JPH10154633A - セラミック電子部品およびその製造方法 - Google Patents
セラミック電子部品およびその製造方法Info
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- JPH10154633A JPH10154633A JP8316138A JP31613896A JPH10154633A JP H10154633 A JPH10154633 A JP H10154633A JP 8316138 A JP8316138 A JP 8316138A JP 31613896 A JP31613896 A JP 31613896A JP H10154633 A JPH10154633 A JP H10154633A
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- H01G4/005—Electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Niを主要金属成分とする内部電極と、AgとCu
を主成分とする金属成分及びガラス成分を含む焼結体か
らなる外部電極を含むセラミック電子部品であって、外
部電極と内部電極との境界部をNiとCuを主成分とする合
金相で形成することにより、電極間の良接合性を達成し
信頼性の高いセラミック電子部品を提供する。 【解決手段】 外部電極構成金属をCuとAgを主成分とす
る金属にし、これらを低酸素分圧の雰囲気下において50
0-800℃の範囲の低温で焼成して軟化させることによ
り、全体がCu-Agを主成分とした合金相6で構成され、Ni
内部電極との境界部にNi-Cuを主成分とした合金相5が形
成された外部電極3を得る。これにより、外部電極3の低
温焼結化が可能となり、セラミック成分の還元による電
気特性の劣化を防止でき、かつ外部電極の製造コストを
低減化できる。
を主成分とする金属成分及びガラス成分を含む焼結体か
らなる外部電極を含むセラミック電子部品であって、外
部電極と内部電極との境界部をNiとCuを主成分とする合
金相で形成することにより、電極間の良接合性を達成し
信頼性の高いセラミック電子部品を提供する。 【解決手段】 外部電極構成金属をCuとAgを主成分とす
る金属にし、これらを低酸素分圧の雰囲気下において50
0-800℃の範囲の低温で焼成して軟化させることによ
り、全体がCu-Agを主成分とした合金相6で構成され、Ni
内部電極との境界部にNi-Cuを主成分とした合金相5が形
成された外部電極3を得る。これにより、外部電極3の低
温焼結化が可能となり、セラミック成分の還元による電
気特性の劣化を防止でき、かつ外部電極の製造コストを
低減化できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば積層セラミ
ックコンデンサ、積層型バリスタ、誘電体共振器、圧電
素子等のセラミック電子部品およびその製造方法に関
し、特に外部電極と、Niが主要成分である内部電極を
具備するセラミック電子部品およびその製造方法に関す
るものである。
ックコンデンサ、積層型バリスタ、誘電体共振器、圧電
素子等のセラミック電子部品およびその製造方法に関
し、特に外部電極と、Niが主要成分である内部電極を
具備するセラミック電子部品およびその製造方法に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、Niが主要金属成分である内部電
極(以下、Ni内部電極と称す。)を具備するセラミッ
ク電子部品の外部電極としては、金属材料としてCu粉
のみ使用した金属塗料の塗膜を焼結したもの(以下、C
u外部電極と称す。)が一般的であった。これはNiと
Cuが全率固溶系で、本質的に結合をつくり易く、内部
電極と外部電極との接合部を形成し易いためである。そ
して、Cuの融点は1083℃と高いため、Ni内部電
極−Cu外部電極間(すなわち、Cu外部電極のNi内
部電極との境界部)、およびCu外部電極内において良
好な焼結結合状態を達成するためには、焼成温度を80
0℃より高温にし、かつ酸化による焼結結合阻害を抑制
するために低酸素分圧の雰囲気下で焼結することが必要
であった。一方、セラミック電子部品(セラミック素
子)は高温で低酸素分圧下にさらされると、そのセラミ
ック成分が還元されて、特性劣化を引き起こす場合があ
り、外部電極の形成に細心の注意が必要であった。
極(以下、Ni内部電極と称す。)を具備するセラミッ
ク電子部品の外部電極としては、金属材料としてCu粉
のみ使用した金属塗料の塗膜を焼結したもの(以下、C
u外部電極と称す。)が一般的であった。これはNiと
Cuが全率固溶系で、本質的に結合をつくり易く、内部
電極と外部電極との接合部を形成し易いためである。そ
して、Cuの融点は1083℃と高いため、Ni内部電
極−Cu外部電極間(すなわち、Cu外部電極のNi内
部電極との境界部)、およびCu外部電極内において良
好な焼結結合状態を達成するためには、焼成温度を80
0℃より高温にし、かつ酸化による焼結結合阻害を抑制
するために低酸素分圧の雰囲気下で焼結することが必要
であった。一方、セラミック電子部品(セラミック素
子)は高温で低酸素分圧下にさらされると、そのセラミ
ック成分が還元されて、特性劣化を引き起こす場合があ
り、外部電極の形成に細心の注意が必要であった。
【0003】前記のように、Ni内部電極を具備するセ
ラミック電子部品の外部電極をCu粉を含む塗膜の焼結
により形成する際、大気中ではCuおよびNiが容易に
酸化されるため、これらの酸化を防止するために低酸素
分圧の雰囲気下にて焼結する必要があり、通常、N2 ガ
ス雰囲気下にて焼結が行われる。通常工業的に使用され
るN2 ガス雰囲気には微量酸素が含まれており、その酸
素分圧は数ppmに及ぶが、焼結前に塗膜に含まれるバ
インダーやCu粉そのものがN2 ガス雰囲気中の微量酸
素を燃焼や酸化により消費するため、実際の焼結時にお
ける雰囲気は極めて低い酸素分圧になり、その結果、セ
ラミック電子部品(セラミック素子)のセラミック成分
の還元を引き起こしてしまう場合がある。
ラミック電子部品の外部電極をCu粉を含む塗膜の焼結
により形成する際、大気中ではCuおよびNiが容易に
酸化されるため、これらの酸化を防止するために低酸素
分圧の雰囲気下にて焼結する必要があり、通常、N2 ガ
ス雰囲気下にて焼結が行われる。通常工業的に使用され
るN2 ガス雰囲気には微量酸素が含まれており、その酸
素分圧は数ppmに及ぶが、焼結前に塗膜に含まれるバ
インダーやCu粉そのものがN2 ガス雰囲気中の微量酸
素を燃焼や酸化により消費するため、実際の焼結時にお
ける雰囲気は極めて低い酸素分圧になり、その結果、セ
ラミック電子部品(セラミック素子)のセラミック成分
の還元を引き起こしてしまう場合がある。
【0004】低酸素分圧の雰囲気下において、セラミッ
クの還元を抑制するためには、外部電極形成時の焼成温
度をできるだけ低温にして、セラミックの還元反応速度
を低下させる必要がある。しかし、従来の外部電極形成
用の塗料、すなわち、金属材料としてCu粉のみ使用し
た金属塗料の塗膜では、これを低温で焼成すると、形成
される外部電極自体の焼結状態が劣悪になり、かつNi
内部電極との結合性も不十分となり、結果として、電気
特性不良を引き起こすという問題を有していた。
クの還元を抑制するためには、外部電極形成時の焼成温
度をできるだけ低温にして、セラミックの還元反応速度
を低下させる必要がある。しかし、従来の外部電極形成
用の塗料、すなわち、金属材料としてCu粉のみ使用し
た金属塗料の塗膜では、これを低温で焼成すると、形成
される外部電極自体の焼結状態が劣悪になり、かつNi
内部電極との結合性も不十分となり、結果として、電気
特性不良を引き起こすという問題を有していた。
【0005】また、大気雰囲気で外部電極を焼成して形
成する積層セラミックコンデンサが提案されている(特
開平2−150010号公報)。しかしながらこの方法
では、外部電極と内部電極との境界部に合金相を得るこ
とができず、結果として外部電極と内部電極との強固な
結合一体化が困難であり、設計容量を安定して取り出す
ことができないという問題があった。さらに、外部電極
としてCu:Agの比率が100:1〜100:40の
高Cu含量合金を900℃以上で焼成することにより、
溶融状態を作り外部電極を形成する方法が提案されてい
る(特開平2−248020号公報)。しかしながらこ
の方法では、高温で焼成するため前記した通りセラミッ
ク成分の還元を引き起こしてしまい、絶縁抵抗が落ちた
り、使用により劣化し電気特性不良を引き起こすという
問題を有していた。
成する積層セラミックコンデンサが提案されている(特
開平2−150010号公報)。しかしながらこの方法
では、外部電極と内部電極との境界部に合金相を得るこ
とができず、結果として外部電極と内部電極との強固な
結合一体化が困難であり、設計容量を安定して取り出す
ことができないという問題があった。さらに、外部電極
としてCu:Agの比率が100:1〜100:40の
高Cu含量合金を900℃以上で焼成することにより、
溶融状態を作り外部電極を形成する方法が提案されてい
る(特開平2−248020号公報)。しかしながらこ
の方法では、高温で焼成するため前記した通りセラミッ
ク成分の還元を引き起こしてしまい、絶縁抵抗が落ちた
り、使用により劣化し電気特性不良を引き起こすという
問題を有していた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来の
問題を解決するため、セラミック素子のセラミックを還
元することなく、それ自体が良好な状態で焼結し、しか
もNi内部電極にその一部が良好な結合性にて一体化し
てなる外部電極を含むセラミック電子部品およびその製
造方法を提供することを目的とするものである。
問題を解決するため、セラミック素子のセラミックを還
元することなく、それ自体が良好な状態で焼結し、しか
