JPH10148656A - 半導体試験装置の自己診断装置及び自己診断方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 自己診断プログラムの実行時間を短縮し、試
験項目の選択をする必要をなくしてオペレーションを簡
易化し、作業効率を向上させる。 【解決手段】 各半導体試験装置８はネットワーク７を
介してホストコンピュータ６に接続されている。半導体
試験装置８は、自己診断プログラムを実行し半導体装置
を試験し、自己診断結果／フェイル情報をホストコンピ
ュータ６へ転送したり、ホストコンピュータ６から所定
のデータを受信する等の動作を行う。ホストコンピュー
タ６は、半導体試験装置８から転送された自己診断結果
／フェイル情報を取り込み統計処理し、「自己診断履歴
ファイル」を作成する。また、ホストコンピュータ６に
は、「試験項目削除パラメータ」があらかじめ登録され
ており、このパラメータと「自己診断履歴ファイル」を
参照して「簡易自己診断プログラム」を自動生成し、
「簡易自己診断プログラム」および「通常自己診断プロ
グラム」を半導体試験装置８へ転送する。半導体試験装
置８は、必要に応じて簡易自己診断を実行することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体試験装置の
自己診断装置及び自己診断方法に係る。特に、本発明
は、半導体デバイス又は複数の半導体デバイスを形成し
た半導体ウエハの電気的特性等を試験する半導体試験装
置において、この試験装置内に実装されている各ユニッ
トが仕様範囲内で動作するか否かを試験及び判定するた
めの自己診断装置及び自己診断方法に関するものであ
り、半導体試験装置の保守管理等に用いられるものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図９に、従来の自己診断プログラムの実
行フローチャートを示す。この自己診断プログラムにお
いては、以下のように処理が実行される。

【０００３】（１）まず、試験回路が実装された自己診
断ボードを半導体試験装置に装着する（Ｓ９０１）。 （２）半導体試験装置の内蔵記憶装置（ハードディスク
等）に格納されている自己診断プログラムをメインメモ
リに読み込む（Ｓ９０２）。 （３）オペレータは、試験の種別および試験条件等を選
択入力して診断項目を設定する（Ｓ９０３）。 （４）ここで、ステップＳ９０３によるオペレータ入力
により、全ユニットを試験するか否か判断される（Ｓ９
０４）。全ユニットを試験しない場合は、試験項目を選
択指定する（Ｓ９０５）。 （５）以上のような操作で、自己診断プログラムが起動
され実行される（Ｓ９０６）。この自己診断プログラム
により、半導体試験装置に実装されている各ユニット等
が仕様範囲内で正常動作しているか否か試験し判定す
る。 （６）つぎに、試験／判定結果を出力機器に出力する
（Ｓ９０７）。

【０００４】この自己診断処理は、大別すると以下のよ
うな使用目的がある。すなわち、 （ａ）保守管理時において、半導体試験装置が故障して
いないか否かを確認すること。 （ｂ）修理時において、故障が発生している際にどのユ
ニットが故障しているのかフェイル情報を参照して特定
すること。

【０００５】特に、（ａ）においては、オペレーション
の簡易化のため、試験項目の選択はせず、全ての試験項
目について試験するのが従来の手法である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術においては、次のような課題がある。 (I) 従来の自己診断プログラムでは、前述した使用目的
を考慮し、半導体試験装置に実装されている全てのユニ
ットにつき試験／判定を行う必要があった。したがっ
て、診断プログラムの規模は大きく実行時間が長くな
る。これは、本来の使用目的である半導体デバイス試験
での使用時間を減らすことになってしまう。 (II)従来の自己診断プログラムでは、複数台の半導体試
験装置での実行を前提にしているため、汎用的なプログ
ラムとなっている。このため、試験項目を選択して部分
実行を行うには半導体試験装置毎にオペレータがコマン
ド入力を行う必要があり、作業が面倒であった。 (III) また、従来においては、設備管理で重要な故障履
歴の集計を各半導体試験装置から出力された結果をもと
に手作業で集計しなくてはならず、面倒であり、作業時
間を費やすことになる。

