JPH10148473A - 電子部品基板の搬送装置 - Google Patents
電子部品基板の搬送装置Info
- Publication number
- JPH10148473A JPH10148473A JP32118396A JP32118396A JPH10148473A JP H10148473 A JPH10148473 A JP H10148473A JP 32118396 A JP32118396 A JP 32118396A JP 32118396 A JP32118396 A JP 32118396A JP H10148473 A JPH10148473 A JP H10148473A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- rope
- transfer
- furnace
- furnace body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Reciprocating Conveyors (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各種電子部品基板の加熱処理、紫外線処理作
業の際、基板裏面を汚染させずに効率的に作業を行える
様にすること。 【解決手段】 炉体の入口側から出口側にわたって炉体
の内外を縦断する様に搬送用ロープを張架し、該搬送用
ロープの前後を支持する架台に移動手段を取付け、該搬
送用ロープを炉体に対してその前後方向及び上下方向へ
移動できる様にし、該搬送ロープ上に被処理物である電
子部品基板を載置し、炉内への搬入搬出を行う様にし
た。
業の際、基板裏面を汚染させずに効率的に作業を行える
様にすること。 【解決手段】 炉体の入口側から出口側にわたって炉体
の内外を縦断する様に搬送用ロープを張架し、該搬送用
ロープの前後を支持する架台に移動手段を取付け、該搬
送用ロープを炉体に対してその前後方向及び上下方向へ
移動できる様にし、該搬送ロープ上に被処理物である電
子部品基板を載置し、炉内への搬入搬出を行う様にし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は電子部品基板の搬
送装置、詳しくは加熱炉、紫外線処理炉などの中へ被処
理物である電子部品基板を搬入搬出する装置に関するも
のである。
送装置、詳しくは加熱炉、紫外線処理炉などの中へ被処
理物である電子部品基板を搬入搬出する装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】半導体用ウエハー、液晶用基板、カラー
フィルター、半導体マスク硝子、液晶用マスク硝子、プ
ラズマディスプレイ用基板、デジタルビデオディスク用
基板等の電子部品基板は多くの電子機器に用いられてい
る。この種電子部品基板の製造の際には、加熱炉、紫外
線処理炉等において加熱あるいは紫外線照射する工程が
必要であるが、これら処理を行うには被処理物である各
種電子部品基板を炉中に搬入搬出する手段が必要とな
る。
フィルター、半導体マスク硝子、液晶用マスク硝子、プ
ラズマディスプレイ用基板、デジタルビデオディスク用
基板等の電子部品基板は多くの電子機器に用いられてい
る。この種電子部品基板の製造の際には、加熱炉、紫外
線処理炉等において加熱あるいは紫外線照射する工程が
必要であるが、これら処理を行うには被処理物である各
種電子部品基板を炉中に搬入搬出する手段が必要とな
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の代表的な装置で
は、図５及び図６に示す様に炉体１´の入口側２から出
口側３にわたって送りローラー２０が多数配列され、入
口側２の送りローラー２０上に処理すべき基板７を載置
し、この送りローラー２０の回転により基板７を炉体１
´内に送り込んで、その上下に位置せしめられたヒータ
ー２１や紫外線ランプによって加熱あるいは紫外線照射
が行われる構造になっている。しかしながら、上記従来
の装置においては、送りローラー２０上に載置される基
板７の裏面は必然的に送りローラー２０の表面に摩擦接
触する為、接触箇所が汚染されることは避けられず、品
質管理上大きな問題であった。又、加熱処理の際には被
処理物である基板の表面温度をできるだけ早く上昇させ
ることが作業能率上好ましいが、従来の送りローラー２
０を用いたものにおいては構造上の制約から基板７と上
下に位置した一対のヒーター２１，２１との間隔をあま
り小さくすることができなかった。
は、図５及び図６に示す様に炉体１´の入口側２から出
口側３にわたって送りローラー２０が多数配列され、入
口側２の送りローラー２０上に処理すべき基板７を載置
し、この送りローラー２０の回転により基板７を炉体１
´内に送り込んで、その上下に位置せしめられたヒータ
ー２１や紫外線ランプによって加熱あるいは紫外線照射
が行われる構造になっている。しかしながら、上記従来
の装置においては、送りローラー２０上に載置される基
