JPH10156943A - マイクロシステム構造のための成型装置及び成型方法 - Google Patents

マイクロシステム構造のための成型装置及び成型方法

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JPH10156943A JP9274296A JP27429697A JPH10156943A JP H10156943 A JPH10156943 A JP H10156943A JP 9274296 A JP9274296 A JP 9274296A JP 27429697 A JP27429697 A JP 27429697A JP H10156943 A JPH10156943 A JP H10156943A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高い寸法安定度を確保しつつ、真空エンボス
加工プロセスに用いられる成型ツール及び成型材料の厚
さの違いを補償するとともに、異なる成型深さを確保す
ること。 【解決手段】 成型装置は閉鎖可能なチャンバを構成す
る互いに対向配置された一対のチャンバ部６，７を有す
る。一方の固定チャンバ部はフレーム１に固定され、他
方の可動チャンバ部７はフレーム１に移動可能に案内さ
れる。チャンバは第１及び第２の円筒状フランジ１９，
２３から成る側壁を有し、第１のフランジ１９は固定チ
ャンバ部６に取着される。第２のフランジ２３は、チャ
ンバの閉鎖時に可動チャンバ部７がバネ２６の力に抗し
て押圧する端面２９を有するとともに、２つのストッパ
２７，２８の間にて案内スリーブ１８に沿って移動可能
である。チャンバ内の環境条件及び成型温度は、固定チ
ャンバ部６に作用する力の増加が所定値に達するチャン
バ閉鎖時の段階で設定される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロシステム
構造のための成型装置及び成型方法に関する。成型装置
は、閉鎖可能なチャンバを構成する互いに対向配置され
た一対のチャンバ部を有し、一対のチャンバ部は成型ツ
ール及び成型材料を保持するための保持部材を構成し、
一方のチャンバ部はフレームに固定され、他方のチャン
バ部はフレームに移動可能に案内される。
【０００２】
【従来の技術】ＬＩＧＡ（シンクロトロン放射、電気め
っき（galvanoplating）及び塑性成型を用いた石版印刷
を表すドイツ語の頭字語）技術として知られるようにな
ったマイクロシステム構造の製造プロセスにおいては、
成型が大量生産への鍵を握っている。好ましくは真空
で、かつ熱可塑性材料の軟化温度を上回る温度にて、成
型ツールを熱可塑性材料またはその他の材料の層に押圧
することによって、僅か数ナノメートルから数百マイク
ロメートルまでの高さを有する三次元構造が成型され
る。
【０００３】プラスチックからマイクロ構造要素を製造
するためのプロセスに関するドイツ特許第４０１０６６
９Ｃ１号及びドイツ特許第４２２２８５６Ｃ１号には、
いわゆる真空エンボス加工プロセスの工程が詳細に記載
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ドイツ特許には、大量生産規模での成型に適した装置の
構造的設計については、詳細に記載されていない。
【０００５】このような装置は、幅広い使用可能性を有
するという要件を満たさなければならない。この要件に
は、用いられる成型ツールにおける異なる高さ、成型材
料における異なる厚さ、及び成型深さ（構造の深さ）に
よって生じる問題を解決することが含まれる。このよう
な順応性を実現することは、ドイツ特許第４２２２８５
６Ｃ１号に記載されている成型ツールの非常に正確な平
行案内のための要件によって一層困難である。
【０００６】従って、本発明の目的は、高い寸法安定度
を確保しつつ、真空の下で行われるエンボス加工プロセ
スにおける前述のような厚さの違いを補償することと、
異なる成型深さを確保することとにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明では、マイクロシステム構造
のための成型装置は、閉鎖可能なチャンバを構成する互
いに対向配置された一対のチャンバ部を有し、その一対
のチャンバ部は成型ツール及び成型材料を保持するため
の保持部材を構成している。一方のチャンバ部はフレー
ムに固定された固定チャンバ部であり、他方のチャンバ
部はフレームに移動可能に案内される可動チャンバ部で
ある。チャンバは内側部及び外側部を備えた側壁を有
し、内側部は固定チャンバ部に取着されている。外側部
は、チャンバの閉鎖時に可動チャンバ部がバネの力に抗
して押圧する端面を有する。外側部はさらに、その間隔
によってチャンバの幅を決定する２つのストッパの間に
て、固定チャンバ部上の案内要素に沿って移動可能であ
る。
【０００８】請求項２に記載の発明では、内側部は第１
の円筒状フランジによって構成され、その第１のフラン
ジは前記固定チャンバ部に固定された幅広部を有すると
ともに、固定チャンバ部に対する密閉のために溝内に配
置されたシールリングを有する。
【０００９】請求項３に記載の発明では、前記外側部は
第２の円筒状フランジによって構成され、その第２のフ
ランジの内側面は前記第１のフランジを包囲しており、
第２のフランジの幅広部に設けられた穴には前記案内要
素が挿通され、第１のフランジと第２のフランジとは、
チャンバが真空密閉状態となるように、シールリングを
介して摺動可能に連結される。
【００１０】請求項４に記載の発明では、前記チャンバ
の側壁は、断熱ジャケットによって少なくとも部分的に
包囲されている。請求項５に記載の発明では、断熱プレ
ートが前記チャンバ部の外端面に取り付けられており、
水平方向の熱放射損失は、互い違いに配置された複数の
環状熱反射プレートによって低減される。
【００１１】請求項６に記載の発明では、成型材料に適
した環境条件及び成型温度の設定後に、固定チャンバ部
に対して可動チャンバ部の位置を調節することによっ