もNi内部電極にその一部が良好な結合性にて一体化し
てなる外部電極を含むセラミック電子部品およびその製
造方法を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のセラミック電子部品は、Niが主要金属成
分である内部電極を具備するセラミック電子部品の外縁
に付設される外部電極を含むセラミック電子部品であっ
て、前記外部電極が金属成分及びガラス成分を含む焼結
体からなり、前記外部電極の金属成分の構成金属がAg
とCuを主成分とする金属であり、かつ前記内部電極と
の境界部がNiとCuを主成分とする合金相で形成され
ていることを特徴とする。
め、本発明のセラミック電子部品は、Niが主要金属成
分である内部電極を具備するセラミック電子部品の外縁
に付設される外部電極を含むセラミック電子部品であっ
て、前記外部電極が金属成分及びガラス成分を含む焼結
体からなり、前記外部電極の金属成分の構成金属がAg
とCuを主成分とする金属であり、かつ前記内部電極と
の境界部がNiとCuを主成分とする合金相で形成され
ていることを特徴とする。
【0008】前記セラミック電子部品においては、外部
電極の金属成分の構成金属がAgとCuであり、かつ前
記内部電極との境界部がNiとCuからなる合金相で形
成されていることが好ましい。
電極の金属成分の構成金属がAgとCuであり、かつ前
記内部電極との境界部がNiとCuからなる合金相で形
成されていることが好ましい。
【0009】また前記セラミック電子部品においては、
外部電極の金属成分の構成金属が主としてAgとCuか
らなり、その他の成分としてAgおよびCu各々と合金
を形成しその融点がAgおよびCu各々の融点よりも低
下する金属成分から選ばれる少なくとも一種の金属を含
み、前記内部電極との境界部がNiとCuからなる合金
相で形成されていることが好ましい。
外部電極の金属成分の構成金属が主としてAgとCuか
らなり、その他の成分としてAgおよびCu各々と合金
を形成しその融点がAgおよびCu各々の融点よりも低
下する金属成分から選ばれる少なくとも一種の金属を含
み、前記内部電極との境界部がNiとCuからなる合金
相で形成されていることが好ましい。
【0010】また前記セラミック電子部品においては、
外部電極の金属成分の構成金属が主としてAgとCuか
らなり、その他の成分としてAgおよびCu各々と合金
を形成しその融点がAgおよびCu各々の融点よりも低
下する金属成分から選ばれる少なくとも一種の金属を含
み、前記内部電極との境界部がNiとCuおよび前記そ
の他として含む金属成分からなる合金相で形成されてい
ることが好ましい。
外部電極の金属成分の構成金属が主としてAgとCuか
らなり、その他の成分としてAgおよびCu各々と合金
を形成しその融点がAgおよびCu各々の融点よりも低
下する金属成分から選ばれる少なくとも一種の金属を含
み、前記内部電極との境界部がNiとCuおよび前記そ
の他として含む金属成分からなる合金相で形成されてい
ることが好ましい。
【0011】また前記セラミック電子部品においては、
外部電極の金属成分の構成金属が主としてAgとCuで
あり、その他の成分として、Bi,Ce,Ga,In,
Pb,SnおよびZnから選ばれる少なくとも一種の金
属を含むことが好ましい。
外部電極の金属成分の構成金属が主としてAgとCuで
あり、その他の成分として、Bi,Ce,Ga,In,
Pb,SnおよびZnから選ばれる少なくとも一種の金
属を含むことが好ましい。
【0012】また前記セラミック電子部品においては、
外部電極のAgとCuの重量比(Ag:Cu)が1:9
9〜99:1の範囲にあることが好ましい。また前記セ
ラミック電子部品においては、外部電極のAgとCuの
重量比(Ag:Cu)が3:7〜9:1の範囲にあるこ
とが好ましい。
外部電極のAgとCuの重量比(Ag:Cu)が1:9
9〜99:1の範囲にあることが好ましい。また前記セ
ラミック電子部品においては、外部電極のAgとCuの
重量比(Ag:Cu)が3:7〜9:1の範囲にあるこ
とが好ましい。
【0013】また前記セラミック電子部品においては、
外部電極のその他の成分として含む金属成分の重量比が
AgとCuの総重量に対し0.001以上であることが
好ましい。
外部電極のその他の成分として含む金属成分の重量比が
AgとCuの総重量に対し0.001以上であることが
好ましい。
【0014】また前記セラミック電子部品においては、
外部電極焼結体が、前記金属成分とは結合せず、粉体混
合時の初期の粒子形状を維持したまま存在する無機酸化
物粒子を含んでなることが好ましい。
外部電極焼結体が、前記金属成分とは結合せず、粉体混
合時の初期の粒子形状を維持したまま存在する無機酸化
物粒子を含んでなることが好ましい。
【0015】また前記セラミック電子部品においては、
無機酸化物粒子がフレーク状であることが好ましい。ま
た前記セラミック電子部品においては、フレーク状の無
機酸化物粒子がマイカ粉末およびモンモリロナイトを主
成分とする粘土粉末から選ばれる一種またはこれらの混
合物であることが好ましい。
無機酸化物粒子がフレーク状であることが好ましい。ま
た前記セラミック電子部品においては、フレーク状の無
機酸化物粒子がマイカ粉末およびモンモリロナイトを主
成分とする粘土粉末から選ばれる一種またはこれらの混
合物であることが好ましい。
【0016】また前記セラミック電子部品においては、
外部電極焼結体の金属成分が60〜97重量%、ガラス
成分が3〜40重量%の範囲であることが好ましい。ま
た前記セラミック電子部品においては、内部電極のNi
含量が90〜100重量%の範囲で、その他の金属成分
が0〜10重量%の範囲であることが好ましい。
外部電極焼結体の金属成分が60〜97重量%、ガラス
成分が3〜40重量%の範囲であることが好ましい。ま
た前記セラミック電子部品においては、内部電極のNi
含量が90〜100重量%の範囲で、その他の金属成分
が0〜10重量%の範囲であることが好ましい。
【0017】また前記セラミック電子部品においては、
内部電極を構成するその他の金属成分が、Fe,Co,
Cu,Crから選ばれる少なくとも一つの金属であるこ
とが好ましい。
内部電極を構成するその他の金属成分が、Fe,Co,
Cu,Crから選ばれる少なくとも一つの金属であるこ
とが好ましい。
【0018】次に本発明のセラミック電子部品の製造方
法は、Niが主要金属成分である内部電極を具備するセ
ラミック電子部品の外縁に付設される外部電極を含むセ
ラミック電子部品を製造する方法であって、前記外部電
極は、Ag粉末とCu粉末とを混合した金属粉末、Cu
−Ag合金からなる金属粉末、Cu粉末の表面をAgで
コートした金属粉末、およびAg粉末の表面をCuでコ
ートした金属粉末から選ばれる少なくとも1種の金属粉
末と、ガラスフリットと、バインダー用有機物質とを含
む塗料を前記セラミック電子部品の外縁に塗布して塗膜
を形成し、しかる後に、前記塗膜を低酸素分圧の雰囲気
下において500〜800℃の範囲の温度で焼成するこ
とにより前記外部電極を得ることを特徴とする。
法は、Niが主要金属成分である内部電極を具備するセ
ラミック電子部品の外縁に付設される外部電極を含むセ
ラミック電子部品を製造する方法であって、前記外部電
極は、Ag粉末とCu粉末とを混合した金属粉末、Cu
−Ag合金からなる金属粉末、Cu粉末の表面をAgで
コートした金属粉末、およびAg粉末の表面をCuでコ
ートした金属粉末から選ばれる少なくとも1種の金属粉
末と、ガラスフリットと、バインダー用有機物質とを含
む塗料を前記セラミック電子部品の外縁に塗布して塗膜
を形成し、しかる後に、前記塗膜を低酸素分圧の雰囲気
下において500〜800℃の範囲の温度で焼成するこ
とにより前記外部電極を得ることを特徴とする。
【0019】前記方法においては、塗料がAgおよびC
u各々と合金を形成しその融点がAgおよびCu各々の
融点よりも低下する金属成分から選ばれる少なくとも一
種の金属粉末または金属酸化物粉末をその他の添加物と
して含有することが好ましい。
u各々と合金を形成しその融点がAgおよびCu各々の
融点よりも低下する金属成分から選ばれる少なくとも一
種の金属粉末または金属酸化物粉末をその他の添加物と
して含有することが好ましい。
【0020】また前記方法においては、塗料がBi,C
e,Ga,In,Pb,SnおよびZnから選ばれる少
なくとも一種の金属粉末をその他の添加物として含有す
ることが好ましい。
e,Ga,In,Pb,SnおよびZnから選ばれる少
なくとも一種の金属粉末をその他の添加物として含有す
ることが好ましい。
【0021】また前記方法においては、塗料がIn,B
i,SnおよびPbから選ばれる少なくとも一種の金属
成分の酸化物粉末をその他の添加物として含有すること
が好ましい。
i,SnおよびPbから選ばれる少なくとも一種の金属
成分の酸化物粉末をその他の添加物として含有すること
が好ましい。
【0022】また前記方法においては、金属粉末におけ
るAgとCuの重量比(Ag:Cu)が1:99〜9
9:1の範囲にあることが好ましい。また前記方法にお
いては、金属粉末におけるAgとCuの重量比(Ag:
Cu)が3:7〜9:1の範囲にあることが好ましい。
るAgとCuの重量比(Ag:Cu)が1:99〜9
9:1の範囲にあることが好ましい。また前記方法にお
いては、金属粉末におけるAgとCuの重量比(Ag:
Cu)が3:7〜9:1の範囲にあることが好ましい。
【0023】また前記方法においては、Ag,Cuに添
加されるその他の金属粉末あるいは金属酸化物粉末の金
属成分としての重量比が、AgとCuの総重量に対し
0.001以上であることが好ましい。
加されるその他の金属粉末あるいは金属酸化物粉末の金
属成分としての重量比が、AgとCuの総重量に対し
0.001以上であることが好ましい。
【0024】また前記方法においては、塗料が900℃
以上の軟化点を有する無機酸化物粒子を含有することが
好ましい。また前記方法においては、無機酸化物粒子が
フレーク状であることが好ましい。