【０００７】本発明の目的は、上記課題を解決する半導
体試験装置の自己診断装置及び自己診断方法を提供する
ことである。すなわち、本発明は、例えば、以下のよう
な目的を達成するものである。 (I) 各半導体試験装置の故障傾向にもとづき簡易化され
た自己診断プログラムを実行することにより、自己診断
プログラムの実行時間を短縮する。 (II)最適化された自己診断プログラムを実行することに
より、試験項目の選択をする必要をなくし、オペレーシ
ョンを簡易化し、作業効率を向上させる。 (III) ホストコンピュータから各半導体試験装置の故障
履歴をリアルタイムに参照することを可能として、故障
傾向を容易に把握する。これにより、従来手作業で行っ
ていた集計作業から解放されるようにして、設備管理を
容易とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、半導体試験装
置毎に自己診断結果を半導体試験装置とは別に設けられ
た計算機に転送する。計算機ではこのデータを集計し管
理する。これにより、計算機よりリアルタイムに各半導
体試験装置の故障履歴が参照でき、故障傾向等を容易に
把握することができるため設備管理が容易になる。

【０００９】また、この履歴データより半導体試験装置
の故障発生率を統計処理して、故障が希少な試験項目に
ついては自己診断の試験項目から削除して簡易自己診断
プログラムを自動作成する。計算機は各半導体試験装置
に適合する簡易自己診断プログラムを各半導体試験装置
に転送し、このプログラムを半導体試験装置で実行する
ことにより、自己診断の実行時間の短縮を図る。

【００１０】本発明の第１の解決手段によると、半導体
試験装置の自己診断を行うための複数の試験項目を記憶
した通常処理記憶手段と、前記通常処理記憶手段に記憶
された前記試験項目により試験を実行する通常診断手段
と、前記通常診断手段による試験結果を集計することに
より作成された履歴情報を記憶した履歴記憶手段と、前
記複数の試験項目毎に所定設定値が記憶された設定値記
憶手段と、前記通常処理記憶手段中の前記複数の試験項
目のうちの特定試験項目のみを記憶した簡易処理記憶手
段と、前記履歴記憶手段に記憶された前記履歴情報と前
記設定値記憶手段に設定された前記所定設定値とに基づ
いて、前記特定試験項目を選択して前記簡易処理記憶手
段を作成する作成手段と、前記簡易処理記憶手段に記憶
された前記特定試験項目により試験を実行する簡易診断
手段とを備えた半導体試験装置の自己診断装置を提供す
る。

【００１１】また、本発明の第２の解決手段によると、
半導体試験装置の自己診断を行うための複数の試験項目
を通常処理記憶手段に記憶する手順と、前記通常処理記
憶手段に記憶された前記試験項目により試験を実行する
通常診断手順と、前記通常診断手順による試験結果を集
計することにより作成された履歴情報を履歴記憶手段に
記憶する手順と、前記複数の試験項目毎に所定設定値が
記憶された設定値記憶手段と、前記履歴記憶手段に記憶
された前記履歴情報とに基づいて、特定試験項目を選択
して簡易処理記憶手段を作成する作成手順と、前記簡易
処理記憶手段に記憶された前記特定試験項目により試験
を実行する簡易診断手順とを備えた半導体試験装置の自
己診断方法を提供する。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面を用いて説明する。図１に、本発明に係る自己診断装
置の概略構成図を示す。ここで、各半導体試験装置８は
ネットワーク７を介してホストコンピュータ６に接続さ
れている。

【００１３】半導体試験装置８は、自己診断プログラム
を実行して半導体装置を試験する。また、自己診断結果
／フェイル情報をホストコンピュータ６へ転送したり、
ホストコンピュータ６から所定のデータを受信する等の
動作を行う。

【００１４】ホストコンピュータ６は、半導体試験装置
８から転送された自己診断結果／フェイル情報を取り込
み統計処理し、「自己診断履歴ファイル」を作成する。
また、ホストコンピュータ６には、「試験項目削除パラ
メータ」があらかじめ登録されており、このパラメータ
と「自己診断履歴ファイル」を参照して、後に説明する
「簡易自己診断プログラム」を自動生成する。さらに、
ホストコンピュータ６は、この「簡易自己診断プログラ
ム」および「通常自己診断プログラム」を半導体試験装
置８へ転送する役目も果たす。

【００１５】図２に、本発明におけるホストコンピュー
タ６に格納されたファイル構成図を示す。ホストコンピ
ュータ６には、試験項目削除パラメータ１０、通常自己
診断プログラム１１、各半導体試験装置の自己診断履歴
１２、各半導体試験装置の自己診断履歴１２より論理和
を取り作成した全半導体試験装置に対する自己診断履歴
１２′、半導体試験装置の簡易自己診断プログラム１３
等が格納される。