て、閉鎖可能なチャンバ内で成型材料を所定時間、所定
の力で成型ツールに対して押圧し、成型不能な温度にて
成型材料を取り外すようにしたマイクロシステム構造の
ための成型方法において、前記環境条件及び成型温度の
設定は、前記固定チャンバ部に作用する力の増加が所定
値に達するチャンバ閉鎖時の段階で行われる。
【００１２】請求項７に記載の発明では、前記環境条件
の設定は、チャンバが閉鎖されるときの第１の所定値の
力において開始される。請求項８に記載の発明では、前
記成型温度の設定は、前記成型ツール及び成型材料が最
適な熱接触状態で互いに押圧される第２の所定値の力に
依存している。
【００１３】請求項９に記載の発明では、熱膨張による
固定チャンバ部に作用する力の増加は、前記可動チャン
バ部の移動の調整によって補償される。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図１〜図３に従って説明する。図１に示すよう
に、ロードフレーム１は、枠組みに固定された固定部２
と位置調節可能な可動部３とを支持している。固定部２
及び可動部３には、それぞれフランジ４，５が取り付け
られている。両フランジ４，５には、互いに対向配置さ
れた横向きのチャンバ部６，７が装着されている。チャ
ンバ部６，７は、図２及び図３に詳細に示される真空チ
ャンバを構成する。
【００１５】ロードフレーム１に一体に設けられた力生
成ユニットとしてのモータ、スピンドル及び案内部材の
組み合わせによって、また力測定装置９、制御装置１
０、移動量測定装置及び力規制装置（いずれも図示せ
ず）を用いて、可動部３は固定部２に対して接触圧を制
御可能に移動できる。
【００１６】熱成型プロセスの実施中または実施後に温
度を上昇または下降させるために、熱伝導媒体としての
オイルを用いて作動する温度制御ユニット１３が設けら
れている。
【００１７】フランジ４，５と温度制御可能なチャンバ
部６，７との間にそれぞれ設けられた断熱プレート１
４，１５は、装置において隣接する構成要素への熱伝導
を適切に規制する。
【００１８】また、真空生成手段、モニター手段、換気
手段及び温度検知手段（いずれも図示せず）が設けられ
ている。図２及び図３に示すように、温度制御ユニット
１３に接続された通路１６，１７は、それぞれチャンバ
部６，７を通過するように設けられている。
【００１９】固定チャンバ部６は、それぞれスリーブ１
８に挿通された６本のネジによってフランジ４に装着さ
れている。図２では６本のスリーブ１８のうちの２本が
図示され、図３では１本が図示されている。（全体に明
瞭に図示するために、図２では一部の部材には番号を付
していない。） 真空チャンバの側壁は、内側部と外側部とに分離されて
いる。内側部は第１の円筒状フランジ１９によって構成
され、フランジ１９の幅広な外周部分は複数のネジ２０
によってチャンバ部６に取着されている。フランジ１９
とチャンバ部６との間を密閉するため、Ｏリング２２が
フランジ１９の端面の溝２１内に配置されている。
【００２０】外側部は第２の円筒状フランジ２３によっ
て構成され、第２のフランジ２３の内側面によって第１
のフランジ１９が包囲されている。第２のフランジ２３
の幅広な外周部に設けられた複数の穴２４には、それぞ
れ前記スリーブ１８が挿通されている。スリーブ１８
は、第２のフランジ２３のための案内要素として機能す
る。第１のフランジ１９と第２のフランジ２３とは、断
面四角形状のシールリング２５を介して、真空チャンバ
内が真空密閉状態となるように摺動可能に連結される。
圧縮バネ２６は、第２のフランジ２３とチャンバ部６と
の間において、各スリーブ１８の周囲に設けられてい
る。圧縮バネ２６は、第２のフランジ２３の幅広外周部
を押圧するとともに、チャンバ部６に支持されている。
【００２１】ネジ頭２７，２８は、第２のフランジ２３
の動きを規制するためのストッパを形成している。真空
チャンバが開放されているとき、第２のフランジ２３は
圧縮バネ２６の作用によってネジ頭２８に押し付けられ
る。真空チャンバが閉鎖されているとき、第２のフラン
ジ２３の端面２９は、圧縮バネ２６の力に対抗するよう
に向かってくる可動チャンバ部７に押し付けられる。そ
の端面２９と可動チャンバ部７との間を密閉するため、
Ｏリング３０が端面２９の溝３１内に配置されている。
【００２２】プロセス空間としての真空チャンバの内部
空間は、水平方向の熱放射損失を低減するために、複数
の環状熱反射プレート３２，３５，３６，３８，３９に
よって包囲されている。第１の内側プレート３２は第１
のフランジ１９の内側に配置され、両者の間には間隙３
３が設けられている。中間プレート３５，３６はそれぞ
れチャンバ部６，７の外側面に沿って配置され、両者の
間にはそれぞれ間隙３４，３７が設けられている。更
に、外側プレート３８，３９が最外側のシールドを形成
する。
【００２３】上側部及び下側部としてのチャンバ部６，
７のうちの一方には、保持部材（図示せず）が備えられ
ている。この保持部材は、成型ツール及び／またはエン
ボス加工ダイを固定状態で保持するためのもの、または
例えば成型ツール、成型材料、ダイ及び技術上必要とさ
れるリリースフィルムから成る装置外部にて組み立てら
れた積層構造を支持するのに適したものである。保持部
材に対するこれらの装着は、手動または自動で行われ得
る。
【００２４】成型ツールの酸化または製造される構造物
中の空気封入を回避するために、真空であることだけで
なく不活性ガスを用いることも環境条件として適切であ
る。本実施形態に記載されている真空チャンバは、本発
明に不可欠な要素を変更することなく、不活性ガス雰囲
気中で作業を行うことができる閉鎖可能なチャンバとし
て設計することもできる。
【００２５】真空チャンバ閉鎖時に、下側チャンバ部７
のシール面４０が端面２９内のＯリング３０に対して押
圧されることによって、力測定装置９によって測定され
る圧縮力の増加が生じる。圧縮力が第１の所定値に達す
ると可動部３の移動が停止され、可動部３は移動を規制
された状態でその位置に保持される。成型材料に対して