以上の軟化点を有する無機酸化物粒子を含有することが
好ましい。また前記方法においては、無機酸化物粒子が
フレーク状であることが好ましい。
【0025】また前記方法においては、フレーク状の無
機酸化物粒子がマイカ粉末およびモンモリロナイトを主
成分とする粘土粉末から選ばれる少なくとも一種の粉末
であることが好ましい。
機酸化物粒子がマイカ粉末およびモンモリロナイトを主
成分とする粘土粉末から選ばれる少なくとも一種の粉末
であることが好ましい。
【0026】また前記方法においては、外部電極焼結体
の金属成分が60〜97重量%、ガラス成分が3〜40
重量%の範囲であることが好ましい。また前記方法にお
いては、内部電極のNi含量が90〜100重量%の範
囲で、その他の金属成分が0〜10重量%の範囲である
ことが好ましい。
の金属成分が60〜97重量%、ガラス成分が3〜40
重量%の範囲であることが好ましい。また前記方法にお
いては、内部電極のNi含量が90〜100重量%の範
囲で、その他の金属成分が0〜10重量%の範囲である
ことが好ましい。
【0027】また前記方法においては、前記内部電極を
構成するその他の金属成分が、Fe,Co,Cu,Cr
から選ばれる少なくとも一つの金属であることが好まし
い。また前記方法においては、外部電極の焼成時の低酸
素分圧の雰囲気が、酸素分圧0ppm以上1000pp
m以下の範囲であることが好ましい。さらに好ましい酸
素分圧は0〜500ppmの範囲である。
構成するその他の金属成分が、Fe,Co,Cu,Cr
から選ばれる少なくとも一つの金属であることが好まし
い。また前記方法においては、外部電極の焼成時の低酸
素分圧の雰囲気が、酸素分圧0ppm以上1000pp
m以下の範囲であることが好ましい。さらに好ましい酸
素分圧は0〜500ppmの範囲である。
【0028】本発明のセラミック電子部品用外部電極お
よびその製造方法は、前記構成からなるものであり、外
部電極形成用材料として、Ni内部電極のNiと合金化
しやすいCu、およびCuと合金をつくり当該合金形成
温度を低下させる作用のあるAgを含む金属材と、ガラ
ス材等を含有する塗料を用いることにより、500〜8
00℃の低温で焼成しても、良好な焼結状態と、Ni内
部電極との良好な結合性を有する外部電極を得ることが
できる。さらに、CuおよびAgと低温で合金をつくり
当該合金形成温度をさらに低下させる作用のあるBi,
Ce,Ga,In,Pb,Sn,Zn等の金属成分を含
有させることにより、より良好な焼結状態と、Ni内部
電極との良好な結合性を有する外部電極を得ることがで
きる。
よびその製造方法は、前記構成からなるものであり、外
部電極形成用材料として、Ni内部電極のNiと合金化
しやすいCu、およびCuと合金をつくり当該合金形成
温度を低下させる作用のあるAgを含む金属材と、ガラ
ス材等を含有する塗料を用いることにより、500〜8
00℃の低温で焼成しても、良好な焼結状態と、Ni内
部電極との良好な結合性を有する外部電極を得ることが
できる。さらに、CuおよびAgと低温で合金をつくり
当該合金形成温度をさらに低下させる作用のあるBi,
Ce,Ga,In,Pb,Sn,Zn等の金属成分を含
有させることにより、より良好な焼結状態と、Ni内部
電極との良好な結合性を有する外部電極を得ることがで
きる。
【0029】以下、本発明の外部電極の形成メカニズム
について説明する。AgとCuは779℃に共晶点を持
ち、AgとCuの金属粉末を混合させると779℃で液
相を形成する。しかし、現実には共晶点以下の温度で一
部AgとCuとが結合を開始して、融点を低下させる物
質を形成し、これを起点としてさらに結合が促進され、
AgとCuの共晶物質が更に形成された。従って、外部
電極全体における金属の焼結性は、Cuそのものが有す
る焼結性に比して低温化されることとなり、実質的に外
部電極全体がAg−Cu共晶点以下の温度で焼結される
こととなる。
について説明する。AgとCuは779℃に共晶点を持
ち、AgとCuの金属粉末を混合させると779℃で液
相を形成する。しかし、現実には共晶点以下の温度で一
部AgとCuとが結合を開始して、融点を低下させる物
質を形成し、これを起点としてさらに結合が促進され、
AgとCuの共晶物質が更に形成された。従って、外部
電極全体における金属の焼結性は、Cuそのものが有す
る焼結性に比して低温化されることとなり、実質的に外
部電極全体がAg−Cu共晶点以下の温度で焼結される
こととなる。
【0030】一方、共晶になった合金組成(AgとCu
の共晶物質)はそれの軟化温度が低下することにより、
容易に内部電極のNi表面に移行する。その結果、この
共晶物質を媒体としてNiの表面からのNiとCuの合
金化が促進され、合金が形成される。この際、AgとC
uの共晶物質にはNiと結合しにくいAgが存在する
が、AgはNiとCuの結合を阻害することなく、逆に
CuをNi表面へ運ぶ役割を担うことになり、従来の金
属材としてCuのみを用いた場合よりも、低温において
NiとCuの合金が形成され、内部電極と外部電極の良
好な結合状態を形成することができる。
の共晶物質)はそれの軟化温度が低下することにより、
容易に内部電極のNi表面に移行する。その結果、この
共晶物質を媒体としてNiの表面からのNiとCuの合
金化が促進され、合金が形成される。この際、AgとC
uの共晶物質にはNiと結合しにくいAgが存在する
が、AgはNiとCuの結合を阻害することなく、逆に
CuをNi表面へ運ぶ役割を担うことになり、従来の金
属材としてCuのみを用いた場合よりも、低温において
NiとCuの合金が形成され、内部電極と外部電極の良
好な結合状態を形成することができる。
【0031】同様のメカニズムにより、AgおよびCu
と合金をつくりさらに低温で軟化させる作用のあるBi
やPb,Sn,Zn等の金属は、これらを含有させるこ
とにより、さらに低温においてNiとCuの合金が形成
され、内部電極と外部電極の良好な結合状態を形成する
ことができる。場合によってはNi,Cuおよび添加金
属元素で合金を形成し、非常に良好な内部電極と外部電
極の結合状態を達成することができる。
と合金をつくりさらに低温で軟化させる作用のあるBi
やPb,Sn,Zn等の金属は、これらを含有させるこ
とにより、さらに低温においてNiとCuの合金が形成
され、内部電極と外部電極の良好な結合状態を形成する
ことができる。場合によってはNi,Cuおよび添加金
属元素で合金を形成し、非常に良好な内部電極と外部電
極の結合状態を達成することができる。
【0032】ここで、Bi,In,Sn,Pb等の含有
方法としては、金属成分として添加しても良いが、酸化
物の形態で添加しても良い。これは、これらの酸化物が
低酸素分圧の雰囲気下で焼成を行う際に、塗料に含有さ
れるバインダーの燃焼と引換に容易に還元され金属成分
となるためである。一般に酸化物粒子の方が比較的細か
くかつ固いので、均一に塗料中に分散させ易いという利
点をもち、かつ、酸化物から金属成分へと還元される際
にバインダー成分の燃焼を促進し、セラミック素子の還
元を抑制する働きも有するので、好ましくは酸化物の形
態で添加する方が、より良好な外部電極の形成およびセ
ラミック電子部品の製造を可能にすることができる。
方法としては、金属成分として添加しても良いが、酸化
物の形態で添加しても良い。これは、これらの酸化物が
低酸素分圧の雰囲気下で焼成を行う際に、塗料に含有さ
れるバインダーの燃焼と引換に容易に還元され金属成分
となるためである。一般に酸化物粒子の方が比較的細か
くかつ固いので、均一に塗料中に分散させ易いという利
点をもち、かつ、酸化物から金属成分へと還元される際
にバインダー成分の燃焼を促進し、セラミック素子の還
元を抑制する働きも有するので、好ましくは酸化物の形
態で添加する方が、より良好な外部電極の形成およびセ
ラミック電子部品の製造を可能にすることができる。
【0033】以上の説明から明らかな通り本発明は、N
iを主要金属成分とする内部電極と、AgとCuを主成
分とする金属成分及びガラス成分を含む焼結体からなる
外部電極を含むセラミック電子部品であって、外部電極
と内部電極との境界部をNiとCuを主成分とする合金
相で形成することにより、電極間の良接合性を達成し信
頼性の高いセラミック電子部品を提供できる。
iを主要金属成分とする内部電極と、AgとCuを主成
分とする金属成分及びガラス成分を含む焼結体からなる
外部電極を含むセラミック電子部品であって、外部電極
と内部電極との境界部をNiとCuを主成分とする合金
相で形成することにより、電極間の良接合性を達成し信
頼性の高いセラミック電子部品を提供できる。
【0034】また本発明方法によれば、外部電極構成金
属をCuとAgを主成分とする金属にし、さらに好まし
くは外部電極のAg:Cuの重量比を3:7〜9:1と
し、これらを低酸素分圧の雰囲気下において500〜8
00℃の範囲の低温で焼成して軟化させることにより、
全体がCu−Agを主成分とした合金相で構成され、N
i内部電極との境界部にNi−Cuを主成分とした合金
相が形成された外部電極を得、これにより、外部電極の
低温焼結化が可能となり、セラミック電子部品のセラミ
ック成分の還元による電気特性の劣化を防止でき、かつ
外部電極の製造コストを低減化できる。
属をCuとAgを主成分とする金属にし、さらに好まし
くは外部電極のAg:Cuの重量比を3:7〜9:1と
し、これらを低酸素分圧の雰囲気下において500〜8
00℃の範囲の低温で焼成して軟化させることにより、
全体がCu−Agを主成分とした合金相で構成され、N
i内部電極との境界部にNi−Cuを主成分とした合金
相が形成された外部電極を得、これにより、外部電極の
低温焼結化が可能となり、セラミック電子部品のセラミ
ック成分の還元による電気特性の劣化を防止でき、かつ
外部電極の製造コストを低減化できる。
【0035】
【実施例】以下、実施例を用いて本発明をさらに具体的
に説明する。 (実施例1)Ni内部電極と本発明の外部電極との結合
(合金化)状態をモデル的に調べるため、平均粒径0.