【００１６】図３に、本発明における自己診断履歴ファ
イルの構成図を示す。ここでは、一例として、半導体試
験装置＃１についての自己診断履歴ファイルを説明す
る。

【００１７】ホストコンピュータ６では、各半導体試験
装置８より転送された自己診断結果／フェイル情報に基
づいて、試験項目毎に集計期間３２、集計回数３３、フ
ェイル発生率３４及び判定３５が計算され、半導体試験
装置毎に自己診断履歴ファイル１２を作成する。ここ
で、判定３５は、フェイル発生率３４を所定の閾値と比
較することにより、例えば、正常であれば「０」又は不
良であれば「１」が設定される。この所定の閾値は、試
験項目毎に定められており、例えば、試験項目削除パラ
メータ１０内等に適宜設定することができる。

【００１８】この自己診断履歴ファイル１２を参照する
ことにより、各半導体試験装置８の故障傾向がリアルタ
イムに把握でき、設備管理が容易になる。

【００１９】つぎに、図４に、全試験装置自己診断履歴
ファイル１２’の構成図を示す。全試験装置自己診断履
歴ファイル１２′は、全ての半導体試験装置の自己診断
履歴ファイル１２に関して、判定３５について論理和
（ＯＲ）をとることにより、全半導体試験装置に対して
ひとつ作成される。

【００２０】具体的には、全試験装置自己診断履歴ファ
イル１２′には、例えば、各試験項目４１に対して判定
４２が示される。判定４２を参照することにより、
「０」の場合は、全ての試験装置が正常であることが判
定され、一方、「１」の場合は、いずれかの試験装置が
不良であることが即座に判断される。

【００２１】図５に、本発明における試験項目削除パラ
メータの構成図を示す。ここで、試験項目削除パラメー
タ１０は、各半導体試験装置＃１〜＃ｎのそれぞれに対
して設けられている。

【００２２】試験項目削除パラメータ１０は、簡易自己
診断プログラム１３を作成するための判断に用いられる
パラメータが登録されている。このパラメータとは、試
験項目５１毎に削除対象／非対象５２、データ集計回数
５３、フェイル発生率５４が登録してある。たとえば、
試験項目５１の試験Ａについては、削除対象であり、デ
ータ集計回数１００回、フェイル発生率０％のように登
録する。このフェイル発生率が、自己診断履歴ファイル
１２における「判定３５」を求めるための閾値として用
いることができる。

【００２３】図６に、本発明おける簡易自己診断プログ
ラムを生成するためのフローチャートを示す。

【００２４】まず、試験項目削除パラメータ１０の削除
データ５２により、試験項目のオブジェクトコードが削
除の「対象」又は「非対象」で有るかを判断し（Ｓ６０
１）、「非対象」である場合、その試験項目のオブジェ
クトコードはそのまま残される。一方、削除の「対象」
である場合、自己診断履歴ファイル１２によるデータ集
計回数３３と、試験項目削除パラメータファイル１０の
パラメータ設定値である集計回数５３とを比較する（Ｓ
６０２）。ここで、データ集計回数３３がパラメータ設
定値（集計回数５３）より少なければ、試験項目のオブ
ジェクトコードはそのまま残される。一方、データ集計
回数３３がパラメータ設定値以上の場合は、次に、自己
診断履歴ファイル１２のフェイル発生率３４と試験項目
削除パラメータファイル１０のパラメータ設定値である
フェイル率５４とを比較する（Ｓ６０３）。ここで、フ
ェイル発生率３４がパラメータ設定値（フェイル率５
４）以上であれば、その試験項目のオブジェクトコード
はそのまま残される。一方、フェイル発生率３４がパラ
メータ設定値より小さい場合は、その試験項目のオブジ
ェクトコードを自己診断プログラムから削除する（Ｓ６
０４）。以上のような処理を、全ての試験項目について
順次判定を繰り返すことにより（Ｓ６０５、Ｓ６０
６）、処理が終了する。

【００２５】このようにして、各半導体試験装置に対し
て簡易診断プログラム１３が作成される。すなわち、通
常自己診断プログラム１１は、試験項目毎にオブジェク
トコード２２が削除又は選択され、簡易自己診断プログ
ラム１３は、これを試験順に積み重ねる構成で作成され
る。

【００２６】図７に、このフローチャートにより生成さ
れる簡易自己診断プログラムの説明図を示す。これは、
通常自己診断プログラム１１から、図６で説明したフロ
ーチャートに示す手順で、試験項目のオブジェクトコー
ド２２を削除又は選択することにより、簡易自己診断プ
ログラム１３が作成された一例である。