力が作用することなく、真空チャンバ内にて真空が生成
される。
【００２６】真空が生成されると、成型プロセスが開始
される。真空生成後に真空によって生じる力は成型には
影響を及ぼさないことから、まず力測定装置９がゼロに
設定される。次に、成型ツール及び成型材料が温度制御
において最適な接触状態になる第２の所定値の力に達す
るまで、可動部３が移動される。このため、成型ツール
及び成型材料が、最適な接触圧及び成型温度の状態で互
いに押圧される。また、第２のフランジ２３が第１のフ
ランジ１９と重なるように摺動するため、真空状態を維
持しつつ、本プロセスのために必要な真空チャンバの上
下幅の減少が達成される。
【００２７】成型ツール及び成型材料は要求される成型
温度まで加熱され、設定された力の値は力を調整するこ
とによって一定に維持される。成型材料の熱膨張によっ
て生じる接触圧の上昇は、可動部３の移動を調整するこ
とによって有利に補償される。フランジ２３がフランジ
１９に対して移動可能であるため、この場合においても
真空チャンバの真空密閉状態が有利に確保され、設定さ
れたプロセス条件（環境条件及び成型温度を含む）が変
化することはない。
【００２８】第２のフランジ２３がネジ頭２７にて停止
すると、測定装置９により測定可能な力の増加が生じ、
このことにより成型に関連する要素の最大移動量がモニ
ターできる。
【００２９】要求される成型温度に達すると、成型プロ
セスに必要な成型力は可動部３を介して付与され、成型
プロセスが力を調整するように制御される。成型プロセ
スが完了すると、可動部３は力が第３の所定値に達する
まで動作する。次に、温度制御可能なチャンバ部６，７
による温度制御方式を変更することによって、成型ツー
ル及び成型ダイは成型不能な温度まで冷却される。成型
不能な温度に達すると、真空チャンバ内には不活性ガス
が注入され、可動部３の移動方向を反転させることによ
って真空チャンバが開放される。圧縮バネ２６の作用に
よって、第２のフランジ２３がネジ頭２８に押し付けら
れ、それにより真空チャンバの幅が最大になる初期位置
に配置される。
【００３０】以上詳述したように、本実施の形態では、
真空チャンバの側壁が内側の第１のフランジ１９と外側
の第２のフランジ２３とに分離されている。そして、真
空チャンバの閉鎖時に、可動チャンバ７が圧縮バネ２６
の力に抗して第２のフランジ２３の端面２９を押圧する
ことによって、第２のフランジ２３が第１のフランジ１
９に対して移動して、真空チャンバの上下幅が変更され
る。このような真空チャンバ幅の変更によって、高い寸
法安定度を確保しつつ、成型ツール及び成型材料の厚さ
の違いを補償するとともに、異なる成型深さを確保する
ことが可能となる。
【００３１】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に記載の
発明では、チャンバが内側部及び外側部を備えた側壁を
有する。そして、チャンバの閉鎖時に、可動チャンバが
バネの力に抗して外側部の端面を押圧することによっ
て、外側部が内側部に対して移動して、チャンバの幅が
変更される。このようなチャンバ幅の変更によって、高
い寸法安定度を確保しつつ、成型ツール及び成型材料の
厚さの違いを補償するとともに、異なる成型深さを確保
することが可能となる。
【００３２】請求項２に記載の発明では、第１のフラン
ジと固定チャンバとの間が、シールリングによって確実
に密閉される。請求項３に記載の発明では、成型プロセ
ス及びその前後の工程において必要とされる可動チャン
バ部の動作に関わらず、チャンバが閉鎖状態に維持され
るので、設定されたプロセス条件が変化することはな
い。
【００３３】請求項４に記載の発明では、チャンバにお
ける熱損失が、断熱ジャケットによって抑制される。請
求項５に記載の発明では、両チャンバ部に隣接する要素
への熱伝導が、断熱プレートによって適切に規制され
る。また、チャンバにおける水平方向の熱放射損失が、
環状熱反射プレートによって低減される。
【００３４】請求項６に記載の発明では、可動チャンバ
部の移動に伴い固定チャンバ部に作用する力が所定値に
達してチャンバが閉鎖された状態で、成型材料に適した
環境条件及び成型温度の設定が適正に行われる。
【００３５】請求項７に記載の発明では、固定チャンバ
部に作用する力が、チャンバの閉鎖が生じる第１の所定
値になったときに、環境条件の設定が開始される。この
ため、チャンバが閉鎖された状態で、環境条件を適正に
設定できる。
【００３６】請求項８に記載の発明では、成型ツール及
び成型材料が、最適な接触圧及び成型温度の状態で互い
に押圧される。請求項９に記載の発明では、熱膨張によ
る固定チャンバ部に作用する力の増加は、可動チャンバ
部の移動の調整によって、有利に補償される。
【図面の簡単な説明】
【図１】 成型装置の基本的な構造を示す断面図。
【図２】 成型が行われる真空チャンバを示す断面図。
【図３】 真空チャンバの上下幅を調節するための手段
を詳細に示す拡大断面図。
【符号の説明】
６…固定チャンバ部、７…可動チャンバ部、１４，１５
…断熱プレート、１８…案内要素、１９…第１のフラン
ジ、２１…溝、２２…シールリング、２３…第２のフラ
ンジ、２４…穴、２５…シールリング、２６…バネ、２
９…第２のフランジの端面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フランク ロイター ドイツ連邦共和国 デー−07407 ルード ルスタット デェプラーストラーセ 18 (72)発明者 アルフ スプリンガー ドイツ連邦共和国 デー−07751 ミルダ イム プロッツ 14 (72)発明者 マティアス ヘッケレ ドイツ連邦共和国 デー−76351 リンケ ンハイム スペッカー ベク 56 (72)発明者 ハンス ビーデルマン ドイツ連邦共和国 デー−76646 ブルッ フザルジ−ドルングスストラーセ ２

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 閉鎖可能なチャンバを構成する互いに対