5μmのCu粉を100重量部、バインダー成分として
エチルセルロースを2重量部,溶剤としてテルピネオー
ルを30重量部とともに混練した金属塗料を作製した。
別に、平均粒径0.5μmのCu粉と平均粒径1μmの
Ag粉を表1に示す重量比で混合し(混合合計量100
重量部)、バインダー成分としてエチルセルロース2重
量部,溶剤としてテルピネオールを30重量部とともに
混練した金属塗料とを作製した。各々の塗料について、
塗料をNiメタル箔上に塗布して乾燥させ、塗膜をN2
雰囲気中で500〜750℃の温度で焼成することによ
り外部電極材料を作製した。N2 ガスは20〜30pp
mの酸素分圧を有するガスであった。
に説明する。 (実施例1)Ni内部電極と本発明の外部電極との結合
(合金化)状態をモデル的に調べるため、平均粒径0.
5μmのCu粉を100重量部、バインダー成分として
エチルセルロースを2重量部,溶剤としてテルピネオー
ルを30重量部とともに混練した金属塗料を作製した。
別に、平均粒径0.5μmのCu粉と平均粒径1μmの
Ag粉を表1に示す重量比で混合し(混合合計量100
重量部)、バインダー成分としてエチルセルロース2重
量部,溶剤としてテルピネオールを30重量部とともに
混練した金属塗料とを作製した。各々の塗料について、
塗料をNiメタル箔上に塗布して乾燥させ、塗膜をN2
雰囲気中で500〜750℃の温度で焼成することによ
り外部電極材料を作製した。N2 ガスは20〜30pp
mの酸素分圧を有するガスであった。
【0036】焼成後、Niと外部電極材料との結合状態
を調べるため、断面の合金相の状態を光学顕微鏡で観察
した。その結果、Agを添加したものには低温からはっ
きりとした合金相が観察され、その合金相はCuとNi
だけの合金であることが元素分析の結果わかった。この
合金相の厚さを示したのが表1である。
を調べるため、断面の合金相の状態を光学顕微鏡で観察
した。その結果、Agを添加したものには低温からはっ
きりとした合金相が観察され、その合金相はCuとNi
だけの合金であることが元素分析の結果わかった。この
合金相の厚さを示したのが表1である。
【0037】
【表1】
【0038】表1より明かなように、CuとNiは本来
合金を形成し易い金属ではあるが、Cu粉単独でNi膜
と合金を形成するには高い温度を必要とし、一方、Cu
粉にAg粉を添加することにより低温においてもNiと
Cuの合金を作る作用があることがわかった。特に金属
材料中のAg重量%が30〜90の場合、その合金化も
著しく、500℃という低温でも合金化が確認できた。
合金を形成し易い金属ではあるが、Cu粉単独でNi膜
と合金を形成するには高い温度を必要とし、一方、Cu
粉にAg粉を添加することにより低温においてもNiと
Cuの合金を作る作用があることがわかった。特に金属
材料中のAg重量%が30〜90の場合、その合金化も
著しく、500℃という低温でも合金化が確認できた。
【0039】本実施例においてはCu粉末とAg粉末の
混合粉を用いたが、Ag−Cu合金粉末、Cu粉末にA
gをコートした粉末およびAg粉末にCuをコートした
粉末を用いても、同様の結果が得られた。
混合粉を用いたが、Ag−Cu合金粉末、Cu粉末にA
gをコートした粉末およびAg粉末にCuをコートした
粉末を用いても、同様の結果が得られた。
【0040】(実施例2)Ni内部電極と本発明の外部
電極との結合(合金化)状態をモデル的に調べるため、
平均粒径0.5μmのCu粉のみをバインダー成分とし
てのエチルセルロース,溶剤としてのテルピネオールと
ともに混練した金属塗料と、平均粒径0.5μmのCu
粉と平均粒径1μmのAg粉を所定の比率で配合し、さ
らに平均粒径1μmのSn粉を重量比でAgとCuの総
重量に対し0.02になるように添加混合した粉を、バ
インダー成分としてのエチルセルロース,溶剤としての
テルピネオールとともに混練した金属塗料とを作製し
た。これら各々の塗料について、実施例1のようにして
Niメタル箔上に外部電極材料を焼成形成した。焼成
後、Niと外部電極材料との結合状態を調べるため、断
面の合金相の状態を光学顕微鏡で観察した。その結果、
CuにAgとSnを添加したものには低温からはっきり
とした合金相が観察され、その合金相はCuとNi,S
nの合金であることが元素分析の結果わかった。この合
金相の厚さを示したのが表2である。
電極との結合(合金化)状態をモデル的に調べるため、
平均粒径0.5μmのCu粉のみをバインダー成分とし
てのエチルセルロース,溶剤としてのテルピネオールと
ともに混練した金属塗料と、平均粒径0.5μmのCu
粉と平均粒径1μmのAg粉を所定の比率で配合し、さ
らに平均粒径1μmのSn粉を重量比でAgとCuの総
重量に対し0.02になるように添加混合した粉を、バ
インダー成分としてのエチルセルロース,溶剤としての
テルピネオールとともに混練した金属塗料とを作製し
た。これら各々の塗料について、実施例1のようにして
Niメタル箔上に外部電極材料を焼成形成した。焼成
後、Niと外部電極材料との結合状態を調べるため、断
面の合金相の状態を光学顕微鏡で観察した。その結果、
CuにAgとSnを添加したものには低温からはっきり
とした合金相が観察され、その合金相はCuとNi,S
nの合金であることが元素分析の結果わかった。この合
金相の厚さを示したのが表2である。
【0041】
【表2】
【0042】表2より明かなように、CuとNiは本来
合金を形成し易い金属ではあるが、Cu粉単独でNi膜
と合金を形成するには高い温度を必要とし、一方、Cu
粉にAg粉、Sn粉を添加することにより低温において
もNiとCuを主成分とする合金を作る作用があること
がわかった。さらに実施例1との比較から、単にAg粉
だけを添加するよりも、Sn粉も添加した方がより合金
を形成し易いことがわかった。この場合、金属材料中の
Ag重量%が1〜99の広い範囲において、顕著に合金
化が達成され、500℃という低温でも合金化が確認で
きた。
合金を形成し易い金属ではあるが、Cu粉単独でNi膜
と合金を形成するには高い温度を必要とし、一方、Cu
粉にAg粉、Sn粉を添加することにより低温において
もNiとCuを主成分とする合金を作る作用があること
がわかった。さらに実施例1との比較から、単にAg粉
だけを添加するよりも、Sn粉も添加した方がより合金
を形成し易いことがわかった。この場合、金属材料中の
Ag重量%が1〜99の広い範囲において、顕著に合金
化が達成され、500℃という低温でも合金化が確認で
きた。
【0043】本実施例ではCu,Agに添加するその他
の金属成分Snの重量比がAgとCuの総重量に対し
0.02の場合の実験を記載したが、その他の金属成分
Snの重量比がAgとCuの総重量に対し0.001以
上でその合金形成効果が確認された。
の金属成分Snの重量比がAgとCuの総重量に対し
0.02の場合の実験を記載したが、その他の金属成分
Snの重量比がAgとCuの総重量に対し0.001以
上でその合金形成効果が確認された。
【0044】また、本実施例では、Cu,Agに添加す
るその他の金属成分としてSnについて行った実験を記
載したが、その他AgおよびCuと合金を形成し、その
融点がAgおよびCu各々の融点よりも低くなる金属元
素について詳細に確認を行ったところ、同様の効果が得
られ、低温において合金形成が確認された。
るその他の金属成分としてSnについて行った実験を記
載したが、その他AgおよびCuと合金を形成し、その
融点がAgおよびCu各々の融点よりも低くなる金属元
素について詳細に確認を行ったところ、同様の効果が得
られ、低温において合金形成が確認された。
【0045】(実施例3)Ni内部電極と本発明の外部
電極との結合(合金化)状態をモデル的に調べるため、
平均粒径0.5μmのCu粉のみをバインダー成分とし
てのエチルセルロース,溶剤としてのテルピネオールと
ともに混練した金属塗料と、平均粒径0.5μmのCu
粉と平均粒径1μmのAg粉を所定の比率で配合し、さ
らに平均粒径0.5μmのPbO粉を重量比でAgとC
uの総重量に対しPb分として0.005になるように
添加混合した粉を、バインダー成分としてのエチルセル
ロース,溶剤としてのテルピネオールとともに混練した
金属塗料とを作製した。これら各々の塗料について、実
施例1のようにしてNiメタル箔上に外部電極材料を焼
成形成した。焼成後、Niと外部電極材料との結合状態
を調べるため、断面の合金相の状態を光学顕微鏡で観察
した。その結果、CuにAgとPbOを添加したものに
は低温からはっきりとした合金相が観察され、その合金
相はCuとNiだけの合金であることが元素分析の結果
わかった。この合金相の厚さを示したのが表3である。
電極との結合(合金化)状態をモデル的に調べるため、
平均粒径0.5μmのCu粉のみをバインダー成分とし
てのエチルセルロース,溶剤としてのテルピネオールと
ともに混練した金属塗料と、平均粒径0.5μmのCu
粉と平均粒径1μmのAg粉を所定の比率で配合し、さ
らに平均粒径0.5μmのPbO粉を重量比でAgとC
uの総重量に対しPb分として0.005になるように
添加混合した粉を、バインダー成分としてのエチルセル
ロース,溶剤としてのテルピネオールとともに混練した
金属塗料とを作製した。これら各々の塗料について、実
施例1のようにしてNiメタル箔上に外部電極材料を焼
成形成した。焼成後、Niと外部電極材料との結合状態
を調べるため、断面の合金相の状態を光学顕微鏡で観察
した。その結果、CuにAgとPbOを添加したものに
は低温からはっきりとした合金相が観察され、その合金
相はCuとNiだけの合金であることが元素分析の結果
わかった。この合金相の厚さを示したのが表3である。
【0046】
【表3】
【0047】表3より明かなように、CuとNiは本来
