JPH10160447A - パネル内面の金属膜厚さ測定装置 - Google Patents
パネル内面の金属膜厚さ測定装置Info
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- JPH10160447A JPH10160447A JP9034720A JP3472097A JPH10160447A JP H10160447 A JPH10160447 A JP H10160447A JP 9034720 A JP9034720 A JP 9034720A JP 3472097 A JP3472097 A JP 3472097A JP H10160447 A JPH10160447 A JP H10160447A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡易かつ正確にパネル内面の金属膜の厚さを
測定することのできるパネル内面の金属膜厚さ測定装置
を提供する。 【解決手段】 移送されるパネル９０の上部に位置する
フレーム２０と、前記フレーム２０に一端が回動自在に
設けられて設置角が調節できるガイドレール３１と、前
記ガイドレール３１の上に設けられて前記ガイドレール
に沿って往復移動するドリー４１と、前記ドリー４１に
結合され、前記移動するパネル９０に選択的に接触して
前記パネル９０の移動速度で前記ドリー４１を移動させ
るトラッキング手段５０と、前記ドリー４１に昇降自在
に設けられて前記移送されるパネル９０の上面に接触し
て金属膜の厚さを測定する測定センサ７０と、前記測定
センサ７０を前記パネル９０に対して昇降させる昇降手
段６０とを含むことを特徴とする。これにより、パネル
９０内面の金属膜厚さ測定による作業工数を減らすこと
ができる。
測定することのできるパネル内面の金属膜厚さ測定装置
を提供する。 【解決手段】 移送されるパネル９０の上部に位置する
フレーム２０と、前記フレーム２０に一端が回動自在に
設けられて設置角が調節できるガイドレール３１と、前
記ガイドレール３１の上に設けられて前記ガイドレール
に沿って往復移動するドリー４１と、前記ドリー４１に
結合され、前記移動するパネル９０に選択的に接触して
前記パネル９０の移動速度で前記ドリー４１を移動させ
るトラッキング手段５０と、前記ドリー４１に昇降自在
に設けられて前記移送されるパネル９０の上面に接触し
て金属膜の厚さを測定する測定センサ７０と、前記測定
センサ７０を前記パネル９０に対して昇降させる昇降手
段６０とを含むことを特徴とする。これにより、パネル
９０内面の金属膜厚さ測定による作業工数を減らすこと
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は陰極線管パネルのよ
うなパネル内面の金属膜厚さ測定装置に関し、さらに詳
しくは、パネルの移動時、パネルの内面に形成されてい
る蒸着膜の厚さを測定するための装置に関する。
うなパネル内面の金属膜厚さ測定装置に関し、さらに詳
しくは、パネルの移動時、パネルの内面に形成されてい
る蒸着膜の厚さを測定するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常のパネルの内面には、所定のパター
ンの蛍光膜が形成され、この蛍光膜の表面には金属膜が
形成される。この金属膜は、電子ビームとの衝突により
励起された蛍光膜から発生される光をパネルの前面に反
射させて輝度を向上させるのみならず、蛍光膜を電子ビ
ームの衝突から保護する。このような金属膜は反射率の
良いアルミニウムで製造される。前記金属膜の厚さが増
大するほど、光反射率は増加するが、金属膜に対する電
子ビームのエネルギー透過は低下する。したがって、前
記金属膜の厚さは光反射率及びエネルギー透過率に鑑み
て適正に設定される。
ンの蛍光膜が形成され、この蛍光膜の表面には金属膜が
形成される。この金属膜は、電子ビームとの衝突により
励起された蛍光膜から発生される光をパネルの前面に反
射させて輝度を向上させるのみならず、蛍光膜を電子ビ
