドが大きくなってしまう。更
に、カセットを所定の角度だけ水平回転させるピボット
機構も設けなければならず、駆動機構が多くなるのみな
らず、その分、パーティクルの発生量やコスト高を招来
してしまう。また、後者の装置例にあっては、真空中に
て斜め方向の回転軸を回転駆動する構造のために、水平
方向の回転駆動と比較して回転機構部に偏当りの部分が
多くなって、その分、パーティクルの発生量が多くなっ
てしまう。また、カセットを斜め回転させることからそ
の分、回転に要する空間が大きくなり、チャンバの大型
化を招来してしまう。本発明は、以上のような問題点に
着目し、これを有効に解決すべく創案されたものであ
る。本発明の目的は、カセットをチャンバ容器内に搬
入、或いは搬出させる際に、その途中でカセットの向き
を縦から横、或いはその逆に変えることができるカセッ
トチャンバを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するために、複数枚の被処理体を収容可能なカセッ
トを収容して被処理体を搬入搬出可能とするカセットチ
ャンバにおいて、前記カセットを収容し得るチャンバ容
器と、前記カセットを保持するために昇降可能になされ
た昇降台座と、前記カセットの底面を受ける底面支持部
と背面を受ける背面支持部を有するカセット支持台と、
前記チャンバ容器の外側に設けられ、前記カセット支持
台を縦方向に回転しつつ前記チャンバ容器内とチャンバ
容器外との間を移動させるカセット支持台移動機構とを
備えるように構成したものである。
【０００９】これによれば、オペレータはカセットの搬
出入口を上向きにした状態で、これをチャンバ容器外に
位置されているカセット支持台の背面支持部上に載置す
る。そして、カセット支持台移動機構を駆動し始めると
この移動機構の動作により、上記カセット支持台は垂直
面内に回転しつつチャンバ容器内に次第に取り込まれ、
完全に取り込まれた時には９０度縦方向に揺動回転した
状態となり、カセットは縦から横に向きを変えられて搬
出入口は水平方向を向いた状態となる。そして、昇降台
座を上昇させることによってカセットは昇降台座に受け
渡され、これを所定の角度だけ水平面内で旋回させるこ
とにより、カセットの搬出入口を搬送アームの進退方向
に対して真正面を向くようにする。
【００１０】また、カセットをチャンバ容器から搬出す
る場合には、上記したと逆の操作を行なえばよい。ここ
で、カセット支持台の底面支持部には、上記したように
昇降台座との間でカセットの受け渡しを行なうために、
昇降台座挿通口が形成されており、また、その一端が開
放されて、カセット支持台の回転復帰時にこれが昇降台
座側と干渉しないようになっている。また、カセット支
持台移動機構は、回転自在に支持された主駆動軸と、こ
の主駆動軸を回転駆動する主駆動手段と、一端が前記主
駆動軸に固定されると共に他端が前記カセット支持台に
回転可能に連結される第１アーム部材と、一端が前記主
駆動軸に回転可能に連結されると共に他端に固定軸を有
する第２アーム部材と、一端が前記固定軸に回転可能に
連結されると共に他端が前記カセット支持台に回転可能
に連結される第３アーム部材と、前記第２アーム部材を
前記主駆動軸を中心として回転させる第２アーム部材駆
動手段とを有して構成されており、チャンバ容器の外側
にて移動させることによってチャンバ容器内がパーティ
クルで汚染されないようにしている。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係るカセットチ
ャンバの一実施例を添付図面に基づいて詳述する。図１
は本発明のカセットチャンバを示す側面図、図２は図１
に示すカセットチャンバのカセット支持台とカセット支
持台移動機構を示す平面図、図３は図２に示すカセット
支持台がカセットを保持している状態を示す平面図、図
４乃至図６は本発明のカセットチャンバの主要部の動作
を示す図、図７はカセット支持台移動機構の一部を示す
図である。尚、図９〜図１１に示すカセットチャンバと