    向配置された一対のチャンバ部を有し、その一対のチャ
    ンバ部は成型ツール及び成型材料を保持するための保持
    部材を構成し、一方のチャンバ部はフレームに固定され
    た固定チャンバ部であり、他方のチャンバ部はフレーム
    に移動可能に案内される可動チャンバ部であるマイクロ
    システム構造のための成型装置において、 前記チャンバは内側部及び外側部を備えた側壁を有し、
    前記内側部は固定チャンバ部（６）に取着され、前記外
    側部は、チャンバの閉鎖時に可動チャンバ部（７）がバ
    ネ（２６）の力に抗して押圧する端面（２９）を有する
    とともに、その間隔によってチャンバの幅を決定する２
    つのストッパ（２７，２８）の間にて、固定チャンバ部
    （６）上の案内要素（１８）に沿って移動可能であるこ
    とを特徴とする成型装置。
  2. 【請求項２】 前記内側部は第１の円筒状フランジ（１
    ９）によって構成され、その第１のフランジ（１９）は
    前記固定チャンバ部（６）に固定された幅広部を有する
    とともに、固定チャンバ部（６）に対する密閉のために
    溝（２１）内に配置されたシールリング（２２）を有す
    ることを特徴とする請求項１に記載の成型装置。
  3. 【請求項３】 前記外側部は第２の円筒状フランジ（２
    ３）によって構成され、その第２のフランジ（２３）の
    内側面は前記第１のフランジ（１９）を包囲しており、
    第２のフランジ（２３）の幅広部に設けられた穴（２
    ４）には前記案内要素（１８）が挿通され、第１のフラ
    ンジ（１９）と第２のフランジ（２３）とは、チャンバ
    が真空密閉状態となるように、シールリング（２５）を
    介して摺動可能に連結されることを特徴とする請求項２
    に記載の成型装置。
  4. 【請求項４】 前記チャンバの側壁は、断熱ジャケット
    によって少なくとも部分的に包囲されていることを特徴
    とする請求項３に記載の成型装置。
  5. 【請求項５】 断熱プレート（１４，１５）が前記チャ
    ンバ部（６，７）の外端面に取り付けられており、水平
    方向の熱放射損失は、互い違いに配置された複数の環状
    熱反射プレートによって低減されることを特徴とする請
    求項４に記載の成型装置。
  6. 【請求項６】 成型材料に適した環境条件及び成型温度
    の設定後に、固定チャンバ部に対して可動チャンバ部の
    位置を調節することによって、閉鎖可能なチャンバ内で
    成型材料を所定時間、所定の力で成型ツールに対して押
    圧し、成型不能な温度にて成型材料を取り外すようにし
    たマイクロシステム構造のための成型方法において、 前記環境条件及び成型温度の設定は、前記固定チャンバ
    部（６）に作用する力の増加が所定値に達するチャンバ
    閉鎖時の段階で行われることを特徴とする成型方法。
  7. 【請求項７】 前記環境条件の設定は、チャンバが閉鎖
    されるときの第１の所定値の力において開始されること
    を特徴とする請求項６に記載の成型方法。
  8. 【請求項８】 前記成型温度の設定は、前記成型ツール
    及び成型材料が最適な熱接触状態で互いに押圧される第
    ２の所定値の力に依存していることを特徴とする請求項
    ７に記載の成型方法。
  9. 【請求項９】 熱膨張による固定チャンバ部に作用する
    力の増加は、前記可動チャンバ部の移動の調整によって
    補償されることを特徴とする請求項８に記載の成型方
    法。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004074775A (ja) * 2002-06-17 2004-03-11 Nagase Integrex Co Ltd 転写装置
JPWO2005075184A1 (ja) * 2004-02-04 2007-10-11 住友重機械工業株式会社 加圧成形装置、金型及び加圧成形方法
JP2008137390A (ja) * 2008-01-10 2008-06-19 Apic Yamada Corp 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置
EP2174774A2 (en) 2008-10-09 2010-04-14 Hitachi Industrial Equipment Systems Co. Ltd. Precision press device and press load control method thereof
CN105150514A (zh) * 2015-09-14 2015-12-16 温州市黎东眼镜有限公司 一种眼镜镜框花纹液压机成型模具
JP2026005264A (ja) * 2024-06-27 2026-01-16 Ａｉメカテック株式会社 微細構造転写装置及び微細構造転写方法

Families Citing this family (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7482085B2 (en) * 1996-06-07 2009-01-27 Bdf Ip Holdings Ltd. Apparatus for improving the cold starting capability of an electrochemical fuel cell
DE19819761C2 (de) * 1998-05-04 2000-05-31 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur Trennung eines geformten Substrates von einem Prägewerkzeug