板７の裏面は必然的に送りローラー２０の表面に摩擦接
触する為、接触箇所が汚染されることは避けられず、品
質管理上大きな問題であった。又、加熱処理の際には被
処理物である基板の表面温度をできるだけ早く上昇させ
ることが作業能率上好ましいが、従来の送りローラー２
０を用いたものにおいては構造上の制約から基板７と上
下に位置した一対のヒーター２１，２１との間隔をあま
り小さくすることができなかった。
【０００４】又、バリア放電式ランプの様に基板７との
距離が小さい程基板７表面の改質効果（水のヌレ性）が
高くなるものにおいても、その距離をあまり縮められな
い為、本来の改質効果を十分に発揮させられない問題も
あった。この発明は電子部品基板の搬送装置に関する上
記従来の課題を解決することを目的とするものであり、
搬送の際電子部品基板の裏面を汚染することなく、効率
良く加熱あるいは紫外線照射を行うことができる電子部
品基板の搬送装置を提供せんとするものである。
距離が小さい程基板７表面の改質効果（水のヌレ性）が
高くなるものにおいても、その距離をあまり縮められな
い為、本来の改質効果を十分に発揮させられない問題も
あった。この発明は電子部品基板の搬送装置に関する上
記従来の課題を解決することを目的とするものであり、
搬送の際電子部品基板の裏面を汚染することなく、効率
良く加熱あるいは紫外線照射を行うことができる電子部
品基板の搬送装置を提供せんとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、炉体の入口
側から出口側にわたって炉体の内外を縦断する様に搬送
用ロープを張架し、該搬送用ロープの前後を支持する架
台に移動手段を取付け、該搬送用ロープを炉体に対して
その前後方向及び上下方向へ移動できる様にし、該搬送
ロープ上に被処理物である電子部品基板を載置し、炉内
への搬入搬出を行える様にすることにより、上記課題を
解決せんとするものである。
側から出口側にわたって炉体の内外を縦断する様に搬送
用ロープを張架し、該搬送用ロープの前後を支持する架
台に移動手段を取付け、該搬送用ロープを炉体に対して
その前後方向及び上下方向へ移動できる様にし、該搬送
ロープ上に被処理物である電子部品基板を載置し、炉内
への搬入搬出を行える様にすることにより、上記課題を
解決せんとするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１はこの発明に係る電子部品基
板の搬送装置の一実施形態の側面断面図である。図中１
は箱形をした炉体であり、入口側２と出口側３にはそれ
ぞれ開口部が設けられており、被処理物である電子部品
基板７の搬入／搬出ができる様になっている。そしてこ
の炉体１の内部空間上方には上ヒーター５が、下方には
下ヒーター６がそれぞれ位置せしめられており、入口側
２を通って炉体１内に搬入された基板７を上下方向から
加熱する様になっている。なお、加熱の方式としては遠
赤外線、赤外熱、熱風、ホットプレートによるものが好
適に用いられる。一方、紫外線処理炉の場合には上ヒー
ター５、下ヒーター６のかわりに紫外線を発生する各種
ランプが上下に取付けられる。紫外線を発生させるラン
プとしては波長１８４．９ｎｍ±１０ｎｍと２５３．７
ｎｍ±１０ｎｍの２波長を出す低圧水銀ランプや波長１
７２ｎｍ±１０ｎｍの紫外線を出すバリア放電ランプ等
が好適に使用される。
板の搬送装置の一実施形態の側面断面図である。図中１
は箱形をした炉体であり、入口側２と出口側３にはそれ
ぞれ開口部が設けられており、被処理物である電子部品
基板７の搬入／搬出ができる様になっている。そしてこ
の炉体１の内部空間上方には上ヒーター５が、下方には
下ヒーター６がそれぞれ位置せしめられており、入口側
２を通って炉体１内に搬入された基板７を上下方向から
加熱する様になっている。なお、加熱の方式としては遠
赤外線、赤外熱、熱風、ホットプレートによるものが好
適に用いられる。一方、紫外線処理炉の場合には上ヒー
ター５、下ヒーター６のかわりに紫外線を発生する各種
ランプが上下に取付けられる。紫外線を発生させるラン
プとしては波長１８４．９ｎｍ±１０ｎｍと２５３．７
ｎｍ±１０ｎｍの２波長を出す低圧水銀ランプや波長１
７２ｎｍ±１０ｎｍの紫外線を出すバリア放電ランプ等
が好適に使用される。
【０００７】又、８はステンレススチール製ワイヤーの
表面にテフロン、ポリカーボン、ＰＥＥＫ等の合成樹脂
材をコーティングした搬送用ロープであり、炉体１の下
方に位置した架台９の両側端から植設された一対の腕部
１０，１０によって炉体１の入口側２から出口側３にわ
たって張架されており、後記する様に炉体１内をその前
後方向及び上下方向に移動可能になっている。図中１１
は搬送用ロープ８の両端に取付けられたロープ引張りバ
ネ、１２は腕部１０の先端に取付けられたプーリーであ
る。そして、この搬送用ロープ８は図２に示す様に複数
条平行に設けられている。
表面にテフロン、ポリカーボン、ＰＥＥＫ等の合成樹脂
材をコーティングした搬送用ロープであり、炉体１の下