ームの衝突から保護する。このような金属膜は反射率の
良いアルミニウムで製造される。前記金属膜の厚さが増
大するほど、光反射率は増加するが、金属膜に対する電
子ビームのエネルギー透過は低下する。したがって、前
記金属膜の厚さは光反射率及びエネルギー透過率に鑑み
て適正に設定される。
【０００３】ところで、前記金属膜は、金属膜の形成工
程中にその厚さが定期的に測定される。また、前記金属
膜の厚さは、測定センサを用いて作業者により手作業で
測定される。
程中にその厚さが定期的に測定される。また、前記金属
膜の厚さは、測定センサを用いて作業者により手作業で
測定される。
【０００４】しかしながら、前記金属膜の厚さ測定作業
は、金属膜を蒸着する蒸着装置にパネルが装着された状
態で行われるので、測定作業がめんどうで、正確な測定
も行いにくいという問題点があった。
は、金属膜を蒸着する蒸着装置にパネルが装着された状
態で行われるので、測定作業がめんどうで、正確な測定
も行いにくいという問題点があった。
【０００５】また、前記蒸着装置に装着されたパネルは
間歇的に移送されるので、上述したような測定作業はさ
らに困難になるという問題点があった。
間歇的に移送されるので、上述したような測定作業はさ
らに困難になるという問題点があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記のごとき
従来の問題点を解決するためになされたものであり、そ
の目的とするところは、簡易かつ正確にパネル内面の金
属膜の厚さを測定することのできるパネル内面の金属膜
厚さ測定装置を提供することにある。
従来の問題点を解決するためになされたものであり、そ
の目的とするところは、簡易かつ正確にパネル内面の金
属膜の厚さを測定することのできるパネル内面の金属膜
厚さ測定装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１のパネル内面の金属膜厚さ測定装置は、移
送されるパネルの上部に位置するフレームと、前記フレ
ームに一端が回動自在に設けられて設置角が調節できる
ガイドレールと、前記ガイドレールの上に設けられて前
記ガイドレールに沿って往復移動するドリーと、前記ド
リーに結合され、前記移動するパネルに選択的に接触し
て前記パネルの移動速度で前記ドリーを移動させるトラ
ッキング手段と、前記ドリーに上昇自在に設けられて前
記移送されるパネルの上面に接触して金属膜の厚さを測
定する測定センサと、前記測定センサを前記パネルに対
して昇降させる昇降手段と、を含むことを特徴とする。
に、請求項１のパネル内面の金属膜厚さ測定装置は、移
送されるパネルの上部に位置するフレームと、前記フレ
ームに一端が回動自在に設けられて設置角が調節できる
ガイドレールと、前記ガイドレールの上に設けられて前
記ガイドレールに沿って往復移動するドリーと、前記ド
リーに結合され、前記移動するパネルに選択的に接触し
て前記パネルの移動速度で前記ドリーを移動させるトラ
ッキング手段と、前記ドリーに上昇自在に設けられて前
記移送されるパネルの上面に接触して金属膜の厚さを測
定する測定センサと、前記測定センサを前記パネルに対
して昇降させる昇降手段と、を含むことを特徴とする。
【０００８】また、請求項２の発明は、請求項１の発明
において、前記ガイドレールの他端に設けられて前記ガ
イドレールを昇降させることにより前記ガイドレールの
設置角を調節する第１アクチュエータをさらに含み、前
記ガイドレールには前記パネルの移動軌跡に対応するガ
イド長孔が形成されていることを特徴とする。
において、前記ガイドレールの他端に設けられて前記ガ
イドレールを昇降させることにより前記ガイドレールの
設置角を調節する第１アクチュエータをさらに含み、前
記ガイドレールには前記パネルの移動軌跡に対応するガ
イド長孔が形成されていることを特徴とする。
【０００９】また、請求項３の発明は、請求項２の発明
において、前記トラッキング手段は、一端が前記ドリー
に固定され、他端が前記ガイドレールに接触しないよう
に垂直下方に延びるトラッキングロッドと、前記トラッ