同一部分については同一符号を付して説明する。本発明
のカセットチャンバ１８は、先の図９〜図１１に示した
クラスタツール装置のカセットチャンバ８、１０と同様
にトランスファチャンバ６に接続される。 カセットチ
ャンバ１８の内部構成は、図１においてチャンバ８の位
置に設ける場合と、チャンバ１０の位置に設ける場合と
で単に上下が逆様になる点を除き、全く同様である。
【００１２】図１に示すようにこのカセットチャンバ１
８は、全体が矩形状に成形された例えばアルミニウム製
のチャンバ容器２０を有しており、表側（フロント側）
にカセットＣを収容できる大きさのカセット搬入口２２
が設けられ、これに気密に開閉可能になされたゲートド
アＧ１が設置される。このカセット搬入口２２の反対側
壁面の上方には、トランスファチャンバ６に接続される
ウエハ搬出口２４が設けられ、ここにはゲートバルブＧ
が開閉可能に設置される。ここではカセット搬入口２２
とウエハ搬出口２４とがなす角度はθ１に設定されてお
り（図１０参照）、また、図１０中において搬送アーム
１２の進退方向１６と水平方向とは所定の角度θだけ傾
いている。ここで角度θ１、θは例えば共に２２．５度
に設定されている。
【００１３】被処理体としての半導体ウエハＷを収容す
るカセットＣは、例えば図８に示すように構成され、内
部に例えば２５枚のウエハＷを収容でき、ウエハＷの搬
入搬出側を搬出入口１４とし、その反対側面を背面２５
とする。また、把手２７を設けた面を上面２９とし、そ
の反対側の面を底面３１とする。そして、図４に示すよ
うに、上記カセットＣはその搬出入口１４を上向き状態
にしてオペレータによりチャンバ容器外に位置するカセ
ット支持台３６上に設置されることになる。図１に戻っ
てチャンバ容器２０内には昇降台座２６が設けられ、こ
の昇降台座２６の下面には、昇降ロッド２８が接続され
る。この昇降ロッド２８は、チャンバ容器２０の底部２
０Ａを例えばＯリング等のシール３０を介して気密に貫
通しており、昇降機構３２により昇降ロッド２８を昇降
可能にしている。
【００１４】図１乃至図６にも示すように、このチャン
バ容器２０内には、カセット支持台３６が配置可能にな
されており、このカセット支持台３６はチャンバ容器２
０の外側に設けたカセット支持台移動機構３４により、
チャンバ容器２０内とチャンバ容器２０外との間を移動
可能とし、移動時にはカセット支持台３６を縦方向に９
０度回転するようになっている。具体的には、このカセ
ット支持台３６は、カセットＣの底面３１（図８参照）
を受けて保持する底面支持部３８とカセットＣの背面２
５（図８参照）を受けて保持する背面支持部４０とより
なり、両支持部３８、４０は直角に接合されている。そ
して、両支持部３８、４０の先端間には補強材４２が掛
け渡されており、図１に示すように側面三角形状になさ
れている。
【００１５】上記背面支持部４０は、略矩形状に成形さ
れているのに対して、上記底面支持部３８は、図１乃至
図３にも示すように、先端がやや面内内側へ屈曲された
一対の側部支持板３８Ａ、３８ＡとカセットＣの底面３
１の奥部を支持する奥部支持板３８Ｂとよりなり、その
中心部は、上記昇降台座２６が上下方向に挿通し得る程
度の大きさの昇降台座挿通口４４として構成されてい
る。上記一対の側部支持板３８Ａ、３８Ａの先端屈曲部
４１にてカセットＣの底部の両端側を支持するようにな
っている（図３参照）。そして、この挿通孔４４の一
側、すなわち側部支持板３８Ａ、３８Ａの先端間は開放
されており、このカセット支持台３６を、昇降台座２６
や昇降ロッド２８と干渉させることなく垂直面内にて９
０度回転し得るようになっている。
【００１６】次に、カセット支持台移動機構３４につい
て説明する。このカセット支持台移動機構３４は、図２
乃至図６に示すように、回転自在に支持された主駆動軸
４６と、これを回転駆動する主駆動手段４８と、上記主
駆動軸４６に一端が固定されると共に他端が上記カセッ
ト支持台３６に回転可能に連結された一対の第１アーム