方に位置した架台９の両側端から植設された一対の腕部
１０，１０によって炉体１の入口側２から出口側３にわ
たって張架されており、後記する様に炉体１内をその前
後方向及び上下方向に移動可能になっている。図中１１
は搬送用ロープ８の両端に取付けられたロープ引張りバ
ネ、１２は腕部１０の先端に取付けられたプーリーであ
る。そして、この搬送用ロープ８は図２に示す様に複数
条平行に設けられている。
【０００８】更に、架台９の裏面には移動手段である上
下昇降用シリンダー１２のピストンロッド１３の先端が
取付けられており、この上下昇降用シリンダー１２の基
部はピストンロッド１３と直角で搬送用ロープ８の張架
方向と平行に設置されている前後方向スライド用シリン
ダー１１のピストンロッド１４に固定されている。
下昇降用シリンダー１２のピストンロッド１３の先端が
取付けられており、この上下昇降用シリンダー１２の基
部はピストンロッド１３と直角で搬送用ロープ８の張架
方向と平行に設置されている前後方向スライド用シリン
ダー１１のピストンロッド１４に固定されている。
【０００９】従って、搬送用ロープ８は架台９の動きに
追随して炉体１に対してその前後方向及び上下方向に移
動できる様になっている。又、１５は炉体１内において
搬送用ロープ８と平行に複数個設けられた金属線材製の
受け台であり、加熱処理あるいは紫外線照射中に電子部
品基板７を載置させておく為のものである。
追随して炉体１に対してその前後方向及び上下方向に移
動できる様になっている。又、１５は炉体１内において
搬送用ロープ８と平行に複数個設けられた金属線材製の
受け台であり、加熱処理あるいは紫外線照射中に電子部
品基板７を載置させておく為のものである。
【００１０】この実施の形態は上記の通りの構成を有す
るものであり、図３に示す様に原点位置にある搬送用ロ
ープ８上に電子部品基板７を載置した後、上下昇降用シ
リンダー１２を作動させて搬送用ロープ８を上昇させ、
しかる後に図４に示す様に前後方向スライド用シリンダ
ー１１を作動させて炉体１内に移動させ、しかる後に図
１に示す様に搬送用ロープ８を下降させて電子部品基板
７を受け台１５に移し替え、加熱あるいは紫外線照射を
行い、その後前記搬送工程を逆に行って搬送用ロープ８
を原点に戻して一連の作業を実行するものである。
るものであり、図３に示す様に原点位置にある搬送用ロ
ープ８上に電子部品基板７を載置した後、上下昇降用シ
リンダー１２を作動させて搬送用ロープ８を上昇させ、
しかる後に図４に示す様に前後方向スライド用シリンダ
ー１１を作動させて炉体１内に移動させ、しかる後に図
１に示す様に搬送用ロープ８を下降させて電子部品基板
７を受け台１５に移し替え、加熱あるいは紫外線照射を
行い、その後前記搬送工程を逆に行って搬送用ロープ８
を原点に戻して一連の作業を実行するものである。
【００１１】
【実施例１】図５及び図６に示した従来の搬送装置で搬
送した電子部品基板７と本発明に係る搬送装置で搬送し
た電子部品基板７の裏面をそれぞれハロゲン光の集光灯
で観察したところ、従来の搬送装置によるものには図７
に示す様に搬送ローラー及び中間ローラーの跡２２（汚
染）が認められたが、図８に示す様に本発明に係る搬送
装置によるものには何らの跡（汚染）も認められなかっ
た。
送した電子部品基板７と本発明に係る搬送装置で搬送し
た電子部品基板７の裏面をそれぞれハロゲン光の集光灯
で観察したところ、従来の搬送装置によるものには図７
に示す様に搬送ローラー及び中間ローラーの跡２２（汚
染）が認められたが、図８に示す様に本発明に係る搬送
装置によるものには何らの跡（汚染）も認められなかっ
た。
【００１２】
【実施例２】同一熱容量のヒーターを上下に配置した炉
体１内において、電子部品基板７を従来のローラー方式
及び本発明の搬送用ロープ方式でそれぞれ加熱し、電子
部品基板７の表面温度が１００℃になるまでの時間を測
定したところ、従来のローラー方式では９０秒かかった
のが、本発明の搬送用ロープ方式では６０秒に過ぎなか
った。
体１内において、電子部品基板７を従来のローラー方式
及び本発明の搬送用ロープ方式でそれぞれ加熱し、電子
部品基板７の表面温度が１００℃になるまでの時間を測
定したところ、従来のローラー方式では９０秒かかった
のが、本発明の搬送用ロープ方式では６０秒に過ぎなか
った。
【００１３】
【実施例３】前記実施例２のヒーターをバリア放電式ラ
ンプに置き替え、電子部品基板７表面への紫外線照射を
行い、基板表面のヌレ性を水の接触角を測定することに
より評価した。なお、ヌレ性は接触角が低い程良いとさ
れている。測定の結果は従来のローラー方式においては
接触角３０°、本発明の方式では接触角１０°となり、
本発明の方式がすぐれていることが実証された。
ンプに置き替え、電子部品基板７表面への紫外線照射を
行い、基板表面のヌレ性を水の接触角を測定することに
より評価した。なお、ヌレ性は接触角が低い程良いとさ
れている。測定の結果は従来のローラー方式においては
接触角３０°、本発明の方式では接触角１０°となり、
本発明の方式がすぐれていることが実証された。