DE19846958C2 (de) * 1998-08-19 2001-06-13 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung zum Transport von kleinsten Flüssigkeitsmengen
DE19925175C1 (de) * 1999-05-27 2000-05-25 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung und Verfahren zur Übertragung von Mikrostrukturen
DE19937097A1 (de) * 1999-08-06 2001-02-08 Harting Elektrooptische Bauteile Gmbh & Co Kg Verfahren zum Herstellen mikrostrukturierter Teile und Vorrichtung zum Herstellen mikrostrukturierter Teile
DE19945470B4 (de) * 1999-09-22 2007-06-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen einer mikrofunktionalen Verbundvorrichtung
SE517305C2 (sv) * 1999-10-07 2002-05-21 Ericsson Telefon Ab L M Anordning och förfarande för att framställa keramiska precisionsdetaljer såsom små byggelement för elektroniska, optoelektroniska eller mekaniska konstruktioner
US6873087B1 (en) 1999-10-29 2005-03-29 Board Of Regents, The University Of Texas System High precision orientation alignment and gap control stages for imprint lithography processes
US6540675B2 (en) 2000-06-27 2003-04-01 Rosedale Medical, Inc. Analyte monitor
EP1303792B1 (en) 2000-07-16 2012-10-03 Board Of Regents, The University Of Texas System High-resolution overlay alignement methods and systems for imprint lithography
AU2001277907A1 (en) 2000-07-17 2002-01-30 Board Of Regents, The University Of Texas System Method and system of automatic fluid dispensing for imprint lithography processes
US7322287B2 (en) * 2000-07-18 2008-01-29 Nanonex Corporation Apparatus for fluid pressure imprint lithography
CN1696826A (zh) 2000-08-01 2005-11-16 得克萨斯州大学系统董事会 用对激活光透明的模板在衬底上形成图案的方法及半导体器件
EP1390975A2 (en) 2000-08-21 2004-02-25 The Board Of Regents, The University Of Texas System Flexure based translation stage
JP2002166448A (ja) * 2000-12-01 2002-06-11 Sony Corp 成形用金型装置および成形方法
US6964793B2 (en) 2002-05-16 2005-11-15 Board Of Regents, The University Of Texas System Method for fabricating nanoscale patterns in light curable compositions using an electric field
US6709259B2 (en) * 2001-08-27 2004-03-23 Tanken Seal Seiko Co., Ltd. Movable vacuum forming apparatus for pressing and vacuum press apparatus
US7004928B2 (en) 2002-02-08 2006-02-28 Rosedale Medical, Inc. Autonomous, ambulatory analyte monitor or drug delivery device
US7252492B2 (en) * 2002-06-20 2007-08-07 Obducat Ab Devices and methods for aligning a stamp and a substrate
US6932934B2 (en) 2002-07-11 2005-08-23 Molecular Imprints, Inc. Formation of discontinuous films during an imprint lithography process
US7077992B2 (en) 2002-07-11 2006-07-18 Molecular Imprints, Inc. Step and repeat imprint lithography processes
US6916584B2 (en) 2002-08-01 2005-07-12 Molecular Imprints, Inc. Alignment methods for imprint lithography