部材５０と、一端がこの主駆動軸４６に回転可能に連結
されると共に他端に固定軸５４を有する一対の第２アー
ム部材５２と、一端が上記固定軸５４に回転可能に連結
されると共に他端が前記カセット支持台３６に回転可能
に連結される第３アーム部材５６と、上記第２アーム部
材５２を回転させる第２アーム部材駆動手段５８とによ
り主に構成される。具体的には、上記主駆動軸４６の両
側は、チャンバ容器２０の外壁、或いは図示しない固定
ベース側から延びる支持部５９にベアリング６０を介し
て支持されており、回転可能になされている。この主駆
動軸４６は、図４にも示すようにチャンバ容器２０のカ
セット搬入口２２の外側やや下方に、この搬入口２２と
平行に配置されている。
【００１７】そして、この主駆動軸４６の一端に、例え
ばステップモータ等よりなる主駆動手段４８の回転軸が
連結されており、この主駆動軸４６を正逆方向に少なく
とも所定の角度だけ回転し得るようになっている。尚、
主駆動軸４６の回転速度や回転角度を調整するために、
図示しない減速機等を介在させて主駆動軸４６を連結す
るようにしてもよい。この主駆動手段４６も当然のこと
として、チャンバ容器２０の外壁や固定ベース側（図示
せず）に支持固定される。一対の第１アーム部５０は、
くの字状に屈曲されており、その基端部が上記主駆動軸
４６に固定されてこれと一体的に回転し得るようになさ
れると共に、先端部は、カセット支持台３６の補強材４
２の略中央部に設けた受け軸６２にベアリング６４を介
して回転可能に連結されている。
【００１８】上記一対の第２アーム部材５２は、基端部
が上記主駆動軸４６にベアリング６６を介して回転可能
に支持される一方、その先端部には、一本の固定軸５４
が掛け渡して固定されている。上記第３アーム部材５６
は、図４にも示すように第１アーム部５０と略同じ形状
にくの字状に屈曲されており、その基端部は上記固定軸
５４の長さ方向の中心部にベアリング６８を介して回転
可能に連結されると共に、先端部はカセット支持台３６
の背面支持部４０の外側に設けた受け軸７０にベアリン
グ７２を介して回転可能に連結されている。ここで、図
４に示すように第２アーム部材５２の両支持端間の長さ
Ｌ１は、カセット支持台３６における第１アーム部材５
２と第３アーム部材５６の両支持端間の長さＬ２と同一
長さに設定されている。
【００１９】一方、上記一対の第２アーム部材５２を駆
動するための第２アーム部材駆動手段５８は、例えばス
テップモータ等よりなる副駆動部７６を有し、この駆動
軸は、直接或いは図示しない減速機を介して副駆動軸７
４に連結されている。この副駆動軸７４は、前記主駆動
軸４６に近接させてこれと平行に配置されており、チャ
ンバ容器２０の外壁、或いは図示しない固定ベース側か
ら延びる支持部７７にベアリング７９を介して固定可能
に支持されている。尚、この第２アーム部材駆動手段５
８もチャンバ容器や固定ベース側に固定されている。
【００２０】図７は、第２アーム部材５６と副駆動軸７
４の係合状態を示す図である。上記副駆動軸７４には、
上記一対の第２アーム部材５２に対応させて小歯車７８
を固定的に設けてあり、この小歯車４８を、上記第２ア
ーム部材５６の基端部外周面に形成した歯部８０に歯合
させている。これにより、上記第２アーム部材駆動手段
５８が構成されることになる。従って、上記副駆動部７
６を駆動させて小歯車７８を正逆回転させることによ
り、主駆動軸４６を中心として第２アーム部材５６を正
逆回転し得るようになっている。尚、ここで、第２アー
ム部材５６を正逆回転させる第２アーム部材駆動手段５
８は、単に一例を示したに過ぎず、ここで説明した構成
に限定されるものではない。
【００２１】次に、以上のように構成された本実施例の
動作について説明する。まず、カセットＣをチャンバ容
器２０内に取り込んで、トランスファチャンバ６との間
でウエハＷの受け渡しを行なうために、カセットＣをチ
ャンバ容器２０の外側に展開しているカセット支持台３
６に載置し、これを９０度縦方向に回転しつつチャンバ