キングロッドの他端に結合されて前記パネルに選択的に
接触することにより、前記パネルの移動に応じて前記ド
リーを前記ガイドレールに沿って移動させる第２アクチ
ュエータと、を含むことを特徴とする。
において、前記トラッキング手段は、一端が前記ドリー
に固定され、他端が前記ガイドレールに接触しないよう
に垂直下方に延びるトラッキングロッドと、前記トラッ
キングロッドの他端に結合されて前記パネルに選択的に
接触することにより、前記パネルの移動に応じて前記ド
リーを前記ガイドレールに沿って移動させる第２アクチ
ュエータと、を含むことを特徴とする。
【００１０】また、請求項４の発明は、請求項３の発明
において、前記ドリーには垂直通孔が形成されており、
前記昇降手段は、前記ガイドレールの下部に位置して前
記ガイドレールに対して垂直に昇降自在であり、前記測
定センサが取り付けられた支持板と、前記ドリーの垂直
通孔と前記ガイド長孔を順次貫通して前記支持板に固定
されるロッドを有する第３アクチュエータとを含むこと
を特徴とする。
において、前記ドリーには垂直通孔が形成されており、
前記昇降手段は、前記ガイドレールの下部に位置して前
記ガイドレールに対して垂直に昇降自在であり、前記測
定センサが取り付けられた支持板と、前記ドリーの垂直
通孔と前記ガイド長孔を順次貫通して前記支持板に固定
されるロッドを有する第３アクチュエータとを含むこと
を特徴とする。
【００１１】また、請求項５の発明は、請求項４の発明
において、前記パネルが前記ガイドレールの下部に位置
することを感知する第１感知センサと、前記パネルが前
記ガイドレールの下面からずれることを感知する第２感
知センサと、をさらに含み、前記第１及び第２感知セン
サにより前記第１、第２及び第３アクチュエータが選択
的に作動することを特徴とする。
において、前記パネルが前記ガイドレールの下部に位置
することを感知する第１感知センサと、前記パネルが前
記ガイドレールの下面からずれることを感知する第２感
知センサと、をさらに含み、前記第１及び第２感知セン
サにより前記第１、第２及び第３アクチュエータが選択
的に作動することを特徴とする。
【００１２】また、請求項６の発明は、請求項２の発明
において、前記ドリーの移動に応じて発生する衝撃を吸
収する緩衝器をさらに含むことを特徴とする。
において、前記ドリーの移動に応じて発生する衝撃を吸
収する緩衝器をさらに含むことを特徴とする。
【００１３】また、請求項７の発明は、請求項１の発明
において、前記トラッキング手段は、一端が前記ドリー
に固定され、他端が前記ガイドレールに接触しないよう
に垂直下方に延びるトラッキングロッドと、前記トラッ
キングロッドの他端に結合されて前記パネルと選択的に
接触することにより、前記パネルの移動に応じて前記ド
リーを前記ガイドレールに沿って移動させる第２アクチ
ュエータと、を含むことを特徴とする。
において、前記トラッキング手段は、一端が前記ドリー
に固定され、他端が前記ガイドレールに接触しないよう
に垂直下方に延びるトラッキングロッドと、前記トラッ
キングロッドの他端に結合されて前記パネルと選択的に
接触することにより、前記パネルの移動に応じて前記ド
リーを前記ガイドレールに沿って移動させる第２アクチ
ュエータと、を含むことを特徴とする。
【００１４】また、請求項８の発明は、請求項１の発明
において、前記ドリーには垂直通孔が形成されており、
前記昇降手段は、前記ガイドレールの下部に位置して前
記ガイドレールに対して垂直に昇降自在であり、前記測
定センサが取り付けられた支持板と、前記ドリーの垂直
通孔と前記ガイド長孔を順次に貫通して前記支持板に固
定されるロッドが形成された第３アクチュエータとを含
むことを特徴とする。
において、前記ドリーには垂直通孔が形成されており、
前記昇降手段は、前記ガイドレールの下部に位置して前
記ガイドレールに対して垂直に昇降自在であり、前記測
定センサが取り付けられた支持板と、前記ドリーの垂直
通孔と前記ガイド長孔を順次に貫通して前記支持板に固
定されるロッドが形成された第３アクチュエータとを含