US7071088B2 (en) 2002-08-23 2006-07-04 Molecular Imprints, Inc. Method for fabricating bulbous-shaped vias
WO2004021083A1 (en) * 2002-08-27 2004-03-11 Obducat Ab Device for transferring a pattern to an object
US20040040644A1 (en) * 2002-08-30 2004-03-04 Jer-Haur Chang Micro hot embossing method for quick heating and cooling, and uniformly pressing
US8349241B2 (en) 2002-10-04 2013-01-08 Molecular Imprints, Inc. Method to arrange features on a substrate to replicate features having minimal dimensional variability
US6929762B2 (en) 2002-11-13 2005-08-16 Molecular Imprints, Inc. Method of reducing pattern distortions during imprint lithography processes
DE10256059B4 (de) * 2002-11-30 2009-08-20 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Heißprägewerkzeug
US7452574B2 (en) 2003-02-27 2008-11-18 Molecular Imprints, Inc. Method to reduce adhesion between a polymerizable layer and a substrate employing a fluorine-containing layer
US7052652B2 (en) 2003-03-24 2006-05-30 Rosedale Medical, Inc. Analyte concentration detection devices and methods
US7122079B2 (en) 2004-02-27 2006-10-17 Molecular Imprints, Inc. Composition for an etching mask comprising a silicon-containing material
TW570290U (en) * 2003-05-02 2004-01-01 Ind Tech Res Inst Uniform pressing device for nanometer transfer-print
TW568349U (en) * 2003-05-02 2003-12-21 Ind Tech Res Inst Parallelism adjusting device for nano-transferring
DE10323365A1 (de) * 2003-05-21 2004-12-09 Robert Bürkle GmbH Vorrichtung zur Herstellung geprägter Substrate
US7157036B2 (en) 2003-06-17 2007-01-02 Molecular Imprints, Inc Method to reduce adhesion between a conformable region and a pattern of a mold
US7136150B2 (en) 2003-09-25 2006-11-14 Molecular Imprints, Inc. Imprint lithography template having opaque alignment marks
US7128559B1 (en) * 2004-01-13 2006-10-31 Sandia National Laboratories Programmable imprint lithography template
US8076386B2 (en) 2004-02-23 2011-12-13 Molecular Imprints, Inc. Materials for imprint lithography
US7906180B2 (en) 2004-02-27 2011-03-15 Molecular Imprints, Inc. Composition for an etching mask comprising a silicon-containing material
US20070164476A1 (en) * 2004-09-01 2007-07-19 Wei Wu Contact lithography apparatus and method employing substrate deformation
US7641468B2 (en) * 2004-09-01 2010-01-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Imprint lithography apparatus and method employing an effective pressure
JP4554330B2 (ja) * 2004-10-21 2010-09-29 株式会社リコー 高耐久性を有する断熱スタンパ構造
JP4700996B2 (ja) * 2005-04-19 2011-06-15 東芝機械株式会社 転写装置
US20060281187A1 (en) 2005-06-13 2006-12-14 Rosedale Medical, Inc. Analyte detection devices and methods with hematocrit/volume correction and feedback control