容器２０内に取り込んで、昇降台座２６に受け渡して上
昇させてトランスファチャンバ６に臨ませる場合を例に
とって説明する。図４は昇降台座２６をチャンバ容器２
０内の最下端部に位置させて、カセット支持台３６が、
チャンバ容器２０の外側へ展開されている状態を示し、
背面支持部４０が水平状態になっており、底面支持部３
８が垂直状態になっている。さて、この状態でオペレー
タはカセットＣの搬出入口１４を上向きにして、この状
態でカセットＣをカセット支持台３６上に載置する。こ
の時は当然のようにカセットＣの背面２５が下方を向い
ており、この荷重はカセット支持台３６の背面支持部４
０により受けられる。
【００２２】次に、カセット支持台移動機構３４を駆動
すると、図５及び図６に示すようにカセット支持台３６
は９０度縦方向（ここでは反時計方向）に回転しつつ円
弧状に移動してチャンバ容器２０内に取り込まれること
になる。尚、この時の動きについては後述する。図６に
示すようにカセットＣのチャンバ容器２０内への取り込
みが完了した時には、縦方向に９０度回転したことから
ウエハ搬出入口１４は水平方向を向いている。すなわ
ち、この時、カセットＣの搬出入口１４は図４に示す上
向きから水平方向に向いた状態となり、また、カセット
Ｃの底面３２が底面支持部３８側上に載置された状態と
なってカセットＣの荷重は底面支持部３８により受けら
れることになる。
【００２３】次に、昇降台座２６を上昇させると、これ
は底面支持部３８の昇降台座挿通孔４４を上方に通過し
て、この通過の際に、カセットＣをその下方より持ち上
げてカセットＣは昇降台座２６に受け渡されることにな
る。そして、更に、この昇降台座２６を上昇させること
により、カセットＣの搬出入口１４がウエハ搬出口２４
に臨んだ状態となる。尚、図１０或いは図１１に示すよ
うに搬送アーム１２の進退方向１６に対してカセットＣ
の搬出入口１４を真正面に向かせる必要があるので、昇
降台座２６の上昇後、或いは上昇途中にてこれを角度θ
だけ搬送アーム方向に回転させるのは勿論である。この
ようにして、カセットＣの高さ調整を行ないつつ搬送ア
ーム１２によりウエハＷが搬出、或いは搬入されること
になる。
【００２４】ここで上記カセット支持台３６をチャンバ
容器２０内に取り込む時のカセット支持台移動機構３４
の動きについて詳しく説明する。まず、図４に示すよう
にカセットＣの背面を下方にして受けるために、カセッ
ト支持台３６の背面支持部４０を水平にした状態をホー
ムポジションとし、この状態から第２アーム部材駆動手
段５８の副駆動部７６を停止して小歯車７８（図７参
照）を固定した状態で、主駆動手段４８を駆動すること
により、主駆動軸４６を図４中にて反時計方向に所定の
角度θ２だけ回転する。これにより、主駆動軸４６に固
定された第１アーム部材５０も一点鎖線に示すように所
定の角度θ２だけ反時計方向に回転する。この時、第２
アーム部材５２の歯部８０は小歯車７８に歯合されて動
かないので（図７参照）、第３アーム部材５６も一点鎖
線に示すように固定軸５４を中心として角度θ３だけ反
時計方向に回転することになる。
【００２５】従って、この動きによってカセットＣは、
水平状態を維持したまま、一点鎖線に示すようにある程
度の高さまで持ち上げられることになる。次に、図５に
移る。ここでは図４中の一点鎖線で示す部分が、実線で
描かれている。ここでは、前述した場合とは逆に、主駆
動手段４８の駆動を停止して主駆動軸４６を固定した状
態で、副駆動部７６を駆動して、小歯車７８を時計方向
へ所定の角度だけ回転する（図７参照）。すると、これ
に歯合される歯部８０が逆回転し、結果的に、図５中の
一点鎖線に示すように第２アーム部材５２は反時計方向
に所定の角度θ４だけ回転する。この時、第２アーム部
材５２の先端部の固定軸５４に連結されている第３アー
ム部材５６は一点鎖線に示すように持ち上げられ、第１
アーム部材５０はここでは停止していることから、この
先端とカセット支持台３６との連結部を支点としてカセ