むことを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明の実施の形態を詳しく説明する。
明の実施の形態を詳しく説明する。
【００１６】図１を参照すれば、本発明に係るパネル内
面の金属膜厚さ測定装置は、駆動モータ（図示せず）に
より間歇的に移送される移送プレート１０の上に装着さ
れたパネル９０の上部に設けられて、パネル９０の内面
に蒸着された金属膜（図示せず）の厚さを測定する。
面の金属膜厚さ測定装置は、駆動モータ（図示せず）に
より間歇的に移送される移送プレート１０の上に装着さ
れたパネル９０の上部に設けられて、パネル９０の内面
に蒸着された金属膜（図示せず）の厚さを測定する。
【００１７】前記金属膜厚さ測定装置は、移送プレート
１０に隣接するように設けられたフレーム２０と、この
フレーム２０に設けられて設置角が調節できる板状のガ
イドレール３１と、前記ガイドレール３１に沿って往復
移動するドリー４１と、前記ドリー４１に設けられ、前
記パネル９０の側面に選択的に接触して前記ドリー４１
を移送させるトラッキング手段５０と、前記ドリー４１
に設けられ、前記パネル９０に対して金属膜厚さ測定装
置７０を昇降させる昇降手段６０とを含む。
１０に隣接するように設けられたフレーム２０と、この
フレーム２０に設けられて設置角が調節できる板状のガ
イドレール３１と、前記ガイドレール３１に沿って往復
移動するドリー４１と、前記ドリー４１に設けられ、前
記パネル９０の側面に選択的に接触して前記ドリー４１
を移送させるトラッキング手段５０と、前記ドリー４１
に設けられ、前記パネル９０に対して金属膜厚さ測定装
置７０を昇降させる昇降手段６０とを含む。
【００１８】前記ドリー４１は前記ガイドレール３１上
で前記パネル９０の移動軌跡に沿って移動する。前記ガ
イドレール３１の一側端部は前記フレーム２０の一側に
回動自在にヒンジ結合され、その他側端部はフレーム２
０の他側により支持される。
で前記パネル９０の移動軌跡に沿って移動する。前記ガ
イドレール３１の一側端部は前記フレーム２０の一側に
回動自在にヒンジ結合され、その他側端部はフレーム２
０の他側により支持される。
【００１９】前記ガイドレール３１にはパネル９０の移
動軌跡に対応するガイド長孔３２が形成される。また、
前記ガイドレール３１の他側端部を支持するフレーム２
０の他側には、前記ガイドレール３１の他側端部を昇降
させることにより、前記ガイドレール３１を回動させて
その設置角を調節できるように第１アクチュエータ３３
が設けられている。
動軌跡に対応するガイド長孔３２が形成される。また、
前記ガイドレール３１の他側端部を支持するフレーム２
０の他側には、前記ガイドレール３１の他側端部を昇降
させることにより、前記ガイドレール３１を回動させて
その設置角を調節できるように第１アクチュエータ３３
が設けられている。
【００２０】前記ドリー４１の両側には前記ガイドレー
ル３１に接触して回転するホイール４２が設けられる。
ル３１に接触して回転するホイール４２が設けられる。
【００２１】前記トラッキング手段５０は、一端が前記
ドリー４１に固定され、他端が前記ガイドレール３１に
接触しないように垂直下方に延びるトラッキングロッド
５１と、前記トラッキングロッド５１の他端に結合さ
れ、前記パネル９０に選択的に接触することにより、前
記パネル９０の移動に応じて前記ドリー４１を前記ガイ
ドレール３１に沿って移動させる第２アクチュエータ５
２とを含む。
ドリー４１に固定され、他端が前記ガイドレール３１に
接触しないように垂直下方に延びるトラッキングロッド
５１と、前記トラッキングロッド５１の他端に結合さ
れ、前記パネル９０に選択的に接触することにより、前
記パネル９０の移動に応じて前記ドリー４１を前記ガイ
ドレール３１に沿って移動させる第２アクチュエータ５
２とを含む。
【００２２】前記昇降手段６０は前記ドリー４１に設け
られ、パネル９０の内面のアルミニウム膜の厚さを測定
する複数の測定センサ７０を昇降させる。前記昇降手段
６０は、前記ガイドレール３１の下部に位置して前記ガ