DE102005041505B3 (de) * 2005-09-01 2007-04-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zum Abformen von Strukturen
EP1928316B1 (en) 2005-09-30 2014-02-26 Intuity Medical, Inc. Multi-site body fluid sampling and analysis cartridge
US8801631B2 (en) 2005-09-30 2014-08-12 Intuity Medical, Inc. Devices and methods for facilitating fluid transport
JP4810319B2 (ja) * 2006-06-09 2011-11-09 キヤノン株式会社 加工装置及びデバイス製造方法
KR100857521B1 (ko) * 2006-06-13 2008-09-08 엘지디스플레이 주식회사 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법 및 그 제조장비
CN101288512B (zh) * 2007-04-19 2010-06-02 欧利速精密工业股份有限公司 具射频干扰保护的压花系统
WO2009145920A1 (en) 2008-05-30 2009-12-03 Intuity Medical, Inc. Body fluid sampling device -- sampling site interface
JP5642066B2 (ja) 2008-06-06 2014-12-17 インテュイティ メディカル インコーポレイテッド 体液の試料内に含まれている検体の存在または濃度を決定する検定を行う方法および装置
EP2299904B1 (en) 2008-06-06 2019-09-11 Intuity Medical, Inc. Medical measurement method
US9330933B2 (en) 2008-06-11 2016-05-03 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method and apparatus for planarizing a polymer layer
EP2506768B1 (en) 2009-11-30 2016-07-06 Intuity Medical, Inc. Calibration material delivery devices and methods
WO2011162823A1 (en) 2010-06-25 2011-12-29 Intuity Medical, Inc. Analyte monitoring methods and systems
FR2965495B1 (fr) * 2010-10-01 2013-08-02 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'estampage et/ou de percage comprenant une tete support de substrat dont l'orientation est commandee en continu
CA2843945C (en) 2011-08-03 2022-06-21 Intuity Medical, Inc. Devices and methods for body fluid sampling and analysis
US8834146B2 (en) 2012-10-24 2014-09-16 Massachusetts Institute Of Technology System for passive alignment of surfaces
CA2912283A1 (en) 2013-06-21 2014-12-21 Intuity Medical, Inc. Analyte monitoring system with audible feedback
RU2761218C1 (ru) * 2021-02-25 2021-12-06 Юрий Иванович Терентьев Пресс-форма для вспенивающихся полимерных материалов

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2772012A (en) * 1951-05-10 1956-11-27 Anchor Hocking Glass Corp Method and device for manufacturing closure caps and closure cap produced thereby
US3543336A (en) * 1968-03-25 1970-12-01 Grace W R & Co Molding apparatus
US4204822A (en) * 1977-08-24 1980-05-27 British Industrial Plastics Ltd. Moulding machine
US4551085A (en) * 1983-04-25 1985-11-05 The Budd Company Compression molding apparatus having vacuum chamber
US4488862A (en) * 1983-04-25 1984-12-18 The Budd Company Compression molding apparatus having vacuum chamber
US4612149A (en) * 1983-04-25 1986-09-16 The Budd Company Compression molding a charge using vacuum