ット支持台３６は、９０度縦方向へ、すなわち反時計方
向へ回転することになり、カセットＣの搬出入口１４が
水平方向を向くことになる。
【００２６】次に、図６に移る。ここでは図５中の一点
鎖線で示す部分が、実線で描かれている。ここでは、図
５に示した場合とは逆に、図４にて説明したように副駆
動部７６の駆動を停止して、第２アーム部材５２を固定
した状態で、主駆動手段４８を駆動して、第１アーム部
材５０を所定の角度θ５だけ反時計方向へ回転する。す
ると、これに連れて第３アーム部材５６も所定の角度θ
６だけ反時計方向へ回転し、結果的に、カセットＣは図
５に示す状態から水平状態を維持されたまま、カセット
搬入口２２を介してチャンバ容器２０内に取り込まれる
ことになり、この時は、カセットＣの搬出入口１４は水
平状態を向いていることになる。
【００２７】尚、ここでは各アーム部材の動きを判り易
く説明するために、図４から図６に示すように動作を分
解して説明している。すなわち、主駆動手段４８と副駆
動部７６とを交互に回転駆動させているが、これに限定
されず、各アーム部材の最終的な回転角度が上記所定の
角度に達するように回転させるならば、これらの各アー
ム部材を同時に或いは非同期で回転させるようにしても
よい。すなわち、第１アーム部材５０は最終的に角度θ
２＋θ５だけ回転し、第２アーム部材５２は角度θ４だ
け回転しているような状態となればよい。尚、昇降台座
２６にカセットＣを受け渡した後は、これを上方に移動
させた後に、カセット支持台移動機構３４を逆回転させ
て、カセット支持台３６をチャンバ容器２０内から取り
出せばよい。
【００２８】一方、カセットＣをチャンバ容器２０から
搬出する場合には、前述した搬入動作の場合と逆の操作
を行なえばよい。すなわち、カセット支持台３６をチャ
ンバ容器２０内に展開させた状態でカセットＣを保持し
ている昇降台座２６を降下させることにより、これをカ
セット支持台３６の底面支持部３８側に受け渡す。そし
て、この状態でカセット支持台移動機構３４を逆回転さ
せることにより、カセット支持台３６を縦方向に９０度
回転しつつこの全体を時計方向に円弧状に回転させて、
チャンバ容器２０よりフロント側に取り出せばよい。こ
のように、本実施例においては、チャンバ容器２０の外
側に配置したカセット支持台移動機構３４を用いてチャ
ンバ容器内外との間でカセットを搬送しつつこれを縦方
向に９０度回転させるようにしているので、従来必要と
されていた、いわゆるはね橋機構を不要にすることがで
きる。従って、チャンバ容器２０の設置面積の削減を推
進できるのみならず、カセットチャンバの前面のフロン
トエンドを最小限とすることができる。
【００２９】また、チャンバ容器の外側にパーティクル
を発生し易いカセット支持台移動機構を設置したので、
発生したパーティクルがチャンバ容器内に侵入すること
を抑制することができ、更には、構造もそれ程複雑では
ないのでコスト高を招来することもない。
【００３０】また、上記実施例では、被処理体として半
導体ウエハを例にとって説明したが、これに限定され
ず、ガラス基板、ＬＣＤ基板等にも適用し得るのは勿論
である。更には、本発明のカセットチャンバを採用する
装置は、いわゆるクラスタツール装置に限定されるもの
でもない。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のカセット
チャンバによれば、次のように優れた作用効果を発揮す
ることができる。チャンバ容器の外側に配置したカセッ
ト支持台移動機構を用いてカセットをチャンバ容器に搬
入、搬出する際に、カセットを横から縦に、或いは縦か
ら横に回転するようにしたので、従来のいわゆるはね橋
機構を不要にできるのみならず、これを用いた場合と比
較して設置スペースを大幅に削減することができる。ま
た、カセット支持台移動機構は、チャンバ容器の外側に
設置したので、これより発生したパーティクルがチャン
バ容器内に侵入することを防止でき、また、構造も簡単