合金を形成し易い金属ではあるが、Cu粉単独でNi膜
と合金を形成するには高い温度を必要とし、一方、Cu
粉にAg粉、PbO粉を添加することにより低温におい
てもNiとCuの合金を作る作用があることがわかっ
た。さらに実施例1との比較から、単にAg粉だけを添
加するよりも、PbO粉も添加した方がより合金を形成
し易いことがわかった。この場合、金属材料中のAgが
1〜99重量%の広い範囲において、顕著に合金化が達
成され、500℃という低温でも合金化が確認できた。
合金を形成し易い金属ではあるが、Cu粉単独でNi膜
と合金を形成するには高い温度を必要とし、一方、Cu
粉にAg粉、PbO粉を添加することにより低温におい
てもNiとCuの合金を作る作用があることがわかっ
た。さらに実施例1との比較から、単にAg粉だけを添
加するよりも、PbO粉も添加した方がより合金を形成
し易いことがわかった。この場合、金属材料中のAgが
1〜99重量%の広い範囲において、顕著に合金化が達
成され、500℃という低温でも合金化が確認できた。
【0048】本実施例ではCu,Agに添加する金属酸
化物PbOの金属Pb分としての重量比がAgとCuの
総重量に対し0.005の場合の実験を記載したが、A
gとCuの総重量に対し0.001以上でその合金形成
効果が確認された。
化物PbOの金属Pb分としての重量比がAgとCuの
総重量に対し0.005の場合の実験を記載したが、A
gとCuの総重量に対し0.001以上でその合金形成
効果が確認された。
【0049】また、本実施例では、Cu,Agに添加す
る金属酸化物としてPbOについて行った実験を記載し
たが、その他バインダー燃焼を促進しそれ自体は還元さ
れる金属酸化物であるBiやIn,Sn等の酸化物につ
いても詳細に確認を行ったところ、同様の効果が得ら
れ、低温において合金形成が確認された。
る金属酸化物としてPbOについて行った実験を記載し
たが、その他バインダー燃焼を促進しそれ自体は還元さ
れる金属酸化物であるBiやIn,Sn等の酸化物につ
いても詳細に確認を行ったところ、同様の効果が得ら
れ、低温において合金形成が確認された。
【0050】(実施例4)金属粉末100重量部、ガラ
スフリット6重量部、及びバインダーとしてのエチルセ
ルロース3重量部を、溶剤としてのテルピネオールとと
もに混練して金属塗料を作製した。ここで、金属粉末に
は、平均粒径0.8μmのCu粉および平均粒径1.5
μmのAg粉のうちのいずれか一方のみ、あるいはこれ
らを所定比で混合したものを用いた。また、その他の成
分として平均粒径0.5μmのSnO2 粉末を、Sn分
として重量比でAgとCuの総重量の0.01になるよ
うに混合した塗料も同様にして作製した。さらに、その
他の成分として平均粒径1.0μmのZn粉末を、重量
比でAgとCuの総重量の0.01になるように混合し
た塗料も同様にして作製した。
スフリット6重量部、及びバインダーとしてのエチルセ
ルロース3重量部を、溶剤としてのテルピネオールとと
もに混練して金属塗料を作製した。ここで、金属粉末に
は、平均粒径0.8μmのCu粉および平均粒径1.5
μmのAg粉のうちのいずれか一方のみ、あるいはこれ
らを所定比で混合したものを用いた。また、その他の成
分として平均粒径0.5μmのSnO2 粉末を、Sn分
として重量比でAgとCuの総重量の0.01になるよ
うに混合した塗料も同様にして作製した。さらに、その
他の成分として平均粒径1.0μmのZn粉末を、重量
比でAgとCuの総重量の0.01になるように混合し
た塗料も同様にして作製した。
【0051】評価用の素子として、チタン酸バリウム系
誘電体からなる、Ni内部電極積層セラミックコンデン
サ(F特性、0.1μF品、約2.0mm×1.25m
m×厚み0.65mm)を用い、この素子の端部に前記
金属塗料を塗布乾燥し、N2雰囲気中で650℃で焼成
を行って外部電極を形成した。また、従来例(比較例)
として、金属粉末をCu粉単独にした以外は前記金属塗
料と同様にして作製した金属塗料を用い、前記Ni内部
電極積層セラミックコンデンサの端部に塗布乾燥し、N
2 雰囲気(N2 ガスは20〜30ppmの酸素分圧を有
していた)中で900℃にて焼成を行って外部電極を形
成した。そして、この後、内部電極のNiと外部電極と
の結合状態の指標として、各試料毎の容量を確認した。
その結果が表4である。
誘電体からなる、Ni内部電極積層セラミックコンデン
サ(F特性、0.1μF品、約2.0mm×1.25m
m×厚み0.65mm)を用い、この素子の端部に前記
金属塗料を塗布乾燥し、N2雰囲気中で650℃で焼成
を行って外部電極を形成した。また、従来例(比較例)
として、金属粉末をCu粉単独にした以外は前記金属塗
料と同様にして作製した金属塗料を用い、前記Ni内部
電極積層セラミックコンデンサの端部に塗布乾燥し、N
2 雰囲気(N2 ガスは20〜30ppmの酸素分圧を有
していた)中で900℃にて焼成を行って外部電極を形
成した。そして、この後、内部電極のNiと外部電極と
の結合状態の指標として、各試料毎の容量を確認した。
その結果が表4である。
【0052】
【表4】
【0053】表4より明かなように、650℃での塗料
の焼成では、金属粉末としてCu粉単独あるいはAg粉
単独を含有する塗料を用いて外部電極を形成した試料
は、Ni内部電極と外部電極との接合が悪く、容量の引
き出しが不完全(従来例における容量引き出し率:0〜
50%)であったが、金属粉末としてCu粉とAg粉を
混合したものを含有する塗料を用いて外部電極を形成し
た試料は、いずれも内部電極のNiと外部電極との接合
が良化し、規定容量が引き出せる傾向がみられた。特
に、Ag粉を金属粉全体当たり30〜90重量%含有す
るものはかなり接合が良化しており、中でも30〜60
重量%含有するものは全数で良好な容量を引き出すこと
ができた。金属粉末としてCu粉単独を含有する塗料を
焼成して得られる電極の場合、焼成温度を900℃に上
げることにより、容量の引き出しは良化した。本実施例
における容量引き出し率:95〜100%、レベルの低
いものでも80%以上であった。
の焼成では、金属粉末としてCu粉単独あるいはAg粉
単独を含有する塗料を用いて外部電極を形成した試料
は、Ni内部電極と外部電極との接合が悪く、容量の引
き出しが不完全(従来例における容量引き出し率:0〜
50%)であったが、金属粉末としてCu粉とAg粉を
混合したものを含有する塗料を用いて外部電極を形成し
た試料は、いずれも内部電極のNiと外部電極との接合
が良化し、規定容量が引き出せる傾向がみられた。特
に、Ag粉を金属粉全体当たり30〜90重量%含有す
るものはかなり接合が良化しており、中でも30〜60
重量%含有するものは全数で良好な容量を引き出すこと
ができた。金属粉末としてCu粉単独を含有する塗料を
焼成して得られる電極の場合、焼成温度を900℃に上
げることにより、容量の引き出しは良化した。本実施例
における容量引き出し率:95〜100%、レベルの低
いものでも80%以上であった。
【0054】また、Cu粉とAg粉を混合したものにそ
の他の成分としてSnO2 粉を添加含有する塗料を用い
て外部電極を形成した試料は、いずれも内部電極のNi
と外部電極との接合がさらに良化し、規定容量が引き出
せる傾向がみられた。この場合、Ag粉を金属粉全体当
たり1〜99重量%含有するもので接合が良化してお
り、中でも10〜90重量%含有するものは全数で良好
な容量を引き出すことができた。さらに、Cu粉とAg
粉を混合したものにその他の成分としてZn粉を添加含
有する塗料を用いて外部電極を形成した試料も、いずれ
も内部電極のNiと外部電極との接合がさらに良化し、
規定容量が引き出せる傾向がみられた。この場合も、A
g粉を金属粉全体当たり1〜99重量%含有するもので
接合が良化しており、中でも30〜70重量%含有する
ものは全数で良好な容量を引き出すことができた。
の他の成分としてSnO2 粉を添加含有する塗料を用い
て外部電極を形成した試料は、いずれも内部電極のNi
と外部電極との接合がさらに良化し、規定容量が引き出
せる傾向がみられた。この場合、Ag粉を金属粉全体当
たり1〜99重量%含有するもので接合が良化してお
り、中でも10〜90重量%含有するものは全数で良好
な容量を引き出すことができた。さらに、Cu粉とAg
粉を混合したものにその他の成分としてZn粉を添加含
有する塗料を用いて外部電極を形成した試料も、いずれ
も内部電極のNiと外部電極との接合がさらに良化し、
規定容量が引き出せる傾向がみられた。この場合も、A
g粉を金属粉全体当たり1〜99重量%含有するもので
接合が良化しており、中でも30〜70重量%含有する
ものは全数で良好な容量を引き出すことができた。
【0055】図1は本発明の一実施例のセラミックを用
いたコンデンサの電極構造を示すもので、Ni内部電極
と外部電極の接合部分を概略的に示した断面図である。
すなわち、金属粉末としてCu粉単独を含有する塗料の
塗膜を焼成して外部電極を形成した試料及びCu粉とA
g粉をAg粉が金属粉末全体当たり50重量%となるよ
う混合したものを含有する塗料の塗膜を焼成して外部電
極を形成した試料、さらにはCu粉とAg粉をAg粉が
金属粉末全体当たり50重量%となるよう混合したもの
にSnO2 粉をSnとして重量比でAgとCuの総重量
の0.01になるよう添加したものを含有する塗料の塗
膜を焼成して外部電極を形成した試料のNi内部電極と
外部電極の接合部分を概略的に示した断面図である。図
2,図3は図1中の符号Aで特定した部分を拡大して示
した図で、図2がAg粉を金属粉末全体当たり50重量
%含有させた塗料の塗膜を650℃で焼成して外部電極
を形成した試料、あるいはCu粉とAg粉をAg粉が金
属粉末全体当たり50重量%となるよう混合したものに
SnO2 粉をSnとして重量比でAgとCuの総重量の