イドレール３１に対して垂直方向に昇降自在であり、前
記複数の測定センサ７０が取り付けられた支持板６３
と、前記ドリー４１の垂直通孔４１ａと前記ガイド長孔
３２を順次に貫通して前記支持板６３に固定されるロッ
ド６２を有する第３アクチュエータ６１とを含む。ま
た、前記支持板６３には前記ガイド長孔３２を貫通して
前記ドリー４１の垂直通孔４１ｂに摺動自在に挿入され
るガイド棒６４が設けられる。
られ、パネル９０の内面のアルミニウム膜の厚さを測定
する複数の測定センサ７０を昇降させる。前記昇降手段
６０は、前記ガイドレール３１の下部に位置して前記ガ
イドレール３１に対して垂直方向に昇降自在であり、前
記複数の測定センサ７０が取り付けられた支持板６３
と、前記ドリー４１の垂直通孔４１ａと前記ガイド長孔
３２を順次に貫通して前記支持板６３に固定されるロッ
ド６２を有する第３アクチュエータ６１とを含む。ま
た、前記支持板６３には前記ガイド長孔３２を貫通して
前記ドリー４１の垂直通孔４１ｂに摺動自在に挿入され
るガイド棒６４が設けられる。
【００２３】本発明によるパネル内面の金属膜厚さ測定
装置は、前記ドリー４１に隣接する側に設けられて、前
記移送プレート１０の移動に応じてパネル９０が測定セ
ンサ７０の下部に流入されるか否かを感知して前記第２
及び第３アクチュエータ５２，６１を選択的に作動させ
る第１感知センサ６６と、前記パネル９０がガイドレー
ル３１の下部からずれることを感知して前記第１、第２
及び第３アクチュエータ３３，５２，６１を作動させる
第２感知センサ６７とがさらに備えられる。
装置は、前記ドリー４１に隣接する側に設けられて、前
記移送プレート１０の移動に応じてパネル９０が測定セ
ンサ７０の下部に流入されるか否かを感知して前記第２
及び第３アクチュエータ５２，６１を選択的に作動させ
る第１感知センサ６６と、前記パネル９０がガイドレー
ル３１の下部からずれることを感知して前記第１、第２
及び第３アクチュエータ３３，５２，６１を作動させる
第２感知センサ６７とがさらに備えられる。
【００２４】また、前記ガイドレール３１のヒンジ結合
部位にはドリー４１の移送時の衝撃を緩和させるための
緩衝器８０がさらに備えられる。通常、前記緩衝器８０
としてはショック吸収器または弾性ばねが用いられる。
部位にはドリー４１の移送時の衝撃を緩和させるための
緩衝器８０がさらに備えられる。通常、前記緩衝器８０
としてはショック吸収器または弾性ばねが用いられる。
【００２５】このように構成された本発明によるパネル
内面の金属膜厚さ測定装置の動作を図２を参照して説明
すると、次の通りである。
内面の金属膜厚さ測定装置の動作を図２を参照して説明
すると、次の通りである。
【００２６】図２Ａに示したように、ドリー４１が緩衝
器８０に近接する状態で、前記移送プレート１０が移動
するにつれて前記パネル９０が前記第１感知センサ６６
により感知されると、トラッキング手段５０の第２アク
チュエータ５２が作動してトラッキングロッド５１（図
１参照）がパネル９０の側面に接触すると共に、前記第
３アクチュエータ６１が作動することにより、ロッド６
２（図１参照）に連結された支持板６３が下降して測定
センサ７０がパネル９０の上面に接触する。
器８０に近接する状態で、前記移送プレート１０が移動
するにつれて前記パネル９０が前記第１感知センサ６６
により感知されると、トラッキング手段５０の第２アク
チュエータ５２が作動してトラッキングロッド５１（図
１参照）がパネル９０の側面に接触すると共に、前記第
３アクチュエータ６１が作動することにより、ロッド６
２（図１参照）に連結された支持板６３が下降して測定
センサ７０がパネル９０の上面に接触する。
【００２７】次いで、移送プレート１０の移動に応じて
パネル９０が移動する。前記第２アクチュエータ５２の
トラッキングロッド５１が前記パネル９０の側面に接触
するので、ドリー４１もパネル９０の移送速度でガイド
レール３１に沿って移動する。この際、前記第３アクチ
ュエータ６１のロッド６２と支持板６３のガイド棒６４
がガイドレール３１に形成されたガイド長孔３２を貫通