なので、コストの削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカセットチャンバを示す側面図であ
る。
【図２】図１に示すカセットチャンバのカセット支持台
とカセット支持台移動機構を示す平面図である。
【図３】図２に示すカセット支持台がカセットを保持し
ている状態を示す平面図である。
【図４】本発明のカセットチャンバの主要部の動作を示
す図である。
【図５】本発明のカセットチャンバの主要部の動作を示
す図である。
【図６】本発明のカセットチャンバの主要部の動作を示
す図である。
【図７】カセット支持台移動機構の一部を示す図であ
る。
【図８】カセットを示す斜視図である。
【図９】一般的なカセットチャンバを有するクラスタツ
ール装置を示す斜視図である。
【図１０】図９に示すクラスタツール装置の平面断面図
である。
【図１１】カセットチャンバ内に収容されたカセットの
状態を示す図である。
【符号の説明】
２，４ プロセスチャンバ ８，１０，１８ カセットチャンバ ２０ チャンバ容器 ２５ 背面 ２６ 昇降台座 ３１ 底面 ３４ カセット支持台移動機構 ３６ カセット支持台 ３８ 底面支持部 ４０ 背面支持部 ４４ 昇降台座挿通口 ４６ 主駆動軸 ４８ 主駆動手段 ５０ 第１アーム部材 ５２ 第２アーム部材 ５４ 固定軸 ５６ 第３アーム部材 ５８ 第２アーム部材駆動手段 ６０、６４、６６、６８、７２、７９ ベアリング ７８ 小歯車 ８０ 歯部 Ｃ カセット Ｗ 半導体ウエハ（被処理体）

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数枚の被処理体を収容可能なカセット
    を収容して被処理体を搬入搬出可能とするカセットチャ
    ンバにおいて、前記カセットを収容し得るチャンバ容器
    と、前記カセットを保持するために昇降可能になされた
    昇降台座と、前記カセットの底面を受ける底面支持部と
    背面を受ける背面支持部を有するカセット支持台と、前
    記チャンバ容器の外側に設けられ、前記カセット支持台
    を縦方向に回転しつつ前記チャンバ容器内とチャンバ容
    器外との間を移動させるカセット支持台移動機構とを備
    えたことを特徴とするカセットチャンバ。
  2. 【請求項２】 前記昇降台座は、旋回可能に設けられて
    いることを特徴とする請求項１記載のカセットチャン
    バ。
  3. 【請求項３】 前記カセット支持台の底面支持部は、一
    端が開放されて、前記昇降台座を上下方向に挿通し得る
    昇降台座挿通口を有することを特徴とする請求項１また
    は２記載のカセットチャンバ。
  4. 【請求項４】 前記カセット支持台は、縦方向に９０度
    回転することを特徴とする請求項１乃至３記載のカセッ
    トチャンバ。
  5. 【請求項５】 前記カセット支持台移動機構は、回転自
    在に支持された主駆動軸と、この主駆動軸を回転駆動す
    る主駆動手段と、一端が前記主駆動軸に固定されると共
    に他端が前記カセット支持台に回転可能に連結される第
    １アーム部材と、一端が前記主駆動軸に回転可能に連結
    されると共に他端に固定軸を有する第２アーム部材と、
    一端が前記固定軸に回転可能に連結されると共に他端が
    前記カセット支持台に回転可能に連結される第３アーム
    部材と、前記第２アーム部材を前記主駆動軸を中心とし
    て回転させる第２アーム部材駆動手段とを備えたことを
    特徴とする請求項１乃至４記載のカセットチャンバ。
  6. 【請求項６】 前記第２アーム部材駆動手段は、前記第
    ２アーム部材の端部に形成した歯部と、この歯部に歯合
    される小歯車と、この小歯車を回転駆動する副駆動部と
    よりなることを特徴とする請求項５記載のカセットチャ
    ンバ。
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