0.01になるよう添加したものを含有する塗料の塗膜
を、N2 雰囲気中で650℃で焼成して外部電極を形成
した試料、あるいは金属粉末としてCu粉単独を含有す
る塗料の塗膜を900℃で焼成して外部電極を形成した
試料のコンデンサの電極構造であり、図3がCu粉単独
を含有する塗料の塗膜を650℃で焼成して外部電極を
形成した試料のコンデンサの電極構造である。これらの
図において、1は誘電体層(セラミック層)、2はNi
内部電極、3は外部電極、4はCu焼結粉、5はNi−
Cu合金相またはNi−Cu−Sn合金相(Ni−Cu
を主要成分とする合金相)、6はCu−Ag合金相また
はCu−Ag−Sn合金相(Cu−Agを主要成分とす
る合金相)あるいはCu金属相、7は空孔である。
いたコンデンサの電極構造を示すもので、Ni内部電極
と外部電極の接合部分を概略的に示した断面図である。
すなわち、金属粉末としてCu粉単独を含有する塗料の
塗膜を焼成して外部電極を形成した試料及びCu粉とA
g粉をAg粉が金属粉末全体当たり50重量%となるよ
う混合したものを含有する塗料の塗膜を焼成して外部電
極を形成した試料、さらにはCu粉とAg粉をAg粉が
金属粉末全体当たり50重量%となるよう混合したもの
にSnO2 粉をSnとして重量比でAgとCuの総重量
の0.01になるよう添加したものを含有する塗料の塗
膜を焼成して外部電極を形成した試料のNi内部電極と
外部電極の接合部分を概略的に示した断面図である。図
2,図3は図1中の符号Aで特定した部分を拡大して示
した図で、図2がAg粉を金属粉末全体当たり50重量
%含有させた塗料の塗膜を650℃で焼成して外部電極
を形成した試料、あるいはCu粉とAg粉をAg粉が金
属粉末全体当たり50重量%となるよう混合したものに
SnO2 粉をSnとして重量比でAgとCuの総重量の
0.01になるよう添加したものを含有する塗料の塗膜
を、N2 雰囲気中で650℃で焼成して外部電極を形成
した試料、あるいは金属粉末としてCu粉単独を含有す
る塗料の塗膜を900℃で焼成して外部電極を形成した
試料のコンデンサの電極構造であり、図3がCu粉単独
を含有する塗料の塗膜を650℃で焼成して外部電極を
形成した試料のコンデンサの電極構造である。これらの
図において、1は誘電体層(セラミック層)、2はNi
内部電極、3は外部電極、4はCu焼結粉、5はNi−
Cu合金相またはNi−Cu−Sn合金相(Ni−Cu
を主要成分とする合金相)、6はCu−Ag合金相また
はCu−Ag−Sn合金相(Cu−Agを主要成分とす
る合金相)あるいはCu金属相、7は空孔である。
【0056】図3に示されるように、金属粉末としてC
u粉単独を含有する塗料の塗膜を650℃で焼成して外
部電極を形成した試料では、電極間の接合状態が良くわ
からないが、図2に示されるように、Ag粉を金属粉末
全体当たり50重量%含有させた塗料の塗膜を650℃
で焼成して外部電極を形成した試料の場合は電極間、す
なわち、外部電極3の内部電極2との境界部にてNi−
Cu合金相が成長している状態が観察された。また、こ
の場合は外部電極内の金属結合もCu粉単独の場合より
も促進され、電極としての連続性も良化していることが
確認できた。また、Cu粉単独を含有する塗料の塗膜を
900℃で焼成して外部電極を形成した場合は、前記と
同様の合金状態および電極連続性が確認された。
u粉単独を含有する塗料の塗膜を650℃で焼成して外
部電極を形成した試料では、電極間の接合状態が良くわ
からないが、図2に示されるように、Ag粉を金属粉末
全体当たり50重量%含有させた塗料の塗膜を650℃
で焼成して外部電極を形成した試料の場合は電極間、す
なわち、外部電極3の内部電極2との境界部にてNi−
Cu合金相が成長している状態が観察された。また、こ
の場合は外部電極内の金属結合もCu粉単独の場合より
も促進され、電極としての連続性も良化していることが
確認できた。また、Cu粉単独を含有する塗料の塗膜を
900℃で焼成して外部電極を形成した場合は、前記と
同様の合金状態および電極連続性が確認された。
【0057】さらにCu粉とAg粉を混合したものにそ
の他添加する成分としてSnO2 粉を添加した塗料の塗
膜を650℃で焼成して外部電極を形成した試料でも、
図2に示されるように、電極間、すなわち、外部電極3
の内部電極2との境界部にてNi−Cu−Sn合金相が
成長している状態が観察された。また、この場合も外部
電極内の金属結合がCu粉単独の場合よりも促進され、
電極としての連続性もさらに良化していることが確認で
きた。
の他添加する成分としてSnO2 粉を添加した塗料の塗
膜を650℃で焼成して外部電極を形成した試料でも、
図2に示されるように、電極間、すなわち、外部電極3
の内部電極2との境界部にてNi−Cu−Sn合金相が
成長している状態が観察された。また、この場合も外部
電極内の金属結合がCu粉単独の場合よりも促進され、
電極としての連続性もさらに良化していることが確認で
きた。
【0058】本実施例においてはCu粉とAg粉を混合
したものにその他添加する成分としてSnO2 粉を添加
した場合の外部電極構造を例として図に示したが、その
他、AgおよびCuと合金を形成し、その融点がAgお
よびCu各々の融点よりも低くなる金属元素を添加した
場合についても詳細に確認を行ったところ、同様の外部
電極構造が確認された。
したものにその他添加する成分としてSnO2 粉を添加
した場合の外部電極構造を例として図に示したが、その
他、AgおよびCuと合金を形成し、その融点がAgお
よびCu各々の融点よりも低くなる金属元素を添加した
場合についても詳細に確認を行ったところ、同様の外部
電極構造が確認された。
【0059】(実施例5)平均粒径0.5μmのCu粉
末及び平均粒径1.0μmのAg粉末とガラスフリット
を、粉体全体当たりそれぞれが50重量%,42重量
%,8重量%となるよう配合してなる粉体100重量部
と、バインダー成分としてのエチルセルロース3重量部
を、溶剤としてのテルピネオールとともに混練して金属
塗料を得た。この金属塗料を実施例4と同様にしてNi
内部電極積層セラミックコンデンサ素子の端部に塗布乾
燥し、N2 雰囲気中(N2 ガスは20〜30ppmの酸
素分圧を有する)、600℃で焼成して外部電極を形成
したもの、700℃で焼成して外部電極を形成したも
の、800℃で焼成して外部電極を形成したものをそれ
ぞれ100個づつ作製した。その後、このようにして作
製した試料(300個)のそれぞれについて高温負荷加
速寿命試験を行った。かかる試験は、試料の外部電極に
Ni−半田メッキを施した後、これを所定の基板上に実
装し、150℃でDC250Vを印加するものである。
また、比較用の試料として、金属粉末がCu粉単独であ
ること以外は前記と同様にして作製した塗料を、前記N
i内部電極積層セラミックコンデンサ素子の端部に塗布
乾燥し、N2 雰囲気中900℃で焼成して外部電極を形
成したものを100個作製し、前記と同様の高温負荷加
速寿命試験を行った。
末及び平均粒径1.0μmのAg粉末とガラスフリット
を、粉体全体当たりそれぞれが50重量%,42重量
%,8重量%となるよう配合してなる粉体100重量部
と、バインダー成分としてのエチルセルロース3重量部
を、溶剤としてのテルピネオールとともに混練して金属
塗料を得た。この金属塗料を実施例4と同様にしてNi
内部電極積層セラミックコンデンサ素子の端部に塗布乾
燥し、N2 雰囲気中(N2 ガスは20〜30ppmの酸
素分圧を有する)、600℃で焼成して外部電極を形成
したもの、700℃で焼成して外部電極を形成したも
の、800℃で焼成して外部電極を形成したものをそれ
ぞれ100個づつ作製した。その後、このようにして作
製した試料(300個)のそれぞれについて高温負荷加
速寿命試験を行った。かかる試験は、試料の外部電極に
Ni−半田メッキを施した後、これを所定の基板上に実
装し、150℃でDC250Vを印加するものである。
また、比較用の試料として、金属粉末がCu粉単独であ
ること以外は前記と同様にして作製した塗料を、前記N
i内部電極積層セラミックコンデンサ素子の端部に塗布
乾燥し、N2 雰囲気中900℃で焼成して外部電極を形
成したものを100個作製し、前記と同様の高温負荷加
速寿命試験を行った。
【0060】表5がその結果で、表中の平均寿命時間
(Hr)は各試料(素子)における絶縁抵抗が劣化しシ
ョートするまでの平均時間を示している。
(Hr)は各試料(素子)における絶縁抵抗が劣化しシ
ョートするまでの平均時間を示している。
【0061】
【表5】
【0062】表5から明らかなように、焼成温度が上昇
するにつれて素子寿命が短くなることがわかった。本発
明者は解析の結果、素子寿命の低下は素子のセラミック
成分の還元による特性低下が原因であることを明かにし
た。従って、焼成による電極形成時の素子のセラミック
成分の還元が高温ほど促進され、素子特性が低下するこ
とが裏付けられ、低温焼結の優位性が明かとなった。
するにつれて素子寿命が短くなることがわかった。本発
明者は解析の結果、素子寿命の低下は素子のセラミック
成分の還元による特性低下が原因であることを明かにし
た。従って、焼成による電極形成時の素子のセラミック
成分の還元が高温ほど促進され、素子特性が低下するこ
とが裏付けられ、低温焼結の優位性が明かとなった。
【0063】(実施例6)平均粒径0.5μmのCu粉
末及び平均粒径1.0μmのAg粉末と、ガラスフリッ
トを、粉体全体当たりそれぞれが54重量%,40重量
%,6重量%となるよう配合してなる粉体100重量部
と、バインダー成分としてのエチルセルロース3重量部
と、金属材料成分(Cu粉末及びAg粉末)に対する体
積占有率が5〜50%となる量のモンモリロナイトを主
成分とする粘土粉末とを、溶剤としてのテルピネオール