しているので、前記ドリー４１は、前記ロッド６２とガ
イド棒６４が前記ガイド長孔３２に沿って動きながら、
移動する。
パネル９０が移動する。前記第２アクチュエータ５２の
トラッキングロッド５１が前記パネル９０の側面に接触
するので、ドリー４１もパネル９０の移送速度でガイド
レール３１に沿って移動する。この際、前記第３アクチ
ュエータ６１のロッド６２と支持板６３のガイド棒６４
がガイドレール３１に形成されたガイド長孔３２を貫通
しているので、前記ドリー４１は、前記ロッド６２とガ
イド棒６４が前記ガイド長孔３２に沿って動きながら、
移動する。
【００２８】前記ドリー４１と同じ軌跡及び速度で移送
される測定センサ７０は、パネル９０の上面に接触した
状態で、パネル９０の内面に形成された金属膜の厚さを
測定する。
される測定センサ７０は、パネル９０の上面に接触した
状態で、パネル９０の内面に形成された金属膜の厚さを
測定する。
【００２９】次いで、パネル９０が移動し続けて前記第
２感知センサ６７によりパネル９０が感知されると、図
２Ｂに示したように、前記第２アクチュエータ５２が作
動してトラッキングロッド５１がパネル９０の側面から
分離されると共に、前記第３アクチュエータ６１が作動
して支持板６３を持ち上げる。したがって、パネル９０
の上面から測定センサ７０が分離される。
２感知センサ６７によりパネル９０が感知されると、図
２Ｂに示したように、前記第２アクチュエータ５２が作
動してトラッキングロッド５１がパネル９０の側面から
分離されると共に、前記第３アクチュエータ６１が作動
して支持板６３を持ち上げる。したがって、パネル９０
の上面から測定センサ７０が分離される。
【００３０】パネル９０の上面から測定センサ７０が分
離されると、図２Ｃに示したように、第１アクチュエー
タ３３が作動してガイドレール３１の他側端部を持ち上
げて前記ガイドレール３１を所定の角度に傾斜するよう
に調節する。前記ガイドレール３１が傾斜すると、ドリ
ー４１は自重により前記ガイドレール３１に沿って元の
位置に復帰する。この際、前記ガイドレール３１のヒン
ジ結合部側には緩衝器８０が設けられているので、前記
昇降手段６０及び測定センサ７０などに加わる衝撃を吸
収することができる。
離されると、図２Ｃに示したように、第１アクチュエー
タ３３が作動してガイドレール３１の他側端部を持ち上
げて前記ガイドレール３１を所定の角度に傾斜するよう
に調節する。前記ガイドレール３１が傾斜すると、ドリ
ー４１は自重により前記ガイドレール３１に沿って元の
位置に復帰する。この際、前記ガイドレール３１のヒン
ジ結合部側には緩衝器８０が設けられているので、前記
昇降手段６０及び測定センサ７０などに加わる衝撃を吸
収することができる。
【００３１】前記ドリー４１が元の位置に復帰すると、
前記第１アクチュエータ３３が作動してガイドレール３
１を再び水平状態に保ち、上述した動作を繰り返す。
前記第１アクチュエータ３３が作動してガイドレール３
１を再び水平状態に保ち、上述した動作を繰り返す。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるパネ
ル内面の金属膜厚さ測定装置は、パネルの移送速度で移
動しながら、パネル内面の金属膜厚さを測定するので、
正確にパネル内面の金属膜の厚さを測定することができ
るという効果を奏する。
ル内面の金属膜厚さ測定装置は、パネルの移送速度で移
動しながら、パネル内面の金属膜厚さを測定するので、
正確にパネル内面の金属膜の厚さを測定することができ
るという効果を奏する。
【００３３】また、従来のような手作業で測定するのに
比して作業工数を減らすことができ、従来に比して簡易
にパネル内面の金属膜の厚さを測定することができると
いう効果を奏する。
比して作業工数を減らすことができ、従来に比して簡易
にパネル内面の金属膜の厚さを測定することができると
いう効果を奏する。
【図１】本発明に係るパネル内面の金属膜厚さ測定装置
の分解斜視図。
の分解斜視図。
【図２】本発明に係るパネル内面の金属膜厚さ測定装置
の動作を説明するための側面図。