【００２７】ここでは、「試験１」は「削除非対象」で
あるため、ステップＳ６０１により「ＮＯ」と判断さ
れ、削除されない。「試験２」は、「削除対象」であ
り、且つステップＳ６０２及びＳ６０３を経て、ステッ
プＳ６０４により削除されたものである。一方、「試験
３」は、「削除対象」であるが、ステップＳ６０２又は
Ｓ６０３により、所定パラメータ値との比較条件を満た
さないため、削除されなかったものである。以下、試験
１〜１０を備えた通常自己診断プログラム１１に基づい
て、簡易自己診断プログラム１３が作成されたことを示
す。

【００２８】図８に、本発明における自己診断プログラ
ムの実行フローチャートを示す。本発明の自己診断プロ
グラムにおいては、以下のように処理が実行される。

【００２９】（１）まず、試験回路が実装された自己診
断ボードを半導体試験装置に装着する（Ｓ８０１）。 （２）オペレータは、試験モードを選択入力して診断項
目を設定する（Ｓ８０２）。 （３）ここで、「通常試験モード」の場合、ホストコン
ピュータ６より半導体試験装置へ通常自己診断プログラ
ム１１を転送し、半導体試験装置のメインメモリに読み
込み（Ｓ８０４）、そして、オペレータは、試験の種別
および試験条件等を選択入力して診断項目を設定する
（Ｓ８０５）。ここで、ステップＳ８０５によるオペレ
ータ入力により、全ユニットを試験するか否か判断され
（Ｓ８０６）、全ユニットを試験しない場合は、試験項
目を選択指定する（Ｓ８０７）。以上のような操作で、
通常自己診断プログラムが起動され実行される（Ｓ８０
８）。この通常自己診断プログラムにより、半導体試験
装置に実装されている各ユニット等が仕様範囲内で正常
動作しているか否か試験し判定する。つぎに、試験／判
定結果を出力機器に出力する（Ｓ８０９）。

【００３０】（４）一方、ステップ８０３において「簡
易試験モード」の場合、ホストコンピュータ６内蔵記憶
装置（ハードディスク等）に格納されている簡易自己診
断プログラム１３を半導体試験装置へ転送し、半導体試
験装置のメインメモリに読み込み（Ｓ８１０）、簡易自
己診断プログラムが起動され実行される（Ｓ８１１）。
この簡易自己診断プログラムにより、半導体試験装置に
実装されている各ユニット等が仕様範囲内で正常動作し
ているか否か試験し判定される。つぎに、試験／判定結
果を出力機器に出力することとなる（Ｓ８１２）。

【００３１】このように、ステップＳ８０２の試験モー
ド選択にて簡易試験モードを選択することにより簡易自
己診断を実行する場合、試験項目の設定（Ｓ８０５）が
不要となり、操作が簡易化され、処理時間が短縮される
ことがわかる。

【００３２】なお、全試験装置自己診断履歴ファイル１
２′は、全ての半導体試験装置の自己診断履歴ファイル
１２に関して、判定３５について論理和（ＯＲ）、ＮＡ
ＮＤ等をとることにより、全半導体試験装置に対して作
成することもできる。

【００３３】また、通常及び簡易自己診断プログラム
は、ホストコンピュータ６以外にも、適宜各半導体試験
装置８に備えることもできる。

【００３４】

【発明の効果】

(I) 各半導体試験装置の故障傾向にもとづき簡易化され
た自己診断プログラムを実行することにより、自己診断
プログラムの実行時間を短縮できる。 (II)最適化された自己診断プログラムを実行するため、
試験項目の選択をする必要がなくなりオペレーションが
簡易化され、作業効率が向上する。 (III) ホストコンピュータから各半導体試験装置の故障
履歴をリアルタイムに参照することが可能となり、故障
傾向が容易に把握できる。これにより、従来手作業で行
っていた集計作業から解放され、設備管理が容易にな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る自己診断装置の概略構成図。