【００１４】
【発明の効果】以上述べた如く、液晶用基板カラーフィ
ルター基板など各種電子部品基板を加熱炉や紫外線処理
炉において処理する際、これら電子部品基板７の裏面が
汚染されることなく処理時間も短く効率的に作業を行う
ことができるすぐれた効果を有する。
ルター基板など各種電子部品基板を加熱炉や紫外線処理
炉において処理する際、これら電子部品基板７の裏面が
汚染されることなく処理時間も短く効率的に作業を行う
ことができるすぐれた効果を有する。
【００１５】
【図１】この発明に係る電子部品基板の搬送装置の一実
施の形態の側面断面図である。
施の形態の側面断面図である。
【図２】その正面断面図である。
【図３】その作業工程を示す説明図である。
【図４】その作業工程を示す説明図である。
【図５】従来の搬送装置の一例の側面断面図である。
【図６】その正面断面図である。
【図７】従来の搬送装置を用いて処理した電子部品基板
の裏側の斜視図である。
の裏側の斜視図である。
【図８】本発明に係る搬送装置を用いて処理した電子部
品の裏面の斜視図である。
品の裏面の斜視図である。
１ 炉体 ２ 入口側 ３ 出口側 ５ 上ヒーター ６ 下ヒーター ７ 基板 ８ 搬送用ロープ ９ 架台 １０ 腕部 １１ 前後方向スライド用シリンダー １２ 上下昇降用シリンダー １３ ピストンロッド １４ ピストンロッド １５ 受け台 ２０ 送りローラー ２１ ヒーター ２２ 搬送ローラーの跡
Claims (5)
- 【請求項１】 炉体の入口側から出口側にわたって炉体
の内外を縦断する様に搬送用ロープを張架し、該搬送用
ロープの前後を支持する架台に移動手段を取付け、該搬
送用ロープを炉体に対してその前後方向及び上下方向へ
移動できる様にし、該搬送ロープ上に被処理物である電
子部品基板を載置し、炉内への搬入搬出を行う様にした
ことを特徴とする電子部品基板の搬送装置。 - 【請求項２】 搬送用ロープがステンレス製であること
を特徴とする請求項１記載の電子部品基板の搬送装置。 - 【請求項３】 搬送用ロープがステンレス製であり、そ
の表面にテフロン、ポリカーボン、ＰＥＥＫ等の合成樹
脂材がコーティングされていることを特徴とする請求項
１記載の電子部品基板の搬送装置。 - 【請求項４】 炉体内において、遠赤外線、赤外熱、熱
風、ホットプレートのうちいずれかの方式によって加熱
処理が行われることを特徴とする請求項１記載の電子部
品基板の搬送装置。 - 【請求項５】 炉体内において波長１８４．９ｎｍ±１
０ｎｍと２５３．７ｎｍ±１０ｎｍの２波長の紫外線を
放出する低圧水銀ランプか、波長１７２ｎｍ±１０ｎｍ
の波長の紫外線を放出するバリア放電式ランプによって
紫外線処理が行われることを特徴とする請求項１記載の
電子部品基板の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32118396A JPH10148473A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | 電子部品基板の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32118396A JPH10148473A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | 電子部品基板の搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10148473A true JPH10148473A (ja) | 1998-06-02 |
Family
ID=18129722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32118396A Pending JPH10148473A (ja) | 1996-11-18 | 1996-11-18 | 電子部品基板の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10148473A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101072974B (zh) | 2004-12-02 | 2011-11-16 | 光洋热系统株式会社 | 连续热处理炉中的板状被热处理物的搬运装置 |
-
1996
- 1996-11-18 JP JP32118396A patent/JPH10148473A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101072974B (zh) | 2004-12-02 | 2011-11-16 | 光洋热系统株式会社 | 连续热处理炉中的板状被热处理物的搬运装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041102 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050308 |