の動作を説明するための側面図。
１０ 移送プレート ２０ フレーム ３１ ガイドレール ３１ ガイドレール ３２ ガイド長孔 ３３ 第１アクチュエータ ４１ ドリー ４１ａ 垂直通孔 ４１ｂ 垂直通孔 ４２ ホイール ５０ トラッキング手段 ５１ トラッキングロッド ５２ 第２アクチュエータ ６０ 昇降手段 ６１ 第３アクチュエータ ６３ 支持板 ６４ ガイド棒 ６６ 第１感知センサ ６７ 第２感知センサ ７０ 測定装置（測定センサ） ８０ 緩衝器 ９０ パネル
Claims (8)
- 【請求項１】 移送されるパネルの上部に位置するフレ
ームと、 前記フレームに一端が回動自在に設けられて設置角が調
節できるガイドレールと、 前記ガイドレールの上に設けられて前記ガイドレールに
沿って往復移動するドリーと、 前記ドリーに結合され、前記移動するパネルに選択的に
接触して前記パネルの移動速度で前記ドリーを移動させ
るトラッキング手段と、 前記ドリーに上昇自在に設けられて前記移送されるパネ
ルの上面に接触して金属膜の厚さを測定する測定センサ
と、 前記測定センサを前記パネルに対して昇降させる昇降手
段と、 を含むことを特徴とするパネル内面の金属膜厚さ測定装
置。 - 【請求項２】 前記ガイドレールの他端に設けられて前
記ガイドレールを昇降させることにより前記ガイドレー
ルの設置角を調節する第１アクチュエータをさらに含
み、 前記ガイドレールには前記パネルの移動軌跡に対応する
ガイド長孔が形成されていることを特徴とする請求項１
に記載のパネル内面の金属膜厚さ測定装置。 - 【請求項３】 前記トラッキング手段は、 一端が前記ドリーに固定され、他端が前記ガイドレール
に接触しないように垂直下方に延びるトラッキングロッ
ドと、 前記トラッキングロッドの他端に結合されて前記パネル
に選択的に接触することにより、前記パネルの移動に応
じて前記ドリーを前記ガイドレールに沿って移動させる
第２アクチュエータと、 を含むことを特徴とする請求項２に記載のパネル内面の
金属膜厚さ測定装置。 - 【請求項４】 前記ドリーには垂直通孔が形成されてお
り、 前記昇降手段は、前記ガイドレールの下部に位置して前
記ガイドレールに対して垂直に昇降自在であり、前記測
定センサが取り付けられた支持板と、前記ドリーの垂直
通孔と前記ガイド長孔を順次貫通して前記支持板に固定
されるロッドを有する第３アクチュエータとを含むこと
を特徴とする請求項３に記載のパネル内面の金属膜厚さ
測定装置。 - 【請求項５】 前記パネルが前記ガイドレールの下部に
位置することを感知する第１感知センサと、 前記パネルが前記ガイドレールの下面からずれることを
感知する第２感知センサと、をさらに含み、 前記第１及び第２感知センサにより前記第１、第２及び
第３アクチュエータが選択的に作動することを特徴とす
る請求項４に記載のパネル内面の金属膜厚さ測定装置。 - 【請求項６】 前記ドリーの移動に応じて発生する衝撃
を吸収する緩衝器をさらに含むことを特徴とする請求項
２に記載のパネル内面の金属膜厚さ測定装置。 - 【請求項７】 前記トラッキング手段は、 一端が前記ドリーに固定され、他端が前記ガイドレール
に接触しないように垂直下方に延びるトラッキングロッ
ドと、 前記トラッキングロッドの他端に結合されて前記パネル
と選択的に接触することにより、前記パネルの移動に応
じて前記ドリーを前記ガイドレールに沿って移動させる
第２アクチュエータと、 を含むことを特徴とする請求項１に記載のパネル内面の
金属膜厚さ測定装置。 - 【請求項８】 前記ドリーには垂直通孔が形成されてお
り、 前記昇降手段は、前記ガイドレールの下部に位置して前
記ガイドレールに対して垂直に昇降自在であり、前記測
定センサが取り付けられた支持板と、 前記ドリーの垂直通孔と前記ガイド長孔を順次に貫通し
て前記支持板に固定されるロッドが形成された第３アク
チュエータとを含むことを特徴とする請求項１に記載の
パネル内面の金属膜厚さ測定装置。
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