とともに混練して金属塗料を得た。この金属塗料を実施
例4と同様にしてNi内部電極積層セラミックコンデン
サ素子の端部に塗布乾燥し、N2 雰囲気中(N2 ガスは
20〜30ppmの酸素分圧を有する)で650℃で焼
成を行って外部電極を形成した。その後、外部電極にN
i−半田メッキを施し、所定の基板上に実装してたわみ
強度試験を行った(JIS C 6484 たわみ試験
に準じた)。比較用の試料として、モンモリロナイトを
主成分とする粘土粉末を添加しない以外は前記と同様に
して作製した塗料を用いて、Ni内部電極積層セラミッ
クコンデンサ素子の端部に外部電極を形成したものを作
製し、前記と同様のたわみ試験を行った。
末及び平均粒径1.0μmのAg粉末と、ガラスフリッ
トを、粉体全体当たりそれぞれが54重量%,40重量
%,6重量%となるよう配合してなる粉体100重量部
と、バインダー成分としてのエチルセルロース3重量部
と、金属材料成分(Cu粉末及びAg粉末)に対する体
積占有率が5〜50%となる量のモンモリロナイトを主
成分とする粘土粉末とを、溶剤としてのテルピネオール
とともに混練して金属塗料を得た。この金属塗料を実施
例4と同様にしてNi内部電極積層セラミックコンデン
サ素子の端部に塗布乾燥し、N2 雰囲気中(N2 ガスは
20〜30ppmの酸素分圧を有する)で650℃で焼
成を行って外部電極を形成した。その後、外部電極にN
i−半田メッキを施し、所定の基板上に実装してたわみ
強度試験を行った(JIS C 6484 たわみ試験
に準じた)。比較用の試料として、モンモリロナイトを
主成分とする粘土粉末を添加しない以外は前記と同様に
して作製した塗料を用いて、Ni内部電極積層セラミッ
クコンデンサ素子の端部に外部電極を形成したものを作
製し、前記と同様のたわみ試験を行った。
【0064】試験の結果、モンモリロナイトを主成分と
する粘土粉末を添加しなかった塗料を用いて外部電極を
形成した比較用の試料では、3〜5mm基板をたわませ
た時点で素子が破壊し、ショートしたが、モンモリロナ
イトを主成分とする粘土粉末を添加した塗料を用いて外
部電極を形成した試料では、全数10mmまで素子破壊
が発生しなかった。このモンモリロナイトを主成分とす
る粘土粉末の塗料への添加により、実装時の基板のたわ
み負荷による試料(電子部品)の破壊を抑制することが
できるのは以下の理由による。すなわち、モンモリロナ
イトを主成分とする粘土粉末はその軟化点が900℃以
上であり、塗膜を焼成して得られる外部電極内に、金属
等の他の成分に結合することなくその粒子形状を保った
ままランダムに分散する。このため、基板のたわみによ
って試料(電子部品)にストレスが加わった場合、電極
内におけるモンモリロナイトを主成分とする粘土粉末と
金属等の他の成分との界面が微小な滑り面になって、外
部電極全体が塑性変形することになり、その結果、基板
のたわみはこの外部電極の塑性変形によって吸収され、
試料(電子部品)へのストレスが緩和される。
する粘土粉末を添加しなかった塗料を用いて外部電極を
形成した比較用の試料では、3〜5mm基板をたわませ
た時点で素子が破壊し、ショートしたが、モンモリロナ
イトを主成分とする粘土粉末を添加した塗料を用いて外
部電極を形成した試料では、全数10mmまで素子破壊
が発生しなかった。このモンモリロナイトを主成分とす
る粘土粉末の塗料への添加により、実装時の基板のたわ
み負荷による試料(電子部品)の破壊を抑制することが
できるのは以下の理由による。すなわち、モンモリロナ
イトを主成分とする粘土粉末はその軟化点が900℃以
上であり、塗膜を焼成して得られる外部電極内に、金属
等の他の成分に結合することなくその粒子形状を保った
ままランダムに分散する。このため、基板のたわみによ
って試料(電子部品)にストレスが加わった場合、電極
内におけるモンモリロナイトを主成分とする粘土粉末と
金属等の他の成分との界面が微小な滑り面になって、外
部電極全体が塑性変形することになり、その結果、基板
のたわみはこの外部電極の塑性変形によって吸収され、
試料(電子部品)へのストレスが緩和される。
【0065】本発明者はさらにモンモリロナイトを主成
分とする粘土粉末以外に、マイカ粉末、酸化チタン粉
末、酸化銅粉末等の軟化点が900℃以上の他の無機酸
化物粒子の添加についても検討したが、これらを添加し
た場合も、同様に、基板のたわみ負荷による試料(電子
部品)破壊を抑制できる効果が得られることを確認でき
た。また、モンモリロナイトを主成分とする粘土粉末と
マイカ粉末はフレーク状の粒子であり、これらを添加し
た場合、粒子表面積が大きく、外部電極の連続性をより
効果的に阻害するため、球状に近い粒子形状である酸化
銅や酸化チタン等の粉末を添加した場合に比べて、前述
した金属等の他の成分との界面における滑り作用はより
顕著に発現することとなり、基板のたわみ負荷による試
料(電子部品)破壊を抑制できる効果の程度が大きくな
ることもわかった。なお、これらモンモリロナイトを主
成分とする粘土粉末,マイカ粉末,酸化チタン,酸化銅
等の無機酸化物は、これらから選ばれる2種以上を混合
して添加することもできる。
分とする粘土粉末以外に、マイカ粉末、酸化チタン粉
末、酸化銅粉末等の軟化点が900℃以上の他の無機酸
化物粒子の添加についても検討したが、これらを添加し
た場合も、同様に、基板のたわみ負荷による試料(電子
部品)破壊を抑制できる効果が得られることを確認でき
た。また、モンモリロナイトを主成分とする粘土粉末と
マイカ粉末はフレーク状の粒子であり、これらを添加し
た場合、粒子表面積が大きく、外部電極の連続性をより
効果的に阻害するため、球状に近い粒子形状である酸化
銅や酸化チタン等の粉末を添加した場合に比べて、前述
した金属等の他の成分との界面における滑り作用はより
顕著に発現することとなり、基板のたわみ負荷による試
料(電子部品)破壊を抑制できる効果の程度が大きくな
ることもわかった。なお、これらモンモリロナイトを主
成分とする粘土粉末,マイカ粉末,酸化チタン,酸化銅
等の無機酸化物は、これらから選ばれる2種以上を混合
して添加することもできる。
【0066】(実施例7)実施例5の条件において、温
度600℃、外部電極の焼成雰囲気として下記の酸素分
圧の異なる条件とした以外は実施例5と同一の条件でそ
れぞれ100個焼成し、セラミックコンデンサを得た。 (1)N2 ガス雰囲気中の酸素分圧: 50ppm (2)N2 ガス雰囲気中の酸素分圧: 100ppm (3)N2 ガス雰囲気中の酸素分圧: 500ppm (4)N2 ガス雰囲気中の酸素分圧:1000ppm (5)N2 ガス雰囲気中の酸素分圧:2000ppm 表6がその結果で、表中の平均容量(nF)は1kH
z,1Vでの容量値を示している。
度600℃、外部電極の焼成雰囲気として下記の酸素分
圧の異なる条件とした以外は実施例5と同一の条件でそ
れぞれ100個焼成し、セラミックコンデンサを得た。 (1)N2 ガス雰囲気中の酸素分圧: 50ppm (2)N2 ガス雰囲気中の酸素分圧: 100ppm (3)N2 ガス雰囲気中の酸素分圧: 500ppm (4)N2 ガス雰囲気中の酸素分圧:1000ppm (5)N2 ガス雰囲気中の酸素分圧:2000ppm 表6がその結果で、表中の平均容量(nF)は1kH
z,1Vでの容量値を示している。
【0067】
【表6】
【0068】表6から明らかなように、N2 ガス雰囲気
中の酸素分圧:1000ppm以下で実用的に十分な製
品が得られることが確認できた。また、酸素分圧:50
0ppm以下ではさらに容量が安定して引き出せてお
り、品質バラツキのない安定した製品が得られることが
確認できた。
中の酸素分圧:1000ppm以下で実用的に十分な製
品が得られることが確認できた。また、酸素分圧:50
0ppm以下ではさらに容量が安定して引き出せてお
り、品質バラツキのない安定した製品が得られることが
確認できた。
【0069】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、Ni内
部電極を具備するセラミック電子部品の外部電極を、N
iと合金を形成するCuにさらにAgを配合したことに
より、低温でのCuとNiとの合金形成作用が促進さ
れ、しかも、電極内での金属成分の結合性も向上する。
また、AgとCuにさらにその他の成分としてAgおよ
びCu各々と合金を形成しその融点がAgおよびCu各
々の融点よりも低下する金属成分を添加含有させること
により、さらに低温でのCuとNiとの合金形成作用が
促進される。従って、低い焼成温度で、内部電極との間
に充分な結合が得られ、かつ、強度的にも安定な外部電
極を形成することが可能となる。また、電気的特性及び
機械的特性に優れた外部電極を、セラミック成分の還元
による電子部品の特性劣化をまねくことなく、低消費電
力にて製造できる効果が得られる。
部電極を具備するセラミック電子部品の外部電極を、N
iと合金を形成するCuにさらにAgを配合したことに
より、低温でのCuとNiとの合金形成作用が促進さ
れ、しかも、電極内での金属成分の結合性も向上する。
また、AgとCuにさらにその他の成分としてAgおよ
びCu各々と合金を形成しその融点がAgおよびCu各
々の融点よりも低下する金属成分を添加含有させること
により、さらに低温でのCuとNiとの合金形成作用が
促進される。従って、低い焼成温度で、内部電極との間
に充分な結合が得られ、かつ、強度的にも安定な外部電
極を形成することが可能となる。また、電気的特性及び
機械的特性に優れた外部電極を、セラミック成分の還元
による電子部品の特性劣化をまねくことなく、低消費電
力にて製造できる効果が得られる。
【図1】 本発明の一実施例のセラミックを用いたコン
デンサ電極構造を示すもので、Ni内部電極と外部電極
の接合部分を概略的に示した断面図である。