【図２】本発明におけるホストコンピュータに格納され
たファイルの構成図。

【図３】本発明における自己診断履歴ファイル１２の構
成図。

【図４】本発明における全試験装置自己診断履歴ファイ
ル１２’の構成図。

【図５】本発明における試験項目削除パラメータの構成
図。

【図６】本発明における簡易自己診断プログラムを生成
するためのフローチャート。

【図７】本発明における簡易自己診断プログラムの説明
図。

【図８】本発明における自己診断の実行フローチャー
ト。

【図９】従来の自己診断の実行フローチャート。

【符号の説明】

６ ホストコンピュータ ７ ネットワーク ８ 半導体試験装置 １０ 試験項目削除パラメータファイル １１ 通常自己診断プログラムファイル １２ 自己診断履歴ファイル １２′ 全半導体試験装置の自己診断履歴ファイル １３ 簡易自己診断プログラムファイル

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体試験装置の自己診断を行うための複
   数の試験項目を記憶した通常処理記憶手段と、 前記通常処理記憶手段に記憶された前記試験項目により
   試験を実行する通常診断手段と、 前記通常診断手段による試験結果を集計することにより
   作成された履歴情報を記憶した履歴記憶手段と、 前記複数の試験項目毎に所定設定値が記憶された設定値
   記憶手段と、 前記通常処理記憶手段中の前記複数の試験項目のうちの
   特定試験項目のみを記憶した簡易処理記憶手段と、 前記履歴記憶手段に記憶された前記履歴情報と前記設定
   値記憶手段に設定された前記所定設定値とに基づいて、
   前記特定試験項目を選択して前記簡易処理記憶手段を作
   成する作成手段と、 前記簡易処理記憶手段に記憶された前記特定試験項目に
   より試験を実行する簡易診断手段とを備えた半導体試験
   装置の自己診断装置。
2. 【請求項２】制御装置に、前記通常処理記憶手段、前記
   簡易処理記憶手段、前記履歴記憶手段、前記設置値記憶
   手段及び前記作成手段を備え、 前記半導体試験装置に、前記通常診断手段及び前記簡易
   診断手段を備え、 前記半導体試験装置が前記通常診断手段を実行した前記
   試験結果は、ネットワークを介して前記制御装置に転送
   され、一方、前記制御装置は、前記試験結果を集計する
   ことにより作成された前記履歴情報を、前記履歴記憶手
   段に記憶することを特徴とする請求項１に記載の半導体
   試験装置の自己診断装置。
3. 【請求項３】前記履歴記憶手段が複数の半導体試験装置
   のそれぞれについて設けられ、これら前記履歴記憶手段
   における所定項目の論理積をとることにより作成された
   全試験装置履歴記憶手段をさらに備えたことを特徴とす
   る請求項１又は２に記載の半導体試験装置の自己診断装
   置。
4. 【請求項４】前記設定値記憶手段には、試験項目毎に、
   削除対象・非対象情報、集計回数設定値及びフェイル率
   設定値が記憶され、 前記履歴記憶手段には、蓄積された集計回数及びフェイ
   ル率が記憶されたことを特徴とする請求項１乃至３のい
   ずれかに記載の半導体試験装置の自己診断装置。
5. 【請求項５】前記作成手段は、 前記設定値記憶手段に記憶された、前記削除対象・非対
   象情報と、 前記設定値記憶手段及び前記履歴記憶手段に記憶され
   た、前記集計回数と前記集計設定値との比較結果、及
   び、前記フェイル率と前記フェイル率設定との比較結果
   に基づいて、 前記通常処理記憶手段中の前記複数の試験項目から、該
   当する前記特定試験項目以外を削除することにより前記
   簡易処理記憶手段を作成することをことを特徴とする請
   求項４に記載の半導体試験装置の自己診断装置。
6. 【請求項６】前記通常診断手段又は前記簡易診断手段に
   よる処理を選択するための選択手段をさらに備え、 所望の処理手段により半導体試験装置の自己診断を実行
   することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載
   の半導体試験装置の自己診断装置。
7. 【請求項７】半導体試験装置の自己診断を行うための複
   数の試験項目を通常処理記憶手段に記憶する手順と、 前記通常処理記憶手段に記憶された前記試験項目により
   試験を実行する通常診断手順と、 前記通常診断手順による試験結果を集計することにより
   作成された履歴情報を履歴記憶手段に記憶する手順と、 前記複数の試験項目毎に所定設定値が記憶された設定値
   記憶手段と、前記履歴記憶手段に記憶された前記履歴情
   報とに基づいて、特定試験項目を選択して簡易処理記憶
   手段を作成する作成手順と、 前記簡易処理記憶手段に記憶された前記特定試験項目に
   より試験を実行する簡易診断手順とを備えた半導体試験
   装置の自己診断方法。