EP0187759B1 (en) * 1984-05-09 1990-01-24 Hughes Aircraft Company Method of fabricating composite or encapsulated articles
DE3512852A1 (de) * 1985-04-10 1986-10-16 Dorst - Maschinen- und Anlagen-Bau Otto Dorst u. Dipl. Ing. Walter Schlegel GmbH & Co, 8113 Kochel Presswerkzeug zur herstellung von schalenfoermigen presskoerpern, insbesondere platten, tellern, bechern, schuesseln od.dgl. aus pulverfoermigem, vorzugsweise keramischen material
CA1267763A (en) * 1986-03-19 1990-04-17 Kenneth A. Iseler Vacuum compression molding method using preheated charge
US4690787A (en) * 1986-05-09 1987-09-01 Fasnacht Jeffery L Apparatus and method for making positioners
US4867924A (en) * 1988-04-22 1989-09-19 The Budd Company Method and apparatus for compression molding under vacuum
JP2570402B2 (ja) * 1988-09-30 1997-01-08 日本ビクター株式会社 光学式情報記録媒体成型装置
US4957676A (en) * 1989-08-23 1990-09-18 The Goodyear Tire & Rubber Company Detachment of tires from molds
DE4010669C1 (ja) * 1990-04-03 1991-04-11 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De
US5196206A (en) * 1991-11-26 1993-03-23 Scantland Industries Inc. Vacuum heat shield
JP3230833B2 (ja) * 1992-03-27 2001-11-19 日立テクノエンジニアリング株式会社 ホットプレス
FR2689057B1 (fr) * 1992-03-30 1994-05-20 Cray Valley Sa Appareil pour le compactage de blocs d'un produit ayant tendance a foisonner, et procede de compactage correspondant.
DE4222856C1 (ja) * 1992-07-11 1993-05-27 Buerkert Gmbh
US5370521A (en) * 1993-09-29 1994-12-06 The Budd Company Compression mold with vacuum seal
US5776407A (en) * 1996-09-26 1998-07-07 Mitsubishi Materials Corporation Injection molding apparatus and method for shutting gate and compressing mold material

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004074775A (ja) * 2002-06-17 2004-03-11 Nagase Integrex Co Ltd 転写装置
JPWO2005075184A1 (ja) * 2004-02-04 2007-10-11 住友重機械工業株式会社 加圧成形装置、金型及び加圧成形方法
JP2008137390A (ja) * 2008-01-10 2008-06-19 Apic Yamada Corp 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置
EP2174774A2 (en) 2008-10-09 2010-04-14 Hitachi Industrial Equipment Systems Co. Ltd. Precision press device and press load control method thereof
KR101139152B1 (ko) 2008-10-09 2012-04-26 가부시키가이샤 히다치 산키시스템 정밀 프레스 장치에 있어서의 프레스 하중 제어 방법
US8387526B2 (en) 2008-10-09 2013-03-05 Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. Precision press device and press load control method thereof
CN105150514A (zh) * 2015-09-14 2015-12-16 温州市黎东眼镜有限公司 一种眼镜镜框花纹液压机成型模具
JP2026005264A (ja) * 2024-06-27 2026-01-16 Ａｉメカテック株式会社 微細構造転写装置及び微細構造転写方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR19980041925A (ko) 1998-08-17
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