デンサ電極構造を示すもので、Ni内部電極と外部電極
の接合部分を概略的に示した断面図である。
【図2】 本発明の一実施例のセラミックを用いたコン
デンサ電極構造を示すもので、図1中の符号Aの部分の
拡大断面図である。
デンサ電極構造を示すもので、図1中の符号Aの部分の
拡大断面図である。
【図3】 本発明の別の実施例のセラミックを用いたコ
ンデンサ電極構造を示すもので、図1中の符号Aに該当
する部分の拡大断面図である。
ンデンサ電極構造を示すもので、図1中の符号Aに該当
する部分の拡大断面図である。
1 誘電体層(セラミック層) 2 Ni内部電極 3 外部電極 4 Cu焼結粉 5 Ni−Cuを主要成分とする合金相 6 Cu−Agを主要成分とする合金相またはCu金属
相 7 空孔
相 7 空孔
Claims (28)
- 【請求項1】 Niが主要金属成分である内部電極を具
備するセラミック電子部品の外縁に付設される外部電極
を含むセラミック電子部品であって、 前記外部電極が金属成分及びガラス成分を含む焼結体か
らなり、前記外部電極の金属成分の構成金属がAgとC
uを主成分とする金属であり、 かつ前記内部電極との境界部がNiとCuを主成分とす
る合金相で形成されていることを特徴とするセラミック
電子部品。 - 【請求項2】 前記外部電極の金属成分の構成金属がA
gとCuであり、かつ前記内部電極との境界部がNiと
Cuからなる合金相で形成されている請求項1に記載の
セラミック電子部品。 - 【請求項3】 前記外部電極の金属成分の構成金属が主
としてAgとCuからなり、その他の成分としてAgお
よびCu各々と合金を形成しその融点がAgおよびCu
各々の融点よりも低下する金属成分から選ばれる少なく
とも一種の金属を含み、前記内部電極との境界部がNi
とCuからなる合金相で形成されている請求項1に記載
のセラミック電子部品。 - 【請求項4】 前記外部電極の金属成分の構成金属が主
としてAgとCuからなり、その他の成分としてAgお
よびCu各々と合金を形成しその融点がAgおよびCu
各々の融点よりも低下する金属成分から選ばれる少なく
とも一種の金属を含み、前記内部電極との境界部がNi
とCuおよび前記その他として含む金属成分からなる合
金相で形成されている請求項1に記載のセラミック電子
部品。 - 【請求項5】 前記外部電極の金属成分の構成金属が主
としてAgとCuであり、その他の成分として、Bi,
Ce,Ga,In,Pb,SnおよびZnから選ばれる
少なくとも一種の金属を含む請求項1,3または4に記
載のセラミック電子部品。 - 【請求項6】 前記外部電極のAgとCuの重量比(A
g:Cu)が1:99〜99:1の範囲にある請求項
1,3,4または5に記載のセラミック電子部品。 - 【請求項7】 前記外部電極のAgとCuの重量比(A
g:Cu)が3:7〜9:1の範囲にある請求項2に記
載のセラミック電子部品。 - 【請求項8】 前記外部電極のその他の成分として含む
金属成分の重量比がAgとCuの総重量に対し0.00
1以上である請求項3から6のいずれかに記載のセラミ
ック電子部品。 - 【請求項9】 前記外部電極焼結体が、前記金属成分と
は結合せず、粉体混合時の初期の粒子形状を維持したま
ま存在する無機酸化物粒子を含んでなる請求項1〜8い
ずれかに記載のセラミック電子部品。 - 【請求項10】 前記無機酸化物粒子がフレーク状であ
る請求項9に記載のセラミック電子部品。 - 【請求項11】 前記フレーク状の無機酸化物粒子がマ
イカ粉末およびモンモリロナイトを主成分とする粘土粉
末から選ばれる一種またはこれらの混合物である請求項
10に記載のセラミック電子部品。 - 【請求項12】 前記外部電極焼結体の金属成分が60
〜97重量%、ガラス成分が3〜40重量%の範囲であ
る請求項1に記載のセラミック電子部品。 - 【請求項13】 前記内部電極のNi含量が90〜10
0重量%の範囲で、その他の金属成分が0〜10重量%
の範囲である請求項1に記載のセラミック電子部品。 - 【請求項14】 前記内部電極を構成するその他の金属
成分が、Fe,Co,Cu,Crから選ばれる少なくと
も一つの金属である請求項13に記載のセラミック電子
部品。 - 【請求項15】 Niが主要金属成分である内部電極を
具備するセラミック電子部品の外縁に付設される外部電
極を含む電子部品を製造する方法であって、 Ag粉末とCu粉末とを混合した金属粉末、Cu−Ag
合金からなる金属粉末、Cu粉末の表面をAgでコート
した金属粉末、およびAg粉末の表面をCuでコートし
た金属粉末から選ばれる少なくとも1種の金属粉末と、 ガラスフリットと、 バインダー用有機物質とを含む塗料を前記セラミック電
子部品の外縁に塗布して塗膜を形成し、 しかる後に、前記塗膜を低酸素分圧の雰囲気下において
500〜800℃の範囲の温度で焼成することにより前
記外部電極を形成することを特徴とするセラミック電子
部品の製造方法。 - 【請求項16】 前記塗料がAgおよびCu各々と合金
を形成しその融点がAgおよびCu各々の融点よりも低
下する金属成分から選ばれる少なくとも一種の金属粉末
または金属酸化物粉末をその他の添加物として含有する
請求項15に記載のセラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項17】 前記塗料がBi,Ce,Ga,In,
Pb,SnおよびZnから選ばれる少なくとも一種の金
属粉末をその他の添加物として含有する請求項15又は
16に記載のセラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項18】 前記塗料がIn,Bi,SnおよびP
bから選ばれる少なくとも一種の金属成分の酸化物粉末
をその他の添加物として含有する請求項15または16
に記載のセラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項19】 前記金属粉末におけるAgとCuの重
量比(Ag:Cu)が1:99〜99:1の範囲にある
請求項16〜18のいずれかに記載のセラミック電子部
品の製造方法。 - 【請求項20】 前記金属粉末におけるAgとCuの重
量比(Ag:Cu)が3:7〜9:1の範囲にある請求
項15に記載のセラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項21】 前記Ag,Cuに添加されるその他の
金属粉末あるいは金属酸化物粉末の金属成分としての重
量比が、AgとCuの総重量に対し0.001以上であ
る請求項16〜19のいずれかに記載のセラミック電子
部品の製造方法。 - 【請求項22】 前記塗料が900℃以上の軟化点を有
する無機酸化物粒子を含有する請求項15〜21のいず
れかに記載のセラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項23】 前記無機酸化物粒子がフレーク状であ
る請求項22に記載のセラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項24】 前記フレーク状の無機酸化物粒子がマ
イカ粉末およびモンモリロナイトを主成分とする粘土粉
末から選ばれる少なくとも一種の粉末である請求項23
に記載のセラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項25】 前記外部電極焼結体の金属成分が60
〜97重量%、ガラス成分が3〜40重量%の範囲であ
る請求項15に記載のセラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項26】 前記内部電極のNi含量が90〜10
0重量%の範囲で、その他の金属成分が0〜10重量%
の範囲である請求項15に記載のセラミック電子部品の
製造方法。 - 【請求項27】 前記内部電極を構成するその他の金属
成分が、Fe,Co,Cu,Crから選ばれる少なくと
も一つの金属である請求項15に記載のセラミック電子
部品の製造方法。 - 【請求項28】 前記外部電極の焼成時の低酸素分圧の
雰囲気が、酸素分圧0ppm以上1000ppm以下の
範囲である請求項15に記載のセラミック電子部品の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8316138A JPH10154633A (ja) | 1995-11-29 | 1996-11-27 | セラミック電子部品およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31018595 | 1995-11-29 | ||
| JP25980996 | 1996-09-30 | ||
| JP8-259809 | 1996-09-30 | ||
| JP7-310185 | 1996-09-30 | ||
| JP8316138A JPH10154633A (ja) | 1995-11-29 | 1996-11-27 | セラミック電子部品およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10154633A true JPH10154633A (ja) | 1998-06-09 |
Family
ID=27334845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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- 1996-11-27 JP JP8316138A patent/JPH10154633A/ja active Pending
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